專利名稱:用于傳送襯底載體的方法和設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明總體上涉及半導(dǎo)體器件制造系統(tǒng),尤其是涉及在制造設(shè)備內(nèi)部對襯底載體的傳送。
相關(guān)申請的交叉引用本申請涉及下述共同轉(zhuǎn)讓的懸而未決美國專利申請,在此通過引用將其中的內(nèi)容結(jié)合入本發(fā)明序列號為No.10/650310、于2003年8月28日提交的美國專利申請,其題目為“System For Transporting Substrate Carriers”(代理人卷號為No.6900);序列號為No.10/650312、于2003年8月28日提交的美國專利申請,其題目為“Method and Apparatus for Using Substrate Carrier Movement toActuate Substrate Carrier Door Opening/Closing”(代理人卷號為No.6976);序列號為No.10/650481、于2003年8月28日提交的美國專利申請,其題目為“Method and Apparatus for Unloading Substrate Carriers fromSubstrate Carrier Transport Systems”(代理人卷號為No.7024);序列號為No.10/650479、于2003年8月28日提交的美國專利申請,其題目為“Method and Apparatus for Supplying Substrate to a Processing Tool”(代理人卷號為No.7096);序列號為No.60/407452、于2002年8月31日提交的美國專利申請,其題目為“End Effector Having Mechamism For Reorienting A Wafer CarrierBetween Vertical And Horizontal Orientations”(代理人卷號為No.7097/L);序列號為No.60/407337、于2002年8月31日提交的美國專利申請,其題目為“Wafer Loading Station with Docking Grippers at Docking Stations”(代理人卷號為No.7099/L);序列號為No.10/650311、于2003年8月28日提交的美國專利申請,其題目為“Substrate Carrier Door having Door Latching and Substrate ClampingMechanism”(代理人卷號為No.7156);序列號為No.10/650480、于2003年8月28日提交的美國專利申請,其題目為“Substrate Carrier Handler That Unloads Substrate Carriers DirectlyFrom a Moving Conveyor”(代理人卷號為No.7676);序列號為No.60/443153、于2003年1月27日提交的美國專利申請,其題目為“Overhead Transfer Flange and Support for Suspending Wafer Carrier”(代理人卷號為No.8092/L);序列號為No.60/443001、于2003年1月27日提交的美國專利申請,其題目為“Systems and Methods for Transporting Wafer Carriers BetweenProcessing Tools”(代理人卷號為No.8201/L);以及序列號為No.60/443115、于2003年1月27日提交的美國專利申請,其題目為“Apparatus and Method for Storing and Loading Wafer Carriers”(代理人卷號No.8202/L)。
背景技術(shù):
半導(dǎo)體器件的制造過程一般涉及執(zhí)行一系列與襯底相關(guān)的工序,所述襯底比如是硅襯底、玻璃板等等。這些步驟會包括拋光、淀積、蝕刻、影印、熱處理等等。通常,若干的不同處理步驟可以在單個處理系統(tǒng)或者“工具”中執(zhí)行,該處理系統(tǒng)或者“工具”包括若干的處理腔室。但是,通常的情況是需要在制造設(shè)備內(nèi)部的其它處理位置處執(zhí)行其它工藝,并且因此需要在制造設(shè)備內(nèi)部將襯底從一個處理位置傳送至另外一個處理位置。根據(jù)待制造的半導(dǎo)體器件的類型,在制造設(shè)備內(nèi)部的許多不同處理位置處,會需求相對較多的處理步驟。
通常在襯底載體內(nèi)部將襯底從一個處理位置傳送至另外一個處理位置,所述襯底載體比如是密閉的匣狀外殼區(qū)段、盒體、容器等等。通常也采用自動化的襯底載體傳送裝置,比如自動制導(dǎo)車輛、高架(overhead)傳送系統(tǒng)、襯底載體操控機(jī)器人等等,來在制造設(shè)備內(nèi)部將襯底載體從一個位置移動至另外一個位置,或者將襯底載體從一個襯底載體傳送裝置上傳送下來或傳送至其上。
對于單個襯底來說,總的制造過程,從原生襯底的成形或者接收開始至從成品襯底上裁切下半導(dǎo)體器件,會需要消耗數(shù)以周計或者數(shù)以月計的時間。在一般的制造設(shè)備,若干的襯底可以由此在任何給定的時間點處作為“加工品”(WIP)存在。在制造設(shè)備中作為WIP存在的襯底會占用若干的流動資本,這往往會增加每個襯底的制造成本。因此,所希望的是對于制造設(shè)備的給定襯底生產(chǎn)能力來說,減少WIP的量。為此,必須降低用于處理各個襯底的總計耗費時間。
先前結(jié)合入本發(fā)明的、序列號為No.10/650310、于2003年8月28日提交的、題目為“System for Transporting Semiconductor Substrate Carriers”的美國專利申請(代理人卷號為No.6900)公開了一種襯底載體傳送系統(tǒng),其包括一個用于襯底載體的傳送裝置,在其所服役的制造設(shè)備的工作過程中,所述傳送裝置力圖恒速運轉(zhuǎn)。恒速移動的傳送裝置將有利于在制造設(shè)備內(nèi)部對襯底進(jìn)行傳送,以便減少各個襯底在制造設(shè)備中的總“滯留”時間;由此減少WIP,并且削減資本和制造成本。所希望的是用于這種傳送裝置的經(jīng)改進(jìn)設(shè)計以及工作方法。
發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明的第一方面,提供了一種第一傳送系統(tǒng),其適合于在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備中對襯底載體進(jìn)行傳送。該第一傳送系統(tǒng)包括一條帶條(aribbon),該帶條沿著半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分形成一個閉合回路。所述帶條適合于(1)在水平平面中為柔性而在豎直平面中為剛性;和(2)在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分內(nèi)傳送若干的襯底載體。
在本發(fā)明的第二方面,提供了一種第二傳送系統(tǒng),其類似于第一傳送系統(tǒng)。除了第一傳送系統(tǒng)所具有的特征之外,在該第二傳送系統(tǒng)中,所述帶條適合于連續(xù)旋轉(zhuǎn);并且若干的支架被剛性聯(lián)結(jié)在所述帶條上。各個支架均適合于在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分內(nèi)支撐和傳送一個襯底載體。該第二傳送系統(tǒng)還包括(1)一個或者多個適合于與所述帶條發(fā)生接觸并且旋轉(zhuǎn)所述帶條的驅(qū)動輪;(2)一個或者多個適合于與所述帶條發(fā)生接觸并且減小所述帶條在其旋轉(zhuǎn)時的橫向運動的約束輪;以及(3)一個或者多個適合于在所述帶條旋轉(zhuǎn)時支撐所述帶條的支撐輪。所述一個或者多個驅(qū)動輪、一個或者多個約束輪以及一個或者多個支撐輪均適合于在所述帶條運行的過程中進(jìn)行更換。按照本發(fā)明的這些和其它方面,提供了多種其它形式,比如系統(tǒng)、方法和計算機(jī)程序產(chǎn)品。在這里所述的各種計算機(jī)程序制品可以被承載在能夠由計算機(jī)進(jìn)行讀取的介質(zhì)上(比如載波信號、軟盤、光盤、DVD、硬盤驅(qū)動器、隨機(jī)讀取存儲器等等)。
本發(fā)明中的方法和設(shè)備提供了一種用于在一個或者多個半導(dǎo)體器件制造設(shè)備內(nèi)部傳送襯底載體的高效并且可靠的布置方案。
從下面對示例性實施例的詳細(xì)描述、所附的權(quán)利要求以及附圖中,本發(fā)明的其它特征和方面將更為全面地得以顯現(xiàn)。
圖1A和1B是一個按照本發(fā)明構(gòu)造而成的傳送裝置中的一部分相應(yīng)第一和第二示例性帶條的示例性透視圖。
圖2是一個按照本發(fā)明包括有一根帶條的傳送系統(tǒng)的示意圖,所述帶條在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的一部分內(nèi)形成了一個簡單回路。
圖3是一個按照本發(fā)明包括有一根帶條的傳送系統(tǒng)的示意圖,所述帶條在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的一部分內(nèi)形成了一個蜿蜒回路。
圖4是一個按照本發(fā)明包括有多根帶條的傳送系統(tǒng)的示意圖,所述帶條在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的一部分內(nèi)形成了簡單回路和蜿蜒回路。
圖5是一個按照本發(fā)明的第三示例性帶條的透視圖。
圖6是圖5中所示帶條的特寫透視圖。
圖7是圖5中所示帶條的平面俯視圖。
圖8是圖5和7中所示帶條的特寫平面俯視圖。
圖9是一個按照本發(fā)明的第四示例性帶條的透視圖,包括沿著它們長度方向平行聯(lián)結(jié)起來的第一和第二帶條部分。
圖10是圖9中所示獨創(chuàng)性帶條的一部分的透視圖,為了顯露出沿著該帶條長度方向進(jìn)行延伸的粘結(jié)帶,一部分被去除。
圖11是圖9中所示獨創(chuàng)性帶條的平面俯視圖。
圖12是一個按照本發(fā)明的第五示例性帶條的透視圖,具有分別由分離的材料元件形成的豎直部分和水平部分。
圖13A是一個示例性支撐系統(tǒng)的一部分的側(cè)向示意圖,該支撐系統(tǒng)可以被用來容納、支撐、驅(qū)動和/或約束一根按照本發(fā)明提供的帶條。
圖13B是一個獨創(chuàng)性支撐系統(tǒng)中的示例性平直部分的透視圖,用于容納納、驅(qū)動、約束和/或支撐按照本發(fā)明提供的帶條的一部分。
圖14是圖13中所示獨創(chuàng)性支撐系統(tǒng)的側(cè)視圖。
圖15和16是一個按照本發(fā)明被固定在一個驅(qū)動輪單元支架上的獨創(chuàng)性驅(qū)動輪單元的前向透視圖和平面仰視圖。
圖17和18是一個按照本發(fā)明處于“鎖定”方位的約束輪單元的后向透視圖和平面仰視圖。
圖19和20是一個按照本發(fā)明處于“裝載”方位的約束輪單元的后向透視圖和平面仰視圖。
圖21和22是按照本發(fā)明的約束輪單元的替代實施例的透視圖。
圖23是一個按照本發(fā)明的支撐輪單元的透視圖。
圖24是一個適合于傳送若干襯底載體的第六示例性帶條的示例性實施例。
圖25A和25B分別是一個按照本發(fā)明提供的第七示例性帶條的透視圖和側(cè)視圖。
圖26是一個按照本發(fā)明提供的第八示例性帶條的透視圖。
具體實施例方式
按照本發(fā)明的至少一個方面,提供了一種獨創(chuàng)性的傳送系統(tǒng),用于在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備中的一個或者多個處理工具之間傳送襯底載體。這種獨創(chuàng)性的傳送系統(tǒng)可以包括一條由不銹鋼或者類似材料形成的帶條,其在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分內(nèi)形成一個閉合回路,并且在其中傳送襯底載體。通過對所述帶條進(jìn)行定向,使得帶條上的較厚部分處于一個豎直平面內(nèi)而較薄部分處于一個水平平面內(nèi),該帶條在所述水平平面中為柔性,而在所述豎直平面中呈剛性。這種構(gòu)造允許以不太高的成本制造或?qū)嵤┧霆殑?chuàng)性傳送裝置。例如,所述帶條需要較少的材料進(jìn)行構(gòu)造,易于制取,并且由于其垂直剛性/強度,可以在無需輔助支撐結(jié)構(gòu)(比如輥子或者用于常規(guī)臥式帶型傳送系統(tǒng)中的其它類似機(jī)構(gòu))的條件下支撐多個襯底載體的重量。還有,所述傳送系統(tǒng)高度用戶化,因為所述帶條具有橫向彎曲性,所以它們可以被彎曲、彎折或者以其它方式加工成多種形狀。
在本發(fā)明的一個或者多個實施例中,使用一個或者多個驅(qū)動輪或者其它驅(qū)動機(jī)構(gòu)對所述傳送系統(tǒng)中的帶條進(jìn)行旋轉(zhuǎn)或者“驅(qū)動”,并且使用一個或者多個支撐輪或者其它支撐機(jī)構(gòu)對所述帶條進(jìn)行支撐。例如,所述驅(qū)動輪可以沿著帶條的一個豎直部分與其發(fā)生接觸并且對其進(jìn)行驅(qū)動,而所述支撐輪可以沿著帶條的一個水平部分與其發(fā)生接觸并且對其進(jìn)行支撐。以這種方式,所述用于帶條的驅(qū)動機(jī)構(gòu)與所述用于帶條的支撐機(jī)構(gòu)分離開,并且均可以獨立伺服。在一個獨特的實施例中,所述獨創(chuàng)性傳送系統(tǒng)中的各個驅(qū)動輪和/或支撐輪可以在所述帶條運行的同時得以更換(比如允許所述帶條如后面所描述的那樣連續(xù)旋轉(zhuǎn))。一個或者多個約束輪或者其它約束機(jī)構(gòu)可以被用來橫向穩(wěn)定和/或以其它方式減輕所述帶條在旋轉(zhuǎn)過程中的橫向運動。如同所述驅(qū)動輪和支撐輪那樣,至少在本發(fā)明的一個實施例中,各個約束輪可以在所述帶條運行的同時得以更換。下面參照圖1A-23對本發(fā)明的多個其它實施例和/或方面進(jìn)行描述。
作為在此使用的術(shù)語,帶條指的是一種至少其一部分大體扁平的結(jié)構(gòu)(比如其高度和/或長度明顯大于其寬度)。帶條可以由一種或者多種材料制成和/或由一個或者多個元件構(gòu)成。例如,圖1A和1B分別是一個按照本發(fā)明構(gòu)造而成的傳送裝置(未單獨示出)中第一帶條101a和第二帶條101b的一部分的示例性透視圖。如圖1A中所示,第一帶條101a可以由一個整體式材料元件制成,和/或可以包括一個用于支撐襯底載體的帶條狀豎直部分103a和一個用于支撐第一帶條101a的水平部分105a(如同下面描述的那樣)。第一帶條101a上的豎直部分103a具有一個高度H和長度L,它們明顯大于第一帶條101a的寬度W。同樣,如圖1B中所示,第二帶條101b包括一個第一豎直部分103b和一個第二豎直部分103b′,以及一個第一水平部分105b和一個第二水平部分105′。盡管帶條101a和101b上的水平部分的橫剖面形狀分別被圖示為扁平和呈三角形,但是將會明白的是,對于按照本發(fā)明的帶條上的水平部分來說也可以采用其它形狀。
示例性傳送系統(tǒng)圖2是一個第一示例性傳送系統(tǒng)106的示意圖,其包括一根按照本發(fā)明提供的帶條101c,該帶條101c在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備109的一部分內(nèi)形成一個簡單回路107。帶條109比如可以包括在此所描述的任何獨創(chuàng)性帶條。帶條101c在處理工具111之間傳送襯底載體,并且包括平直部分115和彎曲部分119,以便形成(閉合)回路107。
圖3是一個第二示例性傳送系統(tǒng)121的示意圖,其包括一根按照本發(fā)明的帶條101d,該帶條101d在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備127的一部分125中形成一個蜿蜒回路123。帶條101d在若干處理工具,比如處理工具139、143、147和151,中的襯底裝載工作站135之間傳送襯底載體(未示出)。如圖3中所示,帶條101d包括多個平直部分115和彎曲部分119(在圖3中均未予以標(biāo)注),以便形成蜿蜒(閉合)回路123。帶條101d可以類似于圖2中示出的帶條101c。
