專利名稱：處理設備、輸送控制裝置以及輸送控制方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種具有在多個處理裝置之間存在多個基板等被輸送物的輸送路徑時，在這些輸送路徑上輸送被輸送物的輸送單元的處理設備、控制該處理設備的輸送單元的輸送控制裝置、控制該處理設備的輸送單元的輸送控制方法。
背景技術：
目前，具有這樣一種處理設備在多個處理裝置之間存在多個具有基板等被輸送物的分支或合流的輸送路徑，并具有在這些輸送路徑上輸送被輸送物的輸送單元，使多個被輸送物對應于一個輸送單元。作為具有存在這樣的分支或合流的輸送路徑的處理設備，一般是在各層設置有處理裝置的房間內具有在各層之間升降的升降機，橫跨各個處理裝置之間對每個貯存箱輸送被輸送物的處理設備。此外，作為一片一片地輸送基板等被輸送物的薄板輸送的處理設備，如在專利文獻1中記載的那樣，提出了一種在各層設置有處理裝置的房間內具有在各層之間升降的升降機，橫跨各處理裝置之間輸送被輸送物的處理設備。此外，如在專利文獻2中記載的那樣，提出了這樣一種多級結構的處理設備，該多級結構的處理設備具有具有升降功能的薄板輸送車、以及進行該薄板輸送車以及處理裝置之間的被輸送物傳遞的裝載端口。在該處理設備中，還可以進行垂直地排列處理裝置的節(jié)省安裝空間的布局。并且，如在專利文獻3中記載的那樣，提出了這樣一種處理設備，該處理設備具有可以連續(xù)地進行輸送的薄板輸送機；以及設置在該薄板輸送機以及處理裝置之間，能夠保管被輸送物的保管架。并且，在這樣的處理設備中，為了實現高效的處理，關于將哪個被輸送物輸送給哪個處理裝置，需要恰當地控制輸送單元。在現有的輸送控制方法中，輸送單元，按照到達該輸送單元的順序，根據到達時亥|J、輸送時間以及等待時間等預約的順序，或者按照根據負荷狀況等預先調度的順序，輸送被輸送物。例如，在專利文獻4中公開了一種使用以下技術的輸送裝置，亦即，在可以通過多個輸送路徑將被輸送物輸入到加工處理裝置的設備中，在短時間內選擇最佳的運行調度， 由此使輸送鋼板在各個設備中的滯留成為最小的限度，來提高各個處理設備的運行效率。 該輸送裝置，具有在生成設置在各個輸送路徑中的輸送裝置的運行調度時，一邊修正已生成的調度的不良點一邊生成多個調度，從多個調度中選擇最佳的調度的運行調度裝置。此外，在專利文獻5中提出了一種與下述這樣的服務單元的調度有關的技術，該服務單元在對被輸送物進行預定處理的多階段工序中，根據來自各個工序的服務請求進行預定服務。該技術能夠進行使整個系統(tǒng)的處理效率優(yōu)先的調度。即，通過累計等待時間計算部對每個被輸送物計算出在各個工序中的等待時間的累計，然后，關于處于等待狀態(tài)的各個服務請求，通過允許等待時間計算部求出提出了服務請求的工序中的處理時間和每個工序的處理時間的最大值的偏差。并且，例如，將與緊急度相對應的修正值輸入優(yōu)先度修正值輸入部。然后，通過優(yōu)先度計算部求出優(yōu)先度，按照該優(yōu)先度選擇一個服務請求。并且，在專利文獻6中，公開了一種以按照被制造物的到達順序進行處理的先入先出方式為基本的，要解決在工期不穩(wěn)定的基礎上生產量降低等課題的半導體工廠的物流控制裝置。在該物流控制裝置中，作為延遲時間計算當前時刻和基準時刻的差，所述當前時刻是前級的物流控制單位的處理結束時刻，所述基準時刻是基于根據理論工期和實際的處理時間的比計算出的處理計劃時間而計算出的時刻。然后，該物流控制裝置通過從該延遲時間最大的被制造物開始優(yōu)先進行處理，這樣可以使被制造物的工期、單位時間的生產量穩(wěn)定。此外，在專利文獻7中，公開了一種具有一邊進行路徑選擇，一邊使在制品、產品等被輸送物在幾個工序之間流動的多個工序的物流控制方法。在該物流控制方法中，設定以下的狀態(tài)方程式使用在當前的各個工序中正在處理以及進行等待的被輸送物數量的信息、以及在預定時間內可以向下一個工序輸送的被輸送物的信息，根據向下一個工序的輸送指令預測下一時刻的各個工序的材料數量。根據使關于各個工序的被輸送物數量以及控制指令的評價函數為最小的解，來求出輸送指令值。對于該輸送指令為正值且大于預定的值，并且被輸送物是可輸送的，輸出輸送指令，特別是在路徑的分支點或合流點，對輸送指令值最大的，輸出輸送指令。專利文獻1特開平07-022488號公報專利文獻2特許第4209572號公報專利文獻3特開2005-167083號公報專利文獻4特開平06_3沘112號公報專利文獻5特開2000-033542號公報專利文獻6特開平9-123041號公報專利文獻7特許第3400851號公報

