專利名稱：基板輸送裝置及基板輸送方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及水平地輸送被處理基板的基板輸送裝置及基板輸送方法。
背景技術(shù)：
例如，在FPD (平板顯示器)的制造中，進(jìn)行通過(guò)所謂的光刻工序來(lái)形成電路圖案的作業(yè)。上述光刻工序具體來(lái)說(shuō)如下這樣進(jìn)行。首先，在玻璃基板等被處理基板上形成規(guī)定的膜，之后，涂布作為處理液的光致抗蝕劑(以下稱作抗蝕劑)并形成抗蝕劑膜。然后，與電路圖案相對(duì)應(yīng)地對(duì)抗蝕劑膜進(jìn)行曝光，并對(duì)曝光后的抗蝕劑膜進(jìn)行顯影處理。但是，近年來(lái)，在該光刻工序中，出于提高生產(chǎn)率的目的，多采用一邊以大致水平姿勢(shì)的狀態(tài)輸送被處理基板一邊對(duì)該被處理基板的被處理面實(shí)施抗蝕劑的涂布、干燥、加熱、冷卻處理等各個(gè)處理的結(jié)構(gòu)。作為上述基板輸送的結(jié)構(gòu)，以大致水平姿勢(shì)的狀態(tài)使基板浮起到規(guī)定的高度并沿基板輸送方向進(jìn)行輸送的懸浮輸送備受關(guān)注。采用該懸浮輸送的基板輸送裝置，如專利文獻(xiàn)1所公開(kāi)地那樣例如被用于抗蝕劑涂布處理裝置中。根據(jù)圖8說(shuō)明該以往的構(gòu)成例。另外，圖8的(a) 圖8的(c)是表示基板輸送裝置的動(dòng)作狀態(tài)的圖。圖8的基板輸送裝置200具有懸浮用載物臺(tái)201，其用于沿X軸方向懸浮輸送作為被處理基板的玻璃基板G (例如LCD用的基板)；一對(duì)導(dǎo)軌202，其在上述玻璃基板G的行進(jìn)方向上鋪設(shè)在懸浮用載物臺(tái)201的左右兩側(cè)；4個(gè)基板載持件203，其從下方吸附保持玻璃基板G的四個(gè)角附近，并在導(dǎo)軌202上滑動(dòng)移動(dòng)。在懸浮用載物臺(tái)201的上表面上以規(guī)定間隔交替地分別設(shè)有用于向上方噴射規(guī)定的氣體的多個(gè)氣體噴射口 201a和用于進(jìn)行吸氣的多個(gè)吸氣口 201b。而且，通過(guò)使從氣體噴射口 201a噴射出的氣體噴射量與從吸氣口 201b吸入的氣體量之間的壓力負(fù)荷為恒定， 而使玻璃基板G從懸浮用載物臺(tái)201的表面上浮起至規(guī)定的高度。另外，在懸浮用載物臺(tái)201的基板搬入位置H處，在懸浮用載物臺(tái)201的左右兩側(cè)設(shè)有分別與搬入的玻璃基板G的四個(gè)角相對(duì)應(yīng)的4個(gè)對(duì)準(zhǔn)裝置204，通過(guò)使各個(gè)對(duì)準(zhǔn)裝置 204工作而將玻璃基板G配置在規(guī)定位置。另外，為了將該基板輸送裝置200應(yīng)用于涂布處理裝置，如圖所示，該基板輸送裝置200具有橫跨玻璃基板G的左右方向(寬度方向)地配置的抗蝕劑噴嘴205，該抗蝕劑噴嘴205用于向被在懸浮用載物臺(tái)201上懸浮輸送的玻璃基板G的表面供給抗蝕劑液。在這樣構(gòu)成的基板輸送裝置200中，針對(duì)從前工序的裝置輸送來(lái)的玻璃基板G，在基板輸送開(kāi)始前由對(duì)準(zhǔn)裝置204進(jìn)行對(duì)位作業(yè)(稱作對(duì)準(zhǔn))。關(guān)于該對(duì)準(zhǔn)工序，根據(jù)圖8的 (a)、(b)、(c)及圖9的流程圖進(jìn)行說(shuō)明。首先，沿著導(dǎo)軌202完成了 1張玻璃基板G的輸送的基板載持件203，為了接收下一個(gè)輸送來(lái)的玻璃基板G而如圖8的(a)所示那樣返回到懸浮用載物臺(tái)201的基板搬入位置H處待機(jī)(圖9的步驟SPl)。接著，如圖8的(b)所示，當(dāng)搬入新的玻璃基板G時(shí)，對(duì)準(zhǔn)裝置204的觸手部20 上升至在懸浮用載物臺(tái)201上懸浮的玻璃基板G的高度，并且開(kāi)始向玻璃基板G側(cè)(即內(nèi)側(cè))移動(dòng)而與玻璃基板G的四個(gè)角相接近(圖9的步驟SP2)。由此，對(duì)準(zhǔn)裝置204的觸手部20 與玻璃基板G的四個(gè)角相接觸，玻璃基板G被按壓并移動(dòng)到規(guī)定位置，進(jìn)行對(duì)位。當(dāng)玻璃基板G的該對(duì)位完成時(shí)，基板載持件203的吸盤(pán) 203a上升，如圖8的(c)所示那樣吸附保持玻璃基板G的四個(gè)角(圖9的步驟SP3)。另外，由于玻璃基板G被基板載持件203保持時(shí)，玻璃基板G的位置不會(huì)發(fā)生偏移，因此，對(duì)準(zhǔn)裝置204的觸手部20 從玻璃基板G離開(kāi)而向待機(jī)位置返回(圖9的步驟 SP4)。然后，基板載持件203沿著導(dǎo)軌202向X方向移動(dòng)，從而在懸浮用載物臺(tái)201上輸送玻璃基板G，在玻璃基板G通過(guò)抗蝕劑噴嘴205的下方時(shí)，進(jìn)行抗蝕劑液的涂布(圖9的步驟SP5)。然后，在輸送了玻璃基板G后，基板載持件203返回至基板搬入位置H，置于待機(jī)位置(圖9的步驟SPl)。專利文獻(xiàn)1 日本特開(kāi)2006-237482號(hào)公報(bào)如上所述，在玻璃基板G的對(duì)準(zhǔn)中，在利用對(duì)準(zhǔn)裝置204的觸手部20 將玻璃基板G保持在規(guī)定位置的狀態(tài)下，進(jìn)行基板載持件203的吸附保持。因此，使玻璃基板G的位置不偏移就能夠由基板載持件203輸送基板。但是，在上述基板輸送裝置200的結(jié)構(gòu)中，存在這樣的技術(shù)課題在基板載持件 203返回到基板搬入位置H之前實(shí)施下一個(gè)輸送來(lái)的玻璃基板G的對(duì)準(zhǔn)時(shí)，向基板搬入位置 H返回的基板載持件203與對(duì)準(zhǔn)裝置204的觸手部20 相干涉。因此，以往，如上述圖9的流程圖說(shuō)明的那樣，在完成了基板輸送的基板載持件 203返回到基板搬入位置H之后進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)裝置204的對(duì)準(zhǔn)作業(yè)。但是，在該情況下，存在這樣的技術(shù)課題在懸浮用載物臺(tái)201上輸送1張玻璃基板G之后，如果不等待基板載持件203返回到基板搬入位置H的時(shí)間和對(duì)準(zhǔn)的時(shí)間，就不能開(kāi)始下一個(gè)基板的輸送，生產(chǎn)率降低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是鑒于如上所述的以往技術(shù)的問(wèn)題點(diǎn)而做成，其提供在以張的形式1張 1張地水平地輸送被處理基板的基板處理裝置中能夠縮短從基板搬入到輸送開(kāi)始的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間并提高生產(chǎn)率的基板輸送裝置及基板輸送方法。