專利名稱：光罩盒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型是有關(guān)于一種光罩盒，特別是有關(guān)于一種具有定位件的光
品o
背景技術(shù)：
近代半導(dǎo)體科技發(fā)展迅速，其中光學(xué)微影技術(shù)(Optical Lithography)扮 演重要的角色，只要是關(guān)于圖形(pattem)定義，皆需仰賴光學(xué)微影技術(shù)。 光學(xué)微影技術(shù)在半導(dǎo)體的應(yīng)用上，是將設(shè)計好的線路制作成具有特定形狀 可透光的光罩，利用曝光原理，則光源通過光罩投影至硅圓片(silicon wafer) 可曝光顯示特定圖案。由于任何在光罩上的微小損傷都會造成投影成像的 質(zhì)量劣化，所以用于產(chǎn)生圖形的光罩必須保持絕對完好及潔凈，因此光罩 盒的堅固及平穩(wěn)程度，和是否能確實的提供一個安全的環(huán)境以放置光罩就 顯得十分重要。
一般光罩盒在機臺操作的時，為了使機械手臂能精準(zhǔn)的順利操作，因 此光罩有指定的高度置放于光罩盒體內(nèi)，而公知光罩盒定位件固定于基座 時，由于基座上具一金屬片，因此當(dāng)定位件固定的時，會因其與金屬片壓 擠的關(guān)系而造成高度產(chǎn)生誤差，而可能影響到機械手臂的操作，使光罩在 機臺上尚無法順利取出，還可能因不當(dāng)取出而損傷光罩。
同時，公知光罩盒因高度產(chǎn)生的誤差，可能使光罩放置于盒內(nèi)無法處 于穩(wěn)定平衡的狀態(tài)，若光罩在運送或操作過程中沒有質(zhì)量良好的光罩盒確 實保護(hù)，則損傷機會必然會提高，降低的光罩的使用壽命，導(dǎo)致影響產(chǎn)品 良率，甚至無法繼續(xù)使用，而產(chǎn)生浪費并導(dǎo)致使用成本提高。

實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的在于提供一種光罩盒，以期能克服公知技術(shù)中存在 的缺陷。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供的光罩盒，包括-
一頂蓋；
一基座，用以與該頂蓋組合，形成一內(nèi)部空間可容納光罩，該基座包
括；
至少一定位件，設(shè)置于該基座面對該頂蓋的上表面，其中該定位件與 該基座接合端具有一第一中央?yún)^(qū)域以及至少兩第一側(cè)邊區(qū)域，其中該第一 中央?yún)^(qū)域與該些第一側(cè)邊區(qū)域之間具有一段差。
所述的光罩盒，其中該定位件可以是以至少一鎖固件固設(shè)于該基座。 所述的光罩盒，其中該鎖固件可為一插銷、鉚釘或螺絲。 所述的光罩盒，其中該鎖固件可為不銹鋼材質(zhì)。 所述的光罩盒，其中該鎖固件可為PEEK材質(zhì)。 所述的光罩盒，其中該定位件的該段差可為約0.1 約0.5mm。 所述的光罩盒，其中該定位件可為一高分子材料所形成。 所述的光罩盒，其中該定位件的該高分子材料可為聚醚醚酮類化合物 或聚酰亞胺類化合物。
所述的光罩盒，其中該定位件可為一靜電消散材質(zhì)所形成。 所述的光罩盒，其中該定位件的靜電消散材質(zhì)電阻值可為約104~約
所述的光罩盒，其中該定位件可為限制件。 所述的光罩盒，其中該定位件可為固定件。 所述的光罩盒，其中該光罩盒可為光罩傳送盒。
