專利名稱：搬送系統(tǒng)、搬送方法以及搬送車的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在搬送車與處理裝置之間移栽物品的搬送系統(tǒng)，特別涉 及具備了互鎖通信功能的搬送系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體器件或液晶顯示器的制造生產(chǎn)線上，隨著微細加工的高精 度化和工序數(shù)量的增加，把各個工序的作業(yè)以及工序之間的工件傳遞， 設(shè)計成無人化和自動化的情況越來越多。特別是在工序之間的工件傳遞 中，無人搬送車與各個處理裝置邊進行相互通信，邊按照工序移栽工件。
例如，在半導(dǎo)體器件制造生產(chǎn)線上，作為無人搬送車而使用在規(guī)定
的搬送路徑上以車輪自動行駛的AGV (Automated Guided Vehicle), 該AGV通過向被配置在該搬送路徑兩側(cè)的半導(dǎo)體處理裝置伸出機械臂 和機械手，來傳遞晶片盒。
上述的晶片盒的傳遞，是根據(jù)控制半導(dǎo)體器件制造生產(chǎn)線整體的控 制系統(tǒng)的指示，由被配置在無人搬送車和半導(dǎo)體處理裝置各自中的計算 機來實現(xiàn)的。為了實現(xiàn)傳遞，多數(shù)情況是采用設(shè)在無人搬送車和半導(dǎo)體 處理裝置雙方中的光數(shù)據(jù)通信裝置。
另外，半導(dǎo)體器件生產(chǎn)線的移載物、即晶片等，由于貴重且容易碎 裂，所以需JI"安全地進行無沖擊的自動搬送。西此，采用通過有效利用 上述光數(shù)據(jù)通信裝置，確定移載對方，了解對方的狀態(tài)，在確認了來自 對方的響應(yīng)的基礎(chǔ)上，進行移載作業(yè)的互鎖通信系統(tǒng)。
這里，對以往的互鎖通信的移栽動作進行說明。
圖10是表示在無人搬送車把晶片盒卸栽到半導(dǎo)體處理裝置中時的 基于光信號進行的互鎖通信的時序圖。首先，當無人搬送車到達處理裝 置站的面前時，無人搬送車把移載請求信號設(shè)為ON,并且發(fā)送給半導(dǎo) 體處理裝置(S81)。由此開始互鎖通信。接收到移載請求信號的半導(dǎo)體
處理裝置，確認在晶片盒載置部中是否已經(jīng)存在其他晶片盒，在載置部 中不存在晶片盒的情況下，把用于表示能夠接受晶片盒的移載許可信號
設(shè)為ON，并發(fā)送給無人搬送車(S82)。在無人搬送車接收到該移載許 可信號的時刻，互鎖成立。然后，無人搬送車把移載動作信號設(shè)為ON， 從此開始移載動作。從該移載請求信號的發(fā)送到移載動作的開始的時間 Ta,在半導(dǎo)體器件制造生產(chǎn)線上，例如是5秒鐘左右，為無人搬送車不 動作的待機時間。
不久，在完成了無人搬送車的移載動作后，無人搬送車把移載動作 信號設(shè)為OFF，同時把移載結(jié)束請求信號設(shè)為ON (S83)，并發(fā)送給半 導(dǎo)體處理裝置(S84)。接收到移載結(jié)束請求信號的半導(dǎo)體處理裝置確認 在該栽置部中存在晶片盒，把移載結(jié)束許可信號設(shè)為ON，并發(fā)送給無 人搬送車(S85)。接收到移載結(jié)束許可信號的無人搬送車把移載結(jié)束請 求信號和移載請求信號設(shè)為OFF(S86)。此時，解除互鎖并同時結(jié)束互 鎖通信。從該無人搬送車發(fā)送移載結(jié)束請求信號到接收移載結(jié)束許可信 號的時間Tc，也和Ta同樣例如為5秒鐘左右，此期間，無人搬送車不 動作，與移載動作開始前同樣，成為待機時間。
另外，在把晶片盒從半導(dǎo)體處理裝置站裝載到無人搬送車上時，進 行與上述同樣的步驟，在無人搬送車的移載動作開始之前和移載動作結(jié) 束之后，產(chǎn)生同樣的待機時間.
