專利名稱：工件飄浮裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種工件飄浮裝置，用于保持和傳送薄板形式的工件，同時使工件保持在空中。
背景技術(shù)：
為了傳送薄板形式的工件(例如用于液晶顯示單元的液晶玻璃基板、半導(dǎo)體晶片等)，已經(jīng)在本領(lǐng)域使用了飄浮裝置，用于通過流體來使工件飄浮和保持工件。在通過飄浮裝置使工件飄浮之后，使工件運(yùn)動，同時保持不與其它物體接觸。
一種飄浮裝置使用具有多個孔的多孔體來使得薄板形式的工件(例如液晶玻璃基板、半導(dǎo)體晶片等)飄浮，同時傳送該工件。具體地說，空氣從多孔體中的孔朝著工件噴出，以便使工件在所噴射的空氣的力的作用下飄浮在空中一定距離處。通過飄浮裝置而飄浮的工件被傳送至合適位置，同時保持不與其它物體接觸，還保持沒有灰塵。詳細(xì)情況例如見日本公開專利No.2000-62950。
在清潔屋中傳送這樣的工件，以便防止灰塵顆粒粘附在工件表面上。在清潔屋中，從在工件上操作的工作者(worker)上面產(chǎn)生向下的氣流，以便防止由工作者產(chǎn)生的灰塵顆粒施加在工件上，該工件通常為玻璃基板、半導(dǎo)體晶片等。
通過在日本公開專利No.2000-62950中公開的飄浮裝置，根據(jù)要飄浮和保持在空中的工件的形狀和重量，需要采用更多多孔體來以更高速率朝著工件噴射空氣。因此，由飄浮裝置噴射以便使工件飄浮的消耗空氣量增加，從而導(dǎo)致增加運(yùn)行成本。
更大量的空氣從多孔體朝著工件噴射將擾亂在清潔屋中產(chǎn)生的向下的氣流。因此，來自工作者的灰塵顆?？赡苁┘咏o工件。
因?yàn)楣ぜǔ楸“逍问?，因此，?dāng)工件向上飄浮和保持在空中時，要求飄浮裝置不使工件變形或彎曲。所噴射的空氣的力只在各多孔體上面的區(qū)域或附近區(qū)域施加在工件上，因此，當(dāng)通過所噴射的氣流而飄浮的工件的表面面積較大時，多孔體彼此間隔開較大距離，且工件有在多孔體之間的較大區(qū)域，所噴射的空氣的力并不施加在該區(qū)域上。因此，工件的、并不施加所噴射的空氣的力的這些區(qū)域?qū)⒂捎谥亓Χ冃位驈澢?br>
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的總目的是提供一種工件飄浮裝置，它能夠使工件飄浮并保持穩(wěn)定狀態(tài)，同時控制或減小為了使工件飄浮而噴射的消耗空氣量。
通過下面結(jié)合附圖的說明，可以更清楚本發(fā)明的上述和其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)，附圖中，通過所示實(shí)例表示了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。


圖1是包括本發(fā)明實(shí)施例的工件飄浮裝置的工件傳送系統(tǒng)的透視圖；圖2是圖1中所示的工件傳送系統(tǒng)的側(cè)視圖；圖3是圖1中所示的工件傳送系統(tǒng)的一個單元的平面圖；圖4是沿圖3中的線IV-IV的垂直剖視圖；圖5是表示在圖4所示的工件保持表面中的環(huán)形槽部分以及工件的放大垂直剖視圖；圖6是根據(jù)對比實(shí)例的工件飄浮裝置的放大垂直剖視圖，在該對比實(shí)例中，在工件保持表面中沒有提供環(huán)形槽；圖7是工件飄浮裝置的放大垂直剖視圖，其中，工件保持表面變粗糙，而不是形成環(huán)形槽；圖8是工件飄浮裝置的一個單元的透視圖，作為工件的半導(dǎo)體晶片通過該工件飄浮裝置而飄浮且被保持；圖9是第一變型例的工件飄浮裝置的透視圖，該工件飄浮裝置有多個流體噴射部件，這些流體噴射部件在細(xì)長板上安裝成直行；圖10是第二變型例的工件飄浮裝置的透視圖，該工件飄浮裝置有基本平行的兩直行流體噴射部件，這些流體噴射部件等間距地安裝在板上；圖11是第三變型例的工件飄浮裝置的透視圖，該工件飄浮裝置類似于圖10中所示的工件飄浮裝置，但是它有基本平行的兩直行流體噴射部件，且這兩行流體噴射部件沿板的縱向方向交錯；圖12是第四變型例的工件飄浮裝置的透視圖，該工件飄浮裝置有多個流體噴射部件，這些流體噴射部件等間距地布置在基本矩形的板上；以及圖13是第五變型例的工件飄浮裝置的透視圖，該工件飄浮裝置類似于圖12中所示的工件飄浮裝置，但是它有多個流體噴射部件，且這些流體噴射部件沿板的縱向方向交錯；具體實(shí)施方式
