專利名稱：移載裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在輸送工件(稱作"輸送對象物")的輸送系統(tǒng)等中 使用、通過多關(guān)節(jié)的臂使工件在同一水平面內(nèi)直線移動的移載裝置。
背景技術(shù)：
在制造半導(dǎo)體基板或液晶顯示板等的工廠中，由于對作為其坯料 的平板狀坯料(半導(dǎo)體晶片或玻璃板)在不同的位置上實施多工序的 處理，所以必須有將收容該平板狀坯料的托盤等的作為輸送對象物的 工件在清潔室內(nèi)輸送的輸送系統(tǒng)。在該輸送系統(tǒng)中，使用通過多關(guān)節(jié) 的臂使工件在同一水平面內(nèi)直線移動的移載裝置。這樣，'在清潔室內(nèi)使用多關(guān)節(jié)的臂型的移載裝置(也稱作"SCARA型臂"(具有選擇柔順性的裝配機器人手臂Selective Compliance Assembly Robot Arm))是因為污染無塵室的微粒的產(chǎn)生 較少。圖12是表示這樣的移載裝置，并作為本發(fā)明的背景技術(shù)的移載 裝置的一例的正視圖。該移載裝置記載在專利文獻l中。該移載裝置100具有 一對基臺101;分別旋轉(zhuǎn)自如地安裝在該 一對基臺101上的一對基端側(cè)臂102;可旋轉(zhuǎn)地安裝在該一對基端側(cè) 臂102的各自的前端上的一對前端側(cè)臂103;和旋轉(zhuǎn)自如地將該一對 前端側(cè)臂的前端側(cè)連結(jié)的移載臂105。各個基臺101將基端側(cè)臂102對稱于該基臺101的中心線而同步 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，由此，該移載裝置100能夠使移載臂105從圖中雙點劃線 的虛擬線表示的狀態(tài)沿對稱中心線方向直線移動到實線所示的狀態(tài)。
在移載臂105上，設(shè)有把持工件W的一對把持臂106。由此，該 移載裝置IOO發(fā)揮在其直線移動范圍內(nèi)將工件抓取、移動、卸下的移 載功能。但是，在該移載裝置100中，在工件W是小型、輕量的情況下 不會成為問題，但對于工件W大型化，移載距離變長并且移載重量 也增加。與此對應(yīng)，各臂的長度變長，要求作為梁的強度，在多關(guān)節(jié) 臂的構(gòu)造上，如果移載距離或移載重量變大，則難以對應(yīng)，希望能得 到解決。專利文獻1日本特開平6—156632號公報(圖l) 發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是為了解決上述問題而做出的，目的是提供一種在避免微 粒發(fā)生的問題的同時、能夠與大型化的工件對應(yīng)的進行移載的移載裝 置。技術(shù)方案1所述的移載裝置的特征在于，具備分別由兩條臂構(gòu) 成的一對自由臂；用來將上述一對自由臂的基端側(cè)臂分別以上述基端 側(cè)臂的基端為中心轉(zhuǎn)動自如地安裝的基臺；用來將上述一對自由臂的 前端側(cè)臂分別以上述前端側(cè)臂的前端為中心轉(zhuǎn)動自如地安裝的移載 臂；以及使上述基臺沿移載方向滑動的滑動部。另外，在本發(fā)明中，將移載裝置的移載對象稱作移載物，將相同 的移載物作為輸送系統(tǒng)的輸送對象物、或者稱作工件，但所指都相同。技術(shù)方案2所述的移載裝置從屬于技術(shù)方案1，其特征在于，在 載置有移載物的情況下， 一邊保持上述移載臂處于待機位置的狀態(tài)， 一邊通過上述滑動部使上述基臺滑動。技術(shù)方案3所述的移載裝置從屬于技術(shù)方案2，其特征在于，在 沒有載置移載物的情況下，同時進行上述移載臂的移動、和基于上述 滑動部的上述基臺的移動。