發(fā)明內容
但是，在所述對每個貯存箱進行輸送的現有的處理設備中，因為當在貯存箱內沒有插入一定數量的被輸送物時不進行輸送，所以存在在制品量增加，研制周期變長的問題。此外，在垂直地排列在專利文獻1中記載的處理裝置時，因為是薄板輸送，所以存在升降機的輸送次數變多，升降動作次數和升降動作距離變長的問題。此外，在專利文獻2中記載的具備薄板輸送車的多級結構的處理設備中，存在由于薄板輸送車的能力限制了輸送能力的問題。并且，因為需要用于裝載端口的空間，所以存在處理設備大型化的問題。并且，在專利文獻3中記載的具備薄板輸送機的處理設備中，因為在全部的處理裝置之前需要保管架的空間，所以存在處理設備大型化的問題。
4
此外，在所述專利文獻4或專利文獻5中記載的輸送控制方法中，因為按照調度預先決定了各個被輸送物的輸送目的地(處理順序)，所以即使在被輸送物的輸送目的地的負荷高的情況下，也按照已決定的輸送順序進行處理。因此，有可能產生被輸送物的阻塞， 難以縮短整個輸送控制的生產節(jié)拍時間。此外，在專利文獻6或者專利文獻7中記載的輸送控制裝置或方法中，特別是在每次輸送一個被輸送物的所謂的薄板輸送線中，需要進行運算處理的數據量巨大。因此，因為無法縮短運算處理所需要的時間，所以難以縮短作為處理裝置的生產節(jié)拍時間。此外，還需要大規(guī)模的運算處理裝置。因此，本發(fā)明的目的在于，提供一種不會大型化、在制品量不會增益、以及研制周期不會變長，可以確保足夠的輸送能力的處理設備。并且，本發(fā)明的目的在于，提供一種輸送控制裝置以及輸送控制方法，即使在被輸送物的輸送目的地的負荷高的情況下，也可以縮短整個處理裝置的生產節(jié)拍時間，即使在所謂的薄板輸送線中也不會增大需要進行運算處理的數據量，并且不需要大規(guī)模的運算處理裝置，運算處理所需要的時間也不會變長。為了解決上述的課題，達成上述目的，本發(fā)明具有以下某種結構。(結構1)本發(fā)明的處理設備在多個處理裝置之間存在多個被輸送物的輸送路徑，并具有沿著所述輸送路徑輸送被輸送物的輸送單元，使多個被輸送物與一個所述輸送單元對應，該處理設備具備升降單元，該升降單元具有跨越所述多個輸送單元之間使被輸送物升降的功能，所述輸送單元，被配置成多級，在所述處理裝置之間輸送被輸送物。所述升降單元具有緩沖存取功能，能夠用作向所述處理裝置投入前后的緩沖器。(結構2)本發(fā)明的處理設備，在具有結構1的處理設備中，對應同一級的所述輸送單元并列配置進行連續(xù)的處理的所述處理裝置，通過同一級的所述輸送單元輸送所述被輸送物。(結構3)本發(fā)明的處理設備，在具有結構1的處理設備中，對應同一級的輸送單元并列配置被推定為輸送量多的處理裝置，由同一級的所述輸送單元輸送所述被輸送物。(結構4)本發(fā)明的輸送控制裝置，在多個處理裝置之間存在多個被輸送物的輸送路徑，具有沿著所述輸送路徑輸送被輸送物的輸送單元，使多個被輸送物與一個所述輸送單元對應的處理設備中，控制所述輸送單元，具備控制所述各輸送單元的控制單元，所述控制單元， 對各時刻的所述各被輸送物的待機時間、所述各被輸送物的輸送目的地處理裝置的負荷狀態(tài)、以及所述各被輸送物的輸送區(qū)域內全體的負荷狀態(tài)的各自進行預定的加權，使用所述加權計算所述各被輸送物的輸送處理的優(yōu)先度，根據該計算結果決定應該將各被輸送物中的哪個被輸送物輸送到哪個處理裝置，根據該決定控制所述輸送單元。(結構5)本發(fā)明的輸送控制單元，在具有結構4的輸送控制單元中，還對所述各被輸送物的輸送源處理裝置的負荷狀態(tài)以及各個輸送單元的負荷狀態(tài)的各自進行預定的加權。(結構6)本發(fā)明的輸送控制裝置，在具有結構4或5的輸送控制裝置中，登錄一個加權模式圖，對應輸送區(qū)域內的狀況變動所述加權模式圖內部的值來使加權變動。