專利名稱：板狀體搬運(yùn)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及板狀體搬運(yùn)裝置，這種搬運(yùn)裝置具有向板狀體的下表面供給空氣從而以非接觸狀態(tài)支撐板狀體的送風(fēng)式支撐單元、以及對(duì)板狀體施加搬運(yùn)方向上的推進(jìn)力的推進(jìn)力施加單元，所述送風(fēng)式支撐單元設(shè)在位于板狀體搬運(yùn)路徑的橫寬尺寸內(nèi)的部位。
背景技術(shù)：
上述板狀體搬運(yùn)裝置是用送風(fēng)式支撐單元向板狀體的下表面供給空氣，從而以非接觸狀態(tài)支撐板狀體，并且用推進(jìn)力施加單元對(duì)該板狀體施加搬運(yùn)方向上的推進(jìn)力，從而沿著搬運(yùn)方向搬運(yùn)板狀體。并且將送風(fēng)式支撐單元設(shè)在位于板狀體搬運(yùn)路徑的橫寬尺寸內(nèi)的部位，從而使板狀體搬運(yùn)裝置在橫寬方向上較為緊湊。
另外，在這種板狀體搬運(yùn)裝置上，過去是設(shè)置作為送風(fēng)式支撐單元的風(fēng)扇過濾器單元，并且是在風(fēng)扇過濾器單元的上方以與風(fēng)扇過濾器單元在上下方向重疊的狀態(tài)設(shè)置部(見專利文獻(xiàn)I)。專利文獻(xiàn)I :日本發(fā)明專利特開2005-029359號(hào)公報(bào)采用上述傳統(tǒng)的板狀體搬運(yùn)裝置時(shí)，一旦正在搬運(yùn)的板狀體破損，這個(gè)破損的板狀體的碎片就會(huì)作為異物而落到容器部上，有時(shí)異物會(huì)從容器部的噴出口侵入容器空間內(nèi)。并且侵入容器空間內(nèi)的異物會(huì)繼續(xù)下落而侵入送風(fēng)式支撐單元。一旦有異物侵入送風(fēng)式支撐單元，為了清除這種異物就要取下送風(fēng)式支撐單元來進(jìn)行清除，并且清除異物的作業(yè)非常麻煩。尤其是在用風(fēng)扇過濾器單元來構(gòu)成送風(fēng)式支撐單元時(shí)，由于異物會(huì)侵入到風(fēng)扇過濾器單元的除塵過濾器中，因此為了清除碎片而必須取下送風(fēng)式支撐單元并更換除塵過濾器等，使清除異物的作業(yè)非常麻煩。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述情況，目的在于提供一種容易進(jìn)行異物清除作業(yè)的板狀體搬運(yùn)裝置。本發(fā)明的板狀體搬運(yùn)裝置具有送風(fēng)式支撐單元，該送風(fēng)式支撐單元設(shè)在位于板狀體搬運(yùn)路徑的橫寬尺寸內(nèi)的部位，且向板狀體的下表面供給空氣，從而以非接觸狀態(tài)支撐板狀體；以及推進(jìn)力施加單元，該推進(jìn)力施加單元對(duì)板狀體施加搬運(yùn)方向上的推進(jìn)力。所述送風(fēng)式支撐單元具有供給空氣用的空氣供給源；容器部，該容器部形成供來自所述空氣供給源的空氣壓入的容器空腔且具有從該容器空腔向上方噴出空氣的噴出口 ；導(dǎo)向通道部，該導(dǎo)向通道部以將從所述空氣供給源供給的空氣引導(dǎo)到所述容器空腔的狀態(tài)使所述空氣源與所述容器部連通；導(dǎo)向板部，該導(dǎo)向板部與所述容器部鄰接配置，以對(duì)從所述噴出口向板狀體的下表面噴出的空氣沿著板狀體的下表面進(jìn)行引導(dǎo)，所述空氣供給源設(shè)在相對(duì)于所述容器部在水平方向上錯(cuò)開的部位，從而俯視時(shí)不與所述容器部的所述噴出口重疊。S卩，從空氣供給源供給的空氣沿導(dǎo)向通道部流動(dòng)而被壓入容器部的容器空腔內(nèi)，且該空氣從容器部的噴出口向上方噴出。并且，從噴出口向上方噴出的空氣向板狀體的下表面供給，向板狀體的下表面供給的空氣在導(dǎo)向板部與板狀體之間的空間內(nèi)沿著導(dǎo)向板部的上表面及板狀體的下表面流動(dòng)。S卩，在設(shè)有容器部的部位，能夠利用從容器部向上方噴出的空氣以非接觸狀態(tài)支撐板狀體的下表面，而在設(shè)有導(dǎo)向板部的部位，則能利用在該導(dǎo)向板部上形成的空氣層以非接觸狀態(tài)支撐板狀體的下表面，因此不僅在設(shè)有容器部的部位，就連在容器部周圍設(shè)有導(dǎo)向板部的部位也能以非接觸狀態(tài)支撐板狀體。