專利名稱：滾珠傳送單元及滾珠臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及可沿其輸送面向任意方向位移地支撐被輸送物的滾珠臺及在其中使用的滾珠傳送單元。
背景技術(shù)：
為了將被輸送物在其輸送路徑的中途修正輸送姿勢、或?qū)⑵漭斔头较蚋淖優(yōu)檎环较?，使用在底板等支撐部件上排列了多個滾珠傳送單元的滾珠臺。組裝入該滾珠臺中的滾珠傳送單元具有主體，形成有以半球狀凹陷的座面；多個小滾珠，分別轉(zhuǎn)動自如地與該主體的座面抵接；1個大滾珠，轉(zhuǎn)動自如地與這些多個小滾珠抵接；蓋套，安裝在主體上，保持大滾珠，并且將小滾珠保持在大滾珠與主體的座面之間。在這種滾珠傳送單元中，隨著承載在大滾珠上的被輸送物的移動，大滾珠轉(zhuǎn)動，并且使與該大滾珠與主體的座面接觸的小滾珠在它們之間轉(zhuǎn)動，由此能夠使被輸送物與大滾珠之間的靜摩擦阻力變得很小。
因此，在滾珠臺上，能夠使被輸送物容易相對于被輸送物的輸送面內(nèi)的任意方向的外力發(fā)生位移，能夠很容易地修正處于輸送途中的被輸送物的輸送姿勢。例如，在特許2641187號公報中公開了如下的技術(shù)通過使用驅(qū)動器將在滾輪臺上輸送的重量較大的汽車用窗玻璃等的作為被輸送物的定位基準(zhǔn)的側(cè)端推壓到相對于滾珠臺固定的定位基準(zhǔn)塊，來修正被輸送物的輸送姿勢。
此外，在公開了滾珠傳送單元本身的技術(shù)的特開平7-164078號公報中，記載了為了防止作為被輸送物的板金的表面受到損傷、或潤滑油附著于其上而由具有自潤滑性并且比金屬軟質(zhì)的合成樹脂構(gòu)成滾珠傳送單元的技術(shù)。
在對半導(dǎo)體薄片的電路形成的生產(chǎn)線、及平板顯示器的生產(chǎn)線中，在輸送半導(dǎo)體薄片及玻璃基板的情況下，需要在每個特定的工序中進行這些定位。為了進行這種定位而考慮使用滾珠臺。在以這種半導(dǎo)體薄片或平板顯示器用玻璃基板為被輸送物的情況下，當(dāng)然需要盡量避免因摩擦而對其表面形成傷痕，也盡量避免異物的附著等，即使附著了異物也能夠在后工序中的清洗作業(yè)中容易地除去。
如果考慮到這種觀點，則在特許第2641187號公報及特開平7-164078號公報中公開的現(xiàn)有技術(shù)中，有給被輸送物的表面帶來損傷、或在被輸送物上附著了會產(chǎn)生缺陷那樣的異物、或者附著了在后工序中的清洗作業(yè)中也不能除去那樣的異物的缺點。例如，在主體及大滾珠由不銹鋼等金屬形成的裝置中，會發(fā)生因其磨損而產(chǎn)生的金屬粉給被輸送物的表面帶來損傷、或成為在后工序中的清洗作業(yè)中也不能完全除去的異物附著在被輸送物的表面上的不良狀況。此外，在特許文獻2中使用的那樣的聚氨基甲酸乙酯或聚縮醛制的滾珠傳送單元中，存在因其磨損而產(chǎn)生的樹脂粉成為明顯的痕跡固著在被輸送物的表面上、使后工序中的清洗作業(yè)變得很困難的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種不給被輸送物的表面帶來損傷、不對被輸送物本身造成缺陷、或者不產(chǎn)生在后工序中的清洗作業(yè)中也不能除去那樣的異物的滾珠傳送單元及使用它的滾珠臺。
達成該目的的本發(fā)明的第1技術(shù)方案，是一種滾珠傳送單元，具有主體，形成有以半球狀凹陷的座面；多個小滾珠，分別轉(zhuǎn)動自如地與該主體的上述座面抵接；1個大滾珠，轉(zhuǎn)動自如地與這些多個小滾珠抵接；蓋套，安裝在上述主體上，保持上述大滾珠，并且將上述小滾珠保持在上述大滾珠與上述主體的座面之間；其特征在于，至少上述主體及上述大滾珠由PAI(聚酰胺-酰亞胺)、PBI(聚苯并咪唑)、PCTFE(聚三氟氯乙烯)、PEEK(聚醚醚酮)、PEI(聚醚酰亞胺)、PI(聚酰亞胺)、PPS(聚苯硫醚)、三聚氰胺樹脂、芳香族聚酰胺樹脂、氧化鋁、氧化鋯、氮化硅中的任一種形成。
