專利名稱：基板傳送機(jī)器人的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及的是一種機(jī)器人，特別涉及的是一種可避免增加懸臂(fmger)厚 度，并同時(shí)可避免因基板(如玻璃)重量而使懸臂變形下垂的基板傳送機(jī)器人。
背景技術(shù)：
提到基板， 一般會(huì)關(guān)聯(lián)平面顯示器(flat panel display ， FPD)、半導(dǎo)體晶圓(semi condoctor wafer)以及玻璃光罩(photo mask glass),其中平面顯示器如液晶顯示器 (liquid crystal display, LCD)、電漿顯示器(plasma display panel, PDP)以及有機(jī) 電激發(fā)光顯示器(organic light emitting diode， OLED)。如平面顯示器的基板與如 半導(dǎo)體晶圓的基板在材料或是應(yīng)用上都非常不同，不過(guò)在基板的一 系列加工中 卻有著本質(zhì)上的相同，例如曝光、顯影、蝕刻、脫料(stripper)、清洗(rinsing)以 及洗凈(cleaning)。當(dāng)這些加工依序完成后，^^完成制作基;f反。
如此一來(lái)，以下所敘述的基板可視為包含前述的所有基板。然而，為求方 便解說(shuō)，在以下的敘述中，基板會(huì)參照特別如液晶顯示器基板或是電漿顯示器 基板的平面顯示器。
當(dāng)基板制造商制作出基板后，便會(huì)將基板提供至基板加工公司，而一般所 謂的條板箱(crate)便是用來(lái)將基板從基板制造商運(yùn)送到基板加工公司，且條板箱 可被理解為容置數(shù)十到數(shù)百個(gè)基板的容置體。 一般而言，120~200片基板可被裝 載在一個(gè)條板箱內(nèi)。
當(dāng)裝載基板的條板箱從基板制造商被運(yùn)送到基板加工公司后，基板加工公 司會(huì)通過(guò)玻璃投片系統(tǒng)將這些基板一片片投入后續(xù)的程序。 一個(gè)獨(dú)立的基板傳 送機(jī)器人會(huì)將這些待投片的基板裝載至俗稱卡匣(cassette)的基板承載裝置， 一般 而言，數(shù)十到數(shù)百個(gè)基板可被裝載在一個(gè)卡匣內(nèi)。當(dāng)特定數(shù)量的基板裝載至卡 匣后，卡匣會(huì)被傳送以進(jìn)行適當(dāng)?shù)募庸?。接著，基板傳送機(jī)器人會(huì)將這些基板 一片片拾取(pickup)進(jìn)行加工，以完成加工步驟。
由于基板傳送機(jī)器人是安排在不同的加工中(如對(duì)基板進(jìn)行加工或是搬運(yùn)基板)，因此基板傳送機(jī)器人必須具有對(duì)應(yīng)此加工的結(jié)構(gòu)與形狀。然而，以基板傳 送機(jī)器人裝載基板至卡匣或是自卡度拾取基板而言，基板傳送機(jī)器人一般是制
造成懸臂式(cantilever)以避免與卡匣干擾而污染基板，并同時(shí)將接觸基板的面積 最小化以穩(wěn)定傳送機(jī)板。韓國(guó)第10-2006-0056654號(hào)與第10-2004-0104983號(hào)公 開(kāi)專利已公開(kāi)此懸臂式的基板傳送機(jī)器人。
近來(lái)，基板的水平/垂直長(zhǎng)度已經(jīng)增加到1950mm/2250mm或 1870mm/2200mm的七代廠尺寸或是2160mm/2460mm的八代廠尺寸。不僅是基 板尺寸，基板重量也同時(shí)增加。
如此一來(lái)，當(dāng)以前述文件所公開(kāi)的技術(shù)而利用現(xiàn)有廠房中懸臂式的基板傳 送機(jī)器人來(lái)傳送大型基板時(shí)，從基板下方支撐基板的懸臂(flnger)將會(huì)因?yàn)榛?重量而下垂(sag)。當(dāng)懸臂因下垂而造成形變時(shí)，懸臂便很難準(zhǔn)確地自卡匣中取 出或插入基板。再者，懸臂很有可能會(huì)接觸或碰撞卡匣，并且因此而損壞。
有鑒于此，如何傳送大型基板并避免基板因?yàn)閼冶巯麓苟巫兊姆椒ㄈ缃?正被大量發(fā)展，而其中一種方法便是將基板傳送機(jī)器人的懸臂改變成中空管結(jié) 構(gòu)，如此以降低懸臂重量并增加懸臂強(qiáng)度。然而，考慮到當(dāng)今大型化尺寸基板 的趨勢(shì)，僅用此方法仍不足以避免懸臂下垂。