為了解決上述課題，本發(fā)明的基板輸送裝置為以張的形式1張1張地水平輸送基板的基板處理裝置，其特征在于，該基板輸送裝置具有懸浮用載物臺(tái)，其利用氣體的噴射使上述基板懸浮；導(dǎo)軌，其配置在上述懸浮用載物臺(tái)的側(cè)方；基板載持件，其設(shè)置為能沿著上述導(dǎo)軌移動(dòng)，能夠從下方吸附保持上述基板的邊緣部；對(duì)準(zhǔn)部件，其設(shè)置為相對(duì)于被搬入到上述懸浮用載物臺(tái)的基板搬入位置的上述基板從待機(jī)位置到規(guī)定位置自由進(jìn)退，與上述基板相接觸而將該基板配置在規(guī)定位置；基板支承部件，其在上述懸浮用載物臺(tái)的基板搬入位置處從該基板的下方支承被上述對(duì)準(zhǔn)部件配置在規(guī)定位置的上述基板；控制部，其用于控制上述基板載持件、上述對(duì)準(zhǔn)部件及上述基板支承部件的動(dòng)作；上述控制部進(jìn)行控制， 使得在完成了基板輸送的上述基板載持件返回到上述懸浮用載物臺(tái)的基板搬入位置的期間內(nèi)，上述對(duì)準(zhǔn)部件進(jìn)行將上述基板配置在規(guī)定位置的對(duì)位，而且上述基板支承部件從下方支承被對(duì)位后的上述基板，并且上述對(duì)準(zhǔn)部件返回到與上述基板載持件不相干涉的待機(jī)位置。這樣，因?yàn)榫哂杏糜跁簳r(shí)保持對(duì)準(zhǔn)工序后的被處理基板的基板支承部件，所以在基板載持件返回至懸浮用載物臺(tái)的基板搬入位置之前就能夠?qū)嵤┗宓膶?duì)準(zhǔn)。S卩，不需要像以往那樣在基板載持件返回到懸浮用載物臺(tái)的基板搬入位置之后再進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)，基板載持件一返回到基板搬入位置就能夠馬上保持基板并開(kāi)始輸送基板，因此能夠縮短從基板搬入到輸送開(kāi)始的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間并提高生產(chǎn)率。另外，為了解決上述課題，本發(fā)明的基板輸送方法是在基板輸送裝置中以張的形式1張1張地水平輸送基板的基板輸送方法，該基板輸送裝置具有懸浮用載物臺(tái)，其利用氣體的噴射使基板懸?。粚?dǎo)軌，其配置在上述懸浮用載物臺(tái)的側(cè)方；基板載持件，其設(shè)置為能沿著上述導(dǎo)軌移動(dòng)，能夠從下方吸附保持上述基板的邊緣部；對(duì)準(zhǔn)部件，其設(shè)置為相對(duì)于被搬入到上述懸浮用載物臺(tái)的基板搬入位置的上述基板從待機(jī)位置到規(guī)定位置自由進(jìn)退， 與上述基板相接觸而將該基板配置在規(guī)定位置；基板支承部件，其在上述懸浮用載物臺(tái)的基板搬入位置處從該基板的下方支承被上述對(duì)準(zhǔn)部件配置在規(guī)定位置的上述基板；控制部，其用于控制上述基板載持件、上述對(duì)準(zhǔn)部件及上述基板支承部件的動(dòng)作；其特征在于， 該基板輸送方法包含以下工序在沿著上述導(dǎo)軌完成了基板輸送的上述基板載持件為了接收下一個(gè)輸送來(lái)的基板而返回至上述懸浮用載物臺(tái)的基板搬入位置的期間內(nèi)，利用上述對(duì)準(zhǔn)部件進(jìn)行將新搬入到上述懸浮用載物臺(tái)上的基板搬入位置的基板配置在規(guī)定位置的對(duì)位；利用上述基板支承部件從下方支承被對(duì)位后的上述基板；在利用上述基板支承部件支承上述基板的狀態(tài)下，使上述對(duì)準(zhǔn)部件返回到待機(jī)位置。采用這種方法，利用基板支承部件能夠暫時(shí)保持對(duì)準(zhǔn)后的被處理基板，因此，在基板載持件返回到懸浮用載物臺(tái)的基板搬入位置之前就能夠?qū)嵤┗宓膶?duì)準(zhǔn)。S卩，不需要像以往那樣在基板載持件返回到懸浮用載物臺(tái)的基板搬入位置之后再進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)，基板載持件一返回到基板搬入位置就能夠馬上保持基板并開(kāi)始輸送，因此能夠縮短從基板搬入到輸送開(kāi)始的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間并提高生產(chǎn)率。采用本發(fā)明，能夠獲得在以張的形式1張1張地水平輸送被處理基板的基板處理裝置中能夠縮短從基板搬入到輸送開(kāi)始的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間并提高生產(chǎn)率的基板輸送裝置及基板輸送方法。


圖1是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板輸送裝置的整體概略結(jié)構(gòu)的俯視圖。圖2是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板輸送裝置的整體概略結(jié)構(gòu)的剖視圖。圖3是圖2的基板輸送裝置的A-A向視剖視圖。圖4是圖2的基板輸送裝置的B-B向視剖視圖。圖5是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板輸送裝置的動(dòng)作的流程圖。
圖6是用于說(shuō)明本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板輸送裝置的動(dòng)作的俯視圖。圖7是用于說(shuō)明本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板輸送裝置的動(dòng)作的俯視圖。圖8是用于說(shuō)明以往的基板輸送裝置的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖。圖9是表示以往的基板輸送裝置的動(dòng)作的流程的流程圖。圖10是本發(fā)明的第2實(shí)施方式的基板輸送裝置的整體結(jié)構(gòu)的俯視圖。圖11是本發(fā)明的分揀器的俯視圖。圖12是本發(fā)明的分揀器的側(cè)視圖。圖13是與本發(fā)明的吸盤(pán)相連接的配管結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。圖14是本發(fā)明的對(duì)準(zhǔn)部件的俯視圖。圖15是本發(fā)明的對(duì)準(zhǔn)部件的側(cè)視圖。圖16是本發(fā)明的基板載持件的側(cè)視圖。圖17是與本發(fā)明的吸附構(gòu)件相連接的配管結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。圖18是本發(fā)明的載持件支承件的側(cè)視圖。圖19是與本發(fā)明的載持件支承件相連接的配管結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。圖20是本發(fā)明的第3實(shí)施方式的對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)的說(shuō)明圖。圖21是本發(fā)明的第1和第2實(shí)施方式的對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)的說(shuō)明圖。
