專利名稱：非接觸式運送設備的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種非接觸式運送設備，該非接觸式運送設備能夠通過在吸力作用下吸引工件來在非接觸的狀態(tài)下保持和運送薄板狀的工件。
背景技術：
迄今為止，例如，當運送諸如用于液晶顯示設備中的液晶玻璃基板、半導體晶片等的薄板狀工件時，會使用一種能夠通過利用流體而浮置和保持工件的非接觸式運送設備。例如，日本開平專利公報第10-181879所公開的這種非接觸式運送設備，其包括具有多個豎直延伸通過其的通道的運送墊。供給到通道的壓力流體從運送墊的下端部形成的開口處吹出，并且壓力流體沿運送墊的下表面流動。利用機械手等，運送墊結合在其中的非接觸式運送設備在工件的上方并且靠近工件的位置上運動。結果，壓力流體在運送墊的下表面和工件之間高速流動，從而通過伯努利效應(Bernoulli effect)會產生負壓，因而工件在非接觸的狀態(tài)下在吸力作用下被吸引向運送墊并且被運送墊保持。同樣，日本開平專利公報第2006-346783公開了一種非接觸式運送設備，該非接觸式運送設備包括具有流體供應端口的供應柱和固定到供應柱的下部分上的排出墊。排出墊包括沿著圓周方向開口的流體排出通道。流體排出通道由沿著排出墊的圓周方向連續(xù)形成的間隔組成。從流體供應端口供應的壓力流體沿著排出墊的圓周方向從流體流出通道流出。結果，會產生負壓，工件在吸力作用下被吸引。通常，這種非接觸式運送設備運送諸如半導體晶片等的圓盤狀的工件。為了保持這種工件，該設備使壓力流體通過其開口從運送墊的中心徑向流動。

發(fā)明內容
本發(fā)明的主要目的在于提供一種非接觸式運送設備，該非接觸式運送設備能夠通過根據工件的形狀所供給的量的壓力流體來可靠且穩(wěn)定地保持和運送非圓形工件。根據本發(fā)明，提供一種用于通過供應壓力流體而在吸力作用下吸引工件并且在非接觸狀態(tài)下保持和運送工件的非接觸式運送設備，所述非接觸式運送設備包括本體，所述本體形成為與工件的形狀相對應的外形；和流體排出部，所述流體排出部被設置在本體面向工件的端面上，該流體排出部包括多個用于沿著端面排出壓力流體的排出孔，其中，本體包括多個外邊緣部，排出孔和外邊緣部之間的距離不同；并且其中，排出孔面向外邊緣部，并且具有與排出孔和外邊緣部之間的距離成比例的橫截面積。根據本發(fā)明，本體形成為具有多個外邊緣部且與工件的形狀對應的外形，本體包括在其端面上并且面向工件的流體排出部。流體排出部包括多個用于沿著本體的端面排出壓力流體的排出孔。排出孔的橫截面積被確定成與排出孔和外邊緣部之間的距離成比例。因而，壓力流體通過排出孔排出，該排出孔的橫截面積的確定取決于排出孔和外邊緣部之間的距離，從而壓力流體能夠以基本相同的流速沿著本體的端面被供應直到外邊緣部的附近。因此，壓力流體以足夠的流速流到面向非圓形工件的各個部分的位置，然后在這個位置產生負壓。因而，由于負壓，工件能夠被可靠且穩(wěn)定地保持和運送。通過下面的說明，并結合以示意性實例的方式顯示的本發(fā)明的優(yōu)選實施例的附圖，本發(fā)明的上述和其他的目的、特點和優(yōu)點變得更加地清楚。