由于該待機時間在加工處理工序多的半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)線上，在每 個處理工序中都發(fā)生，所以待機時間的發(fā)生導(dǎo)致生產(chǎn)線整體的制造效率 的低下，并成為降低制造成本的障礙。
作為解決上述問題的方法，提出了一種光數(shù)據(jù)傳送系統(tǒng)，該系統(tǒng)在 無人搬送車到達處理裝置站的面前之前，即，無人搬送車的移動過程中， 由無人搬送車向?qū)Ψ降陌雽?dǎo)體處理裝置發(fā)送移載請求信號，開始互鎖通 信(專利文獻l)。具體地是，為了在無人搬送車的移動過程中實現(xiàn)光通 信，增大在無人搬送車和移載對方的半導(dǎo)體處理裝置雙方所設(shè)置的各個 光通信器件的光投射區(qū)域和光接收區(qū)域，并且為了避免因增大了這些區(qū) 域而引起的處理裝置之間的信號干擾，設(shè)定自身的ID。
即，該光數(shù)據(jù)傳送系統(tǒng)在無人搬送車到達對方的處理裝置站的面前
之前，不會發(fā)生與其他半導(dǎo)體處理裝置的干擾，開始互鎖通信，通過消 除或縮短無人搬送車的待機時間，提高了制造效率。
專利文獻l:日本國特開2000-299364號公才艮
但是，在加工處理工序數(shù)量多、且工序復(fù)雜的半導(dǎo)體制造生產(chǎn)線等 當中，不限于在無人搬送車到達處理裝置站的面前之前，即在無人搬送 車與處理裝置站不是正對的狀態(tài)下，配置能夠相互通信的裝置。因此， 可以是在到達了處理裝置站的面前時已經(jīng)建立了互鎖的情況。
因此，在到達處理裝置站的面前之后、互鎖成立之前，存在著無人 搬送車產(chǎn)生待機時間的情況，因而作為制造工序整體，存在著不能有效 縮短制造時間的問題。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述的問題，本發(fā)明提供一種在加工處理工序數(shù)量多且工序復(fù) 雜的半導(dǎo)體制造生產(chǎn)線等當中，在無人搬送車的移動過程中不開始互鎖 通信，而在無人搬送車到達處理裝置站的面前之后，不存在待機時間， 立即開始移載動作的搬送系統(tǒng).
為了達到上述的目的，本發(fā)明提供一種的搬送系統(tǒng)，在搬送車與裝 置之間移載物品，其特征在于，上述搬送車和上述裝置的一方具有移 載機構(gòu)部，其通過把所裝載的物品遞交給作為上迷搬送車和上述裝置的 另一方的對方側(cè)，或從對方側(cè)把物品取出，來移載物品；通信單元，其 向上述對方側(cè)發(fā)出請求許可移載的移載請求信號，并取得用于表示許可 該請求的移載許可信號；以及控制單元，其在上述通信單元取得上述移 栽許可信號之前，控制上述移載機構(gòu)部，以使上述移載機構(gòu)部在不侵入 上述對方側(cè)的范圍內(nèi)進行移載動作。
由此，搬送車和裝置的一方可以在取得移載許可信號之前不保持待 機時間，在搬送車停止后立即執(zhí)行移載動作。由此，能夠在確保移載物 和搬送系統(tǒng)的安全性的同時，縮短搬送車的停止時間，從而可縮短制造 時間，達到降低制造成本的效果。
另外，所謂"不侵入對方側(cè)的范圍"是指，即使在對方側(cè)進行了任意動作的情況下，在裝置之間也不會產(chǎn)生物理上干擾的范圍，具體地是， 不侵入對方側(cè)的動作空間的范圍。
這里，上述移載機構(gòu)部也可以具有覆蓋所裝栽的物品的閘門，上述 控制單元作為不侵入上述對方側(cè)范圍內(nèi)的移載動作還可以進行打開上 述閘門的控制。
由此，不增加搬送車的停止時間，可防止在搬送車的移動中和剛停 止時的移載物的損傷。
另外，也可以是，上述通信單元還向上述對方側(cè)發(fā)送請求許可移載 結(jié)束的結(jié)束請求信號，并取得用于表示許可該請求的結(jié)束許可信號，上 述控制單元還在上述移載機構(gòu)部從上述對方側(cè)退出時，控制上述通信單 元，以使上述通信單元發(fā)出上述結(jié)束請求信號。
由此，上述搬送車和裝置的一方能夠在發(fā)出結(jié)束請求信號的同時， 執(zhí)行本身區(qū)域內(nèi)的移栽結(jié)束動作。這樣，由于該搬送車和裝置的一方在 接收到結(jié)束許可信號時已經(jīng)完成了移載動作，所以搬送車能夠在該完成 后立即移動。這樣，有利于盡量防止被加工處理的晶片等的隨時間的變 化。
另外，為了達到上述目的，本發(fā)明的搬送方法是在搬送車與裝置之