在圖1中，參考標(biāo)號10表示包括本發(fā)明一實(shí)施例的工件飄浮裝置12(下文中稱為“飄浮裝置12”)的工件傳送系統(tǒng)。
工件傳送系統(tǒng)10有一對直導(dǎo)軌14a、14b，該對直導(dǎo)軌14a、14b基本彼此平行地延伸；滑動機(jī)構(gòu)16，該滑動機(jī)構(gòu)可沿軸向方向沿導(dǎo)軌14a、14b滑動；以及多個飄浮裝置12，用于飄浮并保持薄板形式的工件18(例如液晶玻璃基板)。
導(dǎo)軌14a、14b彼此間隔開預(yù)定距離，且滑動機(jī)構(gòu)16可滑動地與導(dǎo)軌14a、14b的上部接合?；瑒訖C(jī)構(gòu)16包括兩對引導(dǎo)塊20a、20b，這兩對引導(dǎo)塊20a、20b分別與導(dǎo)軌14a、14b可滑動地接合；以及基本水平的板狀臺板22，該臺板22與引導(dǎo)塊20a、20b相互連接。
引導(dǎo)塊20a、20b具有基本U形的截面，并分別有給定深度的向下開口凹口24，該凹口24套裝在導(dǎo)軌14a、14b的上部。當(dāng)與滑動機(jī)構(gòu)16連接的供給器(未示出)被驅(qū)動時，與引導(dǎo)塊20a、20b相互連接的臺板22與引導(dǎo)塊20a、20b一起沿導(dǎo)軌14a、14b移動。
多個(例如六個)飄浮裝置12安裝在臺板22的上表面上，這些飄浮裝置12布置成彼此間隔開特定距離的、基本平行的兩行。
如圖3和4所示，各飄浮裝置12包括本體28，該本體28通過供給口26而被供以處于壓力下的流體，例如處于正壓的壓縮空氣；流體噴射部件32，該流體噴射部件32裝入本體28中的開口30內(nèi)；以及板34，該板34將流體噴射部件32夾靠在本體28上。本體28和板34相互連接成一體，以便起到裝置本體的作用。
本體28為有底的空心柱體形狀。如圖4所示，供給口26確定于本體28的側(cè)壁中，并與確定于本體28中的連通腔室36連通。與壓力流體供給源(未示出)連接的管38通過接頭管塞40而與供給口26連接。由壓力流體供給源供給的壓力流體流過管38，并從供給口26被引入本體28中的連通腔室36中。
本體28有從它的上部向上凸出的環(huán)形凸緣42，板34安裝在該環(huán)形凸緣42上，該環(huán)形凸緣42的外周表面從本體28的下部外周表面沿徑向向內(nèi)減小。開口30確定于環(huán)形凸緣42的端部，并與連通腔室36連通。環(huán)形密封件44安裝在環(huán)形槽中，該環(huán)形槽確定于環(huán)形凸緣42的、從開口30沿徑向向外的端表面中。
螺栓孔46沿軸向穿過本體28的底部，并處在相對于連通腔室36沿徑向向外間隔開的位置。本體28的底表面安裝在臺板22上(見圖2)。
流體噴射部件32包括由多孔材料(例如空氣可透過的陶瓷、燒結(jié)材料等)制成的基本圓形的薄板，并布置在本體28的環(huán)形凸緣42的端表面上。流體噴射部件32的上部插入確定于板34內(nèi)的孔50(后面將介紹)中。流體噴射部件32還有在它的下部沿徑向向外凸出的環(huán)形凸緣48。
流體噴射部件32有多個孔，各孔的內(nèi)徑約為100μm或更大。流體噴射部件32可由任何多孔材料制成，只要它具有多個孔，且各孔的內(nèi)徑約為100μm或更大。