另外，來自空氣供給源的空氣是沿導(dǎo)向通道部流動(dòng)而被壓入容器部的容器空腔內(nèi)，因此即使在空氣供給源供給的空氣中產(chǎn)生脈動(dòng)(pulsation)，也能通過容器空腔的氣墊作用(cushioning)來吸收這種脈動(dòng)，因此能夠減輕從噴出口噴出的空氣的脈動(dòng)。并且，將空氣供給源設(shè)在相對(duì)于所述容器部在水平方向上錯(cuò)開的部位，從而俯視時(shí)不與容器部的噴出口重疊。從而，即使有破損的板狀體的碎片等異物從噴出口侵入容器空腔內(nèi)，該異物也不會(huì)直接落到空氣供給源，因此異物難以侵入空氣供給源。即，能夠使侵入的異物滯留在容器部，因此只要清除容器空腔內(nèi)的異物即可，使清除異物的作業(yè)容易進(jìn)行。從而，能夠?qū)崿F(xiàn)容易進(jìn)行異物清除作業(yè)的板狀體搬運(yùn)裝置。在本發(fā)明的板狀體搬運(yùn)裝置的實(shí)施例中，最好所述容器部設(shè)置成沿著所述搬運(yùn)方向延伸的形式，所述導(dǎo)向板部配置成在與所述搬運(yùn)方向交叉的橫寬方向兩側(cè)與所述容器部鄰接的狀態(tài)，并將所述空氣供給源設(shè)在相對(duì)于所述容器部在所述橫寬方向上錯(cuò)開的部位上。S卩，從沿搬運(yùn)方向設(shè)置的容器部的噴出口向上方噴出空氣而將空氣向板狀體的下表面供給，并且向該板狀體的下表面供給的空氣在導(dǎo)向板部與位于其上方的板狀體之間的空間內(nèi)沿著導(dǎo)向板部的上表面及板狀體的下表面并沿橫寬方向流動(dòng)，其中導(dǎo)向板部與容器部在橫寬方向兩側(cè)鄰接。從而，能夠使送風(fēng)式支撐單元在搬運(yùn)方向上對(duì)板狀體的支撐力均勻，減少沿搬運(yùn)方向搬運(yùn)板狀體時(shí)板狀體的撓曲(deflection)。更具體是，在設(shè)有容器部的部位，是利用從容器部向上方噴出的空氣來支撐板狀體的下表面，而在設(shè)有導(dǎo)向板部的部位，則是利用在該導(dǎo)向板部上形成的空氣層來支撐板狀體的下表面，因此在設(shè)有容器部的部位與設(shè)有導(dǎo)向板部的部位，對(duì)板狀體的下表面予以支撐的支撐力不同。一旦將這種支撐力不同的容器部與導(dǎo)向板部沿搬運(yùn)方向并排配置，在搬運(yùn)方向上的位置不同就會(huì)導(dǎo)致支撐單元對(duì)板狀體的支撐力不同，因此當(dāng)沿搬運(yùn)方向搬運(yùn)板狀體時(shí)容易發(fā)生板狀體的上下晃動(dòng)。對(duì)此，通過將容器部與導(dǎo)向板部沿橫寬方向并排配置，能夠使送風(fēng)式支撐單元在搬運(yùn)方向上對(duì)板狀體的支撐力均勻，因此在沿搬運(yùn)方向搬運(yùn)板狀體時(shí)不易發(fā)生板狀體的上下晃動(dòng)，能夠減少板狀體的撓曲。在本發(fā)明的板狀體搬運(yùn)裝置的實(shí)施例中，所述送風(fēng)式支撐單元沿著與所述搬運(yùn)方向交叉的橫寬方向并排設(shè)置一對(duì)，并且在所述一對(duì)送風(fēng)式支撐單元之間形成將所述導(dǎo)向板部上的空氣向所述導(dǎo)向板部下方的空間排出的排氣路徑。S卩，通過在沿橫寬方向并排設(shè)置的一對(duì)送風(fēng)式支撐單元之間形成將導(dǎo)向板部上的空氣向?qū)虬宀肯路降目臻g排出的排氣路徑，且從該排氣路徑排出空氣，使空氣不易滯留、在板狀體的中間部的下方。從而，由于空氣不易滯留在中間部的下方，被搬運(yùn)的板狀體能夠在中間部的隆起受到抑制的、接近水平姿勢(shì)的狀態(tài)下被搬運(yùn)，能夠減輕對(duì)板狀體施加的負(fù)荷。