專利名稱：層疊基板分離收容裝置及玻璃基板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種以層疊基板分離收容裝置及玻璃基板的制造方法，所述層疊基板 分離收容裝置構(gòu)成為從在面方向上重疊多片玻璃基板而成的玻璃基板層疊體將玻璃基板 高效地分離而收容。
背景技術(shù)：
例如，在制造圓盤狀的玻璃基板的制造工序中，有對(duì)玻璃基板的平面及端面(內(nèi) 外周面)施行磨削、研磨等加工的加工工序，例如，作為提高玻璃基板的端面的研磨效率的 方法，使用如下方法形成將多片玻璃基板在面方向上重疊而成的玻璃基板層疊體，對(duì)多片 玻璃基板的端面同時(shí)進(jìn)行磨削、研磨。當(dāng)該玻璃基板層疊體的端面的加工結(jié)束時(shí)，在轉(zhuǎn)移到對(duì)玻璃基板的平面部分進(jìn)行 磨削、研磨加工的工序之前，進(jìn)行如下作業(yè)從玻璃基板層疊體將玻璃基板逐片分離，將玻 璃基板經(jīng)由襯墊而層疊后，將緊貼于玻璃基板平面的襯墊剝離而僅將玻璃基板收容在規(guī)定 的盒體內(nèi)。將該玻璃基板從玻璃基板層疊體分離而收容在盒體內(nèi)的工序，主要由操作人員 手工進(jìn)行。但是，由于玻璃基板的平面彼此壓接，因此人工操作的分離方式不能將玻璃基板 逐片簡(jiǎn)單地分離，另外，在經(jīng)由樹脂制的襯墊層疊玻璃基板的情況下，存在為將緊貼于玻璃 基板表面的襯墊剝離而要花費(fèi)工時(shí)之類的問題。另外，在玻璃基板層疊體中，有如上所述在 玻璃基板間介有襯墊而進(jìn)行層疊的情況、和直接將玻璃基板層疊的情況(無(wú)襯墊)。于是，目前，作為將玻璃基板逐片從玻璃基板層疊體分離而收容于規(guī)定的盒體內(nèi) 的方法，例如已提出如下方式在將玻璃基板層疊體沉入水槽的液體中的狀態(tài)下，通過真空 吸附墊等工具吸附玻璃基板的上表面?zhèn)绕矫?，將玻璃基板向上方剝下的分離方式(專利文 獻(xiàn)1)；具有把持玻璃基板的端面的多處(至少三處)的臂，一邊使水流沖擊玻璃基板一邊 使臂上升，將最上段的玻璃基板及襯墊從層疊體向上方剝下的分離方式(專利文獻(xiàn)2 4)。專利文獻(xiàn)1 (日本)特開2008-302448號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 (日本)特開2008-307612號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 (日本)特開2009-48735號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4 (日本)特開2009-48688號(hào)公報(bào)但是，上述專利文獻(xiàn)1 4的裝置中，對(duì)于使用真空吸附工具或把持玻璃基板的端 面的保持工具進(jìn)行分離的方式，由于玻璃基板層疊體的玻璃基板彼此在面方向上壓接而牢 固地吸附，因此存在如下問題不僅不容易向上部方向剝下而分離而在分離作業(yè)中花費(fèi)時(shí) 間，而且會(huì)變?yōu)閺?qiáng)制地將玻璃基板剝下，使其分離時(shí)工具施加在與玻璃基板接觸的部分的 負(fù)荷增大，在該玻璃基板的接觸部容易產(chǎn)生損傷。另外，現(xiàn)有方式中，除從玻璃基板層疊體將玻璃基板剝離的機(jī)構(gòu)以外，還需要另外 設(shè)置在玻璃基板間施加水壓、或照射超聲波、或使旋轉(zhuǎn)的刷子與之接觸、或使玻璃基板層疊 體在水槽內(nèi)振動(dòng)的特殊機(jī)構(gòu)，與之相應(yīng)地，裝置整體復(fù)雜化，制造成本上升。

發(fā)明內(nèi)容
于是，鑒于上述情況，本發(fā)明的目的在于提供一種從玻璃基板層疊體將玻璃基板 逐片高效地分離而解決上述課題的層疊基板分離收容裝置及玻璃基板的制造方法。為了解決上述課題，本發(fā)明具有如下的手段。(1)本發(fā)明提供一種層疊基板分離收容裝置，從由多片玻璃基板重疊而成的玻璃 基板層疊體將所述玻璃基板逐片分離而收容，其特征在于，具有層疊體收納保持器，收納所述玻璃基板層疊體；盒體，以單片方式收容從所述玻璃基板層疊體分離的所述玻璃基板；液槽，所述層疊體收納保持器及所述盒體以沿垂直方向延伸的方向插入該液槽的 液體中；層疊體驅(qū)動(dòng)部，沿上下方向驅(qū)動(dòng)所述層疊體收納保持器；層疊基板定位部，對(duì)收納于所述層疊體收納保持器的所述玻璃基板層疊體的最上 段的高度位置進(jìn)行定位；盒體驅(qū)動(dòng)部，沿上下方向驅(qū)動(dòng)所述盒體；基板推出機(jī)構(gòu)，將位于所述玻璃基板層疊體最上段的所述玻璃基板逐片從側(cè)面推 出而使所述玻璃基板分離且收容于所述盒體內(nèi)；以及盒體位置控制部，控制所述盒體驅(qū)動(dòng)部，以使所述盒體的未收容所述玻璃基板的 收容部的高度位置達(dá)到由所述基板推出機(jī)構(gòu)推出的所述玻璃基板的高度位置。(2)本發(fā)明的所述基板推出機(jī)構(gòu)的特征在于，具有推出工具，將所述玻璃基板層疊體最上段的玻璃基板沿半徑方向推出而使所述玻 璃基板逐片地向側(cè)方滑動(dòng)；以及驅(qū)動(dòng)部，在與所述玻璃基板的平面平行的方向上驅(qū)動(dòng)該推出工具，其中，所述玻璃 基板的平面相對(duì)于所述玻璃基板層疊體的層疊方向正交。(3)本發(fā)明的特征在于，在所述層疊體收納保持器和所述盒體之間設(shè)置有摩擦分 離工具，所述摩擦分離工具通過所述基板推出機(jī)構(gòu)可靠地使所述玻璃基板逐片地從所述玻 璃基板層疊體分離。(4)本發(fā)明的特征在于，具有基板接收機(jī)構(gòu)，所述基板接收機(jī)構(gòu)與所述基板推出機(jī) 構(gòu)的基板推出動(dòng)作連動(dòng)地接收從所述玻璃基板層疊體分離的玻璃基板，將該玻璃基板搬運(yùn) 到所述盒體的基板收容部。(5)本發(fā)明的所述層疊基板定位部的特征在于，具有層疊基板定位氣缸，在前端具有與所述玻璃基板層疊體接觸的層疊基板定位部 件，使該層疊基板定位部件沿上下方向移動(dòng)；層疊基板定位傳感器，檢測(cè)該層疊基板定位氣缸沿上下方向移動(dòng)后的位置；以及控制單元，根據(jù)來(lái)自所述層疊基板定位傳感器的檢測(cè)信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述層疊體驅(qū)動(dòng) 部，直至所述玻璃基板層疊體最上段的玻璃基板達(dá)到規(guī)定高度位置。(6)本發(fā)明的所述盒體位置控制部的特征在于，控制所述盒體驅(qū)動(dòng)部，以使所述盒 體的進(jìn)行基板接收的收納部的高度位置與位于所述層疊體收納保持器最上段的所述玻璃 基板的高度位置一致。
