專利名稱：卡匣、機械手臂和工藝設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種卡匣、機械手臂和工藝設(shè)備，且特別涉及一種使用磁性導(dǎo)螺桿的卡匣、機械手臂和工藝設(shè)備。
背景技術(shù)：
薄膜晶體管液晶顯示器(Thin Film Transistor Liquid CrystalDisplay，TFT-LCD)為現(xiàn)今顯示器市場的重要主流，其主要包括液晶顯示面板(liquid crystal display panel)及背光模塊(back light module)。其中液晶顯示面板由彩色濾光基板(Color Filter，C/F)、薄膜晶體管陣列基板(thin film transistor array)以及設(shè)置于此兩基板間的液晶層所構(gòu)成。薄膜晶體管陣列基板會通過多道工藝，于玻璃基板上制造多個用以驅(qū)動液晶層的陣列排列的薄膜晶體管(TFT)。以下就傳送及存放玻璃基板的裝置進行說明。
圖1為公知用以容置基板的卡匣示意圖，而圖2A和圖2B分別為公知的兩叉式機械手臂與基板移出的示意圖。圖3為公知的工藝設(shè)備的負(fù)載/卸載腔室示意圖。請先參照圖1、圖2A與圖2B，一般在工藝中，基板S通常是存放在卡匣(Cassette)100中，而此卡匣100包括多個側(cè)向式支承臂(side-bearing arm)110，其設(shè)置于卡匣100內(nèi)的兩側(cè)，用以承載基板S。為簡化說明，圖1中僅表示出一個基板S與其相對應(yīng)的側(cè)向式支承臂110。在此公知的卡匣100中，為了讓機械手臂(Mechanical Arm)120能夠移出或置入基板S(如圖2A所示)，側(cè)向式支承臂110的尺寸不能太大，且這些側(cè)向式支承臂110會造成機械手臂120在定位上的困難。此外，近日來玻璃基板的大尺寸化，不僅使得側(cè)向式支承臂110容易發(fā)生變形，也使玻璃基板容易發(fā)生變形。
承上所述，兩叉式(two-fork)的機械手臂120先伸入至基板S下方，再將基板S提起。接著，承載基板S的機械手臂120自卡匣100中退出(如圖2B所示)，并將基板S移動送至工藝設(shè)備200內(nèi)(如圖3所示)。同樣地，隨著玻璃基板的大尺寸化，機械手臂120所需的結(jié)構(gòu)強度也就越高，才能避免機械手臂120本身發(fā)生變形。
圖3中，工藝設(shè)備(Process Apparatus)200包括負(fù)載/卸載腔室210，與連接至負(fù)載/卸載腔室210的反應(yīng)腔室220。其中，在負(fù)載/卸載腔室210內(nèi)設(shè)置有多個支承針腳(bearing pins)212，用以承載機械手臂120所送來的基板S。之后，基板S再送入工藝設(shè)備200的反應(yīng)腔室220中進行所需的半導(dǎo)體工藝(Semiconductor Process)。完成半導(dǎo)體工藝的基板S再依序由機械手臂120承接，并送回卡匣100中。
值得注意的是，上述用來負(fù)載基板S的支承針腳212必須加以適當(dāng)?shù)脑O(shè)計，使機械手臂120能夠取出或置入基板S。然而，支承針腳212的設(shè)置位置若設(shè)計不當(dāng)會造成機械手臂120在定位上的困難。此外，當(dāng)支承針腳212與基板S接觸時，支承針腳212與基板S之間也可能產(chǎn)生靜電放電，而對于基板S上的電子元件造成損傷。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的目的是提供一種卡匣，以改善公知的卡匣所發(fā)生的支承臂變形與基板變形的現(xiàn)象。
此外，本發(fā)明的再一目的是提供一種機械手臂，以改善公知的機械手臂定位的困難度。
另外，本發(fā)明的又一目的是提供一種工藝設(shè)備，以改善基板上的電子元件受到靜電放電而產(chǎn)生損壞的現(xiàn)象。
基于上述目的或其他目的，本發(fā)明提出一種卡匣，其適于容置至少一個基板。此卡匣包括殼體和至少一個傳送單元。傳送單元設(shè)置于殼體內(nèi)，且傳送單元包括適于承載基板的多個滾軸和至少一個磁性導(dǎo)螺桿。其中，此磁性導(dǎo)螺桿與這些滾軸中的一個電連接，且磁性導(dǎo)螺桿轉(zhuǎn)動時帶動相對應(yīng)的滾軸轉(zhuǎn)動使基板移動。