在本發(fā)明的板狀體搬運(yùn)裝置的實(shí)施例中，作為所述推進(jìn)力施加單元，最好具有如下的一對(duì)推進(jìn)力施加單元對(duì)板狀體上的所述橫寬方向一端部予以接觸支撐、從而對(duì)板狀體施加搬運(yùn)方向上的推進(jìn)力的一端側(cè)推進(jìn)力施加單元，以及對(duì)板狀體上的所述橫寬方向另一端部予以接觸支撐、從而對(duì)板狀體施加搬運(yùn)方向上的推進(jìn)力的另一端側(cè)推進(jìn)力施加單元，設(shè)置在所述一對(duì)送風(fēng)式支撐單元上的導(dǎo)向板部各自構(gòu)成為在所述橫寬方向上接近所述排氣路徑的內(nèi)側(cè)導(dǎo)向板部在所述橫寬方向上的寬度比在所述橫寬方向上遠(yuǎn)離所述排氣路徑的外側(cè)導(dǎo)向板部小。S卩，利用一端側(cè)推進(jìn)力施加單元對(duì)板狀體在橫寬方向上的一端部予以接觸支撐，并利用另一端側(cè)推進(jìn)力施加單元對(duì)板狀體在橫寬方向上的另一端部予以接觸支撐，從而用 一對(duì)推進(jìn)力施加單元對(duì)板狀體在橫寬方向上的兩端部予以接觸支撐。從而，通過用一對(duì)推進(jìn)力施加單元對(duì)板狀體在橫寬方向上的兩端部予以接觸支撐而以穩(wěn)定的狀態(tài)支撐板狀體，并對(duì)支撐的板狀體的兩端部施加推進(jìn)力，因此能夠以穩(wěn)定的狀態(tài)沿搬運(yùn)方向搬運(yùn)板狀體。并且，由于設(shè)置在一對(duì)送風(fēng)式支撐單元上的導(dǎo)向板部各自構(gòu)成為內(nèi)側(cè)導(dǎo)向板部在橫寬方向上的寬度比外側(cè)導(dǎo)向板部小，因此容器部最終是以偏向排氣路徑一側(cè)的狀態(tài)配置，能夠?qū)娜萜鞑繃姵龅目諝庀虬鍫铙w的橫寬方向中央附近的下表面供給。從而，通過用一對(duì)送風(fēng)式支撐單元將空氣向板狀體在橫寬方向上的中央附近的下表面供給，抑制了一對(duì)推進(jìn)力施加單元對(duì)板狀體的接觸壓力減少，能夠以抑制板狀體松弛的方式支撐板狀體在橫寬方向上的中間部，因而板狀體能夠在得到穩(wěn)定支撐的狀態(tài)下被搬運(yùn)，能夠順利實(shí)現(xiàn)板狀體的搬運(yùn)。在本發(fā)明的板狀體搬運(yùn)裝置的實(shí)施例中，最好所述容器部在其下面部或側(cè)面部形成維護(hù)用開口，并且設(shè)有自由開閉該維護(hù)用開口的蓋子部件。S卩，由于在容器部形成了維護(hù)用開口，并且設(shè)有自由開閉該維護(hù)用開口的蓋子部件，因此平時(shí)能夠用蓋子部件關(guān)閉維護(hù)用開口，而在要進(jìn)行維護(hù)作業(yè)時(shí)打開蓋子部件，并從維護(hù)用開口對(duì)容器空腔內(nèi)進(jìn)行維護(hù)作業(yè)。從而，當(dāng)有異物侵入容器部時(shí)，打開蓋子部件就能從維護(hù)用開口清除異物，容易進(jìn)行異物清除作業(yè)。在本發(fā)明的板狀體搬運(yùn)裝置的實(shí)施例中，最好所述空氣供給源具有向上方供給空氣的供給面，所述導(dǎo)向通道部的一端部與所述空氣供給源的供給面連接，另一端部與所述容器部的側(cè)面部連接，并且上下方向的通道寬度隨著向所述容器部一側(cè)延伸而增寬。S卩，能夠?qū)目諝夤┙o源向上方供給的空氣通過導(dǎo)向通道部引導(dǎo)到容器部一側(cè)而壓入容器部的容器空腔內(nèi)。并且，由于從容器部一側(cè)某一空氣供給源供給的空氣發(fā)生合流會(huì)使受導(dǎo)向通道部引導(dǎo)的空氣量增多，但由于導(dǎo)向通道部在上下方向的通道寬度隨著向容器部一側(cè)延伸而增寬，利用隨著向容器部一側(cè)延伸而逐漸增寬的導(dǎo)向通道部來引導(dǎo)隨著向容器部一側(cè)流動(dòng)而逐漸增多的空氣，就能夠使空氣順利地流動(dòng)到容器部。在本發(fā)明的板狀體搬運(yùn)裝置的實(shí)施例中，最好所述空氣供給源由將電動(dòng)式送風(fēng)扇與除塵過濾器組裝成一體的風(fēng)扇過濾器單元構(gòu)成。