圖1是根據本發(fā)明的第一實施例的非接觸式運送設備的分解立體圖；圖2是在不同于圖1中的方向的方向上看時非接觸式運送設備的分解立體圖；圖3是圖1的非接觸式運送設備的整體截面圖；圖4是從圖1的非接觸式運送設備的下表面看時該非接觸式運送設備的俯視圖；圖5是板的俯視圖；圖6是圖3的放大截面圖；圖7A是沿著圖4的線VIIA-VIIA的截面圖；圖7B是沿著圖4的線VIIB-VIIB的截面圖；圖8A是展示當利用圖1所示的非接觸式運送設備保持工件時，非圓形工件在其角部附近振動中所產生的變化的特征曲線的圖表；圖8B是展示當利用常規(guī)的非接觸式運送設備保持工件時，非圓形工件在其角部附近振動中所產生的變化的特征曲線的圖表；圖9是根據本發(fā)明的第二實施例的非接觸式運送設備的分解立體圖；圖10是在不同于圖9的方向的方向上看時非接觸式運送設備的分解立體圖；圖11是圖9所示的板的俯視圖；圖12是在圖11的箭頭X所示的方向上看時板的側視圖；和圖13是在圖11的箭頭Y所示的方向上看時板的側視圖。
具體實施例方式以下將結合參考附圖展示并具體說明根據本發(fā)明的優(yōu)選實施例的非接觸式運送設備。在圖1中，參考標號10表示根據本發(fā)明的第一實施例的非接觸式運送設備。如圖1至6所示，非接觸式運送設備10包括外殼(本體)12，設置在外殼12的中心部分上的圓盤形板(流體排出部)14，和設置在外殼12和板14之間的密封環(huán)16。外殼12形成為金屬塊，例如，形成為以特定角度切割正方形的四個角而獲得的八邊形。更具體地，外殼12被形成為與將被非接觸式運送設備10運送的工件S的形狀相對應的形狀。例如，在工件S是太陽能電池的情況下，為了將外殼12和工件S的形狀相匹配， 外殼12的形狀被形成為具有相互垂直設置的四個主側(第一側)18，和每個都連接鄰近的主側并且相對于主側18傾斜45度的四個傾斜側(第二側)20。主側18和傾斜側20共同形成外殼12的外形的外邊緣部。如圖3和4所示，外殼12的尺寸基本等于或稍微小于要被非接觸式運送設備10 運送的工件S的尺寸。在外殼12的上表面1 上，形成有多個(例如，4個)螺栓孔24，固定螺栓22插入通過該螺栓孔M以用于固定板14。在螺栓孔M附近，形成有多個(例如，4個)附件孔 26(見圖1)。螺栓孔M以等角度間隔形成在圓周上，該圓周具有繞著外殼12的中心的特定半徑。螺栓孔M在厚度方向上延伸通過外殼12。螺栓孔M中的每一個都具有用于在上表面1 側上(在箭頭A所示的方向上)接收固定螺栓22的頭部22a的大直徑部分和固定螺栓22的螺絲22b在下表面(端面)12b側上(在箭頭B所示的方向上)被插入而經過的小直徑部分。附接孔沈設置在螺栓孔M的徑向外部。通過將未圖示的螺栓螺合到附接孔沈內，外殼12被聯(lián)結到機械手等的端部。在外殼12的上表面1 上，形成有鄰近其中一個螺栓孔M的供應端口 32。供應端口 32在外殼12的上表面1 上開口，并且被連接到配管(未顯示)，壓力流體被從未圖示的壓力流體供應源供給到該配管。另一方面，在外殼12的下表面12b上，在大致中心的位置上形成圓形凹部34，該凹部34起到以非接觸狀態(tài)保持工件S的工件保持表面的作用。凹部34被形成使得稍后所述的板14能夠被適配進凹部34。凹部34包括第一孔 36，第二孔38，和第三孔40。第一孔36最靠近外殼12的上表面1 (在箭頭A所示的方向上)。第二孔38鄰近第一孔36，并且與第一孔36的直徑相比其直徑徑向向外增大。第三孔40最靠近外殼12的下表面12b (在箭頭B所示的方向上)，并且與第二孔38的直徑相比其直徑進一步徑向向外增大。更具體地，如圖2和3所示，在凹部34中，第一孔36，第二孔38，和第三孔40以這樣的順序從外殼12的上表面12a (在箭頭A的方向上)向著外殼12的下表面12b (在箭頭 B的方向上)排列。凹部34的直徑向著下表面12b (在箭頭B的方向上)逐漸增大。