間移載物品的搬送方法，其特征在于，包括通信步驟，在上述搬送車 與上述裝置之間，進行從一方裝置向另一方裝置請求許可移載，從上述 另一方裝置向上述一方裝置提示針對該請求的許可的通信；和移載步 驟，通過由上述一方裝置把所裝栽的物品遞交給上述另一方裝置，或者 由上述一方裝置從上述另一方裝置取出物品，來移載物品，在上述通信 步驟中提示上述許可之前，開始上述移載步驟。
此時，在上述移載步躁中，在上述通信步驟中提示上述許可之前， 上述一方裝置進行侵入上述另一方裝置為止的移載動作。
由此，搬送車和裝置的一方可以在從對方提示移載許可之前不需要 保持待機時間，在搬送車停止后立即執(zhí)行移載動作。由此，能夠在確保 移載物和搬送系統(tǒng)的安全性的同時，縮短搬送車的停止時間，從而可縮 短制造時間，達到降低制造成本的效果。
另外，本發(fā)明不僅可作為搬送系統(tǒng)和搬送方法來實現(xiàn)，而且還能夠 作為進行構(gòu)成搬送系統(tǒng)的特征動作的搬送車個體或裝置個體來實現(xiàn)。
根據(jù)本發(fā)明，在加工處理工序多、且工序復(fù)雜的半導(dǎo)體制造生產(chǎn)線 等當中，在無人搬送車到達處理裝置站面前后，不產(chǎn)生基于互鎖通信的 無人搬送車的待機時間，縮短了無人搬送車在站前的停車時間。由此， 可縮短制造時間，其結(jié)果可降低制造成本，因而，本發(fā)明具有極高的實 用價值。


圖l是表示本發(fā)明的搬送系統(tǒng)的構(gòu)成的一例的圖。
圖2是本發(fā)明的實施方式中的無人搬送車的俯視圖。
圖3是本發(fā)明的實施方式中的無人搬送車的主視圖。
圖4是表示本發(fā)明的實施方式中的搬送系統(tǒng)的功能構(gòu)成的方框圖。
圖5是表示本發(fā)明的實施方式中的搬送系統(tǒng)的處理步驟的流程圖。
圖6是表示載入晶片時的無人搬送車1的移載動作的詳細流程圖。
圖7是說明圖6和圖9的流程圖所示的修正動作的圖，
圖8是說明盒載入時的互鎖通信的時序圖。
圖9是表示盒載出時的無人搬送車1的移載動作的詳細的流程圖。
圖IO是說明以往的搬送系統(tǒng)中的互鎖通信的時序圖。
圖中符號說明1 —無人搬送車；2 —處理裝置；3、 10 -光 通信；4 -晶片盒；5 -光數(shù)據(jù)通信裝置；6 -搬送車控制器；7 -終端裝置；8 - LAN; 9 -搬送用導(dǎo)軌；11 - SCARA機械臂；12 -閘門；13 -升降部；14 -旋轉(zhuǎn)臺；15 -搬送車控制部；21 -處理裝置站；31 -移載機構(gòu)部；33 —搬送車通信部；34 —載置部； 35 -裝置控制部；36 -裝置通信部；37 -加工部；111 -第1 臂；112 -第2臂；113 -機械手；114 -物品支撐臺；141 -距
離傳感器；211 -目標板(target)。
具體實施例方式
下面，參照附圖，對本發(fā)明的實施方式進行說明。
圖1是表示本發(fā)明的搬送系統(tǒng)的構(gòu)成的一例的圖，在本實施方式中， 說明半導(dǎo)體器件制造生產(chǎn)線上的晶片盒的搬送系統(tǒng)的構(gòu)成.該系統(tǒng)由無 人搬送車l、處理裝置2、光通信3、晶片盒4、搬送車控制器6、終端 裝置7、 LAN8、和搬送用導(dǎo)軌9構(gòu)成。
無人搬送車1具有SCARA機械臂11和光數(shù)據(jù)通信裝置5.而且， 無人搬送車1利用光通信3與搬送車控制器6進行通信，并在搬送用導(dǎo) 軌9上移動。
處理裝置2具有處理裝置站21和光數(shù)據(jù)通信裝置5。
無人搬送車1和處理裝置2通過各自具有的光數(shù)據(jù)通信裝置5和光 通信3，進行互鎖通信。
搬送車控制器6根據(jù)從終端裝置7接收的指示、或生產(chǎn)線整體的步 驟以及無人搬送車1的規(guī)格，通過光通信10,向無人搬送車1發(fā)出各種 指示，進行各種設(shè)定。
終端裝置7是通過LAN8訪問搬送車控制器6，向搬送車控制器6 發(fā)出各種指示，或進行各種設(shè)定的終端裝置。
無人搬送車l由搬送車控制器6接收晶片盒4的移栽指示，在處理 裝置站21的面前停止， 一邊通過光通信3與處理裝置2進行互鎖通信， 一邊開始晶片盒4的移載動作。
無人搬送車l是本發(fā)明的搬送系統(tǒng)的構(gòu)成要素的一例，下面，結(jié)合 圖2所示的無人搬送車1的俯視圖和圖3所示的無人搬送車1的主視圖， 對其構(gòu)成進行說明。
無人搬送車1具有SCARA機械臂11、閘門12、升降部13、旋轉(zhuǎn) 臺14、和搬送車控制部15。
旋轉(zhuǎn)臺14具有距離傳感器141。
處理裝置站21具有距離傳感器141的目標板211?；谠摼嚯x傳感 器141和目標板211,檢測出無人搬送車l對于處理裝置站21的停止位 置的偏差。