所述的光罩盒，其中該基座具有至少一第一鎖固孔，該定位件具有一 第二鎖固孔對應(yīng)該第一鎖固孔，且該鎖固件會貫穿該第一鎖固孔以及第二 鎖固孔，并將該定位件固定于該基座。
所述的光罩盒，其中該基座包含至少一鎖固座具有該第一鎖固孔，該 鎖固座以第一材質(zhì)形成，該基座以第二材質(zhì)形成。
所述的光罩盒，其中該第一材質(zhì)及第二材質(zhì)可為不同材質(zhì)。
所述的光罩盒，其中該第一材質(zhì)可為金屬，該第二材質(zhì)可為高分子材料。
所述的光罩盒，其中該鎖固座可嵌設(shè)于該基座。本實用新型還提供一種光罩盒，包括-
一頂蓋；
一基座，用以與該頂蓋組合，形成一內(nèi)部空間可容納光罩，該基座包
括；
至少一定位件，設(shè)置于該基座面對該頂蓋的上表面，其中該定位件與
該頂蓋相對應(yīng)端具有一第二中央?yún)^(qū)域以及至少兩第二側(cè)邊區(qū)域，其中該第
二中央?yún)^(qū)域具有一強化結(jié)構(gòu)。
所述的光罩盒，其中該定位件可為一高分子材料所形成。 所述的光罩盒，其中該定位件的高分子材料可為聚醚醚酮類化合物或
聚酰亞胺類化合物。
所述的光罩盒，其中該定位件可為一靜電消散材質(zhì)所形成。 所述的光罩盒，其中該定位件的靜電消散材質(zhì)電阻值可為約104 約
IO"Q。
所述的光罩盒，其中該定位件可為限制件。 所述的光罩盒，其中該定位件可為固定件。 所述的光罩盒，其中該光罩盒可為光罩傳送盒。
本實用新型還提供一種光罩盒，包括 一頂蓋；
一基座，用以與該頂蓋組合，形成一內(nèi)部空間可容納光罩，該基座包
括；
至少一定位件，設(shè)置于該基座面對該頂蓋的上表面，其中該定位件上 設(shè)至少一支撐件，該支撐件上端具一點狀凸塊，用以頂持該光罩。
所述的光罩盒，其中該支撐件可為聚醚醚酮類化合物或聚酰亞胺類化 合物。
所述的光罩盒，其中該支撐件可為靜電消散材質(zhì)。
所述的光罩盒，其中該支撐件的靜電消散材質(zhì)電阻值可為約104~約
所述的光罩盒，其中該定位件可為一體成形。 所述的光罩盒，其中該定位件與該支撐件可為不同材質(zhì)。
本實用新型的效果是本實用新型的光罩盒，其具有一段差，該段差使定位件與基座結(jié)合時 減少高度的誤差，且該段差使光罩盒在機臺操作的時降低光罩損壞的風(fēng)險。
本實用新型的光罩盒，其具有一強化結(jié)構(gòu)。該些強化結(jié)構(gòu)可使定位件 更為堅固，進(jìn)一步妥善的提供光罩完整的支撐保護(hù)。
本實用新型的光罩盒；其點狀凸塊可使光罩與基座保持最少及必需的 支撐面積，避免因不必要的摩擦而損傷光罩，使得光罩壽命得以提高。
本實用新型的光罩盒，其定位件的組裝方式將便于拆解與更換損壞的 限制件。
本實用新型的光罩盒，其定位件的組裝方式可避免因部分損壞或磨 損，而產(chǎn)生浪費并導(dǎo)致使用成本提高。
本實用新型的光罩盒，其具強化結(jié)構(gòu)，而該些強化結(jié)構(gòu)的造型設(shè)計可 節(jié)省材料，使成本降低。

圖i是光罩盒的示意圖。
圖2A是本實用新型定位件的一實施例示意圖。
圖2B是本實用新型定位件的一實施例段差示意圖。
圖3是本實用新型光罩盒基座與定位件的一實施例示意圖。
圖4是本實用新型定位件另一實施例示意圖。
圖5是本實用新型定位件另一實施例的側(cè)視圖。
圖6是本實用新型定位件再一實施例示意圖。 附圖中主要組件符號說明
1光罩盒
10頂蓋
12基座
14定位件
16第一中央?yún)^(qū)域
18第一側(cè)邊區(qū)域
20段差'
722鎖固件
