專利名稱:振動(dòng)碗和振動(dòng)碗進(jìn)料器以及真空蒸鍍裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及振動(dòng)碗和振動(dòng)碗進(jìn)料器以及真空蒸鍍裝置(以下簡(jiǎn)稱振動(dòng)碗等), 更詳細(xì)地說(shuō),涉及通過(guò)對(duì)被輸送物體施加振動(dòng),改善將該被輸送物體排出到外部的 被輸送物體提供技術(shù)。
背景技術(shù):
利用對(duì)被輸送物體施加振動(dòng),使電子零件或精密機(jī)械零件等各種被輸送物體自 動(dòng)地在一定的方向上排列,然后定量地、將一定數(shù)目的該被輸送物體向下一制造工 序輸送用的振動(dòng)送料系統(tǒng)是向來(lái)公知的。例如作為已有技術(shù)的例子的專利文獻(xiàn)1公開(kāi)了能夠在斜槽的中途檢測(cè)從利用振 動(dòng)部產(chǎn)生振動(dòng)的振動(dòng)碗排出的零件供應(yīng)個(gè)數(shù)的零件檢測(cè)裝置(發(fā)光元件和光電變換 元件)。又研究出在利用振動(dòng)器施加振動(dòng)的振動(dòng)碗進(jìn)料器(振動(dòng)碗)的惻面形成螺旋狀 槽,能夠利用振動(dòng)器的振動(dòng)使振動(dòng)碗進(jìn)料器的內(nèi)部的蒸鍍材料沿著螺旋狀槽向蒸鍍材料排出口移送的結(jié)構(gòu)的蒸鍍材料供給裝置(參照作為已有技術(shù)例的專利文獻(xiàn)2)。 又,作為另 一 已有技術(shù)例公開(kāi)了具備能夠檢測(cè)出從使振動(dòng)裝置振動(dòng)的壓電振動(dòng) 元件得到的信號(hào)的振動(dòng)檢測(cè)手段的零件進(jìn)料器控制方法,借助于此,控制部能夠根 據(jù)振動(dòng)檢測(cè)手段得到的反饋信號(hào)控制驅(qū)動(dòng)壓電振動(dòng)元件的功率放大器(參照作為已 有技術(shù)例的專利文獻(xiàn)3)。也研究出檢測(cè)桿相應(yīng)于通過(guò)其正下方的工件的殘留量而搖動(dòng),與其靠近的傳感 器能夠檢測(cè)出該搖動(dòng),使工件送出裝置(振動(dòng)式料斗)自動(dòng)運(yùn)行或停止的工件供給 裝置(參照作為已有技術(shù)例的專利文獻(xiàn)4)。又提出了具備在沿著內(nèi)周的輸送線路上施加振動(dòng)整列輸送多個(gè)工件的振動(dòng)碗、 對(duì)該振動(dòng)碗施加由使用的電力的電壓、頻率等決定的輸送工件用的振動(dòng)的施振部、 以及安裝于該振動(dòng)碗的輸送線路前端的出口上的,檢測(cè)從該出口通過(guò)的工件通過(guò) 量,輸出電信號(hào)的傳感器、以及根據(jù)該傳感器來(lái)的信號(hào)輸入控制施振部的電力供應(yīng),
控制出口的工件通過(guò)量的電氣控制部的零件進(jìn)料器(參照作為已有技術(shù)例的專利文獻(xiàn)5)。又已知有控制向料斗補(bǔ)充零件用的補(bǔ)充容器的開(kāi)閉動(dòng)作和/或向線路供應(yīng)零件的零件供給動(dòng)作用的水銀滯后開(kāi)關(guān)(參照作為已有技術(shù)例的專利文獻(xiàn)6)。還公開(kāi)了在對(duì)集合為多層或多列的零件集合體施加振動(dòng),將其通過(guò)線路進(jìn)行輸 送時(shí),在線路上設(shè)置使這樣的零件集合體形成為整列用的分層消除槽? ? ?(層崩L溝)的振動(dòng)零件進(jìn)料器(參照作為已有技術(shù)例的專利文獻(xiàn)7)。專利文獻(xiàn)1日本特開(kāi)平6-72532號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2日本特開(kāi)2003-321768號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3曰本特開(kāi)2003-48614號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4曰本實(shí)開(kāi)平6-6325號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)5曰本實(shí)開(kāi)昭60-173517號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)6曰本實(shí)開(kāi)昭59-88019號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)7日本特開(kāi)平10-181850號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容但是,設(shè)想正確地將規(guī)定數(shù)目(例如10個(gè))的,在真空蒸鍍裝置的真空槽內(nèi) 部進(jìn)行蒸鍍用的顆粒狀金屬球(直徑約1.5mm)提供給蒸鍍場(chǎng)所的狀況,本申請(qǐng)的 發(fā)明人等認(rèn)為,上述各已有技術(shù)例中所示的被輸送物體的供給技術(shù)中,對(duì)于下面所 述的問(wèn)題很難說(shuō)有充分的考慮。下面一邊與上述各已有技術(shù)例進(jìn)行適當(dāng)對(duì)比, 一邊敘述這些例子中公開(kāi)的被輸 送物體的供給技術(shù)的存在問(wèn)題。第l,上述各已有技術(shù)例中記載的被輸送物體的供給技術(shù),都對(duì)獲得正確把握 從振動(dòng)碗向外部排出的被輸送物體(例如向蒸鍍場(chǎng)所輸送的金屬球)的個(gè)數(shù)用的個(gè) 數(shù)檢測(cè)手段的技術(shù)課題缺少認(rèn)識(shí)。的確,在專利文獻(xiàn)1或?qū)@墨I(xiàn)5中記載的零件進(jìn)料器乍一看來(lái)具備類似這樣 的個(gè)數(shù)檢測(cè)手段的傳感器。但是,專利文獻(xiàn)l中記載的零件檢測(cè)裝置被設(shè)置于遠(yuǎn)離零件進(jìn)料器的出口的斜 槽的中途,規(guī)定的時(shí)間內(nèi)從零件進(jìn)料器出口排出的零件個(gè)數(shù)的總和與以零件檢測(cè)裝 置得到的個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)為依據(jù)的同時(shí)間內(nèi)零件的個(gè)數(shù)的總和之間,因零件從出口排出的