旋轉(zhuǎn)臺，為了使移載動作時的SCARA機械臂的突出方向成為移栽 對方的處理裝置方向，具備使SCARA機械臂11自由旋轉(zhuǎn)的功能。
SCARA機械臂ll,具有第l臂lll、第2臂112、和具有設(shè)在第2 臂112前端的旋轉(zhuǎn)自如的物品支撐臺114的機械手113，并在驅(qū)動機構(gòu) 的驅(qū)動下進退。
閘門12用于作為保護移載物的晶片盒4，其在無人搬送車l在搬送 用導(dǎo)軌9上移動的期間關(guān)閉，在無人搬送車1處于停止在處理裝置站21 的面前的狀態(tài)時打開。
升降部13，在把晶片盒4向處理裝置站21卸載時，為了使物品支 撐臺114與晶片盒4分離，使SCARA機械臂11整體下降。另外，升 降部13在從處理裝置站21取得(或取出)晶片盒4時，為了使物品支 撐臺114與晶片盒4接觸，使SCARA機械臂11整體上升。
另外，SCARA機械臂11也可以把升降部13內(nèi)置于機械手113中， 只 升降物品支撐臺114。
搬送車控制部15控制上述說明的SCARA機械臂11、閘門12、升 降部13、和旋轉(zhuǎn)臺14的動作。
圖4是表示圖1所示的本發(fā)明的搬送系統(tǒng)的功能結(jié)構(gòu)的方框圖。
該搬送系統(tǒng)，從功能上，分為在無人搬送車1中具有移載機構(gòu)部31、 搬送車控制部15和搬送車通信部33;在處理裝置2中具有載置部34、 裝置控制部35、裝置通信部36和加工部37。
移載機構(gòu)部31是通過把裝栽的物品提供給(栽入)處理裝置2、或 從處理裝置2取出(載出)物品，來移載物品的機構(gòu)部，其具有圖2和 圖3中的SCARA機械臂11、閘門12、升降部13、和旋轉(zhuǎn)臺14,并且
在搬送車控制部15的控制下，執(zhí)行無人搬送車1的閘門的開閉、SCARA 機械臂ll的伸縮、旋轉(zhuǎn)、以及升降。
搬送車通信部33具有圖1中的光數(shù)據(jù)通信裝置5，其具有根據(jù)來自 搬送車控制部15的指示，向裝置通信部36發(fā)送光信號，而且接收來自 裝置通信部36的光信號，把該信號傳遞給搬送車控制部15的功能，例 如，在向處理裝置2發(fā)出了請求移載許可的移載請求信號后，取得表示 對該請求許可的移載許可信號，或在向處理裝置2發(fā)出了請求許可移載 的結(jié)束的結(jié)束請求信號后，取得表示對該請求許可的結(jié)束許可信號。
搬送車控制部15是根據(jù)移栽機構(gòu)部31的動作狀態(tài)和來自搬送車通 信部33的信號，判斷處理裝置2的狀態(tài)，向移栽機構(gòu)部31發(fā)出進行下 一個工作的指示，而且向搬送車通信部33發(fā)出進行下一個信號收發(fā)的 指示的CPU等，其控制移載機構(gòu)部31，在搬送車通信部33取得移栽許 可信號之前，使移載機構(gòu)部31在不侵入處理裝置2的范圍內(nèi)進行移栽 動作，或控制搬送車通信部33,在移載機構(gòu)部31從處理裝置2退出后， 使搬送車通信部33發(fā)出結(jié)束請求信號。
載置部34具有處理裝置站21，并提供晶片盒4的栽置空間。另外， 把載置空間中的晶片盒4的存在與否的信息，傳遞給裝置控制部35。
裝置通信部36具有圖1中的光數(shù)據(jù)通信裝置5，其根據(jù)來自裝置控 制部35的指示，向搬送車通信部33發(fā)送光信號，另外，接收來自搬送 車通信部33的光信號，并把該信號傳遞給裝置控制部35。
裝置控制部35從載置部34接收在載置空間內(nèi)是否存在晶片盒4的 信息，并且根據(jù)來自裝置通信部36的信號，判斷無人搬送車1的狀態(tài)， 向裝置通信部36發(fā)出下一個信號收發(fā)的指示。另外，向加工部37發(fā)出 對已經(jīng)收到的晶片盒4進行加工處理的指示。
加工部37根據(jù)裝置控制部35的指示，對已經(jīng)收到的晶片盒4執(zhí)行 加工處理。
下面，對上述構(gòu)成的本實施方式的搬送系統(tǒng)的動作進行說明。
圖5是表示該搬送系統(tǒng)的晶片盒4的移栽動作步驟的流程圖。這里，說明把晶片盒4從無人搬送車1載入(以下稱為盒載入)處理裝置2時 的無人搬送車1的移載動作的步驟。
首先，無人搬送車1在到達處理裝置站21的面前時，從搬送車通 信部33向裝置通信部36發(fā)出移載請求信號(SIO)。由此，開始互鎖通 信。
同時，搬送車控制部15對移載機構(gòu)部31執(zhí)行在不侵入處理裝置2 的區(qū)域的范圍內(nèi)的移栽前動作(S20)。此時，搬送車通信部33還沒有 接收到來自裝置通信部36的移載許可信號。