板34為面圈(doughnut)形，有確定于中心的孔50。當(dāng)流體噴射部件32的上部插入孔50中時，凸緣48與板34的接合臺階52接合，該接合臺階52的外徑大于孔50。這時，作為板34的上表面的工件保持表面(保持表面)53和插入孔50中的流體噴射部件32的上表面(該上表面對著工件18)處于基本彼此平齊的位置。
板34的工件保持表面53中確定有多個環(huán)形槽55a、55b，這些環(huán)形槽55a、55b從板34中的孔50沿徑向向外間隔開。環(huán)形地環(huán)繞孔50延伸的環(huán)形槽55a、55b的數(shù)目沒有限制。
如圖7所示，板34的工件保持表面53可以有較小的表面凹凸(unevenness)57，以代替環(huán)形槽55a、55b。較小表面凹凸57可以通過例如在噴丸處理中用鋼球噴射工件保持表面53而形成。
環(huán)形槽55a、55b或表面凹凸57起到在工件保持表面53上的流速減小器的作用。當(dāng)壓力流體從流體噴射部件32朝著工件18的底部表面噴射時，壓力流體在工件18和板34之間從板34的中心區(qū)域沿徑向向外流動。沿徑向向外流動的壓力流體將被部分地引入環(huán)形槽55a、55b中或較小表面凹凸57的凹坑中。
環(huán)形槽55a、55b或表面凹凸57減小在工件18和工件保持表面53之間流動并排入大氣中的壓力流體流速。因此，從工件18和板34之間排入大氣中的壓力流體流速降低。
布置在工件保持表面53上用于降低壓力流體流速的流速減小器并不局限于環(huán)形槽55a、55b或表面凹凸57。而且，流速減小器可以為任何結(jié)構(gòu)，例如從工件保持表面53朝著工件18凸出的凸起，它對于在工件18和板34之間流動的壓力流體提供了流阻，并有抑制功能，以便抑制從工件18和板34之間排入大氣的壓力流體流速。
板34有確定于它的底部的環(huán)形凹口54，該環(huán)形凹口54的直徑大于接合臺階52。
板34中確定有內(nèi)螺紋孔56，該內(nèi)螺紋孔與本體28中的螺栓孔46垂直對齊。當(dāng)本體28的環(huán)形凸緣42插入板34中的環(huán)形凹口54內(nèi)時，連接螺栓58穿過螺栓孔46插入內(nèi)螺紋孔56中。這時，板34和本體28相互連接成一體，同時流體噴射部件32夾在它們之間。連接螺栓58有頭部58a，該頭部58a布置在確定于本體28的底表面中的插孔60內(nèi)。因此，連接螺栓58的頭部58a不會從本體28的底表面凸出。
當(dāng)板34安裝在本體28的上部上時，密封件44氣密密封住在本體28的上表面、流體噴射部件32以及板34之間的間隙。因此，將防止引入本體28中的壓力流體從本體28向外泄漏。
包括本發(fā)明實(shí)施例的工件飄浮裝置12的工件傳送系統(tǒng)10的基本結(jié)構(gòu)如上所述。下面將介紹工件傳送系統(tǒng)10的操作和優(yōu)點(diǎn)。假定工件傳送系統(tǒng)10傳送呈薄板形式且具有較大表面面積的工件18，例如液晶玻璃基板等。
首先，通過與未示出的壓力流體供給源連接的管38向在各飄浮裝置12的本體28中的連通腔室36供給壓力流體。供給飄浮裝置12的壓力流體流速通過控制器等(未示出)而被控制成均等的。
供給各飄浮裝置12的壓力流體從對著連通腔室36的第一通過表面62而進(jìn)入流體噴射部件32中，并從流體噴射部件32的第二通過表面64(與第一通過表面62相對)流向板34的工件保持表面53。這時，從各流體噴射部件32的第二通過表面64流出的壓力流體流速被控制為基本彼此相等。
然后，工件18通過機(jī)器人機(jī)構(gòu)等(未示出)而基本水平地布置在工件傳送系統(tǒng)10上面(見圖1)。
從飄浮裝置12的流體噴射部件32向上噴射的壓力流體施加給工件18。在壓力流體施加給工件18之后，它在工件18和板34的工件保持表面53之間沿徑向向外流動，然后排入大氣中。