S卩，作為空氣供給源的設(shè)置，只要設(shè)置將電動(dòng)式送風(fēng)扇與除塵過濾器組裝成一體的風(fēng)扇過濾器單元即可，送風(fēng)式支撐單元的設(shè)置很簡單，從而便于制造板狀體搬運(yùn)裝置。在本發(fā)明的板狀體搬運(yùn)裝置的實(shí)施例中，最好所述空氣供給源設(shè)在與所述容器部在上下方向的下方錯(cuò)開的部位，從而在作橫向側(cè)視時(shí)不與所述容器部重疊。另外，在本發(fā)明的板狀體搬運(yùn)裝置的實(shí)施例中，最好在所述導(dǎo)向板部的外側(cè)端部設(shè)有凸條部，所述凸條部從所述導(dǎo)向板部的上表面向上方凸出，其高度到達(dá)所搬運(yùn)的板狀體的下表面的下方，并且所述凸條部沿著搬運(yùn)方向呈直線狀地連續(xù)延伸。


圖I是板狀體搬運(yùn)裝置的立體圖。
圖2是板狀體搬運(yùn)裝置的縱剖主視圖。圖3是送風(fēng)式支撐單元的縱剖主視圖。圖4是容器部的縱剖主視圖。圖5是其它實(shí)施例的送風(fēng)式支撐單元的縱剖主視圖。
具體實(shí)施例方式以下結(jié)合

本發(fā)明的板狀體搬運(yùn)裝置，該搬運(yùn)裝置用于搬運(yùn)作為矩形基板的板狀體，具體說是用于搬運(yùn)平板顯示器(flat-panel display)用的玻璃基板。如圖I所示，板狀體搬運(yùn)裝置H具有向著玻璃基板I的下表面供給清潔空氣從而以非接觸狀態(tài)支撐玻璃基板I的送風(fēng)式支撐單元2、以及對(duì)玻璃基板I的下表面予以接觸支撐并對(duì)玻璃基板I施加搬運(yùn)方向上的推進(jìn)力的推進(jìn)力施加單元3。另外，板狀體搬運(yùn)裝置H沿著搬運(yùn)方向設(shè)置有多臺(tái)具有送風(fēng)式支撐單元2以及推進(jìn)力施加單元3的板狀體搬運(yùn)單元U。推進(jìn)力施加單元3沿著搬運(yùn)方向設(shè)置有多個(gè)旋轉(zhuǎn)滾子6，這種旋轉(zhuǎn)滾子6對(duì)玻璃基板I下表面上的與搬運(yùn)方向正交的橫寬方向端部予以接觸支撐，并且用與各旋轉(zhuǎn)滾子6對(duì)應(yīng)的電動(dòng)馬達(dá)7來驅(qū)動(dòng)各旋轉(zhuǎn)滾子6旋轉(zhuǎn)，以對(duì)玻璃基板I施加搬運(yùn)方向上的推進(jìn)力。也可以采用以一個(gè)電動(dòng)馬達(dá)經(jīng)過齒輪機(jī)構(gòu)來驅(qū)動(dòng)多個(gè)旋轉(zhuǎn)滾子旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)。另外，作為推進(jìn)力施加單元3，設(shè)有一對(duì)推進(jìn)力施加單元3，即，對(duì)玻璃基板I下表面上的橫寬方向一端部予以接觸支撐、以對(duì)玻璃基板I施加搬運(yùn)方向上的推進(jìn)力的一端側(cè)推進(jìn)力施加單元3，以及對(duì)玻璃基板I下表面上的橫寬方向另一端部予以接觸支撐、以對(duì)玻璃基板I施加搬運(yùn)方向上的推進(jìn)力的另一端側(cè)推進(jìn)力施加單元3。用這一對(duì)推進(jìn)力施加單元3從下方對(duì)玻璃基板I下表面上的橫寬方向兩端部予以接觸支撐，并且對(duì)這兩端部施加搬運(yùn)方向上的推進(jìn)力。如圖2和圖3所示，俯視時(shí)，送風(fēng)式支撐單元2設(shè)于一對(duì)推進(jìn)力施加單元3之間。并且，送風(fēng)式支撐單元2設(shè)置在整體位于玻璃基板I搬運(yùn)路徑的橫寬尺寸內(nèi)的部位，對(duì)玻璃基板I下表面的橫寬方向中間部供給清潔空氣，從而以非接觸狀態(tài)支撐玻璃基板I。即，如圖2和圖3所示，板狀體搬運(yùn)裝置H用推進(jìn)力施加單元3對(duì)玻璃基板I的橫寬方向兩端部予以接觸支撐，且用送風(fēng)式支撐單元2對(duì)玻璃基板I的橫寬方向中央部予以非接觸支撐，在此狀態(tài)下用推進(jìn)力施加單元3對(duì)玻璃基板I的橫寬方向兩端部施加搬運(yùn)方向上的推進(jìn)力，由此沿搬運(yùn)方向搬運(yùn)玻璃基板I。[送風(fēng)式支撐單元]以下說明送風(fēng)式支撐單元2。如圖3所示，送風(fēng)式支撐單元2具有供給空氣用的空氣供給源11、容器部14、導(dǎo)向通道部15、以及導(dǎo)向板部16。