專利名稱：用于分離板型元件的設備的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種用于將板型元件從堆中分離的設備。
背景技術：
用于分離堆疊的板型元件的帶傳送器裝置的使用是已知的，例如，DE 10 2006011 870 Al。堆沿其堆疊軸線方向被朝向帶移動。帶本身沿真空壓力設備被引導并提供若干開口，周圍的介質通過該開口被吸入真空壓力設備中。在待分離的堆的元件的表面與帶接觸的情況下，形成真空壓力，其將待分離的元件保持在帶上。帶移動的方向和堆疊軸線的朝向被設置為彼此垂直。結果，待分離的元件關于堆疊軸線被橫向地從堆收回并被供應到進一步輸送機構。為了移除下一個板型元件，堆然后再次沿堆疊軸線的方向被引導朝向帶。在從DE 10 2006011 870 Al中已知的分離設備的情況下，進一步帶傳送器被布置在第一帶傳送器之后。當安裝有真空壓力設備的第一帶傳送器被提供用于在每種情況下沿與重力相反的豎直方向將第一板型元件從堆中移除時，傳送方向相對于第一帶傳送器的傳送方向傾斜大約 45度的帶傳送器被布置在這個之后。進一步帶傳送器被布置為與第一帶傳送器的帶相反， 使得被從堆橫向移除的元件夾在第一帶傳送器和進一步帶傳送器之間并以這種方式被輸送。在離開第一帶傳送器的帶之后，待輸送的元件落到為此目的被布置為與前者對角地布置的后面的帶傳送器的部件上。如果重力不充分，為了實現(xiàn)任意潛在粘附的板型元件的可靠的釋放，在進一步帶傳送器上布置剝離設備。已知的傳送器設備提供若干缺點。例如，直到傳遞到用于進一步輸送的設備，只有第一帶傳送器被提供，其牽引周圍流體通過被提供有穿孔以釋放所述堆的第一元件的皮帶。相反，后面的輸送和傳送器設備的進一步的帶不被穿孔并且也沒有提供真空壓力設備。 在這種情況下，只有基于通過粘附產生的力以及分別地基于重力，輸送才是可能的。在半導體產品的制造中，經(jīng)常需要分離例如來源于切割過程的晶片堆。此時，所述堆被設置在液池中。為了允許該情況下單獨晶片的可靠提升，真空壓力被用于第一帶傳送器中。所述堆沿水平方向被提供，使得傳送方向垂直于堆疊軸線延伸，并且因此，第一元件在每種情況下沿垂直方向被從液池中收回。在整個輸送距離上，被移除的板型元件可靠地粘附在帶上是必須的。為此，在DE 10 2006011 870 Al的情況下，使用了根據(jù)給定類型穿孔的帶。然而，在提升之后，僅通過粘附或板型元件在兩個帶之間夾住而提供保持。因此，保持力非常不確定， 并且因為不能保證可靠地傳遞至另外的輸送設備，所以在生產過程中頻繁地發(fā)生問題。

發(fā)明內容
因此本發(fā)明基于提供一種分離設備的目的，其中板型元件能被單獨地從堆引導至另外的輸送設備。該目的通過根據(jù)具有權利要求1中指定的特征的本發(fā)明而實現(xiàn)。如權利要求1中指定，根據(jù)本發(fā)明的用于將板型元件從堆中分離的分離設備提供第一帶式傳送器設備和第二帶式傳送器設備。在本文中，第一帶式傳送器設備用于在每種情況下接收來自于堆的一個板型元件，第二帶式傳送器設備被用于進一步輸送并用于將所述板型元件放置在另外的輸送設備上。根據(jù)本發(fā)明，所述第一帶式傳送器設備和所述第二帶式傳送器設備被連接到產生真空壓力的設備，例如真空泵。同時所述第一帶式傳送器設備的第一帶提供第一橫截面的開口，第二開口被引入所述第二帶式傳送器設備的第二帶中。在本文中提供的所述第一帶式傳送器設備的所述開口的橫截面比所述第二帶傳送設備的第二開口相對較大。用于第一帶式傳送器設備并還用于第二帶式傳送器設備的真空壓力設備的提供確保板型元件安全地粘附在各自的帶上。同時，當板型元件被從液池中移除時可能發(fā)生的干燥通過第一帶的開口和第二帶的開口的不同橫截面積避免。通過基于所產生的真空壓力的可靠粘附相當大地簡化進一步的處理。特別地，避免了板型元件在被最終放置到另外的輸送設備上之前過早的掉落。由于真空壓力也能可靠粘附到第二帶式傳送器設備的板型元件能與第二帶式傳送器設備一起移動，所以能夠實現(xiàn)目標放置。因此，另外的輸送設備上的主動放置是可能的。根據(jù)本發(fā)明的設備的有利的進一步優(yōu)選方案在從屬權利要求中指定。特別地，如果第一帶的開口被作為凹部引入、同時切口被引入第二帶中以形成開口是有利的。大開口對于板型元件從堆中的釋放是有利的。由于真空壓力設備，相對大體積流能通過這里。因此，用相對大的力實現(xiàn)從堆吸引板型元件。