這時，一部分壓力流體流入環(huán)形槽55a、55b中，該環(huán)形槽55a、55b提供了對于壓力流體的流阻。因此，環(huán)形槽55a、55b減小了在工件18和工件保持表面53之間流動的壓力流體流速，從而降低了從工件18和工件保持表面53之間排入大氣中的壓力流體流速。
壓力流體從流體噴射部件32連續(xù)供給在工件18和板34之間的空間，且供給流速大于在工件18和板34之間流動的壓力流體的流速。因此，壓力流體被持續(xù)壓入在工件18和板34之間的空間內(nèi)，從而增加了在工件18和板34之間的流體壓力P1。
特別是，圖6表示了對比實(shí)例的工件飄浮裝置的放大垂直剖視圖，其中，板34a的工件保持表面53上沒有提供環(huán)形槽。在圖6所示的工件飄浮裝置中，從流體噴射部件32流入在工件18和工件保持表面53之間的空間內(nèi)的壓力流體以未減小的流速流動，并從工件18和工件保持表面53之間排入大氣中。
不過，當(dāng)從流體噴射部件32噴射的壓力流體沿徑向向板34和工件18外流動時，流體的壓力從在流體從流體噴射部件32中噴射時的壓力P逐漸降低至壓力P2(P＞P2)。因此，壓力流體的流速需要增加，以便使工件18飄浮和保持在飄浮裝置12上面合適高度處。
根據(jù)本發(fā)明，如圖5所示，一部分壓力流體流入確定于工件保持表面53內(nèi)的環(huán)形槽55a、55b中或者流入表面凹凸57的凹坑中(見圖7)，這降低了在工件18和工件保持表面53之間流動且然后排入大氣中的壓力流體流速。因此，在工件18和板34之間的流體壓力P1增加至基本與在流體從流體噴射部件32中噴射時的壓力P相同(P1≈P)的水平。因此，即使從流體噴射部件32噴射的壓力流體的流速減小，工件18也可以飄浮至飄浮裝置12上面合適高度處，并保持基本與板34的端表面平行。
這時，工件18保持在空中，并處于這樣的位置，即在該位置，承受從第二通過表面64噴射的流體的壓力以及由壓力流體施加的、將向上推動工件18的按壓力的工件18的表面面積和重量將保持均衡。因此，工件18在由飄浮裝置12的流體噴射部件32噴射的流體的壓力作用下向上離開板34的工件保持表面53一定距離，并保持基本平行于板34的工件保持表面53(見圖2)。
通過壓力流體保持在空中的工件18離開板34的距離由從流體噴射部件32噴射的流體的壓力、工件18的形狀和重量、流體噴射部件32的孔的內(nèi)徑以及環(huán)形槽55a、55b的位置和形狀來設(shè)定。
最后，如圖2所示，當(dāng)工件18在流體壓力的作用下保持在飄浮裝置12上面時，支承該飄浮裝置12的滑動機(jī)構(gòu)16通過供給器例如促動器而沿箭頭A所示方向移動。這時，滑動機(jī)構(gòu)16的臺板22沿箭頭A所示方向移動，同時引導(dǎo)塊20a、20b沿導(dǎo)軌14a、14b運(yùn)動。這樣，工件18在飄浮于空中的同時通過滑動機(jī)構(gòu)16來傳送。通過布置在各飄浮裝置12上的止動機(jī)構(gòu)(未示出)來防止工件18基本水平移動。因此，當(dāng)飄浮裝置12通過滑動機(jī)構(gòu)16而軸向移動時，將防止工件18從飄浮裝置12上面移開。
因此，可以傳送工件18，同時不與包括飄浮裝置12的工件傳送系統(tǒng)10接觸，因此，防止灰塵顆粒等粘附在工件18上。
在工件18通過滑動機(jī)構(gòu)16而沿箭頭A所示方向供給且工件18的傳送結(jié)束之后，從工件傳送系統(tǒng)10上卸去工件18，然后使滑動機(jī)構(gòu)16通過供給器(未示出)而沿箭頭B所示方向移動。這時，在滑動機(jī)構(gòu)16上的飄浮裝置12返回它們的初始位置。
在上述實(shí)施例中，漂浮裝置12以間隔布置在滑動機(jī)構(gòu)16上，并傳送具有較大表面面積的工件18(例如液晶玻璃基板等)，同時使工件18保持在空中。不過，如圖8所示，工件66例如盤形半導(dǎo)體晶片等可以通過單個漂浮裝置12a而漂浮，并通過傳送系統(tǒng)(未示出)來傳送。