容器部14形成供來自空氣供給源11的空氣壓入的容器空腔12，且具有從該容器空腔12向上方噴出空氣的噴出口 13。導(dǎo)向通道部15將由空氣供給源11供給的空氣引導(dǎo)到容器部14。為了引導(dǎo)從噴出口 13向玻璃基板I的下表面噴出的空氣沿著玻璃基板I的下表面流動(dòng)，導(dǎo)向板部16配設(shè)成與容器部14鄰接的狀態(tài)。此處，所謂“壓入”，是指以使從空氣源11導(dǎo)入容器空腔12內(nèi)的空氣的壓力高于容器部14外部的壓力的方式進(jìn)行導(dǎo)入。這種壓力可使空氣從噴出口 13噴出。送風(fēng)式支撐單元2將從空氣供給源11供給的空氣通過導(dǎo)向通道部15引導(dǎo)到沿搬 運(yùn)方向設(shè)置的容器部14，并將在容器部14中被抑制了脈動(dòng)的空氣從噴出口 13向上方噴出。在用送風(fēng)式支撐單元2對(duì)玻璃基板I予以非接觸支撐的狀態(tài)下，從噴出口 13向上方噴出的空氣就向玻璃基板I的下表面供給，并且這個(gè)向玻璃基板I的下表面供給的空氣在導(dǎo)向板部16與玻璃基板I之間的空間內(nèi)沿著導(dǎo)向板部16的上表面及玻璃基板I的下表面在橫寬方向流動(dòng)。通過這樣使空氣流動(dòng)而在導(dǎo)向板部16與玻璃基板I之間形成空氣層，不僅在設(shè)有向玻璃基板I的下表面噴出空氣的容器部14的部位能以非接觸狀態(tài)支撐玻璃基板1，就是在其橫側(cè)方的設(shè)有導(dǎo)向板部16的部位也能以非接觸狀態(tài)支撐玻璃基板I。送風(fēng)式支撐單元2是在橫寬方向相互空開間隔設(shè)置一對(duì)，且在一對(duì)送風(fēng)式支撐單元2之間形成將導(dǎo)向板部16上的空氣向?qū)虬宀?6下方的空間排出的排氣路徑17 (有時(shí)稱為中央部的排氣路徑17a，相當(dāng)于本發(fā)明的排氣路徑)。另外，一對(duì)送風(fēng)式支撐單元2各自以相對(duì)于推進(jìn)力施加單元3而相互空開間隔的狀態(tài)設(shè)置，在送風(fēng)式支撐單元2與推進(jìn)力施加單元3之間也形成將導(dǎo)向板部16上的空氣向?qū)虬宀?6下方的空間排出的排氣路徑17 (有時(shí)稱為端部的排氣路徑17b)。順便說一句，送風(fēng)式支撐單元2以連續(xù)的狀態(tài)沿搬運(yùn)方向排列，并且在搬運(yùn)方向鄰接的容器部14彼此間以及在搬運(yùn)方向鄰接的導(dǎo)向板部16彼此間沒有間隙。以下說明送風(fēng)式支撐單元2的各部分，不過一對(duì)送風(fēng)式支撐單元2是相對(duì)于在寬度方向的中央位置上沿搬運(yùn)方向延伸的假想線而對(duì)稱地構(gòu)成的，它們的結(jié)構(gòu)相同，因此以下只說明位于橫寬方向一側(cè)的送風(fēng)式支撐單元2，而省略對(duì)位于另一側(cè)的送風(fēng)式支撐單元2的說明。另外，在說明送風(fēng)式支撐單元2的各部分時(shí)，有時(shí)將形成了橫寬方向中央部的排氣路徑17a的一側(cè)稱為內(nèi)側(cè),而將形成了橫寬方向端部的排氣路徑17b的一側(cè)稱為外側(cè)。[空氣供給源]空氣供給源11構(gòu)成為風(fēng)扇過濾器單元，通過將電動(dòng)式送風(fēng)扇9和除塵過濾器10組裝成一體而構(gòu)成，送風(fēng)扇9圍繞縱軸心旋轉(zhuǎn)，除塵過濾器10設(shè)置成覆蓋在該送風(fēng)扇9上方的狀態(tài)。這樣配置空氣供給源11，就能通過驅(qū)動(dòng)送風(fēng)扇9旋轉(zhuǎn)來給出空氣供給源11下方的空氣，并且使給出的空氣經(jīng)過除塵過濾器10而作為清潔空氣在空氣供給源11的上方排出，從而向上方供給空氣。順便說一句，空氣供給源11俯視時(shí)呈矩形，空氣供給源11在橫寬方向的寬度是送風(fēng)式支撐單元2在橫寬方向的寬度的1/2 1/3左右，空氣供給源11在搬運(yùn)方向的寬度是送風(fēng)式支撐單元2在搬運(yùn)方向的寬度的1/2左右?？