換句話說，凹部；34在最深的位置上具有第一孔36。第一孔36具有基本平坦的底壁表面36a和垂直于底壁表面36a的內周表面。螺栓孔M貫穿外殼12從外殼12的上表面12a (箭頭A的方向)延伸到第一孔36的底壁表面 36a。與第一孔36相似，第二孔38具有基本平坦的底壁表面38a和垂直于底壁表面38a 的內周表面38b。第二孔38的內周表面38b鄰近供應端口 32并且與供應端口 32連通。與第一孔36和第二孔38相似，第三孔40具有基本平坦的底壁表面40a。另外，第三孔40具有內周表面40b，該內周表面40b呈錐形，從而第三孔40的直徑從底壁表面40a 和內周表面40b的接合部分徑向向外逐漸增大。內周表面40b相對于底壁表面40a的傾斜角度例如是30度。在以上的實施例中，供應端口 32在外殼12的上表面12a(箭頭A方向)上是開口的。然而，本發(fā)明不限于此方面。例如，供應端口 32可以在外殼12的側表面上開口以與第二孔38連通。正如外殼12，板14例如是由金屬材料制成。板14包括圓形基部42，和凸部44，該凸部44的直徑小于基部42的直徑，并且該凸部44在基部42上凸出特定高度。凸部44的外直徑大致等于第一孔36的內直徑。如圖1、4和5所示，在基部42位于凸部44側的端面上，多個噴嘴(排出孔)46被徑向地設置，用于向外噴射壓力流體。在本實施例中，例如，設置八個噴嘴46，并且該八個噴嘴46以等角度間隔沿基部42的圓周方向排列。每一個噴嘴46都由相對于基部42的端面具有特定深度且在基部42的徑向方向上延伸的凹槽組成。噴嘴46包括第一噴嘴槽(第一通道)48，和位于第一噴嘴槽48之間的第二噴嘴槽 (第二通道)50。如圖7A所示，每個第一噴嘴槽48都形成具有特定寬度Wl和特定深度Hl 的矩形橫截面。第一噴嘴槽48從基部42的外周表面徑向向內延伸特定長度，且第一噴嘴槽48的端部被形成為半圓形。第一噴嘴槽48的端部與板14的凸部44的外周表面分開特定距離。換句話說，每個第一噴嘴槽48都從基部42的外周表面徑向地延伸到凸部44的外周表面的附近。如圖5所示，第一噴嘴槽48繞著板14的中心以90度的相等角度間隔排列。正如第一噴嘴槽48，每一個第二噴嘴槽50都形成為矩形的橫截面。第二噴嘴槽 50從基部42的外周表面徑向向內延伸特定長度，且第二噴嘴槽50的端部被形成為半圓形。 第二噴嘴槽50的端部與板14的凸部44的外周表面分開特定距離。每個第一噴嘴槽48的端部和每個第二噴嘴槽50的端部與凸部44的外周表面分開相同的距離。每一個第二噴嘴槽50都被設置在一個第一噴嘴槽48和鄰近該第一噴嘴槽48的另一個第一噴嘴槽48之間，第二噴嘴槽50繞著板14的中心以90度的相等角度間隔排列。更具體地，第一和第二噴嘴槽48，50繞著板14的中心以45度的相等角度間隔交替排列，而第一噴嘴槽48以90度的相等角度間隔排列，第二噴嘴槽50同樣以90度的相等角度間隔排列。當板14適配進外殼12的凹部34時，第一噴嘴槽48基本垂直地面向主側18，而第二噴嘴槽50基本垂直地面向傾斜側20。如圖7B所示，每個第二噴嘴槽50的寬度W2都大于每個第一噴嘴槽48的寬度 Wl (Wl < W2)。每個第二噴嘴槽50的深度(高度)H2都等于每個第一噴嘴槽48的深度(高度)H1(H1 =H2)。因而，由于第二噴嘴槽50比第一噴嘴槽48更寬，所以每個第二噴嘴槽50 的橫截面積D2 (W2XH2)都大于每一個第一噴嘴槽48的橫截面積Dl (WlXHl) (D2 > Dl)。