時(shí)刻起到零件到達(dá)零件檢測(cè)裝置為止的時(shí)間差而造成的個(gè)數(shù)偏差發(fā)生的可能性大,因此專利文獻(xiàn)l所述的檢測(cè)技術(shù)不適合使用于謀求正確掌握提供給蒸鍍場(chǎng)所的金屬球的總個(gè)數(shù)的個(gè)數(shù)檢測(cè)方法。與其相比,專利文獻(xiàn)5所述的光學(xué)傳感器雖然安裝于輸送線路的出口近旁,但 是安裝光學(xué)傳感器的場(chǎng)所的輸送線路水平設(shè)置。因此工件同時(shí)匯集,形成塊狀在輸 送線路上流動(dòng),因而有可能造成光學(xué)傳感器對(duì)工件個(gè)數(shù)的檢測(cè)錯(cuò)誤,因此專利文獻(xiàn) 5記載的檢測(cè)技術(shù)也不適合使用于謀求正確掌握提供給蒸鍍場(chǎng)所的金屬球的總個(gè)數(shù) 的個(gè)數(shù)檢測(cè)方法。第2,上述各已有技術(shù)例中記載的被輸送物體的供給技術(shù)中,采用將被輸送物 體排出到外部的排出出口沿著被輸送物體的輸送方向的切線方向排出技術(shù)。因此每 單位時(shí)間一個(gè)一個(gè)地將被輸送物體(例如顆粒狀的金屬球)正確地引向外部(例如 引導(dǎo)金屬球的斜槽部和與斜槽部連接的蒸鍍場(chǎng)所)有困難。至于以專利文獻(xiàn)6所述的振動(dòng)型碗式進(jìn)料器為例,說(shuō)到涉及切線方向排出技術(shù) 的問(wèn)題,在沿著切線方向連續(xù)地將零件從振動(dòng)型碗式進(jìn)料器排出到外部的情況下, 因槽的設(shè)置情況的關(guān)系(例如槽水平設(shè)置的情況下),有可能零件在保持多個(gè)相連 的狀態(tài)不變的狀態(tài)下通過(guò)槽和槽的下游的輸送路徑,進(jìn)而導(dǎo)致個(gè)數(shù)檢測(cè)手段不能夠 正確地檢測(cè)出振動(dòng)型碗式進(jìn)料器向外部排出的零件的個(gè)數(shù)。而且,至于以專利文獻(xiàn)5所述的零件進(jìn)料器為例,說(shuō)到從別的觀點(diǎn)出發(fā)的切線 方向排出技術(shù)的存在問(wèn)題,從輸送線路的出口向振動(dòng)碗的切線方向延伸的斜槽上載 置的工件的輸送速度因振動(dòng)碗輸送工件的能力而變化。這樣一來(lái),工件輸送能力偏 離設(shè)定的規(guī)定值的情況下,斜槽的工件輸送速度發(fā)生變化,控制每單位時(shí)間通過(guò)斜 槽的工件的個(gè)數(shù)變得困難。第3,即使是參照上述各已有技術(shù)例所述的被輸送物體的供給技術(shù),也難于實(shí) 現(xiàn)在輸送通路的中途能夠?qū)⒈惠斔臀矬w的集合體排成一列或單層的簡(jiǎn)易的排列手 段。已有技術(shù)例的專利文獻(xiàn)7是示出具備能夠?qū)⒕匦瘟慵帕袨橐涣卸倚纬蓡螌?的結(jié)構(gòu)(例如加工為線路的分層消除槽(層崩L溝))的振動(dòng)碗進(jìn)料器的文獻(xiàn),但 是本申請(qǐng)的發(fā)明人認(rèn)為,在以金屬球那樣的對(duì)稱形狀的簡(jiǎn)單的被輸送物體為對(duì)象進(jìn) 行試驗(yàn)時(shí),即使不像專利文獻(xiàn)7所述的分層消除槽那樣對(duì)線路實(shí)施復(fù)雜的加工,也 能夠?qū)崿F(xiàn)可發(fā)揮相同的效果的更簡(jiǎn)單的排列手段。
本發(fā)明是鑒于這樣的情況而作出的,其第l目的在于,提供能夠正確地對(duì)被輸 送物體的個(gè)數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)的振動(dòng)碗等。而本發(fā)明的第2個(gè)目的在于,提供能夠每單位時(shí)間將被輸送物體一個(gè)一個(gè)地正 確地引向外部的振動(dòng)碗等。還有,本發(fā)明的第3個(gè)目的是,提供能夠在輸送通路的中途利用簡(jiǎn)單的排列手段將被輸送物體的集合體排列為一列或一層的振動(dòng)碗等。為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明的振動(dòng)碗具備能夠貯存被輸送物體的集合體的凹 部、在所述凹部的內(nèi)側(cè)對(duì)所述被輸送物體施加振動(dòng)從而能夠輸送被輸送物體的輸送 通路、以及形成能夠?qū)Υ嬖谟谒鲚斔屯返慕K端近旁的所述被輸送物體的被輸送 方向,大約垂直方向并且向斜下方,將所述被輸送物體向所述凹部的外側(cè)排出的結(jié) 構(gòu)的階梯部。而且在這里,所述階梯部具有使例如所述輸送通路向其寬度方向而且向下方傾 斜的切槽斜面。如果采用這樣的階梯部,則在將被輸送物體從凹部向外部排出時(shí),能夠?qū)崿F(xiàn)處 于輸送通路的終端近旁的被輸送物體的輸送方向的正交方向的排出技術(shù)。通過(guò)采用 這樣的正交方向排出技術(shù),即使是在連續(xù)輸送被輸送物體的狀況,被輸送物體的輸 送方向暫時(shí)被階梯部改變?yōu)榇笾麓怪?,因這樣的輸送方向變化而流過(guò)階梯部的被輸 送物體之間的也能夠確保適當(dāng)?shù)木嚯x。因此能夠消除被輸送物體在保持多個(gè)粘連的 狀態(tài)下通過(guò)階梯部及其下游的輸送路徑的情況,進(jìn)而能夠利用個(gè)數(shù)檢測(cè)手段可靠地 檢測(cè)出從振動(dòng)碗向外部輸出的被輸送物體的個(gè)數(shù)。又,振動(dòng)碗對(duì)被輸送物體施加的振動(dòng)輸送力即使是偏離設(shè)定的規(guī)定值,階梯部 的被輸送物體的輸送速度也是由向下方傾斜的切槽斜面的傾斜角和被輸送物體的 自重決定,每單位時(shí)間通過(guò)階梯部的被輸送物體的個(gè)數(shù)容易控制。而且本發(fā)明的振動(dòng)碗具備能夠貯存被輸送物體的集合體的凹部、在所述凹部 的內(nèi)惻對(duì)所述被輸送物體施加振動(dòng)從而能夠輸送所述被輸送物體的輸送通路、以及 形成能夠沿著斜下方將存在于所述輸送通路的終端近旁的所述被輸送物體向所述 凹部的外側(cè)排出的結(jié)構(gòu)的階梯部,所述階梯部形成與對(duì)處于其輸送中途的所述被輸 送物體的個(gè)數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)的個(gè)數(shù)檢測(cè)手段相對(duì)的結(jié)構(gòu)。還有,也可以所述階梯部具有例如使所述輸送通路向其寬度方向而且向下方傾 斜的切槽斜面,所述個(gè)數(shù)檢測(cè)手段的檢測(cè)窗口與所述切槽斜面相對(duì)。
又,如果所述被輸送物體大致為球形,則所述切槽斜面的寬度形成為超過(guò)所述 被輸送物體的直徑的l倍,而且小于所述直徑的兩倍的結(jié)構(gòu)即可。這樣能夠避免使 多個(gè)相互粘合連接的次品或細(xì)長(zhǎng)的雜質(zhì)進(jìn)入被輸送物體的排出路徑。如果采用這樣的個(gè)數(shù)檢測(cè)手段,則能夠正確地對(duì)從振動(dòng)碗的凹部向外部排出的 被輸送物體的個(gè)數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)。而且本發(fā)明的振動(dòng)碗具備能夠貯存被輸送物體的集合體的凹部、在所述凹部的內(nèi)側(cè)對(duì)所述被輸送物體施加振動(dòng)從而能夠輸送所述被輸送物體的輸送通路、以及 形成使所述輸送通路在其寬度方向上留出規(guī)定的寬度份額,以使其能夠?qū)⒋嬖谟谒?述輸送通路的中途的多列被輸送物體的集合體,在所述輸送通路的寬度方向上排列 為1列的結(jié)構(gòu)的切槽。而且在這里,所述被輸送物體如果大致為球形,則所述規(guī)定的寬度大致為所述 被輸送物體的直徑的大小。而且最好是所述切槽鄰接所述輸送通路的終端設(shè)置。又,本發(fā)明的振動(dòng)碗具備能夠貯存被輸送物體的集合體的凹部、在所述凹部 的內(nèi)側(cè)對(duì)所述被輸送物體施加振動(dòng)從而能夠輸送所述被輸送物體的輸送通路、以及 形成以所述輸送通路的輸送面為基準(zhǔn),在向上方離開(kāi)規(guī)定距離的位置,向上方向延 伸構(gòu)成,能夠使存在于所述輸送通路的中途的多層被輸送物體的集合體排列為l層 的結(jié)構(gòu)的片狀構(gòu)件。還有,在這里,所述被輸送物體如果大致為球形,則也可以所述規(guī)定的距離超 過(guò)所述被輸送物體的直徑的l倍,而且小于所述直徑的2倍。