諝夤┙o源11在該空氣供給源11的供給面(上表面)上形成供給口 18，該供給口 18配設(shè)在俯視時(shí)相對(duì)于容器部14而向橫寬方向外側(cè)錯(cuò)開、從而不與容器部14上的噴出口 13重疊的部位。另外，空氣供給源11配設(shè)在從橫側(cè)面看時(shí)相對(duì)于容器部14而向上下方向的下側(cè)錯(cuò)開、從而不與容器部14重疊的部位。如此設(shè)置的空氣供給源11成為如下狀態(tài)其橫寬方向內(nèi)側(cè)端部的上端接近容器部14的橫寬方向外側(cè)端部的下端。順便說一句，俯視時(shí)，空氣供給源11的內(nèi)側(cè)端部與容器部14的外側(cè)端部重疊。[導(dǎo)向通道部]導(dǎo)向通道部15用管道構(gòu)成，該管道將空氣供給源11的供給口 18與在容器部14 的外側(cè)橫側(cè)面上形成的導(dǎo)入口 19連通。具體是，導(dǎo)向通道部15的一端部與空氣供給源11的位于供給口 18周圍的框體連接，由此與空氣供給源11的供給面連接，導(dǎo)向通道部15的另一端部則與容器部14的位于導(dǎo)入口 19周圍的側(cè)板連接，由此與容器部14外側(cè)的橫側(cè)面部14a連接。導(dǎo)向通道部15的上面部分形成為向橫寬方向的內(nèi)側(cè)升高的傾斜狀，從搬運(yùn)方向看，導(dǎo)向通道部15的形狀呈三角形。如此形成的導(dǎo)向通道部15，其從搬運(yùn)方向看的上下方向通道寬度是從橫寬方向的外側(cè)(靠近空氣供給源11的外側(cè)端部)向著內(nèi)側(cè)(靠近容器部14)增寬。S卩，導(dǎo)向通道部15的通道寬度是向著空氣通氣量增多的橫寬方向內(nèi)側(cè)增寬。順便說一句，導(dǎo)向通道部15的配置在搬運(yùn)方向前端的前表面部分和配置在后端的后面部分沿著橫寬方向垂直豎立而相互平行，導(dǎo)向通道部15的俯視時(shí)的橫寬方向?qū)挾仁窃谕鈧?cè)與內(nèi)側(cè)形成相同寬度。另外，導(dǎo)向通道部15在搬運(yùn)方向上的通道寬度與供給口 18和導(dǎo)入口 19在搬運(yùn)方向上的寬度形成為相同寬度。[容器部]如圖4所示，容器部14形成為向搬運(yùn)方向倒下的橫倒姿勢(shì)的四角箱狀，沿搬運(yùn)方向設(shè)置，在其內(nèi)部空間形成容器空腔12。即，組成容器部14的內(nèi)部空間的上面部14b、一對(duì)橫側(cè)面14a、以及下面部14c沿搬運(yùn)方向延伸。容器部14的上面部14b用防撓金屬構(gòu)成，用在該防撓金屬上形成的孔來形成噴出口 13。這樣，在容器部14的上部就形成多個(gè)向上方噴出空氣的噴出口 13，且在容器部14的上部設(shè)置由沿搬運(yùn)方向設(shè)置、用于將從空氣供給源11供給的空氣向上方噴出的多個(gè)噴出口 13構(gòu)成的空氣噴出部20。容器部14的配置在搬運(yùn)方向前端的前面部分和配置在后端的后面部分沿著橫寬方向垂直豎立而相互平行。而且，容器部14將被導(dǎo)向通道部15引導(dǎo)的空氣從導(dǎo)入口 19導(dǎo)入容器空腔12內(nèi)，且在抑制了該導(dǎo)入的空氣的脈動(dòng)的狀態(tài)下從多個(gè)噴出口 13向上方噴出。導(dǎo)入口 19形成于從容器部14的下面部14c起到設(shè)定高度為止的部位，在容器部14的下面部14c與導(dǎo)入口 19之間形成高度差。下面部14c的橫寬方向外側(cè)部分的上表面形成為平坦面，橫寬方向內(nèi)側(cè)部分的上表面形成為向著內(nèi)側(cè)而向上方升高的傾斜面。