另一種方法便是制作出足夠厚度的懸臂以提升懸臂的彎折強(qiáng)度，進(jìn)而避免 懸臂下垂。然而，當(dāng)懸臂的厚度增加時(shí)，為確保在取出或插入基板不會(huì)與較厚 的懸臂產(chǎn)生干擾，卡匣中承載基板之間的間隔也需對(duì)應(yīng)增加。當(dāng)卡匣中承載基 板之間的間隔變寬時(shí)，由于裝載在單位卡匣中的基板數(shù)量會(huì)對(duì)應(yīng)減少，因此便 會(huì)產(chǎn)生加工損耗而使降低稼動(dòng)時(shí)間(Tact time)。
如此一來(lái)， 一種基板傳送機(jī)器人需要被提出，其中此基板傳送機(jī)器人可傳 送大型基板，而大型基板不會(huì)因?yàn)閼冶巯麓苟巫?，且懸臂不?huì)減少裝載在單 位卡匣中的基板數(shù)量。

發(fā)明內(nèi)容
為解決上述或是其它問(wèn)題，本發(fā)明提供一種基板傳送機(jī)器人，其可避免增 加懸臂厚度，并同時(shí)可避免因基板重量而使懸臂變形下垂。
依據(jù)本發(fā)明的目的，本發(fā)明提出一種基板傳送機(jī)器人，包括機(jī)器人主體、 復(fù)數(shù)個(gè)懸臂以及張力施展部(tension application portion),其中懸臂的一端是連接 至機(jī)器人本體，并用在支撐基板，且張力施展部至少連接至其中一個(gè)懸臂以及連接機(jī)器人本體，而張力施展部會(huì)對(duì)懸臂施加張力，且張力的方向與基板重量 所施加的方向相反，以至少避免其中一個(gè)懸臂下垂。
在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的張力施展部至少可為張力施展線，而張力 施展線的一端是至少連接至其中一個(gè)懸臂的開(kāi)放端部，且張力施展線的另一端 是連接至機(jī)器人本體。
在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的張力施展線的數(shù)量可為復(fù)數(shù)個(gè)，且這些張 力施展線是一一對(duì)應(yīng)于這些懸臂。
在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的基板傳送機(jī)器人還可包括連接部，而連接 部將張力施展線的兩端連接至每個(gè)懸臂以及機(jī)器人本體。
在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的連接部可包括套蓋與旋鈕，而套蓋是連接 至每個(gè)懸臂的開(kāi)放端部，并連接至張力施展線的一端，且旋鈕是連接至機(jī)器人 本體，并連接至張力施展線的另一端。
在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的旋鈕可包括繞索巻筒與柄手部，而繞索巻 筒是將張力施展線的另一端繞緊或放松，而張力施展線的一端是連接所述的套 蓋，且柄手部是以順、反方向旋轉(zhuǎn)繞索巻筒以調(diào)整張力施展線的張力。
在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的懸臂可制作成具有中空的結(jié)構(gòu)，而張力施 展線是配置所迷的懸臂中。
在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的張力施展線可配置在每個(gè)懸臂的外側(cè)表面。 此外，線溝槽還可形成在每個(gè)懸臂的外表面，以至少容置部份張力施展線。
在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的復(fù)數(shù)個(gè)張力施展線可配置在每個(gè)懸臂。
在本發(fā)明的 一 實(shí)施例中，上述的每個(gè)懸臂還形成復(fù)數(shù)個(gè)真空孔洞以吸附基 板，且基板可為大型平面顯示器，而平面顯示器選自液晶顯示器、電漿顯示器 以及有機(jī)電激發(fā)光顯示器之一。


