專利名稱：潔凈容器的氣孔裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種潔凈容器的氣孔裝置，尤其是指一種適用于一潔凈容器上用以通氣平衡內(nèi)外氣壓差的氣孔裝置。上述潔凈容器是指必須保持內(nèi)部潔凈的容器，例如半導(dǎo)體晶片制程中使用的晶片盒(WaferCarrier)、光罩盒(Reticle Container)、或其它領(lǐng)域使用的潔凈容器。
另有一種常規(guī)潔凈容器雖曾在門體夾層內(nèi)開設(shè)通氣孔，并以一遮塊加以遮蓋，利用凸輪鎖栓(Latch Key)的開鎖動作以連動一連桿機構(gòu)而移開遮塊，使得門體夾層內(nèi)的空氣進入通氣孔而平衡內(nèi)外氣壓。然而，上述通氣孔位處于門體夾層內(nèi)部拆裝不易，縱有濾網(wǎng)也不易更換。另受限于夾層有限的空間，通氣孔的位置、大小，在設(shè)計上的安排易受限制。又，遮塊移開通氣孔瞬間開口甚小，氣流流量有限。且由于位于門體夾層內(nèi)，濾網(wǎng)極易因門體內(nèi)部閂鎖機構(gòu)動作摩擦產(chǎn)生的微粒粉塵污染而降低其通氣量。

發(fā)明內(nèi)容
本實用新型的目的在于提出一種由氣孔環(huán)、氣孔座和氣孔蓋所組成的潔凈容器的氣孔裝置，它不僅拆卸組裝簡單、更換迅速，而且可以快速平衡潔凈容器內(nèi)外氣壓差，并保持氣流穩(wěn)定與潔凈。從而解決了現(xiàn)有技術(shù)所存在的問題。
本實用新型所采用的技術(shù)方案在于它包括有一氣孔環(huán)，它固設(shè)于該潔凈容器的通氣孔上，該氣孔環(huán)包括有一內(nèi)環(huán)面、一外環(huán)面及一下緣面，該外環(huán)面外周設(shè)有至少二凸塊；一氣孔座，它略呈一帽狀體，包括有一頂面及一環(huán)狀部，該環(huán)狀部外周是以一圈凸緣分隔成一上環(huán)及一下環(huán)，該上環(huán)恰可對應(yīng)塞入該氣孔環(huán)內(nèi)環(huán)面內(nèi)，該下環(huán)沿軸向形成至少二彈性勾；以及一氣孔蓋，它是以一外環(huán)、一內(nèi)環(huán)沿其底緣面彼此銜接而組成，該外環(huán)恰可套設(shè)于該氣孔環(huán)外環(huán)面外，并向上延伸至少二扣鉤以分別對應(yīng)勾合那些凸塊，該內(nèi)環(huán)恰可塞入該氣孔座環(huán)狀部內(nèi)部，并具有一頂面，并于鄰近該底緣面一側(cè)凹設(shè)至少二缺槽以供那些彈性勾分別對應(yīng)扣合。
本實用新型的優(yōu)點在于它不僅拆卸組裝簡單、更換迅速，而且由于本實用新型所對應(yīng)組設(shè)的通氣孔位置，可設(shè)于潔凈容器殼體的底板、頂板、側(cè)板或門體上，它以鄰近開口附近為較佳。由于上述位置可使用面積較大，故可開設(shè)較大徑的通氣孔，以利于快速平衡潔凈容器內(nèi)外氣壓差，并保持氣流穩(wěn)定。
再者，本實用新型尚可于氣孔座凸緣、與氣孔環(huán)下緣面之間增設(shè)一O形環(huán)，以便能受擠壓而形成氣密?；蚩稍跉饪鬃?、氣孔蓋的頂面之間增設(shè)一濾網(wǎng)，以保持氣流潔凈。


圖1為本實用新型較佳實施例的實施狀態(tài)圖；圖2為本實用新型較佳實施例的立體分解圖；圖3為本實用新型較佳實施例的側(cè)視圖及部分剖視圖；圖4為本實用新型另一較佳實施例的側(cè)視圖及部分剖視圖。
