專利名稱：防止靜電聚集的玻璃基板載具的制作方法
技術領域：
本發(fā)明屬于一種玻璃基板載具，尤指一種防止靜電聚集的玻璃基板載具。
背景技術：
輕薄的液晶屏幕已成為時下的主流商品，普遍應用于各種場合之中。
液晶屏幕的核心元件為玻璃基板，在液晶面板的制造過程中，必須在 玻璃基板上制作薄膜晶體管及相關線路，其中的黃光制造過程即是在玻璃 基板上涂布一層均勻的光刻膠，接著在后續(xù)步驟中配合光掩膜在光刻膠層 上形成電路圖案，以便能進行曝光顯影等后續(xù)步驟。
目前在玻璃基板上涂布光刻膠的方式是先令該玻璃基板設放置于一旋 轉式光刻膠涂布機上，接著在玻璃基板中心滴上適量的光刻膠液，接著啟 動光刻膠涂布機以高速旋轉玻璃基板，使光刻膠液受到離心力作用而徑向 向外擴散至涂滿整個玻璃基板上表面，同時凝固。
通常光刻膠涂布完成后，在玻璃基板邊緣會留有過度擴散而凝固的光 刻膠液所形成的毛邊，因此必須利用 一載具將光刻膠涂布機上的玻璃基板 運送到一毛邊去除機上，以毛邊去除機來去除毛邊，該載具主要在一可水 平移動的基架上突伸有二相向的水平托架，各托架上設置有多個襯墊，各 托架通過管線而連接一真空泵，令襯墊可提供真空吸力來吸附玻璃基板， 令玻璃基板牢固在托架上而可被載具運送到毛邊去除機。
當載具將玻璃基板運送到達毛邊去除機而令玻璃基板脫離襯墊瞬間，
該襯墊上產(chǎn)生的靜電可達15-16千伏特(niovolt， KV)，并將損壞玻璃
基板上半導體元件及線路，嚴重時可能造成玻璃基板整個報廢，因此大大 降低了玻璃基板的良率。
本發(fā)明人鑒子現(xiàn)有栽具與玻璃基板脫離瞬間容易產(chǎn)生高壓靜電而損壞 玻璃基板上原有半導體元件及線路的缺點，改進其不足與缺失，進而發(fā)明 出一種可有效排放聚集靜電的玻璃基板載具。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種防止靜電聚集的玻璃基板載具，其可避免 過量靜電聚集于栽具與玻璃基板相接觸的部位，進而防止玻璃基板脫離載 具的瞬間，高量靜電損壞玻璃基板上電路元件，有效提高玻璃基板的良率。
本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的， 一種防止靜電聚集的玻璃基板栽具，包
含有
一基架，是接地而可水平移動，在基架上形成有二直立座，該等直立 座為導體，在各直立座上分別水平突伸有二相對的n形托架，該等托架為 導體，各托架末端的兩側分別突伸有至少一承托部，該等承托部為導體；
多個襯墊，分別設置在承托部上，具有彈性且為導體；由此，襯墊、 承托部、托架及直立座構成一靜電排放路徑，可避免過量靜電聚集而傷害 置放在載具上的玻璃基板電路。
前述襯墊是由含碳材料構成而具備導電特性。
前述各襯墊含有石墨而具備導電特性。
前述各襯墊含有金屬而具備導電特性。
前述各襯墊的電阻為103-105歐姆(Q ) /平方(ohms/sq)。
前述各承托部上貫穿形成有一貫孔，各襯墊上貫穿形成有一與相對應 貫孔連通的穿孔，由此可令承托部通過管線而外接一真空泵，以便令襯墊 產(chǎn)生真空吸力。
前述各承托部頂面分別形成有 一容納相對應村墊的固定槽。前述各^3"墊是由一下^"墊、一 o形環(huán)及一上4十墊所《且成，該下4t墊為
環(huán)形，設置在相對應承托部的固定槽內(nèi)，在下村墊內(nèi)壁形成有一內(nèi)環(huán)形突
緣，該0形環(huán)設置在下襯墊內(nèi)，在0形環(huán)外壁上形成有一與內(nèi)環(huán)形突緣相 扣合的外環(huán)形突緣，該上襯墊穿套在0形環(huán)頂部，在上襯墊上貫穿形成有 至少一與承托部貫孔相連通的通孔。
由上述技術手段，各襯墊、承托部、托架及直立座所構成的靜電排放 路徑，可避免靜電聚集于襯墊與玻璃基板之間，故當玻璃基板脫離襯墊時， 不會有過量靜電損壞玻璃基板上的原有電路，由此可避免玻璃基板報廢， 因而能提升玻璃基板良率及降低玻璃基板成本。


圖1 圖2 圖3
本發(fā)明與光刻膠涂布機及毛邊去除機的立體外觀圖 本發(fā)明襯墊的立體分解圖。 本發(fā)明襯墊的側視剖面圖。
附圖標號 IO基架 12承托部 123固定槽 2 0襯墊
211內(nèi)環(huán)形突緣 2 31外環(huán)形突緣 251通孔 90毛邊去除機
11托架
121貫孔
15直立座
21下村墊
230形環(huán)
25上襯墊
8 0光刻膠涂布機
具體實施例方式
請參照圖l-圖3，本發(fā)明的防止靜電聚集的玻璃基板栽具，可在一光 刻膠涂布機80與一毛邊去除機90之間來回水平移動，由此可將一位于光 刻膠涂布機80上的玻璃基板運送到毛邊去除機90上。