(7)本發(fā)明的所述基板接收機(jī)構(gòu)的特征在于，具有接收工具，載置通過所述基板推出機(jī)構(gòu)的推出動(dòng)作而從所述玻璃基板層疊體分離 的玻璃基板；以及驅(qū)動(dòng)部，在與盒體內(nèi)收納的玻璃基板的主平面平行的方向上驅(qū)動(dòng)該接收工具。(8)本發(fā)明的所述推出工具的特征在于，由樹脂成型而成，具有與所述玻璃基板的 外周的至少兩點(diǎn)接觸的接觸部的形狀。(9)本發(fā)明的所述層疊體收納保持器的特征在于，以以豎放的方式的方式插入所 述液槽內(nèi)，至少將與所述玻璃基板接觸的部分采用樹脂材料形成。(10)本發(fā)明的所述盒體的特征在于，以豎放的方式插入所述液槽內(nèi)，且被成型為 下述形狀在與所述層疊體收納保持器相對(duì)向的一側(cè)具有接收所述玻璃基板的基板插入 口，且在與所述基板插入口相反的一側(cè)具有供所述接收工具插入抽出的開口，所述盒體由 樹脂形成，或者至少將與所述玻璃基板接觸的部分采用樹脂材料形成。(11)本發(fā)明的所述摩擦分離工具的特征在于，設(shè)置于搬運(yùn)路徑上，且以上表面成 為引導(dǎo)所述玻璃基板搬運(yùn)的導(dǎo)向面的方式由樹脂成型而成，所述摩擦分離工具通過所述基 板推出機(jī)構(gòu)將位于所述玻璃基板層疊體最上段的所述玻璃基板逐片地從側(cè)方推出而使所 述玻璃基板分離，并在所述搬運(yùn)路徑上向所述盒體搬運(yùn)。(12)本發(fā)明的所述層疊基板定位部件的特征在于，具有與位于所述玻璃基板層疊 體最上段的所述玻璃基板的上表面接觸的接觸部，所述接觸部由樹脂成型而成。(13)本發(fā)明的所述接收工具的特征在于，被成型為具有基板接收部的形狀，且至 少將與所述玻璃基板接觸的部分采用樹脂材料形成，所述基板接收部接收從所述玻璃基板 層疊體分離而通過所述摩擦分離工具的所述導(dǎo)向面的所述玻璃基板。(14)本發(fā)明的所述玻璃基板層疊體的特征在于，處于除了要從所述玻璃基板層疊 體分離的玻璃基板以外其余部分均浸漬于液槽的液體中的狀態(tài)。(15)本發(fā)明的所述盒體驅(qū)動(dòng)部的特征在于，以下述方式驅(qū)動(dòng)所述盒體當(dāng)從所述 玻璃基板層疊體分離的玻璃基板被收納于所述盒體時(shí)，使該盒體下降移動(dòng)以浸漬于液槽的 液體中，并使從所述玻璃基板層疊體分離的該玻璃基板浸漬于液體中。(16)本發(fā)明提供一種玻璃基板的制造方法，包括下述工序使多個(gè)玻璃基板與多 個(gè)墊片交替地重疊而形成玻璃基板層疊體，或者使多個(gè)玻璃基板重疊而形成玻璃基板層疊 體，對(duì)該玻璃基板層疊體的各玻璃基板的端面進(jìn)行研磨加工后，使所述玻璃基板從所述玻 璃基板層疊體分離，其特征在于，使用(1) (15)中任一項(xiàng)所述的層疊基板分離收容裝置， 使最上段的所述玻璃基板逐片地從被收納于層疊體收納保持器的所述玻璃基板層疊體分 離而收納于盒體內(nèi)。(17)本發(fā)明的所述玻璃基板的特征在于，是磁記錄介質(zhì)用玻璃基板。根據(jù)本發(fā)明，能夠提供與現(xiàn)有方式相比生產(chǎn)性高的玻璃基板的制造方法和品質(zhì)穩(wěn) 定性優(yōu)異的玻璃基板，所述玻璃基板的制造方法可容易地從玻璃基板層疊體將玻璃基板高 效地且不產(chǎn)生損傷地逐片分離，并且能夠不產(chǎn)生損傷地將其收容于規(guī)定盒體內(nèi)。


圖1是表示本發(fā)明的層疊基板分離收容裝置的一實(shí)施例的立體圖2是表示層疊基板分離收容裝置的各控制部和各驅(qū)動(dòng)部的框圖；圖3是層疊基板分離收容裝置的主視圖；圖4是沿圖3中A-A線的橫剖面圖；圖5是從上方看層疊體收納保持器的俯視圖；圖6是層疊基板分離收容裝置的左側(cè)視圖；圖7是層疊基板分離收容裝置的右側(cè)視圖；圖8A是表示層疊基板分離收容裝置的待機(jī)狀態(tài)的俯視圖；圖8B是表示層疊基板分離收容裝置的推出玻璃基板的開始狀態(tài)的俯視圖；圖8C是表示層疊基板分離收容裝置的推出玻璃基板的動(dòng)作過程的俯視圖；圖8D是表示層疊基板分離收容裝置的將玻璃基板收納在盒體內(nèi)的狀態(tài)的俯視 圖；圖9A是示意性地表示工序4的圖；圖9B是示意性地表示工序6的圖；圖9C是示意性地表示工序8的圖； 圖9D是示意性地表示工序9的圖；圖9E是示意性地表示工序10的圖；圖9F是示意性地表示工序11的圖；圖9G是示意性地表示工序12的圖；圖9H是示意性地表示工序13的圖；圖91是示意性地表示工序14的圖；圖9J是示意性地表示工序15的圖；圖10是用于說明控制裝置執(zhí)行的控制處理的流程的流程圖。標(biāo)號(hào)說明10層疊基板分離收容裝置12 基底20玻璃基板30玻璃基板層疊體40層疊體收納保持器42圓筒狀空間43基板保持用工具44下部開口45上部凸緣46 通道47下部凸緣48 支柱50基板收容盒體52基板收容部54基板插入部56基板接收部插入部
60、62液槽
64保持器設(shè)置用固定臺(tái)
70保持器驅(qū)動(dòng)部
72基板載置部
74支承臂
76垂直臂
80層疊基板定位部
82層疊基板定位部件
84層疊基板定位氣缸
86層疊基板定位傳感器
88托架
90盒體驅(qū)動(dòng)部
92盒體保持部件
110盒體定位部
120基板推出機(jī)構(gòu)
122基板抵接部
124基板推出用氣缸
130基板接收機(jī)構(gòu)
132基板接收部
134基板接收用氣缸
140保持器推出部件
150摩擦分離工具
200控制裝置
210保持器位置控制部
220盒體位置控制部
230基板推出控制部
240基板接收控制部
250層疊基板位置控制部
具體實(shí)施例方式下面，參照附圖對(duì)用于實(shí)施本發(fā)明的方式進(jìn)行說明。另外，本發(fā)明并不限定于以下 說明的實(shí)施例記載的內(nèi)容。圖1是表示本發(fā)明的層疊基板分離收容裝置的一實(shí)施例的立體圖。圖2是表示層 疊基板分離收容裝置的各控制部和各驅(qū)動(dòng)部的框圖。如圖1及圖2所示，層疊基板分離收 容裝置10構(gòu)成為，從由多片圓盤狀的玻璃基板20重疊而成的玻璃基板層疊體30將玻璃基 板20逐片分離而收容。作為玻璃基板20，例如為磁記錄介質(zhì)用玻璃基板。另外，層疊基板分離收容裝置10在基底12上具有層疊體收納保持器40、基板收 容盒體50、液槽60、保持器驅(qū)動(dòng)部70、層疊基板定位部80、盒體驅(qū)動(dòng)部90、盒體定位部110、 基板推出機(jī)構(gòu)120、基板接收機(jī)構(gòu)130、控制裝置200。控制裝置200由基于預(yù)先儲(chǔ)存在存儲(chǔ)器的各控制程序進(jìn)行各控制處理的計(jì)算機(jī)構(gòu)成，具有保持器位置控制部210、盒體位置控 制部220、基板推出控制部230、基板接收控制部240、層疊基板位置控制部250。保持器位置控制部210對(duì)具有由氣缸等構(gòu)成的促動(dòng)器的保持器驅(qū)動(dòng)部70進(jìn)行控 制，使被收納在層疊體收納保持器40的玻璃基板層疊體30升降。盒體位置控制部220對(duì) 具有由氣缸等構(gòu)成的促動(dòng)器的盒體驅(qū)動(dòng)部90進(jìn)行控制，以調(diào)整基板收容盒體50的基板收 容部52的高度位置?；逋瞥隹刂撇?30驅(qū)動(dòng)基板推出機(jī)構(gòu)120的基板推出用氣缸124，使玻璃基板層 疊體30的最上段的玻璃基板20分離，進(jìn)而將分離的玻璃基板20收容于基板收容盒體50。 基板接收控制部240驅(qū)動(dòng)基板接收機(jī)構(gòu)130的基板接收用氣缸134，引導(dǎo)從玻璃基板層疊體 30分離的玻璃基板20，以使其被收容于基板收容盒體50的規(guī)定收容部。層疊基板位置控制部250檢測(cè)被收納在層疊體收納保持器40的玻璃基板層疊體 30的最上段的玻璃基板20的高度位置，將該玻璃基板20定位在可通過基板推出機(jī)構(gòu)120 推出的高度位置。