24第一鎖固孔
26第二鎖固孔
28鎖固座
30定位件
32第二中央?yún)^(qū)域
34第二側(cè)邊區(qū)域
36強化結(jié)構(gòu)
38定位件
40支撐件
42點狀凸塊
說明書第5/7頁
具體實施方式
本實用新型的具有定位件的光罩盒，是由頂蓋與基座組合而成，形成 一內(nèi)部空間可容納光罩，該基座包括至少一定位件，設(shè)置于該基座面對該 頂蓋的上表面，其中該定位件與該基座接合端具有一第一中央?yún)^(qū)域以及至 少兩第一側(cè)邊區(qū)域，其中該第一中央?yún)^(qū)域與該些第一側(cè)邊區(qū)域之間具有一 段差，該段差使定位件與基座結(jié)合時減少高度的誤差。
此外，該光罩盒另包括一定位件，設(shè)置于該基座面對該頂蓋的上表面， 其中該定位件與該頂蓋相對應(yīng)端具有一第二中央?yún)^(qū)域以及至少兩第二側(cè) 邊區(qū)域，其中該第二中央?yún)^(qū)域具有一強化結(jié)構(gòu)。該些強化結(jié)構(gòu)可使定位件 更為堅固，進(jìn)一步妥善的提供光罩完整的支撐保護(hù)。
同時，其中該定位件上設(shè)至少一支撐件，該支撐件上端具一點狀凸塊， 用以頂持該光罩。該點狀凸塊可使光罩與基座保持最少及必需的支撐面 積，避免因不必要的摩擦而損傷光罩。
由于本實用新型公開的具有定位件的光罩盒，其中所利用到的一些光 罩或光罩盒的詳細(xì)制造或處理過程，是利用現(xiàn)有技術(shù)來達(dá)成，故在下述說 明中，并不作完整描述。而且下述中的附圖，亦并未依據(jù)實際的相關(guān)尺寸 完整繪制，其作用僅在表達(dá)與本實用新型特征有關(guān)的示意圖。
請參考圖1，是光罩盒的示意圖，光罩盒1由一頂蓋IO及一基座12組合而成，形成一內(nèi)部空間可容納光罩(圖未示出)，而該基座包括；至少 一定位件14，設(shè)置于該基座12面對該頂蓋10的上表面。
請參考圖2A，是本實用新型光罩盒的一較佳實施例示意圖，其中該
定位件14與該基座12接合端具有一第一中央?yún)^(qū)域16以及至少兩第一側(cè) 邊區(qū)域18，其中該第一中央?yún)^(qū)域16與該些第一側(cè)邊區(qū)域18之間具有一段 差20。請進(jìn)一步參考圖2B，是本實用新型光罩盒的一較佳實施例段差示 意圖，該段差20約0.1 約0.5mm，一般為便于基臺操作，自基座12的最 低點至定位件14的最高點前高度為32mm，公差不得超過正負(fù)0.2mm， 而其功能即是使定位件14與基座12結(jié)合時減少高度的誤差。
接著看圖3，是本實用新型光罩盒基座與定位件的一實施例示意圖， 上述的定位件14可為限制件或固定件，是以至少一鎖固件22固設(shè)于該基 座12，其中該定位件14以嵌入方式固設(shè)于該基座12，此鎖固件22可為 一插銷、鉚釘或螺絲，可為不銹鋼材質(zhì)或PEEK(polyetheretherketone，聚醚 醚酮)材質(zhì)，該些鎖固件22用以妥善固定定位件14于基座12之上；而上 述定位件14可為一高分子材料所形成，該高分子材料為聚醚醚酮類化合 物或聚酰亞胺類化合物；該定位件14亦可為一靜電消散材質(zhì)，該靜電消 散材質(zhì)電阻值為約104~約IO"Q，以上材質(zhì)皆可視組合時所需自由調(diào)整。