具體實(shí)施例方式以下，根據(jù)圖1 圖7說(shuō)明本發(fā)明的基板輸送裝置的第1實(shí)施方式。另外，在該第 1實(shí)施方式中，以將基板輸送裝置應(yīng)用于對(duì)作為被處理基板的玻璃基板進(jìn)行抗蝕劑涂布的抗蝕劑涂布處理單元的情況為例進(jìn)行說(shuō)明。該基板輸送裝置1具有懸浮輸送部2A，其用于以張的形式1張1張地懸浮輸送玻璃基板G ；滾輪輸送部2B，其從上述懸浮輸送部2A接收玻璃基板G并進(jìn)行滾輪輸送；該基板輸送裝置1構(gòu)成為所謂的水平輸送玻璃基板G。在上述懸浮輸送部2A上設(shè)有沿作為基板輸送方向的X方向延伸的懸浮用載物臺(tái) 3。如圖所示，在懸浮用載物臺(tái)3的上表面上，沿X方向和Y方向以規(guī)定間隔交替地設(shè)有多個(gè)氣體噴出口 3a和氣體吸入口 3b，通過(guò)使來(lái)自氣體噴出口 3a的不活性氣體的噴出量與從氣體吸入口北吸入的氣體量之間的壓力負(fù)荷為恒定，來(lái)使玻璃基板G懸浮。另外，在該第1 實(shí)施方式中，利用氣體的噴出及吸入使玻璃基板G懸浮，但是并不限定于此，也可以僅利用氣體噴出的結(jié)構(gòu)來(lái)使基板懸浮。另外，在上述懸浮用載物臺(tái)3的寬度方向(Y方向)的左右側(cè)方設(shè)有沿X方向平行地延伸的一對(duì)導(dǎo)軌5。在該一對(duì)導(dǎo)軌5上，設(shè)有從下方吸附保持玻璃基板G的四個(gè)角的邊緣部并在導(dǎo)軌5上移動(dòng)的4個(gè)基板載持件6。利用這些基板載持件6使懸浮在懸浮用載物臺(tái) 3上的玻璃基板G沿輸送方向移動(dòng)。另外，為了順利地進(jìn)行從懸浮輸送部2A向滾輪輸送部 2B移交基板，導(dǎo)軌5不僅設(shè)置在懸浮用載物臺(tái)3的左右側(cè)方，還延伸設(shè)置到滾輪輸送部2B 的側(cè)方。如圖3所示，各個(gè)基板載持件6包括設(shè)置為能夠沿著導(dǎo)軌5移動(dòng)的滑動(dòng)構(gòu)件6a ； 通過(guò)吸引、放開(kāi)動(dòng)作能夠吸附于玻璃基板G的下表面的吸附構(gòu)件6b ；用于使吸附構(gòu)件6b升降移動(dòng)的缸體驅(qū)動(dòng)部6c。
另外，在吸附構(gòu)件6b上連接有吸引泵(未圖示)，通過(guò)吸引與玻璃基板G接觸的區(qū)域的空氣來(lái)使該區(qū)域接近真空狀態(tài)，從而使吸附構(gòu)件6b吸附于玻璃基板G上。另外，利用由計(jì)算機(jī)構(gòu)成的控制部50分別控制上述滑動(dòng)構(gòu)件6a、缸體驅(qū)動(dòng)部6c及上述吸引泵的驅(qū)動(dòng)。另外，如圖1、圖2所示，在懸浮用載物臺(tái)3上的從前工序的裝置搬入玻璃基板G的位置(基板搬入位置H)處，進(jìn)行將搬入的玻璃基板G配置在規(guī)定位置的對(duì)位作業(yè)(對(duì)準(zhǔn))。 因此，在懸浮用載物臺(tái)3的基板搬入位置H的左右兩側(cè)，以與玻璃基板G的四個(gè)角分別對(duì)應(yīng)的方式設(shè)有4個(gè)對(duì)準(zhǔn)裝置7。各個(gè)對(duì)準(zhǔn)裝置7具有設(shè)置為能夠分別從側(cè)方接近并接觸玻璃基板G的四個(gè)角(角部)的觸手構(gòu)件7a(對(duì)準(zhǔn)部件)。另外，為了使上述觸手構(gòu)件7a能夠與玻璃基板G的四個(gè)角相接觸，如圖4所示，各個(gè)對(duì)準(zhǔn)裝置7具有用于使觸手構(gòu)件7a升降的缸體驅(qū)動(dòng)部7b和用于使觸手構(gòu)件7a相對(duì)于玻璃基板G水平(沿Y方向)地進(jìn)退移動(dòng)的缸體驅(qū)動(dòng)部7c。另外， 利用控制部50來(lái)控制上述缸體驅(qū)動(dòng)部7b、7c的驅(qū)動(dòng)。另外，在該基板輸送裝置1中具有能夠升降的支承銷(xiāo)機(jī)構(gòu)8 (基板支承部件)，該支承銷(xiāo)機(jī)構(gòu)8用于從下方支承利用對(duì)準(zhǔn)裝置7對(duì)位后的玻璃基板G。該支承銷(xiāo)機(jī)構(gòu)8分別設(shè)置于在懸浮用載物臺(tái)3的基板搬入位置H處對(duì)位后的玻璃基板G的四個(gè)角附近。具體來(lái)說(shuō)，如圖2、圖4所示，各個(gè)支承銷(xiāo)機(jī)構(gòu)8具有設(shè)置為能夠從懸浮用載物臺(tái)3 的表面向上方僅突出規(guī)定尺寸(例如0.5mm)的支承銷(xiāo)8a和用于使支承銷(xiāo)8a升降移動(dòng)的缸體驅(qū)動(dòng)部8b (升降驅(qū)動(dòng)部)。另外，利用控制部50來(lái)控制缸體驅(qū)動(dòng)部8b的驅(qū)動(dòng)。另外，在基板輸送裝置1的懸浮用載物臺(tái)3上設(shè)有用于向玻璃基板G噴出抗蝕劑液的噴嘴9。噴嘴9形成為沿著Y方向較長(zhǎng)的例如大致長(zhǎng)方體形狀。另外，噴嘴9例如形成為比玻璃基板G的Y方向的寬度長(zhǎng)。如圖2所示，在噴嘴9的下端部形成有狹縫狀的噴出口 9a，從抗蝕劑液供給源(未圖示)向該噴嘴9供給抗蝕劑液。如圖1所示，在噴嘴9的兩側(cè)形成有沿X方向延伸的導(dǎo)軌10。利用在導(dǎo)軌10上移動(dòng)的噴嘴臂11保持噴嘴9。該噴嘴9利用具有噴嘴臂11的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠沿著導(dǎo)軌10向X 方向移動(dòng)。另外，在噴嘴臂11上設(shè)有升降機(jī)構(gòu)，噴嘴9能夠升降至規(guī)定的高度。通過(guò)該結(jié)構(gòu)， 如圖2所示，噴嘴9能夠在向玻璃基板G噴出抗蝕劑液的噴出位置與位于該噴出位置上游側(cè)的旋轉(zhuǎn)輥12及待機(jī)部14之間移動(dòng)。上述旋轉(zhuǎn)輥12能夠繞軸線旋轉(zhuǎn)地容納在清洗容器13內(nèi)。另外，在清洗圖2所示的噴嘴9的噴出口 9a時(shí)，使噴嘴9的噴出口 9a與旋轉(zhuǎn)輥12 的最上部接近。然后，一邊使旋轉(zhuǎn)輥12旋轉(zhuǎn)一邊從噴出口 9a向旋轉(zhuǎn)輥12噴出抗蝕劑液， 從而噴嘴9的噴出口 9a中的抗蝕劑液的附著狀態(tài)一致。由此，能夠使噴嘴9的噴出口 9a 中的抗蝕劑液的噴出狀態(tài)穩(wěn)定。在上述旋轉(zhuǎn)輥12的更靠上游側(cè)設(shè)有噴嘴9的待機(jī)部14。該待機(jī)部14例如具有清洗噴嘴9的功能、防止噴嘴9干燥的功能。另外，如上所述，在上述懸浮輸送部2A的后一級(jí)設(shè)有滾輪輸送部2B。在該滾輪輸送部2B上，在懸浮用載物臺(tái)3的后一級(jí)并列設(shè)有被滾輪驅(qū)動(dòng)部25旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的多根滾輪軸 16。在各個(gè)滾輪軸16上安裝有多個(gè)輸送滾輪17，利用這些輸送滾輪17的旋轉(zhuǎn)來(lái)輸送玻璃