各個襯底裝載工作站135均可以比如包括任何適用設(shè)備,這些設(shè)備適合于(1)從傳送系統(tǒng)121中接收襯底載體;(2)從襯底載體上卸載襯底;和/或(3)將襯底輸送至聯(lián)結(jié)在襯底裝載工作站135上的處理工具。一種可以采用的示例性襯底裝載工作站在先前結(jié)合入本發(fā)明的美國專利申請中予以描述,該美國專利申請的序列號為No.60/407337,于2002年8月31日提交(代理人卷號為No.7099/L),盡管也可以采用其它襯底裝載工作站。各個襯底裝載工作站135均可以被聯(lián)結(jié)在一個處理工具和/或包括一個承載室(load lock),設(shè)備界面(factory interface)或者類似裝置。
圖4是一個第三示例性傳送系統(tǒng)155的示意圖,其包括按照本發(fā)明提供的帶條101e、101f、101g、101h和101j,它們在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備177的相應(yīng)部分159、163、167、171和175中形成簡單和蜿蜒的閉合回路、帶條101e、101f、101g和101h在處理工具139中的襯底裝載工作站179之間傳送襯底載體(未示出)。帶條101j在帶條101e、101f、101g和101h之間傳送襯底載體(未示出)。在帶條101j與帶條101e、101f、101g和101h之間的相應(yīng)交界處,設(shè)置有傳送機(jī)構(gòu)183,用于將襯底載體(未示出)從一根帶條傳送至另外一根帶條,或者恰好相反??梢圆捎蒙儆诨蛘叨嘤谒緮?shù)目的傳送機(jī)構(gòu)。帶條101e、101f、101g、101h和101j均包括平直部分和彎曲部分,并且形成閉合回路,但是僅有帶條101e、101f、101g和101h形成蜿蜓回路。也可以采用其它回路構(gòu)造。帶條101e-j比如可以包括任何在此所描述的獨創(chuàng)性帶條。
示例性獨創(chuàng)帶條圖5是一個按照本發(fā)明提供的第三示例性帶條101k的透視圖。帶條101k(或者至少在圖5中示出的那部分帶條101k)由一個連續(xù)的(單根)材料元件制成。相對于其高度H和長度L而言,帶條101k上的豎直部分103k的寬度W較小。帶條101k上的水平部分105k部分由帶條101k上的材料彎曲部187和191形成,并且呈現(xiàn)一個水平表面193,可以利用該水平表面193支撐帶條101k的重量。在帶條101k上的豎直部分103k上設(shè)置有諸如豎直設(shè)置切槽195這樣的表面標(biāo)記和諸如穿孔197這樣的安裝特征,并且它們沿著帶條101k的長度L以規(guī)則的間距排布,來分別(1)指示由帶條101k進(jìn)行傳送的襯底載體的位置(如下面所描述的那樣);和(2)為適合于由帶條101k進(jìn)行傳送的襯底載體的支架或者托架提供一個牢固和/或剛性的安裝部位(如下面所描述的那樣)。也可以采用其它表面標(biāo)記來指示襯底載體的位置(比如每個襯底載體位置使用兩個或者多個切槽,其它標(biāo)記形狀,反光表面等等)。也可以采用類似的其它安裝特征來支撐襯底載體。
圖6是圖5中所示帶條101k的特寫透視圖,對應(yīng)于圖5中所示出的圓形窗口199。如圖6中所示,形成于帶條101k的端部處的凸塊203(靠近水平部分105k)與形成于帶條101k上的豎直部分103k中的插槽207相匹配,并且被插入其中。在凸塊203與插槽207之間的交界處成形有焊接部(未示出),以防止凸塊203從插槽207中脫出,并且貫穿焊接部(未示出)后方的帶條101k成形有應(yīng)變消除切槽211,來在焊接部所在位置處消除應(yīng)變。也可以采用其它方式將帶條101k上的水平部分105k固定在帶條101k上的豎直部分103k上,比如鉚接的T形部分。
貫穿水平部分105k成形有彎曲特征,比如彎曲切槽219(比如激光或者以其它方式機(jī)械切削而成),并且在靠近水平部分105k上的彎曲部187處成形有應(yīng)變消除開口221(靠近彎曲切槽219),來在帶條101k于水平平面中發(fā)生彎曲和/或彎曲時沿著水平部分105k上的彎曲部187消除應(yīng)變(如下面進(jìn)一步描述的那樣)。
圖7是圖5和6中所示帶條101k的平面俯視圖,而圖8是圖7中所示帶條101k的特寫平面俯視圖,對應(yīng)于圖7中的圓形窗口223。如圖7和8中所示,至少在一個實施例中,貫穿帶條101k上的水平部分105k的彎曲切槽219呈V形,并且從沿著彎曲部187設(shè)置的應(yīng)變消除開口221(圖6)開始垂直于彎曲部187和191進(jìn)行延伸。由于彎曲切槽219貫穿帶條101k上的整個水平部分105k,所以在帶條101k上的水平部分105k的機(jī)構(gòu)中,絕對不會阻礙帶條101k在一個垂直于帶條101k上的豎直部分103k(圖6)的水平平面中發(fā)生彎曲或者以其它方式發(fā)生彎曲,比如沿著圖7和8中的+x方向和-x方向。但是,如果彎曲切槽219在彎曲部191處相對較窄,那么帶條101在+x方向上的彎曲程度將非常有限。由于彎曲切槽219的形狀大體呈“V”形,那么彎曲切槽219的邊緣231與235之間在彎曲部191處的間隙227將遠(yuǎn)大于彎曲切槽219的邊緣231與235之間在彎曲部187處的間隙239。由此,在圖7和8中看到的右側(cè)內(nèi)凹彎曲部(比如在+x方向上的彎曲部)近乎如同左側(cè)內(nèi)凹彎曲部(比如在-x方向上的彎曲部)那樣不受限制。將會明白的是,右向內(nèi)凹彎曲部的彎曲受到限制,會導(dǎo)致彎曲切槽219的邊緣231與235發(fā)生接觸,喪失間隙227并且引起機(jī)械干涉。
取代或者除了V形彎曲切槽219之外,可以提供其它構(gòu)造來提供帶有橫向彎曲性的水平部分105k,比如寬度均一的彎曲切槽或者其它形狀的切槽或者特征。帶條101k的示例性尺寸和材料在后面予以描述。
圖9是一個第四示例性帶條101l的透視圖,其包括沿著它們的長度方向平行聯(lián)結(jié)起來的第一帶條區(qū)段101l′和第二帶條區(qū)段101l″。參照圖9,帶條101l上的水平部分105l包括第一水平部分105l′和第二水平部分105l″,而帶條101l上的豎直部分103l包括第一豎直部分103l′和第二豎直部分103l″。第一帶條區(qū)段101l′上的第一水平部分105l′包括彎曲部187l′和191l′,以及諸如彎曲切槽219l′這樣的彎曲特征,而第二帶條區(qū)段101l″上的第二水平部分105l″包括彎曲部187l″和191l″,以及諸如彎曲切槽219l″這樣的彎曲特征。
圖10是圖9中所示帶條101l的一部分的透視圖,第二帶條區(qū)段101l″被去除,以便顯露出沿著帶條101l的長度方向進(jìn)行延伸的粘結(jié)帶243a、243b和243c(比如雙面膠帶)。粘結(jié)帶243a沿著帶條101l的頂部設(shè)置,靠近水平部分105l,并且將第一帶條區(qū)段101l′上的第一水平部分105l′固定到第二帶條區(qū)段101l″上的第二水平部分105l″上(圖9)。粘結(jié)帶243b沿著帶條101l的中部設(shè)置,而粘結(jié)帶243c沿著帶條101l的底部設(shè)置。粘結(jié)帶243b和243c一同將第一帶條區(qū)段101l′上的第一豎直部分103l′固定到第二帶條區(qū)段101l″上(圖9)的第二豎直部分103l″上(圖9)。對于粘結(jié)帶243a-b來說,也可以采用其它位置。
各根粘結(jié)帶243a-c均可以比如包括一根或者多根高強度雙面膠帶,比如由3M公司生產(chǎn)的VHB膠帶,或者其它適用的粘結(jié)帶。也可以采用其它數(shù)目的粘結(jié)帶,也可以采用其它技術(shù)將帶條101l上的第一帶條區(qū)段101l′和第二帶條區(qū)段101l″聯(lián)結(jié)起來(比如焊接、鉚接、粘結(jié)或者類似技術(shù))。
圖11是圖9中所示帶條101l的平面俯視圖。如圖11中所示,V形彎曲切槽219l′延伸穿過第一帶條區(qū)段101l′上的水平部分105l′,并且在彎曲部191l′處形成一個第一間隙227l′,該第一間隙227l′寬于彎曲部187l′處的第二間隙219l′。V形彎曲切槽219l″延伸穿過第二帶條區(qū)段101l″上的水平部分105l″,并且在彎曲部191l″處形成一個第三間隙227l″,該第三間隙227l″寬于在彎曲部187l″處的第四間隙239l″。如同圖5-8中所示的第三帶條101k上的彎曲切槽219那樣,彎曲切槽219l′和219l″允許第四帶條101l在一個垂直于帶條101l上的豎直部分103l′的水平平面中發(fā)生彎曲和/或以其它方式發(fā)生彎曲(比如沿著圖11中的+x方向和-x方向)。至少在本發(fā)明的一個實施例中,間隙227l′和227l″可以在寬度上基本上相等,使得帶條101l在+x和-x方向上具有相等的彎曲范圍??蛇x擇地,間隙227l′和227l″可以存在差異。取代或者除了V形彎曲切槽219l′和219l″之外,也可以采用其它構(gòu)造來提供具有橫向彎曲性的水平部分105l,比如寬度均一的彎曲切槽或者其它形狀的切槽或者特征。帶條101l的示例性尺寸和材料在后面予以描述。
圖12是一個安裝本發(fā)明提供的第五示例性帶條101m的透視圖,其具有由獨立材料元件支撐的豎直部分103m和水平部分105m。至少在本發(fā)明的一個實施例中,帶條101m上的豎直部分103m中諸如穿孔247這樣的固定特征對應(yīng)于帶條101m上的水平部分105m中的固定特征(比如穿孔251),使得水平部分105m能夠沿著豎直部分103m的長度方向被固定(比如螺接、鉚接或者以其它方式固定)在豎直部分103m上。在本發(fā)明的另外一個實施例中,水平部分105m可以經(jīng)由粘結(jié)(比如在豎直部分103m的一側(cè)或者兩側(cè)使用先前描述過的粘結(jié)帶)、焊接等等被固定在豎直部分103m上(利用或者不利用固定特征)。
水平部分105m可以包括獨立的可固定水平部分區(qū)段255,其被加工成適合于允許豎直部分103m在水平部分區(qū)段255之間不發(fā)生機(jī)械干涉的條件下橫向彎曲。例如,水平部分區(qū)段255可以被加工成在水平部分區(qū)段255被固定在帶條101m上的豎直部分103m上時,相鄰的部分區(qū)段255之間形成間隙,類似于圖5-11中示出的帶條101k和101l上的彎曲特征。也可以采用在此所描述的任何其它構(gòu)造來提供橫向彎曲性。
各個水平部分區(qū)段255均包括一個第一水平部分255a,其適合于從帶條101m上的豎直部分103m的第一側(cè)面開始水平延伸,和一個第二水平部分255b,其適合于從豎直部分103m的第二側(cè)面開始水平延伸。第一水平部分255a和第二水平部分255b可以被聯(lián)結(jié)在一起和/或由一個整體式(連續(xù)的)材料元件制成(如圖所示),或者單獨地和/或由多個材料元件制成。除圖中所示之外,也可以采用其它形狀的水平部分區(qū)段255(比如三角形的)。還有,兩個或者多個水平部分區(qū)段255、第一水平部分255a和/或第二水平部分255b可以由整體式(連續(xù)的)材料元件制成;并且?guī)в泻线m的彎曲特征。
豎直部分130m也可以包括獨立的可固定豎直部分區(qū)段259。例如,各個豎直部分區(qū)段259可以在其一個端部處帶有一個較薄區(qū)域,該較薄區(qū)域即將被聯(lián)結(jié)到另外一個豎直部分區(qū)段259上。以這種方式,豎直部分區(qū)段259上的較薄區(qū)域可以發(fā)生重疊,并且經(jīng)由螺接、鉚接、焊接、粘結(jié)或者其它不會明顯增大帶條101m的寬度和/或影響其彎曲性能的技術(shù)相互固定起來。也可以采用水平部分區(qū)段255來將豎直部分區(qū)段259聯(lián)結(jié)在一起(比如經(jīng)由貫穿兩個背對背的水平部分255a和255b的螺栓、鉚釘或者類似構(gòu)件,當(dāng)各個水平部分區(qū)段255均由一個整體式(連續(xù)的)材料元件構(gòu)成時經(jīng)由夾持作用,等等)。為了所述目的,可以在豎直部分/水平部分內(nèi)設(shè)置額外的固定特征(比如穿孔247、251)(如在圖12中位置261處示出的那樣)。
在本發(fā)明的一個實施例中,在豎直部分103m上豎直部分區(qū)段259重疊的位置處,豎直部分區(qū)段259可以沿著一條傾斜的或者以其它方式定向的接縫263相匹配,并且被固定在特征267處(比如貫穿豎直部分區(qū)段259的螺栓或者鉚釘穿孔)。在豎直部分區(qū)段259重疊的位置處,這些豎直部分的厚度可以是豎直部分103m的總體寬度的一半,以沿著豎直部分103m的長度方向保持均一的彎曲性能。
如果使用了一個整體式材料元件來形成帶條101m上的整個豎直部分103m,那么該豎直部分103m的兩個端部可以如前所述那樣固定起來形成一個連續(xù)回路。在此所描述的任何其它帶條均可以類似地由單個或者多個豎直部分構(gòu)成。
下面將對用于圖1A至圖12中所示帶條101a-m的示例性實施例進(jìn)行描述。將會明白的是,下面列舉的實施例僅用于示例目的,也可以采用其它材料、尺寸和/或其它參數(shù)。為了方便起見,采用“帶條101”來指代在此所描述的任何獨創(chuàng)性帶條。
可以基于多種因素來對用于任何帶條101的材料進(jìn)行選擇,比如材料強度,彎曲性、疲勞速度、成本等等。在一個或者多個實施例中,至少各個帶條101中的豎直部分103由不銹鋼制成,比如301半硬鋼、17-7或者其它合適的不銹鋼。各個帶條101上的水平部分105可以由與帶條101上的豎直部分103相同的材料制成,或者在某些情況下由不同的材料制成。可以用來制取所述帶條的其它適用材料比如包括,具有諸如不銹鋼這樣的內(nèi)部支撐結(jié)構(gòu)的塑料,或者類似材料。
也可以基于這種因素來對各個帶條101上的豎直部分103的厚度進(jìn)行選擇,比如材料強度、彎曲性、疲勞速度、成本等等。此外,并且正如下面進(jìn)一步描述的那樣,可以采用多個驅(qū)動和/或約束輪來驅(qū)動所述帶條和/或在所述帶條旋轉(zhuǎn)的同時減輕其橫向運動。隨著帶條穿越(或者穿過)所述驅(qū)動或者約束輪,帶條會發(fā)生橫向偏斜(比如會增大襯底傳送操作的難度,對于其它傳送組件來說需要更大的轉(zhuǎn)矩,等等)。為了減輕橫向偏斜,帶條101上的豎直部分103的厚度可以增大。但是,增大帶條厚度會增加帶條的疲勞速度。因此,通過合適地選取用于帶條101上的豎直部分103的材料厚度,可以在橫向偏斜量與疲勞速度之間獲得平衡。在一種特別實施例中,其中帶條101由半導(dǎo)體制成,基于這些和/或其它考慮,可以采用厚度在0.04至0.06英寸之間的豎直部分103,更為優(yōu)選的是為0.05英寸左右的豎直部分103。在諸如第二帶條101b(圖1B)和第四帶條101l(圖9)這樣的實施例中,其中兩個帶條部分被聯(lián)結(jié)在一起,可以采用總體厚度為0.04至0.06英寸的不銹鋼豎直部分103,更為優(yōu)選的是0.05英寸的不銹鋼豎直部分103。需要注意的是,粘結(jié)帶243a-c會增大豎直部分的總體厚度(根據(jù)所采用的粘結(jié)帶,比如增大0.015英寸左右)。(較厚的粘結(jié)薄膜會具有較好的振動/聲音阻尼性能,但是會更為易碎)如前所述,對于各種帶條101來說,也可以采用其它材料和/或其它厚度。
可以基于多個因素對帶條101的總體高度進(jìn)行選擇,比如豎直部分103的高度必須適應(yīng)(1)帶條101上的水平部分105;和(2)任何聯(lián)結(jié)在帶條101上(比如諸如圖5中穿孔197所在的安裝位置處)的襯底載體支架(后面予以描述)。其它因素比如可以包括,用于約束和/或驅(qū)動帶條101的輪子的尺寸(后面予以描述)。一般來說,較小的帶條高度會減輕帶條的橫向彎曲。在一個特別實施例中,其中帶條101上的水平部分105占據(jù)了帶條101上的豎直部分103的0.5英寸左右,所采用的帶條高度為六英寸左右,盡管也可以使用其它帶條高度。
可以比如根據(jù)用于支撐帶條的裝置的寬度(比如支撐輪的寬度,后面予以描述)、帶條101在其旋轉(zhuǎn)時的橫向偏移量等等,對帶條101上的水平部分105的寬度進(jìn)行選擇。在一個特別實施例中,水平部分105的總體寬度為1.5英寸左右(例如,在豎直部分103的每一側(cè)上約為0.75英寸),盡管也可以采用其它尺寸。
可以比如基于水平部分105的寬度(比如水平部分105從帶條上的豎直部分103橫向延伸的距離)、在不被損壞和/或永久疲勞的條件下帶條材料可以彎曲的量、相鄰彎曲特征之間的間距、支撐輪尺寸/耐磨性、和/或類似因素,對帶條101上的水平部分105上的彎曲特征的寬度進(jìn)行選擇。一般來說,(帶條上的水平部分上的)彎曲特征的寬度越大,帶條越容易彎曲,并且支撐輪越易于在帶條旋轉(zhuǎn)過程中發(fā)生磨損。還有,相鄰彎曲特征之間較小的間距通常需要較小的彎曲特征寬度來獲得相等的彎曲能力。但是,相鄰彎曲特征之間的間距過小,可以增大帶條的制造成本和/或復(fù)雜程度,并且會降低可靠性。在一個特別實施例中,其中對于不銹鋼帶條來說需要一個36至48英寸的彎曲半徑,可以采用0.034英寸左右的均一彎曲特征寬度和1英寸左右的彎曲特征-彎曲特征間距。也可以采用其它彎曲半徑、彎曲特征尺寸和/或彎曲特征間距。
