專利名稱：同位多軌式自動化傳送系統(tǒng)及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種自動化傳送系統(tǒng)及方法，特別是關(guān)于一種可使傳送效率更加提高的同位多軌式自動化傳送系統(tǒng)及方法。
背景技術(shù)：
一般來說，目前半導(dǎo)體工廠主要采用OHT架設(shè)起重機(over-head hoist)型或OHS架設(shè)輸送機(over-head shuttle)型的自動化傳送系統(tǒng)來搬運晶片。
參閱圖1，為便于說明，一公知的自動化傳送系統(tǒng)1具有一傳送軌道11以及數(shù)個搬運臺車12、13、14、15。這些搬運臺車12、13、14、15可以是OHT型或OHS型的搬運臺車，并且裝載有晶片裝卸模塊(foup)16。在傳送軌道11旁邊則設(shè)置有數(shù)個晶片載卸模塊倉儲裝置17、18。當(dāng)搬運臺車12、13、14、15行進至晶片載卸模塊倉儲裝置17、18之旁時，可將其所裝載的晶片載卸模塊16移置在晶片載卸模塊倉儲裝置17、18中，然后搬運臺車12、13、14、15再沿著傳送軌道11繼續(xù)前進。
然而，這種公知的自動化傳送系統(tǒng)1具有諸多缺點，分別敘述如下。首先，當(dāng)搬運臺車14行進至晶片載卸模塊倉儲裝置17旁以執(zhí)行移置晶片載卸模塊16的動作時，其后方的搬運臺車15必須停下等候，直到搬運臺車14的卸載動作完成，因此會使自動化傳送系統(tǒng)1產(chǎn)生堵塞停頓情況。再有，當(dāng)搬運臺車14已在晶片載卸模塊倉儲裝置17卸下其所裝載的晶片載卸模塊16后，搬運臺車14仍必須沿著傳送軌道11前進，直到走完整個傳送流程為止，這就增加了搬運臺車14不必要的行進路程。此外，如搬運臺車(例如搬運臺車13)發(fā)生故障而停止不動時，則會連代其后方的搬運臺車14、15跟著一起無法前進，因此嚴重影響制造過程的進行。
因此，本發(fā)明的目的是提供一種同位多軌式自動化傳送系統(tǒng)，其可大幅度提高晶片載卸模塊的傳送效率，即使當(dāng)搬運臺車發(fā)生故障時，也不至于影響整個制造過程的進行，進而有效的改善制造的效率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一目的提供一種同位多軌式自動化傳送系統(tǒng)。該同位多軌式自動化傳送系統(tǒng)包括一主軌道；多個搬運臺車，其在該主軌道上行進；一裝卸軌道，具有一第一入口端以及一第一出口端，其中該第一入口端以及第一出口端連接在該主軌道上，搬運臺車經(jīng)由第一入口端進入裝卸軌道，并且經(jīng)由第一出口端再進入主軌道；一倉儲裝置，設(shè)置在裝卸軌道旁，其中，這些搬運臺車經(jīng)由裝卸軌道而?？坑趥}儲裝置，以便裝載或卸載一物料；一節(jié)流軌道，具有一第二入口端以及一第二出口端，其中，該第二入口端以及第二出口端連接在主軌道上，這些搬運臺車經(jīng)由第二入口端進入節(jié)流軌道，并且經(jīng)由第二出口端再進入主軌道；以及一緊急退出軌道，連接于主軌道，其中這些搬運臺車經(jīng)由緊急退出軌道而離開主軌道。
同時，根據(jù)本發(fā)明的同位多軌式自動化傳送系統(tǒng)，還包括一第一程序控制裝置，設(shè)置在第一出口端與主軌道的連接處，用以控制搬運臺車的通過順序。
根據(jù)如上所述的系統(tǒng)，還包括一第二順序控制裝置，設(shè)置在第二出口端與主軌道的連接處，用以控制搬運臺車的通過順序。
根據(jù)如上所述的系統(tǒng)，該物料是一晶片載卸模塊。
根據(jù)如上所述的系統(tǒng)，該倉儲裝置是一晶片載卸模塊倉儲裝置。
根據(jù)如上所述的系統(tǒng)，搬運臺車是OHS型搬運臺車。
根據(jù)如上所述的系統(tǒng)，搬運臺車是OHT型搬運臺車。
根據(jù)如上所述的系統(tǒng)，還包括一機械手，設(shè)置于裝卸軌道與倉儲裝置之間，用以將物料裝載或卸載在搬運臺車上。