圖1為依據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的基板傳送機(jī)器人的透視示意圖2為圖1的基板傳送機(jī)器人的局部放大圖3為圖2的基板傳送機(jī)器人的側(cè)視示意圖4為沿著圖2中A-A聯(lián)機(jī)的剖面圖5為依據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的基板傳送機(jī)器人的剖面圖6為依據(jù)本發(fā)明再一實(shí)施例的基板傳送機(jī)器人的剖面圖；圖7為依據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施例的基板傳送機(jī)器人的剖面圖。 附圖標(biāo)記說(shuō)明10-機(jī)器人主體；12-臂桿；14-支撐部；20a、 20b、 20c-懸臂； 21-真空孔洞；22-套蓋；30-張力施展線；32-線溝槽；40-連接部；45-旋鈕； 45a-繞索巻筒；45b-柄手部；G-基板。
具體實(shí)施例方式
以下結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明上述的和另外的技術(shù)特征和優(yōu)點(diǎn)作更詳細(xì)的說(shuō)明。
基板一般可指向關(guān)聯(lián)平面顯示器、半導(dǎo)體晶圓以及玻璃光罩，其中平面顯 示器可如液晶顯示器、電漿顯示器以及有機(jī)電激發(fā)光顯示器。在以下的敘述中， 基板會(huì)認(rèn)定為大型的液晶顯示器或電漿顯示器基板。盡管大型基板一般是指水 平/垂直長(zhǎng)度為1950mm/2250mm或1870mm/2200mm的七代廠尺寸或是 2160mm/2460mm的八代廠尺寸的基板，不過(guò)本發(fā)明的權(quán)利范圍并不限定基板的 尺寸，也不限定圖標(biāo)中實(shí)施例的樣式。
圖1為依據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的基板傳送機(jī)器人的透視示意圖。圖2為圖1 的基板傳送機(jī)器人的局部放大圖。圖3為圖2的基板傳送機(jī)器人的側(cè)視示意圖。 圖4為沿著圖2中A-A聯(lián)機(jī)的剖面圖。
如圖1至圖4所示，依據(jù)本實(shí)施例的基板傳送機(jī)器人的結(jié)構(gòu)為懸臂式，而 基板傳送機(jī)器人包括機(jī)器人主體10以及復(fù)數(shù)個(gè)懸臂20a，其中懸臂20a的一端 是連接至機(jī)器人本體IO,而懸臂20a是用在支撐基板G。機(jī)器人主體10是連接 至臂桿12,而臂桿12適于以至少一個(gè)方向進(jìn)行旋轉(zhuǎn)、線性移動(dòng)以及向上或向下 移動(dòng)。臂桿12是連接至支撐部14，而支撐部14是固定在地面或其它獨(dú)立的結(jié) 構(gòu)(未繪示)，并被地面或獨(dú)立結(jié)構(gòu)所支撐。當(dāng)臂桿12相對(duì)支撐部14進(jìn)行旋轉(zhuǎn)、 線性移動(dòng)以及向上或向下移動(dòng)時(shí)，則懸臂20a連同機(jī)器人主體IO便可將基板G 自特定的地方(如卡匣(未繪示))取出或插入。
盡管圖標(biāo)中并未描繪出細(xì)部結(jié)構(gòu)，除了懸臂20以外，本發(fā)明還可提供真空 裝置(未繪示)在基板傳送機(jī)器人中以產(chǎn)生真空狀態(tài)。當(dāng)基板G安置在懸臂20a 上時(shí)，真空裝置便會(huì)從形成在懸臂20a上的真空孔洞21吸入空氣。如此一來(lái)， 便可預(yù)防被懸臂20a所支撐的基板G自懸臂20a上脫離。由于本發(fā)明的權(quán)利范 圍未限定的前的敘述，所以本發(fā)明仍可應(yīng)用在沒(méi)有真空裝置或是真空孔洞21的 基板傳送機(jī)器人上。
懸臂20a是連接至機(jī)器人本體10,也即每個(gè)懸臂20a的一端是連接至機(jī)器人本體IO，而懸臂20a的另一端是向外開(kāi)放。具有前述型式的結(jié)構(gòu)一般稱為懸
在本實(shí)施例中，共有五個(gè)懸臂20a依照預(yù)訂寬度間隔排列。 一般現(xiàn)有采用 兩個(gè)懸臂的機(jī)器人已被用在工廠設(shè)備中，不過(guò)以本實(shí)施例而言，僅釆用兩個(gè)懸 臂本質(zhì)上不足以傳送大型基板。