8基板G。接著，沿著圖5的流程圖及圖6、7說(shuō)明這樣構(gòu)成的基板輸送裝置1中的對(duì)玻璃基板G進(jìn)行的對(duì)準(zhǔn)工序。在基板輸送裝置1中，利用基板載持件6將玻璃基板G 1張1張地輸送到懸浮用載物臺(tái)3上，對(duì)玻璃基板G的表面涂布從噴嘴9噴出的抗蝕劑液。然后，將在懸浮用載物臺(tái)3上輸送的玻璃基板G移交到滾輪輸送部2B上，基板載持件6為了接收下一個(gè)輸送到懸浮用載物臺(tái)3上的玻璃基板G而開(kāi)始返回至基板搬入位置 H(圖5的步驟Si)。 另一方面，如圖6的(a)所示，在懸浮用載物臺(tái)3的基板搬入位置H處新搬入玻璃基板G。在此，在懸浮用載物臺(tái)3上從氣體噴出口 3a噴出不活性氣體并從氣體吸入口北吸入不活性氣體，從而形成不活性氣體的氣流。利用形成在懸浮用載物臺(tái)3上的上述不活性氣體的氣流從下方支承上述搬入的玻璃基板G。利用缸體驅(qū)動(dòng)部7b使對(duì)準(zhǔn)裝置7的觸手構(gòu)件7a相對(duì)于上述新搬入的玻璃基板G 上升至玻璃基板G的懸浮高度，并利用缸體驅(qū)動(dòng)部7c使對(duì)準(zhǔn)裝置7的觸手構(gòu)件7a以與玻璃基板G的四個(gè)角的角部相接觸的方式水平移動(dòng)。由此，玻璃基板G移動(dòng)到懸浮用載物臺(tái) 3上的規(guī)定位置并進(jìn)行對(duì)位(同樣地為圖5的步驟Si)。這樣，在本實(shí)施方式中，如圖6的 (b)所示，在基板載持件6返回到基板搬入位置H之前實(shí)施對(duì)準(zhǔn)。當(dāng)完成了對(duì)搬入的玻璃基板G進(jìn)行的對(duì)準(zhǔn)時(shí)，在4個(gè)支承銷(xiāo)機(jī)構(gòu)8中，支承銷(xiāo)8a利用缸體驅(qū)動(dòng)部8b上升移動(dòng)，利用4根支承銷(xiāo)8a從下方支承玻璃基板G(圖5的步驟S2)。當(dāng)利用支承銷(xiāo)8a將玻璃基板G保持在規(guī)定位置時(shí)，如圖6的(c)所示，利用缸體驅(qū)動(dòng)部7b使對(duì)準(zhǔn)裝置7的觸手構(gòu)件7a下降移動(dòng)，再利用缸體驅(qū)動(dòng)部7c使對(duì)準(zhǔn)裝置7的觸手構(gòu)件7a向玻璃基板G的左右方向移動(dòng)而使其向待機(jī)位置返回(圖5的步驟S； )。另外， 該對(duì)準(zhǔn)裝置7的待機(jī)位置位于與基板載持件6不相干涉的位置。在此，在上述步驟S3之后，雖然對(duì)準(zhǔn)裝置7返回到待機(jī)位置，但玻璃基板G被支承銷(xiāo)8a從下方支承，因此玻璃基板G不會(huì)因形成在懸浮用載物臺(tái)3上的不活性氣體的氣流而移動(dòng)。即，玻璃基板G不會(huì)發(fā)生位置偏移地被保持在規(guī)定位置。另外，玻璃基板G由于被形成在上述懸浮用載物臺(tái)3上的不活性氣體的氣流從下方支承，所以不會(huì)彎曲。當(dāng)對(duì)準(zhǔn)裝置7的觸手構(gòu)件7a如上述步驟S3所述那樣可靠地返回到其待機(jī)位置時(shí)，基板載持件6與對(duì)準(zhǔn)裝置7不相干涉就完成向基板搬入位置H的移動(dòng)。返回到基板搬入位置H的基板載持件6的吸附構(gòu)件6b利用缸體驅(qū)動(dòng)部6c上升移動(dòng)，如圖7的(a)所示，利用吸附構(gòu)件6b從下方吸附保持玻璃基板G的邊緣部(圖5的步驟 S4)。另外，當(dāng)利用基板載持件6保持玻璃基板G時(shí)，控制部50利用缸體驅(qū)動(dòng)部8b使各個(gè)支承銷(xiāo)機(jī)構(gòu)8的支承銷(xiāo)8a下降移動(dòng)，解除支承銷(xiāo)8a的支承狀態(tài)。然后，如圖7的(b)所示，利用基板載持件6使玻璃基板G沿著導(dǎo)軌5在懸浮用載物臺(tái)3上移動(dòng)(圖5的步驟SQ，并從噴嘴9噴出抗蝕劑液，在基板表面上涂布抗蝕劑液。如上所述，采用本發(fā)明的第1實(shí)施方式，由于具有用于暫時(shí)保持對(duì)準(zhǔn)后的玻璃基板G的支承銷(xiāo)機(jī)構(gòu)8，因此，在基板載持件6返回到懸浮用載物臺(tái)3的基板搬入位置H之前就能夠?qū)嵤┫乱粋€(gè)搬入的玻璃基板G的對(duì)準(zhǔn)。
即，不需要像以往那樣在基板載持件6返回到懸浮用載物臺(tái)3的基板搬入位置H 后再實(shí)施下一個(gè)輸送來(lái)的玻璃基板G的對(duì)準(zhǔn)，基板載持件6 —返回到基板搬入位置H就能夠立即利用基板載持件6保持玻璃基板G并開(kāi)始輸送，因此能夠縮短從基板搬入到輸送開(kāi)始的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間并提高生產(chǎn)率。接著，說(shuō)明本發(fā)明的基板輸送裝置的第2實(shí)施方式。另外，對(duì)于與上述第1實(shí)施方式相同的地方，省略說(shuō)明。在圖10中示出了第2實(shí)施方式的基板輸送裝置61。在圖10中，沿X方向輸送玻璃基板G。在懸浮輸送部2A的前一級(jí)側(cè)(基板輸送方向的上游側(cè))設(shè)有滾輪輸送部2C。滾輪輸送部2C在懸浮用載物臺(tái)3的前一級(jí)并列設(shè)有被滾輪驅(qū)動(dòng)部62旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的多根滾輪軸 63。在各個(gè)滾輪軸63上設(shè)有輸送滾輪64。另外，基板輸送裝置61具有用于將輸送滾輪64上的玻璃基板G輸送到懸浮用載物臺(tái)3上的基板輸送部件、例如分揀器(sorter)65。如圖10 12所示，分揀器65具有用于吸附保持玻璃基板G的吸盤(pán)66、用于使吸盤(pán)66升降的吸盤(pán)升降部件67、用于使吸盤(pán)66 和吸盤(pán)升降部件67沿X方向移動(dòng)的吸盤(pán)移動(dòng)部件68。