另外，層疊基板定位部80在前端具有與玻璃基板層疊體30接觸的層疊 基板定位部件，連接有使層疊基板定位部件在上下方向移動(dòng)的層疊基板定位氣缸84、和檢 測(cè)層疊基板定位氣缸84在上下方向移動(dòng)的位置的層疊基板定位傳感器86。另外，層疊基板 位置控制部250具有控制單元，其根據(jù)來(lái)自層疊基板定位傳感器86的檢測(cè)信號(hào)驅(qū)動(dòng)保持器 驅(qū)動(dòng)部70，直至玻璃基板層疊體20的最上段的玻璃基板20到達(dá)規(guī)定高度位置。圖3是層疊基板分離收容裝置的主視圖。圖4是沿圖3中A-A線的橫剖面圖。圖 5是從上方看層疊體收納保持器的俯視圖。圖6是層疊基板分離收容裝置的左側(cè)視圖。圖 7是層疊基板分離收容裝置的右側(cè)視圖。在此，參照?qǐng)D3 圖7對(duì)構(gòu)成層疊基板分離收容裝置10的各部分詳細(xì)地進(jìn)行說 明。如圖3及圖6、圖7所示，層疊體收納保持器40收納玻璃基板層疊體30，且以垂直 狀態(tài)(豎放方式)插入液槽60的液體中，另外，層疊體收納保持器40在下端與液槽60的 底部抵接的狀態(tài)下被固定，被收納在內(nèi)部的玻璃基板層疊體30可沿上下方向(Z1、Z2方向) 移動(dòng)地被保持。而且，驅(qū)動(dòng)玻璃基板層疊體30，以使其在進(jìn)行后述的基板分離收容動(dòng)作時(shí)緩 緩上升移動(dòng)?；迨杖莺畜w50是沿上下方向排列有多個(gè)基板收容部52的樹脂制容器，所述基 板收容部52以單片方式收容從玻璃基板層疊體30分離的玻璃基板20。另外，基板收容盒 體50以垂直狀態(tài)(豎放方式)插入液槽60，在與層疊體收納保持器40相對(duì)向的右側(cè)面上 開口，形成供玻璃基板20插入的基板插入部54，在基板接收機(jī)構(gòu)130相對(duì)向的左側(cè)面上開 口，形成供基板接收部132插入的基板接收部插入部56。另外，基板收容盒體50在基板分 離收容動(dòng)作開始前的狀態(tài)，其大體上位于液槽60的液面的上方，玻璃基板20被分離收容時(shí) 向下方移動(dòng)，并緩緩地下降，以使所收容的玻璃基板20浸漬于液槽60的液體中。液槽60中，為了防止玻璃基板20干燥，在沿垂直方向延伸的方向插入層疊體收納 保持器40及基板收容盒體50，并且，以液體對(duì)流的方式進(jìn)行液體的供給和排出。本實(shí)施例 中，從液槽60的底部供給過濾后的液體，使從液槽60的上端溢出的液體流出至設(shè)于液槽60 的外側(cè)的液槽62，進(jìn)而將液槽62的液體向外部排出。由此，在液槽60內(nèi)，液體總是從下方 向上方對(duì)流，即使在例如因基板分離收容動(dòng)作而產(chǎn)生異物的情況下，也能夠利用對(duì)流將異物排出到外側(cè)的液槽62。因此，能夠防止異物附著在插入液槽60的層疊體收納保持器40 及基板收容盒體50的玻璃基板20上。另外，為了定期地將沉降在液槽60底部的異物(玻 璃碎片、研磨磨粒等)除去，也可以例如在液槽60的底部設(shè)置排出孔，從排出孔將沉淀物排 出到槽外，并定期地更換液槽60的液體。另外，作為供給到液槽60的液體沒有特別限制，可以使用通常的水、純凈水、功能 水(陽(yáng)極水、陰極水、氫水、臭氧水、碳酸水等)、或在其中加入堿而變?yōu)閴A性的水、加入酸而 變?yōu)樗嵝缘乃?、或加入表面活性劑而使其表面張力降低的水。另外，液?0也可以構(gòu)成為 具有對(duì)液槽中的液體進(jìn)行攪拌的攪拌機(jī)構(gòu)、和對(duì)層疊體收納保持器40內(nèi)的玻璃基板層疊 體30或基板收容盒體50的玻璃基板20照射超聲波而除去異物的超聲波振動(dòng)器等。保持器驅(qū)動(dòng)部70被保持器位置控制部210控制，具有基板載置部72、支承臂74， 它們從層疊體收納保持器40的底部插入保持器內(nèi)而支承玻璃基板層疊體30，并且使玻璃 基板層疊體30升降。在此，對(duì)層疊體收納保持器40的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。如圖4、圖5所示，層疊體收納保持器40用樹脂材料成型而成，被固定為下部與設(shè) 置在液槽60的底部的保持器設(shè)置用固定臺(tái)64抵接的狀態(tài)。另外，在層疊體收納保持器40 的內(nèi)部，收納有具有沿縱方向(Z1、Z2方向)延伸的圓筒狀空間42的基板保持用工具43。 在層疊體收納保持器40的上端，安裝有保持器按壓部件140，其從上方保持收納在層疊體 收納保持器40的內(nèi)部的基板保持用工具43。在基板保持用工具43的圓筒狀空間42中，外周端面被進(jìn)行了研磨加工的玻璃基 板層疊體30沿縱方向插入，可從上方插入或脫出地安裝在層疊體收納保持器40的內(nèi)部。圓 筒狀空間42在上下方向(Zl、Z2方向)貫通，在下部開口 44插入被保持器驅(qū)動(dòng)部70驅(qū)動(dòng) 的基板載置部72。另外，層疊體收納保持器40具有從外側(cè)限制基板保持用工具43的位置的四根支 柱48。如圖3所示，各支柱48在垂直方向(Z1、Z2方向)立起，且兩端被固定于層疊體收 納保持器40的上部凸緣45、下部凸緣47。而且，層疊體收納保持器40中，在側(cè)面和圓筒狀空間42之間形成有用于供支承長(zhǎng) 方形狀的基板載置部72的支承臂74升降的通道46。另外，通道46以覆蓋支承臂74升降 的范圍(上下行程)的方式在上下方向(Zl、Z2方向)延伸形成。因而，圓筒狀空間42的 內(nèi)壁在除通道46以外的范圍內(nèi)以與玻璃基板層疊體30的外周端部相對(duì)向的方式形成。另外，層疊體收納保持器40與玻璃基板20直接接觸的部分為樹脂制成，優(yōu)選采用 對(duì)玻璃基板20不會(huì)產(chǎn)生損傷且機(jī)械強(qiáng)度高、使用中不會(huì)產(chǎn)生削除及破壞的材質(zhì)，例如選自 聚氯乙烯、聚縮醛樹脂、聚醚醚酮樹脂、超高分子量聚乙烯樹脂、四氟乙烯樹脂的材質(zhì)。如圖7所示，支承臂74與從設(shè)置在液槽60的背面?zhèn)鹊谋３制黩?qū)動(dòng)部70插入液槽 60內(nèi)的垂直臂76結(jié)合。垂直臂76在垂直方向延伸，下端與支承臂74連接，上端與保持器 驅(qū)動(dòng)部70的可動(dòng)部連接。在插入層疊體收納保持器40內(nèi)的基板載置部72上載置有玻璃基板層疊體30，當(dāng) 通過保持器驅(qū)動(dòng)部70沿上下方向(Z1、Z2方向)驅(qū)動(dòng)支承臂74、垂直臂76時(shí)，可使被收納 在圓筒狀空間42的玻璃基板層疊體30進(jìn)行升降。另外，在層疊體收納保持器40的上方，設(shè)置有檢測(cè)玻璃基板層疊體30的最上段的玻璃基板20的位置的層疊基板定位部80。層疊基板定位部80具有與玻璃基板層疊體30 的最上段的玻璃基板20抵接的層疊基板定位部件82、使層疊基板定位部件82升降的層疊 基板定位氣缸84、檢測(cè)層疊基板定位部件82與最上段的玻璃基板20抵接并輸出檢測(cè)信號(hào) 的層疊基板定位傳感器86。另外，層疊基板定位氣缸84通過托架88保持在規(guī)定高度位置。