然而，在已經(jīng)從液池中移除的元件提升之后，由于在板型元件不與帶接觸的區(qū)域中存在開口，那里的板型元件的表面存在干燥的危險。這是不合要求的，因為它能導致不合格品的增加。因此，在第二帶中僅引入切口被作為開口。事實上，仍然可能產生通過切口在帶上增加保持力的真空壓力。同時，然而，防止了板型元件的暴露表面的干燥。切口引入進一步帶確保板型元件的表面與帶接觸， 由此防止表面的干燥，為了簡化的目的，板型元件在下文中還以通常的術語被稱為晶片。而且，第二帶式傳送器設備優(yōu)選提供以可旋轉方式布置的至少一部分。關于第一帶式傳送器設備的傳送平面被執(zhí)行的旋轉允許板型元件在與第一帶式傳送器設備相同的傳送平面?zhèn)鬟f以及在相對于與第一帶式傳送器設備相同的傳送平面傾斜的平面、尤其是水平面中放置。在該旋轉的第二位置，板型元件從第二帶式傳送器設備的可旋轉的并且被供應到另外的輸送設備的部分的帶釋放。這能夠通過放置到帶齒輪或進一步傳送帶上而簡單實現(xiàn)。因此避免為了將板型元件放置到進一步成角度延伸的傳送平面上而發(fā)生的不受控制的傾斜?？尚D部分以這種方式布置使得最初在可旋轉部分的起始位置，第一帶式傳送器設備的傳送平面平行于第二帶式傳送器設備的可旋轉部分的傳送平面。在本文中，在每種情況下，帶與板型元件之間的接觸表面被設置在其中的平面被定義為傳送平面。第二帶式傳送器設備的部分的第二、旋轉位置以這種方式被選擇使得傳送平面與第一帶式傳送器設備的傳送平面在此位置中圍起一角度。這兩個平面之間的相交線優(yōu)選被設置為垂直于兩個傳送方向。因此，如果第二帶式傳送器設備提供第一部分和第二部分，則特別有利。在本文中，第一部分的傳送平面優(yōu)選與第一帶式傳送器設備的傳送平面相同，使得，在該部分上， 板型元件沿豎直方向被進一步輸送。因此，與液池的距離最初被增加。通?？赡苄枰鄬Ω?，因為另外的輸送設備本身提供給定的結構高度。然而，為了防止板型元件的表面甚至在此第一輸送部分的干燥，第一帶式傳送器設備保持盡可能短。在每種情況下，在第一板型元件從堆的完全釋放已經(jīng)實現(xiàn)之后，盡可能快地執(zhí)行至第二帶式傳送器設備或分別至其第一部分的傳遞。為了保持與液池的必須的距離，由第二帶式傳送器設備的第一部分最初執(zhí)行進一步的豎直傳送，第二帶式傳送器設備的第二部分被設計成可旋轉的。在本文中，傳遞至另外的輸送設備能被執(zhí)行，另外的輸送設備優(yōu)選專有地使用重力傳送板型元件。在本發(fā)明的一個特別的實施例中，可旋轉部分和第一帶式傳送器設備以這種方式被布置使得板型元件被第一部分和第二部分保持在不同表面上。當?shù)谝徊糠峙c晶體的第一表面接觸時，在傳遞到第二部分之后，在晶體背離第二部分的第二表面上產生保持力。因此，在輸送方向上，第一部分和第二部分被布置為相對彼此偏離至使得任何時候夾緊力都不會作用在晶體上的程度。相反，在第一部分的帶上的傳送被執(zhí)行，直到晶體突出超過其端部。在該突出端，保持力隨后由第二部分施加。然而，同時，沿輸送方向的距離被選擇為如此短以使得晶體在第一和/或第二部分的帶上的可靠粘附總是被保證。特別地，晶體通過帶與其中產生真空壓力的區(qū)域接觸。在本發(fā)明的優(yōu)選的、可替代實施例中，相反地，可旋轉部分和第一帶式傳送器設備被以這種方式布置，使得由第一帶式傳送器設備傳送的板型元件以第一表面接觸其帶，由第二帶式傳送器設備的可旋轉部分傳送的板型元件同樣以相同的第一表面接觸可旋轉部分的帶。因此，在旋轉位置，第二部分承擔另外的輸送設備的功能。而且，如果另外的輸送設備的輸送平面被設置為平行于可旋轉部分在其旋轉位置中的傳送方向，則是優(yōu)選的。如果輸送平面被水平定向使得在旋轉位置中晶片能容易地放置在另外的輸送設備上，則是特別有利的。特別地，第二帶式傳送器設備的可旋轉部分和另外的輸送設備也以這種方式相對彼此被對齊，使得可旋轉部分的帶和另外的輸送設備的傳送裝置在第二帶式傳送器設備的旋轉位置中彼此相對布置。因此，在旋轉位置中，當晶片最初仍由第二帶式傳送器設備的第二部分的帶上的真空壓力保持時，另外的輸送設備的傳送裝置已經(jīng)被布置在晶片背離后者的一側上。如果晶片現(xiàn)在從帶上釋放，它能被直接放置到另外的輸送設備的傳送裝置上。因為加濕設備被布置在該區(qū)域中，因此這是特別有利的。由于板型元件的輸送通過保持到不同表面上而執(zhí)行，所以板型元件的各個自由表面能被加濕。為此目的，加濕設備優(yōu)選被提供在另外的輸送設備和可旋轉部分的區(qū)域中。