發(fā)明效果根據(jù)技術(shù)方案1所述的移載裝置，由于將分別由兩條臂構(gòu)成的一 對自由臂的基端側(cè)轉(zhuǎn)動自如地安裝在基臺上，具備將上述一對自由臂 的前端側(cè)相互轉(zhuǎn)動自如地連結(jié)的移載臂，具備使上述基臺沿移載方向 滑動的滑動部，所以能夠縮短移載臂的行程，能夠進行大型化的移載 物的移載。此外，能夠不侵入到移載臂以外的部分而將移載物移載到移載物 的載置區(qū)域等中，能夠防止因從移載裝置產(chǎn)生的微粒污染置于載置區(qū) 域中的其他移載物。根據(jù)技術(shù)方案2所述的移載裝置，除了技術(shù)方案1的效果以外， 由于在載置有移載物的情況下，在移載臂處于待機位置的狀態(tài)下，通 過滑動部使基臺滑動，所以還能夠減輕作用在滑動部的軸承上的運動 負荷載重，能夠使軸承耐用。根據(jù)技術(shù)方案3所述的移載裝置，除了技術(shù)方案2的效果以外， 由于在沒有載置移載物的情況下，同時進行基于移載臂的移載物的移 動、和基于滑動部的基臺的移動，所以在負荷較少時，使移載臂及移 載物更快地移動，能夠縮短動作時間。


圖1 (a)是表示本發(fā)明的移載裝置的一例的正視圖，圖1 (b) 是圖1 (a)的側(cè)視圖。圖2是表示圖1的移載裝置的滑動部的圖，圖2(a)是其正視圖， 圖2 (b)是圖2 (a)的側(cè)視圖。圖3是表示圖1的移載裝置的移載臂部和滑動部的動作定時的時 間圖，圖3 (a)是負載時的時間圖，圖3 (b)是空載時的時間圖。圖4是依次表示圖1的移載裝置的沿著圖3的時間圖的動作方式 的圖。
圖5是依次表示圖1的移載裝置的沿著圖3的時間圖的動作方式的圖。圖6是依次表示圖1的移載裝置的沿著圖3的時間圖的動作方式 的圖。圖7是依次表示圖1的移載裝置的沿著圖3的時間圖的動作方式 的圖。圖8是依次表示圖1的移載裝置的沿著圖3的時間圖的動作方式 的圖。圖9是依次表示圖1的移載裝置的沿著圖3的時間圖的動作方式 的圖。圖10是依次表示圖1的移載裝置的沿著圖3的時間圖的動作方 式的圖。圖11是表示具備圖1的移載裝置的輸送系統(tǒng)的一例的外觀立體圖。圖12是表示作為本發(fā)明的背景技術(shù)的移載裝置的正視圖。
具體實施方式
以下，利用附圖對本發(fā)明的實施方式(實施例)進行說明。圖1 (a)是表示本發(fā)明的移載裝置的一例的正視圖，圖1 (b) 是圖1 (a)的側(cè)視圖。該移載裝置30是在制造例如半導(dǎo)體基板或液晶顯示板等的工廠 中，為了對其平板狀坯料(半導(dǎo)體晶片或玻璃板)在清潔室內(nèi)實施各 種加工處理，將各收容有一片該平板狀坯料的托盤作為輸送對象物即 工件W、在一個或多級層疊的狀態(tài)下移載時使用的裝置。另外，這里，作為適合使用移載裝置的例子，表示了在清潔室內(nèi) 輸送收容有平板狀坯料的托盤的情況，但本發(fā)明的移載裝置并不限于 此， 一般能夠在將輸送對象移載到同一平面上的其他位置的情況下使用。本發(fā)明的移載裝置30,將由兩條臂(基端側(cè)臂2、前端側(cè)臂3)構(gòu)成的一對自由臂4的基端側(cè)臂2的基端側(cè)轉(zhuǎn)動自如地安裝在基臺1 上，并具備將一對自由臂4的前端側(cè)臂3的前端側(cè)相互轉(zhuǎn)動自如地連 結(jié)的移載臂5。此外，具備使基臺l沿移載方向滑動的滑動部20。