相對于第一噴嘴槽48的橫截面積Dl的第二噴嘴槽50的橫截面積D2的確定取決于第二距離L2與第一距離Ll的比率(L2 Li)，其中第一距離是第一噴嘴槽48的開口端與主側18之間的距離，第二距離L2是第二噴嘴槽50的開口端與傾斜側20之間的距離。例如，在第二距離L2與第一距離Ll的比率是1. 5的情況下，由于第二距離L2是第一距離Ll 的1. 5倍，所以第二噴嘴槽50的橫截面積D2被設定為是第一噴嘴槽48的橫截面積Dl的 1. 5 倍。更具體地，由于噴嘴46和傾斜側20之間的第二距離L2比噴嘴46和主側18之間的第一距離Ll更長(Li < L2)，如果壓力流體以相同的流速通過設置在相同的圓周上的噴嘴46的開口端流出，則主側18附近的壓力流體的流速將會不同于傾斜側20附近的壓力流體的流速。換句話說，由于第一和第二距離Li、L2，傾斜側20附近的壓力流體的流速小于主側18附近的壓力流體的流速。為了防止出現(xiàn)這種差別，根據第二距離L2與第一個距離Ll的比率，第二噴嘴槽50 的橫截面積D2被設定為大于第一噴嘴槽48的橫截面積Dl，從而在第二噴嘴槽50上的壓力流體的流速增大。結果，傾斜側20附近的壓力流體的流速能夠等于主側18附近的壓力流體的流速。相反，在第二距離L2小于第一距離Ll (Li > L2)的情況下，第二噴嘴槽50的橫截面積D2被設定為小于第一噴嘴槽48的橫截面積Dl (Dl > D2)。在凸部44的端面上，在凸部44的外周表面內側徑向定位的位置上形成環(huán)形槽。密封環(huán)16安裝在環(huán)形槽內，密封環(huán)16例如由塑料材料制成，且從凸部44的端面稍微突出。同樣，在凸部44的端面上，在環(huán)形槽內側徑向定位的位置、在圓周上形成多個螺絲孔52。板14首先被適配進外殼12的凹部34。之后，固定螺栓22被插入穿過螺栓孔24， 然后固定螺栓22的螺絲22b被螺紋接合進螺絲孔52。因而，板14相對于外殼12被固定。如圖4所示，板14被適配進外殼12的凹部34，使得基部42位于外殼12的下表面12b側(箭頭B的方向)的位置上，而凸部44位于外殼12的上表面1 側(箭頭A的方向)的位置上?；?2插入第三孔40內，凸部44插入第一和第二孔36、38，使得密封環(huán) 16抵靠第一孔36的底壁表面36a。結果，可以防止從供應端口 32供給到第二孔38的壓力流體流到第一孔36中的底壁表面36a的中心部分。同樣，形成有環(huán)形空間M，該環(huán)形空間M具有在凸部44和第二孔38的內周表面 38b之間的特定間隙?？臻gM與供應端口 32和噴嘴46連通。另外，在凸部44側上的基部42的端面抵靠第三孔40的底壁表面40a，然后用于壓力流體的通道被限定在噴嘴46的第一和第二噴嘴槽48、50和底壁表面40a之間，該通道與內周表面40b側上的第三孔40連通。板14被適配進外殼12的凹部34，使得其基部42不會從凹部34突出，并且板14的端面基本與外殼12的下表面12b齊平，或者稍微從下表面 12b縮進凹部34內。由于基部42和外殼12在除了噴嘴46的位置上彼此抵靠，所以壓力流體不會到處流動，而僅僅通過噴嘴46流動。也就是說，壓力流體僅僅通過噴嘴46徑向向外流動，進一步沿著第三孔40的內周表面40b流動經過空間M。根據本發(fā)明的第一實施例的非接觸式運送設備10基本如上述所述被構造。其次， 以下將說明其的操作和效果。在以下說明中，將闡述以特定角度切割正方形塊而獲得的八邊形工件S(例如，太陽能電池)被運送的情況。首先，壓力流體通過連接到未圖示的壓力流體供應源的配管被供應到供應端口 32。