依照本發(fā)明實施例，磁性導(dǎo)螺桿可以是位于對應(yīng)的滾軸的一端。
依照本發(fā)明實施例，磁性導(dǎo)螺桿與對應(yīng)的滾軸可以是互相垂直。
依照本發(fā)明實施例，這些滾軸可以是水平排列。
基于上述目的或其他目的，本發(fā)明提出一種機器手臂，其適于傳送基板。此機器手臂包括主體和傳送單元。此傳送單元與主體連接，且傳送單元包括適于承載基板的多個滾軸和至少一個磁性導(dǎo)螺桿。其中，此磁性導(dǎo)螺桿與這些滾軸中的一個電連接，且磁性導(dǎo)螺桿轉(zhuǎn)動時帶動相對應(yīng)的滾軸轉(zhuǎn)動使基板移動。
依照本發(fā)明實施例，磁性導(dǎo)螺桿可以是位于對應(yīng)的滾軸的一端。
依照本發(fā)明實施例，磁性導(dǎo)螺桿與對應(yīng)的滾軸可以是互相垂直。
依照本發(fā)明實施例，這些滾軸可以是水平排列。
基于上述目的或其他目的，本發(fā)明提出一種工藝設(shè)備，其適于對于基板進行半導(dǎo)體工藝。此工藝設(shè)備包括反應(yīng)腔室、負(fù)載/卸載腔室與傳送單元，其中負(fù)載/卸載腔室與反應(yīng)腔室連接。傳送單元設(shè)置于負(fù)載/卸載腔室內(nèi)，且傳送單元包括適于承載基板的多個滾軸和至少一個磁性導(dǎo)螺桿。其中，此磁性導(dǎo)螺桿與這些滾軸中的一個電連接，且磁性導(dǎo)螺桿轉(zhuǎn)動時帶動相對應(yīng)的滾軸轉(zhuǎn)動使基板移動。
依照本發(fā)明實施例，磁性導(dǎo)螺桿可以是位于對應(yīng)的滾軸的一端。
依照本發(fā)明實施例，磁性導(dǎo)螺桿與對應(yīng)的滾軸可以是互相垂直。
依照本發(fā)明實施例，這些滾軸可以是水平排列。
基于上述，本發(fā)明的卡匣因采用以滾輪和磁性導(dǎo)螺桿所組成的傳送單元來承載基板，因此基板變形的情況能夠獲得改善，且機械手臂的定位困難度也可以降低。此外，依照本發(fā)明的工藝設(shè)備的負(fù)載/卸載腔室的設(shè)計也可以被簡化，且能夠改善基板上的電子元件受到靜電放電而破壞的現(xiàn)象。
為讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，并配合附圖，作詳細(xì)說明如下。


圖1為公知的用于容置基板的卡匣示意圖。
圖2A為公知的二叉式機械手臂示意圖。
圖2B為公知的基板取出的示意圖。
圖3為公知的工藝設(shè)備的負(fù)載/卸載腔室示意圖。
圖4A與圖4B分別為依據(jù)本發(fā)明實施例的卡匣的俯視圖與側(cè)視圖。
圖5A與圖5B分別為依據(jù)本發(fā)明實施例的機械手臂的俯視圖與立體示意圖。
圖6A為依據(jù)本發(fā)明實施例的工藝設(shè)備俯視圖。
圖6B為本發(fā)明實施例的卡匣、機械手臂與工藝設(shè)備同時使用的示意圖。
主要元件標(biāo)記說明100公知的卡匣110側(cè)向式支承臂120兩叉式機械手臂200、500工藝設(shè)備210、530負(fù)載/卸載腔室220支承針腳300卡匣310殼體320、420、520傳送單元322、422、522滾軸324、424、524磁性導(dǎo)螺桿400機械手臂410主體430調(diào)整基座500工藝設(shè)備510反應(yīng)腔室
S基板具體實施方式
圖4A與圖4B分別為依據(jù)本發(fā)明實施例的卡匣的俯視圖與側(cè)視圖。請參照圖4A與圖4B。在半導(dǎo)體工藝中，待進行工藝或已完成工藝的基板S可存放于如圖4A所示卡匣300，此卡匣300包括殼體310和傳送單元320。此傳送單元320設(shè)置于殼體310內(nèi)，且傳送單元320可用以承載一個基板S。當(dāng)然，本實施例的卡匣300可包括多個傳送單元320，以承載多個基板S，如圖4B所示。然而為了簡化說明，本實施例僅以單一傳送單元320進行說明。
