專(zhuān)利名稱(chēng)：連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種基板旋轉(zhuǎn)方法，尤其涉及一種連動(dòng)式的基板旋轉(zhuǎn)方法。
背景技術(shù)：
薄膜晶體管液晶顯示器(以下簡(jiǎn)稱(chēng)TFT-LCD)，主要是利用成矩陣狀排列的薄膜晶體管，并配合適當(dāng)?shù)碾娙?、轉(zhuǎn)接墊等電子元件來(lái)驅(qū)動(dòng)液晶像素，以產(chǎn)生豐富亮麗的圖形。由于TFT-LCD具有外型輕薄、耗電量少以及無(wú)輻射污染等特性，因此被廣泛地應(yīng)用在筆記本電腦(notebook)、個(gè)人數(shù)字助理(PDA)等攜帶式信息產(chǎn)品上，甚至已有逐漸取代傳統(tǒng)臺(tái)式計(jì)算機(jī)的CRT監(jiān)視器以及家用電視的趨勢(shì)。
一般而言，TFT-LCD包括薄膜晶體管基板，其上具有許多排列成陣列的薄膜晶體管、像素電極(pixel electrode)、多條互相垂直交錯(cuò)(orthogonal)的掃瞄線(scan or gate line)以及信號(hào)線(data or signal line)；彩色濾光基板，其具有多個(gè)排列成陣列的彩色濾光片(color filter)；以及填充于薄膜晶體管基板與彩色濾光基板之間的液晶材料。其中，薄膜晶體管元件是利用多道沉積、微影暨蝕刻(PEP)工藝制作于薄膜晶體管基板表面，而彩色濾光片則是利用微影工藝或是直接印刷技術(shù)制作于彩色濾光基板表面，使LCD的每一像素呈現(xiàn)豐富亮麗的顏色。目前對(duì)彩色濾光基板的制作通常是先利用輸送帶(conveyor)來(lái)輸送多個(gè)玻璃基板，然后在輸送過(guò)程中對(duì)玻璃基板進(jìn)行多次的光阻涂布、曝光以及顯影等工藝。
請(qǐng)參照?qǐng)D1，圖1為一種用來(lái)輸送多個(gè)基板的公知輸送帶示意圖。如圖1所示，輸送帶12上承載有多個(gè)基板20，且各基板20可為玻璃基板。其次，輸送帶12上設(shè)置有多個(gè)旋轉(zhuǎn)站14、16、18，且各旋轉(zhuǎn)站14、16、18旁各設(shè)置有一用來(lái)對(duì)基板20進(jìn)行光阻涂布或曝光顯影等工藝的機(jī)臺(tái)(圖未示)。舉例來(lái)說(shuō)，旋轉(zhuǎn)站14旁可設(shè)有一光阻涂布機(jī)(photo coater)，旋轉(zhuǎn)站16旁設(shè)有一對(duì)位機(jī)(aligner)，而旋轉(zhuǎn)站18旁則設(shè)有一顯影機(jī)(developer)。
值得注意的是，在公知的利用輸送帶來(lái)輸送基板以進(jìn)行多次光阻涂布與曝光顯影工藝的過(guò)程中，通常會(huì)將各基板在旋轉(zhuǎn)站上進(jìn)行多次的轉(zhuǎn)向。一般而言，各基板在旋轉(zhuǎn)站進(jìn)行所需的旋轉(zhuǎn)，例如旋轉(zhuǎn)+180度后均需要再次進(jìn)行反向的旋轉(zhuǎn)，即旋轉(zhuǎn)-180度以將基板回到原始的位置。
然而，工作人員在對(duì)基板進(jìn)行此轉(zhuǎn)向作業(yè)時(shí)，通常是采用手動(dòng)執(zhí)行的方式，例如先對(duì)基板所需進(jìn)行的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作輸入一旋轉(zhuǎn)信息，然后在工藝結(jié)束后再輸入一旋轉(zhuǎn)信息將該基板旋轉(zhuǎn)回原來(lái)的位置。然而，在這些密集輸入旋轉(zhuǎn)信息的過(guò)程中，時(shí)常會(huì)因?yàn)椴僮魅藛T的疏忽而造成旋轉(zhuǎn)方向錯(cuò)誤或是忘了把基板的位置轉(zhuǎn)回原先的設(shè)定，進(jìn)而造成產(chǎn)品合格率下降以及成本增加等問(wèn)題。因此，如何提供一種替代公知利用手動(dòng)方式來(lái)對(duì)基板進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的方法即為現(xiàn)今一重要課題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種基板旋轉(zhuǎn)方法，該方法利用轉(zhuǎn)向參數(shù)表、基板數(shù)據(jù)以及輸送帶上的傳感器等三種轉(zhuǎn)向定位機(jī)構(gòu)來(lái)解決公知利用人工操作方式容易造成基板旋轉(zhuǎn)錯(cuò)誤并導(dǎo)致產(chǎn)品合格率下降的問(wèn)題。
為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法。首先，提供一輸送帶(conveyor)，所述輸送帶用以輸送多個(gè)基板，且該輸送帶上設(shè)置有多個(gè)旋轉(zhuǎn)站。然后將各該基板所需進(jìn)行的轉(zhuǎn)向信息建立一轉(zhuǎn)向參數(shù)表(recipe)，隨后利用該輸送帶輸送所述基板，且當(dāng)各該基板傳送至各該旋轉(zhuǎn)站時(shí)，根據(jù)該轉(zhuǎn)向參數(shù)表自動(dòng)對(duì)各該基板進(jìn)行相對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)。