在本實(shí)施例中，五個(gè)懸臂20a是用來(lái)連接至機(jī)器人本體IO以有效傳送相對(duì) 較大較重的基板G。然而，由于本發(fā)明的權(quán)利范圍未限制前述，因此懸臂20a 的數(shù)量可大于或小于五個(gè)。為求方便說(shuō)明，相同的參考標(biāo)號(hào)適用在所有的五個(gè) 懸臂20a。
如前所述，當(dāng)基板G的尺寸增加時(shí)，基板G的重量也會(huì)增加，所以僅具有 簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)的懸臂20a會(huì)稍微不足以支撐基板G。這是由于基板傳送機(jī)器人傳送 大量的基板G時(shí)，懸臂20a會(huì)因?yàn)榛錑的重量而下垂(請(qǐng)參照?qǐng)D3的部位B)。 如此一來(lái)，因?yàn)榛錑并未自卡匣正確的位置取出或插入，導(dǎo)致基板G可能損 壞。在本實(shí)施例中，張力施展部(未繪示)是進(jìn)一步提供來(lái)避免懸臂20a的下垂形 變。
張力施展部是連接至懸臂20a與機(jī)器人本體10,并施加張力至懸臂20a，以
抵消相反方向的基板G的重力。在本實(shí)施例中，張力施展線30可作為張力施展
部。也即張力施展線30的一端是連接至每個(gè)懸臂20a的開(kāi)放端部，而張力施展
線30的另一端是連接至機(jī)器人本體10,以使懸臂20a可避免因?yàn)榛錑重量 而下垂與形變。
張力施展線30是以如釣線(fishing line)的材質(zhì)構(gòu)成為佳，而此材質(zhì)具有相對(duì) 較小的截面與高強(qiáng)度的特性。在不使用獨(dú)立的連接裝置而安裝張力施展線30時(shí)， 通過(guò)接合(bonding)或打結(jié)(knotting)的方式，張力施展線30的一端可簡(jiǎn)單連接至 每個(gè)懸臂20a的開(kāi)放端部，而張力施展線30的另一端可連接至機(jī)器人本體10, 且將張力施展線30拉緊后便可達(dá)到要求的目的。
張力施展線30可全部安裝在五個(gè)懸臂20a或是僅安裝在幾個(gè)懸臂20a上。 然而，為求完全避免因?yàn)榛錑重量而使懸臂20a下垂，較佳的方式是將五個(gè) 懸臂20a全部都安裝張力施展線30。此外，如圖4的實(shí)施例所示，張力施展線 30可由兩條釣線構(gòu)成，而在其它實(shí)施例中，張力施展線30可由一條或是三條以 上的釣線構(gòu)成。
本實(shí)施例全部的懸臂20a是由中空矩形管所構(gòu)成。套蓋22是裝設(shè)在每個(gè)懸臂20a的開(kāi)放端部，并用在開(kāi)啟或封閉每個(gè)懸臂20a端部的開(kāi)口。張力施展線 30的連接結(jié)構(gòu)可建議考慮由套蓋22構(gòu)成。也即在本實(shí)施例中，還進(jìn)一步提供用 來(lái)將張力施展線30兩端連接至機(jī)器人本體10與懸臂20a的連接部40。
連接部40包括套蓋22與旋鈕45，其中套蓋22是與張力施展線30的一端 固定住，而旋鈕45是連接至機(jī)器人本體10與張力施展線30的另一端。張力施 展線30的一端可利用接合或打結(jié)的方式固定在套蓋22上，或者，張力施展線 30也可穿過(guò)形成在套蓋22內(nèi)表面上的套環(huán)而連接至張力施展線30。
旋鈕45是個(gè)連接至張力施展線30的另一端的構(gòu)件，并可裝備在機(jī)器人本 體10的任何位置上。在本實(shí)施例中，旋鈕45是裝備在機(jī)器人本體10的后表面 上，且張力施展線30的另一端是穿過(guò)每個(gè)懸臂20a內(nèi)部與機(jī)器人本體10而連 接至機(jī)器人本體10后表面上的旋鈕45。
以旋鈕45來(lái)調(diào)整張力施展線30張力的方法可達(dá)成改善的效果。也即在圖2 中，旋鈕45還可包括繞索巻筒(windingdmm)45a與柄手部45b，其中繞索巻筒 45a是將張力施展線30的另一端繞緊或放松，而張力施展線30的一端是固定在 套蓋22上，且柄手部45b是以順、反方向旋轉(zhuǎn)繞索巻筒45a以控制張力施展線 30的張力。當(dāng)張力施展線30的張力松掉，便可通過(guò)旋轉(zhuǎn)柄手部45b以將張力施 展線30的張力再度拉緊。由于前述實(shí)施例僅為舉例，本發(fā)明并非限定要包括繞 索巻筒45a與柄手部45b。