層疊基板定位部件82在接觸到玻璃基板層疊體30的最上段的玻璃基板20的上 表面時(shí)，向上方移動(dòng)，當(dāng)該動(dòng)作被層疊基板定位傳感器86檢測(cè)到時(shí)，則向?qū)盈B基板定位氣 缸84供給壓縮空氣而從上方向下方按壓玻璃基板20。由此，玻璃基板層疊體30的最上段 的玻璃基板20被定位在規(guī)定高度位置。然后，保持器驅(qū)動(dòng)部70通過層疊基板定位部80使 玻璃基板層疊體30升降，以使最上段的玻璃基板20被定位在液面上的規(guī)定高度位置。如圖3及圖6所示，盒體驅(qū)動(dòng)部90是下述升降機(jī)構(gòu)將經(jīng)由盒體保持部件92保持 為垂直狀態(tài)的基板收容盒體50浸漬于液槽60中，或?qū)⒒迨杖莺畜w50取出時(shí)對(duì)盒體保持 部件92沿上下方向進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。另外，盒體驅(qū)動(dòng)部90在收容從玻璃基板層疊體30分離的該 玻璃基板20后，使被保持在垂直狀態(tài)的基板收容盒體50逐段地向下方下降。盒體定位部110以下述方式進(jìn)行定位使設(shè)置在基板收容盒體50內(nèi)部的多個(gè)基板 收容部52中隨后要插入有玻璃基板20的該基板收容部52與從玻璃基板層疊體30分離的 玻璃基板20被搬運(yùn)的高度位置一致?；迨杖莺畜w50中，在與層疊體收納保持器40相對(duì)向的側(cè)面形成有用于進(jìn)行玻 璃基板20的插入的基板插入口 54，在內(nèi)部沿上下方向排列有多個(gè)基板收容部52，用于在收 容各玻璃基板20時(shí)以規(guī)定間隔保持各玻璃基板20。盒體驅(qū)動(dòng)部90被盒體位置控制部220 以下述方式控制驅(qū)動(dòng)量在基板收容盒體50中收容玻璃基板20時(shí)，使多個(gè)基板收容部52 中收容玻璃基板20的該基板收容部52的高度位置與被分離的玻璃基板20的搬運(yùn)高度位 置一致?；迨杖莺畜w50與玻璃基板20直接接觸的部分為樹脂制，優(yōu)選采用對(duì)玻璃基板 20不會(huì)產(chǎn)生損傷且機(jī)械強(qiáng)度高、使用中不會(huì)發(fā)生消除及破壞的材質(zhì)，例如選自聚氯乙烯、聚 縮醛樹脂、聚醚醚酮樹脂、超高分子量聚乙烯樹脂、四氟乙烯樹脂的材質(zhì)。如圖3所示，基板推出機(jī)構(gòu)120通過在基底12上立起的支柱14被支承在規(guī)定高 度位置，具有基板抵接部122，以從側(cè)方將位于玻璃基板層疊體30的最上段的玻璃基板20 逐片推出使其分離而收容在基板收容盒體50內(nèi)的方式進(jìn)行動(dòng)作；及基板推出用氣缸124， 使基板抵接部122在水平方向上移動(dòng)?；褰邮諜C(jī)構(gòu)130通過在基底12上立起的支柱16被支承在規(guī)定高度位置，具有 基板接收部132，具有與基板推出機(jī)構(gòu)120的基板推出動(dòng)作連動(dòng)而將從玻璃基板層疊體30 分離的玻璃基板20向基板收容盒體50進(jìn)行引導(dǎo)的兩根導(dǎo)向臂；及基板接收用氣缸134，在 水平方向驅(qū)動(dòng)基板接收部132?；宓纸硬?22及基板接收部132采用比玻璃基板20軟的材質(zhì)形成以不損傷玻 璃基板20，例如，優(yōu)選采用聚氯乙烯、聚縮醛樹脂、聚醚醚酮樹脂、超高分子量聚乙烯樹脂、 四氟乙烯樹脂等樹脂材料成型，或至少與玻璃基板20接觸的部分由樹脂材料形成。在此，對(duì)基板推出機(jī)構(gòu)120及基板接收機(jī)構(gòu)130的動(dòng)作進(jìn)行說明。圖8A是表示層疊基板分離收容裝置的待機(jī)狀態(tài)的俯視圖。圖8B是表示層疊基板 分離收容裝置的推出玻璃基板的開始狀態(tài)的俯視圖。圖8C是表示層疊基板分離收容裝置的推出玻璃基板的動(dòng)作過程的俯視圖。圖8D是表示層疊基板分離收容裝置的將玻璃基板 收納在盒體內(nèi)的狀態(tài)的俯視圖。如圖8A所示，在層疊基板分離收容裝置10的電源開關(guān)或啟動(dòng)開關(guān)斷開的狀態(tài)下， 基板推出機(jī)構(gòu)120和基板接收機(jī)構(gòu)130分別處于待機(jī)狀態(tài)。即，基板推出機(jī)構(gòu)120的基板 抵接部122在層疊體收納保持器40的右方(X2方向)待機(jī)，基板接收機(jī)構(gòu)130的基板接收 部132在基板收容盒體50的左方(XI方向)待機(jī)。本實(shí)施例中，基板推出機(jī)構(gòu)120的基板抵接部122從上方看時(shí)形成為V字形，成為 在玻璃基板20的外周的兩點(diǎn)接觸的結(jié)構(gòu)。作為基板抵接部122的與玻璃基板20的外周抵 接的部分的形狀，并不限于上述的V字形，可以選擇圓弧形、梯形、四邊形等任意的形狀。另外，在層疊體收納保持器40的上部左側(cè)，固定有與玻璃基板層疊體30的左側(cè)面 接近配置的摩擦分離工具150。摩擦分離工具150由樹脂材料成型為長(zhǎng)方體形狀，上表面 152作為與從玻璃基板層疊體30分離的玻璃基板20的下表面滑動(dòng)接觸而對(duì)基板搬運(yùn)動(dòng)作 進(jìn)行導(dǎo)向的導(dǎo)向面發(fā)揮作用。另外，摩擦分離工具150為樹脂制，優(yōu)選采用對(duì)玻璃基板20不會(huì)產(chǎn)生損傷且機(jī)械 強(qiáng)度高、使用中不會(huì)發(fā)生削除及破壞的材質(zhì)，例如選自聚氯乙烯、聚縮醛樹脂、聚醚醚酮樹 脂、超高分子量聚乙烯樹脂、四氟乙烯樹脂的材質(zhì)。如圖8B所示，基板推出機(jī)構(gòu)120的基板推出用氣缸124向左方(XI方向)驅(qū)動(dòng) 基板抵接部122，將玻璃基板層疊體30的最上段的玻璃基板20的外周側(cè)端面向半徑方向 推出。這時(shí)，基板接收機(jī)構(gòu)130的基板接收用氣缸134向右方(X2方向)驅(qū)動(dòng)基板接收部 132，將基板接收部132插入基板收容盒體50內(nèi)。如圖8C所示，基板推出機(jī)構(gòu)120的基板推出用氣缸124進(jìn)一步向左方(XI方向) 驅(qū)動(dòng)基板抵接部122，將玻璃基板層疊體30的最上段的玻璃基板20推出。由此，被壓接在 玻璃基板層疊體30的最上段的玻璃基板20被向與面方向的吸附力的作用方向正交的半徑 方向推出，從而，在下表面?zhèn)群拖路降牟ＡЩ?0的上表面(或樹脂制襯墊)之間產(chǎn)生剪 切力而被從玻璃基板層疊體30容易地分離。這樣，基板抵接部122從玻璃基板層疊體30 的側(cè)方將最上段的玻璃基板20逐片向半徑方向推出而使其分離，因此，能夠不損傷進(jìn)行了 研磨加工的玻璃基板20的端面而高效地使其分離。然后，玻璃基板20被基板抵接部122推出并在摩擦分離工具150的上表面152上 進(jìn)行搬運(yùn)，被摩擦分離工具150的上表面152導(dǎo)向，向基板收容盒體50側(cè)搬運(yùn)。為了減輕 玻璃基板20的搬運(yùn)阻力，并且防止玻璃基板20的干燥，向摩擦分離工具150的上表面152 供給水。因此，從玻璃基板層疊體30分離的玻璃基板20能夠在摩擦分離工具150的上表 面152上順滑地移動(dòng)。如圖8D所示，基板推出機(jī)構(gòu)120的基板推出用氣缸124進(jìn)一步向左方(XI方向) 驅(qū)動(dòng)基板抵接部122，將從玻璃基板層疊體30分離的玻璃基板20插入基板收容盒體50內(nèi)。 由此，從玻璃基板層疊體30分離的玻璃基板20被引導(dǎo)至基板接收機(jī)構(gòu)130的基板接收部 132，并被收容于基板收容盒體50的規(guī)定的基板收容部52。之后，基板接收機(jī)構(gòu)130的基板 接收部132被向XI方向驅(qū)動(dòng)，退避到基板收容盒體50的左側(cè)。然后，基板推出機(jī)構(gòu)120的基板推出用氣缸124向右方(X2方向)驅(qū)動(dòng)基板抵接 部122，使其向?qū)盈B體收納保持器40的右側(cè)復(fù)位后，返回到圖8A所示的待機(jī)狀態(tài)。