(結構7)本發(fā)明的輸送控制裝置，在具有結構4或5的輸送控制裝置中，登錄多個加權模式圖，對應輸送區(qū)域內的狀況選擇一個加權模式圖，由此使加權變動。(結構8)本發(fā)明的輸送控制方法，在多個處理裝置之間存在多個被輸送物的輸送路徑，具有沿著所述輸送路徑輸送被輸送物的輸送單元，使多個被輸送物與一個所述輸送單元對應的處理設備中，控制所述輸送單元，對各時刻的所述各被輸送物的待機時間、所述各被輸送物的輸送目的地處理裝置的負荷狀態(tài)、以及所述各被輸送物的輸送區(qū)域內全體的負荷狀態(tài)的各自進行預定的加權，使用所述加權計算所述各被輸送物的輸送處理的優(yōu)先度，根據所述計算結果決定應該將所述被輸送物中的哪個被輸送物輸送到哪個處理裝置，根據該決定控制所述輸送單元。(結構9)本發(fā)明的輸送控制方法，在具有結構8的輸送控制方法中，還對所述各被輸送物的輸送源處理裝置的負荷狀態(tài)以及各個輸送單元的負荷狀態(tài)的各自進行預定的加權。(結構10)本發(fā)明的輸送控制方法，在具有結構8或9的輸送控制方法中，登錄一個加權模式圖，對應輸送區(qū)域內的狀況變動所述加權模式圖內部的值來使加權變動。(結構11)本發(fā)明的輸送控制方法，在具有結構8或9的輸送控制方法中，登錄多個加權模式圖，對應輸送區(qū)域內的狀況選擇一個加權模式圖，由此使加權變動。根據具有結構1的處理設備，可以一邊進行輸送(例如薄板輸送)，一邊減少在制品量，減少研制周期時間，并且某且節(jié)省空間。此外，因為可以縮短升降單元的移動距離，所以可以謀求節(jié)省能量。并且，因為升降單元具有緩沖存取功能，所以即使在由于維修等導致停止時也可以吸收輸送處理的波動。根據具有結構2的本發(fā)明的處理設備，可以減少在制品量，減少研制周期時間。根據具有結構3的本發(fā)明的處理設備，可以減少在制品量。減少研制周期時間。根據具有結構4的本發(fā)明的輸送控制裝置，可以降低阻塞的發(fā)生頻度，實現整體效率高的輸送，并且可以謀求縮短輸送區(qū)域內的總和生產節(jié)拍時間。根據具有結構5的本發(fā)明的輸送控制裝置，可以降低阻塞的發(fā)生頻度，實現整體效率高的輸送，并且可以謀求縮短輸送區(qū)域內的總和生產節(jié)拍時間。根據具有結構6的本發(fā)明的輸送控制裝置，可以選擇與輸送區(qū)域內的狀態(tài)對應的最佳的輸送指示，可以降低阻塞的產生頻度。因此，可以實現整體效率高的輸送，并且可以謀求縮短輸送區(qū)域內的總和生產節(jié)拍時間。根據具有結構8的本發(fā)明的輸送控制方法，可以降低阻塞的發(fā)生頻度，實現整體效率高的輸送，并且可以謀求縮短輸送區(qū)域內的總和生產節(jié)拍時間。根據具有結構9的本發(fā)明的輸送控制方法，可以降低阻塞的發(fā)生頻度，實現整體效率高的輸送，并且可以謀求縮短輸送區(qū)域內的總和生產節(jié)拍時間。根據具有結構10的本發(fā)明的輸送控制方法，可以選擇與輸送區(qū)域內的狀態(tài)對應的最佳的輸送指示，可以降低阻塞的產生頻度。因此，可以實現整體效率高的輸送，并且可以謀求縮短輸送區(qū)域內的總和生產節(jié)拍時間。根據具有結構11的本發(fā)明的輸送控制方法，可以選擇與輸送區(qū)域內的狀態(tài)對應的最佳的輸送指示，可以降低阻塞的產生頻度。因此，可以實現整體效率高的輸送，并且可以謀求縮短輸送區(qū)域內的總和生產節(jié)拍時間。S卩，本發(fā)明提供一種不會大型化、在制品量不會增益、以及研制周期不會變長，可以確保足夠的輸送能力的處理設備。此外，根據本發(fā)明，即使在被輸送物的輸送目的地的負荷高的情況下，也可以縮短整個處理裝置的生產節(jié)拍時間。并且，本發(fā)明提供一種即使在所謂的薄板輸送線中也不會增大需要進行運算處理的數據量，并且作為運算處理裝置不需要大規(guī)模的裝置，運算處理所需要的時間也不會變長的輸送控制裝置以及輸送控制方法。