本發(fā)明的另一目的是提供一種同位多軌式自動化傳送方法，適用于包括一主軌道、多個搬運臺車、一裝卸軌道、一倉儲裝置、一節(jié)流軌道以及一緊急退出軌道的同位多軌式自動化傳送系統(tǒng)中，其中，搬運臺車在主軌道上行進，該裝卸軌道具有一第一入口端以及一第一出口端，第一入口端以及第一出口端連接于主軌道，倉儲裝置設(shè)置在裝卸軌道旁，節(jié)流軌道具有一第二入口端以及一第二出口端，該第二入口端以及第二出口端連接于主軌道，緊急退出軌道連接于主軌道，該方法包括下列步驟當(dāng)搬運臺車需要裝載或卸載一物料時，將搬運臺車經(jīng)由第一入口端導(dǎo)入裝卸軌道；將搬運臺車?？吭趥}儲裝置，以便裝載或卸載物料；將搬運臺車經(jīng)由第一出口端導(dǎo)入主軌道；將搬運臺車經(jīng)由第二入口端導(dǎo)入節(jié)流軌道，以便節(jié)省搬運臺車的行進時間；將搬運臺車經(jīng)由第二出口端導(dǎo)入主軌道；以及當(dāng)搬運臺車發(fā)生故障時，將搬運臺車導(dǎo)入緊急退出軌道，以便離開主軌道。
同時，根據(jù)本發(fā)明的同位多軌式自動化傳送方法，還包括一步驟即用一機械手將物料裝載或卸載在搬運臺車上。
根據(jù)上述方法，還包括一步驟即用一第一順序控制裝置來控制經(jīng)由第一出口端導(dǎo)入該主軌道以及在該主軌道上行進的搬運臺車的通過順序。
根據(jù)如上所述的方法，還包括一步驟即用一第二順序控制裝置來控制經(jīng)由第二出口端導(dǎo)入該主軌道以及在主軌道上行進的搬運臺車的通過順序。
為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例并配合附圖做詳細說明。


圖1顯示一公知的自動化傳送系統(tǒng)的示意圖；以及圖2顯示本發(fā)明的同位多軌式自動化傳送系統(tǒng)的示意圖。
具體實施例方式
配合

本發(fā)明的較佳實施例。
參閱圖2，本發(fā)明的同位多軌式自動化傳送系統(tǒng)100主要包括一主軌道110、多個搬運臺車120、多個裝卸軌道130、多個倉儲裝置140、多個節(jié)流軌道150以及多個緊急退出軌道160。每一個裝卸軌道130都具有一第一入口端131以及一第一出口端132，并且第一入口端131以及第一出口端132連接于主軌道110。倉儲裝置140設(shè)置在裝卸軌道130旁邊。每一個節(jié)流軌道150都具有一第二入口端151以及一第二出口端152，并且第二入口端151以及第二出口端152也連接于主軌道110。緊急退出軌道160則是連接于主軌道110，并可設(shè)置在主軌道110的任何部分。
在該實施例中，搬運臺車120可以是OHT型或OHS型的搬運臺車，在搬運臺車120上可裝載有一晶片載卸模塊(foup)170，而倉儲裝置140則為一晶片載卸模塊倉儲裝置。
參閱圖2，搬運臺車120主要是在主軌道110上行進，當(dāng)一搬運臺車120被要求在晶片載卸模塊倉儲裝置140處卸載晶片載卸模塊170時，該搬運臺車120將經(jīng)由第一入口端131進入裝卸軌道130，而其余的搬運臺車120則繼續(xù)沿主軌道110行進，所以不會造成主軌道110上的搬運臺車120堵塞等候的情況。同時，當(dāng)搬運臺車120?？吭诰d卸模塊倉儲裝置140時，可以利用一機械手(未顯示)來卸載搬運臺車120上的晶片載卸模塊170。接著，卸載后的搬運臺車120可以經(jīng)由第一出口端132再進入主軌道110。
此后，由于卸載后的搬運臺車120已完成其傳送任務(wù)，所以沒有必要再繼續(xù)沿著主軌道110行進，因此，卸載后的搬運臺車120可經(jīng)由第二入口端151進入節(jié)流軌道150，然后再經(jīng)由第二出口端152進入主軌道110，并返回至主軌道110的出發(fā)點。值得注意的是，在主軌道110上可設(shè)置有多個節(jié)流軌道150，因此任何一臺搬運臺車120在完成其傳送任務(wù)后，都可經(jīng)由距其最近的節(jié)流軌道150返回至主軌道110的出發(fā)點。而這些先完成傳送任務(wù)并先返回的搬運臺車120，可以再裝載晶片載卸模塊170，以進行另一次傳送任務(wù)，因此，所需的時間可以大幅度減少。