根據(jù)這樣的切槽和片狀構(gòu)件中的被輸送物體的排列效果,輸送通路中途的被輸 送物體的集合體簡(jiǎn)單容易地排列為一列而且形成一層。因此能夠使被輸送物體逐個(gè) 可靠地排出到個(gè)數(shù)檢測(cè)手段的檢測(cè)窗口的區(qū)域。這樣一來(lái),能夠與切槽和片狀構(gòu)件 的排列效果相互補(bǔ)充,個(gè)數(shù)檢測(cè)手段能夠可靠地對(duì)從凹部排出到外部的被輸送物體 的個(gè)數(shù)進(jìn)行檢測(cè)而不發(fā)生檢測(cè)錯(cuò)誤。還可以在所述振動(dòng)碗的所述凹部的內(nèi)壁上刻上規(guī)定的記號(hào),形成能夠簡(jiǎn)單容易 地確認(rèn)所述凹部中滯留的所述被輸送物體的集合體的總量的結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的振動(dòng)碗進(jìn)料器是具備支持上述振動(dòng)碗并且對(duì)其施加振動(dòng)的振動(dòng)體,能 夠基于由所述振動(dòng)體施加的所述振動(dòng)碗的振動(dòng),輸送所述輸送通路上承載的所述被 輸送物體的裝置。而且也可以配置網(wǎng)狀構(gòu)件以覆蓋所述凹部的開(kāi)口部。
如果采用這樣的網(wǎng)狀構(gòu)件,則能夠適當(dāng)進(jìn)行篩分,使尺寸不合格的金屬球或兩 個(gè)以上粘合在一起的金屬球塊等不能夠進(jìn)入凹部的內(nèi)部。而且振動(dòng)碗進(jìn)料器具備配置于所述振動(dòng)碗的所述凹部的開(kāi)口部上方的,^存所 述被輸送物體的集合體的料斗、檢測(cè)滯留于所述凹部的所述被輸送物體的集合體的 最高位置的最高位置檢測(cè)手段、以及控制裝置,所述控制裝置根據(jù)所述最高位置檢 測(cè)手段得到的位置數(shù)據(jù),對(duì)所述料斗中的所述被輸送物體的供給動(dòng)作進(jìn)行控制,對(duì) 從所述料斗向所述凹部的所述被輸送物體的供應(yīng)進(jìn)行調(diào)整。如果釆用這樣的振動(dòng)碗進(jìn)料器,則控制裝置可以根據(jù)最高位置檢測(cè)手段得到的 凹部的被輸送物體的集合體的最上面的高度位置數(shù)據(jù)合適地調(diào)整料斗的供應(yīng)動(dòng)作。 例如能夠監(jiān)視該被輸送物體的集合體的量,通過(guò)料斗驅(qū)動(dòng)裝置控制料斗中的被輸送 物體的供應(yīng)門(mén)的開(kāi)閉時(shí)刻,適當(dāng)調(diào)整從料斗向凹部的被輸送物體的供應(yīng)。而且,振動(dòng)碗進(jìn)料器也可以具備支持上述振動(dòng)碗并且對(duì)其施加振動(dòng)的振動(dòng)體、 對(duì)處于所述階梯部的輸送中途的所述被輸送物體的個(gè)數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)的個(gè)數(shù)檢測(cè)手段、 以及能夠根據(jù)所述個(gè)數(shù)檢測(cè)手段得到的個(gè)數(shù)數(shù)據(jù),控制對(duì)所述振動(dòng)體饋送的振動(dòng)用 的信號(hào)的頻率或振幅,調(diào)整所述振動(dòng)碗對(duì)所述被輸送物體的振動(dòng)輸送能力的控制裝 置。這樣一來(lái),所述控制裝置能夠控制所述信號(hào)的頻率或振幅,以使所述個(gè)數(shù)檢測(cè)又,本發(fā)明的真空蒸鍍裝置具備內(nèi)部能夠減壓的真空槽、配置于所述真空槽內(nèi) 部的上述振動(dòng)碗進(jìn)料器、能夠?qū)乃稣駝?dòng)碗進(jìn)料器向外部排出的所述被輸送物體 作為成膜材料充填的容器、以及能夠?qū)τ伤霰惠斔臀矬w構(gòu)成的成膜材料進(jìn)行加熱 的加熱手段,能夠使利用所述加熱手段加熱的所述成膜材料蒸鍍到處于減壓狀態(tài)下 的所述真空槽內(nèi)部的基板上。如果使用這樣的真空蒸鍍裝置,則能夠利用振動(dòng)碗進(jìn)料器將規(guī)定數(shù)目的相當(dāng)于 在真空槽內(nèi)部進(jìn)行蒸鍍用的成膜材料的被輸送物體正確地提供給容器。因此通過(guò)正 確地管理每一個(gè)被輸送物體的體積,能夠簡(jiǎn)單、容易而且正確地控制在真空蒸鍍裝 置中進(jìn)行真空蒸鍍的基板表面上的蒸鍍被覆膜的厚度。而且如果采用該真空蒸鍍裝 置,則提供給容器的被輸送物體的總個(gè)數(shù)能夠容易地改變,這樣就能夠迅速應(yīng)對(duì)真 空蒸鍍裝置的蒸鍍對(duì)象制品所要求的蒸鍍被覆膜的厚度變更。本發(fā)明的上述目的、其他目的、特征以及優(yōu)點(diǎn)通過(guò)參照附圖對(duì)下述理想的實(shí)施
如果釆用本發(fā)明,能夠得到可對(duì)被輸送物體的個(gè)數(shù)進(jìn)行正確計(jì)數(shù)的振動(dòng)碗等。 而且如果釆用本發(fā)明,則能夠得到可以逐個(gè)將被輸送物體正確地引向外部的振 動(dòng)碗等。而且如果采用本發(fā)明,則能夠得到可利用簡(jiǎn)易的排列手段在輸送通路的中途將 被輸送物體的集合體排列為一列或一層的振動(dòng)碗等。
圖l是本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的振動(dòng)碗進(jìn)料器的大概結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是振動(dòng)碗的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。 圖3是振動(dòng)碗的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。 圖4是振動(dòng)碗的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。 圖5是振動(dòng)碗的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。圖6是本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的真空蒸鍍裝置的內(nèi)部的大概結(jié)構(gòu)的示意圖。 圖7是本實(shí)施形態(tài)的變形例的說(shuō)明圖。符號(hào)說(shuō)明10振動(dòng)碗10a凹部10b階梯10c下表面10d側(cè)面11振動(dòng)體12導(dǎo)向構(gòu)件13網(wǎng)狀構(gòu)件14料斗15被輸送物體(金屬球)16a第l光學(xué)傳感器16b第2光學(xué)傳感器17料斗驅(qū)動(dòng)裝置18頻率/振幅變更電路19控制裝置
20輸送通路21通孔22切槽23片狀構(gòu)件24額緣25螺桿26階梯部26a切槽斜面26b傾斜面30真空槽31容器32斜道部33轉(zhuǎn)塔34蒸鍍場(chǎng)所50振動(dòng)碗進(jìn)料器100真空蒸鍍裝置具體實(shí)施方式