圖1是表示本發(fā)明的處理裝置的第一實施方式的結構的側面圖。圖2是表示本發(fā)明的處理裝置的第二實施方式的結構的側面圖。圖3是表示本發(fā)明的處理裝置的第三實施方式的結構的側面圖。圖4是表示執(zhí)行本發(fā)明的輸送控制方法的處理設備的結構的方框圖。圖5是表示應用了本發(fā)明的輸送控制裝置的處理設備的結構的(a)平面圖以及 (b)側面圖。圖6是表示本發(fā)明的輸送控制裝置的結構的方框圖。圖7是表示本發(fā)明的輸送控制裝置的指示管理部的動作的流程圖。圖8是表示本發(fā)明的輸送控制裝置的最佳化處理的流程圖。符號說明1控制單元；2工序管理部；3輸送指示部；4指示管理部；5設備管理部；6設備狀態(tài)部；102處理裝置(處理B) ； 103處理裝置(處理C) ； 104處理裝置(處理D) ； 106輸送單元；107輸送單元
具體實施例方式以下根據

本發(fā)明的實施方式。(處理設備的第一實施方式)圖1是表示本發(fā)明的處理設備的第一實施方式的結構的側面圖在本實施方式的處理設備中，如圖1所示，在多個處理裝置101、102、103、104之間存在多個被輸送物的輸送路徑。此外，沿著該輸送路徑，設置有輸送基板(被輸送物)111 的多個帶有岔路功能的輸送機(以下稱為岔路輸送機，FCV 輸送單元)107a、7、107b、107c、 107d。使多個基板111對應于各個岔路輸送機107a、7、107b、107c、107d。在該處理設備中，多級地設置了各處理裝置101、102、103、104以及各岔路輸送機 107a、7、107b、107c、107d。在上級設置第一處理裝置101以及第三處理裝置103，在下級設置第二處理裝置102以及第四處理裝置104。并且，在上級設置第一 第三岔路輸送機 107a、7、107b、107c，在下級設置第四以及第五岔路輸送機107d、107e。在該處理設備中，從工序之外經由送入輸送機106a將基板111送入到第一岔路輸送機107a。該第一岔路輸送機107a可以與第一處理裝置101進行基板111的傳遞。在該第一岔路輸送機107a和第二以及第四岔路輸送機107b、107d之間，設置了帶有第一縱向輸送(升降)功能的輸送機(以下稱為縱向輸送機，縱向CV ·升降機升降單元)108。第四岔路輸送機107d可以與第二處理裝置102進行基板111的傳遞。在該第二以及第四岔路輸送機107b、107d和第三以及第五岔路輸送機107c、107e之間，設置了第二縱向輸送機109。第三岔路輸送機107c可以與第三處理裝置103進行基板111的傳遞。此外，第五岔路輸送機107e可以與第四處理裝置104進行基板111的傳遞。在第三以及第五岔路輸送機107c、107e和向工序外送出基板111的送出輸送機106b之間，設置了第三縱向輸送機 110。在該處理設備中，第一以及第二縱向輸送機108、109具有緩沖存取功能，可以用作向各處理裝置101、102、103、104投入基板前后的緩沖器。即，在第一以及第二縱向輸送機108、109中暫時滯留從某個處理裝置直到向下一個處理裝置進行輸送為止的期間的基板 111。在該處理裝置中，最好與同一級的岔路輸送機對應地并列設置進行連續(xù)的處理的處理裝置，使用同一級的岔路輸送機輸送基板111。通過如此地配置處理裝置，可以減少在制品量，并且可以減少研制周期。此外，在該處理設備中，最好與同一級的岔路輸送機對應地并列設置被推定為輸送量多的處理裝置，使用同一級的岔路輸送機輸送基板111。通過如此地配置處理裝置，可以減少在制品量，并且可以減少研制周期。在該處理裝置中，通過各個岔路輸送機107a、107b、107c、107d以及各縱向輸送機 108、109，把從輸入輸送機106a送入的基板111輸送到任意的處理裝置101、102、103、104。 此外，從各處理裝置101、102、103、104送出基板111。在各處理裝置101、102、103、104中，