用于獨創(chuàng)性帶條的示例性支撐系統(tǒng)為了在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備內(nèi)部形成一個用于傳送襯底載體并且采用了在此所述獨創(chuàng)性帶條101中的一種的傳送系統(tǒng)(比如先前參照圖2-4描述過的傳送系統(tǒng)中的一種),所述帶條必須得被支撐起來并且進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。圖13A是一個示例性支撐系統(tǒng)269的一部分的側(cè)向示意圖,該支撐系統(tǒng)269可以被用來在傳送系統(tǒng)中容納納、支撐、驅(qū)動和/或約束帶條101(以虛線示出)。一般來說,支撐系統(tǒng)269可以(或者可以不)環(huán)繞在由帶條101形成的整個閉合回路的周圍。
在圖13A中示出的那部分支撐系統(tǒng)269包括一個外殼區(qū)段271,該外殼區(qū)段271適合于至少環(huán)繞在帶條101的一部分的周圍。例如,外殼區(qū)段271的第一部分272a可以環(huán)繞在帶條101上的水平部分105的周圍,而外殼區(qū)段271的第二部分272b可以至少環(huán)繞在帶條101上的豎直部分103的一部分的周圍。在一個傳送系統(tǒng)內(nèi)部可以采用多個這種外殼區(qū)段來容納和/或支撐一根帶條。
外殼區(qū)段271包括一個或者多個第一開口273,這些第一開口273適合于允許至少一個支撐輪(未示出)在帶條101旋轉(zhuǎn)時接觸和支撐帶條101;和一個或者多個第二開口275,這些第二開口275適合于允許至少一個約束輪(未示出)在帶條101旋轉(zhuǎn)時而接觸帶條101并且減輕帶條101的橫向運動。外殼區(qū)段271也可以包括一個或者多個第三開口277,這些開口277適合于允許一個驅(qū)動輪(未示出)接觸帶條101并且旋轉(zhuǎn)帶條101。所采用的支撐輪、約束輪和/或驅(qū)動輪的數(shù)目可以取決于多個因素,比如外殼區(qū)段271的長度、外殼區(qū)段271是平直的或者是彎曲的、外殼區(qū)段271是否處于會發(fā)生襯底載體傳送操作的位置、在采用了外殼區(qū)段271的傳送系統(tǒng)內(nèi)部可以容許的帶條101的橫向擺動量等等,如同后面進(jìn)一步描述的那樣。
支撐系統(tǒng)269中的外殼區(qū)段271可以由一個或者多個容納支架279支撐起來。一個或者多個護(hù)罩281(在圖13A中僅示出了一個護(hù)罩281的一部分)可以被聯(lián)結(jié)到容納支架279和/或外殼區(qū)段271上,以便對由帶條101進(jìn)行傳送的襯底載體(比如在圖13A中示出的襯底載體283)進(jìn)行防護(hù),和/或?qū)⒉僮魅藛T與帶條101和/或由帶條101進(jìn)行傳送的襯底載體隔離開。如前所述那樣,根據(jù)由外殼區(qū)段271進(jìn)行容納和/或支撐的那部分帶條101,外殼區(qū)段271可以是平直的或者彎曲的。
圖13B和14分別是一個獨創(chuàng)性支撐系統(tǒng)269a中的示例性平直部分的透視圖和側(cè)視圖,用于容納、驅(qū)動、約束和/或支撐一根安裝本發(fā)明的第六帶條101n(圖14)的一部分。該第六帶條101n類似于圖1A中示出的第一帶條101a,并且為一個t形帶條,該t形帶條具有一個由整體式(連續(xù)的)材料元件支撐的水平部分和豎直部分。在此所述的任何其它帶條可以類似地由支撐系統(tǒng)269a進(jìn)行容納、驅(qū)動、約束和/或支撐。
支撐系統(tǒng)269a包括一個外殼區(qū)段271a、兩個或者多個適合于支撐外殼區(qū)段271a的外殼區(qū)段支架279a、一個驅(qū)動輪系統(tǒng)284(在所示出的實施例中包括兩個固定在一個驅(qū)動輪單元支架287上的驅(qū)動輪單元285,外殼區(qū)段271a穿過驅(qū)動輪單元支架287)以及多個固定在外殼區(qū)段271a上的支撐輪單元289/約束輪單元291。也可以采用或多或少的支架279a、驅(qū)動輪單元285、支撐輪單元289和/或約束輪單元291。
至少帶條101n(圖14)的一部分被容納于外殼區(qū)段271a中,并且允許穿過該外殼區(qū)段271a。帶條101n(圖14)相應(yīng)地可以通過如后面進(jìn)一步描述的那樣使用托架或者其它支架292(圖14)來傳送襯底載體283a(圖14)。如先前參照圖13A所描述的那樣,外殼區(qū)段271a具有一些開口(未示出),用于允許驅(qū)動輪單元285、支撐輪單元289以及約束輪單元291中的輪子(未示出)在帶條101n旋轉(zhuǎn)時與帶條101n發(fā)生接觸(比如穿過外殼區(qū)段271a)。
至少在本發(fā)明的一個實施例中,外殼區(qū)段271a的端部可以滑動入支架279a之內(nèi),并且利用緊固件293(比如螺栓、螺釘或者類似構(gòu)件)固定于此。支架279a還提供了安裝特征,比如帶有切槽的穿孔295或者其它特征,它們允許支架279a與外殼區(qū)段271a一同被懸空固定,比如從半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的頂棚上。
至少在本發(fā)明的一個實施例中,護(hù)罩281a(在圖13B中僅示出了其中的一個)在支架279a之間跨越外殼區(qū)段271a的各個側(cè)面的長度,并且可以比如利用支架279a(比如經(jīng)由形成于各個支架279a的各個側(cè)面上的支撐區(qū)域297)和/或利用外殼區(qū)段271a被固定到位。各個護(hù)罩281a均被加工成使得由帶條101n進(jìn)行傳送的襯底載體(圖14)以及支撐這些載體的支架或者托架292(圖14)在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備內(nèi)部被防護(hù)起來,防止受到其它物體的任何潛在沖擊。護(hù)罩281a可以如圖13B中所示那樣被以螺釘、螺栓或者其它方式相對于支架279a和/或外殼區(qū)段271a固定到位。
至少在本發(fā)明的一個實施例中,各個外殼區(qū)段271a均由這樣一種材料制成,即其具有足夠的強度和剛度來支撐各種聯(lián)結(jié)在外殼區(qū)段271a上的組件(比如驅(qū)動輪單元285、驅(qū)動輪單元支架287、支撐輪單元289和/或約束輪單元291)以及帶條101n。例如,各個外殼區(qū)段271a可以由諸如鋁、塑料等等這樣的材料制成。外殼區(qū)段支架279a和/或驅(qū)動輪單元支架287可以由一種類似材料制成(比如鋁鑄件)。
護(hù)罩281a最好由一種重量較輕和/或不太昂貴的材料制成,比如鋁、金屬板、真空成型塑料等等,以便減少支撐系統(tǒng)的總體重量和成本。當(dāng)護(hù)罩281a由一種諸如鋁這樣的材料制成時,一個或者多個外殼區(qū)段支架279a可以包括一個開闊的支撐區(qū)域297,盡管護(hù)罩281a會發(fā)生熱致長度變化,但是仍舊允許護(hù)罩281a裝配于其中和/或被支撐在支架279a之間。比如如果系統(tǒng)269a是在與半導(dǎo)體器件制造設(shè)備溫度不同的設(shè)備中進(jìn)行制造/測試的,那么就會發(fā)生這種溫度所致的長度變化,所述系統(tǒng)269a最終被安裝在所述半導(dǎo)體器件制造設(shè)備中。
如圖14中所示,外殼區(qū)段271a形成一個第一間隙301,帶條101n上的水平部分105n被容納在其內(nèi)部,并且水平部分105n可以穿過其中。外殼區(qū)段271a還形成了一個第二間隙303,帶條101n上的豎直部分103n被容納于其內(nèi)部,并且豎直部分103n可以穿過其中。外殼區(qū)段271a中的間隙301、303可以被加工成適應(yīng)先前描述過的任何帶條構(gòu)造,或者任何其它帶條構(gòu)造。如圖14中所示,外殼區(qū)段271a還包括一個第三間隙305,該第三間隙305被加工成允許安裝硬件307(用于支撐各個托架/支架292)被聯(lián)結(jié)在帶條101n上的豎直部分103n上。
各個容納支架279a均形成一個開口309,外殼區(qū)段271a的豎直端部被插入其中。如前所述,外殼區(qū)段271a可以利用緊固件293(比如利用貫穿外殼區(qū)段271a的凸緣的螺栓或者其它緊固件)在各個支架279a內(nèi)部固定到位。下面將參照圖15至23對驅(qū)動輪單元285、支撐輪單元289以及約束輪單元291的示例性實施例進(jìn)行描述。
示例性獨創(chuàng)驅(qū)動輪系統(tǒng)圖15和16分別是圖13B中所示獨創(chuàng)性驅(qū)動輪系統(tǒng)284的示例性實施例的平面正視圖和平面仰視圖,在圖15和16中被稱作驅(qū)動輪系統(tǒng)284a。驅(qū)動輪系統(tǒng)284a可以類似于圖13B中所示的驅(qū)動輪系統(tǒng),并且可以包括一個或者多個聯(lián)結(jié)在驅(qū)動輪單元支架287a上的驅(qū)動輪單元。但是,在圖15和16所示出的實施例中,僅采用了一個驅(qū)動輪單元285a。
參照圖15和16,驅(qū)動輪單元285a包括一個馬達(dá)311,該馬達(dá)311被聯(lián)結(jié)在一個旋轉(zhuǎn)構(gòu)件313(比如輪子、齒輪等等)上并且適合于旋轉(zhuǎn)該旋轉(zhuǎn)構(gòu)件313,旋轉(zhuǎn)構(gòu)件313被包含在一個聯(lián)結(jié)在驅(qū)動輪單元支架287a上的馬達(dá)殼體315之內(nèi)。馬達(dá)311可以比如包括一個常規(guī)的伺服馬達(dá)或者其它適用馬達(dá),它們能夠以一個近乎恒定的速度旋轉(zhuǎn)所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件313(并且由此如后面所描述的那樣旋轉(zhuǎn)一個獨創(chuàng)性傳送系統(tǒng)中的帶條101)。
在圖15和16所示出的實施例中,馬達(dá)殼體315經(jīng)由第一樞軸317和第一閂鎖機(jī)構(gòu)319a(圖16)被聯(lián)結(jié)在驅(qū)動輪單元支架287a上。當(dāng)?shù)谝婚V鎖機(jī)構(gòu)319a松脫開時,馬達(dá)殼體315可以圍繞樞軸朝向或者背離驅(qū)動輪單元支架287a轉(zhuǎn)動;并且當(dāng)?shù)谝婚V鎖機(jī)構(gòu)319a配合起來時,馬達(dá)殼體315相對于驅(qū)動輪單元支架287a保持固定(如圖15和16中所示那樣)。可以采用任何適用的閂鎖機(jī)構(gòu)來相對于驅(qū)動輪單元支架287a配合/松脫開馬達(dá)殼體315的非樞轉(zhuǎn)端部。例如,第一閂鎖機(jī)構(gòu)319a可以包括一個環(huán)/箍321(聯(lián)結(jié)在馬達(dá)殼體315上),其響應(yīng)一個手柄325的運動而配合/松脫開掛鉤323(聯(lián)結(jié)在驅(qū)動輪單元支架287a上)。
驅(qū)動輪單元支架287a包括一個開口327,該開口327被加工成允許支撐系統(tǒng)269中的外殼區(qū)段271(圖13A或者13B)穿過其中,并且可以經(jīng)由任何適用的緊固機(jī)構(gòu)(比如螺栓、螺釘或者類似構(gòu)件,在圖15中總體由附圖標(biāo)記328表示)聯(lián)結(jié)在外殼區(qū)段271上。也可以采用其它構(gòu)造。例如,驅(qū)動輪單元支架287a可以適合于僅駐留在和/或聯(lián)結(jié)在外殼區(qū)段的一個側(cè)面上。
驅(qū)動輪單元支架287a包括一個第一輪組331a,該第一輪組331a適合于穿過一個位于外殼區(qū)段271的第一側(cè)面上開口,比如在圖13A中示出的開口277,并且與包含其中的帶條101上的樞軸部分103的第一側(cè)面發(fā)生接觸(在圖15和16中未予示出)。驅(qū)動輪單元支架287a還包括一個第二輪組331b,該第二輪組331b適合于穿過一個位于同一外殼區(qū)段271的第二側(cè)面上(與第一側(cè)面相反)的開口,比如開口277,并且與帶條101上的豎直部分103的第二側(cè)面發(fā)生接觸。以這種方式,第一輪組331a和第二輪組331b限制了帶條101的橫向運動。每個輪組中也可以采用多于或者少于兩個輪子。
在圖15和16所示出的實施例中,第一輪組331a適合于與旋轉(zhuǎn)構(gòu)件313發(fā)生接觸并且由旋轉(zhuǎn)構(gòu)件313進(jìn)行驅(qū)動。相應(yīng)地,第一輪組331a可以于穿過驅(qū)動輪單元支架287a的帶條101上豎直部分103的第一側(cè)面發(fā)生接觸,并且驅(qū)動(旋轉(zhuǎn))帶條101。如前所述,第二輪組331b適合于與帶條101上的豎直部分103的第二側(cè)面(與第一側(cè)面相反)發(fā)生接觸;并且減輕帶條101由于與第一輪組331a發(fā)生接觸所導(dǎo)致的橫向運動。一般來說,一個或者兩個輪組331a、331b可以由馬達(dá)進(jìn)行驅(qū)動。
第一輪組331a經(jīng)由第一鉸接構(gòu)件333(圖16)聯(lián)結(jié)在驅(qū)動輪單元支架287a上,第一鉸接構(gòu)件333適合于環(huán)繞一根第二樞軸335進(jìn)行樞轉(zhuǎn)。隨著馬達(dá)殼體315朝向或者背離第二輪組331b進(jìn)行樞轉(zhuǎn),第一鉸接構(gòu)件33(由此使得第一輪組331a)適合于圍繞樞軸朝向或者背離第二輪組331b轉(zhuǎn)動。例如,第一鉸接構(gòu)件333可以被聯(lián)結(jié)在馬達(dá)殼體315上或者受到偏壓(比如經(jīng)由彈簧),以便當(dāng)馬達(dá)殼體315圍繞樞軸背離第二輪組331b轉(zhuǎn)動時遠(yuǎn)離第二輪組331b。
同樣,第二輪組331b經(jīng)由第二鉸接構(gòu)件337(圖16)聯(lián)結(jié)在驅(qū)動輪單元支架287a上,第二鉸接構(gòu)件337適合于環(huán)繞一根第三樞軸339轉(zhuǎn)動。可以采用一個閂鎖構(gòu)件341來選擇性地圍繞樞軸背離或者朝向第一輪組331a對第二鉸接構(gòu)件337(由此使得第二輪組331b)轉(zhuǎn)動,閂鎖構(gòu)件341經(jīng)由一根第四樞軸343和一個第二閂鎖機(jī)構(gòu)319b聯(lián)結(jié)在驅(qū)動輪單元支架287a上。閂鎖機(jī)構(gòu)319b可以類似于閂鎖機(jī)構(gòu)319a,或者可以采用任何其它適用的閂鎖機(jī)構(gòu)。如前所述,第二輪組331b也由一個驅(qū)動輪單元以類似于第一輪組331a的方式進(jìn)行驅(qū)動,并且被構(gòu)造成利用所述驅(qū)動輪單元圍繞樞軸轉(zhuǎn)動。
在工作過程中,一根帶條101(未示出)可以穿過驅(qū)動輪單元支架287a(以及外殼區(qū)段271),并且可以利用第一輪組331a以近乎恒定的速度進(jìn)行驅(qū)動(旋轉(zhuǎn))。由于帶條與第一輪組331a之間發(fā)生接觸所導(dǎo)致的過度橫向運動由第二輪組331b加以限制。假設(shè)所述帶條由不止一個驅(qū)動輪系統(tǒng)284a進(jìn)行驅(qū)動,那么第一輪組331a可以在帶條運行的同時得以更換,步驟為(1)松開閂鎖機(jī)構(gòu)319a;(2)使馬達(dá)殼體315圍繞樞軸轉(zhuǎn)動背離第一輪組331a;(3)使第一輪組331a圍繞樞軸轉(zhuǎn)動背離帶條;以及(4)更換第一輪組331a。第一輪組331a隨后可以恢復(fù)至與帶條發(fā)生接觸。第二輪組331b可以經(jīng)由類似操作在帶條運行的同時得以更換(利用閂鎖機(jī)構(gòu)319b和閂鎖構(gòu)件341)。第一輪組331a和第二輪組331b(或者驅(qū)動輪系統(tǒng)284a中的任何其它部分)可以同時或者非同時得以更換。
示例性獨創(chuàng)約束輪單元圖17和18分別是圖13B中所示約束輪單元291的第一示例性實施例的后向透視圖和平面仰視圖,在圖17和18中被稱作約束輪單元291a,其中約束輪單元291a處于一個“鎖定”位置,帶有延伸出來的約束輪。圖19和20分別是處于一個“裝載”位置的約束輪單元291a的后向透視圖和平面仰視圖,帶有回縮進(jìn)去的約束輪。
參照圖17至19,約束輪單元291a包括一個殼體351,該殼體351適合于聯(lián)結(jié)在支撐系統(tǒng)269中的外殼區(qū)段271上的開口內(nèi)(比如圖13A中所示外殼區(qū)段271上的第二開口275,比如經(jīng)由一個或者多個螺栓、螺釘或者其它緊固件,在圖17至19中總體上由附圖標(biāo)記353表示)。殼體351中容納有一對約束輪355,它們適合于接觸帶條101并且對帶條101提供約束作用,帶條101如后面進(jìn)一步描述的那樣穿過約束輪355。如圖18和20中清晰示出的那樣,約束輪355適合于環(huán)繞一根第一旋轉(zhuǎn)軸線357進(jìn)行旋轉(zhuǎn)??梢詢H采用一個約束輪或者不止兩個約束輪。