第二帶式傳送器設備優(yōu)選提供用于在背離輸送側的一側上將帶偏轉的可移置設備，也就是說，帶的表面與晶體接觸。當帶以傳統(tǒng)方式在滾筒上運行并沿設置在滾筒之間的引導表面沿直線延伸時，借助可移置設備能實現(xiàn)帶的偏轉。帶的變形意味著粘附到帶上的板型元件被釋放，只要元件的給定彎曲剛度存在。即使在元件具有彎曲彈性的情況下，釋放也由這種類型的脈沖支持，該脈沖是理想短暫的。最好，可移置設備提供一彈性元件或完全由彈性元件形成。該彈性元件能由液體填充以便擴大其體積。彈性元件被容納在第二帶式傳送器設備的保持室中。在通過例如填充流體而擴大體積的情況下，彈性元件的體積超過保持室的體積。因此，它從保持室中部分地露出并導致帶的變形，當彈性元件未被填充時其直接沿保持室的打開側延伸。彈性元件的擴大還能被間接傳遞到帶。


下面參照附圖更詳細地解釋根據(jù)本發(fā)明的分離設備的進一步細節(jié)和優(yōu)點。圖1示出闡明分離過程的全部程序的示意視圖；圖2示出用于分離的分離器的放大視圖；圖3示出圖2的分離器中的第二帶式傳送器設備的第二部分旋轉的進一步放大視圖；圖4示出圖2和圖3的分離器的闡明可移置設備的功能的細節(jié)的示意視圖；以及圖5示出第二透視點的分離器的視圖；圖6示出用于分離的可選擇的分離器的放大視圖；圖7示出用于分離的可選擇的分離器的進一步放大視圖；圖8A示出分離噴嘴設備200 ；圖 8B 示出分配噴嘴設備(parting-nozzle device) 60o
具體實施例方式圖1示出相對大的設備的一部分，其在加工例如晶片的過程中使用。術語“晶片” 在這里表示基本板型的元件。在本文中，板型意味著在第一尺度和第二尺度的延伸比第三尺度大得多。設備1將板型元件從堆2分離。如圖1中在堆2的右側和左側所示，堆2包括彼此平行定向的多個單獨的板型元件。這些板型元件以這種方式被定向沿由箭頭指示的傳送方向延伸的堆疊軸線被設置為垂直于單獨的板型元件。堆2被布置在液池中的水平位置。 在本文中，術語“水平”涉及操作期間采用的位置。如水線所示，堆2被整體設置在液池中， 該液體可為例如失能水或降能水。供應設備3被布置在液池中。堆2被以沒有更詳細地描述的方式布置在該供應設備3上。借助供應設備3，堆2沿堆疊軸線方向被引導朝向實際分離器5。為了允許改進的視覺表現(xiàn)，在圖1中僅圖示分離器5的基本的元件。在下面將參照進一步的圖2-5提供更詳細地描述。分離器5提供第一帶式傳送器設備6和第二帶式傳送器設備7。第二帶式傳送器設備7提供第一部分7. 1和第二部分7. 2。第一帶式傳送器設備6、第一部分7. 1和第二部分7. 2各自提供它們自己的帶，然而，所述帶優(yōu)選與其它帶共同被驅動。因此，在設計期間僅需要一次速度匹配，其中在操作期間分離器5的單獨的傳送部分之間的空轉難點不能發(fā)生。借助分離器5，以仍然有待于描述的方式從堆2傳送的板型元件被朝向另外的輸送設備 8輸送。另外的輸送設備8如箭頭C所示輸送分離的板型元件并能將它們供應到例如損傷檢測和分選站和/或用于進一步的加工。為了將板型元件從堆2移除，堆2隨著第一板型元件的第一表面4沿箭頭方向，即朝右被輸送，直到第一表面4與第一帶式傳送器設備6的帶接觸。第一帶式傳送器設備6 和第二帶式傳送器設備7的部分7. 1及7. 2被各自連接到真空泵VP。真空壓力借助于真空泵VP產生。該真空壓力在背離板型元件與第一帶式傳送器設備6或各個部分7. 1和部分 7. 2內的帶之間的接觸表面的一側處產生。為此，第一帶式傳送器設備6的帶在其面向堆2的一側上沿引導表面被引導。經(jīng)由未示出的管線系統(tǒng)被連接到真空泵VP的凹部形成在引導表面中。一類穿孔被形成在帶本身中。該類穿孔通過被引入帶中的凹部實現(xiàn)。例如，多個圓形穿孔能以均勻設計的類型被打孔至帶中。液池的周圍流體被真空泵VP抽取。如果堆2沿朝向第一帶式傳送器設備 6的方向被引導至第一表面4與帶接觸，則開口關閉，并且第一板型元件此時粘附到第一帶式傳送器設備6的帶上。因此，循環(huán)的帶沿箭頭A方向將板型元件拉離堆2并沿朝向第二帶式傳送器設備7的第一部分7. 1的方向將其輸送。由于第二帶式傳送器設備7及從而第一部分7. 1也被連接到真空泵VP，所以這里板型元件也被吸引抵靠帶。沿由箭頭A所示的輸送方向，第一帶式傳送器設備6的帶和第二帶式傳送器設備7的部分7. 1的帶被布置為相對于彼此偏置，然而，具有共同的傳送平面。這意味著，板型元件的吸引在板型元件的相同側上被執(zhí)行，也就是，在第一表面4的一側上。