在本實(shí)施例中，如上所述，由多孔材料制成的流體噴射部件32插入板34中的孔50內(nèi)，且板34的、對著工件18、66的工件保持表面53有環(huán)形槽55a、55b或較小表面凹凸57。
當(dāng)從本體28供給并從流體噴射部件32噴射的壓力流體在工件18、66和工件保持表面53之間流動然后排入大氣中時，壓力流體的一部分流入環(huán)形槽55a、55b或較小表面凹凸57的凹坑內(nèi)。環(huán)形槽55a、55b或較小表面凹凸57的凹坑對于在工件18、66和工件保持表面53之間流動的壓力流體提供了流動阻力，從而抑制了排入大氣中的壓力流體的流速。
因此，在工件18、66和板34之間的流體壓力P1增加，并保持基本等于在流體從流體噴射部件32噴射時的壓力P(P1≈P)。
因此，在工件保持表面53上的環(huán)形槽55a、55b或較小表面凹凸57有效地在壓力流體流速減小時使工件18、66漂浮在空中，從而降低壓力流體的消耗量。
工件18、66不僅由在流體噴射部件32上面的壓力流體推動，而且由在工件保持表面53上面的壓力流體推動，該工件保持表面53基本與流體噴射部件32的第二通過表面64平齊。因此，工件18、66受到施加在較寬區(qū)域上的推壓力，因此防止由于重力而變形或彎曲。從而能夠穩(wěn)定地保持工件18，66基本與工作保持表面53平行。
在使用超過一定時間時，包含在流過流體噴射部件32的壓力流體中的灰塵顆粒可能沉積在流體噴射部件32的孔中。當(dāng)流體噴射部件32由該灰塵顆粒阻塞時，將流體噴射部件32從漂浮裝置12上拆下并進(jìn)行清潔，以便從孔中除去沉積的灰塵顆粒。因?yàn)榭椎膬?nèi)徑為大約100μm或更大，因此，沉積的灰塵顆粒能夠很容易地從流體噴射部件32中除去。
下面將介紹根據(jù)第一至第五變化形式的工件漂浮裝置100、110、130、140、150，它們各自有安裝在單個板上的多個流體噴射部件。工件漂浮裝置100、110、130、140、150的、與上述實(shí)施例的工件漂浮裝置12相同的部件將由相同參考標(biāo)號表示，并且后面不再進(jìn)行詳細(xì)說明。
如圖9所示，根據(jù)第一變化形式的工件漂浮裝置100具有多個(例如5個)流體噴射部件102a至102e，這些流體噴射部件102a至102e在細(xì)長板104上安裝成一直行，該細(xì)長板104安裝在本體106的上部上。流體噴射部件102a至102e沿板104的縱向方向間隔開預(yù)定距離。
本體106有供給口(未示出)，該供給口確定于該本體的側(cè)壁中，并與本體106中的連通腔室連通，用于將壓力流體供給流體噴射部件102a至102e。與壓力流體供給源(未示出)連接的管38通過接頭管塞40而與供給口連接。
板104有工件保持表面104a，該工件保持表面104a具有環(huán)形槽或較小表面凹凸(未示出)，與上述實(shí)施例的工件漂浮裝置12相同。環(huán)形槽或較小表面凹凸對于沿工件保持表面104a流動的壓力流體提供了流動阻力。
用于供給壓力流體的供給口、管38和接頭管塞40可以并不布置在本體106的一個端表面上，而是可以布置在本體106的另一端表面上，如圖9中雙點(diǎn)劃線所示。
通過第一變化形式的工件漂浮裝置100，壓力流體從未示出的壓力流體供給源通過管38和供給口(未示出)而供給本體106中。然后，壓力流體再從板104上的流體噴射部件102a至102e朝著板104的工件保持表面104a噴射。這時，分別從流體噴射部件102a至102e中噴射的壓力流體流速將在本體106中被控制成基本彼此相等。
工件108通過流體噴射部件102a至102e而保持在板104的工件保持表面104a上面。
因?yàn)榱黧w噴射部件102a至102e安裝在單個板104上，且工件108通過由單個管38和供給口供給的壓力流體而漂浮和保持，因此，具有較大表面面積的工件108能夠高效地漂浮且被保持。