對基板111實施預定處理(檢查)。各縱向輸送機108、109根據需要進行升降動作(輸送路徑的分支)，將基板111輸送給同級或者其他級的岔路輸送機。(處理設備的第二實施方式)圖2是表示本發(fā)明的處理設備的第二實施方式的結構的側面圖。在本實施方式的處理設備中，如圖2所示，在相同的一側配置了基板111的送入口和送出口。即，在該處理設備中，在上級設置第一 第三處理裝置101、102、103，在下級設置第四 第六處理裝置104、115、116。并且，在上級設置第一 第三岔路輸送機107a、107b、 107c，在下級設置第四 第六岔路輸送機107d、107e、107f。在該處理設備中，從工序外對第一岔路輸送機107a送入基板111。此外，從第六岔路輸送機107f向工序外送出基板111。第一岔路輸送機107a可以與第一處理裝置101進行基板111的傳遞。此外，第二岔路輸送機107b可以與第二處理裝置102進行基板111的傳遞。第三岔路輸送機107c可以與第三處理裝置103進行基板111的傳遞。第四岔路輸送機107d可以與第四處理裝置 104進行基板111的傳遞。第五岔路輸送機107e可以與第五處理裝置115進行基板111的傳遞。第六岔路輸送機107f可以與第六處理裝置116進行基板111的傳遞。在第一以及第六岔路輸送機107a、107f和第二以及第五岔路輸送機107b、107e之間配置了第一縱向輸送機108。此外，在第二以及第五岔路輸送機107b、107e和第三以及第四岔路輸送機107c、 107d之間設置了第二縱向輸送機109。并且，在第三以及第四岔路輸送機107c、107d的端部設置了第三縱向輸送機110。在該處理設備中，第一 第三縱向輸送機108、109、110具有緩沖存取功能，可以用作向各處理裝置101、102、103、104、115、116投入基板前后的緩沖器。在該處理裝置中，最好與同一級的岔路輸送機對應地并列設置進行連續(xù)的處理的處理裝置，使用同一級的岔路輸送機輸送基板111。通過如此地配置處理裝置，可以減少在制品量，并且可以減少研制周期。此外，在該處理設備中，最好與同一級的岔路輸送機對應地并列設置被推定為輸送量多的處理裝置，使用同一級的岔路輸送機輸送基板111。通過如此地配置處理裝置，可以減少在制品量，并且可以減少研制周期。在該處理裝置中，通過各個岔路輸送機107a、107b、107c、107d、107e、107f以及各縱向輸送機108、109、110，把送入到第一岔路輸送機107a中的基板111輸送到任意的處理裝置 101、102、103、104、115、116。此外，從各處理裝置 101、102、103、104、115、116 送出基板
111。在各處理裝置101、102、103、104、115、116中，對基板111實施預定處理(檢查)。各縱向輸送機108、109、110根據需要進行升降動作(輸送路徑的分支)，將基板111輸送給同級或者其他級的岔路輸送機。(處理設備的第三實施方式)圖3是表示本發(fā)明的處理設備的第三實施方式的結構的側面圖。在本實施方式的處理設備中，如圖3所示，分三級地設置了處理裝置以及岔路輸送機。即，在該處理設備中，在上級設置第一以及第二處理裝置101、102，在中級設置第三以及第四處理裝置103、104，在下級設置第五以及第六處理裝置115、116。并且，在上級設置第一 第三岔路輸送機107a、107b、107c，在中級設置第四 第六岔路輸送機107d、107e、 107f，在下級設置第七 第九岔路輸送機107g、107h、107i。在該處理設備中，從工序外對第一岔路輸送機107a送入基板111。此外，從第四或第七岔路輸送機107d、107g向工序外送出基板111。第一岔路輸送機107a可以與第一處理裝置101進行基板111的傳遞。此外，第二岔路輸送機107b可以與第二處理裝置102進行基板111的傳遞。第四岔路輸送機107d可以與第四處理裝置104進行基板111的傳遞。第六岔路輸送機107f可以與第三處理裝置 103進行基板111的傳遞。第八岔路輸送機10 可以與第五處理裝置115進行基板111的傳遞。第九岔路輸送機107i可以與第六處理裝置116進行基板111的傳遞。在第一、第四以及第七岔路輸送機107a、107d、107g和第二、第五以及第八岔路輸送機107b、107e、107h之間配置了第一縱向輸送機108。此外，在第二、第五以及第八岔路輸送機107b、107e、l(^h和第三、第六以及第九岔路輸送機107c、107f、107i之間設置了第二縱向輸送機109。并且，在第三、第六以及第九岔路輸送機107c、107f、107i的端部設置了第三縱向輸送機110。并且，在第一、第四以及第七岔路輸送機107a、107d、107g的端部(送入口和送出口)設置了送入送出縱向輸送機