沿輸送方向A的間隔距離在本文中以這種方式被選擇，使得在第一帶式傳送器設備6和第二帶式傳送器設備7之間的過渡區(qū)域中，在給定時間，通過第一帶式傳送器設備6并通過第二帶式傳送器設備7發(fā)生吸引。在本文中， 第一帶式傳送器設備6的長度以這種方式被大致設定尺寸，使得第一板型元件與帶接觸的輸送長度被大致完全設置在液池中。當通過沖孔在第一帶式傳送器設備6的帶中產生凹部，并因此產生相對大的開口橫截面時，第二帶式傳送器設備7的部分7. 1的帶僅被提供有切口。因此，沒有沖出材料。 第一部分7. 1和相同方式的第二部分7. 2的帶因此事實上不再不能滲透空氣，并且，由于真空泵VP產生的真空壓力，實現(xiàn)板型元件的可靠粘附。相反地，同時，確保板型元件的整個表面在能起作用的真空壓力的區(qū)域中與帶接觸。因此，由于被提供在第一帶式傳送器設備6 的帶的凹部區(qū)域中，不存在沿真空壓力設備方向的暴露表面。這防止了凹部區(qū)域中表面的局部干燥。第二帶式傳送器設備7的第一部分7. 1的帶沿豎直方向進一步輸送板型元件，且具有與第一帶式傳送器設備6的傳送平面相同的傳送平面。只要保證可靠粘附在第一部分 7. 1的帶上，通過第一部分7. 1的輸送就能夠持續(xù)。在必須提供板型元件的接觸的區(qū)域中， 帶還穿過引導表面之上，引導表面中被提供有經(jīng)由進一步通道系統(tǒng)被連接到真空VP的開口。在某些時間，板型元件沿輸送方向的前邊緣到達第一部分7. 1的帶的端部。由于帶在滾筒上運行，且板型元件的剩余部分通過真空壓力和額外的粘附力仍被保持在帶上，所以圖1 中板型元件的沿豎直方向向上突出的端部現(xiàn)在上升。該端部現(xiàn)在在背離第一部分7. 1的帶的一側與第二部分7. 2的帶接觸。同樣，如上面已經(jīng)描述的，切口被引入帶中。由于在那里產生的真空壓力，現(xiàn)在實現(xiàn)在第二部分7. 2的帶上的可靠粘附。由于帶由同樣的驅動器驅動，所以它們以同樣的傳送速度運行。由此確保無縫傳遞到第二部分7. 2的帶上。并且，沿輸送方向A的距離以這種方式被選擇，使得在傳遞的時候，真空壓力通過第一部分7. 1并通過第二部分7. 2作用在板型元件上，雖然作用在不同表面上。在板型元件已經(jīng)通過沿方向A的進一步輸送被完全傳遞到第二帶式傳送器設備7 的第二部分7. 2之后，第二部分7.2在圖1中沿順時針方向被旋轉90°。第二部分7.1的傳送平面現(xiàn)在平行于另外的輸送設備8的輸送平面延伸。在本文中，第二部分7. 2能作為第二帶式傳送器設備的可旋轉部分圍繞其旋轉的旋轉軸承以這種方式被定位，使得形成在第二部分7. 2的帶與輸送設備之間的間隔距離稍微寬于板型元件的厚度。這確保導致機械應力的板型元件的夾住被避免。而且，如將在下文中更詳細地解釋的，通過帶7. 2的變形能有利地從第二部分7. 2的帶中釋放。為此，需要給定的移動路徑(movement play)。
圖2再一次示出分離器5的放大視圖。再次明顯看出，第一帶式傳送器設備6最初接收通過示例示出的板型元件12。板型元件12被設置為一個表面與第一帶式傳送器設備6的帶10接觸。在背離該板型元件的一側，帶10延伸至接觸引導表面。如已經(jīng)描述的， 經(jīng)由管線系統(tǒng)連接到真空泵VP的凹部被布置在引導面中。帶10以相似方式被設計成環(huán)形 (endless)傳送器帶并被安裝在兩個滾筒之間。滾筒被以能旋轉的方式安裝在第一旋轉軸承11. 1和第二旋轉軸承11. 2中，其中滾筒之一被連接到驅動系統(tǒng)，該驅動系統(tǒng)未在圖2中示出。以相似的方式，第二帶式傳送器設備7提供第一部分7. 1。并且，提供以環(huán)形方式形成的安裝在兩個滾筒上的帶。旋轉軸承14. 1和14. 2與兩個旋轉軸承11. 1和11. 2被設置在一直線中。滾筒直徑被選擇為相同尺寸，使得第一帶10和第二帶13提供共同的傳送平面。圖2中的附圖標記12’表示在隨后時間僅與第一部分7. 1的帶13接觸的板型元件。 板型元件12’以其第一表面25接觸帶13。背離帶13的第二表面沈被暴露并能例如通過未在圖2中示出的加濕設備被保護免于干燥。提供這種加濕設備的需求取決于各個應用。 帶10和13被同步驅動，使得沿箭頭A方向的進一步傳送由第二帶式傳送器設備7或最初由其第一部分7.1執(zhí)行。在更后面的時間，板型元件被設置在由12”表示的位置中。第二部分7. 2還提供第一旋轉軸承16. 1和第二旋轉軸承16. 2。兩個旋轉軸承16. 