根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思，所述基板包括玻璃基板。
根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思，各該基板均包含一基板識(shí)別碼。
根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思，所述連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法還包括連接一控制單元至該輸送帶，該控制單元用來(lái)控制該輸送帶與各該旋轉(zhuǎn)站的作動(dòng)并用來(lái)儲(chǔ)存該轉(zhuǎn)向參數(shù)表。
根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思，建立該轉(zhuǎn)向參數(shù)表的方法包括將各該基板傳送至各該旋轉(zhuǎn)站時(shí)所需進(jìn)行轉(zhuǎn)向的所述轉(zhuǎn)向信息輸入至該控制單元。
根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思，所述轉(zhuǎn)向信息包括各該基板進(jìn)行轉(zhuǎn)向前的位置以及各該基板進(jìn)行轉(zhuǎn)向后的位置。
根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思，所述連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法還包括將各該基板進(jìn)行轉(zhuǎn)向前的位置記錄至一基板數(shù)據(jù)中。
根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思，所述連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法還包括將各該基板進(jìn)行轉(zhuǎn)向后的位置記錄至該基板數(shù)據(jù)中。
根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思，在該輸送帶上還設(shè)置有多對(duì)傳感器，所述多對(duì)傳感器用以判斷各該基板的轉(zhuǎn)向位置。
根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思，每一對(duì)傳感器成對(duì)角設(shè)置于該輸送帶上。
根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思，所述連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法還包括將工藝機(jī)臺(tái)連接至對(duì)應(yīng)的該旋轉(zhuǎn)站。
根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思，該工藝機(jī)臺(tái)包括光阻涂布機(jī)、對(duì)位機(jī)或顯影機(jī)。
本發(fā)明所公開(kāi)的連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法主要利用轉(zhuǎn)向參數(shù)表、基板資料以及輸送帶上的傳感器等三種轉(zhuǎn)向定位方法來(lái)改善公知利用人工操作方式容易造成基板旋轉(zhuǎn)錯(cuò)誤并導(dǎo)致產(chǎn)品合格率下降的問(wèn)題。如上所述，本發(fā)明在輸送帶輸送多個(gè)基板時(shí)先將各基板所需進(jìn)行轉(zhuǎn)向的轉(zhuǎn)向信息建立一轉(zhuǎn)向參數(shù)表，然后在各基板傳送至基板上的各旋轉(zhuǎn)站時(shí)根據(jù)該轉(zhuǎn)向參數(shù)表來(lái)對(duì)各基板進(jìn)行相對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)。其次，在各基板進(jìn)行所需轉(zhuǎn)向的同時(shí)，連接轉(zhuǎn)向參數(shù)表的控制單元會(huì)將各基板進(jìn)行轉(zhuǎn)向前與轉(zhuǎn)向后的位置記錄至一基板數(shù)據(jù)中。因此，在基板進(jìn)行所需的旋轉(zhuǎn)后，控制單元即可通過(guò)此基板數(shù)據(jù)來(lái)自動(dòng)判斷何時(shí)需再次進(jìn)行反向的旋轉(zhuǎn)，而不需以手動(dòng)操作的方式來(lái)針對(duì)各基板輸入轉(zhuǎn)向的指令，進(jìn)而改善公知技術(shù)中容易造成基板旋轉(zhuǎn)方向錯(cuò)誤或是忘了把基板的位置轉(zhuǎn)回原先設(shè)定的問(wèn)題。此外，本發(fā)明還可在輸送帶上設(shè)置多對(duì)傳感器，并通過(guò)這些傳感器來(lái)判斷基板的轉(zhuǎn)向位置是否正確，以在基板進(jìn)入工藝機(jī)臺(tái)前或完成工藝后適時(shí)調(diào)整基板的位置。