另外，如圖13所示，吸盤(pán)66借助配管85與吸引泵86相連接。另外，在配管85的中途設(shè)有用于雙向切換流路的三通閥87，而且，在吸盤(pán)66與三通閥87之間設(shè)有自由開(kāi)閉的兩通閥88。配管89的一端與該三通閥87 相連接，配管89的另一端與加壓氣體供給源90相連接。因而，通過(guò)打開(kāi)兩通閥88并切換三通閥87，能夠使吸盤(pán)66與吸引泵86相連接并吸附保持玻璃基板G或者使吸盤(pán)66與加壓氣體供給源90相連接而向吸盤(pán)66供給加壓氣體來(lái)解除玻璃基板G的吸附。另外，利用由計(jì)算機(jī)構(gòu)成的控制部50分別控制吸盤(pán)升降部件67、吸盤(pán)移動(dòng)部件68、三通閥87、兩通閥88 的驅(qū)動(dòng)。另外，在本實(shí)施方式中，在懸浮用載物臺(tái)3上，與玻璃基板G的四個(gè)角分別對(duì)應(yīng)地分別配置有用于將搬入的玻璃基板G對(duì)位到規(guī)定的位置的作為對(duì)準(zhǔn)部件的對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)69、70、 71、72，針對(duì)玻璃基板G的四個(gè)角的每個(gè)角分別配置兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)部件。如圖10、14所示，對(duì)準(zhǔn)部件具有用于使對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)69、70、71、72沿與玻璃基板G的各個(gè)邊正交的方向移動(dòng)的對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)移動(dòng)部件73。另外，在隔著玻璃基板G與對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)69相對(duì)的對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)70上，在對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)移動(dòng)部件73與對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)70之間設(shè)有能自由伸縮的彈簧74，以避免在除了對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)移動(dòng)部件73之外對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)70也與玻璃基板G接觸時(shí)，對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)移動(dòng)部件73對(duì)玻璃基板G施加的負(fù)荷過(guò)大。在隔著玻璃基板G與對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)71相對(duì)的對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)72上，也同樣地在對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)72與對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)移動(dòng)部件73之間設(shè)有彈簧74。另外，如圖15所示，對(duì)準(zhǔn)部件具有用于使對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)69、70、71、72、彈簧74及對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)移動(dòng)部件73升降的對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)升降部件77。而且，使對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)升降部件77動(dòng)作而使對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)69、70、71、72上升，之后，使對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)移動(dòng)部件73動(dòng)作而使對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)69、70、71、72與玻璃基板G接近并接觸，從而能夠?qū)⒉ＡЩ錑 對(duì)位在規(guī)定的位置。另外，利用由計(jì)算機(jī)構(gòu)成的控制部50分別控制對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)移動(dòng)部件73和對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)升降部件77的驅(qū)動(dòng)。另外，如圖10所示，各個(gè)基板載持件6具有設(shè)置為能夠沿著導(dǎo)軌5移動(dòng)的滑動(dòng)構(gòu)件6a和通過(guò)吸引放開(kāi)動(dòng)作能夠吸附于玻璃基板G的下表面的吸附構(gòu)件6b。另外，如圖16 所示，各個(gè)基板載持件6具有用于使吸附構(gòu)件6b相對(duì)于滑動(dòng)構(gòu)件6a升降的吸附構(gòu)件升降部件6d。吸附構(gòu)件升降部件6d能夠?qū)⑽綐?gòu)件6b保持在3個(gè)高度。吸附構(gòu)件6b最高的位置是吸附、保持玻璃基板G時(shí)的位置(將該位置稱作捕捉(catch)位置)。吸附構(gòu)件6b 的中間高度的位置是對(duì)玻璃基板G進(jìn)行規(guī)定的處理時(shí)(在本實(shí)施方式中是向玻璃基板G涂布抗蝕劑時(shí))的位置(將該位置稱作處理位置)。吸附構(gòu)件6b最低的位置是吸附構(gòu)件6b 從玻璃基板G的下表面離開(kāi)時(shí)的位置(將該位置稱作釋放位置)。另外，如圖17所示，吸引泵95與吸附構(gòu)件6b相連接，吸引與玻璃基板G接觸的區(qū)域的空氣而使該區(qū)域接近真空狀態(tài)，從而能夠吸附玻璃基板G，在吸附構(gòu)件6b與吸引泵之間設(shè)有用于檢測(cè)減壓值的減壓傳感器96。另外，在吸引泵95與減壓傳感器96之間設(shè)有用于開(kāi)閉流路的兩通閥97。