在此，參照?qǐng)D9A 圖9J所示的工序圖，對(duì)層疊基板定位部80進(jìn)行的玻璃基板20 的定位動(dòng)作、以及上述基板推出機(jī)構(gòu)120及基板接收機(jī)構(gòu)130進(jìn)行的玻璃基板20的分離/ 收容的各工序一并詳細(xì)地進(jìn)行說明。另外，在圖9A 圖9J中，為了容易地理解各部件的動(dòng) 作，將形狀簡(jiǎn)化進(jìn)行表示。另外，圖9A 圖9J中對(duì)以玻璃基板20之間有樹脂制襯墊21的狀態(tài)層疊而成的 玻璃基板層疊體30進(jìn)行了說明，但在將玻璃基板20彼此直接層疊的沒有樹脂制襯墊21的 情況下，也進(jìn)行同樣的工序。(工序1)如圖1、圖3、圖7所示，進(jìn)行玻璃基板層疊體30的端面的磨削、研磨加工 處理后，將該玻璃基板層疊體30設(shè)置于基板保持用工具43的圓筒狀空間42內(nèi)。(工序2)如圖1、圖3、圖7所示，將設(shè)置有玻璃基板層疊體30的基板保持用工具 43放置在層疊體收納保持器40上，使玻璃基板層疊體30成為以垂直狀態(tài)浸漬于液槽60的 液體中的狀態(tài)。(工序3)如圖1、圖6所示，將空狀態(tài)的基板收容盒體50放置在盒體驅(qū)動(dòng)部90的 盒體保持部件92上，使其以垂直狀態(tài)在液槽60的上方待機(jī)。這時(shí)，基板推出機(jī)構(gòu)120及基 板接收機(jī)構(gòu)130處于圖8A所示的待機(jī)狀態(tài)。(工序4)如圖9A所示，基板接收機(jī)構(gòu)130的基板接收用氣缸134向右方(X2方 向)驅(qū)動(dòng)基板接收部132，將基板接收部132插入基板收容盒體50內(nèi)。該工序4在將玻璃 基板20插入基板收容盒體50的最下端位置的情況下進(jìn)行。第二次以后，因?yàn)樵谏弦淮蔚?工序14中將基板接收部132插入基板收容盒體50內(nèi)，所以省略該工序。(工序5)設(shè)定玻璃基板層疊體30的每一次的推上量。本實(shí)施例中，將摩擦分離工 具150的上表面152作為基準(zhǔn)位置，將玻璃基板20的厚度(或?qū)ΣＡЩ?0的厚度加上 樹脂制襯墊21的厚度后的值)作為推上量，進(jìn)行層疊基板定位傳感器86的調(diào)整，由此設(shè)定 推上量。(工序6)如圖9B所示，通過保持器驅(qū)動(dòng)部70使插入層疊體收納保持器40內(nèi)的基 板載置部72向上方(Z1方向)移動(dòng)，直至達(dá)到預(yù)先設(shè)定的推上量。載置在基板載置部72 的玻璃基板層疊體30在層疊體收納保持器40內(nèi)上升，最上段的玻璃基板20的上表面(或 樹脂制襯墊)與層疊基板定位部80的層疊基板定位部件82抵接。向上方推壓層疊基板定 位部件82，并且，從層疊基板定位部件82向上方延伸形成的被檢測(cè)片83的上端到達(dá)層疊基 板定位傳感器86的檢測(cè)位置。作為層疊基板定位傳感器86，例如由將發(fā)光元件和受光元件 組合而成的光斷路器等構(gòu)成，當(dāng)被檢測(cè)片83將發(fā)光元件和受光元件之間遮斷時(shí)，輸出檢測(cè) 信號(hào)。(工序7)當(dāng)從層疊基板定位傳感器86輸出檢測(cè)信號(hào)時(shí)，保持器驅(qū)動(dòng)部70執(zhí)行的 玻璃基板層疊體30的上升停止，向?qū)盈B基板定位氣缸84供給壓縮空氣。由此，層疊基板定 位部件82被層疊基板定位氣缸84向下方驅(qū)動(dòng)，向下方按壓玻璃基板層疊體30的最上段的 玻璃基板20。由此，該玻璃基板20被夾持，停止位置穩(wěn)定。這時(shí)，玻璃基板層疊體30的最 上段的玻璃基板20被定位保持在下表面的高度位置與摩擦分離工具150的上表面152的 高度位置一致的狀態(tài)。另外，基板收容盒體50被盒體定位部110以如下方式定位多個(gè)基板收容位置中， 插入下一個(gè)玻璃基板20的相應(yīng)基板收容部52與從玻璃基板層疊體30分離的玻璃基板20被搬運(yùn)的高度位置一致。另外，以摩擦分離工具150的上表面152為基準(zhǔn)高度所設(shè)定的位置，處于液槽60 的液面上方的位置。而且，從上方對(duì)摩擦分離工具150的上表面152供給水等液體，以減輕 向分離方向搬運(yùn)玻璃基板20時(shí)的滑動(dòng)阻力。(工序8)如圖9C所示，基板推出機(jī)構(gòu)120的基板推出用氣缸124向左方(XI方 向)驅(qū)動(dòng)基板抵接部122，按壓玻璃基板層疊體30的最上段的玻璃基板20的外周側(cè)端面， 將玻璃基板20從玻璃基板層疊體30推出。這時(shí)，層疊基板定位氣缸84的壓縮空氣被除去， 層疊基板定位部件82靠自重與玻璃基板20抵接。玻璃基板層疊體30的最上段的玻璃基板20通過基板抵接部122的推出動(dòng)作被向 與面方向的吸附力的作用方向正交的半徑方向推出，從而，在下表面20B和下方的玻璃基 板20的上表面20A(或樹脂制襯墊21)之間產(chǎn)生剪切力，使其從玻璃基板層疊體30容易地 分離。此外，在玻璃基板層疊體30的左側(cè)，接近(或抵接)有摩擦分離工具150，基板抵接 部122向XI方向推出玻璃基板層疊體30的最上段的玻璃基板20時(shí)，比最上段的玻璃基板 20靠下方的的玻璃基板層疊體30被保持為不向XI方向移動(dòng)，在最上段的玻璃基板20的下 表面20B和第二段的玻璃基板20 (或樹脂制襯墊21)的上表面20A之間，作用有與玻璃基 板20間的吸附力(壓接力)正交的剪切力。然后，玻璃基板20隨著基板抵接部122被向左方(XI方向)驅(qū)動(dòng)而被推出，在摩 擦分離工具150的上表面152上被搬運(yùn)，由摩擦分離工具150的上表面152導(dǎo)向，向基板收 容盒體50側(cè)搬運(yùn)。而且，摩擦分離工具150設(shè)置在與基板推出機(jī)構(gòu)120的推出方向(XI方向)成180 度的相反側(cè)，安裝成上表面152位于比玻璃基板層疊體30的最上段的玻璃基板20低一段 的位置。因此，基板推出機(jī)構(gòu)120的基板推出用氣缸124驅(qū)動(dòng)基板抵接部122而將玻璃基 板層疊體30的最上段的玻璃基板20向左方(XI方向)推出時(shí)，摩擦分離工具150被設(shè)于 在玻璃基板層疊體30的最上段的玻璃基板20下方的位置且與玻璃基板層疊體30的左側(cè) 接近(或抵接)的位置。由此，基板抵接部122將玻璃基板層疊體30的最上段的玻璃基板20向XI方向推 出時(shí)，最上段的玻璃基板20下方的玻璃基板層疊體30被保持為不向XI方向移動(dòng)，在最上 段的玻璃基板20的下表面20B和第二段的玻璃基板20 (或樹脂制襯墊21)的上表面20A 之間，作用有與玻璃基板20間的吸附力(壓接力)正交的剪切力。