下面參照附圖對(duì)本發(fā)明的理想的實(shí)施形態(tài)進(jìn)行說(shuō)明。首先參照?qǐng)D1敘述振動(dòng)碗進(jìn)料器的結(jié)構(gòu)。圖l是本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的振動(dòng)碗進(jìn)料器的大概結(jié)構(gòu)示意圖。振動(dòng)碗進(jìn)料器50 (材料供給裝置),按照標(biāo)準(zhǔn),如圖1所示具備振動(dòng)碗10、 振動(dòng)體ll、料斗14、以及控制裝置19。振動(dòng)體11利用例如電磁鐵(未圖示)和多個(gè)(3個(gè))板狀彈簧(未圖示)構(gòu)成, 借助于此,利用板狀彈簧將電磁鐵的導(dǎo)通/截止產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)力加以放大,對(duì)振動(dòng)碗 IO施加振動(dòng)。而且也可以使用壓電元件代替電磁鐵。利用振動(dòng)體II得到的振動(dòng)碗10的振動(dòng)通過(guò)適當(dāng)調(diào)整板狀彈簧的配置,能夠使 其具有方向性,也因此使得將載置于振動(dòng)碗10的凹部10a內(nèi)側(cè)的輸送通路20 (如 下所述)的被輸送物體15向一定的方向輸送成為可能。還有,本實(shí)施形態(tài)中使用的振動(dòng)體11是基于公知技術(shù)的振動(dòng)體,在這里將關(guān) 于振動(dòng)體11的結(jié)構(gòu)的更詳細(xì)的說(shuō)明省略。振動(dòng)碗10的作用是,借助于從振動(dòng)體ll傳遞過(guò)來(lái)的振動(dòng),使振動(dòng)碗10的內(nèi) 部的被輸送物體15移動(dòng)小刻度,沿著輸送通路20輸送被輸送物體15。這種振動(dòng)碗10的形狀可以設(shè)想為大約半圓狀(輾磨缽狀)、圓簡(jiǎn)狀、圓錐狀 等各種形狀,在這里是使用從下部到上部直徑逐步增大的輾磨缽狀的振動(dòng)碗10。而且在振動(dòng)碗10的內(nèi)側(cè),形成在振動(dòng)碗10內(nèi)壁上設(shè)置階梯10b (階梯10b的 下表面作為輸送通路20起作用)的,大約為半圓形的帶階梯的凹部10a。下面將參 照?qǐng)D2對(duì)凹部10a的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。而且將從振動(dòng)碗10排出的被輸送物體15引向斜道部32 (參照?qǐng)D6)用的導(dǎo)向 構(gòu)件12被設(shè)置于振動(dòng)碗10的側(cè)壁的外周面適當(dāng)?shù)牡胤?正確地說(shuō),是位于輸送通 路20的終端的側(cè)壁)。料斗14配置于與凹部10a的開(kāi)口部相對(duì),在振動(dòng)碗10 (凹部10a)的上方, 作為暫時(shí)貯存規(guī)定量以上的被輸送物體15的集合體的輔助容器起作用。還有,在這里被輸送物體15的集合體如果是直徑約1.5mm的顆粒狀金屬球15 的集合體,則也可以把形成比金屬球15的直徑的一倍大而且比其直徑的兩倍小的 多個(gè)開(kāi)口的網(wǎng)狀構(gòu)件13插入料斗14與振動(dòng)碗IO之間的間隙配置。于是能夠進(jìn)行使尺寸不合格的金屬球或兩個(gè)以上粘合在一起的金屬球塊不能 夠進(jìn)入凹部10a的內(nèi)部的正確的篩分。還有,如果將該網(wǎng)狀構(gòu)件13直接安裝于振動(dòng)碗10的側(cè)壁,使其覆蓋著振動(dòng)碗 10的整個(gè)開(kāi)口部,則振動(dòng)碗IO造成的網(wǎng)狀構(gòu)件13的振動(dòng)能夠很好地進(jìn)一步促進(jìn)對(duì) 金屬球15的篩分效果。控制裝置19是實(shí)現(xiàn)利用振動(dòng)碗進(jìn)料器50施加振動(dòng)的振動(dòng)碗10的,對(duì)被輸送 物體15的振動(dòng)輸送動(dòng)作的控制用的微處理器。作為控制裝置19的輸入傳感器,有具備能夠?qū)φ駝?dòng)碗10排出的被輸送物體15 的個(gè)數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)的光纖狀發(fā)光部(未圖示)和光纖狀受光部(未圖示)的第1光學(xué) 傳感器16a (個(gè)數(shù)檢測(cè)手段)、以及具備能夠檢測(cè)滯留在凹部10a的被輸送物體15 的集合體的最上面的高度位置的光纖狀發(fā)光部(來(lái)圖示)和光纖狀受光部(未圖示) 的第2光學(xué)傳感器16b (最高位置檢測(cè)手段)。作為第1光學(xué)傳感器16a,可以是發(fā)光部和受光部形成一體的反射型光傳感器, 也可以是發(fā)光部與受光部分離的透射型光傳感器,但是反射型光傳感器的零件數(shù)目 少,因此比較合適。又,第2光傳感器16b使用反射型光傳感器。第2光傳感器16b的檢測(cè)窗口 (未圖示)靠近凹部10a的中央部附近,因此滯 留在振動(dòng)碗10的凹部10a的被輸送物體15的集合體的總量可以根據(jù)第2光學(xué)傳感 器16b得到的被輸送物體15的集合體的最上面的高度位置數(shù)據(jù)預(yù)測(cè)。當(dāng)然也可以取代這樣的第2光學(xué)傳感器16b(或是與第2光學(xué)傳感器16b—起), 在凹部10a的內(nèi)側(cè)(例如凹部10a的內(nèi)壁)上刻下能夠簡(jiǎn)單地確認(rèn)在該凹部10a中 滯留的被輸送物體15的集合體的總量的刻度等(未圖示),也可以在凹部10a的 內(nèi)側(cè)配置刻有這樣的記號(hào)的適當(dāng)?shù)闹鶢顦?gòu)件(未圖示)。作為控制裝置19的控制對(duì)象部,有驅(qū)動(dòng)料斗14的供給門(mén)的開(kāi)閉的料斗驅(qū)動(dòng)裝 置17、以及可以改變內(nèi)裝于振動(dòng)體ll的電磁鐵線圈上施加的振動(dòng)用的信號(hào)的頻率 和振幅的頻率/振幅可變電路18 (例如逆變器電路)。如果采用這樣的控制裝置19的輸入傳感器和控制對(duì)象部,則控制裝置19能夠 根據(jù)第1光學(xué)傳感器16a得到的被輸送物體15的個(gè)數(shù)數(shù)據(jù),在例如使振動(dòng)碗10內(nèi) 包的被輸送物體15的集合體的總量發(fā)生變化的負(fù)荷發(fā)生變化的情況下,通過(guò)頻率/ 振幅變更電路18適當(dāng)改變向振動(dòng)體11 (電磁鐵線圈)饋電的振動(dòng)用信號(hào)的頻率或 振幅,以此調(diào)整振動(dòng)碗10的對(duì)被輸送物體15的振動(dòng)輸送能力。也就是說(shuō),控制裝置19即使是導(dǎo)致振動(dòng)碗10內(nèi)包的被輸送物體15的集合體 的總量發(fā)生變化這樣的負(fù)荷變動(dòng),也能夠通過(guò)頻率/振幅變更電路18適當(dāng)改變對(duì)振 動(dòng)體11 (電磁鐵線圈)饋送的振動(dòng)用信號(hào)的頻率或振幅,以使從振動(dòng)碗10的凹部 10a排出到外部的每單位時(shí)間的被輸送物體15的個(gè)數(shù)保持一定。又,控制裝置19可以根據(jù)第1光學(xué)傳感器16a得到的被輸送物體15的個(gè)數(shù)數(shù) 據(jù)的累計(jì)數(shù)量和第2光學(xué)傳感器16b得到的凹部10a的被輸送物體15的集合體的 最上面的高度位置數(shù)據(jù),對(duì)該被輸送物體15的集合體的數(shù)量進(jìn)行監(jiān)視,控制通過(guò) 料斗驅(qū)動(dòng)裝置17提供料斗14中的被輸送物體15用的門(mén)的開(kāi)閉時(shí)刻,適當(dāng)調(diào)整從 料斗14向凹部10a的被輸送物體15的供給。例如在某一實(shí)施形態(tài)中,只要根據(jù)第2光學(xué)傳感器16b的位置數(shù)據(jù),在凹部10a 中存在的被輸送物體15的集合體使用完之前瞬間,利用控制裝置19開(kāi)閉料斗l4 的提供被輸送物體15用的門(mén)即可,借助于此,可以簡(jiǎn)化料斗14的門(mén)的開(kāi)閉控制。 又,在另一實(shí)施形態(tài)中,利用控制裝置19將事前投入凹部10a的被輸送物體lS的 投入總數(shù)量與第1光學(xué)傳感器16a得出的被輸送物體15的排出累計(jì)數(shù)量進(jìn)行比較,