另外，利用由計(jì)算機(jī)構(gòu)成的控制部50分別控制滑動(dòng)構(gòu)件6a、吸附構(gòu)件升降部件 6d、兩通閥97的驅(qū)動(dòng)，將減壓傳感器96的測(cè)量值傳遞到控制部50。另外，吸附構(gòu)件6b的上表面(吸附玻璃基板G的表面)能夠調(diào)整地繞X軸及Y軸旋轉(zhuǎn)，吸附構(gòu)件6b能夠吸附保持玻璃基板G。另外，如圖10所示，在X軸方向的吸附構(gòu)件6b與吸附構(gòu)件6b之間具有用于吸附保持基板的多個(gè)載持件支承件75和能夠使該載持件支承件75沿著導(dǎo)軌5移動(dòng)的載持件支承件滑動(dòng)構(gòu)件76。如圖18所示，還具有用于使載持件支承件75相對(duì)于載持件支承件滑動(dòng)構(gòu)件76升降移動(dòng)的載持件支承件升降部件78。另外，如圖19所示，吸引泵101與載持件支承件75相連接，吸引與玻璃基板G接觸的區(qū)域的空氣而使該區(qū)域接近真空狀態(tài)，從而能夠吸附玻璃基板G，在載持件支承件75與吸引泵之間設(shè)有用于檢測(cè)減壓值的減壓傳感器102。另外，在吸引泵101與減壓傳感器102 之間設(shè)有用于開(kāi)閉流路的兩通閥103。另外，載持件支承件75的上表面(吸附玻璃基板G的表面)能夠調(diào)整地僅繞X軸旋轉(zhuǎn)，載持件支承件75能夠吸附保持玻璃基板G。如上所述，吸附構(gòu)件6b能夠調(diào)整地繞X軸及Y軸旋轉(zhuǎn)，載持件支承件75能夠調(diào)整地僅繞X軸旋轉(zhuǎn)，通過(guò)如此構(gòu)成，能夠利用簡(jiǎn)單的構(gòu)造通過(guò)吸附構(gòu)件6b和載持件支承件75 可靠地吸附保持玻璃基板G。另外，載持件支承件升降部件78能夠?qū)⑤d持件支承件75保持在3個(gè)高度。載持件支承件75最高的位置是吸附、保持玻璃基板G時(shí)的位置(將該位置稱作捕捉位置)。載持件支承件75的中間高度的位置是對(duì)玻璃基板G進(jìn)行規(guī)定的處理時(shí)(在本實(shí)施方式中是向玻璃基板G涂布抗蝕劑時(shí))的位置(將該位置稱作處理位置)。載持件支承件75最低的位置是載持件支承件75從玻璃基板G的下表面離開(kāi)時(shí)的位置(將該位置稱作釋放位置)。另外，利用由計(jì)算機(jī)構(gòu)成的控制部50分別控制載持件支承件滑動(dòng)構(gòu)件76、載持件支承件升降部件78、兩通閥103的驅(qū)動(dòng)，將減壓傳感器102的測(cè)量值傳遞到控制部50。接著，說(shuō)明該第2實(shí)施方式中的基板輸送裝置61的動(dòng)作。如果玻璃基板G被輸送至滾輪輸送部2C的規(guī)定位置，則使?jié)L輪驅(qū)動(dòng)部62停止，從而使玻璃基板G的移動(dòng)停止。然后，在分揀器65的吸盤(pán)66下降的位置處，使吸盤(pán)66移動(dòng)至玻璃基板G的下部的規(guī)定位置，之后，開(kāi)始吸盤(pán)66的吸引動(dòng)作。然后，利用吸盤(pán)升降部件 67使吸盤(pán)66上升，利用吸盤(pán)66吸附保持玻璃基板G的下表面。
接著，開(kāi)始從氣體噴出口 3a噴出不活性氣體，開(kāi)始從氣體吸入口北吸引不活性氣體，使分揀器65沿X軸方向移動(dòng)，將玻璃基板G輸送至基板搬入位置H。接著，從吸盤(pán)66噴出加壓氣體而解除對(duì)玻璃基板G的吸附保持，并且使對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)升降部件77動(dòng)作而使對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)69、70、71、72上升。之后，使對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)移動(dòng)部件73動(dòng)作而使對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)69、70、71、72與玻璃基板G接近并接觸，將玻璃基板G對(duì)位在規(guī)定位置。另外，此時(shí)，通過(guò)從氣體噴出口 3a噴出的不活性氣體與從氣體吸入口 : 吸入的不活性氣體的平衡，將玻璃基板G保持在從懸浮用載物臺(tái)3的表面浮起到規(guī)定的高度的狀態(tài)。接著，停止從吸盤(pán)66噴出加壓氣體，使吸盤(pán)66下降，使吸盤(pán)66從玻璃基板G的下表面離開(kāi)。然后，分揀器65為了準(zhǔn)備輸送下一個(gè)玻璃基板G而移動(dòng)至原來(lái)的位置。接著，使對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)移動(dòng)部件73動(dòng)作，使對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)69和70水平移動(dòng)而從玻璃基板G離開(kāi)，之后，利用對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)升降部件77使對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)69和70下降。另外，此時(shí)，對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)71和72不從玻璃基板G離開(kāi)而維持與玻璃基板G接近并接觸的狀態(tài)。通過(guò)將對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)71和72維持與玻璃基板G接近并接觸的狀態(tài)，玻璃基板G的位置不會(huì)偏移，能夠?qū)⒉ＡЩ錑保持在規(guī)定的位置。另外，因?yàn)槭箤?duì)準(zhǔn)銷(xiāo)69和70從玻璃基板G離開(kāi)，所以能夠防止對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)69、70與玻璃基板G相摩擦而導(dǎo)致產(chǎn)生微粒。接著，利用吸附構(gòu)件升降部件6d和載持件支承件升降部件78使吸附構(gòu)件6b和載持件支承件75位于釋放位置，之后，使滑動(dòng)構(gòu)件6a和載持件支承件滑動(dòng)構(gòu)件76動(dòng)作而使吸附構(gòu)件6b和載持件支承件75移動(dòng)到玻璃基板G的下方。接著，開(kāi)始吸附構(gòu)件6b和載持件支承件75的吸引動(dòng)作，使吸附構(gòu)件升降部件6d和載持件支承件升降部件78動(dòng)作，使吸附構(gòu)件6b和載持件支承件75的高度位置上升到捕捉位置，利用吸附構(gòu)件6b和載持件支承件75吸附保持玻璃基板G。