圖2顯示氣孔環(huán)1能以其上緣面10固設(shè)于晶片盒8通氣孔80上。在本實施例中，氣孔環(huán)1是以其上緣面10超聲波熔著于晶片盒8通氣孔80上；也可改將氣孔環(huán)1由晶片盒8底板81一體成形而成。氣孔環(huán)1具有內(nèi)環(huán)面11、外環(huán)面12、及下緣面13，外環(huán)面12外周對稱設(shè)有四個凸塊121。
氣孔座2略呈一帽狀體，具有頂面21、及環(huán)狀部22。頂面21形成鏤空隔板211，環(huán)狀部22外周以一圈凸緣221分隔成上環(huán)222、及下環(huán)223。上環(huán)222尺寸恰可對應(yīng)塞入氣孔環(huán)1內(nèi)環(huán)面11內(nèi)，下環(huán)223軸向延伸四個對稱的彈性勾224。
氣孔蓋4以外環(huán)41、內(nèi)環(huán)42沿其底緣面43彼此銜接而組成。外環(huán)41恰可套設(shè)于氣孔環(huán)1外環(huán)面12外，外環(huán)41并向上延伸四個對稱的扣鉤411以分別對應(yīng)勾合于上述四個凸塊121。內(nèi)環(huán)42恰可塞入氣孔座2環(huán)狀部22內(nèi)部，內(nèi)環(huán)42并在頂面形成一鏤空隔板421，并在鄰近底緣面43一側(cè)凹設(shè)四個對稱的缺槽422以供上述四個彈性勾224分別對應(yīng)扣合。
請一并參閱圖2和圖3，當欲組合時，先以濾網(wǎng)5鋪設(shè)于氣孔座2上環(huán)222內(nèi)部的鏤空隔板211處，再以氣孔蓋4的內(nèi)環(huán)42塞入氣孔座2環(huán)狀部22內(nèi)部，促使上述四個彈性勾224分別對應(yīng)扣合于缺槽422形成結(jié)合，以將濾網(wǎng)5壓合于氣孔座2與氣孔蓋4的鏤空隔板211，421之間，可保持氣流潔凈。隨后，再整體以氣孔座2的上環(huán)222塞入氣孔環(huán)1內(nèi)環(huán)面11內(nèi)，并由氣孔蓋4外部藉由外環(huán)41上的扣鉤411旋轉(zhuǎn)勾合于氣孔環(huán)1外環(huán)面12的凸塊121而完成組裝。
拆卸時，反轉(zhuǎn)氣孔蓋4使其扣鉤411脫離凸塊121便可快速拆下。故能簡易拆卸組裝、迅速更換濾網(wǎng)5。
圖3還顯示本實施例增設(shè)一O形環(huán)3環(huán)套于氣孔座2上環(huán)222外周，以便當氣孔座2上環(huán)222塞入氣孔環(huán)1內(nèi)環(huán)面11時，能受到氣孔座2凸緣221與氣孔環(huán)1下緣面13的擠壓而形成氣密。
圖3也可見本實施例氣孔蓋4的扣鉤411前緣形成一斜面412，可導(dǎo)引凸塊121易于滑入。
扣鉤411前緣內(nèi)側(cè)也設(shè)有一突起413，可當凸塊121滑入到達定位后有效勾合。
此外，氣孔座2的彈性勾224前緣內(nèi)側(cè)也形成一斜面225，可導(dǎo)引氣孔蓋4的內(nèi)環(huán)42塞入氣孔座2環(huán)狀部22內(nèi)部。
氣孔環(huán)1的凸塊121可設(shè)成各種形狀，例如圓形、棱形、蜂槽形或其它等效形狀，但以圖3所示的長圓形為較佳，因其前端圓弧有利于導(dǎo)引滑入、上方長邊密貼于扣鉤411產(chǎn)生適當摩擦阻力，可避免扣鉤411意外脫出。
圖4所示的為另一實施例，其氣孔環(huán)1’的凸塊121’呈圓形，且氣孔蓋4’的扣鉤411’后緣內(nèi)側(cè)改設(shè)一凹槽414。以便當扣鉤411’扣入凸塊121’時，恰可使凸塊121’落入凹槽414內(nèi)而自動定位。
綜上所述，本實用新型無論就目的、手段及功效，均顯示其不同于公知技術(shù)的特征。但應(yīng)注意的是，上述諸多實施例僅是為了便于說明而舉例而已，本實用新型所主張的權(quán)利范圍自應(yīng)以本實用新型權(quán)利要求書保護范圍為準，而非僅限于上述實施例。