約束輪單元291a包括一根杠桿359,該杠桿359聯(lián)結(jié)在約束輪355上,并且適合于環(huán)繞一根第二旋轉(zhuǎn)軸線361進(jìn)行旋轉(zhuǎn),第二旋轉(zhuǎn)軸線361偏離于約束輪355的第一旋轉(zhuǎn)軸線357(比如以偏移量363)。以這種方式,隨著杠桿359旋轉(zhuǎn)至一個鎖定位置(如圖17和18中所示),約束輪355的第一旋轉(zhuǎn)軸線357會朝向殼體351的邊緣365移動,由此將約束輪355移動至一個伸展位置(并且與穿過聯(lián)結(jié)有約束輪單元291a的外殼區(qū)段271(圖13A)的帶條101發(fā)生接觸)。同樣,隨著杠桿359旋轉(zhuǎn)至一個裝載位置(如圖19和20中所示),約束輪355的第一旋轉(zhuǎn)軸線357將遠(yuǎn)離殼體351的邊緣365,由此將約束輪355移動至一個回縮位置(并且脫離與穿過聯(lián)結(jié)有約束輪單元291a的外殼區(qū)段271的帶條101的接觸)。偏移量363可以比如基于約束輪355為了與帶條101發(fā)生接觸必須伸展的距離加以確定。至少在一個實施例中,偏移量可以為3毫米左右,盡管也可以采用其它偏移量。
在工作過程中,約束輪單元291a被聯(lián)結(jié)在支撐系統(tǒng)269(在圖17至20中未圖示)中的外殼區(qū)段271上,比如在圖13A中所示出的一個第二開口275處。杠桿359被旋轉(zhuǎn)至一個鎖定位置(圖17和18),從而使得約束輪355與穿過外殼區(qū)段271的帶條101(未示出)上的豎直部分103的第一側(cè)面發(fā)生接觸。當(dāng)外殼區(qū)段271是一個平直部分時,最好采用一種第二約束輪單元291a(未示出),從而使得第二對約束輪355(未示出)與帶條101上的豎直部分103的第二側(cè)面發(fā)生接觸,所述第二側(cè)面與豎直部分103的第一側(cè)面相反。以這種方式,帶條101在其旋轉(zhuǎn)時的橫向運動可以由約束輪單元291a加以限制。
約束輪355可以在帶條101運行的同時得以更換,步驟為(1)將杠桿359從鎖定位置(圖17和18)移動至裝載位置(圖19和20),從而使得約束輪355從帶條101發(fā)生回縮;(2)將約束輪單元291a從其所聯(lián)結(jié)的外殼區(qū)段271(圖13A)中取出;以及(3)更換約束輪單元355。如果需要可以僅更換一個約束輪355。隨后通過將約束輪單元291a重新固定在外殼區(qū)段271上并且將杠桿359移動至鎖定位置(圖17和18),約束輪355可以恢復(fù)至與帶條發(fā)生接觸。
圖21是圖13B中所示約束輪單元291的第二示例性實施例的前向透視圖,在圖21中被稱作約束輪單元291b。該約束輪單元291b類似于圖17至20中示出的約束輪291a,但是沒有采用杠桿359來在一個鎖定位置與一個裝載位置之間移動約束輪355。相反,約束輪355相對于約束輪單元291b的殼體351保持固定。
約束輪單元291b中的約束輪355可以在帶條運行(并且受到輪子355的約束作用)的同時得以更換,步驟是首先將約束輪單元291b從其所聯(lián)結(jié)的外殼區(qū)段271(圖13A)中取出,并且隨后更換約束輪355。如果需要,可以僅更換一個約束輪355。隨后通過將約束輪單元291b重新固定在外殼區(qū)段271上,約束輪355恢復(fù)至與帶條發(fā)生接觸。(例如,約束輪單元291b可以被從外殼區(qū)段271上拆卸下來/經(jīng)由緊固件353被固定在外殼區(qū)段271上)。
圖22是圖13B中所示約束輪單元291的第三示例性實施例的前向透視圖,在圖22中被稱作約束輪單元291c。該約束輪單元291c類似于圖21中示出的約束輪單元291b,只是僅采用了一個約束輪355。例如,可以采用一個第一約束輪單元291c來對帶條101(未示出)上的豎直部分103的第一側(cè)面頂部進(jìn)行約束,并且一個類似的第二約束輪單元291c可以被設(shè)置在第一約束輪單元291c的下方,用于對帶條101上的豎直部分103的第一側(cè)面底部進(jìn)行約束。第一和第二約束輪單元291c中的約束輪355由此可以相互獨立地得以更換。例如,圖22中所示約束輪單元291c中的約束輪355可以在帶條運行的同時得以更換,步驟是首先將約束輪單元291c從其所聯(lián)結(jié)的外殼區(qū)段271中取出,并且隨后更換約束輪355。隨后通過將約束輪單元291c重新固定在外殼區(qū)段271上,約束輪355可以恢復(fù)至與帶條發(fā)生接觸。(例如,約束輪單元291c可以被從外殼區(qū)段271上拆卸下來/經(jīng)由緊固件353被固定在外殼區(qū)段271上)。
示例性獨創(chuàng)支撐輪單元圖23是圖13B中所示支撐輪單元289的示例性實施例的前向透視圖,在圖23中被稱作支撐輪單元289a。參照圖23,支撐輪單元289a包括一個第一殼體部分369,該第一殼體部分369被鉸接在一個第二殼體部分371上。支撐輪373被可旋轉(zhuǎn)地聯(lián)結(jié)在第二殼體部分371上。第一殼體部分369和第二殼體部分371適合于聯(lián)結(jié)在支撐系統(tǒng)269中的外殼區(qū)段271上(比如圖13A中示出的外殼區(qū)段271上的第一開口273,比如經(jīng)由一個或者多個螺栓、螺釘或者其它緊固件,它們在圖23中總體由附圖標(biāo)記375表示)。
在工作過程中,為了利用支撐輪單元289a支撐一根帶條101(未示出),該支撐輪單元289a被聯(lián)結(jié)在一個外殼區(qū)段271上(比如在圖13A中示出的外殼區(qū)段271上的第一開口273處)。利用兩個聯(lián)結(jié)在外殼區(qū)段271上的第一外殼部分369和第二外殼部分371,支撐輪373延伸至外殼區(qū)段271之內(nèi),并且在帶條101旋轉(zhuǎn)時接觸和支撐該帶條101上的水平部分105的第一側(cè)面。沿著所述帶條,可以采用多個這種支撐輪單元來在其它位置處支撐起旋轉(zhuǎn)著的帶條。如果所支撐的帶條101在其上豎直部分103的兩側(cè)具有一個水平部分105,那么可以在外殼區(qū)段271(圖13B)的兩側(cè)聯(lián)結(jié)一個或者多個支撐輪單元,從而使得所述支撐輪單元在帶條101上的豎直部分103的兩側(cè)支撐起帶條101。
支撐輪373可以在帶條運行的同時得以更換,步驟是(1)松脫開支撐輪單元289a上的第二外殼部分371上的緊固件375;(2)使得第二外殼部分371(由此使得支撐輪373)背離帶條發(fā)生樞轉(zhuǎn);以及(3)更換支撐輪373。隨后通過將第二外殼部分371重新固定在外殼區(qū)段271上,支撐輪373可以恢復(fù)至與帶條發(fā)生接觸。
將會明白的是,前面描述過的外殼區(qū)段271、驅(qū)動輪系統(tǒng)284、支撐輪單元289和/或約束輪單元291的實施例僅為示例目的,并且可以采用其它設(shè)備來類似地容納、驅(qū)動、支撐和/或約束按照本發(fā)明的帶條。與所述獨創(chuàng)性驅(qū)動輪系統(tǒng)284、支撐輪單元289和/或約束輪單元291一同使用的各種輪子可以是相同或者不同類型的輪子。至少在本發(fā)明的一個實施例中,驅(qū)動輪系統(tǒng)284、支撐輪單元289以及約束輪單元291中的各種輪子可以是內(nèi)嵌式滑輪??梢灶愃频夭捎萌魏纹渌m用的輪子/旋構(gòu)件和/或材料(比如高密度聚乙烯輪子)。
一種獨創(chuàng)性傳送系統(tǒng)的示例性實施方案按照本發(fā)明,一種獨創(chuàng)性傳送系統(tǒng),比如圖2至4中所示傳送裝置106、121或者155中的一種,可以采用一個或者多個在此所描述的帶條101a-n以及在此所描述的一個或者多個外殼區(qū)段(比如外殼區(qū)段271(圖13A和13B))、一個或者多個驅(qū)動輪系統(tǒng)(比如驅(qū)動輪系統(tǒng)284(圖13B至16))、一個或者多個支撐輪單元(比如支撐輪單元289(圖13B和23))和/或一個或者多個約束輪單元(比如約束輪單元291(圖13B和17至22))來加以實施。例如,可以采用一根帶條101來形成一個簡單或者蜿蜒的閉合回路,該閉合回路(1)被容納在多個平直和/或彎曲的外殼區(qū)段271之內(nèi);(2)由一個或者多個驅(qū)動輪單元285進(jìn)行驅(qū)動;(3)由一個或者多個支撐輪單元289進(jìn)行支撐;以及(4)由一個或者多個約束輪單元291加以約束。
通過對帶條進(jìn)行定向操作,從而使得帶條上的較厚部分駐留在一個豎直平面之內(nèi)并且該帶條上的較薄部分駐留在一個水平平面之內(nèi),該帶條將能夠在水平平面中發(fā)生彎曲而在豎直平面中保持剛性。這種構(gòu)造允許不太昂貴地構(gòu)造和實施所述獨創(chuàng)性傳送裝置(比如因為高長寬比的帶條易于制造并且制造成本不高)。由于驅(qū)動輪可以沿著帶條上的豎直部分接觸和驅(qū)動該帶條,并且支撐輪可以沿著帶條上的水平部分接觸和驅(qū)動該帶條,所以用于帶條的驅(qū)動機(jī)構(gòu)被與用于帶條的支撐機(jī)構(gòu)分離開,并且均可以得以獨立伺服。還有,驅(qū)動輪、支撐輪和約束輪可以在帶條運行的同時得以更換(比如減少傳送系統(tǒng)的停機(jī)時間并且增加襯底的生產(chǎn)能力)。
在一個傳送系統(tǒng)中采用的外殼區(qū)段271、驅(qū)動輪單元285、支撐輪單元289以及約束輪單元291的數(shù)目取決于多種因素,比如帶條101的長度和/或厚度、帶條101所運行的路徑、帶條101的重量、即將由帶條101進(jìn)行傳送的重量(比如即將由帶條101進(jìn)行傳送的襯底載體的數(shù)目/重量)、帶條101旋轉(zhuǎn)的速度、對于帶條101采說所需的橫向穩(wěn)定度等等。在獨創(chuàng)性傳送系統(tǒng)的一個特別實施例中,沿著帶條的彎曲部分,約束輪355(約束輪單元291中)沿著帶條上的豎直部分以20英寸左右的間距間隔開,并且與所述豎直部分發(fā)生接觸,沿著帶條的平直部分,以20至23英寸左右的間距間隔開。支撐輪373(支撐輪單元289中)被置于各個約束輪291之間,并且接觸和支撐起帶條上的水平部分。在某些應(yīng)用領(lǐng)域,這種間隔開的約束輪355和支撐輪373會使得帶條產(chǎn)生一個小于3毫米的峰-峰橫向位移。在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備中的某些位置處,其中襯底載體即將被裝載到帶條上或者從帶條上取下(比如在處理工具、襯底裝載工作站的上方,或者在襯底載體可以被傳送至另外一根帶條上或者從另外一根帶條上取下的位置處),帶條的峰-峰橫向位移的嚴(yán)格容差將是必要的。例如,在某些情況下,通過沿著帶條以10英寸左右的間距將約束輪355間隔開(并且通過如前所述那樣將支撐輪373置于它們之間)可以獲得0.5毫米或者更小的峰-峰橫向位移。因為對于帶條來說可以存在其它峰-峰橫向位移,所以可以采用其它約束輪和/或支撐輪間距。
在本發(fā)明的一個或者多個實施例中,近乎3/8馬力的馬達(dá)(驅(qū)動輪單元285中)沿著帶條101以28英尺左右的間距設(shè)置,并且用于驅(qū)動所述驅(qū)動輪單元285中的驅(qū)動輪331。也可以采用其它馬達(dá)尺寸和間距(比如根據(jù)帶條和/或由帶條進(jìn)行傳送的襯底載體的重量、由驅(qū)動、支撐和/或約束輪提供的阻力等等)。
如先前所描述的那樣,各種獨創(chuàng)性帶條101均可以適合于至少在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備中傳送若干的襯底載體。例如,各根帶條均可以具有若干剛性聯(lián)結(jié)在其上的支架或者托架,各個支架或者托架均適合于在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備內(nèi)部支撐和傳送襯底載體(比如在處理工藝中的襯底制造工作站之間)。如同圖5中所示的帶條101k那樣,各種其它的獨創(chuàng)性帶條101均可以包括表面標(biāo)記,比如一個或者多個在圖5中示出的豎直定向切槽195,和安裝特征,比如圖5中示出的穿孔197,它們沿著帶條101的長度方向以規(guī)則的間距排布,來分別(1)標(biāo)記由帶條101進(jìn)行傳送的襯底載體的位置;和(2)提供一個用于襯底載體用支架或者托架的固定和/或剛性安裝位置。由于各個襯底載體支架/托架的位置均相對于帶條101得以固定,已知帶條101在旋轉(zhuǎn)時的位置可以提供有關(guān)由帶條101進(jìn)行傳送的襯底載體(由剛性聯(lián)結(jié)在帶條101上的托架/支架提供支撐)的位置的信息,或者恰好相反。無需采用單獨的帶條位置傳感器和襯底載體位置傳感器。
圖24是一個適合于傳送若干襯底載體501a-e的第六示例性帶條101p的示例性實施例。帶條101p包括一個豎直部分103p和一個水平部分105p,并且可以比如按照在此所描述的獨創(chuàng)性帶條構(gòu)造而成。若干的襯底載體支架503a-e被聯(lián)結(jié)在帶條101p上,并且可以包括適合于在傳送過程中支撐起襯底載體501a-e的托架或者其它支撐構(gòu)件。
如圖所示,帶條101p上的豎直部分103p包括開口組或者切槽組505a-e,它們均分別位于一個襯底載體支架503a-e的上方。在所圖示的特別實施例中,第一切槽組505a包括三個切槽,而其余的切槽組505b-e每組包括兩個切槽。每組也可以采用其它數(shù)目的切槽。
各個切槽組505a-e均被構(gòu)造成允許光束(未示出)在襯底載體支架503a-e的上方穿過帶條101p上的豎直部分103p。在帶條101p上的所有其它位置處,所述光束被帶條101p遮擋住。因此,通過隨著光束穿過帶條101對光束進(jìn)行監(jiān)控和檢測(比如經(jīng)由未示出的檢測器和/或控制器),可以確定帶條101p、襯底載體支架503a-e和/或襯底載體501a-e的位置。還有,通過相對于其余切槽組505b-e對由第一切槽組505a產(chǎn)生的不同光束圖案進(jìn)行監(jiān)控和檢測,可以確定帶條101p的“前部”或者其它任何基準(zhǔn)位置(無論帶條101p是否形成一個閉合回路)。如果得知各個襯底載體支架503a-e之間的間距,那么這種基準(zhǔn)位置可以被用來確定各個襯底載體501a-e/襯底載體支架503a-e的位置(比如即使不存在其它切槽組505b-e)。
知曉各個襯底載體501a-e和/或襯底載體支架503a-e的位置也可以被用來確定/監(jiān)控帶條101p的速度。例如,通過確定出光束被一個切槽組505a-e中的任何切槽順序阻斷之間的時間,或者切槽組505a-e之間的時間,可以確定出帶條的速度(比如利用一個控制器(未示出),該控制器具有關(guān)于切槽組中切槽之間的間距和/或切槽組之間的間距的信息)也可以采用其它開口形狀或者表面特征(比如反光特征)來對確定出帶條、襯底載體支架和/或襯底載體的位置和/或速度。
通過知曉襯底載體的位置,襯底載體501a-e可以被裝載到帶條101p上或者從帶條101p上取下(比如無論帶條101p是否處于運行狀態(tài))。至少在本發(fā)明的一個實施例中,襯底載體501a-e可以在帶條101p運行的同時被裝載到帶條101p上或者從帶條101p上取下,如同比如在先前結(jié)合入本發(fā)明的美國專利申請中所描述的那樣(序列號為No.10/650481、于2003年8月28日提交、題目為“Method and Apparatus for Unloading Substrate Carriers from SubstrateCarrier Transport Systems”的美國專利申請(代理人卷號為No.7024),或者序列號為No.10/650480、于2003年8月28日提交的、題目為“Substrate CarrierHandler That Unloads Substrate Carriers Directly From a Moving Conveyor”的美國專利申請(代理人卷號為No.7676))。也可以采用其它設(shè)備/系統(tǒng)。