112。
在該處理設備中，第一 第三縱向輸送機108、109、110具有緩沖存取功能，可以用作向各處理裝置101、102、103、104、115、116投入基板前后的緩沖器。在該處理裝置中，最好與同一級的岔路輸送機對應地并列設置進行連續(xù)的處理的處理裝置，使用同一級的岔路輸送機輸送基板111。通過如此地配置處理裝置，可以減少在制品量，并且可以減少研制周期。此外，在該處理設備中，最好與同一級的岔路輸送機對應地并列設置被推定為輸送量多的處理裝置，使用同一級的岔路輸送機輸送基板111。通過如此地配置處理裝置，可以減少在制品量，并且可以減少研制周期。在該處理裝置中，通過各個岔路輸送機107a、107b、107c、107d、107e、107f、107g、 107h、107i以及各縱向輸送機108、109、110，把送入到第一岔路輸送機107a中的基板111 輸送到任意的處理裝置101、102、103、104、115、116。此外，從各處理裝置101、102、103、 104、115、116送出基板111。在各處理裝置101、102、103、104、115、116中，對基板111實施
預定處理(檢查)。各縱向輸送機108、109、110對應輸送路徑的分支等，并且根據需要進行升降動作，將基板111輸送給同級或者其他級的岔路輸送機。(輸送控制方法的實施方式)圖4是表示執(zhí)行本發(fā)明的輸送控制方法的處理設備的結構的方框圖。如圖4所示，本實施方式的輸送控制方法是在處理設備(例如所述第一 第三實施方式的處理設備)中控制輸送單元的輸送控制方法，該處理設備在多個處理裝置101、 102、103、104之間存在多個被輸送物的輸送路徑，具有沿著該輸送路徑進行被輸送物的輸送的多個輸送單元，使多個被輸送物對應一個輸送單元。在該處理設備中，按照從上位系統(tǒng)取得的處理裝置101、102、103、104(處理A、處理B、處理C、處理D)之間的輸送信息，依次在處理裝置101、102、103、104之間輸送線內的被輸送物(例如，FPD或在半導體中使用的玻璃基板等)。本實施方式的輸送控制方法改善這樣的處理設備的輸送效率。在這樣的處理設備中，投入到出入口 105的被輸送物，依次被輸送到各處理裝置
101、102、103、104，實施預定處理，并且再次返回到出入口105。但是，在該處理設備中，有可能對應各處理裝置中的處理結果(例如，檢查結果)變更下一個輸送到的處理裝置(工序)。此外，在該處理裝置中，因為有時將多個被輸送物輸送到同一處理裝置(例如檢查裝置)，所以在各個處理裝置之間存在多個分支或合流。本實施方式的輸送控制方法，特別適合于每次輸送一張被輸送物的薄板輸送線。 在薄板輸送線中，因為同時進行輸送控制的被輸送物的數量變得巨大，所以在現有的輸送控制方法中控制極為困難。(輸送控制裝置的結構)圖5是表示應用了本發(fā)明的輸送控制裝置的處理設備的結構的(a)平面圖以及 (b)側面圖。在應用了本實施方式的輸送控制裝置的處理設備中，如圖5(a)所示，從成為出入口 105的端口 A E投入被輸送物。通過輸送機(輸送單元)106、107在多個處理裝置101、
102、103、104之間輸送被輸送物。如圖5(b)所示，輸送機107由岔路輸送機(FCV) 107和縱向輸送機(縱向CV) 108、
10109、110構成。岔路輸送機107水平地輸送被輸送物，并且與處理裝置101、102、103、104進行被輸送物的傳遞?？v向輸送機108、109、110具有緩沖存取功能。在該處理裝置中，上下裝載地配置了處理A的處理裝置101和處理D的處理裝置 104，此外，上下裝載地配置了處理B的處理裝置102和處理C的處理裝置103。并且，分別在輸送線的起始端以及終端、處理裝置101以及處理裝置104和處理裝置102以及處理裝置103之間，設置了縱向輸送機108、109、110。在這些縱向輸送機108、109、110中暫時滯留從某個處理裝置直到向下一個處理裝置進行輸送為止的期間的被輸送物。