如圖10所示，第二變化形式的工件漂浮裝置110具有直槽114，該直槽114基本位于中心地確定于板112中，并沿板112的縱向方向延伸；以及多個第一流體噴射部件116a至116e和第二流體噴射部件118a至118e，該第一流體噴射部件116a至116e和第二流體噴射部件118a至118e基本相對于直槽114對稱。第一流體噴射部件116a至116e和第二流體噴射部件118a至118e基本彼此平行。
板112安裝在本體120的上部上，且與未示出的壓力流體供給源連接的管38和接頭管塞40與本體120連接。板112有工件保持表面112a，該工件保持表面112a具有環(huán)形槽或較小表面凹凸(未示出)，與上述實(shí)施例的工件漂浮裝置12相同。環(huán)形槽或較小表面凹凸對于沿工件保持表面112a流動的壓力流體提供了流動阻力。
如上所述，第一流體噴射部件116a至116e和第二流體噴射部件118a至118e安裝在單個板112上，并布置成基本彼此平行。因?yàn)橛糜谕ㄟ^工件漂浮裝置110來使工件122漂浮的范圍沿橫向擴(kuò)展，因此，工件漂浮裝置110能夠高效地使具有更大表面面積的工件122漂浮并保持。
如圖11所示，根據(jù)第三變化形式的工件漂浮裝置130與圖10中所示的第二變化形式的工件漂浮裝置110的區(qū)別在于第一流體噴射部件116a至116e和第二流體噴射部件118a至118e沿板112的縱向方向交錯預(yù)定距離。
如圖12所示，根據(jù)第四變化形式的工件漂浮裝置140具有多個(例如20個)流體噴射部件144a至144t，這些流體噴射部件144a至144t以預(yù)定間隔布置，并安裝在基本矩形的板142上。
板142安裝在本體146的上部上。本體146有供給口(未示出)，該供給口基本位于中心地確定于該本體的側(cè)壁中，并與本體146的內(nèi)部連通，用于將壓力流體供給流體噴射部件144a至144t。板142有工件保持表面142a，該工件保持表面142a具有環(huán)形槽或較小表面凹凸(未示出)，與上述實(shí)施例的工件漂浮裝置12相同。環(huán)形槽或較小表面凹凸對于沿工件保持表面142a流動的壓力流體提供了流動阻力。
與未示出的壓力流體供給源連接的管38通過接頭管塞40而與供給口連接。壓力流體從未示出的壓力流體供給源通過管38和供給口(未示出)而供給本體146內(nèi)。
壓力流體從流體噴射部件144a至144t朝著板142的工件保持表面142a噴射。這時，分別從流體噴射部件144a至144t中噴射的壓力流體流速將通過控制器等(未示出)而被控制成相等。
因此，工件148通過流體噴射部件144a至144t而保持在板142的工件保持表面142a上面。
板142的寬度大于第一和第二變化形式的工件漂浮裝置100、110的板104、112。當(dāng)壓力流體從安裝在板142上的流體噴射部件144a至144t噴射時，工件漂浮裝置140能夠使具有較大表面面積的工件148漂浮和保持。
如圖13所示，第五變化形式的工件漂浮裝置150與圖12中所示的第四變化形式的工件漂浮裝置110的區(qū)別在于安裝在板152上的多個流體噴射部件154a至154w中的相鄰流體噴射部件彼此交錯。板152具有工件保持表面152a，該工件保持表面152a具有環(huán)形槽或較小表面凹凸(未示出)，與上述實(shí)施例的工件漂浮裝置12相同。環(huán)形槽或較小表面凹凸對于沿工件保持表面152a流動的壓力流體提供了流動阻力。
盡管已經(jīng)詳細(xì)表示和介紹了本發(fā)明的特定優(yōu)選實(shí)施例，但是應(yīng)當(dāng)知道，在不脫離附加權(quán)利要求的范圍的情況下，可以進(jìn)行各種變化和改變。
權(quán)利要求