在本發(fā)明中，如果對承載在大滾珠上的被輸送物施加外力，則大滾珠隨著被輸送物的位移而轉(zhuǎn)動，并且支撐大滾珠的小滾珠也相對于主體的座面轉(zhuǎn)動，將相對于被輸送物的移動的摩擦阻力抑制在最小限度。
根據(jù)本發(fā)明的滾珠傳送單元，由于至少由PAI、PBI、PCTFE、PEEK、PEI、PI、PPS、三聚氰胺樹脂、芳香族聚酰胺樹脂、氧化鋁、氧化鋯、氮化硅中的任一種形成至少主體及大滾珠，所以能夠?qū)⑾鄬τ诔休d在大滾珠上的被輸送物的移動的摩擦阻力抑制在最小限度，能夠以較小的力使被輸送物位移。在這種情況下，隨著大滾珠及小滾珠的旋轉(zhuǎn)，它們的磨損粉塵不易發(fā)生，即使發(fā)生了磨損粉塵并成為痕跡附著在被輸送物上也能夠容易地清洗，所以能夠?qū)Π雽?dǎo)體薄片的處理及平板顯示器的制造的不良影響防患于未然。并且，對紫外線的耐久性，或者對于耐藥性也能得到優(yōu)良的特性。
在本發(fā)明的第1技術(shù)方案的滾珠傳送單元中，優(yōu)選為，主體、小滾珠、以及大滾珠的洛氏硬度HRR(R-Scale)分別為75以上。在它們的洛氏硬度HRR不到75的情況下，會因承載在大滾珠上的被輸送物的自重等而使大滾珠或者主體的座面彈性變形，使被輸送物從靜止?fàn)顟B(tài)開始移動時的摩擦阻力增大而阻礙被輸送物的平滑的移動，特別是在大滾珠的表面上產(chǎn)生傷痕等而將異物夾在其中、給被輸送物帶來不良影響的可能性變高。
在分別將主體、小滾珠、以及大滾珠的洛氏硬度HRR設(shè)定為75以上的情況下，能夠抑制因承載在大滾珠上的被輸送物的自重等而造成的大滾珠或者主體的座面的彈性變形，能夠?qū)⑹贡惠斔臀飶撵o止?fàn)顟B(tài)開始移動時的摩擦阻力抑制到最小限度，能夠使被輸送物很平滑地移動。
同樣，ASTM D648試驗的主體、小滾珠、以及大滾珠的熱變形溫度分別為120℃以上是有效的。在它們的熱變形溫度不到120℃的情況下，當(dāng)在處于比較高溫狀態(tài)的被輸送物及環(huán)境溫度較高的環(huán)境氣體中使用時，大滾珠或者主體的座面會發(fā)生變形，使被輸送物從靜止?fàn)顟B(tài)開始移動時的摩擦阻力增大而阻礙被輸送物的平滑的移動。
在將ASTM D648試驗的主體、小滾珠、以及大滾珠的熱變形溫度分別設(shè)定為120℃以上的情況下，當(dāng)在處于比較高溫狀態(tài)的被輸送物及環(huán)境溫度較高的環(huán)境氣體中使用時，大滾珠或者主體的座面的變形受到抑制，能夠?qū)⑹贡惠斔臀飶撵o止?fàn)顟B(tài)開始移動時的摩擦阻力抑制到最小限度，能夠使被輸送物很平滑地移動。
上述的PAI、PBI、PCTFE、PEEK、PEI、PI、PPS、三聚氰胺樹脂、芳香族聚酰胺樹脂所有的洛氏硬度HRR都為75以上，ASTMD648試驗的熱變形溫度分別為120℃以上。另外，氧化鋁、氧化鋯、氮化硅與這些樹脂相比當(dāng)然硬度及耐熱性更好。
小滾珠既可以由與主體或大滾珠相同的材料形成，或者也可以由SUS304、SUS316、SUS420j2、SUS440C、或濕式表面處理(化學(xué)研磨及表面清洗)過的SUS304、SUS316等不銹鋼形成。在由不銹鋼形成小滾珠的情況下，優(yōu)選為將主體及大滾珠用PAI、PBI、PCTFE、PEEK、PEI、PI、PPS、三聚氰胺樹脂、芳香族聚酰胺樹脂形成。