并且，在容器部14上，從下面部14c起直到內(nèi)側(cè)的橫側(cè)面部14a，形成維護(hù)用開口21，并且設(shè)有自由開閉該維護(hù)用開口 21的蓋子部件22。蓋子部件22用由蝶式螺栓等構(gòu)成的固定部件來固定在容器部14上，無須使用工具即可裝卸，由此開閉維護(hù)用開口 21。S卩，即使有破損的玻璃基板I的碎片等異物從噴出口 13侵入容器空腔12內(nèi)，容器部14也能通過其下面部14c、尤其是下面部14c上向下方膨出的橫寬方向外側(cè)部分來接住異物。并且，由于導(dǎo)向通道部15與容器部14的橫側(cè)面部14a連接，且在導(dǎo)入口 19與下面部14c之間形成了高度差，因此能夠防止異物進(jìn)入導(dǎo)向通道部15內(nèi)，由此能夠防止異物侵入空氣供給源11。至于被容器部14的下面部14c接住的異物，通過將蓋子部件22取下而將維護(hù)用開口 21打開，就能將容器空腔12內(nèi)的異物通過維護(hù)用開口 21取出到外部。另外，在容器部14上設(shè)有風(fēng)量檢測(cè)單元24，用于檢測(cè)從空氣供給源11供給的空氣供給量為設(shè)定量以下的情況。該風(fēng)量檢測(cè)單元24設(shè)有圍繞著與搬運(yùn)方向一致的軸心而自由擺動(dòng)的下垂式擺動(dòng)體25、以及由泛光器和受光器構(gòu)成的檢測(cè)體26，擺動(dòng)體25及檢測(cè)體26支撐在容器部14的 外側(cè)橫側(cè)面部14a的導(dǎo)入口 19的上方部位。另外，擺動(dòng)體25處于垂直姿勢(shì)時(shí)其下端位于導(dǎo)入口 19的上端的下方，而一旦空氣供給源11工作而從空氣供給源11供給空氣，擺動(dòng)體25便從垂直姿勢(shì)切換成向內(nèi)側(cè)擺動(dòng)的傾斜姿勢(shì)。并且，當(dāng)從空氣供給源11供給了適量空氣時(shí)，擺動(dòng)體25便會(huì)擺動(dòng)到設(shè)定角度以上，使檢測(cè)體26成為檢測(cè)擺動(dòng)體25的檢測(cè)狀態(tài)。另外，當(dāng)由于除塵過濾器10堵塞而未能從空氣供給源11供給適量空氣、使所供給的空氣供給量為設(shè)定量(譬如可能使所搬運(yùn)的玻璃基板I向下方撓曲而與送風(fēng)式支撐單元2接觸的供給量)以下時(shí)，擺動(dòng)體25便只擺動(dòng)到設(shè)定角度以下，使檢測(cè)體26成為不檢測(cè)擺動(dòng)體25的非檢測(cè)狀態(tài)。[導(dǎo)向板部]如圖2和圖3所示，為了將從容器部14(空氣噴出部20)向玻璃基板I的下表面噴出的空氣沿著玻璃基板I的下表面而沿橫寬方向引導(dǎo)，導(dǎo)向板部16以在容器部14的橫寬方向兩側(cè)與之鄰接的狀態(tài)配置一對(duì)。并且，在一對(duì)導(dǎo)向板部16中一個(gè)的外側(cè)端部上設(shè)有凸條部27，凸條部27從導(dǎo)向板狀16的上表面向上方凸出，其高度達(dá)到搬運(yùn)的玻璃基板I的下表面的下方，并且凸條部27沿著搬運(yùn)方向呈直線狀連續(xù)延伸。具體是，一對(duì)導(dǎo)向板部16以水平姿勢(shì)設(shè)置成各自的上表面與搬運(yùn)的玻璃基板I的下表面一致。順便說一句，容器部14設(shè)置成其上表面與搬運(yùn)的玻璃基板I的下表面一致，一對(duì)導(dǎo)向板部16和容器部14配置成各自的上表面成為一個(gè)平面的狀態(tài)。并且，一對(duì)導(dǎo)向板部16中與容器部14的外側(cè)鄰接的外側(cè)導(dǎo)向板部16b的橫寬方向外側(cè)端部延伸到推進(jìn)力施加單元3的附近，與容器部14的內(nèi)側(cè)鄰接的內(nèi)側(cè)導(dǎo)向板部16a的橫寬方向內(nèi)側(cè)端部延伸到板狀體搬運(yùn)裝置H的橫寬方向中央部附近。另外，內(nèi)側(cè)導(dǎo)向板部16a在橫寬方向的寬度比外側(cè)導(dǎo)向板部16b小。通過如此形成一對(duì)導(dǎo)向板部16的橫寬，使容器部14比端部的排氣路徑17b更靠近中央部的排氣路徑17a，使從容器部14噴出的空氣向玻璃基板I的中央附近的下表面供給。順便說一句，內(nèi)側(cè)導(dǎo)向板部16a在橫寬方向的寬度為容器部14在橫寬方向的寬度的1/3 1/4左右，外側(cè)導(dǎo)向板部16b在橫寬方向的寬度則為容器部14在橫寬方向的寬度的2. 5倍左右。