如前所述，每個(gè)懸臂20a可制作成具有中空的內(nèi)部。在此結(jié)構(gòu)下，張力施 展線30安排在每個(gè)懸臂20a中的狀態(tài)即為張力施展線30的兩端是分別固定在 套蓋22與旋鈕45上。當(dāng)張力施展線30依此安排在每個(gè)懸臂20a中，則基板G 放置在懸臂20a的上表面時(shí)，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)便是張力施展線30與基板G之間不 會(huì)產(chǎn)生任何交互干擾。
在前述的結(jié)構(gòu)中，張力施展線30是配置在每個(gè)懸臂20a內(nèi)部，而張力施展 線30的兩端是固定至套蓋22與旋鈕45,且上述的說(shuō)明可應(yīng)用至所有五個(gè)懸臂 20a上。
如圖l所示，接著基板傳送機(jī)器人便會(huì)進(jìn)行操作。也即當(dāng)臂桿12相對(duì)支撐 部14進(jìn)行旋轉(zhuǎn)、線性移動(dòng)以及向上或向下移動(dòng)，以使懸臂20a的上表面支撐基 板G,并將基板G自特定的地方(如卡匣)取出或插入，如此完成傳送基板。
盡管傳送基板的作動(dòng)是不斷重復(fù)操作，由于本發(fā)明裝配如張力施展線30的 張力施展部至機(jī)器人本體10與懸臂20a,因此可避免如圖3因基板G重量而導(dǎo)致懸臂20a下垂形變。
在本實(shí)施例而如同圖4所示，由于并未增加每個(gè)懸臂20a的厚度t,便可避 免減少每個(gè)卡匣所能承載的基板G數(shù)量。依據(jù)本實(shí)施例，當(dāng)避免每個(gè)懸臂20a 的厚度t(請(qǐng)參考圖4)增加時(shí)，也同時(shí)可避免懸臂20a因?yàn)榛錑重量而下垂形 變。
圖5為依據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的基板傳送機(jī)器人的剖面圖。在前述的實(shí)施 例中，張力施展線30是配置在每個(gè)懸臂20a內(nèi)部的中間區(qū)域。然而在圖5鐘， 張力施展線30可配置在每個(gè)懸臂20a內(nèi)部的上方區(qū)域而較靠近基板G。
圖6與圖7為依據(jù)本發(fā)明其它實(shí)施例的基板傳送機(jī)器人的剖面圖。在前述 的實(shí)施例中，所有的懸臂20a均是制作成中空矩形館的結(jié)構(gòu)。然而，在圖6與 圖7的實(shí)施例中，本發(fā)明的概念也可應(yīng)用將這些懸臂20b、 20c制作成如鐵棒的 實(shí)心結(jié)構(gòu)。在此結(jié)構(gòu)下，由于每個(gè)懸臂20b、 20c的中間并非空心，所以張力施 展線30便需配置在每個(gè)懸臂20b、 20c的外面，且張力施展線30的數(shù)量可為一 個(gè)、兩個(gè)或是更多個(gè)。
如圖6所示，張力施展線30可一個(gè)個(gè)地是在每個(gè)懸臂20b的兩側(cè)表面上。 如圖7所示，張力施展線30可嵌入至每個(gè)懸臂20c的上表面。然而，如圖7所 示，當(dāng)張力施展線30裝載至每個(gè)懸臂20c的上表面時(shí)，由于張力施展線30的 影響，則懸臂20c可能不容易支撐基板G。所以如圖7所示，每個(gè)懸臂20c表面 還可形成線溝槽32以部份容置張力施展線30,甚至張力施展線30可全部容置 在線溝槽32內(nèi)。
如前所述，依據(jù)本實(shí)施例，當(dāng)避免每個(gè)懸臂的厚度增加時(shí)，也同時(shí)可避免 懸臂因?yàn)榛逯亓慷麓剐巫儭?br> 以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明而言僅僅是說(shuō)明性的，而非 限制性的。本專業(yè)技術(shù)人員理解，在本發(fā)明權(quán)利要求所限定的精神和范圍內(nèi)可 對(duì)其進(jìn)行許多改變，修改，甚至等效，但都將落入本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1. 