在將小滾珠用與上述那樣的主體或大滾珠相同的材料形成的情況下，由于從滾珠傳送單元根本不產(chǎn)生磨損帶來的金屬粉，所以特別能夠?qū)雽?dǎo)體薄片的處理及平板顯示器的制造中的不良影響防患于未然。
也可以將滾珠傳送單元由單一材料形成，由此能夠使異物的處理更加簡單化。此外，通過選擇PBI、PEEK、或PI中的某一個作為單一材料，在對液晶面板用基板玻璃的前處理裝置、例如曝光裝置、等離子干蝕刻器、濺鍍裝置等的真空腔內(nèi)或加熱爐內(nèi)、或者置于藥液中的場所、玻璃的切斷或檢查裝置以及用來進行檢查后的修正的激光修復(fù)等中使用滾珠傳送單元時，會帶來特別好的結(jié)果。
主體還具有在其外周面上形成的環(huán)狀槽；蓋罩具有圍著上述主體的外周面而嵌合的筒部、和在該筒部的下端部內(nèi)周形成并能夠卡止在環(huán)狀槽內(nèi)的可沿徑向彈性變形的環(huán)狀的卡止部；該卡止部的內(nèi)徑設(shè)定得比主體的外徑小。此時，優(yōu)選為用PAI、PBI、PCTFE、PEEK、PEI、PI、PPS、三聚氰胺樹脂、芳香族聚酰胺樹脂形成蓋罩。
在主體的外周面上形成環(huán)狀槽、在蓋罩上設(shè)置了圍著上述主體的外周面而嵌合的筒部、和在該筒部的下端部內(nèi)周形成并能夠卡止在環(huán)狀槽內(nèi)的可沿徑向彈性變形的環(huán)狀的卡止部、該卡止部的內(nèi)徑設(shè)定得比主體的外徑小的情況下，能夠?qū)⑸w罩相對于主體彈簧鎖定，能夠在將蓋罩固定在主體上時將異物的發(fā)生防患于未然，特別能夠確保在無塵室中的使用中的可靠性。從這種觀點出發(fā)，將剛制造后的滾珠傳送單元清洗而清潔封裝、在無塵室中將其開封使用是有效的。具體而言，用IPA(異丙醇)或者界面活性劑預(yù)清洗剛制造后的滾珠傳送單元，進行這些表面的脫脂及異物的除去，接著將預(yù)清洗后的滾珠傳送單元投入到積存有添加了界面活性劑的純水的超聲波清洗槽內(nèi)，一邊將它們加熱到適當(dāng)?shù)臏囟纫贿呥M行超聲波清洗，然后多階段地進行純水的漂洗處理，在清潔空氣中進行脫水。然后，將清洗后的滾珠傳送單元在干燥室內(nèi)加熱干燥，用規(guī)定的包裝材料進行清潔封裝。由此，能夠?qū)L珠傳送單元的潔凈度保證為例如10級左右。
還可以具有貫通主體、一端在座面上開口的連通孔。該連通孔優(yōu)選為將其開口部分的內(nèi)徑設(shè)定得比小滾珠的半徑小，以便不妨礙小滾珠沿著座面的轉(zhuǎn)動動作。
在具有貫通主體、一端在座面上開口的連通孔的情況下，特別在真空腔內(nèi)使用滾珠傳送單元的情況下，因連通孔的存在，能夠容易且迅速地進行滾珠傳送單元內(nèi)的排氣。此外，能夠容易地將隨著被輸送物的清洗而流入到滾珠傳送單元內(nèi)的清洗液經(jīng)由連通孔向外部排出。
可以將用來固定主體的陰螺紋筒及陽螺紋部、或者安裝凸緣等連結(jié)部一體地形成在該主體上。
本發(fā)明的第2技術(shù)方案，是支撐被輸送物的滾珠臺，其特征在于，具有本發(fā)明的第1技術(shù)方案的多個滾珠傳送單元；以規(guī)定間隔固定這些滾珠傳送單元的支撐部件。
在本發(fā)明中，如果對經(jīng)由滾珠傳送單元承載在支撐部件上的被輸送物施加與支撐部件的表面平行的外力，則各個滾珠傳送單元的大滾珠分別隨著被輸送物的位移而轉(zhuǎn)動，并且支撐這些大滾珠的小滾珠也相對于各主體的座面轉(zhuǎn)動，將對被輸送物的移動的摩擦阻力抑制到最小限度。