在本實施例中，傳送單元320包括多個滾軸322和多個磁性導(dǎo)螺桿324，其中這些滾軸322為水平排列，以承載基板S。此外，每個磁性導(dǎo)螺桿324各自與相對應(yīng)的滾軸322的一端電連接。當(dāng)磁性導(dǎo)螺桿324轉(zhuǎn)動時，就會帶動相對應(yīng)的滾軸322轉(zhuǎn)動，以使得基板S移動。簡單說，在圖4B中，基板S以各傳送單元320承載，并于需要使用時以滾軸322帶動基板S移動而送出卡匣300。此外，更詳細(xì)而言，磁性導(dǎo)螺桿324與對應(yīng)的滾軸322可以是互相垂直。值得注意的是，雖然本實施例的傳送單元320具有多個磁性導(dǎo)螺桿324，但在使用單一磁性導(dǎo)螺桿324的情況下，也可以使得基板S移動。
接著，請參照圖5A與圖5B，其分別為依據(jù)本發(fā)明實施例的機械手臂的俯視圖與立體示意圖。從卡匣300傳送出來的基板S，會以一個機械手臂400來承接和運送。機器手臂400包括主體410和傳送單元420，其中傳送單元420與主體410連接。此外，本實施例的傳送單元420與上述卡匣300中的傳送單元320可以是相同，而此傳送單元420可包括多個滾軸422與多個磁性導(dǎo)螺桿424。同樣地，這些滾軸422為水平排列以承載和傳送基板S，而每個磁性導(dǎo)螺桿424各自與相對應(yīng)的滾軸422的一端電連接。舉例而言，磁性導(dǎo)螺桿424與對應(yīng)的滾軸422可以是互相垂直。另外，值得一提的是，主體410可設(shè)置于調(diào)整基座430上，其能用以調(diào)整傳送單元420的垂直高度以對應(yīng)卡匣300承接其內(nèi)傳送單元320上的基板S，且適于導(dǎo)引基板S傳送的方向。
簡單來說，當(dāng)要傳送基板S時，機械手臂400的傳送單元420便會承接由卡匣300中傳送單元320所傳送出來基板S。之后，借著傳送單元420的磁性導(dǎo)螺桿424轉(zhuǎn)動而帶動相對應(yīng)的滾軸422轉(zhuǎn)動，以傳送基板S。換言之，機械手臂400不僅可用以承接基板S外，還可以傳送基板S。
之后，再由機械手臂400將基板S傳送至工藝設(shè)備500內(nèi)。圖6A為依據(jù)本發(fā)明實施例的工藝設(shè)備俯視圖，而圖6B為本發(fā)明實施例的卡匣、機械手臂與工藝設(shè)備同時使用的示意圖。請參照圖6A與圖6B，工藝設(shè)備500包括反應(yīng)腔室510、傳送單元520與負(fù)載/卸載腔室530，其中負(fù)載/卸載腔室530與反應(yīng)腔室510連接，而傳送單元520設(shè)置于負(fù)載/卸載腔室530內(nèi)。此外，傳送單元520與前述傳送單元320可以是相同，而傳送單元520包括多個滾軸522與多個磁性導(dǎo)螺桿524。其中，這些滾軸522和磁性導(dǎo)螺桿524的設(shè)置與電連接方式都與前述相同，不再重復(fù)說明。
因而，機械手臂400所承載的基板S即送入負(fù)載/卸載腔室530內(nèi)，然后由傳送單元520將基板S送入反應(yīng)腔室510中，以進行半導(dǎo)體工藝。在工藝完成后，基板S再依序經(jīng)由傳送單元520與機械手臂400的傳送，而傳回至卡匣300中存放。由此可知，本發(fā)明使用同樣的傳送單元，因而能連續(xù)地進行基板的儲放、運送和工藝的運作流程。
值得注意的是，本實施例并不限定卡匣300、機械手臂400與工藝設(shè)備500需同時使用，而卡匣300、機械手臂400與工藝設(shè)備500也可以獨立使用。
綜上所述，本發(fā)明至少具有下列優(yōu)點一、本發(fā)明將由滾輪以及磁性導(dǎo)螺桿所組合的傳送單元應(yīng)用至卡匣、機械手臂或工藝設(shè)備中，因此這種卡匣、機械手臂或工藝設(shè)備能夠承載大尺寸基板。
二、與公知技術(shù)相比，本發(fā)明的卡匣所能承載基板的數(shù)量更多，且機械手臂的定位也能簡化。
三、與公知技術(shù)相比，本發(fā)明不僅能夠簡化負(fù)載/卸載腔室，更可改善基板上的電子元件受到靜電放電而破壞的現(xiàn)象。