對于通過一對基臺1將一對基端側(cè)臂2分別以中心線對稱地同步 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動、使移載臂5在該對稱中心線方向上直線移動這一點上，與 圖12所示的背景技術(shù)的移載裝置100相同，所以省略詳細說明。這里，所謂的對稱中心線，是指在連結(jié)基臺1的軸中心的線的中 點、與連結(jié)該軸中心的線正交的線，圖1 (b)是在該對稱中心線處 將移載裝置30縱剖的縱剖視圖。將上述的各一對的基臺1、基端側(cè)臂2、前端側(cè)臂3 (將它們合稱 作"自由臂4")、移載臂5—起稱作臂移載部10。另外，有時將該臂 移載部10或者移載裝置30稱作"SCARA型臂"。移載裝置30除了上述的各部以外，還具備使臂移載部10整體沿 上述對稱中心線方向(該方向是移載工件W的方向，所以也稱作"移 載方向")滑動的滑動部20，如上所述，將這一點作為基本的特征。承載臂移載部10的滑動部20載置在旋轉(zhuǎn)部40之上，臂移載部 10與滑動部20能夠旋轉(zhuǎn)。該旋轉(zhuǎn)部40被載置在該圖中概念性地用雙點劃線表示的升降臺 50之上，臂移載部10和滑動部20 (即移載裝置30)、以及旋轉(zhuǎn)部40 能夠升降。這里，.該移載裝置30的特征是，在臂移載部10的下方具備載置 該臂移載部10的整體、使其沿移載方向直線移動的滑動部20。艮P，為了達到作為目標的移載距離，利用滑動部20的移載和臂 移載部10的移載兩者，如后所述，將臂移載部10設(shè)置在上方，特別 是只有其移載臂5位于作為移載對象的工件W的上方，處于下方的
滑動部20不位于工件W的上方或附近。艮P,根據(jù)該移載裝置30,對于移載物的上方或附近，通過使微粒 產(chǎn)生較少的臂移載部IO移動，在移載物的下方及遠離的位置處，通 過滑動部加移動，能夠在減輕臂移載部IO的負擔的同時，整體上達到作為目標的移載距離，能夠?qū)?yīng)工件w的大型化，并且能夠減少微粒的影響。對于該效果，利用圖3 圖IO在后面更詳細地說明。在本發(fā)明中，在臂移載部10自身中也具有特征。臂移載部10的 移載臂5具備構(gòu)成移載面的上表面5a、臂的下表面5b、作為臂的基 端的基端部5d、以及在維持移載面5a的同時從基端部5d向移載方 向的前側(cè)伸出的一對承接臂5e。其特征是，該移載臂5的下表面5b比旋轉(zhuǎn)自如地支撐該移載臂5 的前端側(cè)臂3的上表面3a靠下方。即，移載臂5設(shè)計為，使其相對 于前端側(cè)臂3在上下方向上不干涉。更具體地講，這樣在與前端側(cè)臂3側(cè)干涉的方向上獲得移載臂5 的高度的結(jié)果是，移載臂5的上表面(移載面5a)處于與自由臂4 的前端側(cè)臂3的上表面3a大致相同的上下位置、或者稍靠上方的位 置。即，能夠盡量使移載裝置30的移載面的高度較低。另一方面，如果這樣的移載臂5與自由臂4的前端側(cè)臂3成為上 下干涉的位置關(guān)系，則根據(jù)自由臂4的旋轉(zhuǎn)相位，會成為移載臂5與 前端側(cè)臂3的上下覆蓋(力、S3)的部分碰撞的狀況。所以，在該移載裝置30中，在移載臂5的根部分、即與前端側(cè) 臂3碰撞的部分上，設(shè)有圖1 (a)所示那樣的、從移載臂5和前端 側(cè)臂3的相互間的連結(jié)部向反連結(jié)方向使臂部分沿傾斜方向避讓的 避讓部5c。圖1 (a)表示使臂移載部IO相對于移載方向后退最多的狀態(tài)， 可知通過移載臂5的避讓部5c，使移載臂5成為與前端側(cè)臂3接近， 但相互不會抵接的狀態(tài)，避免了碰撞。 