上述光罩盒1可為光罩傳送盒，其中該基座具有至少一第一鎖固孔 24，該定位件14具有一第二鎖固孔26對應(yīng)該第一鎖固孔24，且該鎖固件 會貫穿該第一鎖固孔24以及第二鎖固孔26，并將該定位件14固定于該基 座12，該基座12包含至少一鎖固座28，該鎖固座28嵌設(shè)于該基座12， 其具有第一鎖固孔24，此鎖固座28以第一材質(zhì)形成，而基座12是以第二 材質(zhì)形成，其中該第一材質(zhì)及第二材質(zhì)可以為不同材質(zhì)，第一材質(zhì)可以是 金屬，該第二材質(zhì)可以是高分子材料，以上材質(zhì)皆可視組合時所需自由調(diào) 整。
圖4是本實用新型定位件另一實施例示意圖，圖5是該實施例的側(cè)視 圖，其包括一種光罩盒l(wèi)， 一頂蓋10與基座12組合，形成一內(nèi)部空間可 容納光罩，該基座12包括至少一定位件30，該定位件30可為限制件或固 定件，設(shè)置于該基座12面對該頂蓋10的上表面，基座12包括至少包含 至少一定位件30,設(shè)置于該基座12面對該頂蓋10的上表面，其中該定位件30與該頂蓋10相對應(yīng)端具有一第二中央?yún)^(qū)域32以及至少兩第二側(cè)邊 區(qū)域34，其中該第二中央?yún)^(qū)域32具有一強化結(jié)構(gòu)36，該些強化結(jié)構(gòu)可使 定位件更為堅固，進(jìn)一步妥善的提供光罩完整的支撐保護(hù)。
本實用新型另一實施例示意圖為圖6， 一種光罩盒l(wèi)，其包括 一頂 蓋10與基座12組合，形成一內(nèi)部空間可容納光罩，該基座包括至少一定 位件38，設(shè)置于該基座12面對該頂蓋10的上表面，其中該定位件38上 設(shè)至少一支撐件40，該支撐件40上端具一點狀凸塊42，用以頂持該光罩。 其點狀凸塊42可使光罩與基座12保持最少及必需的支撐面積，避免因不 必要的摩擦而損傷光罩，'使得光罩壽命得以提高。
其中該支撐件40材質(zhì)可為聚醚醚酮類化合物、聚酰亞胺類化合物或 靜電消散材厘，該靜電消散材質(zhì)電阻值為約104~約IO"Q，同時，該定位 件38可為一體成形，定位件38與該支撐件40亦可為不同材質(zhì)。
以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并非用以限定本實用新 型的權(quán)利要求范圍；同時以上的描述，對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說應(yīng)可明了 及實施，因此其它未脫離本實用新型所揭示的精神下所完成的等效改變或 修飾，均應(yīng)包含在申請的權(quán)利要求范圍中。
權(quán)利要求1、一種光罩盒，包括一頂蓋；一基座，與該頂蓋組合，形成一內(nèi)部空間可容納光罩，該基座包括；至少一定位件，設(shè)置于該基座面對該頂蓋的上表面，其特征在于，該定位件與該基座接合端具有一第一中央?yún)^(qū)域以及至少兩第一側(cè)邊區(qū)域，其中該第一中央?yún)^(qū)域與該些第一側(cè)邊區(qū)域之間具有一段差。
2、 如權(quán)利要求1所述的光罩盒，其特征在于，其中該定位件以至少 一鎖固件固設(shè)于該基座。
3、 如權(quán)利要求2所述的光罩盒，其特征在于，其中該鎖固件為一插 銷、鉚釘或螺絲。
4、 如權(quán)利要求2所述的光罩盒，其特征在于，其中該鎖固件為不銹 鋼材質(zhì)或PEEK材質(zhì)。
5、 如權(quán)利要求1所述的光罩盒，其特征在于，其中該定位件的該段 差為0.1 0.5mm。