根據(jù)本發(fā)明的滾珠臺，由于具有本發(fā)明的第1技術(shù)方案的多個滾珠傳送單元、和以規(guī)定間隔固定這些滾珠傳送單元的支撐部件，所以能夠?qū)缰鱾€滾珠傳送單元承載在支撐部件上的被輸送物的移動的摩擦阻力抑制到最小限度，能夠以較小的外力使被輸送物在支撐部件上位移。在這種情況下，不易隨著大滾珠或者小滾珠的旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生它們的磨損粉塵，即使產(chǎn)生了磨損粉塵而成為痕跡附著在被輸送物上，也能夠容易地清洗，所以特別在進行半導(dǎo)體薄片及平板顯示器用玻璃板的處理時能夠通過使用滾珠臺將不良影響防患于未然。
在本發(fā)明的第2技術(shù)方案的滾珠臺中，被輸送物可以是半導(dǎo)體薄片或平板顯示器用玻璃基板。


圖1是提取了本發(fā)明的滾珠臺的一實施例的外觀并以截斷狀態(tài)表示的投影圖。
圖2是表示組裝到圖1所示的滾珠臺中的本發(fā)明的滾珠傳送單元的一實施例的內(nèi)部構(gòu)造的部分截斷剖視圖。
具體實施例方式
對于將本發(fā)明的滾珠臺應(yīng)用于平板顯示器用玻璃基板的定位臺的一實施例，參照表示其主要部分的外觀的圖1及以截斷狀態(tài)表示各個滾珠傳送單元的內(nèi)部構(gòu)造的圖2詳細(xì)地說明，但本發(fā)明并不限于這樣的實施例，可以進行在本說明書的權(quán)利要求的范圍所記載的本發(fā)明的概念中所包含的所有改變及修正，因而當(dāng)然也可以應(yīng)用到從屬于本發(fā)明的主旨的其他任何技術(shù)中。
本實施例的滾珠臺的主要部分的外觀如圖1所示，組裝到該滾珠臺中的滾珠傳送單元的剖面構(gòu)造如圖2所示。即，在由表面上實施了非電解鎳鍍層處理的SUS304等形成的作為本發(fā)明的支撐部件的底盤11的表面上，以規(guī)定間隔形成了未圖示的陰螺紋孔。在各陰螺紋孔中螺入了從滾珠傳送單元12的主體13中央部向下突出的陽螺紋部13a作為連結(jié)部。在底盤11上固定著未圖示的定位塊，通過由未圖示的驅(qū)動器使輸送到該底盤11上的玻璃基板W的側(cè)端部在底盤11上滑動并向定位塊側(cè)推壓，來矯正玻璃基板W的姿勢。
本實施例的滾珠傳送單元12具有主體13，以半球狀凹陷的座面13b在上端部中央形成，呈圓柱狀；多個小滾珠14，分別轉(zhuǎn)動自如地與該主體13的座面13b抵接；1個大滾珠15，轉(zhuǎn)動自如地與這些多個小滾珠14抵接；蓋套16，安裝在主體13上，保持大滾珠15，并且將小滾珠14保持在大滾珠15與主體13的座面13b之間；它們都由洛氏硬度HRR為110～115左右、ASTM D648試驗的熱變形溫度為360℃以上的PI(聚酰亞胺)、例如杜邦公司的vespel(注冊商標(biāo))形成。小滾珠14及大滾珠15都受到機械研磨加工，以使其得到規(guī)定的球度，同樣，主體13的座面13b也受到機械研磨加工，以使其成為規(guī)定的曲率半徑，基本上使大部分的小滾珠14成為與主體13的座面13b和大滾珠15的外周面同時點接觸的狀態(tài)。由此，配置為使從將玻璃基板W載置在大滾珠15上的狀態(tài)移動玻璃基板W時的摩擦阻力為最小。
穿過陽螺紋部13a的中心部而貫通主體13的連通孔13c，其一端在主體13的座面13b上開口，另一端在陽螺紋部13a的端面上開口。座面13b側(cè)的連通孔13c的開口端部為內(nèi)徑設(shè)定得比小滾珠14的半徑小的小徑部13d，以使其不妨礙小滾珠14沿著座面13b的圓滑的轉(zhuǎn)動，在面對著座面13b的開口端形成有倒角部13e。由于該連通孔13c的存在，例如在真空腔內(nèi)使用滾珠傳送單元12時，能夠迅速且可靠地進行滾珠傳送單元12內(nèi)的排氣操作。此外，在清洗玻璃基板W時能夠容易地將流入到滾珠傳送單元12內(nèi)的清洗液經(jīng)由連通孔13c向外部排出。該連通孔13c只要其一端在座面13b上開口以使其貫通主體13就可以，因而，也可以使連通孔13c的另一端在主體13的外周面上開口。