在移載臂5與前端側(cè)臂3之間沒有上下的干涉的情況下，移載臂5能夠從該圖1 (a)的狀態(tài)再向右方向(后退方向)后退，直到與基 端側(cè)臂2及前端側(cè)臂3的對稱中心線(或者移載方向)所成的角度成 為0度的位置，但在本發(fā)明的移載裝置30中，是直到圖l (a)的狀 態(tài)。但是，'在圖1 (a)的狀態(tài)下，與基端側(cè)臂2及前端側(cè)臂3的對稱 中心線(或者移載方向)所成的角度很小，能夠后退到該角度成為O 度的距離從整體來看是很小的距離，本發(fā)明的發(fā)明者認為通過該很小 的距離的損失來盡量避開移載裝置30的移載面的優(yōu)點在產(chǎn)業(yè)上是更 重要的。圖2是表示圖1的移載裝置的滑動部的圖，圖2(a)是其正視圖， 圖2 (b)是圖2 (a)的側(cè)視圖。另外，對于在此之前已經(jīng)說明的部 分賦予相同的標號而省略重復(fù)說明。該滑動部20具有左右一對地設(shè)置的公知的直線移動引導(dǎo)機構(gòu) 11;設(shè)置該一對直線移動引導(dǎo)機構(gòu)11的滑動框架12;設(shè)在設(shè)置于滑 動框架12上的左右一對的直線移動引導(dǎo)機構(gòu)11的中間位置上的、公 知的直線移動驅(qū)動機構(gòu)13;和設(shè)在直線移動引導(dǎo)機構(gòu)11的兩端上的 擋塊14。直線移動引導(dǎo)機構(gòu)11具備形成直線路徑的軌道部11b、和在該軌 道部llb上直線移動的移動體lla。在該例中，在單側(cè)的軌道部b上 設(shè)置有三個移動體lla。直線移動驅(qū)動機構(gòu)13在該例中使用組合了螺紋軸與陰螺紋的結(jié) 構(gòu)，但除此以外，組合了齒條與小齒輪的結(jié)構(gòu)、線性馬達等，只要是 產(chǎn)生直線移動的驅(qū)動力的結(jié)構(gòu)就可以，種類沒有限制。但是，在清潔 室內(nèi)使用的情況下，優(yōu)選微粒的產(chǎn)生盡可能少的結(jié)構(gòu)。在左右一對直線移動引導(dǎo)機構(gòu)11的合計6個移動體lla上，固 定有臂移載部10的基臺1，此外，該基臺1在其長度方向中心位置
上受到直線移動驅(qū)動機構(gòu)13的直線驅(qū)動力而滑動，其移動的兩端受 擋塊14制動。在這樣的結(jié)構(gòu)中，該滑動部20將臂移載部10載置于其上，能夠 與臂移載部10自身的直線移動獨立地、使移載臂部10上在規(guī)定距離間直線移動。利用圖3到圖IO對具有上述那樣的結(jié)構(gòu)和作用效果的移載裝置 30的動作方式進行說明并確認。圖3是表示圖1的移載裝置的移載臂部和滑動部的動作定時的時 間圖，圖3 (a)是負載時的時間圖，圖3 (b)是空載時的時間圖。在該兩個時間圖中，橫軸表示時間t，縱軸分別表示臂移載部IO 的移載臂5的單獨的移載方向的移動速度vl、基于滑動部20的臂移 載部10的基臺1的移載方向的移動速度v2、載置在基臺1上的臂移 載部10的移載臂5的移載方向的實際上的移動速度v3。這里，在分別以相同的朝向移動的情況下，移動速度W+移動速 度v2二移動速度v3的關(guān)系成立。對于臂移載部IO、滑動部20的具體的動作方式，利用圖4到圖 10進行說明，這里利用上述兩個時間圖對移載裝置30的動作方式的 特征點進行說明。<負載時>在臂移載部10的移載臂5上承載有工件W的情況下，根據(jù)圖3 (a)的負載時的時間圖，首先，僅滑動部20動作，使待機狀態(tài)的臂 移載部10加速，維持一定速度，如果接近于滑動終點則減速并停止 (速度v2)。在此期間，臂移載部10部不動作，而與滑動部20開始減速的時 刻相對應(yīng)地開始移載臂5的加速，在其減速結(jié)束的時刻達到一定速 度，維持該一定速度，如果接近于最大伸長，則減速并停止(速度 vl)。