1和16. 2再次支撐滾筒，第二部分7. 2的帶15由滾筒拉緊和驅動。同時，第二部分7. 2作為整體以能旋轉方式圍繞第一旋轉軸承16. 1被布置。因此，傳送平面能優(yōu)選旋轉大約90°。應該注意的是，旋轉90°并不假設代表對本發(fā)明的限制。其由于另外的輸送設備 8 (將在下面更詳細地解釋)相對第一帶式傳送器設備6和第一部分7. 2的傳送平面旋轉 90°而改變方向。最初，第二部分7. 2如圖2中所示被以這種方式布置，使得第二部分7. 2 的傳送平面被形成為平行于第一帶式傳送器設備6或各個第一部分7. 2的傳送平面。在每種情況下，傳送平面為由被設置與板型元件12接觸的帶表面限定的平面。第二部分7. 2和第一部分7. 1的傳送表面因此提供允許板型元件12在不變形情況下被傳遞的間隔距離。同時，朝向第一部分7. 1的輸送路徑的端部，沿板型元件12”的輸送方向在前邊緣的突出部分已經(jīng)通過真空壓力被保持在第二部分7. 2的帶15上，沿輸送方向觀察，板型元件沿后邊緣方向面向更遠的部分也被第一部分7. 1保持。在板型元件12”已經(jīng)完全被輸送至第二部分7. 2的第一旋轉軸承16. 1和第二旋轉軸承16. 2之間的區(qū)域中之后，整個部分7. 2圍繞第一旋轉軸承16. 1旋轉，如圖2中的箭頭所示。由于板型元件12的第二表面沈與第二部分7. 2的帶15接觸，在此旋轉之后，第一表面25被平行于另外的輸送設備8的傳送裝置18的輸送表面20定向，如圖3中所示。 現(xiàn)在板型元件12可被放置在傳送裝置18上。傳送裝置18因此能夠通過進一步帶式傳送器設備或例如通過帶式齒輪實現(xiàn)。在圖1中所示的優(yōu)選布置中，其中輸送方向A沿豎直方向被提供，朝向進一步設備c的傳送方向沿水平方向被提供，從在第二部分7. 2的旋轉位置中的第二部分7. 2的帶15的釋放能夠通過重力產生。然而，由于表現(xiàn)在帶15和板型元件 12之間的粘附，在一些情況下，重力可能不足以將板型元件12從帶15可靠地釋放。因此， 支持釋放過程的可移動元件被提供在帶15的背離板型元件12”的一側處。這在下文中將參照圖如和圖4b進行解釋。為了可連接到真空泵VP的真空壓力管線的控制和形成，本身已知且因此不需要進一步解釋的可移動管線引導器17被提供。管線引導器17還能包含在電線旁邊的真空壓力管線。不同的管線引導器也是能想到的。在所述起始位置大致由另外的輸送設備8和第二部分7. 2限定的區(qū)域中，還提供一加濕設備22。加濕設備22包括多個噴嘴23和M。在圖2中，一些噴嘴，例如噴嘴23在這里以這種方式被定向，使得板型元件12”的第一表面25被加濕。相反，第二噴嘴M以這種方式被定向，使得板型元件12的第二表面沈可在進一步輸送路徑上被加濕。由于另外的輸送設備8不包含真空設備，因此設置在進一步傳送路徑之上的傳送裝置18上的表面的干燥與在需要用真空壓力操作的區(qū)域中相比顯著地沒有那么重要。因此，特別有利的是，以最初背離可旋轉部分7. 2的帶的表面25能被加濕的方式形成可旋轉部分7. 2。相反，在放置之后，最后借助真空壓力設備保持的表面被暴露并且還能被加濕。因此，板型元件的兩個表面能以簡單的方式被加濕。所示的示例性實施例中另外的輸送設備8的傳送裝置18也為帶傳送設備并在安裝在第一旋轉軸承19. 1和第二旋轉軸承19. 2中的滾筒上運行。在圖3中再次示出已經(jīng)描述的旋轉運動。明顯的是，第二帶式傳送器設備7的可旋轉部分7. 2被布置為平行于另外的輸送設備8。此外，提供在局部截面上的圖的區(qū)域顯示， 可移置設備被布置在帶15的背離待輸送的板型元件12的一側。在圖如和4b中再次放大顯示。在圖如中，第二部分7. 2已經(jīng)被設置在其旋轉位置。在此位置，帶15的引導板型元件12的部分已經(jīng)被布置為平行于傳送裝置18的輸送平面20。然而，在本文中，帶被布置為遠離傳送裝置18，使得板型元件12”不被夾在兩個傳送部分之間。在未在圖中示出的通道旁邊，保持室觀被引入第二部分7. 2的帶的引導部分中，該保持室觀還容納軸承16. 1和 16. 2。保持室觀能被形成為例如槽形，該保持室觀朝向帶15的傳送側打開并基本橫跨帶 15的寬度延伸。在該保持室觀中，彈性元件27被形成為可移置設備。彈性元件27為中空并且可填充有液體。只要彈性元件27未被填充，那么外部尺寸以彈性元件27被完全布置在保持室觀內的方式被選擇。帶能平坦地越過槽的打開側，槽通過真空壓力設備接觸部分 7. 2的引導部分。