另外，上述陽螺紋部13a也由PI與主體13一體地形成，通過機械加工而加工成的，但也可以采用陰螺紋筒來代替陽螺紋部13a，在這種情況下能夠更容易地進行滾珠傳送單元12從底盤11的突出高度的微調(diào)。
在呈圓柱狀的主體13的外周面上形成有環(huán)狀槽13f，能夠卡止遍及杯形截面形狀的蓋罩16的筒部16a的下端(圖2中為下側(cè))內(nèi)周整個區(qū)域形成的卡止部16b；一對平面部13g，為了將陽螺紋部13a螺入到底盤11的陰螺紋孔中而將主體13固定在底盤11上，具有由扳手等工具夾持的所謂對邊距離。本實施例的環(huán)狀槽13f形成在比一對平面部13g靠主體13的上端側(cè)(圖2中為上方)。
在蓋罩16的中央部形成有使大滾珠15的上端部突出的開口16c，該開口16c的內(nèi)徑設(shè)定得比大滾珠15的外徑小，但在大滾珠15經(jīng)由小滾珠14保持在主體13的座面13b上的圖2所示的狀態(tài)下，設(shè)定為相對于大滾珠15為非接觸狀態(tài)那樣的尺寸。此外，蓋罩16的筒部16a的內(nèi)徑設(shè)定為使其相對于主體13的外徑為間隙配合的狀態(tài)，而卡止部16b的內(nèi)徑設(shè)定得比主體13的外徑小。因此，在將蓋罩16的筒部16a安裝到主體上時，卡止部16b的部分彈性變形而整體向徑向外側(cè)張出，它在到達環(huán)狀槽13f的時刻恢復(fù)為原狀態(tài)，卡止部16b嵌在環(huán)狀槽13f內(nèi)而不能將蓋罩16從主體13取下。在本實施例中，為了使比主體13的外徑小徑的卡止部16b容易跨到主體13的外周面上，在主體13的外周的上端部形成了外徑比卡止部16b的內(nèi)徑小、尖的錐部13h，還在主體13的上端面的一部分上形成了對由該錐部13h和蓋罩16的內(nèi)壁圍成的空隙17通氣用的切口13i。
通過在主體13和蓋罩16上形成這樣的彈簧鎖機構(gòu)，在將蓋罩16固定到主體13上時不需要粘接劑或螺釘?shù)泉毩Φ墓潭ú考?，能夠做成可靠性更高的裝置。
另外，從底盤11的表面到各個滾珠傳送單元12的上端的高度可以通過在將主體13固定到底盤11上時在底盤11與主體13之間加裝適當(dāng)厚度的墊片(未圖示)來適當(dāng)?shù)卣{(diào)整。
在上述實施例中，由PI形成整個滾珠傳送單元12，但可以由PAI、PBI、PCTFE、PEEK、PEI、PI、PPS、三聚氰胺樹脂、芳香族聚酰胺樹脂、氧化鋁、氧化鋯、氮化硅中的任一種形成。但是，在想要在對液晶面板用基板玻璃的前處理裝置、例如曝光裝置、等離子干蝕刻器、濺鍍裝置等的真空腔內(nèi)或加熱爐內(nèi)、或者置于藥液中的場所、玻璃的切斷或檢查裝置以及用來進行檢查后的修正的激光修復(fù)等中使用滾珠傳送單元12的情況下，如果考慮到它們的物性及異物對被輸送物的附著特性、以及制造成本等綜合地判斷，則在目前認(rèn)為最優(yōu)選的是由PI、或PEEK、或PBI形成整個滾珠傳送單元12。
在使構(gòu)成滾珠傳送單元12的主體13、小滾珠14、大滾珠15、蓋罩16都統(tǒng)一為相同材質(zhì)的情況下，有能夠使對異物的清洗處理簡單化的優(yōu)點。此外，使處于相互接觸狀態(tài)的主體13、小滾珠14、和大滾珠15統(tǒng)一為相同的材質(zhì)，能夠使靜摩擦阻力最小化的可能性較高。但是，即使將小滾珠14由SUS304、SUS316、SUS420j2、SUS440C、或濕式表面處理過的SUS304、SUS316等不銹鋼形成，也可以判斷為其金屬粉等不會附著在被輸送物上、或者即使附著了在后工序的清洗作業(yè)中也能夠無問題地除去。