在被輸送物體15的排出累計(jì)數(shù)量與被輸送物體15的投入總數(shù)量相等之前,開(kāi)閉提 供料斗14中的被輸送物體15用的門(mén)即可,借助于此,可以簡(jiǎn)化料斗14的門(mén)開(kāi)閉 控制。
又,在本說(shuō)明書(shū)中,所謂控制裝置不僅意味著單獨(dú)的控制裝置,也意味著多個(gè) 控制裝置協(xié)同動(dòng)作,對(duì)振動(dòng)碗進(jìn)料器50的動(dòng)作進(jìn)行控制的控制裝置群。因此,控 制裝置19不必由單獨(dú)的控制裝置構(gòu)成,也可以是多個(gè)控制裝置分散配置,這些控 制裝置形成能夠協(xié)同動(dòng)作對(duì)振動(dòng)碗進(jìn)料器50的動(dòng)作進(jìn)行控制的結(jié)構(gòu)。又如下面所 述,該振動(dòng)碗進(jìn)料器50在被安裝于真空蒸鍍裝置100 (參照?qǐng)D6)的真空槽內(nèi)部的 情況下,在這里敘述的控制裝置19的功能也可以由控制真空蒸鍍裝置的動(dòng)作的控 制裝置(未圖示)兼任。
下面參照附圖對(duì)振動(dòng)碗10的詳細(xì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行敘述。
還有,被輸送物體15以直徑約1.5mm的金屬球15為例,下面說(shuō)明振動(dòng)碗10 的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子。
圖2~圖5是說(shuō)明振動(dòng)碗的內(nèi)部結(jié)構(gòu)用的附圖。
圖2 (a)是從其凹部上表面?zhèn)扔^察振動(dòng)碗的平面圖。圖2 (b)是圖2 (a)所 示的沿著IIB-IIB線的部分的剖面圖。
又,圖3 (a)是圖2 (a)中的A部的放大平面圖,圖3 ( b )是圖3 ( a)所示 的沿著IIIB - IIIB線的部分的剖面圖。
還有,圖4 (a)是圖2 (a)中的B部的放大平面圖,圖4(b)是圖4(a)所 示的沿著IVB - IVB線的部分的剖面圖。
又,圖5 (a)是圖2 (a)中的C部的放大平面圖,圖5 ( b )是圖5 ( a)所示 的沿著VB-VB線的部分的剖面圖。
根據(jù)圖2,在振動(dòng)碗10的大致中央部設(shè)置將振動(dòng)碗10固定在振動(dòng)體11 (參照 圖1)上的固定零件(例如螺桿,未圖示)穿過(guò)用的通孔21。
而且形成借助于在通孔21插入該固定零件或從通孔21取出該固定零件,使振 動(dòng)碗容易相對(duì)于振動(dòng)碗進(jìn)料器50裝卸的結(jié)構(gòu),借助于此,使得清掃振動(dòng)碗10中滯 留的垃圾等的維修保養(yǎng)工作變得容易。
又如圖2 (b)所示,從凹部10a的中央部向周邊部形成螺旋狀(振動(dòng)碗10的 圓周方向)而且具有向上梯度的階梯10b沿著振動(dòng)碗IO的凹部10a的內(nèi)壁形成。
而且該階梯10b中的下表面10c上放置的金屬球15 —旦受到振動(dòng)碗IO施加的
振動(dòng),金屬球15爬上該梯度的滑動(dòng)方向的相反方向(向上方向)。也就是說(shuō),下表面10c如圖2 (a)的箭頭所示,作為能夠輸送金屬球15的輸 送通路20起作用。又,階梯10b中的側(cè)面10d起著沿輸送通路20輸送金屬球15 時(shí)的導(dǎo)向部的作用。還有,作為輸送通路20的下表面10c形成在從其寬度方向內(nèi)側(cè)向外側(cè)的方向 上向斜下方傾斜的結(jié)構(gòu)。這樣一來(lái),輸送通路20(下表面10c)上載置的金屬球15 由于其自重而向側(cè)面10d的方向移動(dòng),借助于此,側(cè)面10d能夠可靠地發(fā)揮金屬球 15輸送時(shí)的導(dǎo)向功能。又,如參照?qǐng)D2和圖3能夠理解的那樣,在輸送通路20的中途的適當(dāng)?shù)胤剑?形成使所述輸送通路20在其寬度方向上留出規(guī)定的寬度、例如從側(cè)面10d,留下金 屬球50的直徑大小的寬度,設(shè)置向下方而且向傾斜方向的切槽22。如果采用這樣的切槽22,構(gòu)成多列集合體的各金屬球15,如圖3(b)所示, 只留下一列,沿著切槽22的斜面借助于自重向下方落下。這樣一來(lái),如圖3(a)所示,多列金屬球15的集合體借助于斜槽22排列為一 列而且只有與階梯10b中的側(cè)面接觸的金屬球15的列能夠越過(guò)切槽22進(jìn)入切槽22 的下游側(cè)的輸送通路20。這樣一來(lái),切槽22起著使多列金屬球15的集合體簡(jiǎn)單地排列成一列的作用, 由于這種情況,從振動(dòng)碗10同時(shí)向外部排出的金屬球15的個(gè)數(shù)受到適當(dāng)制約(實(shí) 際上與下述片狀構(gòu)件23的排列效果相輔相成,對(duì)該個(gè)數(shù)逐個(gè)加以制約),如下所 述,在規(guī)定時(shí)間內(nèi)從振動(dòng)碗10的凹部10a向外部排出的金屬球15的總個(gè)數(shù)可以借 助于第1光學(xué)傳感器16a正確估計(jì)。還可以通過(guò)在輸送通路20的中途設(shè)置多個(gè)切槽22,可靠地發(fā)揮使金屬球15 的集合體排列的效果。特別是通過(guò)將切槽22靠近輸送通路20的終端設(shè)置,在將金屬球15排出到凹 部10a外部時(shí),能夠可靠保證將金屬球排成一列。又如參照?qǐng)D2和圖4能夠理解的那樣,在輸送通路20的中途的適當(dāng)?shù)胤揭暂?送通路20的輸送面(階梯10b的下表面10c)為基準(zhǔn),向向上的方向從離開(kāi)規(guī)定距 離、例如金屬球15的直徑的一倍以上、兩倍以下的距離的位置延伸,然后彎折大 約90° ,與下表面10c平行地延伸的板狀而且是L字形的片狀構(gòu)件B與階梯10b的側(cè)面10d接觸著配置。
然后,與下表面10c平行延伸的部分利用螺桿25固定于凹部10a的區(qū)域外側(cè) 的額緣24 (參照?qǐng)D2)。如果釆用這樣的片狀構(gòu)件23,則構(gòu)成多層集合體的各金屬球15如圖4 (b)所 示僅留下一層,在片狀構(gòu)件23的向下方向的前端部受到擠壓由于自重而落下。于是,多層金屬球15的集合體能夠借助于片狀構(gòu)件23排列為一層,而且只有 與階梯10b的下表面10c直接接觸的金屬球15的一層能夠越過(guò)片狀構(gòu)件23進(jìn)入片 狀構(gòu)件23的下游側(cè)的輸送通路20。這樣,片狀構(gòu)件23起到簡(jiǎn)單容易地將多列金屬球15的集合體排列為一層的作 用,因此從振動(dòng)碗10同時(shí)排出到外部的金屬球15的個(gè)數(shù)受到適當(dāng)制約(實(shí)際上, 與上述切槽22的排列效果相互補(bǔ)充,被制約為逐個(gè)排出。),如下所述,在規(guī)定 的時(shí)間內(nèi),從振動(dòng)碗10的凹部10a向外部排出的金屬球15的總個(gè)數(shù)由第1光學(xué)傳 感器16a估計(jì)。