在該處理裝置中，通過本實施方式的輸送控制裝置控制輸送機106、107，由此將各個被輸送物輸送到各處理裝置101、102、103、104以及各縱向輸送機108、109、110這樣的任意場所，在各處理裝置101、102、103、104中對各個被輸送物實施預定處理(檢查)。圖6是表示本實施方式的輸送控制裝置的結構的方框圖。如圖6所示，本實施方式的輸送控制裝置具有控制輸送單元106、107的控制單元 1。該控制單元1具有從上位系統(tǒng)201接收處理之間的輸送信息的工序管理部2。該工序管理部2生成被輸送物的輸送區(qū)域內的處理裝置之間的輸送指示信息，并積存在輸送指示部3中。通過指示管理部4讀出積存在輸送指示部3中的輸送指示信息，發(fā)送給設備管理部5。另一方面，從各輸送單元106、107送出動作結果信息以及設備狀態(tài)信息(跟蹤數據)，經由設備管理部5積存在設備狀態(tài)部(跟蹤數據DB)6中。由指示管理部4讀出積存在設備狀態(tài)部6中的動作結果信息以及設備狀態(tài)信息，將其用于生成輸送指示信息。設備管理部5，根據接收到的輸送指示信息，生成控制各輸送單元106、107的動作指示信息，并將其發(fā)送給各輸送單元106、107。然后，根據動作指示信息控制各輸送單元 106、107來使其進行動作。在該輸送控制裝置中，指示管理部4在生成輸送指示信息時計算被輸送物的處理優(yōu)先度，進行應該將多個被輸送物中的哪個被輸送物輸送給哪個處理裝置的最佳化處理。在該最佳化處理中，在計算被輸送物的處理優(yōu)先度時，從各輸送單元106、107的動作結果信息以及設備狀態(tài)信息中抽出決定優(yōu)先度的多個項目，并且對這些項目中的每個項目設定加權。關于加權的設定，登錄一個模式圖，對應輸送區(qū)域內的狀況變動該一個模式圖。或者可以登錄多個模式圖，對應輸送區(qū)域內的狀況選擇一個模式圖。S卩，指示管理部4對各時刻的各個被輸送物的待機時間、各個被輸送物的輸送目的地處理裝置101、102、103. 104的負荷狀態(tài)、各個被輸送物的輸送源處理裝置101、102、 103、104的負荷狀態(tài)、各被輸送物的輸送區(qū)域內全體的負荷狀態(tài)、以及各輸送單元的負荷狀態(tài)的各自進行預定的加權(對應輸送區(qū)域內的狀況使加權變動)，計算出各個被輸送物的輸送處理的優(yōu)先度。然后，指示管理部4根據該計算結果，決定把各個被輸送物中的哪個被輸送物輸送給哪個處理裝置101、102、103、104，根據該決定控制輸送單元106、107。(輸送控制裝置的動作(輸送控制方法))圖7是表示輸送控制裝置的指示管理部4的動作的流程圖。在步驟Stl中，確認在設備狀態(tài)部6中積存的動作結果信息以及設備狀態(tài)信息。在步驟st2中，判斷有無處理已完成的被輸送物。如果具有處理已完成的被輸送物，則進入到步驟st9，如果沒有處理已完成的被輸送物，進入到步驟st3。在步驟st9中，將輸送指示已完成的被輸送物的狀態(tài)信息變更為“完成”。在步驟st3中，判斷有無待機中的被輸送物，如果存在待機中的被輸送物，則進入到步驟st4，如果沒有待機中的被輸送物，則進入到步驟stl3中處理結束。在步驟st4中，確認輸送單元106、107的狀態(tài)。在步驟st5中，判斷是否需要進行輸送單元106、107的最佳化處理。如果需要進行最佳化處理，則進入到步驟StlO中，如果不需要進行最佳化處理則進入到步驟Ste中。在步驟StlO中，進行最佳化處理。在該最佳化處理中，如后述那樣，從各個輸送單元106、107的動作結果信息以及設備狀態(tài)信息中抽出決定優(yōu)先度的多個項目，對這些項目中的每個項目設定加權。在步驟still中，變更輸送指示信息中的輸送目的地。在步驟Ste中，決定針對移動單元106、107的作業(yè)命令中的輸送目的地。在步驟 st7中，生成針對移動單元106、107的作業(yè)命令。在步驟st8中，判斷輸送指示信息是否為待機中。如果是待機中，則進入步驟 stl2,如果不是待機中，則進入步驟stl3，處理結束。在步驟stl2中，將開始了輸送指示的被輸送物的狀態(tài)信息變更為“輸送中”，進入到步驟stl3中處理結束。圖8是表示輸送控制裝置中的最佳化處理(圖7的stlO)的流程圖。