帶條101p(以及任何在此所描述的其它獨創(chuàng)性帶條)由此為一個“編碼”帶條或者條帶,其包含編碼信息,比如帶速、襯底載體位置、襯底載體傳遞位置等等,它們可以由多個工具進(jìn)行讀取和識別,比如在先前結(jié)合入本發(fā)明的美國專利申請中描述的襯底裝載工作站(序列號為No.10/650480、于2003年8月28日提交、題目為“Substrate Carrier Handler That Unloads SubstrateCarriers Directly From a Moving Conveyor”的美國專利申請(代理人卷號為No.7676))。這種襯底載體裝載工作站可以用作“主要”帶條/傳送裝置至“從動裝置”,從帶條/傳送裝置測定傳送速度、襯底載體位置、傳遞位置等等。由此可以提供已知帶有分散智能的系統(tǒng)(比如各種襯底載體裝載工作站和/或傳送裝置)。各種工具可以具有一個讀取頭(比如多個能夠讀取帶條上的切槽或者開口來確定帶速、襯底載體位置、傳遞位置等等的傳感器),來讀取所述獨創(chuàng)性帶條上的編碼信息(比如一個中心編碼器,其包括經(jīng)由帶條上的切槽/開口,比如切槽組505a-e,的設(shè)置/定位操作存儲起來的信息)。
在襯底載體在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備內(nèi)部于本發(fā)明中的帶條基傳送系統(tǒng)上進(jìn)行傳送的同時,帶條的豎向、縱向(沿著傳送裝置的方向)以及橫向(與傳送線并排)位置可以被以更高的精確度進(jìn)行確定和/或控制。以這種方式,有利于在傳送系統(tǒng)運行的同時將襯底載體從傳送系統(tǒng)中送出或者傳送至傳送系統(tǒng)中。
可以比如在安裝之前或者在傳送系統(tǒng)已經(jīng)開始進(jìn)行工作之后,對驅(qū)動、支撐和/或約束輪的尺寸進(jìn)行檢查,判斷其是否如同新的那樣(比如磨損檢查)。此后可以對驅(qū)動輪、支撐輪和/或約束輪的位置進(jìn)行調(diào)整,以確保/保持對傳送系統(tǒng)的豎向、縱向和/或橫向位置的嚴(yán)格控制。例如,可以控制支撐輪的旋轉(zhuǎn)軸線使得傳送系統(tǒng)中的帶條具有合適的豎向位置和/或橫向方位,比如利用外殼區(qū)段271于支撐輪之間的位置調(diào)節(jié)裝置(螺釘、可調(diào)節(jié)墊圈或者類似構(gòu)件,未予示出)??刂苽魉拖到y(tǒng)組件(比如驅(qū)動輪、支撐輪和/或約束輪)內(nèi)部和之間的嚴(yán)格容差,可以減少或者消除所述調(diào)節(jié)的必要性。
盡管在某些實施過程中帶條貫穿其整個長度包括一個連續(xù)的材料元件是有益的,但是可以利用若干可連接的縱向部分來成形一根帶條,比如作為定制安裝的一部分,以便提供一條用于帶條的預(yù)期路徑。在本發(fā)明的一個或者多個實施例中,帶條的總體長度可以不太重要;但是,較為重要的是確保帶條與由半導(dǎo)體器件處理工具設(shè)定的路徑相一致,比如在制造設(shè)備中呈一條或者多條直線。由此,由于其在處理工具的直線路徑之間轉(zhuǎn)向所導(dǎo)致的帶條半徑可以發(fā)生變化。帶條的長度可以因此伴隨帶條的一個或者多個特定半徑發(fā)生變化。此外,帶條可以沿著其整個長度被容納起來;或者帶條上的某些部分可以不被外殼區(qū)段容納起來。還有,取代穿過驅(qū)動輪單元支架中的間隙的外殼區(qū)段,兩個獨立的外殼區(qū)段可以與驅(qū)動輪單元支架/在驅(qū)動輪單元支架處發(fā)生對接,并且驅(qū)動輪單元支架可以被以一種類似于前述外殼區(qū)段支架的方式懸置起來。
至少在本發(fā)明的一個實施例中,獨創(chuàng)性傳送系統(tǒng)中的所有可用部分均可以在傳送裝置(比如帶條)運行的同時得以使用。例如,所有的輪子、馬達(dá)、驅(qū)動器、帶控制器等等,均可以在傳送系統(tǒng)運行的同時得以更換。還有,可以在各個所述組件內(nèi)構(gòu)建相當(dāng)數(shù)量的冗余,以便使得一個或者多個輪子、馬達(dá)、驅(qū)動器、帶控制器等等出現(xiàn)故障不會影響(或者明顯)影響傳送系統(tǒng)的運行。也就是說,盡管一個或者多個支撐組件、驅(qū)動組件、控制組件等等發(fā)生了故障,但是傳送系統(tǒng)仍舊可以在運行的同時得以維護(hù)。輪子和/或其它組件之間的間距可以被設(shè)定為各個均可以在滿足用于支撐、驅(qū)動力等等的系統(tǒng)需求的同時得以更換。
除了傳送單個襯底載體之外,所述獨創(chuàng)性傳送系統(tǒng)還可以被用于傳送那樣傳送多個襯底的襯底載體。還有,襯底載體無需封閉(比如可以在一個或者多個側(cè)面上敞開)。
所述獨創(chuàng)性傳送系統(tǒng)可以包括從下方豎向支撐的帶條(比如從帶條上的豎直部分的下方)。所述帶條可以利用任何裝置進(jìn)行支撐(比如磁力式,經(jīng)由氣浮軸承等等)。
如前所述,可以基于多種因素對用于任何帶條101的材料進(jìn)行選擇,比如材料強度、可彎曲性、疲勞速度、成本等等??梢杂糜谠诖怂枋龅娜魏为殑?chuàng)性帶條的示例性材料包括不銹鋼、聚碳酸酯、復(fù)合材料(比如石墨、玻璃纖維等等),鋼或者其它包括不銹鋼、織物(比如碳纖維、玻璃纖維、來自于Dupont的Kevlar、聚乙烯、鋼絲網(wǎng)等等)或者其它補強材料的強化聚氨基甲酸乙酯、環(huán)氧薄片、塑料或者聚酯材料,等等。在一個特別實施例中,帶條可以利用一個整體式或者組合式模制或擠壓材料構(gòu)造而成,比如帶有鋼絲補強纜繩或者灌注有玻璃的聚氨基甲酸乙酯插件的擠壓聚氨基甲酸乙酯。一種組合式帶條可以經(jīng)過層壓處理來形成一個整體式結(jié)構(gòu)(比如通過將不銹鋼薄片粘結(jié)到塑料上)。也可以采用任何其它合適的構(gòu)造。
在本發(fā)明的一個實施例中,帶條上的豎直部分可以包括301不銹鋼(半硬),其厚度為0.05英寸左右。水平部分可以包括近乎1英寸寬的6061-T6鋁件,其固定于豎直部分上(比如經(jīng)由鉚釘或者其它機(jī)構(gòu))并且以0.06英寸左右間隔開。這種帶條可以類似于先前參照圖12所描述的帶條。也可以采用其它材料和/或尺寸。
圖25A和25B分別是按照本發(fā)明提供的第七示例性帶條101q的透視圖和側(cè)視圖。參照圖25A和25B,帶條101q包括一個T形部分600(其形成了帶條101q上的豎直部分103q和水平部分105q),該T形部分600由灌注有玻璃的尼龍、硬質(zhì)塑料、鋁鑄件或者類似材料制成。水平部分105q包括蜿蜒間隙602,其允許帶條101q發(fā)生彎曲并且提供一個用于支撐輪的平滑過渡,所述支撐輪用于支撐起帶條101q。豎直部分103q包括一個較厚的部分603,該部分603由若干交叉指狀物605形成,所述指狀物605形成了一個用于驅(qū)動輪的相對不易壓縮驅(qū)動表面,所述驅(qū)動輪用于驅(qū)動帶條101q。
兩條皮帶607、609如所圖示的那樣在較厚區(qū)段603的上方和下方被固定在豎直部分103q上,并且可以利用任何合適機(jī)構(gòu)固定于其上(比如螺栓、鉚釘、粘結(jié)劑或者類似物)。在本發(fā)明的一個實施例中,皮帶607、609可以由聚氨基甲酸乙酯或者一種類似材料制成(比如利用鋼絲或者類似物進(jìn)行補強)。
盡管在此已經(jīng)主要作為具有單個水平部分(比如部分105)對獨創(chuàng)性帶條進(jìn)行了描述,但是將會明白的是,各種帶條均可以包括不止一個水平部分。例如,在帶條的頂部和底部附近設(shè)置一個水平部分,形成一個雙“T”型構(gòu)造,力求平衡帶條的彎矩(在水平平面內(nèi))。在一個這樣的實施例,可以采用下部支撐輪與底部水平部分發(fā)生接觸,并且在轉(zhuǎn)向處和關(guān)鍵性傳送區(qū)域穩(wěn)定所述帶條(以及任何支撐于其上的襯底載體)。這種下部支撐輪可以類似于圖23中所示支撐輪單元289a中的支撐輪373,或者具有其它構(gòu)造。
圖26是一個按照本發(fā)明提供的第八帶條101r的透視圖。該第八帶條101r包括一個豎直部分103r和兩個水平部分105r、105r′。上部的水平部分105r適合于支撐帶條101r上的載荷(比如經(jīng)由先前所描述的支撐輪);而下部的水平部分105r′允許帶條101r更為對稱地發(fā)生彎曲。至少在本發(fā)明的一個實施例中,帶條101r由聚氨基甲酸乙酯(比如92硬度的聚合物)或者類似材料制成。帶條101r可以利用鋼絲、織物或者類似的結(jié)構(gòu)特征701進(jìn)行補強。在一個這樣的實施例中,下部支撐輪可以被用來于下部的水平部分105r′發(fā)生接觸,并且在轉(zhuǎn)向處和關(guān)鍵性傳送區(qū)域穩(wěn)定帶條101r(以及任何支撐于其上的襯底載體)。在水平部分105r、105r′上成形以下間隙或者槽口703,來協(xié)助帶條101r發(fā)生彎曲。帶條101r可以被制成一個整體式構(gòu)件或者形成多個構(gòu)件(比如多個層壓在一起的擠壓部分)。如圖26中所示,可以在帶條101r上成形水平或者其它特征704,來對由帶條101r進(jìn)行傳送的襯底載體提供額外支撐。
如前所述,支撐輪373(圖23)適合于經(jīng)由與帶條上的水平部分發(fā)生接觸而支撐起一根帶條。盡管在此描述的主要是被動式的(比如不受驅(qū)動),但是將會明白的是,除了驅(qū)動輪331a和/或331b之外或者取代驅(qū)動輪331a和/或331b,一個或者多個支撐輪373可以得以驅(qū)動。由此,一個或者多個支撐輪373可以通過于一根帶條上的水平部分發(fā)生接觸來驅(qū)動該帶條。對于平整的水平部分來說,可以采用一個與傳動支撐輪相對置的對置輪(比如為了保持在該傳動支撐輪上的接觸壓力)。同樣,一個或者多個約束輪355可以被類似地進(jìn)行驅(qū)動。
為了在一個位置處或者靠近該位置提供兩個獨立的驅(qū)動點,帶條各個側(cè)面上的驅(qū)動位置可以略微發(fā)生偏離。例如,驅(qū)動輪單元支架287a中的第一輪組331a可以沿著帶條的長度方向相對于該驅(qū)動輪單元支架287a中的第二輪組331b略微發(fā)生偏移。在本發(fā)明的一個或者多個實施例中,帶條可以包括表面特征,比如能夠與輪子、齒輪或者其它驅(qū)動機(jī)構(gòu)相嚙合來驅(qū)動所述帶條的齒。這種特征可以形成于帶條上的豎直部分和/或水平部分上。圖26示出了若干至少形成于帶條101r上的豎直部分103r的一個側(cè)面上的齒(比如模制于其中)。這種齒705可以與驅(qū)動輪發(fā)生嚙合并且用于驅(qū)動帶條101r(比如以齒條與齒輪方式或者其它類似方式)。
為了減小驅(qū)動馬達(dá)的相互作用并且對受驅(qū)帶條進(jìn)行防護(hù),對于各個驅(qū)動馬達(dá)311來說均可以采用一個單向驅(qū)動離合器(比如使得轉(zhuǎn)矩僅可以沿著一個方向施加)。以這種方式,如果馬達(dá)軸承在工作過程中發(fā)生卡持,那么旋轉(zhuǎn)著的帶條可以反過來驅(qū)動受到影響的驅(qū)動輪311,而不是允許驅(qū)動輪311沿著帶條的表面滑行或者滑動。帶條可以適合于運載襯底或者襯底載體。帶條可以運載單個或者多個適合于容納不止一個襯底(比如多個襯底載體)或者不同尺寸襯底載體組合(比如當(dāng)或者多個襯底載體)的襯底載體。
因此,盡管本發(fā)明已經(jīng)結(jié)合其示例性實施例得以公開,但是必須明白的是,其它實施例也有可能落入由后附權(quán)利要求限定的本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思和保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種適用于在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備內(nèi)傳送襯底載體的傳送系統(tǒng),包括一根帶條,其沿著半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分形成了一個閉合回路,該帶條適合于在水平平面中為柔性而在豎直平面中呈剛性;且在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分內(nèi)傳送若干襯底載體。
2.如權(quán)利要求1中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括一個適合于支撐襯底載體的豎直部分;和一個適合于支撐帶條重量的水平部分。
3.如權(quán)利要求2中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述豎直和水平部分均由一個單件式材料元件制成。
4.如權(quán)利要求2中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述豎直和水平部分均由獨立的材料元件制成。
5.如權(quán)利要求4中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述水平部分包括若干聯(lián)結(jié)在所述豎直部分上的水平區(qū)段。
6.如權(quán)利要求5中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述若干水平部分包括若干三角形區(qū)段。
7.如權(quán)利要求2中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述水平部分包括若干適合于增大所述帶條在水平方向上的可彎曲性的切槽。
8.如權(quán)利要求7中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述若干切槽沿著所述帶條均勻地間隔開。
9.如權(quán)利要求1中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括一個第一區(qū)段,該第一區(qū)段具有一個適合于支撐襯底載體的豎直部分;和一個適合于支撐所述帶條重量的水平部分;和一個聯(lián)結(jié)在第一區(qū)段上的第二區(qū)段,該第二區(qū)段具有一個適合于支撐襯底載體的豎直部分;和一個適合于支撐所述帶條重量的水平部分。
10.如權(quán)利要求9中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括一種設(shè)置于所述第一區(qū)段與第二區(qū)段之間的聲音阻尼材料。
11.如權(quán)利要求9中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述第一區(qū)段上的豎直部分和水平部分均由一個單件式第一材料元件制成;而所述第二區(qū)段上的豎直部分和水平部分也均由一個單件式第二材料元件制成。
12.如權(quán)利要求9中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述第一區(qū)段上的豎直和水平部分均由獨立的第一材料元件制成;而所述第二區(qū)段上的豎直和水平部分均由獨立的第二材料元件制成。
13.如權(quán)利要求12中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述第一區(qū)段上的水平部分包括聯(lián)結(jié)在豎直部分上的第一若干水平區(qū)段;而所述第二區(qū)段上的水平部分包括聯(lián)結(jié)在豎直部分上的第二若干水平區(qū)段。
14.如權(quán)利要求13中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述第一若干水平區(qū)段包括第一若干三角形區(qū)段;而所述第二若干水平區(qū)段包括第二若干三角形區(qū)段。
15.如權(quán)利要求9中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述第一區(qū)段上的水平部分包括適合于增大所述帶條在水平方向上的可彎曲性的第一若干切槽;而所述第二區(qū)段上的水平部分包括適合于增大所述帶條在水平方向上的可彎曲性的第二若干切槽。
16.如權(quán)利要求15中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述第一數(shù)量和第二數(shù)量的切槽沿著所述帶條均勻地間隔開。
17.如權(quán)利要求1中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括不銹鋼。
18.如權(quán)利要求1中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括一個具有第一特征的豎直部分,所述第一特征適合于指示所述帶條的起始點。
19.如權(quán)利要求18中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述第一特征包括至少一個貫穿所述豎直部分的第一開口。
20.如權(quán)利要求18中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條上的豎直部分還包括若干第二特征,各個第二特征均適合于指示一個可以利用所述帶條卡固和傳送襯底載體的位置。