壓力流體從供應端口 32流到板14的凸部44和外殼12的第二孔38之間的空間M，之后通過噴嘴46的第一和第二噴嘴槽48、50徑向向外流動。更具體地，壓力流體通過八個第一和第二噴嘴槽48、50從環(huán)形空間M流出，然后在八個方向徑向地排出。在這種情況下，由于第一噴嘴槽48的橫截面積Dl不同于第二噴嘴槽50的橫截面積D2，所以通過具有較大橫截面積的第二噴嘴槽50的壓力流體的流速大于通過具有較小橫截面積的第一噴嘴槽48的壓力流體的流速。其次，從噴嘴46排出的壓力流體沿著第三孔40的內周表面40b徑向向外流動，并且被向著外殼12的下表面12b引導。之后，壓力流體流到下表面12b，然后沿著下表面12b 高速流動。因而，由于伯努利效應，外殼12的下表面12b上產生負壓。其中包含外殼12的非接觸式運送設備10例如通過機械手等運動。此時，外殼12 與八邊形工件S平行地運動更靠近八邊形工件S，使得外殼12的主側18和傾斜側20與工件S的形狀相對應。然后，通過產生的負壓，在吸力作用下工件S被吸引朝向下表面12b。在這種情況下，由于在工件S和外殼12之間存在壓力流體在其中流動的空氣層，所以工件 S不會接觸外殼12。因而，工件S被保持在非接觸狀態(tài)。壓力流體經過具有不同橫截面積的第一和第二噴嘴槽48、50以不同的流速被徑向排出，并且沿著外殼12的下表面12b流動。在這種情況下，從第二噴嘴槽50流到四個傾斜側20的壓力流體的流速被設定為大于從第一噴嘴槽48流到四個主側18的壓力流體的流速。因而，在外殼12中，即使在與噴嘴46分開較大距離的傾斜側20的附近，壓力流體仍然能夠以足夠的流速流動，正如在主側18的附近。結果，能夠在主側18附近和傾斜側20 附近產生足以保持工件S的負壓，從而可靠且穩(wěn)定地保持工件S。換句話說，整個工件S被基本平行于外殼12地穩(wěn)定保持。其次，參考圖8A和8B，闡述工件S的角部M附近的振動變化。圖8A是展示在利用根據本發(fā)明的非接觸式運送設備10保持八邊形工件S的情況下，振動變化和時間之間關系的特征曲線。圖8B是展示在利用常規(guī)的非接觸式運送設備保持八邊形工件S的情況下， 振動變化和時間之間關系的特征曲線。從圖8A可見，在工件S被根據本發(fā)明的非接觸式運送設備10保持的情況下，工件 S相對于表示工件S未移動的位移0的參考值C向上移動(+)和向下移動(_)，其的位移上下振動。然而，振動的振幅小于圖8B中所示的常規(guī)的非接觸式運送設備中的振動的振幅。因而，可從圖8A和8B可知，與常規(guī)的非接觸式運送設備保持非圓形工件S的情況相比，最容易受到這樣的振動影響的工件S的角部Μ附近的振動能夠被有效地防止。因而， 根據本實施例的非接觸式運送設備10能夠可靠且穩(wěn)定地保持工件S，而且能夠可靠地避免由于振動而對工件S造成的損壞等。如上所述，當根據第一實施例的非接觸式運送設備10保持并且運送諸如八邊形工件S等的非圓形工件時，外殼12形成八邊形的橫截面，使得外殼12的形狀與工件S的形狀相對應。另外，多個噴嘴46被設置用來將壓力流體排出到外殼12的下表面12b，并且噴嘴46被分別地設置，從而面向并且垂直于形成外殼12的外邊緣部的主側18和傾斜側20。 同樣，相對于面向主側18的第一噴嘴槽48的橫截面積Dl的面向傾斜側20的第二噴嘴槽 50的橫截面積D2的確定取決于傾斜側20和第二噴嘴槽50的開口端之間的第二距離L2與主側18和第一噴嘴槽48的開口端之間的第一距離Ll的比率。因而，與傾斜側20分開較大距離的第二噴嘴槽50的橫截面積D2被設定為大于第一噴嘴槽48的橫截面積D1。