在裝置通信部36中，與該移載前動作并行地接收從搬送車通信部 33發(fā)送的移載請求信號.另外，裝置控制部35對載置部34中是否載置 有其他晶片盒4進行確認(SllO)。
然后，當裝置控制部35確認在栽置部34中不存在其他晶片盒4時， 與上述無人搬送車1的移載機構(gòu)部31的移載前動作的結(jié)束大致同時地， 從裝置通信部36向搬送車通信部33發(fā)送移載許可信號(S120 )。
然后，在搬送車通信部33接收到來自裝置通信部36的移載許可信 號(S30)時，在無人搬送車l與處理裝置2之間建立互鎖。
在互鎖成立之后，無人搬送車1根據(jù)移載機構(gòu)部31執(zhí)行侵入處理 裝置2的區(qū)域中的正式移載動作(S40 )。
然后，在正式移載動作結(jié)束時,搬送車通信部33在移載機構(gòu)部31 從處理裝置2的區(qū)域退出的時刻，立即向裝置通信部36發(fā)出移載結(jié)束 請求信號(S50 )。
同時，搬送車控制部15對移載機構(gòu)部31執(zhí)行在不侵入處理裝置2 的區(qū)域的范圍內(nèi)的移載后動作(S60)。此時，搬送車通信部33還沒有 接收到來自裝置通信部36的移載結(jié)束許可信號。
在裝置通信部36中與該移載后動作并行地接收由搬送車通信部33 發(fā)送的移載結(jié)束請求信號。裝置控制部35在接收到該信號后，進行確 認，確認在載置部34中是否正常載置了作為移栽對象的晶片盒(S130)。
然后，當裝置控制部35確認在載置部34中正常地載置了移載對象 的晶片盒4時，在與上述的無人搬送車1的移栽后動作的結(jié)束大致同時 地，從裝置通信部36向搬送車通信部33發(fā)出移載結(jié)束許可信號(S140 )。 這里，移栽結(jié)束許可信號發(fā)揮在確認了裝置側(cè)的移載是正常結(jié)束后許可 結(jié)束的作用。
然后，當搬送車通信部33接收到來自裝置通信部36的移載結(jié)束許 可信號(S70)時，解除無人搬送車l與處理裝置2之間的互鎖，
這樣，由于無人搬送車l在取得移栽許可信號之前，進行不侵入處 理裝置2的范圍內(nèi)的移載動作，所以，與在取得移載許可信號后才開始 移栽動作的情況相比，縮短了移載時間。并且，由于無人搬送車l在移 載機構(gòu)部31從處理裝置2退出時發(fā)送結(jié)束請求信號，所以與在移載動 作結(jié)束后發(fā)送結(jié)束請求信號的情況相比，縮短了移載結(jié)束時的處理時 間。
圖6的流程圖與詳細說明了圖5的流程圖中的從移栽開始到移載結(jié) 束的部分對應(yīng)。關(guān)于相同點，省略說明，下面，對不同點的移載前動作、 正式移栽動作、和移載后動作進行說明。
其1，首先說明盒栽入時的移載前動作(S20)。如上述那樣，該移 載前動作由于是互鎖成立前的動作，所以被限定為在未侵入對方的處理 裝置2的區(qū)域范圍內(nèi)而進行的動作。首先，無人搬送車l打開盒載入側(cè) 的閘門12(S201)。然后使旋轉(zhuǎn)臺14向盒載入的方向旋轉(zhuǎn)(S202)。然 后，為了使處理裝置2的載置部34的高度與物品支撐臺114的高度一 致，利用升降部13使SCARA機械臂11上升(S203)。最后，作為修 正動作，使旋轉(zhuǎn)臺14進行修正旋轉(zhuǎn)(S204)。
這里，結(jié)合圖7,對上述的修正動作進行說明。在圖7中，用虛線 表示的位置是無人搬送車1的理想停止位置。停止的無人搬送車1如實 線所示，有時會停止在相對理想位置傾斜、并且在前后方向錯位的位置。 無人搬送車1通常把設(shè)置有距離傳感器的面朝向行進方向。在處理裝置 站21前停止后，無人搬送車1根據(jù)處理裝置站21的存在方向，使旋轉(zhuǎn) 臺14順時針旋轉(zhuǎn)90度、或逆時針旋轉(zhuǎn)90度。然后測量距離傳感器141 與目標板211之間的距離。根據(jù)測定的結(jié)果，計算出無人搬送車l的實
際停止位置與理想停止位置之間的偏差。根據(jù)該計算值，執(zhí)行旋轉(zhuǎn)臺14 的修正旋轉(zhuǎn)(圖中的旋轉(zhuǎn)角度a )，使SCARA機械臂前端的物品支撐臺 114能夠到達處理裝置站21的載置目的位置。這是上述的盒載入時的修 正動作。在后述的載出時的修正動作中，執(zhí)行上述旋轉(zhuǎn)臺14的修正旋 轉(zhuǎn)和物品支撐臺114的臂上修正旋轉(zhuǎn)(圖中的臂上旋轉(zhuǎn)角度b)。