21.如權(quán)利要求20中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于各個第二特征均包括至少一個貫穿所述豎直部分的第二開口。
22.如權(quán)利要求21中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個第一開口包括第一數(shù)量開口,而所述至少一個第二開口包括第二數(shù)量開口。
23.如權(quán)利要求1中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條形成了一條蜿蜒的閉合回路。
24.如權(quán)利要求1中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干剛性聯(lián)結(jié)在所述帶條上的支架,各個支架均適合于至少在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的一部分內(nèi)部支撐和傳送襯底載體。
25.如權(quán)利要求24中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于各個所述支架均包括一個托架,該托架適合于利用襯底載體的頂部凸緣支撐起一個襯底載體。
26.如權(quán)利要求1中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括至少一個適合于接觸所述帶條并且旋轉(zhuǎn)所述帶條的驅(qū)動輪。
27.如權(quán)利要求26中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個驅(qū)動輪包括若干環(huán)繞所述帶條均勻地間隔開的驅(qū)動輪。
28.如權(quán)利要求26中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個驅(qū)動輪適合于沿著所述帶條上的豎直部分接觸和驅(qū)動所述帶條。
29.如權(quán)利要求28中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個驅(qū)動輪包括一個第一輪,該第一輪適合于在所述帶條上的豎直部分的第一側(cè)面上接觸所述豎直部分;和一個第二輪,該第二輪適合于在所述帶條上的豎直部分的第二側(cè)面上接觸所述豎直部分,所述第二側(cè)面與第一側(cè)面相反。
30.如權(quán)利要求29中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于僅有所述第一和第二輪中之一驅(qū)動所述帶條。
31.如權(quán)利要求29中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述第一和第二輪均驅(qū)動所述帶條。
32.如權(quán)利要求26中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個驅(qū)動輪包括至少一個適合于在所述帶條運行的同時得以更換的驅(qū)動輪。
33.如權(quán)利要求1中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括至少一個約束輪,該約束輪適合于接觸所述帶條并且減小所述帶條在其旋轉(zhuǎn)時的橫向運動。
34.如權(quán)利要求33中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個約束輪包括若干環(huán)繞所述帶條均勻間隔開的約束輪。
35.如權(quán)利要求33中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個約束輪包括至少一個適合于在所述帶條運行的同時得以更換的約束輪。
36.如權(quán)利要求33中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個約束輪包括一個第一輪,該第一輪適合于沿著所述帶條上的豎直部分的第一側(cè)面接觸所述帶條。
37.如權(quán)利要求33中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個約束輪包括一個第一輪和一個第二輪,它們均適合于沿著所述帶條上的豎直部分的第一側(cè)面接觸所述帶條。
38.如權(quán)利要求37中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述第一輪和第二輪均適合于在所述帶條運行的同時得以更換。
39.如權(quán)利要求38中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述第一輪和第二輪均適合于在所述帶條運行的同時作為一個單元得以更換。
40.如權(quán)利要求38中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述第一輪和第二輪均適合于在所述帶條運行的同時獨立地得以更換。
41.如權(quán)利要求40中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于各個所述第一輪和第二輪均適合于樞轉(zhuǎn)遠(yuǎn)離所述帶條。
42.如權(quán)利要求36中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個約束輪包括至少一個第一輪,該第一輪適合于沿著所述帶條上的豎直部分的第一側(cè)面接觸所述帶條;和至少一個第二輪,該第二輪適合于沿著所述帶條上的豎直部分的第二側(cè)面接觸所述帶條,所述第二側(cè)面與第一側(cè)面相反。
43.如權(quán)利要求1中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括至少一個支撐輪,該支撐輪適合于在所述帶條旋轉(zhuǎn)時支撐起所述帶條。
44.如權(quán)利要求43中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個支撐輪包括若干環(huán)繞所述帶條均勻間隔開的支撐輪。
45.如權(quán)利要求43中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個支撐輪適合于沿著所述帶條上的第一豎直部分接觸和支撐所述帶條。
46.如權(quán)利要求45中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個支撐輪包括一個第一輪,該第一輪適合于在所述帶條上的豎直部分的第一側(cè)面上接觸所述帶條上的第一水平部分;和一個第二輪,該第二輪適合于在所述帶條上的豎直部分的第二側(cè)面上接觸所述帶條上的第二水平部分。
47.如權(quán)利要求43中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個支撐輪包括至少一個適合于在所述帶條運行的同時得以更換的支撐輪。
48.如權(quán)利要求1中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干外殼區(qū)段,這些外殼區(qū)段適合于環(huán)繞在所述帶條的至少一部分的周圍,同時允許利用所述帶條傳送襯底載體。
49.如權(quán)利要求48中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個外殼區(qū)段包括一個第一開口,其適合于允許至少一個支撐輪在所述帶條旋轉(zhuǎn)時接觸和支撐所述帶條;和一個第二開口,其適合于允許至少一個約束輪在所述帶條旋轉(zhuǎn)時接觸所述帶條并且減小所述帶條的橫向運動。
50.如權(quán)利要求49中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個外殼區(qū)段適合于允許所述至少一個約束輪和至少一個支撐輪在所述帶條運行的同時得以更換。
51.如權(quán)利要求49中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個外殼區(qū)段還包括一個第三開口,其適合于允許至少一個驅(qū)動輪接觸所述帶條并且旋轉(zhuǎn)所述帶條。
52.如權(quán)利要求51中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述外殼區(qū)段適合于允許至少一個驅(qū)動輪、至少一個約束輪以及至少一個支撐輪在所述帶條運行的同時得以更換。
53.如權(quán)利要求48中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干支架,這些支架適合于聯(lián)結(jié)到各個外殼區(qū)段上并且支撐起各個外殼區(qū)段。
54.如權(quán)利要求53中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述若干支架和若干外殼區(qū)段沿著所述帶條的整個閉合回路環(huán)繞在所述帶條的至少一個部分的周圍。
55.如權(quán)利要求53中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干護(hù)罩,這些護(hù)罩適合于聯(lián)結(jié)在所述若干支架上,并且被加工成覆蓋住由所述帶條進(jìn)行傳送的襯底載體。
56.如權(quán)利要求55中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于至少所述若干支架中的一個包括一個延展區(qū)域,該延展區(qū)域適合于補償由于所述若干護(hù)罩的溫度變化導(dǎo)致其長度的變化。
57.如權(quán)利要求55中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于各個護(hù)罩均包括鋁。
58.如權(quán)利要求1中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條適合于傳送單個襯底載體。
59.一種適用于在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備內(nèi)部傳送襯底載體的傳送系統(tǒng),包括一根帶條,其沿著半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分形成一個閉合回路,該帶條適合于在水平平面中為柔性而在豎直平面中為剛性;在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分內(nèi)部傳送若干襯底載體;并且連續(xù)旋轉(zhuǎn)。
60.如權(quán)利要求59中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括至少一個驅(qū)動輪,該驅(qū)動輪適合于接觸所述帶條并且旋轉(zhuǎn)所述帶條。
61.如權(quán)利要求59中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括至少一個約束輪,該約束輪適合于接觸所述帶條并且減小所述帶條在其旋轉(zhuǎn)時的橫向運動。
62.如權(quán)利要求59中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括至少一個支撐輪,該支撐輪適合于在所述帶條旋轉(zhuǎn)時支撐起所述帶條。
63.如權(quán)利要求59中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括一個豎直部分,其適合于支撐襯底載體;和一個水平部分,其適合于支撐所述帶條的重量。
64.如權(quán)利要求59中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括一個第一區(qū)段,該第一區(qū)段具有一個適合于支撐襯底載體的豎直部分;和一個適合于支撐所述帶條重量的水平部分;和一個聯(lián)結(jié)在第一區(qū)段上的第二區(qū)段,該第二區(qū)段具有一個適合于支撐襯底載體的豎直部分;和一個適合于支撐所述帶條重量的水平部分。
65.如權(quán)利要求59中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括不銹鋼。
66.如權(quán)利要求59中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括一個具有第一特征的豎直部分,所述第一特征適合于指示所述帶條的起始點。
67.如權(quán)利要求66中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條上的豎直部分還包括若干第二特征,各個第二特征均適合于指示一個可以利用輸送帶條卡固和傳送一個襯底載體的位置。
68.如權(quán)利要求59中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條形成了一條蜿蜒的閉合回路。
69.如權(quán)利要求59中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干剛性聯(lián)結(jié)在所述帶條上的支架,各個支架均適合于至少在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的一部分內(nèi)部支撐和傳送襯底載體。
70.如權(quán)利要求59中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干的外殼區(qū)段,這些外殼區(qū)段適合于環(huán)繞在所述帶條的至少一部分的周圍,同時允許利用所述帶條傳送襯底載體。
71.如權(quán)利要求70中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個外殼區(qū)段一個第一開口,其適合于允許至少一個支撐輪在所述帶條旋轉(zhuǎn)時接觸和支撐所述帶條;和一個第二開口,其適合于允許至少一個約束輪在所述帶條旋轉(zhuǎn)時接觸所述帶條并且減少所述帶條的橫向運動。
72.如權(quán)利要求71中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個外殼區(qū)段包括一個第三開口,其適合于允許至少一個驅(qū)動輪接觸所述帶條并且旋轉(zhuǎn)所述帶條。
73.如權(quán)利要求59中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干支架,這些支架適合于聯(lián)結(jié)在各個外殼區(qū)段上并且支撐起各個外殼區(qū)段。
74.如權(quán)利要求73中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干護(hù)罩,這些護(hù)罩適合于聯(lián)結(jié)在所述若干支架上,并且被加工成覆蓋住由所述帶條進(jìn)行傳送的襯底載體。
75.如權(quán)利要求59中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條適合于傳送單個襯底載體。
76.一種適用于在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備內(nèi)部傳送襯底載體的傳送系統(tǒng),包括一根帶條,其沿著半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分形成一個閉合回路,該帶條適合于在水平平面中呈柔性而在豎直平面中呈剛性;和連續(xù)旋轉(zhuǎn);和若干剛性聯(lián)結(jié)在所述帶條上的支架,各個支架均適合于在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分內(nèi)部支撐和傳送一個襯底載體。
77.如權(quán)利要求76中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括驅(qū)動輪、約束輪和支撐輪中的至少一個,它們適合于接觸所述帶條并且在所述帶條運行的同時得以更換。
78.如權(quán)利要求76中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括一個適合于支撐襯底載體的豎直部分;和一個適合于支撐所述帶條重量的水平部分。
79.如權(quán)利要求76中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括一個第一區(qū)段,該第一區(qū)段具有一個適合于支撐襯底載體的豎直部分;和一個適合于支撐所述帶條重量的水平部分;和一個聯(lián)結(jié)在第一區(qū)段上的第二區(qū)段,該第二區(qū)段具有一個適合于支撐襯底載體的豎直部分;和一個適合于支撐所述帶條重量的水平部分。