還可以在輸送通路20的中途配置多片片狀構(gòu)件23,更可靠地發(fā)揮金屬球15 的集合體的排列效果。特別是將片狀構(gòu)件23與輸送通路20的終端相鄰設(shè)置,能夠可靠地保證在金屬 球15排出到凹部10a的外部時(shí)金屬球15保持排列為一層的狀態(tài)。而且,如圖2和圖5所示,能夠在輸送通路20的終端設(shè)置可將輸送通路20的 終端近旁存在的金屬球15沿著輸送通路20上的金屬球15的輸送方向的大約垂直 方向向斜下方排出到凹部10a外側(cè)的階梯部26。更詳細(xì)地說(shuō),如圖5所示,階梯部26形成具備將輸送通路20的終端部分沿著 其寬度方向而且向斜下方切出的切槽斜面26a以及導(dǎo)向構(gòu)件12的結(jié)構(gòu)。在這里, 導(dǎo)向構(gòu)件12如圖5 (b)所示,利用適當(dāng)?shù)墓潭ㄊ侄?未圖示)與振動(dòng)碗IO連結(jié)為 一體,與振動(dòng)碗的振動(dòng)一起振動(dòng)。而且,導(dǎo)向構(gòu)件12起著將通過(guò)切槽斜面26a后的金屬球15引向斜道部32 (參 照?qǐng)D6)的作用,接著切槽斜面26a的下端,有與切槽斜面26a的傾斜角度相同角 度的斜面。借助于此,能夠使要通過(guò)切槽斜面26a的金屬球15從切槽斜面26a向 斜道部32平滑移動(dòng)。而且切槽斜面26a的寬度d調(diào)整為超過(guò)金屬球15的直徑的1倍而小于該直徑 的2倍。這樣一來(lái),能夠避免比切槽斜面26a的寬度d更長(zhǎng)的,多個(gè)相互粘合連結(jié) 的金屬球15的不合格品或細(xì)長(zhǎng)的雜質(zhì)進(jìn)入金屬球15的排出路徑。 而且,已經(jīng)說(shuō)明過(guò)的反射型的第l光學(xué)傳感器16a,如圖5(b)所示,被從輸 送通路20搬出,配置得能夠?qū)﹄A梯部26的輸送中途的金屬球15的個(gè)數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)。 也就是說(shuō)第1光學(xué)傳感器16a的檢測(cè)窗口與切槽斜面26a相對(duì)。更加正確地說(shuō),第1光學(xué)傳感器16a的向上方向的配置極限是與輸送通路20 的終端近旁存在的金屬球15的輸送方向延長(zhǎng)線上的切槽斜面26a的位置對(duì)應(yīng)的正 上方,更理想的是從該輸送方向延長(zhǎng)線上使金屬球15沿著切槽斜面26a向下方偏 離一個(gè)金屬球15的大小位置的對(duì)應(yīng)的正上方。這樣一來(lái),第l光學(xué)傳感器16a可 以檢測(cè)出具有沿著切槽斜面26a的傾斜的最小速度分量的金屬球15,第1光學(xué)傳感 器16a對(duì)不能很好地向切槽斜面26a排出的金屬球15的錯(cuò)誤檢測(cè)可以得到消除。又,第1光學(xué)傳感器16a在向下方向的配置極限,是先發(fā)的金屬球15向切槽 斜面26a排出的時(shí)刻開(kāi)始到后續(xù)的金屬球15排出到切槽斜面26a的時(shí)刻的時(shí)間差 這一期間,先發(fā)的金屬球15通過(guò)切槽斜面26a (或?qū)驑?gòu)件12)移動(dòng)的位置的對(duì) 應(yīng)的正上方。這樣一來(lái),在第1光學(xué)傳感器16a檢測(cè)出先發(fā)的金屬球15之前的期 間,后續(xù)的金屬球15不繼續(xù)向切槽斜面26a排出。因此能夠使從凹部10a向外部 排出的金屬球15的個(gè)數(shù)的總和與第1光學(xué)傳感器16a得到的個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)為依據(jù)的金 屬球15的個(gè)數(shù)的總和相等,兩者之間不發(fā)生個(gè)數(shù)偏差。還有,通過(guò)將第1光學(xué)傳感器16a的檢測(cè)窗口與切槽斜面26a相對(duì)配置,以便 能夠很好地避免與其他構(gòu)件相互影響,這樣也能夠便于對(duì)第1光學(xué)傳感器]6a的裝 卸,從而能夠更便于維修保養(yǎng)。如果采用這樣的階梯部26,在將金屬球15從凹部10a排出到外部時(shí),能夠?qū)?現(xiàn)輸送通路20的終端近旁的金屬球15向其輸送方向的垂直方向的排出的技術(shù)。由 于采用這樣的垂直方向排出技術(shù),即使是金屬球15連續(xù)輸送的情況下,金屬球15 的輸送方向暫時(shí)由于階梯部26而改變90。左右,由于這樣的輸送方向的變化,通 過(guò)階梯部26流動(dòng)的金屬球16之間也能夠確保適當(dāng)?shù)拈g距。因此能夠消除多個(gè)金屬 球15保持粘連的狀態(tài)通過(guò)階梯部26及其下游的輸送路徑的情況,從而能夠用第1 光學(xué)傳感器16a可靠地檢測(cè)出從振動(dòng)碗10向外部排出的金屬球15的個(gè)數(shù)。又,即使是振動(dòng)碗10對(duì)金屬球15的振動(dòng)輸送能力偏離設(shè)定的規(guī)定值,階梯部 26的金屬球15的輸送速度也由向下方傾斜的切槽斜面26a的傾斜角和金屬球15 的自重決定,容易控制每單位時(shí)間通過(guò)階梯部26的金屬球15的個(gè)數(shù)。又,如果釆用第l光學(xué)傳感器16a,能夠正確地對(duì)從振動(dòng)碗10的凹部10a排出 到外部的金屬球15的個(gè)數(shù)。也就是說(shuō),第l光學(xué)傳感器16a的配置位置如上面已經(jīng)說(shuō)明的那樣,是在輸送 通路20的終端近旁存在的金屬球15的輸送方向延長(zhǎng)線上的切槽斜面26的位置的 正上方,更理想的是位于從輸送方向延長(zhǎng)線上向下方偏離一個(gè)金屬球15的大小的 切槽斜面26a的位置正上方,從凹部10a向外部排出的金屬球15的個(gè)數(shù)的總和與 第1光學(xué)傳感器16a得到的個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)為依據(jù)的金屬球15的個(gè)數(shù)的總和之間沒(méi)有個(gè) 數(shù)偏差發(fā)生。還有,輸送通路20的終端近旁的金屬球15的集合體借助于上面所述的切槽22 和片狀構(gòu)件23的排列效果簡(jiǎn)單而且容易地排列成一列而且是一層,借助于此,金 屬球15逐個(gè)向第1光學(xué)傳感器16a的檢測(cè)窗口的區(qū)域排出。因此基于切槽22和片 狀構(gòu)件23的排列效果,第1光學(xué)傳感器16a能夠可靠地檢測(cè)出該金屬球15的個(gè)數(shù), 對(duì)從凹部10a向外部排出的金屬球15不會(huì)有個(gè)數(shù)檢測(cè)錯(cuò)誤。下面參照?qǐng)D6,作為上面所述的振動(dòng)碗進(jìn)料器50的一個(gè)使用例,敘述將該振動(dòng) 碗進(jìn)料器50排出的金屬球15作為蒸鍍成膜材料使用在基板表面蒸鍍被覆膜的真空 裝置的結(jié)構(gòu)以及其真空蒸鍍動(dòng)作。首先對(duì)真空蒸鍍裝置IOO的內(nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。圖6是本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的真空蒸鍍裝置的內(nèi)部的大概結(jié)構(gòu)的示意圖。 