其2，說明圖6中的盒載入時的正式移載動作(S40)。該正式移載 動作由于是互鎖成立后的動作，所以執(zhí)行侵入到對方處理裝置2的區(qū)域 中的動作。首先，在使物品支撐臺114以處理裝置站21的載置模式旋 轉(zhuǎn)之前，使處于無人搬送車1區(qū)域內(nèi)的第1臂111和第2臂112伸展到 規(guī)定的位置(S401)。然后，使物品支撐臺114以處理裝置站21的載置 模式進行臂上旋轉(zhuǎn)(S402 )。然后，使第1臂111和第2臂112伸展到 規(guī)定的位置，使物品支撐臺114到達處理裝置站21的栽置位置(S403)。 然后為了把晶片盒4和物品支撐臺114分離，利用升降部13使SCARA 機械臂ll下降，把晶片盒4傳遞到處理裝置站21側(cè)(S404)。最后， 把第1臂111和第2臂112返回到原點位置(S405 )。
其3說明圖6中的盒載入時的移栽后動作(S60)。該移載后動作雖 然是互鎖成立中的動作，但由于是從處理裝置2的區(qū)域內(nèi)退出后的動作， 所以能夠與有無互鎖的成立無關(guān)地執(zhí)行。首先，把旋轉(zhuǎn)臺14返回到原 點位置(S601)。然后，把物品支撐臺114返回到原點位置(S602)。最 后，關(guān)閉閘門12 (S603)。
下面，結(jié)合圖8所示的時序圖，對以上的盒載入時的移栽動作進行 說明.圖8是表示盒載入時的互鎖通信的時序圖。首先，當無人搬送車 1到達處理裝置站21的面前時，開始互鎖通信，無人搬送車1把移載請 求信號設(shè)為ON,并向處理裝置2發(fā)送移載請求信號(SIO)。接收到移 載請求信號的處理裝置2進行在載置部34中是否已經(jīng)存在其他晶片盒 的確認(SllO)。在載置部中不存在晶片盒的情況下，把表示可以接收 晶片盒的移載許可信號設(shè)為ON，并發(fā)送給無人搬送車1 ( S120 ).在執(zhí) 行該SIO、 SllO、 S120的時間Tl中，無人搬送車1不是把時間Tl作 為待機時間，而是并行地執(zhí)行上述的移載前動作(S20)。
然后，在經(jīng)過時間Tl后，建立互鎖。無人搬送車1把正式移栽動 作信號設(shè)為ON,在時間T2中開始正式移載動作(S40)。之后，當無人搬送車1的正式移載動作結(jié)束時，無人搬送車l把移
栽動作信號設(shè)為OFF，同時把移載結(jié)束請求信號設(shè)為ON，向處理裝置 2發(fā)送移載結(jié)束請求信號(S50)。接收到移載結(jié)束請求信號的處理裝置 2確認在載置部34中存在晶片盒4 ( S130 )，把移載結(jié)束許可信號設(shè)為 ON，向無人搬送車l發(fā)送移載結(jié)束許可信號(S140)。接收到移載結(jié)束 許可信號的無人搬送車1把移載結(jié)束請求信號和移載請求信號設(shè)為 OFF,在執(zhí)行該步驟S130、 S140的時間T3中，無人搬送車1不把時間 T3作為待機時間，而且并行地執(zhí)行上述的移載后動作(S60)。然后在 經(jīng)過時間T3后，解除互鎖。
另外，在以上記栽的把移載結(jié)束許可信號設(shè)為ON，并向無人搬送 車l發(fā)送移載結(jié)束許可信號(S140)的動作中，也可以不設(shè)置移載結(jié)束 許可信號，可以代替把移載結(jié)束許可信號設(shè)為ON，而把移載許可信號 設(shè)為OFF。在這種情況下，無人搬送車1通過接收移栽許可信號的從 ON到OFF的變化，把移栽結(jié)束請求信號和移載請求信號設(shè)為OFF,
以往的移載動作是，如圖10所示那樣，移載前動作、正式移載動 作、和移載后動作都是在時間T2中執(zhí)行，與本實施方式的情況相比， 延長了時間T2。另一方面，時間T1和T3分別是建立互鎖所必要的通 信時間和解除互鎖所必要的通信時間，在以往和本實施方式中，分別為 相同的時間。
根據(jù)本發(fā)明的實施方式，無人搬送車1在時間Tl中執(zhí)行移載前動 作，在時間T2中執(zhí)行正式移載動作，在時間T3中執(zhí)行移載后動作， 因此，消除了無人搬送車1的待機時間，而且還縮短了時間T2，所以 縮短了在移載動作整體中必要的停止時間。
圖9是無人搬送車1從處理裝置2收取或取出(以下稱為盒載出) 晶片盒4時的無人搬送車1的移載動作的詳細流程圖。即，圖9的流程 圖與詳細說明了圖5的流程圖中的從移載開始到移載結(jié)束的部分對應(yīng)。 對于相同點省略說明，以下，對不同點的移載前動作、正式移載動作、 和移載后動作進行說明。
其1,首先說明盒載出時的移載前動作(S20)。如上所述，由于該 移載前動作是互鎖成立前的動作，所以，被限定為在不侵入對方處理裝
置2的區(qū)域的范圍內(nèi)進行動作.