如果板型元件12”被輸送至其到達保持室觀的區(qū)域的位置，則需要傳遞到另外的輸送設備8。為此目的，彈性元件被填充?？蓧嚎s介質或不可壓縮介質能被用于填充。使用可壓縮介質提供的優(yōu)點在于真空泵能被同時用于填充彈性元件27。填充過程的結果是發(fā)生彈性元件27的體積擴大。由于在為填充條件下，彈性元件27的尺寸已經(jīng)被設計使得保持室觀被大部分占據(jù)，因此體積擴大導致彈性元件27的一部分在保持室觀的打開側露出。由于保持室觀的打開區(qū)域在實踐中由帶限定，因此帶發(fā)生變形，如圖4b中所示。當最初彈性元件27未填充時，板型元件12”的第二表面沈完全與帶15接觸，并且由真空壓力保持在那里，現(xiàn)在與帶15相比為剛性的板型元件12”不再可能全表面接觸。結果，板型元件12”從帶15釋放并承受重力而落到傳送裝置18上。應該注意的是，不需要完全剛性的元件12”。而且，由于帶15的提升，真空壓力被打破。此外，板型元件不需要通過在圖4b中被嚴重夸大的彎曲運動來釋放。相反，從帶15的后側作用在板型元件12上的短暫的推動也能引起板型元件的釋放。在這種情況下，如果處于未填充條件下的彈性元件27被設置在距離帶15微小間隔距離處，則是有利的?？梢浦迷O備的運動的精確控制和執(zhí)行能與板型元件12的相應彈性和發(fā)生的粘附力單獨地匹配。最終，圖5再次示出圖1至圖3中所顯示的分離器的從左側的視圖，其中第二部分7. 2被設置在其起始位置。在該視圖中，可以容易地看見第一帶式傳送器設備6的帶10提供了開口 30，通過開口 30在中央?yún)^(qū)域中還能看見被提供產生真空壓力的通道的出口。在圖 5中，僅以示意性方式表示帶15中的切口 31。為了改進視覺清晰度的緣故，在第二帶式傳送器設備7的第一部分中的帶13中沒有顯示切口。在左側，還能看見第一帶式傳送器設備 6的第一帶10和第二帶式傳送器設備7的第一部分7. 1的帶13借助共用的驅動器33被驅動。此外，用于驅動旋轉部分7. 2的旋轉運動的機械部分能在左側看到。這種機械啟動關于從起始位置到旋轉位置并再次回到原處的時鐘脈沖提供可靠的再生產和過程穩(wěn)定性的優(yōu)點。圖6和圖7分別表示可選擇的分離器5’，分離器5’可代替分離器5被使用。除了在下文解釋的一些不同之外，可替換代的分離器5’相當于分離器5。然而，未示出的分離器 5的元件以及這里未提及的元件在不改變的情況下被采用。與分離器5相比，可替代的分離器5’提供另外的輸送設備8’，該另外的輸送設備 8，被提供有與第二帶式傳送器設備7的間隔距離。取代第二部分7. 2，可選擇的分離器5’ 提供可替代的第二部分7. 2’?？商娲牡诙糠?. 2還提供第一旋轉軸承16. 1和第二旋轉軸承16. 2。在可替代的分離器5’中的兩個旋轉軸承16. 1和16. 2支撐滾筒，可替代的第二部分7. 2’的帶15 由滾筒拉緊和驅動。同時，可替代的第二部分7. 2’整體上以可旋轉的方式被布置為圍繞第一旋轉軸承16. 1。因此，在所示情況下被設置成垂直于圖的平面且在圖像中豎直的傳送平面能對應箭頭D優(yōu)選旋轉大約90°。在所示情況下可替代的第二部分7. 2’的傳送平面與第一帶式傳送器設備6由其是部分7. 1’的傳送平面相同。從所示位置開始，傳送平面沿順時針方向且對應于箭頭D旋轉大約90°。隨著可替代的第二部分7. 2’的這種轉動，傳送平面被帶入與另外的輸送設備8’的傳送平面相同的位置中。并且，應該注意的是，旋轉90° 不應該代表對本發(fā)明的限制。例如，還可以使用更小或更大的角度?？商娲牡诙糠?. 2’的第一旋轉軸承16. 1相對于第二部分7. 2的第一旋轉軸承16. 1被移置?？商娲牡诙糠?. 2’的第一旋轉軸承16. 1與第一部分7. 1的旋轉軸承14. 1和14. 2在一條線上并與第一帶式傳送器設備6的旋轉軸承11. 1和11. 2在一條線上。而且，旋轉軸承16. 1,14. 1、14. 2、11. 1和11. 2彼此平行地被定向。圖6中，可替代的第二部分7. 2’被以這種方式布置，使得可替代的第二部分7. 2’ 的傳送平面以與第一帶式傳送器設備6或各個第一部分7. 1的傳送平面相同的方式形成。 可替代的第二部分7. 2’和第一部分7. 1的傳送平面同樣一致并以相同的方式被定向，使得接觸表面在圖6中被設置在第一部分7. 1和可替代的第二部分7. 2’的左手側。在可替代的分離器5’中，第一帶式傳送器設備6、第一部分7. 1和可替代的第二部分7. 2’同樣各自提供它們自己的帶。