80.如權(quán)利要求76中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括不銹鋼。
81.如權(quán)利要求76中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括一個具有第一特征的豎直部分,所述第一特征適合于指示所述帶條的起始點。
82.如權(quán)利要求81中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條上的豎直部分還包括若干第二特征,各個第二特征均適合于指示一個可以利用所述帶條卡固和傳送一個襯底載體的位置。
83.如權(quán)利要求76中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條形成了一個蜿蜒的閉合回路。
84.如權(quán)利要求76中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干外殼區(qū)段,這些外殼區(qū)段適合于環(huán)繞在所述帶條的至少一部分的周圍,同時允許利用所述帶條傳送襯底載體。
85.如權(quán)利要求84中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個外殼區(qū)段包括一個第一開口,其適合于允許至少一個支撐輪在所述帶條旋轉(zhuǎn)時接觸和支撐所述帶條;和一個第二開口,其適合于允許至少一個約束輪在所述帶條旋轉(zhuǎn)時接觸所述帶條并且減小所述帶條的橫向運動。
86.如權(quán)利要求85中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個外殼區(qū)段還包括一個第三開口,其適合于允許至少一個驅(qū)動輪接觸所述帶條并且旋轉(zhuǎn)所述帶條。
87.如權(quán)利要求84中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干支架,這些支架適合于聯(lián)結(jié)在各個外殼區(qū)段上并且支撐起各個外殼區(qū)段。
88.如權(quán)利要求87中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干護(hù)罩,這些護(hù)罩適合于聯(lián)結(jié)在所述若干支架上,并且被加工成覆蓋住由所述帶條進(jìn)行傳送的襯底載體。
89.如權(quán)利要求76中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條適合于傳送單個襯底載體。
90.一種適用于在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備內(nèi)部傳送襯底載體的傳送系統(tǒng),包括一根帶條,其沿著半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分形成一個閉合回路,該帶條適合于在水平平面中呈柔性而在豎直平面中呈剛性;在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分內(nèi)部傳送若干襯底載體;并且連續(xù)旋轉(zhuǎn);和驅(qū)動輪、約束輪和支撐輪中的至少一個,它們適合于接觸所述帶條并且在所述帶條運行的同時得以更換。
91.如權(quán)利要求90中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括至少一個驅(qū)動輪,該驅(qū)動輪適合于接觸所述帶條和旋轉(zhuǎn)所述帶條。
92.如權(quán)利要求90中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括至少一個約束輪,該約束輪適合于在所述帶條旋轉(zhuǎn)時接觸所述帶條并且減小所述帶條的橫向運動。
93.如權(quán)利要求90中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括至少一個支撐輪,該支撐輪適合于在所述帶條旋轉(zhuǎn)時支撐起所述帶條。
94.如權(quán)利要求90中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括一個適合于支撐襯底載體的豎直部分;和一個適合于支撐所述帶條重量的水平部分。
95.如權(quán)利要求90中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括一個第一區(qū)段,該第一區(qū)段具有一個適合于支撐襯底載體的豎直部分;和一個適合于支撐所述帶條重量的水平部分;和一個聯(lián)結(jié)在第一區(qū)段上的第二區(qū)段,該第二區(qū)段具有一個適合于支撐襯底載體的豎直部分;和一個適合于支撐所述帶條重量的水平部分。
96.如權(quán)利要求90中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括不銹鋼。
97.如權(quán)利要求90中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括一個具有第一特征的豎直部分,所述第一特征適合于指示所述帶條的起始點。
98.如權(quán)利要求97中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條上的豎直部分還包括若干第二特征,各個第二特征均適合于指示一個可以利用所述帶條卡固和傳送一個襯底載體的位置。
99.如權(quán)利要求90中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條形成了一個蜿蜒的閉合回路。
100.如權(quán)利要求90中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干剛性聯(lián)結(jié)在所述帶條上的支架,各個支架均適合于在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分內(nèi)部支撐和傳送襯底載體。
101.如權(quán)利要求90中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干外殼區(qū)段,這些外殼區(qū)段適合于環(huán)繞在所述帶條的至少一部分的周圍,同時允許利用所述帶條傳送襯底載體。
102.如權(quán)利要求101中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個外殼區(qū)段包括一個第一開口,其適合于允許至少一個支撐輪在所述帶條旋轉(zhuǎn)時接觸和支撐所述帶條;和一個第二開口,其適合于允許至少一個約束輪在所述帶條旋轉(zhuǎn)時接觸所述帶條并且減小所述帶條的橫向運動。
103.如權(quán)利要求102中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個外殼區(qū)段還包括一個第三開口,其適合于允許至少一個驅(qū)動輪接觸所述帶條并且旋轉(zhuǎn)所述帶條。
104.如權(quán)利要求102中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干支架,這些支架適合于聯(lián)結(jié)在各個外殼區(qū)段上并且支撐起各個外殼區(qū)段。
105.如權(quán)利要求104中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干護(hù)罩,這些護(hù)罩適合于聯(lián)結(jié)在所述若干支架上,并且被加工成覆蓋住由所述帶條進(jìn)行傳送的襯底載體。
106.如權(quán)利要求90中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條適合于傳送單個襯底載體。
107.一種適用于在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備內(nèi)部傳送襯底載體的傳送系統(tǒng),包括一根帶條,其沿著半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分形成一個閉合回路;和若干剛性聯(lián)結(jié)在所述帶條上的支架,各個支架均適合于在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分內(nèi)部支撐和傳送單個載體。
108.如權(quán)利要求107中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條適合于在襯底載體的傳送和傳輸過程中連續(xù)旋轉(zhuǎn)。
109.如權(quán)利要求107中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括驅(qū)動輪、約束輪和支撐輪中的至少一個,它們適合于接觸所述帶條并且在所述帶條運行的同時得以更換。
110.如權(quán)利要求107中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括一個適合于支撐襯底載體的豎直部分;和一個適合于支撐所述帶條重量的水平部分。
111.如權(quán)利要求107中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括一個第一區(qū)段,該第一區(qū)段具有一個適合于支撐襯底載體的豎直部分;和一個適合于支撐所述帶條重量的水平部分;和一個聯(lián)結(jié)在第一區(qū)段上的第二區(qū)段,該第二區(qū)段具有一個適合于支撐襯底載體的豎直部分;和一個適合于支撐所述帶條重量的水平部分。
112.如權(quán)利要求107中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括不銹鋼。
113.如權(quán)利要求107中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括一個具有第一特征的豎直部分,所述第一特征適合于指示所述帶條的起始點。
114.如權(quán)利要求113中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條上的豎直部分還包括若干第二特征,各個第二特征均適合于指示一個可以利用所述帶條卡固和傳送一個襯底載體的位置。
115.如權(quán)利要求107中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條形成了一個蜿蜒的閉合回路。
116.如權(quán)利要求107中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干外殼區(qū)段,這些外殼區(qū)段適合于環(huán)繞在所述帶條的至少一部分的周圍,同時允許利用所述帶條傳送襯底載體。
117.如權(quán)利要求116中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個外殼區(qū)段包括一個第一開口,其適合于允許至少一個支撐輪在所述帶條旋轉(zhuǎn)時接觸和支撐所述帶條;和一個第二開口,其適合于允許至少一個約束輪在所述帶條旋轉(zhuǎn)時接觸所述帶條并且減小所述帶條的橫向運動。
118.如權(quán)利要求117中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個外殼區(qū)段還包括一個第三開口,其適合于允許至少一個驅(qū)動輪接觸所述帶條并且旋轉(zhuǎn)所述帶條。
119.如權(quán)利要求116中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干外殼區(qū)段支架,這些外殼區(qū)段支架適合于聯(lián)結(jié)在各個外殼區(qū)段上并且支撐起各個外殼區(qū)段。
120.如權(quán)利要求119中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干護(hù)罩,這些護(hù)罩適合于聯(lián)結(jié)在所述若干殼體區(qū)段支架上,并且被加工成覆蓋住由所述帶條進(jìn)行傳送的襯底載體。
121.如權(quán)利要求107中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條適合于傳送單個襯底載體。
122.一種適用于在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備內(nèi)部傳送襯底載體的傳送系統(tǒng),包括一根帶條,其沿著半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分形成一個閉合回路,該帶條適合于在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分內(nèi)部傳送若干襯底載體;和驅(qū)動輪、約束輪和支撐輪中的至少一個,它們適合于接觸所述帶條并且在所述帶條運行的同時得以更換。
123.如權(quán)利要求122中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括至少一個驅(qū)動輪,該驅(qū)動輪適合于接觸所述帶條和旋轉(zhuǎn)所述帶條。
124.如權(quán)利要求122中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括至少一個約束輪,該約束輪適合于在所述帶條旋轉(zhuǎn)時接觸所述帶條并且減小所述帶條的橫向運動。
125.如權(quán)利要求122中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括至少一個支撐輪,該支撐輪適合于在所述帶條旋轉(zhuǎn)時支撐起所述帶條。
126.如權(quán)利要求122中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括一個適合于支撐襯底載體的豎直部分;和一個適合于支撐所述帶條重量的水平部分。
127.如權(quán)利要求122中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括一個第一區(qū)段,該第一區(qū)段具有一個適合于支撐襯底載體的豎直部分;和一個適合于支撐所述帶條重量的水平部分;和一個聯(lián)結(jié)在第一區(qū)段上的第二區(qū)段,該第二區(qū)段具有一個適合于支撐襯底載體的豎直部分;和一個適合于支撐所述帶條重量的水平部分。
128.如權(quán)利要求122中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括不銹鋼。
129.如權(quán)利要求122中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括一個具有第一特征的豎直部分,所述第一特征適合于指示所述帶條的起始點。
130.如權(quán)利要求129中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條上的豎直部分還包括若干第二特征,各個第二特征均適合于指示一個可以利用所述帶條卡固和傳送一個襯底載體的位置。
131.如權(quán)利要求122中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條形成了一個蜿蜒的閉合回路。
132.如權(quán)利要求122中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干剛性聯(lián)結(jié)在所述帶條上的支架,各個支架均適合于在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分內(nèi)部支撐和傳送襯底載體。
133.如權(quán)利要求122中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干外殼區(qū)段,這些外殼區(qū)段適合于環(huán)繞在所述帶條的至少一部分的周圍,同時允許利用所述帶條傳送襯底載體。
134.如權(quán)利要求133中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個外殼區(qū)段包括一個第一開口,其適合于允許至少一個支撐輪在所述帶條旋轉(zhuǎn)時接觸和支撐所述帶條;和一個第二開口,其適合于允許至少一個約束輪在所述帶條旋轉(zhuǎn)時接觸所述帶條并且減小所述帶條的橫向運動。