接著，在設(shè)置在吸附構(gòu)件6b及載持件支承件75與吸引泵(未圖示)之間的減壓傳感器達(dá)到規(guī)定的減壓值后，使對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)移動(dòng)部件73動(dòng)作，使對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)71和72從玻璃基板G 沿水平方向離開(kāi)。接著，使吸附構(gòu)件6b及載持件支承件75的高度下降到處理位置，并且使對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)71 和72下降。然后，使滑動(dòng)構(gòu)件6a和載持件支承件滑動(dòng)構(gòu)件76動(dòng)作，沿X方向輸送玻璃基板G。通過(guò)如上所述的第2實(shí)施方式，能夠縮短玻璃基板G從搬入到輸送開(kāi)始的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間并提高生產(chǎn)率。接著，說(shuō)明本發(fā)明的第3實(shí)施方式。另外，對(duì)于與第1及第2實(shí)施方式相同的地方， 省略說(shuō)明。在第3實(shí)施方式中，重點(diǎn)研究了對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)的形狀。如圖20所示，本實(shí)施方式的對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)80的特征在于，其呈圓臺(tái)形狀，在該圓臺(tái)的斜面部上設(shè)有用于在將玻璃基板G定位于規(guī)定的位置時(shí)與玻璃基板G接近并接觸的臺(tái)階部 81。取代第2實(shí)施方式中的對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)69、70、71、72，也可以使用本實(shí)施方式的對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)80。如圖21所示，上述對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)69、70、71、72為圓筒形，當(dāng)對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)69、70、71、72不處于從玻璃基板G沿水平方向離開(kāi)的狀態(tài)時(shí)，就不能夠進(jìn)行上升下降動(dòng)作。S卩，當(dāng)對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)69、70、 71、72在從玻璃基板G不沿水平方向離開(kāi)的狀態(tài)下進(jìn)行上升下降動(dòng)作時(shí)，對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)69、70、71、 72與玻璃基板G相干涉或相摩擦，導(dǎo)致產(chǎn)生基板裂紋或微粒。
但是，通過(guò)采用本實(shí)施方式的對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)80，即使同時(shí)進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)80的水平方向移動(dòng)和上升下降動(dòng)作，對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)80和玻璃基板G也不會(huì)干涉或摩擦，能夠進(jìn)一步縮短生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。另外，在上述實(shí)施方式中，以將本發(fā)明的基板輸送裝置應(yīng)用于抗蝕劑涂布處理單元的情況為例進(jìn)行了說(shuō)明，但是本發(fā)明的基板輸送裝置并不限定于該單元，也能夠適當(dāng)應(yīng)用于其他的基板處理單元等中。另外，對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，在權(quán)利要求所述的構(gòu)思中，顯然能夠?qū)崿F(xiàn)各種變形例或修正例，關(guān)于這些例子當(dāng)然也屬于本發(fā)明的技術(shù)范圍。另外，上述實(shí)施方式是向FPD 基板涂布抗蝕劑液的例子，但是本發(fā)明也能夠應(yīng)用于基板為除FPD基板以外的矩形的基板，也能夠應(yīng)用于向基板涂布除抗蝕劑液以外的液體的情況。
權(quán)利要求
1.一種基板輸送裝置，其以張的形式1張1張地水平輸送基板，其特征在于，該基板輸送裝置具有懸浮用載物臺(tái)，其利用氣體的噴射使上述基板懸浮；導(dǎo)軌，其配置在上述懸浮用載物臺(tái)的側(cè)方；基板載持件，其設(shè)置為能沿著上述導(dǎo)軌移動(dòng)，能夠從下方吸附保持上述基板的邊緣部；對(duì)準(zhǔn)部件，其設(shè)置為相對(duì)于被搬運(yùn)到上述懸浮用載物臺(tái)的基板搬入位置的上述基板從待機(jī)位置到規(guī)定位置自由進(jìn)退，與上述基板接觸而將該基板配置在規(guī)定位置；基板支承部件，其在上述懸浮用載物臺(tái)的基板搬入位置處從該基板的下方支承被上述對(duì)準(zhǔn)部件配置在規(guī)定位置的上述基板；控制部，其用于控制上述基板載持件、上述對(duì)準(zhǔn)部件及上述基板支承部件的動(dòng)作；上述控制部進(jìn)行控制，使得在完成了基板輸送的上述基板載持件返回到上述懸浮用載物臺(tái)的基板搬入位置的期間內(nèi)，上述對(duì)準(zhǔn)部件進(jìn)行將上述基板配置在規(guī)定位置的對(duì)位，而且上述基板支承部件從下方支承被對(duì)位后的上述基板，并且上述對(duì)準(zhǔn)部件返回到與上述基板載持件不相干涉的待機(jī)位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送裝置，其特征在于，上述基板支承部件具有多個(gè)支承銷(xiāo)，其設(shè)置為能夠從上述懸浮用載物臺(tái)的表面向上方突出；升降驅(qū)動(dòng)部，其用于使上述多個(gè)支承銷(xiāo)升降，上述升降驅(qū)動(dòng)部使上述多個(gè)支承銷(xiāo)從上述懸浮用載物臺(tái)的表面上升至規(guī)定的高度，從而利用上述多個(gè)支承銷(xiāo)支承上述基板。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板輸送裝置，其特征在于，上述控制部進(jìn)行控制，使得當(dāng)由上述多個(gè)支承銷(xiāo)支承的上述基板被上述多個(gè)基板載持件吸附保持時(shí)，利用上述升降驅(qū)動(dòng)部使上述多個(gè)支承銷(xiāo)下降移動(dòng)，解除上述多個(gè)支承銷(xiāo)對(duì)上述基板的支承。