真空蒸鍍裝置100具備具有底部和蓋部,內(nèi)部可減壓的簡(jiǎn)狀的真空槽30、設(shè) 置于真空槽30的底部,相對(duì)于該底部能夠旋轉(zhuǎn)的環(huán)狀而且是圓盤(pán)狀的轉(zhuǎn)塔33、在 轉(zhuǎn)塔33的圓周方向上每隔大約90。配置在轉(zhuǎn)塔33上,與金屬球15的最終供給目 的地相當(dāng)?shù)?個(gè)電阻加熱皿等容器31、與這些容器31對(duì)應(yīng)配置于真空槽30內(nèi)部的 適當(dāng)位置的一個(gè)振動(dòng)碗進(jìn)料器50、將從振動(dòng)碗進(jìn)料器50的振動(dòng)碗10 (振動(dòng)碗10 的凹部10a)通過(guò)導(dǎo)向構(gòu)件12向外部排出的金屬球15引向容器31的斜道部32、 以及在蒸鍍場(chǎng)所34加熱容器31中充填的金屬球15并使其蒸發(fā)的加熱手段(例如 通過(guò)作為容器31的加熱皿的電阻加熱式的加熱手段;未圖示)。當(dāng)然,這里所述 的加熱手段不限于電阻加熱,例如也可以是電子束加熱。還有,在圖6中,作為振動(dòng)碗進(jìn)料器50,代表性地圖示出振動(dòng)碗50和導(dǎo)向構(gòu)件12。下面參照?qǐng)D6對(duì)利用這樣的真空蒸鍍裝置100在基板(未圖示)上進(jìn)行真空蒸 鍍的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
在利用適當(dāng)?shù)恼婵张艢馐侄?真空泵等;未圖示)對(duì)真空槽30內(nèi)部進(jìn)行抽真 空使其達(dá)到規(guī)定的真空度的狀態(tài)下,通過(guò)使振動(dòng)碗進(jìn)料器50動(dòng)作,在振動(dòng)碗10的 內(nèi)部對(duì)金屬球15實(shí)施振動(dòng)輸送動(dòng)作。
這樣一來(lái),由于振動(dòng)碗10的振動(dòng),沿著凹部10a的內(nèi)壁的輸送通路20 (圖2) 螺旋狀上升,而且利用切槽22 (圖3)和片狀構(gòu)件23 (圖4)排列為一列、 一層的 金屬球15,在通過(guò)輸送通路20的終端上的階梯部20的切槽斜面26a (圖5)移動(dòng) 期間, 一邊由第1光學(xué)傳感器16a檢測(cè)出個(gè)數(shù)一邊排出到凹部10a的外部。
排出到凹部10a的外部的金屬球15逐個(gè)通過(guò)導(dǎo)向構(gòu)件12和斜道部32移動(dòng), 充填于一個(gè)容器31中。
在這里,在容器31中充填的金屬球15的充填個(gè)數(shù)一旦達(dá)到預(yù)先設(shè)定的規(guī)定數(shù) 目(例如10個(gè)),就使振動(dòng)碗進(jìn)料器50的動(dòng)作停止(向振動(dòng)體11饋送振動(dòng)用信 號(hào)的饋電停止),向容器31充填金屬球15的充填動(dòng)作停止。
接著,使轉(zhuǎn)塔33逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)到90。時(shí),剛才充填了規(guī)定數(shù)目的金屬球15的容 器31從真空槽30內(nèi)部的振動(dòng)碗進(jìn)料器50提供金屬球15的供給位置到達(dá)金屬球15 的蒸鍍場(chǎng)所34。
在該狀態(tài)下,利用適當(dāng)?shù)募訜崾侄螌?duì)金屬球15進(jìn)行加熱,以使金屬球15蒸發(fā)。 從金屬球15蒸發(fā)生成的蒸鍍材料向真空槽30內(nèi)部的基板飛散,在該基板表面上形 成蒸鍍材料構(gòu)成的被覆膜。
然后,在充填于容器31中的金屬球15從容器31完全蒸發(fā)的時(shí)刻,加熱手段 停止對(duì)金屬球15的加熱,對(duì)真空蒸鍍裝置100中的基板蒸鍍的循環(huán)結(jié)束。而且根 據(jù)需要,再度使轉(zhuǎn)塔33旋轉(zhuǎn),反復(fù)進(jìn)行同樣的真空蒸鍍動(dòng)作。
采用這樣的真空蒸鍍裝置100,在真空槽30的內(nèi)部進(jìn)行蒸鍍用的成膜材料(金 屬球15)可以利用振動(dòng)碗進(jìn)料器50以規(guī)定的數(shù)目(例如IO個(gè))正確地提供給容器 31。因此,通過(guò)正確管理每一個(gè)金屬球15的體積,能夠簡(jiǎn)單、容易而且正確地控 制在真空蒸鍍裝置100中對(duì)基板表面真空蒸鍍的被覆膜的厚度。
而且如果采用真空蒸鍍裝置100,提供給容器31的金屬球15的總個(gè)數(shù)能夠容 易地改變,借助于此,能夠迅速應(yīng)對(duì)真空蒸鍍裝置100的蒸鍍對(duì)象制品所要求的蒸
鍍被覆膜的厚度變更。
而且通過(guò)在轉(zhuǎn)塔33上載置多個(gè)容器31并且使其轉(zhuǎn)動(dòng),能夠形成不需要?jiǎng)邮志?能夠使容器31連續(xù)地從金屬球15的供給位置移動(dòng)到金屬球15的蒸鍍場(chǎng)所34的結(jié)
構(gòu),借助于此,能夠得到真空蒸鍍裝置100的連續(xù)蒸鍍機(jī)構(gòu)。 變形例
圖7是本實(shí)施形態(tài)的 一個(gè)變形例的說(shuō)明圖,是使圖2中的C部的結(jié)構(gòu)變形的放 大平面圖。
根據(jù)圖7,與階梯部26的兩側(cè)部相當(dāng)?shù)恼駝?dòng)碗10的額緣24 (參照?qǐng)D2)中的 遠(yuǎn)離金屬球15的一側(cè)的額緣24的一部分,以沿著靠近金屬球15的一側(cè)的額緣24 的外周面的形態(tài),從切槽斜面26a的側(cè)端向傾斜方向切出,形成規(guī)定的傾斜面26b (切取的部分在圖中以網(wǎng)紋表示)。
如果釆用這樣的傾斜面26b,則比切槽斜面26a的寬度d長(zhǎng)的,多個(gè)相互粘合 連結(jié)的金屬球15的不合格品或細(xì)長(zhǎng)的雜質(zhì)跨越階梯部16通過(guò)時(shí),能夠防止其碰到 遠(yuǎn)惻的額緣24后向切槽斜面26a的方向返回,使這樣的金屬球15的不合格品等容 易通過(guò)階梯部26。
根據(jù)以上說(shuō)明,本行業(yè)的普通技術(shù)人員能夠了解被覆膜的許多改良和其他實(shí)施 形態(tài)。因此上面的說(shuō)明應(yīng)該只解釋為例示,提供的目的是對(duì)本行業(yè)的普通技術(shù)人員 示教實(shí)施本發(fā)明的最佳形態(tài)。在不脫離本發(fā)明的精神的條件下,其結(jié)構(gòu)和/或功能 的細(xì)節(jié)能夠作實(shí)質(zhì)性變更。
工業(yè)應(yīng)用性
如果釆用本發(fā)明的振動(dòng)碗進(jìn)料器,則利用振動(dòng)碗對(duì)被輸送物體施加振動(dòng)將該被 輸送物體排出到外部時(shí),能夠正確控制被輸送物體的個(gè)數(shù),作為例如在基板表面上 蒸鍍被覆膜的真空蒸鍍裝置的材料定量供應(yīng)裝置是有用的。
權(quán)利要求
1.一種振動(dòng)碗,其特征在于,具備能夠貯存被輸送物體的集合體的凹部、在所述凹部的內(nèi)側(cè)對(duì)所述被輸送物體施加振動(dòng)從而能夠輸送所述被輸送物體的輸送通路、以及形成能夠?qū)Υ嬖谟谒鲚斔屯返慕K端近旁的所述被輸送物體的被輸送方向,大約垂直方向并且向斜下方,將所述被輸送物體向所述凹部的外側(cè)排出的結(jié)構(gòu)的階梯部。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動(dòng)碗,其特征在于,所述階梯部具有使所述輸送 通路向其寬度方向而且向下方傾斜的切槽斜面。