該防止靜電聚集的玻璃基板栽具包含有 一基架IO及多個襯墊20。 該基架10可水平移動而接地，在基架1G上形成有二直立座15，該等 直立座15為導體，在各直立座15上分別水平突伸有二相對的n形托架11， 該等托架為導體，各托架11末端的兩側分別突伸有至少一以導體構成的承 托部12，各承托部12上分別貫穿形成有一貫孔121，且各承托部12頂面 分別形成有一與貫孔121連通的固定槽123，此外，各承托部12的貫孔121 可通過多條管線與一真空泵連接，由此，當真空泵啟動而抽氣時，可令貫 孔121產(chǎn)生吸力。
多個襯墊20為導體，設置在各承托部12的固定槽123內(nèi)，是以彈性 材料及導電材料混合制造，具備彈性及導電性，彈性材料可為橡膠，導電 材料可為含碳材料、石墨或是金屬，由此，襯墊20、承托部12、托架11 及接地的直立座15構成一靜電排放路徑，使得靜電可順利通過接地而排放 于基架之外，較佳者，襯墊20可具有一 103-105歐姆(Q ) /平方(ohms/sq) 的電阻，各襯墊20上貫穿形成至少一與相對應貫孔121相連通的穿孔。
較佳者，各襯墊20可由一下村墊21、 一 0形環(huán)23及一上襯墊25所組 成；該下襯墊21為環(huán)形，設置在承托部12的固定槽123內(nèi)，具有一中心 孔，在下襯墊21內(nèi)壁形成有一內(nèi)環(huán)形突緣211;該0形環(huán)23設置在下襯墊 21內(nèi)，具有一中心孔，在0形環(huán)23外壁上形成有一與內(nèi)環(huán)形突緣211相扣 合的外環(huán)形突緣231;該上襯墊25穿套在0形環(huán)25頂部，在上襯墊25上 貫穿形成有至少一與承托部12貫孔121相連通的通孔251,該通孔251配 合0形環(huán)23與下襯墊的中心孔，共同構成村墊20的穿孔。
當以玻璃基板載具運送玻璃基板時，令玻璃基板置放在襯墊20上，接 著啟動真空泵而在各襯墊20的穿孔處產(chǎn)生真空吸力以便吸附玻璃基板，當
玻璃基板凈皮運送到達毛邊去除機90時，停止真空泵，并且使玻璃基板栽具 脫離玻璃基板，由于襯墊20、承托部12、托架11及接地的直立座IO構成 一靜電排放路徑，其可有效排放襯墊20與玻璃基板瞬間脫離時所產(chǎn)生的靜 電，避免靜電聚集于襯墊20與玻璃基板之間，故當玻璃基板脫離襯墊20 時，不會有過量靜電損壞玻璃基板上的原有電路，由此可避免玻璃基板報 廢，因而能提升玻璃基板良率及降低玻璃基板成本。
權利要求
1.一種防止靜電聚集的玻璃基板載具，其特征在于包含有一基架，其接地而可水平移動，在基架上形成有二直立座，該等直立座為導體，在各直立座上分別水平突伸有二相對的ㄇ形托架，該等托架為導體，各托架末端的兩側分別突伸有至少一承托部，該等承托部為導體；多個襯墊，分別設置在承托部上，具有彈性且為導體；由此，襯墊、承托部、托架及直立座構成一靜電排放路徑，可避免過量靜電聚集而損害置放在載具上的玻璃基板。
2. 如權利要求1所述的防止靜電聚集的玻璃基板載具，其特征在于 各襯墊含有含碳材料而具備導電性。
3. 如權利要求1所述的防止靜電聚集的玻璃基板載具，其特征在于 各襯墊含有石墨而具備導電性。
4. 如權利要求1所述的防止靜電聚集的玻璃基板載具，其特征在于 各村墊含有金屬而具備導電性。
5. 如權利要求1至4任一項所述的防止靜電聚集的玻璃基板載具，其 特征在于各村墊的電阻為103-105歐姆/平方。
6. 如權利要求1至4任一項所述的防止靜電聚集的玻璃基板載具，其 特征在于各承托部上貫穿形成有一貫孔，各襯墊上貫穿形成有一與相對 應貫孔連通的穿孔，由此可令承托部通過管線而外接一真空泵，以便令襯 墊產(chǎn)生真空吸力。
7. 如權利要求1至4任一項所述的防止靜電聚集的玻璃基板載具，其 特征在于各承托部頂面分別形成有 一容納相對應襯墊的固定槽。
8. 如權利要求7所述的防止靜電聚集的玻璃基板載具，其特征在于 各襯墊是由一下襯墊、一 0形環(huán)及一上襯墊所組成，該下襯墊為環(huán)形，設 置在相對應承托部的固定槽內(nèi)，在下襯墊內(nèi)壁形成有一內(nèi)環(huán)形突緣，該0形環(huán)i殳置在下襯墊內(nèi)，在0形環(huán)外壁上形成有一與內(nèi)環(huán)形突緣相扣合的外 環(huán)形突緣，該上襯墊穿套在0形環(huán)頂部，在上襯墊上貫穿形成有至少一與7 L托部貫孔相連通的通孔。
全文摘要
本發(fā)明為一種防止靜電聚集的玻璃基板載具，其包含有一基架及多個襯墊；該基架接地，在基架上形成有二直立座，該等直立座為導體，在各直立座上分別水平突伸有二相對的ㄇ形托架，該等托架為導體，各托架末端的兩側分別突伸有至少一承托部，該等承托部為導體；該等襯墊分別設置在承托部上，具有彈性且為導體；由此，襯墊、承托部、托架及直立座構成一靜電排放路徑，可避免過量靜電聚集而傷害置放在載具上的玻璃基板電路。
文檔編號B65G49/06GK101101396SQ20061010056
公開日2008年1月9日 申請日期2006年7月3日 優(yōu)先權日2006年7月3日
發(fā)明者薛東瀛, 鄭瑞忠 申請人:元太科技工業(yè)股份有限公司