一種基板傳送機(jī)器人，其特征在于其包括一機(jī)器人本體；復(fù)數(shù)個(gè)懸臂，而所述的這些懸臂的一端連接至所述的機(jī)器人本體，且所述的這些懸臂支撐一基板；以及一張力施展部，其至少連接至其中一個(gè)所述的懸臂以及連接所述的機(jī)器人本體，而所述的張力施展部對(duì)所述的這些懸臂施加一張力，且所述的張力的方向與所述的基板重量方向相反，以至少避免其中一個(gè)懸臂下垂。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板傳送機(jī)器人，其特征在于所述的張力施展部 至少為一張力施展線，而所述的張力施展線的一端至少連接至其中一個(gè)所述懸 臂的一開(kāi)放端部，且所述的張力施展線的另一端連接至所述的機(jī)器人本體。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板傳送機(jī)器人，其特征在于所述的張力施展線 的數(shù)量為復(fù)數(shù)個(gè)，且所述的這些張力施展線是——對(duì)應(yīng)于所述的這些懸臂。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板傳送機(jī)器人，其特征在于還包括一連接部， 而所述的連接部將所述的張力施展線的兩端分別連接至其中一個(gè)所述懸臂以及 所述的機(jī)器人本體。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板傳送機(jī)器人，其特征在于所述的連接部包括 一套蓋，其連接至每個(gè)懸臂的所述的開(kāi)放端部，并連接至所述的張力施展線的一端；以及一旋鈕，其連接至所述的機(jī)器人本體，并連接至所述的張力施展線的另一
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板傳送機(jī)器人，其特征在于所述的旋鈕包括 一繞索巻筒，將張力施展線的另一端繞緊或放松，而所述的張力施展線的一端連接至所述的套蓋；以及柄手部，以順、反方向旋轉(zhuǎn)所述的繞索巻筒以調(diào)整所述的張力施展線的張力。
7. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板傳送機(jī)器人，其特征在于所述的懸臂制作成 具有中空的結(jié)構(gòu)，而所述的張力施展線配置在所述的懸臂中。
8. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板傳送機(jī)器人，其特征在于所述的張力施展線 配置在每個(gè)所述懸臂的外側(cè)表面。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板傳送機(jī)器人，其特征在于還包括一線溝槽, 其形成在每個(gè)所述懸臂的外表面，用以容置張力施展線。
10. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板傳送機(jī)器人，其特征在于復(fù)數(shù)個(gè)所述張力 施展線配置在每個(gè)所述懸臂。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板傳送機(jī)器人，其特征在于每個(gè)所述懸臂形 成復(fù)數(shù)個(gè)真空孔洞用以吸附所述的基板，且所述的基板為大型平面顯示器，而 平面顯示器選自液晶顯示器、電漿顯示器以及有機(jī)電激發(fā)光顯示器之一。
全文摘要
本發(fā)明為一種基板傳送機(jī)器人，包括機(jī)器人主體、復(fù)數(shù)個(gè)懸臂以及張力施展部，其中懸臂的一端是連接至機(jī)器人本體，并用在支撐基板，且張力施展部至少連接至其中一個(gè)懸臂以及連接機(jī)器人本體，而張力施展部會(huì)對(duì)懸臂施加張力，又張力的方向與基板重量所施加的方向相反，以至少避免其中一個(gè)懸臂下垂。本發(fā)明可避免增加每個(gè)懸臂的厚度，并可避免懸臂因?yàn)榛逯亓慷麓剐巫儭?br> 文檔編號(hào)B65G49/05GK101298143SQ20081009410
公開(kāi)日2008年11月5日 申請(qǐng)日期2008年4月30日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月3日
發(fā)明者鄭準(zhǔn)模, 金溶午, 韓基燦 申請(qǐng)人:Sfa股份有限公司