通過該剪切力的作用， 就可使壓接在玻璃基板層疊體30的最上段的玻璃基板20從玻璃基板層疊體30瞬時(shí)地分 罔。然后，從玻璃基板層疊體30分離的玻璃基板20在摩擦分離工具150的上表面152 上滑動(dòng)，同時(shí)向XI方向搬運(yùn)。(工序9)如圖9D所示，基板推出機(jī)構(gòu)120的基板推出用氣缸124向左方(XI方 向)驅(qū)動(dòng)基板抵接部122，從玻璃基板層疊體30分離的玻璃基板20通過摩擦分離工具150 的上表面152引導(dǎo)插入高度，并插入基板收容盒體50內(nèi)。這時(shí)，從玻璃基板層疊體30分離 的該玻璃基板20通過摩擦分離工具150的上表面152，被引導(dǎo)至插入基板收容盒體50內(nèi)的 基板接收機(jī)構(gòu)130的基板接收部132。由此，該玻璃基板20通過基板接收機(jī)構(gòu)130的基板 接收部132引導(dǎo)插入高度位置，并被收容于基板收容盒體50的規(guī)定的基板收容部52?；迨杖莶?2由在基板收容盒體50的內(nèi)壁上形成的槽構(gòu)成，以接納玻璃基板20的周緣部的方
式設(shè)置。(工序10)如圖9E所示，通過基板接收機(jī)構(gòu)130的基板接收用氣缸134使基板接 收部132向左方(XI方向)移動(dòng)，使基板接收部132退避到基板收容盒體50的左側(cè)。(工序11)如圖9F所示，通過保持器驅(qū)動(dòng)部70使插入層疊體收納保持器40內(nèi)的 基板載置部72向Z1方向下降預(yù)先設(shè)定的推上量(對(duì)玻璃基板20的厚度或玻璃基板20的 厚度加上樹脂制襯墊的厚度后的值以上的值)。載置在基板載置部72的玻璃基板層疊體 30的上表面從摩擦分離工具150的上表面152 (基準(zhǔn)位置)向下方位置移動(dòng)。由此，玻璃基 板層疊體30被浸漬于液槽60的水中，可防止最上段的玻璃基板20干燥。(工序12)如圖9G所示，基板推出機(jī)構(gòu)120的基板推出用氣缸124向右方(X2方 向)驅(qū)動(dòng)基板抵接部122，使其復(fù)位到推出前的待機(jī)位置。這時(shí)，對(duì)于玻璃基板層疊體30， 因上表面下降到摩擦分離工具150的上表面152(基準(zhǔn)位置)的下方位置，所以能夠以如下 方式返回在基板抵接部122的復(fù)位動(dòng)作過程中，基板抵接部122不與玻璃基板層疊體30 接觸，不會(huì)損傷玻璃基板20。(工序13)如圖9H所示，驅(qū)動(dòng)盒體驅(qū)動(dòng)部90使基板收容盒體50下降。由此，基板 收容盒體50的高度位置被以預(yù)先設(shè)定的推下量(收容在盒體50內(nèi)的玻璃基板20浸漬于 液體的量、或收容有基板的基板收容部52浸漬于液體的量)向下方調(diào)整一段。被收納在基 板收容盒體50的基板收容部52中的最上段的玻璃基板20被浸漬于液槽60的液體中而防 止其干燥。(工序14)如圖91所示，基板接收機(jī)構(gòu)130的基板接收用氣缸134向右方(X2方 向)驅(qū)動(dòng)基板接收部132，將基板接收部132插入基板收容盒體50內(nèi)。(工序15)如圖9J所示，向?qū)盈B基板定位氣缸84供給壓縮空氣，使層疊基板定位 部件82下降到下限位置，將被檢測(cè)片83的上端向?qū)盈B基板定位傳感器86的下方抽出，使 層疊基板定位部80復(fù)位到待機(jī)狀態(tài)。層疊基板分離收容裝置10通過連續(xù)地重復(fù)上述工序5 工序14，能夠高效且不損 傷玻璃基板20地從玻璃基板層疊體30將玻璃基板20逐片容易地分離，并且，能夠不損傷 玻璃基板20而將其收容在基板收容盒體50，與現(xiàn)有方式相比，可提供生產(chǎn)性高的制造方法 和品質(zhì)穩(wěn)定性優(yōu)異的玻璃基板20。而且，在玻璃基板20被收容在基板收容盒體50的各基板收容部52中的情況下， 通過盒體驅(qū)動(dòng)部90使基板收容盒體50向液槽60的上方移動(dòng)，進(jìn)行與空的基板收容盒體50 進(jìn)行更換的盒體更換作業(yè)。各收容有玻璃基板20的基板收容盒體50離開層疊基板分離收 容裝置10而向下一個(gè)加工工序搬運(yùn)。在下一個(gè)工序取出了所有的玻璃基板20的基板收容 盒體50再次安裝在層疊基板分離收容裝置10而使用。在此，參照?qǐng)D10所示的流程圖，對(duì)控制裝置200執(zhí)行的控制處理進(jìn)行說明。在圖 10的S11中，檢查層疊基板分離收容裝置10的電源開關(guān)或啟動(dòng)開關(guān)接通與否。如圖1、圖 3、圖7所示，操作員將玻璃基板層疊體30設(shè)置在基板保持用工具43的圓筒狀空間42內(nèi)， 將設(shè)置有玻璃基板層疊體30的基板保持用工具43放置在被固定于液槽60內(nèi)的層疊體收 納保持器40。接著，如圖1、圖6所示，將空狀態(tài)的基板收容盒體50放置在盒體驅(qū)動(dòng)部90 的盒體保持部件92并使其以垂直狀態(tài)在液槽60的上方待機(jī)。
然后，當(dāng)玻璃基板層疊體30及基板收容盒體50的安裝結(jié)束后，操作員進(jìn)行操作， 以接通電源開關(guān)或啟動(dòng)開關(guān)。在S11，當(dāng)電源開關(guān)或啟動(dòng)開關(guān)被操作而接通時(shí)，則進(jìn)入S12， 設(shè)定玻璃基板層疊體30的每一次的推上量。本實(shí)施例中，以摩擦分離工具150的上表面 152為基準(zhǔn)位置，將玻璃基板20的厚度(或?qū)ΣＡЩ?0的厚度加上樹脂制襯墊21的厚 度所得的值)設(shè)為推上量而進(jìn)行層疊基板定位傳感器86的調(diào)整，由此設(shè)定推上量。在S13，驅(qū)動(dòng)盒體驅(qū)動(dòng)部90，將基板收容盒體50的下端浸漬于液槽60的液體，并 且，通過盒體定位部110使基板收容盒體50下降，直至檢測(cè)到最下端位置的基板收容部52 與摩擦分離工具150的上表面152 (基準(zhǔn)位置)一致。在隨后的S14，基板接收機(jī)構(gòu)130的基板接收用氣缸134向右方(X2方向)驅(qū)動(dòng)基 板接收部132，將基板接收部132插入基板收容盒體50內(nèi)(參照?qǐng)D9A)。在隨后的S15，驅(qū)動(dòng)保持器驅(qū)動(dòng)部70，使被插入層疊體收納保持器40內(nèi)的基板載 置部72及支承臂74上升(參照?qǐng)D9B)。在隨后的S16，檢查層疊基板定位傳感器86是否檢測(cè)到被檢測(cè)片83，進(jìn)行S15的 玻璃基板層疊體30的上升動(dòng)作，直至玻璃基板層疊體30的上表面(最上段的玻璃基板20) 與層疊基板定位部80的層疊基板定位部件82抵接而層疊基板定位傳感器86檢測(cè)到被檢 測(cè)片83。在S16，層疊基板定位傳感器86檢測(cè)到被檢測(cè)片83的上升的情況下(為“是”的 情況下)，進(jìn)入S17，使保持器驅(qū)動(dòng)部70的驅(qū)動(dòng)停止。接著，進(jìn)入S18，向?qū)盈B基板定位氣缸 84供給壓縮空氣，使層疊基板定位部件82與玻璃基板層疊體30的最上段的玻璃基板20抵 接，夾持該玻璃基板20。