所述帶可選擇性地如在分離器5中一樣被一起驅動，或者被單獨驅動以使得每個帶提供單獨的速度。借助于真空泵VP，在可替代的第二部分 7. 2’中在帶15的背離板型元件與帶15之間接觸表面的一側處也產生真空壓力?？商娲牡诙糠?. 2’的帶也不能滲透空氣，其中在由真空泵VP產生的真空壓力的基礎上實現(xiàn)板型元件的可靠粘附。也是在這種情況下，同時保證板型元件的表面在起作用的真空壓力的區(qū)域中與帶完全接觸。第一帶式傳送器設備6以及第二帶式傳送器設備7’均被連接到真空泵。第一帶式傳送器設備6的第一帶10仍提供第一開口 30，同時第二帶式傳送器設備7的第二帶15仍提供第二開口。在本文中，第二開口的開口橫截面小于第一開口的開口橫截面。第一帶的第一開口 30作為凹部被引入帶10中。第二帶中的第二開口作為切口 31被引入。在板型元件的輸送期間，板型元件沿輸送方向的前邊緣到達第一部分7. 1的端部。板型元件沿輸送方向的前邊緣現(xiàn)在在設置為與第一部分7. 1的帶接觸的一側與可替代的第二部分7. 2’的帶接觸。通過那里產生的真空壓力，現(xiàn)在在可替代的第二部分7. 2’的帶上產生可靠的粘附。由于帶由相同的驅動器驅動，如在分離器5的情況下一樣，它們以相同的傳送速度運行，由此保證無縫傳遞到可替代的第二部分7. 2’的帶。在傳遞的時刻，真空壓力通過第一部分7. 1和第二部分7. 2作用在板型元件的一個且相同的表面上。這意味著可旋轉、可替代的第二部分7. 2’和第一帶式傳送器設備6以這種方式被布置，使得由第一帶式傳送器設備6傳送的板型元件12以第一表面25接觸其帶10，由第二帶式傳送器設備7的可旋轉、可替代的第二部分7. 2’傳送的板型元件12同樣以第一表面25接觸可旋轉、 可替代的第二部分7. 2’的帶15。在將板型元件完全進一步輸送到第二帶式傳送器設備7的可替代的第二部分 7.2’上之后，可替代的第二部分7. 2沿順時針方向旋轉90°。可替代的第二部分7. 2’現(xiàn)在承擔圖2的示例性實施例的另外的輸送設備8的功能?？商娲牡诙糠?. 2’不需要用于帶15的偏轉的設備，因為通過第二部分的旋轉的放置利用重力且不需要在放置期間傳遞。因此，在所示的示例性實施例中的可替代的第二部分7. 2’不提供用于帶15的偏轉的設備。本發(fā)明不限于所示的示例性實施例。特別地，本發(fā)明的單獨的特征也能有利地彼此組合。如圖8A和圖8B中所示，為了便于將板型元件從堆2中分離，在設備1中布置分離噴嘴設備200和保持噴嘴設備60。分離噴嘴設備200被布置在堆2上方。保持噴嘴設備 60被布置，從堆2開始，直接在第一帶式傳送器設備6之后。分離噴嘴設備200提供在堆2之上打開至液池中的數(shù)個分離噴嘴200. 1-200. 4。 借助分離噴嘴200. 1-200. 4，在液池中產生液體噴射。在本文中，分離噴嘴200. 1-200.4 被以這種方式布置，使得液體噴射導致堆2中的板型元件的間隔。為此目的，分離噴嘴 200. 1-200. 4被以這種方式定向，使得液體噴射至少部分地基本平行于板型元件延伸。然而，同時，分離噴射200. 1-200. 4還以這種方式定向，使得液體噴射還提供垂直于板型元件并因此平行于堆2的傳送方向的部件。因此，液體以簡單的方式被引入板型元件之間。為了簡化借助分離器5或各個可替代的分離器5’將板型元件從堆2傳送，輔助噴嘴200. 5形成在分離噴嘴設備200中。輔助噴嘴200. 5同樣打開至液池中。由輔助噴嘴 200. 5在液池中產生的液體噴射在液池內垂直于板型元件并因此平行于堆2的傳送方向地泵送液體。該液體噴射已經(jīng)至少部分地朝向第一帶式傳送器設備6推動由第一帶式傳送器設備6移除的板型元件。保持噴嘴設備60形成為U形，其中U被設置在其中的平面被定位為垂直于圖8A中圖的平面并平行于堆2的傳送方向。如在圖8B中的平面圖中所示，U環(huán)繞第一帶式傳送器設備6。保持噴嘴設備60包括分別設置在U的每個端部的至少兩個保持噴嘴60. 1,60. 2， 保持噴嘴60. 1,60. 2打開至液池中并在液池內產生擠壓所述堆2的液體噴射，板型元件直接鄰近被直接設置為與第一帶式傳送器設備6直接接觸的那些板型元件且被后者從堆2直接移除。保持噴嘴60. 1,60. 2的液體噴射提供平行于堆2的傳送方向的部件。
權利要求