結(jié)果，移載臂5的實際的移動速度v3成為圖3 (a)的圖的最上段。艮P，負載時，在本發(fā)明的移載裝置30中，在移載臂5處于待機 位置的狀態(tài)下，通過滑動部20使基臺l滑動，另一方面，在移載臂 5動作時，使滑動部20停止。此外，在負載狀態(tài)下，為了盡量不對作為移載物的工件W施加 振動，調(diào)節(jié)相互的加減速的定時，來維持一定速度。在臂移載部10伸長最多的情況下，載置在移載臂5上的工件W 的負荷作為最大的力矩通過基臺1作用在滑動部20上，但在這樣移 載臂5處于待機位置的狀態(tài)下，作用在滑動部20上的工件W的負荷 帶來的力矩最小，如果在此狀態(tài)下使滑動部20動作，則能夠降低作 用在該滑動部20的軸承上的運動負荷載重，使軸承耐用。<空載時>在臂移載部10的移載臂5上沒有承載工件W的情況下，根據(jù)圖 3 (b)的空載時的時間圖，臂移載部10與滑動部20同時動作，在先 結(jié)束規(guī)定距離的移動的滑動部20的速度v2成為零后，臂移載部10 的移載臂5的速度vl成為零。結(jié)果，移載臂5的實際的移動速度v3成為圖3 (b)的圖的最上 段那樣。即,在沒有載置移載物的空載的情況下，同時進行基于移載臂5 的自由臂4 (臂移載部10)的移動、和基于滑動部20的基臺1的移 動，能夠高速移動。在此情況下，由于工件W沒有載置在移載臂5上，所以不需要 考慮基于該工件W的負荷的力矩對滑動部20的影響，由于兩者同時 動作，所以使移載臂5更快地移動，正如與圖3 (a)和圖3 (b)比 較可知的那樣，用來實現(xiàn)作為目標的移載距離的移動的達成時間也能 夠縮短。
此外，如果從驅(qū)動臂移載部10的驅(qū)動源A、驅(qū)動滑動部20的驅(qū)動源B的功率效率的方面考察，則如該移載裝置30那樣，將各自作 為另外的驅(qū)動源A、 B的情況下，通過使用與單獨動作時相同的驅(qū)動 源A、 B、并且同時驅(qū)動兩者，能夠使移載臂5的移動速度v3成為 將兩者的移動速度vl、 v2相加后的高速的速度。另一方面，為了實現(xiàn)相同的相加后的移動速度v3，例如，如果僅 通過驅(qū)動臂移載部10的驅(qū)動源C進行，則驅(qū)動源C所需的功率需要 為將驅(qū)動源A、 B的功率相加后的功率。但是，在此情況下，由于在 負載時需要以更低速移動，所以成為不全部使用驅(qū)動源C的較大的 功率的功率效率較差的狀態(tài)。艮P，如果這樣將用來進行移載的移動機構(gòu)分為臂移載部10和滑 動部20，在各自中具備適合的驅(qū)動源A、 B，則能夠使兩者的驅(qū)動源 分別單獨地動作、以及同時動作，使用的方式增加，并且在有效地使 用各自的驅(qū)動源A、 B的同時，能夠?qū)崿F(xiàn)單獨不能實現(xiàn)的高速移動。接著，利用圖4到圖10，對臂移載部IO、滑動部20的具體的動 作方式進行說明。在圖1的狀態(tài)下，移載裝置30的移動方向與載置有該移載裝置 30的升降臺50的長度方向一致。這里，如果通過旋轉(zhuǎn)部40使滑動 部20與移載裝置30逆時針旋轉(zhuǎn)90度，則成為圖4的狀態(tài)。要載置要移載的工件W的載置場所如通過圖11后述的那樣，設(shè) 在沿著升降臺50的長度方向的行駛路徑的兩側(cè)， 一旦被載置在移載 裝置30上，則從該圖4的狀態(tài)開始處于待機狀態(tài)的工件W (圖1) 的移載動作。其后的移載裝置30的運動沿著圖3 (a)的負載時的時 間圖進行。在圖4到圖5中，僅移載裝置30的滑動部20動作，臂移載部10 不動作。即，在維持臂移載部10的自由臂4的退后最多狀態(tài)(待機 狀態(tài))的同時，臂移載部10整體滑動，成為圖5的狀態(tài)。