3. —種振動(dòng)碗,其特征在于,具備 能夠貯存被輸送物體的集合體的凹部、在所述凹部的內(nèi)側(cè)對(duì)所述被輸送物體施加振動(dòng)從而能夠輸送所述被輸送物體 的輸送通路、以及形成能夠沿著斜下方將存在于所述輸送通路的終端近旁的所述被輸送物體向 所述凹部的外側(cè)排出的結(jié)構(gòu)的階梯部,所述階梯部形成與對(duì)處于其輸送中途的所述被輸送物體的個(gè)數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)的個(gè) 數(shù)檢測(cè)手段相對(duì)的結(jié)構(gòu)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的振動(dòng)碗,其特征在于,所述階梯部具有使所述輸送 通路向其寬度方向而且向下方傾斜的切槽斜面,所述個(gè)數(shù)檢測(cè)手段的檢測(cè)窗口與所 述切槽斜面相對(duì)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2或4所述的振動(dòng)碗,其特征在于,所述被輸送物體前面大 致為球形,所述切槽斜面的寬度形成為超過(guò)所述被輸送物體的直徑的1倍,而且小 于所述直徑的2倍的結(jié)構(gòu)。
6. —種振動(dòng)碗,其特征在于,具備 能夠貯存被輸送物體的集合體的凹部、在所述凹部的內(nèi)惻對(duì)所述被輸送物體施加振動(dòng)從而能夠輸送所述被輸送物體 的輸送通路、以及形成使所述輸送通路在其寬度方向上留出規(guī)定的寬度份額,以使其能夠?qū)⒋嬖? 于所述輸送通路的中途的多列被輸送物體的集合體,在所述輸送通路的寬度方向上 排列為l列的結(jié)構(gòu)的切槽。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的振動(dòng)碗,其特征在于,所述被輸送物體大致為球形,所述規(guī)定的寬度大致為所述被輸送物體的直徑的 大小。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的振動(dòng)碗,其特征在于,所述切槽鄰接所述輸送通路 的終端設(shè)置。
9. 一種振動(dòng)碗,其特征在于,具備 能夠貯存被輸送物體的集合體的凹部、在所述凹部的內(nèi)側(cè)對(duì)所述被輸送物體施加振動(dòng)從而能夠輸送所述被輸送物體 的輸送通路、以及形成以所述輸送通路的輸送面為基準(zhǔn),在向上方離開(kāi)規(guī)定距離的位置,向上方 向延伸構(gòu)成,能夠使存在于所述輸送通路的中途的多層被輸送物體的集合體排列為 l層的結(jié)構(gòu)的片狀構(gòu)件。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的振動(dòng)碗,其特征在于,所述被輸送物體大致為球形, 所述規(guī)定的距離超過(guò)所述被輸送物體的直徑的l倍,而且小于所述直徑的2倍。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1~10中的任一項(xiàng)所述的振動(dòng)碗,其特征在于,在所述凹部 的內(nèi)壁上形成規(guī)定的記號(hào)。
12. —種振動(dòng)碗進(jìn)料器,其特征在于,具備支持權(quán)利要求1-11中的任一項(xiàng)所述的振動(dòng)碗并且對(duì)其施加振動(dòng)的振動(dòng)體,能夠基于由所述振動(dòng)體施加的所述振動(dòng)碗的振動(dòng),輸送所述輸送通路上承載的 所述被輸送物體。
13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的振動(dòng)碗進(jìn)料器,其特征在于,配置網(wǎng)狀構(gòu)件以覆蓋所述振動(dòng)碗的所述凹部的開(kāi)口部。
14. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的振動(dòng)碗進(jìn)料器,其特征在于,具備配置于所述振動(dòng)碗的所述凹部的開(kāi)口部上方的,貯存所述被輸送物體的集 合體的料斗、檢測(cè)滯留于所述凹部的所述被輸送物體的集合體的最高位置的最高位置檢測(cè)手段、以及控制裝置,所述控制裝置根據(jù)所述最高位置檢測(cè)手段得到的位置數(shù)據(jù),對(duì)所述料斗中的所 述被輸送物體的供給動(dòng)作進(jìn)行控制,對(duì)從所述料斗向所述凹部的所述被輸送物體的 供應(yīng)進(jìn)行調(diào)整。
15. —種振動(dòng)碗進(jìn)料器,其特征在于,具備支持權(quán)利要求3或4所述的振動(dòng)碗并且對(duì)其施加振動(dòng)的振動(dòng)體、對(duì)處于所述階 梯部的輸送中途的所述被輸送物體的個(gè)數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)的個(gè)數(shù)檢測(cè)手段、以及能夠根據(jù) 所述個(gè)數(shù)檢測(cè)手段得到的個(gè)數(shù)數(shù)據(jù),控制對(duì)所述振動(dòng)體饋送的振動(dòng)用的信號(hào)的頻率 或振幅,調(diào)整所述振動(dòng)碗對(duì)所述被輸送物體的振動(dòng)輸送能力的控制裝置。
16. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的振動(dòng)碗進(jìn)料器,其特征在于,所述控制裝置控制 所述信號(hào)的頻率或振幅,以使所述個(gè)數(shù)檢測(cè)手段得到的,每單位時(shí)間的所述被輸送 物體的個(gè)數(shù)保持一定。
17. —種真空蒸鍍裝置,其特征在于,具備內(nèi)部能夠減壓的真空槽、配置于所述真空槽內(nèi)部的,權(quán)利要求12 16中 的任一項(xiàng)所述的振動(dòng)碗進(jìn)料器、能夠?qū)乃稣駝?dòng)碗進(jìn)料器向外部排出的所述被輸 送物體作為成膜材料充填的容器、以及能夠?qū)τ伤霰惠斔臀矬w構(gòu)成的成膜材料進(jìn) 行加熱的加熱手段,使利用所述加熱手段加熱的所述成膜材料蒸鍍到處于減壓狀態(tài)下的所述真空 槽內(nèi)部的基板上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠正確地對(duì)被輸送物體的個(gè)數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)的振動(dòng)碗。振動(dòng)碗(10)具備能夠貯存被輸送物體(15)的集合體的凹部(10a)、在所述凹部(10a)的內(nèi)側(cè)對(duì)所述被輸送物體(15)施加振動(dòng)從而能夠輸送被輸送物體(15)的輸送通路(20)、形成能夠?qū)Υ嬖谟谒鲚斔屯?20)的終端近旁的所述被輸送物體(15)的被輸送方向,大約垂直方向并且向斜下方,將所述被輸送物體(15)向所述凹部(10a)的外側(cè)排出的結(jié)構(gòu)的階梯部(26)。
文檔編號(hào)B65G47/14GK101128373SQ20068000623
公開(kāi)日2008年2月20日 申請(qǐng)日期2006年2月14日 優(yōu)先權(quán)日2005年2月25日
發(fā)明者岡田基, 小川健一, 山川健司, 武內(nèi)清 申請(qǐng)人:新明和工業(yè)株式會(huì)社