1.一種設備，用于用第一帶式傳送器設備(6)和第二帶式傳送器設備(7)將板型元件從堆( 分離，其中所述第一帶式傳送器設備(6)被提供用于在每種情況下接收來自于所述堆O)的一個板型元件(12)，并且所述第二帶式傳送器設備(7)被提供用于進一步輸送并用于將所述板型元件(12)放置在另外的輸送設備(8，8’ )上；其特征在于所述第一帶式傳送器設備(6)和所述第二帶式傳送器設備(7)被提供有用于產生真空壓力的設備(VP)，并且所述第一帶式傳送器設備(6)的第一帶(10)提供第一開口(30)，所述第二帶式傳送器設備(7)的第二帶(13，15)提供第二開口，其中所述第二開口的開口橫截面比所述第一開口的開口橫截面小。
2.根據(jù)權利要求1所述的設備， 其特征在于所述第一帶的所述第一開口(30)作為凹部被引入所述帶中。
3.根據(jù)權利要求1至2中任一項所述的設備， 其特征在于所述第二帶的所述第二開口作為切口(31)被引入。
4.根據(jù)權利要求1至3中任一項所述的設備， 其特征在于所述第二帶式傳送器設備(7)的至少一部分(7. 2)為能旋轉的，使得在起始位置，在該部分的區(qū)域中的傳送平面被定向為平行于所述第一帶傳送器(6)的傳送平面，并且在第二旋轉位置，與所述第一帶傳送器(6)的傳送平面圍起一角度。
5.根據(jù)權利要求4所述的設備， 其特征在于所述第二帶式傳送器設備(7)提供第一部分(7. 1)和第二部分(7.幻，其中所述第一部分(7. 1)的傳送平面與所述第一帶式傳送器設備(6)的傳送平面相同，并且所述第二部分 (7.2)以能旋轉的方式被布置。
6.根據(jù)權利要求4或5中任一項所述的設備， 其特征在于所述能旋轉部分(7. 和所述第一帶式傳送器設備(6)以這種方式被布置由所述第一帶式傳送器設備傳送的所述板型元件(1 以第一表面0 接觸所述第一帶式傳送器設備的帶(10)，由所述第二帶式傳送器設備(7)的所述能旋轉部分(7. 傳送的所述板型元件(1 用背離所述第一表面的第二表面06)接觸所述能旋轉部分(7. 的所述帶。
7.根據(jù)權利要求4或5中任一項所述的設備， 其特征在于所述能旋轉部分(7. 和所述第一帶式傳送器設備(6)以這種方式被布置由所述第一帶式傳送器設備(6)傳送的所述板型元件(1 用第一表面0 接觸所述第一帶式傳送器設備的帶(10)，由所述第二帶式傳送器設備(7)的所述能旋轉部分(7.2’ )傳送的所述板型元件(1 以相同的所述第一表面0 接觸所述能旋轉部分(7. 的所述帶。
8.根據(jù)權利要求4至7中任一項所述的設備， 其特征在于所述另外的輸送設備(8，8’)的輸送平面00)被設置平行于所述能旋轉部分(7. 2)在所述旋轉位置的傳送平面。
9.根據(jù)權利要求6所述的設備，其特征在于所述第二帶式傳送器設備(7)的所述能旋轉部分(7. 2)和所述另外的輸送設備(8)以這種方式相對于彼此被定向所述能旋轉部分(7. 2)的所述帶(1 和所述另外的輸送設備 (8)的傳送器裝置(18)被設置成在所述第二帶式傳送器設備(7)的所述部分(7. 2)的所述旋轉位置彼此相對。
10.根據(jù)權利要求6至9中任一項所述的設備，其特征在于加濕設備02)被布置在所述另外的輸送設備(8，8’ )和所述能旋轉部分(7. 2,7. 2’ ) 的區(qū)域中。
11.根據(jù)權利要求6所述的設備，其特征在于在所述帶(1 的背離輸送側的一側上，所述第二帶式傳送器設備(7)提供用于所述帶 (15)的偏轉的可移置設備(27)。
12.根據(jù)權利要求11所述的設備，其特征在于所述可移置設備07)提供布置在保持室08)中的彈性元件，該彈性元件填充有液體以使所述彈性元件擴大。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于將盤形元件從堆(2)中分離的設備。所述設備具有第一帶式傳送器設備(6)和第二帶式傳送器設備(7)。所述第一帶式傳送器設備(6)被提供用于在每種情況下接收來自于所述堆(2)的一個盤型元件。所述第二帶式傳送器設備(7)被提供用于進一步輸送并用于將所述盤型元件放置在通向更遠的輸送設備(8)上。所述第一帶式傳送器設備(6)和所述第二帶式傳送器設備(7)被連接到產生真空的設備(VP)。所述第一帶式傳送器設備(6)的第一帶具有第一開口，所述第二帶式傳送器設備(7)的第二帶具有第二開口，所述第二開口的開口橫截面比所述第一開口的開口橫截面小。
文檔編號B65H3/12GK102369151SQ201080008649
公開日2012年3月7日 申請日期2010年2月19日 優(yōu)先權日2009年2月20日
發(fā)明者波利斯·馬茨納, 貝恩哈德·布拉因 申請人:Amb阿帕帕蒂+機械有限公司