因而，即使在與噴嘴46分開較大距離的傾斜側20的附近，壓力流體仍然能夠以足夠的流速流動。結果，當壓力流體被沿著外殼12的下表面12b從噴嘴46排出時，該壓力流體的流速在主側18附近和傾斜側20附近之間不會變化，從而能夠彼此基本相等。因此，在外殼12 的下表面12b上產生的吸收能量在整個下表面12b上基本一致。因而，八邊形工件S能夠在吸力作用下被可靠且穩(wěn)定地吸引向外殼12并且被運送。同樣，外殼12的形狀的確定取決于工件S的形狀，并且形成為具有多個外邊緣部的外形。第一和第二噴嘴槽48、50的數量的確定取決于外邊緣部的數量。截面面積D1、D2 的確定取決于外邊緣部和第一噴嘴槽48之間的距離和外邊緣部和第二噴嘴槽50之間的距離。因而，具有各種形狀的工件S能夠被可靠且穩(wěn)定地運送。在以上實施例中，外殼12的形狀包括距噴嘴46不同距離的兩種類型的外邊緣部(主側18，傾斜側20)。然而，本發(fā)明不限于此方面。例如，外殼12的形狀可以包括距噴嘴 46不同距離的三種類型的外邊緣部。在這種情況下，非接觸式運送設備可以包括具有根據噴嘴和外邊緣部之間的距離的三種類型的橫截面積的噴嘴槽。結果，其外形與具有三種類型的外邊緣部的形狀相對應的工件能夠被穩(wěn)定地運送。另外，在根據以上實施例的非接觸式運送設備10中，外殼12和板14由金屬材料制成。然而，本發(fā)明不限于此方面。例如，外殼12和板14可由樹脂材料制成。進一步，在以上的非接觸式運送設備10中，噴嘴46被設置在板14的基部42上。 然而，噴嘴16可以被設置在面對基座42的第三孔40的底壁表面40a上，而不是板14側上。同樣，在以上實施例中，第一和第二噴嘴槽48、50具有寬度為Wl、W2，在尺寸上小于寬度W1、W2的深度H1、H2的矩形橫截面。然而，本發(fā)明不限于此方面。例如，除非第一噴嘴槽48的橫截面積Dl和第二噴嘴槽50的橫截面積D2之間的大小關系改變，深度HI、 H2可以被設定為大于寬度W1、W2，或者替代地，第一和第二噴嘴槽48、50可以具有圓形橫截換句話說，只要第一噴嘴槽48的橫截面積Dl和第二噴嘴槽50的橫截面積D2的確定是取決于第一距離Ll和第二距離L2之間的比率，第一和第二噴嘴槽48、50的橫截面形狀就不限于此。其次，參考圖9至13，說明根據第二實施例的非接觸式運送設備100。利用相同的參考標號來表示與根據第一實施例的非接觸式運送設備10的組成元件相同的非接觸式運送設備100的組成元件，并且省略對這些元件的說明。根據第二實施例的非接觸式運送設備100與根據第一實施例的非接觸式運送設備10的不同之處在于具有鋸齒形的流體排出部102被設置在板104上，而不是噴嘴46，凸部和凹部沿著該板104的圓周方向連續(xù)地形成在板104上。如圖9和10所示，流體排出部102被設置在板104的基部42的端面的凸出側上(在箭頭A的方向)。流體排出部102由多個(例如8個)頂部分106和凹部分(排出孔)108組成。頂部分106在遠離端面的方向上突出。凹部分108被形成在頂部分106之間，并且凹陷進基部42內。如圖11至13所示，頂部分106以相等角度間隔沿著基部42的圓周方向排列。每一個頂部分106都形成大致三角形的橫截面，其橫截面在遠離基部42的方向上(在箭頭A 的方向)呈錐形。當板104被適配進外殼12時，頂部分106面向第三孔40的底壁表面40a， 并且與底壁表面40a分開特定距離。也就是說，在流體排出部102的頂部分106和第三孔 40的底壁表面40a之間存在特定間隙(見圖12和13)。