首先，打開盒載出側(cè)的閘門12 (S211)。然后，使旋轉(zhuǎn)臺14向盒載 出方向旋轉(zhuǎn)(S212)。然后，使物品支撐臺114按照處理裝置站21的栽 置模式進行臂上旋轉(zhuǎn)(S213 )。然后，作為修正動作，使旋轉(zhuǎn)臺14進行 修正旋轉(zhuǎn)，使物品支撐臺114進行臂上修正旋轉(zhuǎn)(S214 )。關(guān)于修正動 作，由于已經(jīng)在盒載入時的移載動作中進行了說明，所以在此省略說明.
其2，說明盒載出時的正式移載動作(S40)。該正式移載動作由于 是互鎖成立后的動作，所以執(zhí)行侵入到對方處理裝置2的區(qū)域內(nèi)的動作， 首先，使第1臂111和第2臂112伸展到規(guī)定的位置，使物品支撐臺114 到達處理裝置站21的栽置位置(S411 )。然后，利用升降部13使SCARA 機械臂11上升，使得通過物品支撐臺114能夠容易取得位于處理裝置2 的載置部34中的晶片盒4( S412 )。然后，收縮第1臂111和第2臂112, 使物品支撐臺114回到臂上旋轉(zhuǎn)的位置(S413)。然后，使物品支撐臺 114進行臂上旋轉(zhuǎn)(S414 )。最后，把SCARA機械臂11返回到原點位 置(S415 )。
其3，說明盒載出時的移栽后動作(S60)。該移栽后動作雖然是互 鎖成立中的動作，但由于是在從處理裝置2的區(qū)域內(nèi)退出后的動作，所 以能夠與互鎖是否成立無關(guān)地執(zhí)行。首先，把旋轉(zhuǎn)臺14返回到原點位 置(S611)。然后利用升降部13使SCARA機械臂11下降(S612)。最 后關(guān)閉閘門12 (S613)。
關(guān)于表示盒載出時的移載動作的時序圖，由于與圖8所示的表示盒 載出時的移載動作的時序圖相同，所以此處省略說明。
這樣，根據(jù)本發(fā)明的實施方式，即使在盒栽出時，也和盒載入時同 樣，在發(fā)送移載請求信號的同時執(zhí)行移載前動作，在互鎖成立后立即執(zhí) 行正式移載動作，并且在發(fā)送移載結(jié)束請求信號的同時執(zhí)行移載后動 作。由此，不會產(chǎn)生無人搬送車1的待機時間，縮短移載動作整體中必 要的停止時間。
如上所述，根據(jù)本實施方式的搬送系統(tǒng)，無人搬送車在到達了移栽 對方的處理裝置站的面前之后，(1)在互鎖成立之前，執(zhí)行閘門打開動
作、臺旋轉(zhuǎn)動作、SCARA機械臂升降動作、修正旋轉(zhuǎn)動作等不侵入對 方的處理裝置的區(qū)域范圍內(nèi)的移載動作；(2)在互鎖成立后，立即執(zhí)行 SCARA機械臂的伸縮動作、臂上旋轉(zhuǎn)動作、SCARA機械臂升降動作 等侵入對方的處理裝置的區(qū)域內(nèi)的正式移載動作；(3 )在互鎖解除之前， 執(zhí)行物品支撐臺和旋轉(zhuǎn)臺的原點返回動作、SCARA機械臂的升降動作、 閘門關(guān)閉動作等不侵入對方的處理裝置的區(qū)域范圍內(nèi)的移載后動作，由 此，削減了無人搬送車的待機時間，并且縮短了停止時間，其結(jié)果，可 縮短制造時間，降低制造成本。
以上，結(jié)合實施方式對本發(fā)明的搬送系統(tǒng)進行了說明，但本發(fā)明不 限于這些實施方式。
例如，在本實施方式中，移載物是晶片盒，但本發(fā)明不限于這樣的 半導(dǎo)體器件制造工序中的搬送系統(tǒng)，在把大片玻璃作為移載物的液晶顯
示器的制造生產(chǎn)線等中，使用了互鎖通信的無人搬送車搬送移載物的系 統(tǒng)也可以，當然也可以用于其他的搬送系統(tǒng)。
另外，在本實施方式中，采用了光數(shù)據(jù)通信作為互鎖通信手段，但 本發(fā)明不限于這樣的光數(shù)據(jù)通信，也可以是使用了 RF頻段或紅外線的 無線通信。
另外，在本實施方式中，無人搬送車具有SCARA機械臂，但本發(fā) 明不限于把這樣的無人搬送車作為主體進行移栽動作的搬送系統(tǒng)，也可 以是由設(shè)置的處理裝置具有SCARA機械臂等移載機構(gòu)，執(zhí)行基于互鎖 通信的移載動作的搬送系統(tǒng)。即，在取得移栽許可信號之前在不侵入對 方側(cè)的范圍內(nèi)進行移載動作的主體也可以不是無人搬送車，而是處理裝 置。并且，在移載機構(gòu)部從對方側(cè)退出時發(fā)出結(jié)束請求信號的主體也可 以不是無人搬送車，而是處理裝置。