135.如權(quán)利要求134中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個外殼區(qū)段還包括一個第三開口,其適合于允許至少一個驅(qū)動輪接觸所述帶條并且旋轉(zhuǎn)所述帶條。
136.如權(quán)利要求133中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干支架,這些支架適合于聯(lián)結(jié)在各個外殼區(qū)段上并且支撐起各個外殼區(qū)段。
137.如權(quán)利要求136中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干護(hù)罩,這些護(hù)罩適合于聯(lián)結(jié)在所述若干支架上,并且被加工成覆蓋住由所述帶條進(jìn)行傳送的襯底載體。
138.如權(quán)利要求122中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條適合于傳送單個襯底載體。
139.一種適用于在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備內(nèi)部傳送襯底載體的傳送系統(tǒng),包括一根帶條,其沿著半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分形成一個閉合回路,該帶條適合于在水平平面中為柔性而在豎直平面中為剛性;和在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分內(nèi)部傳送若干襯底載體;和驅(qū)動輪、約束輪和支撐輪中的至少一個,它們適合于接觸所述帶條并且在所述帶條運行的同時得以更換。
140.如權(quán)利要求139中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括一個適合于支撐襯底載體的豎直部分;和一個適合于支撐所述帶條重量的水平部分。
141.如權(quán)利要求139中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括一個第一區(qū)段,該第一區(qū)段具有一個適合于支撐襯底載體的豎直部分;和一個適合于支撐所述帶條重量的水平部分;和一個聯(lián)結(jié)在第一區(qū)段上的第二區(qū)段,該第二區(qū)段具有一個適合于支撐襯底載體的豎直部分;和一個適合于支撐所述帶條重量的水平部分。
142.如權(quán)利要求139中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括不銹鋼。
143.如權(quán)利要求139中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括一個具有第一特征的豎直部分,所述第一特征適合于指示所述帶條的起始點。
144.如權(quán)利要求143中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條上的豎直部分還包括若干第二特征,各個第二特征均適合于指示一個可以利用所述帶條卡固和傳送一個襯底載體的位置。
145.如權(quán)利要求139中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條形成了一個蜿蜒的閉合回路。
146.如權(quán)利要求139中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干剛性聯(lián)結(jié)在所述帶條上的支架,各個支架均適合于在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分內(nèi)部支撐和傳送襯底載體。
147.如權(quán)利要求139中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干外殼區(qū)段,這些外殼區(qū)段適合于環(huán)繞在所述帶條的至少一部分的周圍,同時允許利用所述帶條傳送襯底載體。
148.如權(quán)利要求147中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個外殼區(qū)段包括一個第一開口,其適合于允許至少一個支撐輪在所述帶條旋轉(zhuǎn)時接觸和支撐所述帶條;和一個第二開口,其適合于允許至少一個約束輪在所述帶條旋轉(zhuǎn)時接觸所述帶條并且減小所述帶條的橫向運動。
149.如權(quán)利要求148中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個外殼區(qū)段還包括一個第三開口,其適合于允許至少一個驅(qū)動輪接觸所述帶條并且旋轉(zhuǎn)所述帶條。
150.如權(quán)利要求147中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干支架,這些支架適合于聯(lián)結(jié)在各個外殼區(qū)段上并且支撐起各個外殼區(qū)段。
151.如權(quán)利要求150中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干護(hù)罩,這些護(hù)罩適合于聯(lián)結(jié)在所述若干支架上,并且被加工成覆蓋住由所述帶條進(jìn)行傳送的襯底載體。
152.如權(quán)利要求139中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條適合于傳送單個襯底載體。
153.一種適用于在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備內(nèi)部傳送單個襯底載體的高架傳送系統(tǒng),包括一根帶條,其沿著半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分形成一個閉合回路,該帶條適合于在水平平面中呈柔性而在豎直平面中呈剛性;和連續(xù)旋轉(zhuǎn);若干剛性聯(lián)結(jié)在所述帶條上的支架,各個支架均適合于在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分內(nèi)部支撐和傳送單個襯底載體;至少一個驅(qū)動輪,該驅(qū)動輪適合于接觸所述帶條并且旋轉(zhuǎn)所述帶條;至少一個約束輪,該約束輪適合于在所述帶條旋轉(zhuǎn)時接觸所述帶條并且減小所述帶條的橫向運動;以及至少一個支撐輪,該支撐輪適合于在所述帶條旋轉(zhuǎn)時支撐起所述帶條;其中,所述至少一個驅(qū)動輪、至少一個約束輪和至少一個支撐輪均適合于在所述帶條運行的同時得以更換。
154.如權(quán)利要求153中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括一個適合于支撐襯底載體的豎直部分;和一個適合于支撐所述帶條重量的水平部分。
155.如權(quán)利要求153中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括一個第一區(qū)段,該第一區(qū)段具有一個適合于支撐襯底載體的豎直部分;和一個適合于支撐所述帶條重量的水平部分;和一個聯(lián)結(jié)在第一區(qū)段上的第二區(qū)段,該第二區(qū)段具有一個適合于支撐襯底載體的豎直部分;和一個適合于支撐所述帶條重量的水平部分。
156.如權(quán)利要求153中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括不銹鋼。
157.如權(quán)利要求153中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條包括一個具有第一特征的豎直部分,所述第一特征適合于指示所述帶條的起始點。
158.如權(quán)利要求157中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條上的豎直部分還包括若干第二特征,各個第二特征均適合于指示一個可以利用所述帶條卡固和傳送一個襯底載體的位置。
159.如權(quán)利要求153中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述帶條形成了一個蜿蜒的閉合回路。
160.如權(quán)利要求153中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干外殼區(qū)段,這些外殼區(qū)段適合于環(huán)繞在所述帶條的至少一部分的周圍,同時允許利用所述帶條傳送襯底載體。
161.如權(quán)利要求160中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個外殼區(qū)段包括一個第一開口,其適合于允許至少一個支撐輪在所述帶條旋轉(zhuǎn)時接觸和支撐所述帶條;和一個第二開口,其適合于允許至少一個約束輪在所述帶條旋轉(zhuǎn)時接觸所述帶條并且減小所述帶條的橫向運動。
162.如權(quán)利要求161中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個外殼區(qū)段還包括一個第三開口,其適合于允許至少一個驅(qū)動輪接觸所述帶條并且旋轉(zhuǎn)所述帶條。
163.如權(quán)利要求160中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干支架,這些支架適合于聯(lián)結(jié)在各個外殼區(qū)段上并且支撐起各個外殼區(qū)段。
164.如權(quán)利要求163中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于還包括若干護(hù)罩,這些護(hù)罩適合于聯(lián)結(jié)在所述若干外殼區(qū)段支架上,并且被加工成覆蓋住由所述帶條進(jìn)行傳送的襯底載體。
165.一種傳送襯底載體的方法,包括利用一根帶條沿著半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分形成一個閉合回路,所述帶條適合于在水平平面中為柔性而在豎直平面中為剛性;和利用所述帶條在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分內(nèi)部傳送襯底載體。
166.如權(quán)利要求165中所述的方法,其特征在于所述帶條包括一個適合于支撐襯底載體的豎直部分;和一個適合于支撐所述帶條重量的水平部分。
167.如權(quán)利要求165中所述的方法,其特征在于所述帶條包括一個第一區(qū)段,該第一區(qū)段具有一個適合于支撐襯底載體的豎直部分;和一個適合于支撐所述帶條重量的水平部分;和一個聯(lián)結(jié)在第一區(qū)段上的第二區(qū)段,該第二區(qū)段具有一個適合于支撐襯底載體的豎直部分;和一個適合于支撐所述帶條重量的水平部分。
168.如權(quán)利要求165中所述的方法,其特征在于所述帶條包括不銹鋼。
169.如權(quán)利要求165中所述的方法,其特征在于所述帶條包括一個具有第一特征的豎直部分,所述第一特征適合于指示所述帶條的起始點。
170.如權(quán)利要求169中所述的方法,其特征在于所述帶條上的豎直部分還包括若干第二特征,各個第二特征均適合于指示一個可以利用所述帶條卡固和傳送一個襯底載體的位置。
171.如權(quán)利要求165中所述的方法,其特征在于所述帶條形成了一個蜿蜒的閉合回路。
172.如權(quán)利要求165中所述的方法,其特征在于還包括將若干剛性聯(lián)結(jié)在所述帶條上的支架,各個支架均適合于在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分內(nèi)部支撐和傳送襯底載體。
173.如權(quán)利要求165中所述的方法,其特征在于還包括采用若干外殼區(qū)段,這些外殼區(qū)段適合于環(huán)繞在所述帶條的至少一部分的周圍,同時允許利用所述帶條傳送襯底載體。
174.如權(quán)利要求165中所述的方法,其特征在于所述至少一個外殼區(qū)段包括一個第一開口,其適合于允許至少一個支撐輪在所述帶條旋轉(zhuǎn)時接觸和支撐所述帶條;和一個第二開口,其適合于允許至少一個約束輪在所述帶條旋轉(zhuǎn)時接觸所述帶條并且減小所述帶條的橫向運動。
175.如權(quán)利要求174中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于所述至少一個外殼區(qū)段還包括一個第三開口,其適合于允許至少一個驅(qū)動輪接觸所述帶條并且旋轉(zhuǎn)所述帶條。
176.如權(quán)利要求165中所述的傳送系統(tǒng),其特征在于傳送襯底載體包括傳送單個襯底載體。
177.一種在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備內(nèi)部傳送單個襯底載體的方法,包括利用一根帶條沿著半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分形成一個閉合回路,所述帶條適合于在水平平面中發(fā)生彎曲而在豎直平面中保持剛性;將若干支架剛性聯(lián)結(jié)在所述帶條上,各個支架均適合于在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分內(nèi)部支撐和傳送單個襯底載體;使得所述帶條與至少一個驅(qū)動輪發(fā)生接觸,所述驅(qū)動輪適合于旋轉(zhuǎn)所述帶條;使得所述帶條與至少一個約束輪發(fā)生接觸,所述約束輪適合于減小所述帶條在其旋轉(zhuǎn)時的橫向運動;使得所述帶條與至少一個支撐輪發(fā)生接觸,所述支撐輪適合于在所述帶條旋轉(zhuǎn)時支撐起所述帶條,其中所述至少一個驅(qū)動輪、至少一個約束輪和至少一個支撐輪均適合于在所述帶條運行的同時得以更換;并且在利用所述帶條傳送單個襯底載體的過程中連續(xù)旋轉(zhuǎn)所述帶條。
178.一種適用于在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備內(nèi)部傳送襯底的設(shè)備,包括一根帶條,該帶條適合于在水平平面中為柔性而在豎直平面中為剛性,并且適合于在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分內(nèi)部傳送一個或者多個襯底,該帶條包括一個適合于支撐一個或者多個襯底的豎直部分;和一個適合于支撐所述帶條重量的水平部分。
179.如權(quán)利要求178中所述的設(shè)備,其特征在于所述豎直部分適合于支撐一個或者多個襯底載體。
180.如權(quán)利要求178中所述的設(shè)備,其特征在于至少所述豎直部分和水平部分中之一包括不銹鋼、聚碳酸酯、石墨、玻璃纖維、鋼絲補強聚氨基甲酸乙酯、碳纖維或者聚乙烯。
181.如權(quán)利要求178中所述的設(shè)備,其特征在于所述帶條包括一個額外的水平部分,其定位成提高所述帶條的對稱彎曲性能。
182.如權(quán)利要求181中所述的設(shè)備,其特征在于所述額外的水平部分位于所述帶條的底部附近。
183.如權(quán)利要求178中所述的設(shè)備,其特征在于所述豎直部分包括適合于與驅(qū)動輪的表面特征相配合的表面特征。
184.如權(quán)利要求183中所述的設(shè)備,其特征在于所述豎直部分的表面特征包括齒。
全文摘要
本發(fā)明提供了一第一傳送系統(tǒng),適合于在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備內(nèi)部傳送襯底載體。該第一傳送系統(tǒng)包括一根帶條,該帶條沿著半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分形成了一個閉合回路。該帶條適合于(1)在水平平面中呈柔性而在豎直平面中呈剛性;和(2)在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的至少一部分內(nèi)部傳送若干襯底載體。按照本發(fā)明的這些以及其他方面,提供了多種其他形式,比如系統(tǒng)、方法和計算機(jī)程序產(chǎn)品。
文檔編號B65G49/07GK1537797SQ200410035218
公開日2004年10月20日 申請日期2004年1月27日 優(yōu)先權(quán)日2003年1月27日
發(fā)明者邁克爾·R·賴斯, 邁克爾 R 賴斯, B 勞倫斯, 羅伯特·B·勞倫斯, R 埃利奧特, 馬丁·R·埃利奧特, C 赫金斯, 杰弗里·C·赫金斯, 安德魯 恩格爾哈德, 埃里克·安德魯·恩格爾哈德 申請人:應(yīng)用材料有限公司