在隨后的S19，向基板推出機(jī)構(gòu)120的基板推出用氣缸124供給壓縮空氣，向左方 (XI方向)驅(qū)動(dòng)基板抵接部122，并且，按壓玻璃基板層疊體30的最上段的玻璃基板20的 外周側(cè)端面，將玻璃基板20從玻璃基板層疊體30推出(參照?qǐng)D9C、圖9D)。由此，對(duì)于玻璃 基板層疊體30的最上段的玻璃基板20，在下表面?zhèn)群拖路降牟ＡЩ?0的上表面20A (或 樹脂制襯墊21)之間產(chǎn)生剪切力，從而從玻璃基板層疊體30容易地分離。接著，進(jìn)S20，切換基板接收機(jī)構(gòu)130的基板接收用氣缸134的驅(qū)動(dòng)方向，向左方 (XI方向)驅(qū)動(dòng)基板接收部132，使基板接收部132從基板收容盒體50退避(參照?qǐng)D9E)。在隨后的S21，驅(qū)動(dòng)保持器驅(qū)動(dòng)部70，使被插入層疊體收納保持器40內(nèi)的基板 載置部72及支承臂74下降，使玻璃基板層疊體30的上端從摩擦分離工具150的上表面 152(基準(zhǔn)位置)向下方位置移動(dòng)(參照?qǐng)D9F)。在S22，切換基板推出機(jī)構(gòu)120的基板推出用氣缸124的驅(qū)動(dòng)方向，向右方(X2方 向)驅(qū)動(dòng)基板抵接部122，并且使基板抵接部122復(fù)位到層疊體收納保持器40的右側(cè)方的 待機(jī)位置(參照?qǐng)D9G)。接著，進(jìn)入S23，驅(qū)動(dòng)盒體驅(qū)動(dòng)部90，使基板收容盒體50以預(yù)先設(shè)定的推下量(被 收容于基板收容盒體50的玻璃基板20浸漬于液體的量、或收容玻璃基板20的基板收容部 52浸漬于液體的量)下降一段(參照?qǐng)D9H)。在隨后的S24，驅(qū)動(dòng)基板接收機(jī)構(gòu)130的基板接收用氣缸134而使基板接收部132 向右方(X2方向)移動(dòng)，將基板接收部132插入基板收容盒體50內(nèi)(參照?qǐng)D91)。在S25，驅(qū)動(dòng)層疊基板定位氣缸84，使層疊基板定位部件82下降到下限位置，將被檢測(cè)片83的上端向?qū)盈B基板定位傳感器86的下方抽出，使層疊基板定位部80復(fù)位到待機(jī) 狀態(tài)(參照?qǐng)D9J)。接著，進(jìn)入S26，檢查電源開關(guān)是否被斷開或停止開關(guān)是否被接通。在S26，電源開 關(guān)接通及停止開關(guān)斷開時(shí)(為“否”的情況下)，重復(fù)上述S15 S26。通過連續(xù)進(jìn)行S15 S26的處理，玻璃基板層疊體30中層疊的各玻璃基板20被逐片分離，然后各玻璃基板20被 高效地依次收容于基板收容盒體50的各基板收容部52。另外，在上述S26，電源開關(guān)斷開或停止開關(guān)接通時(shí)(為“是”的情況下)，結(jié)束一 系列的控制處理。另外，在S26，例如，在預(yù)先設(shè)定了玻璃基板層疊體30或基板收容盒體50 的更換時(shí)間、或者玻璃基板20的推出次數(shù)等停止條件的情況下，也可以在滿足該停止條件 的時(shí)刻自動(dòng)地使其停止。通常，磁記錄介質(zhì)用玻璃基板及磁盤的制造工序包括以下工序。(1)將通過浮法、熔融法或沖壓成形法成形的玻璃原板加工成盤(圓盤)形狀后， 對(duì)內(nèi)周側(cè)面和外周側(cè)面進(jìn)行磨邊加工。(2)對(duì)玻璃基板的上下主平面進(jìn)行磨削加工。(3) 對(duì)玻璃基板的內(nèi)周、外周的側(cè)面部和磨邊部進(jìn)行端面研磨。(4)對(duì)玻璃基板的上下主平面進(jìn) 行研磨。研磨工序可以僅進(jìn)行一次研磨，也可以進(jìn)行一次研磨和二次研磨(使用比一次研 磨細(xì)的磨粒的研磨)，也可以在二次研磨后進(jìn)行三次研磨(使用比二次研磨細(xì)的磨粒的研 磨)。(5)進(jìn)行玻璃基板的精密清洗，獲得磁記錄介質(zhì)用玻璃基板。(6)在磁記錄介質(zhì)用玻 璃基板上形成磁性層等薄膜，制造磁盤。在上述磁記錄介質(zhì)用玻璃基板及磁盤的制造工序中，也可以在各工序間實(shí)施玻璃 基板洗凈(工序間洗凈)、玻璃基板表面的蝕刻(工序間蝕刻)。而且，需要磁記錄介質(zhì)用 玻璃基板具有較高的機(jī)械強(qiáng)度的情況下，也可以在研磨工序前、或研磨工序后、或研磨工序 之間實(shí)施在玻璃基板的表層形成強(qiáng)化層的強(qiáng)化工序(例如化學(xué)強(qiáng)化工序)。在本發(fā)明中，磁記錄介質(zhì)用玻璃基板可以是非結(jié)晶玻璃，也可以是結(jié)晶化玻璃，還 可以是在玻璃基板的表層具有強(qiáng)化層的強(qiáng)化玻璃(例如化學(xué)強(qiáng)化玻璃)。另外，本發(fā)明的玻 璃基板的玻璃原板可以通過浮法制造，也可以通過熔融法制造，還可以通過沖壓成形法制 造。本發(fā)明涉及(3)對(duì)玻璃基板的內(nèi)周、外周的側(cè)面部和磨邊部進(jìn)行端面研磨的工 序，涉及如下的玻璃基板分離工序在使磁記錄介質(zhì)用玻璃基板形成層疊體而對(duì)該玻璃基 板層疊體的玻璃基板端面部進(jìn)行研磨后，從玻璃基板層疊體分離出玻璃基板。產(chǎn)業(yè)上的可利用性上述實(shí)施例中，以將層疊體收納保持器40、基板收容盒體50逐個(gè)浸漬在液槽60 中的結(jié)構(gòu)為例進(jìn)行了說明，但為了提高作業(yè)效率，也可以構(gòu)成為將多個(gè)層疊體收納保持器 40、多個(gè)基板收容盒體50并列浸漬于液槽60中，并且使多個(gè)基板推出機(jī)構(gòu)120及多個(gè)基板 接收機(jī)構(gòu)130同時(shí)進(jìn)行工作。作為本實(shí)施例的玻璃基板20，假定是用于磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的玻璃基板，但 并不限于此，也可以是磁記錄介質(zhì)用玻璃基板以外的玻璃基板，例如，光掩模用玻璃基板、 液晶及有機(jī)EL等顯示器用玻璃基板、光學(xué)濾波器及光拾取元件等光學(xué)部件用玻璃基板、半 導(dǎo)體用的基板(硅基板、碳化硅基板等)。
權(quán)利要求
1.一種層疊基板分離收容裝置，從由多片玻璃基板重疊而成的玻璃基板層疊體將所述 玻璃基板逐片分離而收容，其特征在于，具有層疊體收納保持器，收納所述玻璃基板層疊體；盒體，以單片方式收容從所述玻璃基板層疊體分離的所述玻璃基板；液槽，所述層疊體收納保持器及所述盒體以沿垂直方向延伸的方向插入該液槽的液體中；層疊體驅(qū)動(dòng)部，沿上下方向驅(qū)動(dòng)所述層疊體收納保持器；層疊基板定位部，對(duì)收納于所述層疊體收納保持器的所述玻璃基板層疊體的最上段的 高度位置進(jìn)行定位；盒體驅(qū)動(dòng)部，沿上下方向驅(qū)動(dòng)所述盒體；基板推出機(jī)構(gòu)，將位于所述玻璃基板層疊體最上段的所述玻璃基板逐片從側(cè)方推出而 使所述玻璃基板分離且收容于所述盒體內(nèi)；以及盒體位置控制部，控制所述盒體驅(qū)動(dòng)部，以使所述盒體的未收容所述玻璃基板的收容 部的高度位置達(dá)到由所述基板推出機(jī)構(gòu)推出的所述玻璃基板的高度位置。