在此期間的移載移動中，臂移載部io是載置有工件W的負載的狀態(tài)，但在為退后最多的待機狀態(tài)，在為因該工件W的負荷而作用 在滑動部20上的力矩為最小的狀態(tài)，如上所述，能夠降低作用在滑動部20的軸承上的運動負荷載重，能夠使軸承耐用。接著，在圖5到圖9中，只有臂移載部10動作，其前端側(cè)的移 載臂5在承載著工件W的狀態(tài)下依次前進。另外，在此期間，由于 滑動部20靜止，所以基于承載在移載臂5上的工件W的負荷的力矩 的影響也是靜止的，不是運動負荷，所以其影響較小。這里，在圖9中，基端側(cè)臂2及前端側(cè)臂3與移載方向所成的角 度為180度(或者兩者為平行狀態(tài))，自由臂4成為完全伸展的狀態(tài)， 在此狀態(tài)下，升降臺50下降，移載裝置30將工件W載置到目的載 置場所。在將工件W卸下后，移載裝置30成為空載的狀態(tài)，在此情況下， 如圖3 (b)的時間圖所示，臂移載部10 (速度vl)與滑動部20 (速 度(v2)同時動作，使移載臂5高速地后退。艮P，在空載、在移載臂5上沒有負荷時，使移載臂5更快地移動， 能夠縮短動作時間。圖10是表示該中途過程的圖，如果移載臂5后退到最大后退位 置，則成為圖4的狀態(tài)。但是，在此情況下是沒有工件W的狀態(tài)。另外，圖8、圖9所示的標號ZW表示要載置工件W的工件載置 區(qū)域ZW，標號ZS表示為了輸送工件W而使用的輸送區(qū)域ZS，將 這些工件載置區(qū)域ZW和輸送區(qū)域ZS的邊界用粗線的雙點劃線的邊 界線BZ表示。這里，.如上所述，在本發(fā)明的移載裝置30中，微粒產(chǎn)生的可能 性較高的滑動部20處于比邊界線BZ向輸送區(qū)域ZS側(cè)較大地后退的 位置，能夠盡量減少微粒對處于工件載置區(qū)域ZW的工件W的影響。另一方面，向工件載置區(qū)域ZW侵入的臂移載部IO是多關(guān)節(jié)臂
構(gòu)造，沒有微粒的產(chǎn)生，并能夠盡量抑制處于該部分的工件W的污 染。除此以外，移載裝置30的整體的移載距離為將臂移載部10的移 載距離與滑動部20的移載距離合計后的距離，整體上能夠?qū)崿F(xiàn)更長 的移載距離。這樣，根據(jù)本發(fā)明的移載裝置30，雖然是重復(fù)說明，但在避免微粒產(chǎn)生的問題的同時，能夠進行對應(yīng)于大型化的工件的移載。 圖11是表示具備圖1的移載裝置的輸送系統(tǒng)的一例的外觀立體圖。該圖11所示的輸送系統(tǒng)80除了已經(jīng)說明的、具備臂移載部10 和滑動部20的移載裝置30、旋轉(zhuǎn)部40、和升降臺50以外，還具備 使該升降臺50升降的升降裝置60、和設(shè)置該升降裝置60的行駛臺 車70。在行駛臺車70的上方，在行駛方向的前后端上立設(shè)有一對升降 裝置60，在其內(nèi)部中設(shè)有升降驅(qū)動機構(gòu)(未圖示)，由此使以架設(shè)在 一對升降裝置60之間的方式設(shè)置的升降臺50升降。上部框架61將一對升降裝置60的頂部分連結(jié)，構(gòu)成由行駛臺車 70、 一對升降裝置60、上部框架61構(gòu)成的牢固的構(gòu)造體。