圖1為公知用來(lái)輸送多個(gè)基板的輸送帶示意圖。
圖2為本發(fā)明連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法用來(lái)輸送基板的輸送帶示意圖。
圖3為本發(fā)明的連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法的方塊示意圖。
其中，附圖標(biāo)記說(shuō)明如下12輸送帶 14旋轉(zhuǎn)站
16旋轉(zhuǎn)站 18旋轉(zhuǎn)站20基板32輸送帶34旋轉(zhuǎn)站 36旋轉(zhuǎn)站38旋轉(zhuǎn)站 40基板42傳感器 44控制單元46轉(zhuǎn)向參數(shù)表 48基板數(shù)據(jù)具體實(shí)施方式
請(qǐng)參照?qǐng)D2，圖2為本發(fā)明連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法用來(lái)輸送基板的輸送帶示意圖。如圖2所示，輸送帶32上承載有多個(gè)基板40。其中，各基板40可為玻璃基板，且各基板40內(nèi)均包括基板識(shí)別碼(glass identification)。輸送帶32上還設(shè)置有多個(gè)旋轉(zhuǎn)站34、36、38，且旋轉(zhuǎn)站34、36、38旁各設(shè)置有一用來(lái)對(duì)基板40進(jìn)行光阻涂布或曝光顯影工藝的機(jī)臺(tái)。舉例來(lái)說(shuō)，旋轉(zhuǎn)站34旁可設(shè)有一光阻涂布機(jī)，旋轉(zhuǎn)站36旁設(shè)有一對(duì)位機(jī)，而旋轉(zhuǎn)站38旁則設(shè)有一顯影機(jī)。此外，輸送帶32上還設(shè)有多對(duì)傳感器(sensor)42，且傳感器42成對(duì)角設(shè)置于輸送帶32上。根據(jù)本發(fā)明的較佳實(shí)施例，傳感器42可用來(lái)判斷各基板40的轉(zhuǎn)向位置。
請(qǐng)參照?qǐng)D3，圖3為本發(fā)明的連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法的方塊示意圖。如圖3所示，本發(fā)明的連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法包括用來(lái)輸送基板的輸送帶32、連接輸送帶32的控制單元44、用來(lái)儲(chǔ)存各基板轉(zhuǎn)向信息的轉(zhuǎn)向參數(shù)表46以及基板數(shù)據(jù)48。
請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D2與圖3，根據(jù)本發(fā)明的較佳實(shí)施例，本發(fā)明的連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法在運(yùn)作時(shí)包括有以下步驟。首先，提供輸送帶32，然后利用輸送帶32來(lái)輸送多個(gè)基板40。接著將各基板40所需進(jìn)行轉(zhuǎn)向的轉(zhuǎn)向信息建立轉(zhuǎn)向參數(shù)表46。其中，各基板40所需進(jìn)行轉(zhuǎn)向的轉(zhuǎn)向信息包括各基板40進(jìn)行轉(zhuǎn)向前的位置以及各基板40進(jìn)行轉(zhuǎn)向后的位置。此外，轉(zhuǎn)向參數(shù)表46連接控制單元44，例如計(jì)算機(jī)整合制造(CIM)系統(tǒng)，且控制單元44用來(lái)控制輸送帶32與各旋轉(zhuǎn)站的動(dòng)作并用來(lái)儲(chǔ)存轉(zhuǎn)向參數(shù)表46。
接著在轉(zhuǎn)向參數(shù)表46建立后利用輸送帶32來(lái)輸送多個(gè)基板40，然后在各基板40傳送至各旋轉(zhuǎn)站34、36或38時(shí)根據(jù)轉(zhuǎn)向參數(shù)表46來(lái)自動(dòng)對(duì)各基板40進(jìn)行相對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)，使各基板40可以正確的方向、位置來(lái)進(jìn)行所需的曝光或顯影等工藝。