此外，如圖2所示，由于主軌道110上還設(shè)置有多個緊急退出軌道160，所以萬一有搬運臺車120發(fā)生故障而無法行進時，可以將發(fā)生故障的搬運臺車120引導(dǎo)至最近的緊急退出軌道160上，以便于進行維修。因此，即使搬運臺車120發(fā)生故障而無法行進時，也不會影響同位多軌式自動化傳送系統(tǒng)100的全部運作。
如上所述，本發(fā)明的同位多軌式自動化傳送系統(tǒng)100還具有另一特點，如圖2所示，在裝卸軌道130的第一出口端132與主軌道110的連接處，還具有一第一順序控制裝置180，該第一順序控制裝置180用于控制搬運臺車120的通過順序。也就是說，當(dāng)卸載后的搬運臺車120準備經(jīng)由裝卸軌道130的第一出口端132進入主軌道110的同時，主軌道110上也可能會有搬運臺車120通過第一出口端132與主軌道110的連接處，因此，當(dāng)卸載后的搬運臺車120或主軌道110上的搬運臺車120到達第一順序控制裝置180時，通過第一順序控制裝置180的分析對比，來決定哪一臺搬運臺車120可以先行通過第一出口端132與主軌道110的連接處，這樣即可避免二搬運臺車120發(fā)生碰撞。
同樣，在節(jié)流軌道150的第二出口端152與主軌道110的連接處也具有一第二順序控制裝置190，該第二順序控制裝置190也是用來控制搬運臺車120的通過順序。換句話說，當(dāng)搬運臺車120準備經(jīng)由節(jié)流軌道150的第二出口端152進入主軌道110的同時，主軌道110上也可能會有搬運臺車120通過第二出口端152與主軌道110的連接處，因此，當(dāng)來自節(jié)流軌道150的搬運臺車120或主軌道110上的搬運臺車120到達第二順序控制裝置190時，通過第二順序控制裝置190的分析對比，來決定哪一臺搬運臺車120可以先行通過第二出口端152與主軌道110的連接處，因此即可避免二搬運臺車120發(fā)生碰撞。
綜上所述，本發(fā)明的同位多軌式自動化傳送系統(tǒng)100具有以下的優(yōu)點(1)可大幅度提高傳送效率，并節(jié)省運作時間。
(2)在系統(tǒng)或搬運臺車發(fā)生故障時可降低影響范圍，不至于影響自動化傳送的全面運作。
雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭示，但其并非用以限制本發(fā)明，任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的實質(zhì)和范圍內(nèi)，可作出更動與修改，因此本發(fā)明的保護范圍是以后附的權(quán)利要求書所界定。
權(quán)利要求
1.一種同位多軌式自動化傳送系統(tǒng)，包括一主軌道；多個搬運臺車，其在所述主軌道上行進；一裝卸軌道，具有一第一入口端以及一第一出口端，其中，所述第一入口端以及第一出口端連接于主軌道，所述搬運臺車經(jīng)由第一入口端進入裝卸軌道，并且經(jīng)由第一出口端再進入主軌道；一倉儲裝置，設(shè)置在裝卸軌道旁，其中搬運臺車經(jīng)由裝卸軌道而?？坑趥}儲裝置，以便裝載或卸載一物料；一節(jié)流軌道，具有一第二入口端以及一第二出口端，其中所述第二入口端以及第二出口端連接于主軌道，搬運臺車經(jīng)由第二入口端進入節(jié)流軌道，并且經(jīng)由第二出口端再進入主軌道；以及一緊急退出軌道，連接于主軌道，其中搬運臺車經(jīng)由緊急退出軌道而離開主軌道。
2.如權(quán)利要求1所述的同位多軌式自動化傳送系統(tǒng)，還包括一第一順序控制裝置，設(shè)置在第一出口端與該主軌道的連接處，用以控制搬運臺車的通過順序。
3.如權(quán)利要求1所述的同位多軌式自動化傳送系統(tǒng)，還包括一第二順序控制裝置，設(shè)置在第二出口端與主軌道的連接處，用以控制搬運臺車的通過順序。
4.如權(quán)利要求1所述的同位多軌式自動化傳送系統(tǒng)，其中所述物料是一晶片載卸模塊。
5.如權(quán)利要求1所述的同位多軌式自動化傳送系統(tǒng)，其中所述倉儲裝置是一晶片載卸模塊倉儲裝置。