每一個凹部分108都具有由兩個傾斜表面限定的三角形的橫截面。兩個傾斜表面在兩個傾斜表面朝彼此靠近的方向上從相鄰的頂部分106延伸，并且在靠近基部42的方向上(在箭頭B的方向上)以特定角度傾斜。凹部分108的數量等于頂部分106的數量(例如，8個)。每個凹部分108都在兩個傾斜表面相交部分的最深處。凹部分108具有兩種類型，例如，第一凹部112和第二凹部114，第一凹部112和第二凹部114在它們各自的最深點上距頂部分106的深度彼此不同。更具體地，每個第一凹部112都具有最深點110a，而每個第二凹部114都具有最深點110b。在最深點IlOb上距頂部分106的深度大于在最深點IlOa上距頂部分106的深度。換句話說，在凹部分108中，第二凹部114的最深點IlOb比第一凹部112的最深點IlOa更靠近基部42端(在箭頭 B的方向)。相對于第一凹部112的開口橫截面積D3的第二凹部114的開口橫截面積D4的確定取決于第二凹部114的開口端和傾斜側20之間的距離與第一凹部112的開口端和主側 18之間的距離的比率。當板104被適配進外殼12的凹部34時，第一凹部112基本垂直地面向主側18，而第二凹部114基本垂直地面向傾斜側20。在以上闡述中，板104的頂部分106與外殼12的第三孔40的底壁表面40a分開。 然而，本發(fā)明不限于此方面。例如，頂部分106可以抵靠底壁表面40a。根據如上述構造的非接觸式運送設備，壓力流體被從供應端口 32供給到外殼12 內，然后壓力流體通過流體排出部102的第一和第二凹部112、114徑向地向外排出。在這種情況下，由于第一和第二凹部112、114的開口橫截面積D3、D4彼此不同，所以通過具有較大開口橫截面積的第二凹部114排出的壓力流體的流速大于通過具有較小開口橫截面積的第一凹部112排出的壓力流體的流速。然后，通過第一和第二凹部112、114排出的壓力流體被引導到外殼12的下表面 12b，并且沿著下表面12b高速流動。因而，由于伯努利效應，外殼12的下表面12b上產生負壓，然后工件S在吸力作用下被吸引向下表面12b。結果，工件S相對外殼12被保持在非接觸狀態(tài)。本發(fā)明的非接觸式運送設備并不限于上述實施例，而在不背離附加權利所述的本發(fā)明的實質和范圍的情況下，可以采用各種替代的或者另外的特征和構造。
權利要求
1.一種用于通過供給壓力流體而在吸力作用下吸引工件，并且在非接觸的狀態(tài)下保持和運送工件的非接觸式運送設備，其特征在于，所述非接觸式運送設備包括本體(12)，所述本體被形成與工件的形狀相對應的外形；和流體排出部(14)，所述流體排出部(14)設置在面向工件的所述本體(1 的端面上，所述流體排出部(14)包括多個用于沿著所述端面排出壓力流體的排出孔06)，其中，所述本體(1 包括多個外邊緣部(18，20)，所述排出孔06)和所述外邊緣部 (18，20)之間的距離不同；并且其中，所述排出孔G6)面向外邊緣部(18，20)，并且具有與所述排出孔06)和所述外邊緣部(18，20)之間的距離成比例的橫截面積。
2.如權利要求1所述的非接觸式運送設備，其特征在于，其中，所述排出孔G6)的數量等于所述外邊緣部(18，20)的數量，并且所述排出孔G6)垂直于所述外邊緣部(18，20) 的側壁。
3.如權利要求1所述的非接觸式運送設備，其特征在于，其中，每一個所述排出孔G6) 都形成為在平行于所述本體(1 的端面的寬度方向上較大，且在垂直于所述寬度方向的所述本體(1 的厚度方向上較小的扁平形狀。