如圖8所示，所述的最佳化處理在步驟st21中受理最佳化請求。在步驟st22中， 讀取各種信息數據。然后，在步驟st23中，抽出針對成為對象的輸送單元106、107的各個輸送指示。然后，在步驟StM中，確認可否執(zhí)行輸送指示。然后，如果能夠執(zhí)行輸送指示，則在步驟st25中，臨時決定輸送指示中的輸送目的地。然后，在步驟中，計算輸送指示的優(yōu)先度。然后，在步驟st27中，選擇要執(zhí)行的輸送指示。然后，在步驟中，輸出要執(zhí)行的輸送指示，最佳化處理結束。如以下的表(1)所示，對每個項目進行加權，根據該加權計算優(yōu)先度。被輸送物的前后的優(yōu)先度條件
權利要求
1.一種輸送控制裝置，其用于在下述的處理設備中控制輸送單元，所述處理設備在多個處理裝置之間存在多條被輸送物的輸送路徑，并具有多個沿著所述輸送路徑輸送被輸送物的輸送單元，使多個被輸送物與一個所述輸送單元對應，該輸送控制裝置的特征在于，具備控制所述各輸送單元的控制單元，所述控制單元，對各時刻的所述各被輸送物的待機時間、所述各被輸送物的輸送目的地處理裝置的負荷狀態(tài)、以及所述各被輸送物的輸送區(qū)域內全體的負荷狀態(tài)分別進行預定的加權，使用所述加權計算所述各被輸送物的輸送處理的優(yōu)先度，根據該計算結果決定應該將所述各被輸送物中的哪個被輸送物輸送到哪個處理裝置，根據該決定控制所述輸送單兀。
2.根據權利要求1所述的輸送控制裝置，其特征在于，所述控制單元，還對所述各被輸送物的輸送源處理裝置的負荷狀態(tài)以及各個輸送單元的負荷狀態(tài)分別進行預定的加權。
3.根據權利要求1或2所述的輸送控制裝置，其特征在于，所述控制單元，登錄一個加權模式圖，對應輸送區(qū)域內的狀況使所述加權模式圖內部的值變動來使加權變動。
4.根據權利要求1或2所述的輸送控制裝置，其特征在于，所述控制單元，登錄多個加權模式圖，對應輸送區(qū)域內的狀況選擇一個加權模式圖，由此使加權變動。
5.一種輸送控制方法，其用于在下述的處理設備中控制輸送單元，該處理設備在多個處理裝置之間存在多個被輸送物的輸送路徑，并具有多個沿著所述輸送路徑輸送被輸送物的輸送單元，使多個被輸送物與一個所述輸送單元對應，該輸送控制方法的特征在于，對各時刻的所述各被輸送物的待機時間、所述各被輸送物的輸送目的地處理裝置的負荷狀態(tài)、以及所述各被輸送物的輸送區(qū)域內全體的負荷狀態(tài)分別進行預定的加權，使用所述加權計算所述各被輸送物的輸送處理的優(yōu)先度，根據所述計算結果決定應該將所述各被輸送物中的哪個被輸送物輸送到哪個處理裝置，根據該決定控制所述輸送單元。
6.根據權利要求5所述的輸送控制方法，其特征在于，還對所述各被輸送物的輸送源處理裝置的負荷狀態(tài)以及各個輸送單元的負荷狀態(tài)分別進行預定的加權。
7.根據權利要求5或6所述的輸送控制方法，其特征在于，登錄一個加權模式圖，對應輸送區(qū)域內的狀況變動所述加權模式圖內部的值來使加權變動。
8.根據權利要求5或6所述的輸送控制方法，其特征在于，登錄多個加權模式圖，對應輸送區(qū)域內的狀況選擇一個加權模式圖，由此使加權變動。
全文摘要
本發(fā)明提供一種處理設備、輸送控制裝置以及輸送控制方法。處理設備在各個處理裝置之間具有多個輸送路徑。處理設備對各時刻的各被輸送物的待機時間、輸送目的地以及輸送源的處理裝置的負荷狀態(tài)、各被輸送物的輸送區(qū)域內全體的負荷狀態(tài)、以及各輸送單元的負荷狀態(tài)的各自進行加權，對應輸送區(qū)域內的狀況使加權變動來計算輸送處理的優(yōu)先度，決定將哪個被輸送物輸送到哪個處理裝置來控制輸送單元。上述處理設備不會大型化，不會增加在制品量和研制周期，具有足夠的輸送能力。根據上述的處理設備，在被被輸送物的輸送目的地的負荷高時，可以縮短整個處理裝置的生產節(jié)拍時間。
文檔編號B65G43/00GK102502201SQ201110358229
公開日2012年6月20日 申請日期2009年6月22日 優(yōu)先權日2008年6月20日
發(fā)明者志田倫教 申請人:株式會社Ihi