另外，在本實施方式中，搬送系統(tǒng)由無人搬送車和處理裝置構(gòu)成， 但也可以由無人搬送車和無人搬送車構(gòu)成，也可以取代無人搬送車而由 有人搬送車構(gòu)成。
另外，在本實施方式中，在無人搬送車到達處理裝置站的面前開始 互鎖通信，但也可以在無人搬送車到達處理裝置站的面前之前開始互鎖
通信。只是，在這種情況下，正式移載動作當然應(yīng)該在無人搬送車停止 后執(zhí)行，在無人搬送車的移動中可以執(zhí)行的移載前動作必須限定為對移 栽物和無人搬送車不會造成損傷的動作。
產(chǎn)業(yè)上應(yīng)用的可能性
本發(fā)明可以作為半導(dǎo)體器件和液晶顯示器等的生產(chǎn)線上的具備了 互鎖功能的搬送系統(tǒng)、無人搬送車、以及處理裝置，在產(chǎn)業(yè)上應(yīng)用。
權(quán)利要求
1.一種搬送系統(tǒng)，用于在搬送車與裝置之間移載物品，其特征在于，上述搬送車和上述裝置的一方具有移載機構(gòu)部，其通過把所裝載的物品遞交給作為上述搬送車和上述裝置的另一方的對方側(cè)，或從對方側(cè)把物品取出，來移載物品；通信單元，其向上述對方側(cè)發(fā)出請求許可移載的移載請求信號，并取得用于表示許可該請求的移載許可信號；以及控制單元，其在上述通信單元取得上述移載許可信號之前，控制上述移載機構(gòu)部，以使上述移載機構(gòu)部在不侵入上述對方側(cè)的范圍內(nèi)進行移載動作。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的搬送系統(tǒng)，其特征在于，上述移載機構(gòu)部具有覆蓋所裝載的物品的閘門，上述控制單元，作為不侵入上述對方側(cè)范圍內(nèi)的移載動作，進行打 開上述閘門的控制。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的搬送系統(tǒng)，其特征在于，上述通信單元還向上述對方側(cè)發(fā)送用于請求許可移載的結(jié)束的結(jié) 束請求信號，并取得用于表示許可該請求的結(jié)束許可信號，上述控制單元還在上述移載機構(gòu)部從上述對方側(cè)退出時，控制上述 通信單元，以使上述通信單元發(fā)出上述結(jié)束請求信號。
4. 一種搬送方法，用于在搬送車與裝置之間移栽物品，其特征在于，包括通信步驟，在上述搬送車與上述裝置之間，進行從一方裝置 向另 一方裝置請求許可移載，從上述另 一方裝置向上述一方裝置提示針 對該請求的許可的通信；以及移栽步驟，通過由上迷一方裝置把所裝載的物品遞交給上述另一方 裝置，或者由上述一方裝置從上述另一方裝置取出物品，來移載物品，在上述通信步驟中提示上述許可之前，開始上述移載步驟。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的搬送方法，其特征在于， 在上述移載步驟中，由上述通信步驟提示上述許可之前，由上述一 方裝置進行侵入上述另 一方裝置之前的移載動作。
6. —種搬送車，在與對方裝置之間移載物品，其特征在于， 具有移載機構(gòu)部，其通過把所裝載的物品遞交給上述對方裝置，或從對 方裝置取出物品，來移載物品；通信單元，其向上述對方裝置發(fā)出請求許可移載的移載請求信號， 并從上述對方裝置取得用于表示許可該請求的移栽許可信號；以及控制單元，其在上述通信單元取得上述移載許可信號之前，控制上 述移載機構(gòu)部，以使上述移載機構(gòu)部在不侵入上述對方裝置的范圍內(nèi)進 行移載動作。
全文摘要
本發(fā)明提供一種搬送系統(tǒng)，能夠在搬送車到達裝置的面前之后，不產(chǎn)生待機時間而立即開始移載動作。在無人搬送車(1)與處理裝置(2)之間移載物品的搬送系統(tǒng)中，無人搬送車(1)具有移載機構(gòu)部(31)，其通過把所裝載的物品遞交給處理裝置(2)，或從處理裝置(2)把物品取出，來移載物品；搬送車通信部(33)，其向處理裝置(2)發(fā)出請求許可移載的移載請求信號，并取得表示許可該請求的移載許可信號；以及搬送車控制部(15)，其在搬送車通信部(33)取得移載許可信號之前控制移載機構(gòu)部(31)，以使移載機構(gòu)部(31)在不侵入處理裝置(2)的范圍內(nèi)進行移載動作。
文檔編號B65G35/00GK101337353SQ200810126828
公開日2009年1月7日 申請日期2008年6月24日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月5日
發(fā)明者寺崎一郎 申請人:村田機械株式會社