雖然本發(fā)明已以較佳實施例披露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更動與改進，因此本發(fā)明的保護范圍當(dāng)視權(quán)利要求所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種卡匣，適于容置至少一個基板，其特征是該卡匣包括殼體；至少一個傳送單元，設(shè)置于該殼體內(nèi)，該傳送單元包括多個滾軸，適于承載該基板；以及至少一個磁性導(dǎo)螺桿，該磁性導(dǎo)螺桿與上述這些滾軸中的一個電連接，在該磁性導(dǎo)螺桿轉(zhuǎn)動時，該磁性導(dǎo)螺桿帶動對應(yīng)的該滾軸轉(zhuǎn)動，以使該基板移動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卡匣，其特征是該磁性導(dǎo)螺桿位于對應(yīng)的該滾軸的一端。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卡匣，其特征是該磁性導(dǎo)螺桿與對應(yīng)的該滾軸垂直。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卡匣，其特征是上述這些滾軸為水平排列。
5.一種機器手臂，適于傳送基板，其特征是該機器手臂包括主體；傳送單元，連接至該主體，該傳送單元包括多個滾軸，適于承載該基板；以及至少一個磁性導(dǎo)螺桿，該磁性導(dǎo)螺桿與上述這些滾軸中的一個電連接，在該磁性導(dǎo)螺桿轉(zhuǎn)動時，該磁性導(dǎo)螺桿帶動對應(yīng)的該滾軸轉(zhuǎn)動，以使該基板移動。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的機器手臂，其特征是該磁性導(dǎo)螺桿位于對應(yīng)的該滾軸的一端。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的機器手臂，其特征是該磁性導(dǎo)螺桿與對應(yīng)的該滾軸垂直。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的機器手臂，其特征是上述這些滾軸為水平排列。
9.一種工藝設(shè)備，適于對于基板進行半導(dǎo)體工藝，其特征是該工藝設(shè)備包括反應(yīng)腔室；負(fù)載/卸載腔室，連接至該反應(yīng)腔室；傳送單元，設(shè)置于該負(fù)載/卸載腔室內(nèi)，該傳送單元包括多個滾軸，適于承載該基板；以及至少一個磁性導(dǎo)螺桿，該磁性導(dǎo)螺桿與上述這些滾軸中的一個電連接，在該磁性導(dǎo)螺桿轉(zhuǎn)動時，該磁性導(dǎo)螺桿帶動對應(yīng)的該滾軸轉(zhuǎn)動，以使該基板移動。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的工藝設(shè)備，其特征是該磁性導(dǎo)螺桿位于對應(yīng)的該滾軸的一端。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的工藝設(shè)備，其特征是該磁性導(dǎo)螺桿與對應(yīng)的該滾軸垂直。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的工藝設(shè)備，其特征是上述這些滾軸為水平排列。
全文摘要
一種卡匣，其適于容置至少一個基板。卡匣包括殼體和至少一個傳送單元。此傳送單元適于設(shè)置于殼體內(nèi)，且傳送單元包括多個滾軸和至少一個磁性導(dǎo)螺桿。其中，這些滾軸適用于承載基板，而此磁性導(dǎo)螺桿與這些滾軸中的一個電連接。當(dāng)磁性導(dǎo)螺桿轉(zhuǎn)動時便會帶動相對應(yīng)的滾軸轉(zhuǎn)動使基板移動。此外，本發(fā)明亦披露一種機械手臂和工藝設(shè)備。
文檔編號B65G49/07GK1978287SQ200510127719
公開日2007年6月13日 申請日期2005年12月2日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月2日
發(fā)明者劉大有 申請人:中華映管股份有限公司