6、 如權(quán)利要求1所述的光罩盒，其特征在于，其中該定位件為一高 .分子材料。
7、 如權(quán)利要求6所述的光罩盒，其特征在于，其中該高分子材料為 聚醚醚酮類化合物或聚酰亞胺類化合物。
8、 如權(quán)利要求1所述的光罩盒，其特征在于，其中該定位件為一靜 電消散材質(zhì)。
9、 如權(quán)利要求8所述的光罩盒，其特征在于，其中該靜電消散材質(zhì) 電阻值為1()4 10"Q。
10、 如權(quán)利要求1所述的光罩盒，其特征在于，其中該定位件為限制 件或固定件。
11、 如權(quán)利要求1所述的光罩盒，其特征在于，其中該光罩盒為光罩 傳送盒。
12、 如權(quán)利要求1所述的光罩盒，其特征在于，其中該基座具有至少 一第一鎖固孔，該定位件具有一第二鎖固孔對應(yīng)該第一鎖固孔，且該鎖固件會貫穿該第一鎖固孔以及第二鎖固孔，并將該定位件固定于該基座。
13、 如權(quán)利要求12所述的光罩盒，其特征在于，該基座包含至少一 鎖固座具有該第一鎖固孔，該鎖固座為第一材質(zhì)，該基座為第二材質(zhì)。
14、 如權(quán)利要求13所述的光罩盒，其特征在于，其中該第一材質(zhì)及第二材質(zhì)為不同材質(zhì)。
15、 如權(quán)利要求14所述的光罩盒，其特征在于，其中該第一材質(zhì)為 金屬，該第二材質(zhì)為高分子材料。
16、 如權(quán)利要求13所述的光罩盒，其特征在于，其中該鎖固座嵌設(shè) 于該基座。
17、 一種光罩盒，包括 一頂蓋；一基座，與該頂蓋組合，形成一內(nèi)部空間可容納光罩，該基座包括； 至少一定位件，設(shè)置于該基座面對該頂蓋的上表面，其特征在于，其中該定位件與該頂蓋相對應(yīng)端具有一第二中央?yún)^(qū)域以及至少兩第二側(cè)邊區(qū)域，其中該第二中央?yún)^(qū)域具有一強化結(jié)構(gòu)。
18、 一種光罩盒，包括 一頂蓋；一基座，與該頂蓋組合，形成一內(nèi)部空間可容納光罩，該基座包括； 至少一定位件，設(shè)置于該基座面對該頂蓋的上表面，其特征在于，該定位件上設(shè)至少一支撐件，該支撐件上端具一用以頂持該光罩的點狀凸塊。
19、 如權(quán)利要求18所述的光罩盒，其特征在于，其中該支撐件為聚 醚醚酮類化合物或聚酰亞胺類化合物。
20、 如權(quán)利要求18所述的光罩盒，其特征在于，其中該支撐件為靜 電消散材質(zhì)。
21、 如權(quán)利要求18所述的光罩盒，其特征在于，其中該定位件為一 體成形。
22、 如權(quán)利要求18所述的光罩盒，其特征在于，其中該定位件與該 支撐件為不同材質(zhì)。
專利摘要一種光罩盒結(jié)構(gòu)，特別是有關(guān)于一種具有定位件的光罩盒。此光罩盒由頂蓋與基座組合而成，形成一內(nèi)部空間可容納光罩，該基座包括至少一定位件，設(shè)置于該基座面對該頂蓋的上表面，其中該定位件與該基座接合端具有一第一中央?yún)^(qū)域以及至少兩第一側(cè)邊區(qū)域，其中該第一中央?yún)^(qū)域與該些第一側(cè)邊區(qū)域之間具有一段差。
文檔編號B65D85/38GK201245277SQ200820112518
公開日2009年5月27日 申請日期2008年4月25日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月25日
發(fā)明者林志銘 申請人:家登精密工業(yè)股份有限公司