1.一種工件漂浮裝置，用于在通過壓力流體向工件(18)施加壓力以便使工件(18)保持在空中的同時傳送工件(18)，包括裝置本體(28、34)，用于向該本體中供給壓力流體，所述裝置本體包括確定于其中的開口(30)，該開口(30)朝著所述工件(18)開口；流體噴射部件(32)，該流體噴射部件(32)由多孔材料制成，并裝入在所述裝置本體(28、34)中的開口(30)內(nèi)，用于使從所述裝置本體(28、34)供給的壓力流體通過并使壓力流體朝著所述工件(18)噴射；以及流量減小器，該流量減小器布置在所述裝置本體(28、34)的、對著所述工件(18)的保持表面(53)上，用于減小在所述保持表面(53)和所述工件(18)之間流動的壓力流體的流速，從而增加在所述保持表面(53)和所述工件(18)之間的所述壓力流體的壓力。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件漂浮裝置，其中所述流量減小器對于在所述保持表面(53)和所述工件(18)之間流動的壓力流體提供了流動阻力。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件漂浮裝置，其中所述流量減小器包括槽部分，該槽部分確定于所述保持表面(53)中，并沿遠(yuǎn)離所述工件(18)的方向凹入。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的工件漂浮裝置，其中所述槽部分包括多個環(huán)形槽(55a、55b)，這些環(huán)形槽沿遠(yuǎn)離所述流體噴射部件(32)的方向連續(xù)布置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的工件漂浮裝置，其中所述環(huán)形槽(55a、55b)沿徑向間隔開預(yù)定間隔。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件漂浮裝置，其中所述流量減小器包括對著所述工件(18)的所述保持表面(53)的表面凹凸(57)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件漂浮裝置，其中所述流體噴射部件(32)具有對著所述工件(18)的表面，該表面與所述保持表面(53)基本平齊。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件漂浮裝置，其中多個所述流體噴射部件(102a至102e)以預(yù)定間隔安裝在所述裝置本體(104、106)上，并有對著所述工件(108)的表面，該表面與所述保持表面(104a)基本平齊。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的工件漂浮裝置，其中所述流體噴射部件(102a至102e)沿所述裝置本體(104、106)的縱向方向布置成直行。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的工件漂浮裝置，其中所述流體噴射部件(116a至116e、118a至118e)包括一組流體噴射部件(116a至116e)和另一組流體噴射部件(118a至118e)，所述一組流體噴射部件(116a至116e)和所述另一組流體噴射部件(118a至118e)分別沿所述裝置本體(112、120)的縱向方向布置成直行，并布置成基本彼此平行。
全文摘要
通過與確定于本體(28)中的供給口(26)連接的管(38)向確定于本體(28)中的連通腔室(36)供給壓力流體。壓力流體通過流體噴射部件(32)而從連通腔室(36)朝著工件(18)噴射，該流體噴射部件(32)由多孔材料制成，并通過板(34)而安裝在本體(28)的端表面上。工件(18)通過朝著工件(18)噴射的壓力流體和在工件(18)和板(34)之間流動的壓力流體而向上漂浮并保持在空中。
文檔編號B65G51/02GK1623871SQ20041009798
公開日2005年6月8日 申請日期2004年12月1日 優(yōu)先權(quán)日2003年12月1日
發(fā)明者宮地博, 上野成央, 西川武志, 鈴木智 申請人:Smc株式會社