6.如權(quán)利要求1所述的同位多軌式自動化傳送系統(tǒng)，其中所述搬運臺車為OHS型搬運臺車。
7.如權(quán)利要求1所述的同位多軌式自動化傳送系統(tǒng)，其中所述搬運臺車為OHT型搬運臺車。
8.如權(quán)利要求1所述的同位多軌式自動化傳送系統(tǒng)，還包括一機械手，設(shè)置于裝卸軌道與倉儲裝置之間，用以將物料裝載或卸載于搬運臺車。
9.一種同位多軌式自動化傳送方法，適用于具有一主軌道、多個搬運臺車、一裝卸軌道、一倉儲裝置、一節(jié)流軌道以及一緊急退出軌道的一同位多軌式自動化傳送系統(tǒng)中，其中，所述搬運臺車在主軌道上行進，裝卸軌道具有一第一入口端以及一第一出口端，第一入口端以及第一出口端連接子主軌道，倉儲裝置設(shè)置在裝卸軌道旁，節(jié)流軌道具有一第二入口端以及一第二出口端，第二入口端以及第二出口端連接于主軌道，以及緊急退出軌道連接于該主軌道，該方法包括下列步驟當(dāng)搬運臺車需要裝載或卸載一物料時，將搬運臺車經(jīng)由第一入口端導(dǎo)入裝卸軌道；將搬運臺車停靠在倉儲裝置以便裝載或卸載物料；將搬運臺車經(jīng)由第一出口端導(dǎo)入主軌道；將搬運臺車經(jīng)由第二入口端導(dǎo)入節(jié)流軌道，以節(jié)省搬運臺車的行進時間；將搬運臺車經(jīng)由第二出口端導(dǎo)入主軌道；以及當(dāng)搬運臺車發(fā)生故障時，將搬運臺車導(dǎo)入緊急退出軌道，以便離開主軌道。
10.如權(quán)利要求9所述的同位多軌式自動化傳送方法，其中在?？堪徇\臺車于倉儲裝置以裝載或卸載物料的步驟中，還包括一步驟用一機械手將物料裝載或卸載在搬運臺車。
11.如權(quán)利要求10所述的同位多軌式自動化傳送方法，其中所述機械手設(shè)置在裝卸軌道與倉儲裝置之間。
12.如權(quán)利要求9所述的同位多軌式自動化傳送方法，其中在將搬運臺車經(jīng)由第一出口端導(dǎo)入主軌道的步驟中，還包括一步驟用一第一順序控制裝置來控制經(jīng)由第一出口端導(dǎo)入主軌道以及在主軌道上行進的搬運臺車的通過順序。
13.如權(quán)利要求12所述的同位多軌式自動化傳送方法，其中所述第一順序控制裝置設(shè)置在第一出口端與主軌道的連接處。
14.如權(quán)利要求9所述的同位多軌式自動化傳送方法，其中在將搬運臺車經(jīng)由第二出口端導(dǎo)入主軌道的步驟中，還包括一步驟用一第二順序控制裝置來控制經(jīng)由第二出口端導(dǎo)入主軌道以及在主軌道上行進的搬運臺車的通過順序。
15.如權(quán)利要求14所述的同位多軌式自動化傳送方法，其中所述第二順序控制裝置設(shè)置在第二出口端與主軌道的連接處。
16.如權(quán)利要求9所述的同位多軌式自動化傳送方法，其中所述物料是一晶片載卸模塊。
17.如權(quán)利要求9所述的同位多軌式自動化傳送方法，其中所述倉儲裝置是一晶片載卸模塊倉儲裝置。
18.如權(quán)利要求9所述的同位多軌式自動化傳送方法，其中所述搬運臺車是OHS型搬運臺車。
19.如權(quán)利要求9所述的同位多軌式自動化傳送方法，其中所述搬運臺車是OHT型搬運臺車。
全文摘要
一種同位多軌式自動化傳送系統(tǒng)。該同位多軌式自動化傳送系統(tǒng)包括一主軌道、多個搬運臺車、一裝卸軌道、一倉儲裝置、一節(jié)流軌道以及一緊急退出軌道。搬運臺車在主軌道上行進。裝卸軌道連接于主軌道，并且具有一第一入口端以及一第一出口端。倉儲裝置設(shè)置在裝卸軌道旁，搬運臺車經(jīng)由裝卸軌道而?？坑趥}儲裝置，以裝載或卸載一物料。節(jié)流軌道連接于主軌道，并且具有一第二入口端以及一第二出口端。緊急退出軌道連接于主軌道，搬運臺車可經(jīng)由緊急退出軌道而離開主軌道。
文檔編號B65G49/07GK1532129SQ03107659
公開日2004年9月29日 申請日期2003年3月24日 優(yōu)先權(quán)日2003年3月24日
發(fā)明者劉國泰 申請人:力晶半導(dǎo)體股份有限公司