工業(yè)實用性本發(fā)明可以用作對在怕金屬粉及后工序中難以清洗的異物的附著的無塵室等中輸送的板狀的被輸送物進行支撐、能夠進行容易的位置調(diào)整的滾珠臺。
權(quán)利要求
1.一種滾珠傳送單元，具有主體，形成有以半球狀凹陷的座面；多個小滾珠，分別轉(zhuǎn)動自如地與該主體的上述座面抵接；1個大滾珠，轉(zhuǎn)動自如地與這些多個小滾珠抵接；蓋套，安裝在上述主體上，保持上述大滾珠，并且將上述小滾珠保持在上述大滾珠與上述主體的座面之間；其特征在于，至少上述主體及上述大滾珠由PAI、PBI、PCTFE、PEEK、PEI、PI、PPS、三聚氰胺樹脂、芳香族聚酰胺樹脂、氧化鋁、氧化鋯、氮化硅中的任一種形成。
2.如權(quán)利要求1所述的滾珠傳送單元，其特征在于，上述主體、上述小滾珠、以及上述大滾珠的洛氏硬度HRR分別為75以上。
3.如權(quán)利要求1所述的滾珠傳送單元，其特征在于，ASTM D648試驗的上述主體、上述小滾珠、以及上述大滾珠的熱變形溫度分別為120℃以上。
4.如權(quán)利要求1至3中任一項所述的滾珠傳送單元，其特征在于，上述小滾珠由與上述主體或上述大滾珠相同的材料形成。
5.如權(quán)利要求1至3中任一項所述的滾珠傳送單元，其特征在于，由單一材料形成。
6.如權(quán)利要求5所述的滾珠傳送單元，其特征在于，單一材料為PBI、PEEK、或PI。
7.如權(quán)利要求1至3中任一項所述的滾珠傳送單元，其特征在于，上述小滾珠由不銹鋼形成。
8.如權(quán)利要求1至7中任一項所述的滾珠傳送單元，其特征在于，上述主體還具有在其外周面上形成的環(huán)狀槽；上述蓋罩具有圍著上述主體的外周面而嵌合的筒部、和形成在該筒部的下端部內(nèi)周并能夠卡止在上述環(huán)狀槽內(nèi)的可沿徑向彈性變形的環(huán)狀的卡止部；該卡止部的內(nèi)徑設(shè)定得比上述主體的外徑小。
9.如權(quán)利要求1至8中任一項所述的滾珠傳送單元，其特征在于，還具有貫通上述主體、一端在上述座面上開口的連通孔。
10.一種滾珠臺，支撐被輸送物；其特征在于，具有權(quán)利要求1至7中任一項所述的多個滾珠傳送單元；以規(guī)定間隔固定這些滾珠傳送單元的支撐部件。
11.如權(quán)利要求10所述的滾珠臺，其特征在于，被輸送物是半導(dǎo)體薄片或平板顯示器用玻璃基板。
全文摘要
本發(fā)明的滾珠傳送單元(12)具有主體(13)，形成有以半球狀凹陷的座面(13b)；多個小滾珠(14)，分別轉(zhuǎn)動自如地與該主體(13)的座面(13b)抵接；1個大滾珠(15)，轉(zhuǎn)動自如地與這些多個小滾珠(14)抵接；蓋套(16)，安裝在主體(13)上，保持大滾珠(15)，并且將小滾珠(14)保持在大滾珠(15)與主體(13)的座面(13b)之間；至少主體(13)及大滾珠(15)由PAI、PBI、PCTFE、PEEK、PEI、PI、PPS、三聚氰胺樹脂、芳香族聚酰胺樹脂、氧化鋁、氧化鋯、氮化硅中的任一種形成。根據(jù)本發(fā)明，不會產(chǎn)生會給被輸送物的表面帶來損傷、或?qū)Ρ惠斔臀锉旧碓斐扇毕?、或者在后工序的清洗作業(yè)中也不能除去的那樣的異物。
文檔編號B65G49/06GK1845863SQ200480025088
公開日2006年10月11日 申請日期2004年7月1日 優(yōu)先權(quán)日2003年7月1日
發(fā)明者井口熏, 高橋正和 申請人:株式會社井口機工制作所, 納幕爾杜邦公司