4.一種基板輸送方法，其在基板輸送裝置中以張的形式1張1張地水平輸送基板，該基板輸送裝置具有懸浮用載物臺(tái)，其利用氣體的噴射使基板懸??；導(dǎo)軌，其配置在上述懸浮用載物臺(tái)的側(cè)方；基板載持件，其設(shè)置為能夠沿著上述導(dǎo)軌移動(dòng)，能夠從下方吸附保持上述基板的邊緣部；對(duì)準(zhǔn)部件，其設(shè)置為相對(duì)于被搬入到上述懸浮用載物臺(tái)的基板搬入位置的上述基板從待機(jī)位置到規(guī)定位置自由進(jìn)退，與上述基板接觸而將該基板配置在規(guī)定位置； 基板支承部件，其在上述懸浮用載物臺(tái)的基板搬入位置處從該基板的下方支承被上述對(duì)準(zhǔn)部件配置在規(guī)定位置的上述基板；控制部，其用于控制上述基板載持件、上述對(duì)準(zhǔn)部件及上述基板支承部件的動(dòng)作；其特征在于，該基板輸送方法包含以下工序在沿著上述導(dǎo)軌完成了基板輸送的上述基板載持件為了接收下一個(gè)輸送來(lái)的基板而返回到上述懸浮用載物臺(tái)的基板搬入位置的期間內(nèi)，利用上述對(duì)準(zhǔn)部件進(jìn)行將新搬入到上述懸浮用載物臺(tái)上的基板搬入位置的基板配置在規(guī)定位置的對(duì)位；利用上述基板支承部件從下方支承被對(duì)位后的上述基板；在利用從上述基板支承部件支承上述基板的狀態(tài)下，使上述對(duì)準(zhǔn)部件返回到待機(jī)位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板輸送方法，其特征在于，上述基板支承部件具有多個(gè)支承銷(xiāo)，其設(shè)置為能夠從上述懸浮用載物臺(tái)的表面向上方突出；升降驅(qū)動(dòng)部，其用于使上述多個(gè)支承銷(xiāo)升降，上述升降驅(qū)動(dòng)部使上述多個(gè)支承銷(xiāo)從上述懸浮用載物臺(tái)的表面上升至規(guī)定的高度，從而利用上述多個(gè)支承銷(xiāo)支承上述基板。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板輸送方法，其特征在于，該基板輸送方法包含以下工序在上述基板被上述基板支承部件支承的狀態(tài)下，在上述對(duì)準(zhǔn)部件返回到待機(jī)位置的工序之后，利用返回到上述懸浮用載物臺(tái)的基板搬入位置的上述基板載持件吸附保持上述基板；利用上述升降驅(qū)動(dòng)部使上述多個(gè)支承銷(xiāo)下降移動(dòng)，解除上述多個(gè)支承銷(xiāo)對(duì)上述基板的支承。
7.一種基板輸送裝置，其以張的形式1張1張地水平輸送基板，其特征在于，該基板輸送裝置具有懸浮用載物臺(tái)，其利用氣體的噴射使上述基板懸?。粚?dǎo)軌，其配置在上述懸浮用載物臺(tái)的側(cè)方；基板載持件，其設(shè)置為能夠沿著上述導(dǎo)軌移動(dòng)，能夠從下方吸附保持上述基板的邊緣部；對(duì)準(zhǔn)部件，其設(shè)置為相對(duì)于被搬入到上述懸浮用載物臺(tái)的基板搬入位置的上述基板從待機(jī)位置到規(guī)定位置自由進(jìn)退，與上述基板接觸而將該基板配置在規(guī)定位置；控制部，其用于控制上述基板載持件和上述對(duì)準(zhǔn)部件；上述控制部進(jìn)行控制，使得在完成了基板輸送的上述基板載持件返回到上述懸浮用載物臺(tái)的基板搬入位置的期間內(nèi)，上述對(duì)準(zhǔn)部件進(jìn)行將上述基板配置在規(guī)定位置的對(duì)位，上述對(duì)準(zhǔn)部件返回到與上述基板載持件不相干涉的待機(jī)位置。
8.一種基板輸送方法，其在基板輸送裝置中以張的形式1張1張地水平輸送基板，該基板輸送裝置具有懸浮用載物臺(tái)，其利用氣體的噴射使基板懸浮；導(dǎo)軌，其配置在上述懸浮用載物臺(tái)的側(cè)方；基板載持件，其設(shè)置為能夠沿著上述導(dǎo)軌移動(dòng)，能夠從下方吸附保持上述基板的邊緣部；對(duì)準(zhǔn)部件，其設(shè)置為相對(duì)于被搬入到上述懸浮用載物臺(tái)的基板搬入位置的上述基板從待機(jī)位置到規(guī)定位置自由進(jìn)退，與上述基板接觸而將該基板配置在規(guī)定位置； 控制部，其用于控制上述基板載持件和上述對(duì)準(zhǔn)部件的動(dòng)作；其特征在于，該基板輸送方法包含以下工序在沿著上述導(dǎo)軌完成了基板輸送的上述基板載持件為了接收下一個(gè)輸送來(lái)的基板而返回到上述懸浮用載物臺(tái)的基板搬入位置的期間內(nèi)，利用上述對(duì)準(zhǔn)部件進(jìn)行將新搬入到上述懸浮用載物臺(tái)上的基板搬入位置的基板配置在規(guī)定位置的對(duì)位；利用從上述懸浮用載物臺(tái)噴射出的氣體從下方支承被對(duì)位后的上述基板；在利用從上述懸浮用載物臺(tái)噴射出的氣體支承上述基板的狀態(tài)下，使上述對(duì)準(zhǔn)部件返回到待機(jī)位置。
全文摘要
本發(fā)明提供基板輸送裝置及基板輸送方法，在以張的形式1張1張地水平輸送被處理基板的基板處理裝置中縮短了從基板搬入到輸送開(kāi)始的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間并提高了生產(chǎn)率。該基板輸送裝置具有懸浮用載物臺(tái)，其使被處理基板懸?。灰粚?duì)導(dǎo)軌，其平行配置在懸浮用載物臺(tái)的左右側(cè)方；多個(gè)基板載持件，其能分別沿著一對(duì)導(dǎo)軌移動(dòng)，能從下方吸附保持基板的邊緣部；對(duì)準(zhǔn)部件，其相對(duì)于被搬入到懸浮用載物臺(tái)的基板搬入位置的基板從待機(jī)位置到規(guī)定位置自由進(jìn)退，與基板接觸而將該基板配置在規(guī)定位置；基板支承部件，其在懸浮用載物臺(tái)的基板搬入位置處從該基板的下方支承被對(duì)準(zhǔn)部件配置在規(guī)定位置的基板；控制部，其控制基板載持件、對(duì)準(zhǔn)部件及基板支承部件的動(dòng)作。
文檔編號(hào)B65G49/06GK102157424SQ20111002502
公開(kāi)日2011年8月17日 申請(qǐng)日期2011年1月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月21日
發(fā)明者中滿孝志, 大塚慶崇, 宮崎文宏 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社