行駛臺車70具備設(shè)在行駛臺車框架67的四角上的車輪61,使升 降裝置60、升降臺50、移載裝置30沿著行駛路徑62直線移動。工件被載置在移載裝置30的移動臂5上，在移載裝置30的臂移 載部10的作用下前進后退(箭頭P1)，在滑動部20的作用下前進后 退(箭頭P2)，在旋轉(zhuǎn)部40的作用下旋轉(zhuǎn)(箭頭P3)。此外，工件在被載置于移載裝置30的狀態(tài)下，在承載該移載裝 置30的升降臺50的作用下上下升降(箭頭P4)，此外，通過承載了 使升降臺50升降的升降裝置60的行駛臺車70的行駛，而以直線狀 移動(箭頭P5)。
移載裝置30在其待機位置上，在承載著工件的狀態(tài)下，可以在升降臺50上從圖中的移載臂5的前端的朝向旋轉(zhuǎn)到180度相反朝向。 因此，根據(jù)該輸送系統(tǒng)80，能夠?qū)⒐ぜ钠湫旭偮窂?2的兩側(cè) 的不同位置的不同高度的A地點輸送到B地點，在此情況下，本發(fā) 明的移載裝置30通過多關(guān)節(jié)的臂移載部10與滑動部20的組合來確 保微粒產(chǎn)生較少的移載，并且能夠進行對應(yīng)于工件的大型化的移載， 其效果也遍及到輸送系統(tǒng)80的整體。以上，在實施方式中詳細地說明了本發(fā)明的具體例，但這些不過 是例示，并不限定權(quán)利要求書。在權(quán)利要求書中記載的技術(shù)、即本專 利申請發(fā)明的技術(shù)范圍中，如在各處適當記載那樣，包括將以上例示 的實施方式進行各種變形、變更后的實施方式、或者它們的組合。工業(yè)實用性本發(fā)明的移載裝置不但能夠在要求避免微粒產(chǎn)生的問題中得到 應(yīng)用，而且能夠在要求對應(yīng)大型化工件進行移載的產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域中得到應(yīng) 用。
權(quán)利要求
1、一種移載裝置，其特征在于，具備分別由兩條臂構(gòu)成的一對自由臂；用來將上述一對自由臂的基端側(cè)臂分別以上述基端側(cè)臂的基端為中心轉(zhuǎn)動自如地安裝的基臺；用來將上述一對自由臂的前端側(cè)臂分別以上述前端側(cè)臂的前端為中心轉(zhuǎn)動自如地安裝的移載臂；以及使上述基臺沿移載方向滑動的滑動部。
2、 如權(quán)利要求1所述的移載裝置，其特征在于，在載置有移載 物的情況下， 一邊保持上述移載臂處于待機位置的狀態(tài)， 一邊通過上 述滑動部使上述基臺滑動。
3、 如權(quán)利要求2所述的移載裝置，其特征在于，在沒有載置移 載物的情況下，同時進行上述移載臂的移動、和基于上述滑動部的上 述基臺的移動。
全文摘要
本發(fā)明提供一種在避免微粒發(fā)生的問題的同時、能夠?qū)?yīng)大型化工件進行移載的移載裝置。一種移載裝置(30)，將分別由兩條臂(基端側(cè)臂(2)和前端側(cè)臂(3))構(gòu)成的一對自由臂(4)的基端側(cè)臂(2)的基端側(cè)轉(zhuǎn)動自如地安裝在基臺(1)上，具備將前端側(cè)臂(3)的前端側(cè)相互轉(zhuǎn)動自如地連結(jié)的移載臂(5)，具備使基臺(1)沿移載方向滑動的滑動部(20)。
文檔編號B65G47/74GK101148225SQ20071015312
公開日2008年3月26日 申請日期2007年9月21日 優(yōu)先權(quán)日2006年9月21日
發(fā)明者石川和廣 申請人:村田機械株式會社