4.如權利要求1所述的非接觸式運送設備，其特征在于，其中，所述本體(12)的所述外邊緣部(18，20)包括四個第一側，和每一個都位于所述第一側之間且相對于所述第一側傾斜特定角度的四個第二側，并且所述本體(1 形成由所述第一側和所述第二側限定的八邊形形狀；并且其中，所述排出孔G6)包括面向所述第一側的四個第一通道，和每一個都被設置在所述第一通道之間并且面向所述第二側的四個第二通道。
5.如權利要求1所述的非接觸式運送設備，其特征在于，其中，每一個所述排出孔G6) 包括形成在所述流體排出部(14)中的凹槽。
6.如權利要求1所述的非接觸式運送設備，其特征在于，其中，所述排出孔G6)包括第一噴嘴槽(48)，所述第一噴嘴槽08)具有較小的橫截面積；和第二噴嘴槽(50)，所述第二噴嘴槽(50)具有比所述第一噴嘴槽G8)的橫截面積更大的橫截面積；并且其中，所述第一噴嘴槽G8)面向所述外邊緣部(18)中的一個外邊緣部(18)，所述第一噴嘴槽G8)和所述外邊緣部(18)中的一個外邊緣部(18)之間的距離較小，而所述第二噴嘴槽(50)面向另一個所述外邊緣部(20)，所述第二噴嘴槽(50)和所述另一個外邊緣部 (20)之間的距離較大。
7.一種用于通過供給壓力流體而在吸力作用下吸引工件，并且在非接觸的狀態(tài)下保持和運送工件的非接觸式運送設備，其特征在于，所述非接觸式運送設備包括本體(12)，所述本體被形成與工件的形狀相對應的外形；和流體排出部(102)，所述流體排出部(10 被設置在面向工件的所述本體(1 的端面上，所述流體排出部(10 包括用于沿著所述端面排出壓力流體的排出孔(108)，所述排出孔(108)與所述端面分開，其中，所述本體(1 包括多個外邊緣部(18，20)，所述流體排出部(10 和所述外邊緣部(18，20)之間的距離不同；并且其中，所述排出孔(108)面向外邊緣部，并且所述排出孔(108)被連續(xù)地形成，使得所述排出孔(108)與所述排出孔(108)和所述外邊緣部(18，20)之間的距離成比例地與所述端部分開。
8.如權利要求7所述的非接觸式運送設備，其中，每一個所述排出孔(108)都被形成為具有三角形橫截面的凹部；并且其中，每一個所述排出孔(108)包括第一凹部(112)，在所述第一凹部(112)中，從所述流體排出部(102)的頂部分(106) 的深度較小；并且第二凹部(114)，在所述第二凹部(114)中，從所述頂部分(106)的深度大于所述第一凹部(112)的從所述頂部分(106)的深度。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種非接觸式運送設備(10)。非接觸式運送設備(10)包括外殼(12)，和適配進形成在外殼(12)的下表面(12b)中的中心部分上的圓形凹部(34)的板(14)。外殼(12)被形成與要被運送的工件(S)的形狀相對應的形狀，例如，八邊形形狀。在板(14)中，多個噴嘴(46)以相等角度間隔徑向地排列。噴嘴(46)包括第一噴嘴槽(48)和第二噴嘴槽(50)，第一噴嘴槽(48)和第二噴嘴槽(50)的橫截面積取決于外殼(12)的主側(18)和噴嘴(46)之間的距離與外殼(12)的傾斜側(20)和噴嘴(46)之間的距離的比例，用于使通過第一噴嘴槽(48)和第二噴嘴槽(50)的壓力流體的流速不同。
文檔編號B65H5/24GK102311007SQ20111013410
公開日2012年1月11日 申請日期2011年5月11日 優(yōu)先權日2010年5月11日
發(fā)明者大宮平, 飯?zhí)锖扑? 高橋克彰 申請人:Smc株式會社