根據(jù)本發(fā)明的較佳實(shí)施例，當(dāng)各旋轉(zhuǎn)站34、36、38根據(jù)轉(zhuǎn)向參數(shù)表46來(lái)自動(dòng)對(duì)各基板40進(jìn)行旋轉(zhuǎn)時(shí)，控制單元44會(huì)將各基板40進(jìn)行轉(zhuǎn)向前及轉(zhuǎn)向后的位置記錄在基板數(shù)據(jù)48中。如先前所述，通常各基板40在旋轉(zhuǎn)站進(jìn)行所需的旋轉(zhuǎn)，例如旋轉(zhuǎn)+180度后均需要再次進(jìn)行反向的旋轉(zhuǎn)，即旋轉(zhuǎn)-180度以回到原始的位置。由于本發(fā)明先利用轉(zhuǎn)向參數(shù)表46來(lái)使各基板40進(jìn)行相對(duì)應(yīng)旋轉(zhuǎn)，然后在各基板40進(jìn)行轉(zhuǎn)向的同時(shí)將各基板40的轉(zhuǎn)向信息記錄至基板數(shù)據(jù)48內(nèi)，因此可利用控制單元44來(lái)判斷各基板40進(jìn)行轉(zhuǎn)向后何時(shí)需再次進(jìn)行反向的旋轉(zhuǎn)，而不需操作員以手動(dòng)操作的方式來(lái)針對(duì)各基板40輸入轉(zhuǎn)向的指令，進(jìn)而改善公知容易造成基板40旋轉(zhuǎn)方向錯(cuò)誤或是忘了把基板40的位置轉(zhuǎn)回原先設(shè)定的問(wèn)題。
此外，如上所述，本發(fā)明的輸送帶32上還設(shè)置有多對(duì)傳感器42，其用來(lái)判斷放置于輸送帶32上的基板40是否轉(zhuǎn)向正確。舉例來(lái)說(shuō)，當(dāng)基板40需要進(jìn)行直向曝光時(shí)，對(duì)角設(shè)置于旋轉(zhuǎn)站36上的傳感器42會(huì)將關(guān)閉(OFF)狀態(tài)設(shè)定為正常狀態(tài)。因此，當(dāng)基板40以直向通過(guò)設(shè)于旋轉(zhuǎn)站34上的傳感器42時(shí)，傳感器42并不會(huì)感應(yīng)到基板40而呈現(xiàn)關(guān)閉的狀態(tài)，且此狀態(tài)會(huì)根據(jù)設(shè)定而判定為正常狀態(tài)。反之，當(dāng)基板40需進(jìn)行橫向曝光時(shí)，對(duì)角設(shè)置于旋轉(zhuǎn)站36上的傳感器42會(huì)將開(kāi)啟(ON)狀態(tài)設(shè)定為正常狀態(tài)。因此，當(dāng)基板40以水平的方向通過(guò)設(shè)于旋轉(zhuǎn)站36上的傳感器42時(shí)，傳感器42會(huì)感應(yīng)到基板40的兩端而呈現(xiàn)開(kāi)啟的狀態(tài)，且此狀態(tài)會(huì)根據(jù)設(shè)定而判定為正常狀態(tài)。
綜上所述，與公知的利用人工手動(dòng)方式來(lái)個(gè)別對(duì)基板進(jìn)行轉(zhuǎn)向設(shè)定的方法相比，本發(fā)明所公開(kāi)的連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法利用轉(zhuǎn)向參數(shù)表、基板數(shù)據(jù)以及輸送帶上的傳感器等三種轉(zhuǎn)向定位方法來(lái)改善公知技術(shù)中利用人工操作方式容易造成基板旋轉(zhuǎn)錯(cuò)誤并導(dǎo)致產(chǎn)品合格率下降的問(wèn)題。如同先前所述，本發(fā)明在輸送帶輸送多個(gè)基板時(shí)先將各基板所需進(jìn)行轉(zhuǎn)向的轉(zhuǎn)向信息建立轉(zhuǎn)向參數(shù)表，然后在各基板傳送至基板上的各旋轉(zhuǎn)站時(shí)根據(jù)該轉(zhuǎn)向參數(shù)表來(lái)對(duì)各基板進(jìn)行相對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)。其次，在各基板進(jìn)行所需轉(zhuǎn)向的同時(shí)，連接轉(zhuǎn)向參數(shù)表的控制單元會(huì)將各基板進(jìn)行轉(zhuǎn)向前與轉(zhuǎn)向后的位置記錄至一基板數(shù)據(jù)中。因此，在基板進(jìn)行所需的旋轉(zhuǎn)后，控制單元即可通過(guò)此基板數(shù)據(jù)來(lái)自動(dòng)判斷何時(shí)需要再次進(jìn)行反向的旋轉(zhuǎn)，而不需以手動(dòng)操作的方式來(lái)針對(duì)各基板輸入轉(zhuǎn)向的指令，進(jìn)而改善了公知技術(shù)中容易造成基板旋轉(zhuǎn)方向錯(cuò)誤或是忘了把基板的位置轉(zhuǎn)回原先設(shè)定的問(wèn)題。此外，本發(fā)明還可在輸送帶上設(shè)置多對(duì)傳感器，并通過(guò)這些傳感器來(lái)判斷基板的轉(zhuǎn)向位置是否正確，以在基板進(jìn)入工藝機(jī)臺(tái)前或完成工藝后適時(shí)調(diào)整基板的位置。
以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，凡依本發(fā)明權(quán)利要求書(shū)所做的等同變化與修飾，均應(yīng)屬本發(fā)明的專(zhuān)利保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法，包含提供一輸送帶，所述輸送帶用以輸送多個(gè)基板，該輸送帶上設(shè)置有多個(gè)旋轉(zhuǎn)站；將各該基板所需進(jìn)行轉(zhuǎn)向的轉(zhuǎn)向信息建立一轉(zhuǎn)向參數(shù)表；以及利用該輸送帶輸送所述基板，且當(dāng)各該基板傳送至各該旋轉(zhuǎn)站時(shí)，根據(jù)該轉(zhuǎn)向參數(shù)表自動(dòng)對(duì)各該基板進(jìn)行相對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)。