2.如權(quán)利要求1所述的層疊基板分離收容裝置，其特征在于， 所述基板推出機(jī)構(gòu)具有推出工具，將所述玻璃基板層疊體最上段的玻璃基板沿半徑方向推出而使所述玻璃基 板逐片地向側(cè)方滑動(dòng)；以及驅(qū)動(dòng)部，在與所述玻璃基板的平面平行的方向上驅(qū)動(dòng)該推出工具，其中，所述玻璃基板 的平面相對(duì)于所述玻璃基板層疊體的層疊方向正交。
3.如權(quán)利要求1或2所述的層疊基板分離收容裝置，其特征在于，在所述層疊體收納保 持器和所述盒體之間設(shè)置有摩擦分離工具，所述摩擦分離工具通過所述基板推出機(jī)構(gòu)可靠 地使所述玻璃基板逐片地從所述玻璃基板層疊體分離。
4.如權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)所述的層疊基板分離收容裝置，其特征在于，具有基板接 收機(jī)構(gòu)，所述基板接收機(jī)構(gòu)與所述基板推出機(jī)構(gòu)的基板推出動(dòng)作連動(dòng)地接收從所述玻璃基 板層疊體分離的玻璃基板，將該玻璃基板搬運(yùn)到所述盒體的基板收容部。
5.如權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的層疊基板分離收容裝置，其特征在于， 所述層疊基板定位部具有層疊基板定位氣缸，在前端具有與所述玻璃基板層疊體接觸的層疊基板定位部件，使 該層疊基板定位部件沿上下方向移動(dòng)；層疊基板定位傳感器，檢測(cè)該層疊基板定位氣缸沿上下方向移動(dòng)后的位置；以及 控制單元，根據(jù)來(lái)自所述層疊基板定位傳感器的檢測(cè)信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述層疊體驅(qū)動(dòng)部，直 至所述玻璃基板層疊體最上段的玻璃基板達(dá)到規(guī)定高度位置。
6.如權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的層疊基板分離收容裝置，其特征在于，所述盒體位 置控制部控制所述盒體驅(qū)動(dòng)部，以使所述盒體的進(jìn)行基板接收的收納部的高度位置與位于 所述層疊體收納保持器最上段的所述玻璃基板的高度位置一致。
7.如權(quán)利要求4 6中任一項(xiàng)所述的層疊基板分離收容裝置，其特征在于， 所述基板接收機(jī)構(gòu)具有接收工具，載置通過所述基板推出機(jī)構(gòu)的推出動(dòng)作而從所述玻璃基板層疊體分離的玻璃基板；以及驅(qū)動(dòng)部，在與盒體內(nèi)收納的玻璃基板的主平面平行的方向上驅(qū)動(dòng)該接收工具。
8.如權(quán)利要求2 7中任一項(xiàng)所述的層疊基板分離收容裝置，其特征在于，所述推出工 具由樹脂成型而成，具有與所述玻璃基板的外周的至少兩點(diǎn)接觸的接觸部的形狀。
9.如權(quán)利要求1 8中任一項(xiàng)所述的層疊基板分離收容裝置，其特征在于，所述層疊體 收納保持器以豎放的方式插入所述液槽內(nèi)，至少將與所述玻璃基板接觸的部分采用樹脂材 料形成。
10.如權(quán)利要求1 9中任一項(xiàng)所述的層疊基板分離收容裝置，其特征在于，所述盒體 以豎放的方式插入所述液槽內(nèi)，且被成型為下述形狀在與所述層疊體收納保持器相對(duì)向 的一側(cè)具有接收所述玻璃基板的基板插入口，且在與所述基板插入口相反的一側(cè)具有供所 述接收工具插入抽出的開口，所述盒體由樹脂形成，或者至少將與所述玻璃基板接觸的部 分采用樹脂材料形成。
11.如權(quán)利要求3 10中任一項(xiàng)所述的層疊基板分離收容裝置，其特征在于，所述摩擦 分離工具設(shè)置于搬運(yùn)路徑上，且以上表面成為引導(dǎo)所述玻璃基板搬運(yùn)的導(dǎo)向面的方式由樹 脂成型而成，所述摩擦分離工具通過所述基板推出機(jī)構(gòu)將位于所述玻璃基板層疊體最上段 的所述玻璃基板逐片地從側(cè)方推出而使所述玻璃基板分離，并在所述搬運(yùn)路徑上向所述盒 體搬運(yùn)。
12.如權(quán)利要求5 11中任一項(xiàng)所述的層疊基板分離收容裝置，其特征在于，所述層疊 基板定位部件具有與位于所述玻璃基板層疊體最上段的所述玻璃基板的上表面接觸的接 觸部，所述接觸部由樹脂成型而成。
13.如權(quán)利要求7 12中任一項(xiàng)所述的層疊基板分離收容裝置，其特征在于，所述接收 工具被成型為具有基板接收部的形狀，且至少將與所述玻璃基板接觸的部分采用樹脂材料 形成，所述基板接收部接收從所述玻璃基板層疊體分離而通過所述摩擦分離工具的所述導(dǎo) 向面的所述玻璃基板。
14.如權(quán)利要求1 13中任一項(xiàng)所述的層疊基板分離收容裝置，其特征在于，所述玻璃 基板層疊體處于除了要從所述玻璃基板層疊體分離的玻璃基板以外其余部分均浸漬于液 槽的液體中的狀態(tài)。
15.如權(quán)利要求1 14中任一項(xiàng)所述的層疊基板分離收容裝置，其特征在于，所述盒體 驅(qū)動(dòng)部以下述方式驅(qū)動(dòng)所述盒體當(dāng)從所述玻璃基板層疊體分離的玻璃基板被收納于所述 盒體時(shí)，使該盒體下降移動(dòng)以浸漬于液槽的液體中，并使從所述玻璃基板層疊體分離的該 玻璃基板浸漬于液體中。
16.一種玻璃基板的制造方法，包括下述工序使多個(gè)玻璃基板與多個(gè)墊片交替地重 疊而形成玻璃基板層疊體，或者使多個(gè)玻璃基板重疊而形成玻璃基板層疊體，對(duì)該玻璃基 板層疊體的各玻璃基板的端面進(jìn)行研磨加工后，使所述玻璃基板從所述玻璃基板層疊體分 離，其特征在于，使用權(quán)利要求1 15中任一項(xiàng)所述的層疊基板分離收容裝置，使最上段的所述玻璃基 板逐片地從被收納于層疊體收納保持器的所述玻璃基板層疊體分離而收納于盒體內(nèi)。
17.如權(quán)利要求16所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述玻璃基板是磁記錄 介質(zhì)用玻璃基板。
全文摘要
本發(fā)明提供一種層疊基板分離收容裝置及玻璃基板的制造方法，能夠從玻璃基板層疊體高效且無(wú)損傷地分離、收容玻璃基板。層疊基板分離收容裝置(10)構(gòu)成為從由多片圓盤狀的玻璃構(gòu)成的玻璃基板(20)重疊而成的玻璃基板層疊體(30)將玻璃基板(20)逐片分離而收容。層疊基板分離收容裝置(10)在基底(12)上具有層疊體收納保持器(40)、基板收容盒體(50)、液槽(60)、保持器驅(qū)動(dòng)部(70)、層疊基板定位部(80)、盒體驅(qū)動(dòng)部(90)、盒體定位部(110)、基板推出機(jī)構(gòu)(120)、基板接收機(jī)構(gòu)(130)、控制裝置(200)。控制裝置(200)具有基于預(yù)先儲(chǔ)存在存儲(chǔ)器的各控制程序進(jìn)行各控制處理的保持器位置控制部(210)、盒體位置控制部(220)、基板推出控制部(230)、基板接收控制部(240)、層疊基板位置控制部(250)。
文檔編號(hào)B65G59/02GK102001524SQ20101027315
公開日2011年4月6日 申請(qǐng)日期2010年9月2日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月2日
發(fā)明者宮脅毅, 星野智弘, 渡邊春夫 申請(qǐng)人:旭硝子株式會(huì)社