權(quán)利要求1.一種潔凈容器的氣孔裝置，組設(shè)于一潔凈容器的通氣孔上，其特在于它包括有一氣孔環(huán)，它固設(shè)于該潔凈容器的通氣孔上，該氣孔環(huán)包括有一內(nèi)環(huán)面、一外環(huán)面及一下緣面，該外環(huán)面外周設(shè)有至少二凸塊；一氣孔座，它略呈一帽狀體，包括有一頂面及一環(huán)狀部，該環(huán)狀部外周是以一圈凸緣分隔成一上環(huán)及一下環(huán)，該上環(huán)恰可對應(yīng)塞入該氣孔環(huán)內(nèi)環(huán)面內(nèi)，該下環(huán)沿軸向形成至少二彈性勾；以及一氣孔蓋，是以一外環(huán)、一內(nèi)環(huán)沿其底緣面彼此銜接而組成，該外環(huán)恰可套設(shè)于該氣孔環(huán)外環(huán)面外，并向上延伸至少二扣鉤以分別對應(yīng)勾合那些凸塊，該內(nèi)環(huán)恰可塞入該氣孔座環(huán)狀部內(nèi)部，并具有一頂面，并于鄰近該底緣面一側(cè)凹設(shè)至少二缺槽以分別對應(yīng)扣合那些彈性勾。
2.如權(quán)利要求1所述的潔凈容器的氣孔裝置，其特征在于它還包括一O形環(huán)，它環(huán)套于該氣孔座上環(huán)外周。
3.如權(quán)利要求1所述的潔凈容器的氣孔裝置，其特征在于它還包括一濾網(wǎng)，它設(shè)置于該氣孔座與氣孔蓋的頂面之間。
4.如權(quán)利要求1所述的潔凈容器的氣孔裝置，其特征在于所述的氣孔蓋，其扣鉤前緣形成一斜面。
5.如權(quán)利要求1所述的潔凈容器的氣孔裝置，其特征在于所述的氣孔蓋，其扣鉤前緣內(nèi)側(cè)設(shè)有一突起。
6.如權(quán)利要求1所述的潔凈容器的氣孔裝置，其特征在于所述的氣孔蓋，其扣鉤后緣內(nèi)側(cè)設(shè)有一凹槽。
7.如權(quán)利要求1所述的潔凈容器的氣孔裝置，其特征在于所述的氣孔座，其彈性勾前緣內(nèi)側(cè)形成一斜面。
8.如權(quán)利要求1所述的潔凈容器的氣孔裝置，其特征在于所述的氣孔環(huán)，它以超聲波熔著于該潔凈容器的通氣孔上。
9.如權(quán)利要求1所述的潔凈容器的氣孔裝置，其特征在于所述的氣孔座，其頂面形成一鏤空隔板。
10.如權(quán)利要求1所述的潔凈容器的氣孔裝置，其特征在于所述的氣孔蓋，其頂面形成一鏤空隔板。
專利摘要本實用新型涉及一種潔凈容器的氣孔裝置,它包括有:氣孔環(huán)、氣孔座、及氣孔蓋。它利用氣孔蓋的內(nèi)環(huán)塞入氣孔座環(huán)狀部內(nèi),使得氣孔座軸向延伸的彈性鉤扣合于氣孔蓋缺槽形成結(jié)合;再整體以氣孔座的上環(huán)塞入氣孔環(huán)內(nèi)環(huán)面內(nèi),并旋轉(zhuǎn)氣孔蓋使其外部扣鉤鉤合于氣孔環(huán)凸塊上以完成組裝。當反轉(zhuǎn)氣孔蓋使其扣鉤脫離凸塊便可快速拆下。加設(shè)O形環(huán)于氣孔座凸緣與氣孔環(huán)下緣面之間,可受擠壓以形成氣密。也可增設(shè)濾網(wǎng)以保持氣流潔凈。本實用新型可以較大孔徑組設(shè)于潔凈容器適當位置上,可快速平衡潔凈容器內(nèi)外氣壓差,并保持氣流穩(wěn)定。
文檔編號B65D51/16GK2492516SQ0126067
公開日2002年5月22日 申請日期2001年9月12日 優(yōu)先權(quán)日2001年9月12日
發(fā)明者吳宗明, 蘇戊成, 蔡昇富 申請人:財團法人工業(yè)技術(shù)研究院