2.如權(quán)利要求1所述的連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法，其中所述基板包括玻璃基板。
3.如權(quán)利要求1所述的連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法，其中各該基板均包含一基板識(shí)別碼。
4.如權(quán)利要求1所述的連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法，其中所述連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法還包括連接一控制單元至該輸送帶，該控制單元用來(lái)控制該輸送帶與各該旋轉(zhuǎn)站的作動(dòng)并用來(lái)儲(chǔ)存該轉(zhuǎn)向參數(shù)表。
5.如權(quán)利要求4所述的連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法，其中建立該轉(zhuǎn)向參數(shù)表的方法包括將各該基板傳送至各該旋轉(zhuǎn)站時(shí)所需進(jìn)行轉(zhuǎn)向的所述轉(zhuǎn)向信息輸入至該控制單元。
6.如權(quán)利要求1所述的連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法，其中所述轉(zhuǎn)向信息包括各該基板進(jìn)行轉(zhuǎn)向前的位置以及各該基板進(jìn)行轉(zhuǎn)向后的位置。
7.如權(quán)利要求1所述的連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法，其中所述連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法還包括將各該基板進(jìn)行轉(zhuǎn)向前的位置記錄至一基板數(shù)據(jù)中。
8.如權(quán)利要求7所述的連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法，其中所述連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法還包括將各該基板進(jìn)行轉(zhuǎn)向后的位置記錄至該基板數(shù)據(jù)中。
9.如權(quán)利要求1所述的連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法，其中在該輸送帶上還設(shè)置有多對(duì)傳感器，所述多對(duì)傳感器用以判斷各該基板的轉(zhuǎn)向位置。
10.如權(quán)利要求9所述的連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法，其中每一對(duì)傳感器成對(duì)角設(shè)置于該輸送帶上。
11.如權(quán)利要求1所述的連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法，其中所述連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法還包括將工藝機(jī)臺(tái)連接至對(duì)應(yīng)的該旋轉(zhuǎn)站。
12.如權(quán)利要求11所述的連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法，其中該工藝機(jī)臺(tái)包括光阻涂布機(jī)、對(duì)位機(jī)或顯影機(jī)。
全文摘要
一種連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法。首先，提供一輸送帶，用以輸送多個(gè)基板，且該輸送帶上設(shè)置有多個(gè)旋轉(zhuǎn)站。然后將各該基板所需進(jìn)行的轉(zhuǎn)向信息建立一轉(zhuǎn)向參數(shù)表，隨后利用該輸送帶輸送所述基板，且當(dāng)各該基板傳送至各該旋轉(zhuǎn)站時(shí)，根據(jù)該轉(zhuǎn)向參數(shù)表自動(dòng)對(duì)各該基板進(jìn)行相對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)。所述連動(dòng)式基板旋轉(zhuǎn)方法能夠利用轉(zhuǎn)向參數(shù)表、基板數(shù)據(jù)以及輸送帶上的傳感器等三種轉(zhuǎn)向定位機(jī)構(gòu)來(lái)解決公知利用人工操作方式容易造成基板旋轉(zhuǎn)錯(cuò)誤并導(dǎo)致產(chǎn)品合格率下降的問(wèn)題。
文檔編號(hào)B65G49/06GK1949044SQ20061014859
公開(kāi)日2007年4月18日 申請(qǐng)日期2006年11月22日 優(yōu)先權(quán)日2006年11月22日
發(fā)明者林守信, 詹惠杰, 洪健晃 申請(qǐng)人:友達(dá)光電股份有限公司