并且，凸條部27是在外側(cè)導(dǎo)向板部16b的外側(cè)端部沿著搬運(yùn)方向的整個(gè)導(dǎo)向板部16設(shè)置。順便說一句，內(nèi)側(cè)導(dǎo)向板部16a上不設(shè)凸條部27。S卩，從容器部14到端部的排氣路徑17b的距離比從容器部14到中央部的排氣路徑17a的距離長，因此從容器部14噴出的空氣容易向內(nèi)側(cè)流動(dòng)而難以向外側(cè)流動(dòng)。然而，從容器部14向外側(cè)流動(dòng)的空氣由于凸條部27的存在而難以從端部的排氣路徑17b拔出，因此即使在容器部14的外側(cè)也很容易形成空氣層。在導(dǎo)向板部16上設(shè)有支撐體28,該支撐體28從導(dǎo)向板部16的上表面向上方凸出，并且與被搬運(yùn)的玻璃基板I在下方脫離，當(dāng)由于送風(fēng)式支撐單元2的故障等導(dǎo)致送風(fēng)式支撐單元2的支撐力下降等使得玻璃基板I向下方撓曲時(shí)，能夠用支撐體28在比導(dǎo)向板部16的上表面更上方的位置上支撐玻璃基板I。支撐體28形成為自由旋轉(zhuǎn)的樹脂制球體，沿著搬運(yùn)方向以設(shè)定間隔設(shè)置在內(nèi)側(cè)導(dǎo)向板部16a的內(nèi)側(cè)端部、外側(cè)導(dǎo)向板部16b的橫寬方向中央部、以及外側(cè)導(dǎo)向板部16b的內(nèi)側(cè)端部上。如上所述，在本實(shí)施例中，空氣供給源11在該空氣供給源11的供給面上形成供給口 18，該供給口 18配設(shè)在俯視時(shí)相對(duì)于容器部14而向橫寬方向外側(cè)錯(cuò)開、從而不與容器部14上的噴出口 13重疊的部位。從而，即使有破損的玻璃基板I的碎片等異物從噴出口 13侵入容器空腔12內(nèi)，該異物也會(huì)被容器空腔14的下面部14c接住，能夠防止異物侵入導(dǎo)向通道部15內(nèi)，從而防止異物侵入空氣供給源11。[其它實(shí)施例](I)在以上實(shí)施例中，是使內(nèi)側(cè)導(dǎo)向板部16a在橫寬方向的寬度比外側(cè)導(dǎo)向板部16b窄,但也可如圖5(a)那樣，使內(nèi)側(cè)導(dǎo)向板部16a在橫寬方向的寬度比外側(cè)導(dǎo)向板部16b寬，或者使內(nèi)側(cè)導(dǎo)向板部16a在橫寬方向的寬度與外側(cè)導(dǎo)向板部16b相同。(2)在上述實(shí)施例中，一對(duì)送風(fēng)式支撐單元2以相互空開間隔的狀態(tài)設(shè)置，從而在一對(duì)送風(fēng)式支撐單元2之間形成排氣路徑17，但也可如圖5(b)那樣，將一對(duì)送風(fēng)式支撐單元2設(shè)置成緊密接觸的狀態(tài)，從而在一對(duì)送風(fēng)式支撐單元2之間不形成排氣路徑17。另外，以上是在橫寬方向并排設(shè)置一對(duì)送風(fēng)式支撐單元2，但也可如圖5(c)那樣，在橫寬方向設(shè)置一個(gè)送風(fēng)式支撐單元2，或是在橫寬方向設(shè)置多個(gè)送風(fēng)式支撐單元2。(3)在上述實(shí)施例中，容器部14是在其下面部14c或橫側(cè)面部14a上形成維護(hù)用開口 21，并且設(shè)有自由維護(hù)用開口 21的蓋子部件22，但也可以在容器部14的上面部14b上形成維護(hù)用開口 21，并且將構(gòu)成上面部14b的防撓金屬做成能夠開閉的結(jié)構(gòu)。(4)在上述實(shí)施例中，是將空氣供給源11配置成向上方供給空氣的狀態(tài)，且將導(dǎo)向通道部15的一個(gè)端部與空氣供給源11的上面部連接，但也可將空氣供給源11配置成向橫寬方向的內(nèi)側(cè)供給空氣的狀態(tài)，且將導(dǎo)向通道部15的一個(gè)端部與空氣供給源11的內(nèi)側(cè)的橫側(cè)面部連接。另外，在上述實(shí)施例中，是將導(dǎo)向通道部15的另一端部與容器部14的側(cè)面部連接，但也可以將導(dǎo)向通道部15的另一端部與容器部14的下面部連接。(5)在上述實(shí)施例中，是沿搬運(yùn)方向設(shè)置容器部14，在容器部14的橫寬方向兩側(cè)鄰接配置導(dǎo)向板部16，且在相對(duì)于容器部14在橫寬方向上錯(cuò)開的部位配設(shè)空氣供給源11，但也可以是沿橫寬方向設(shè)置容器部14，在容器部14的搬運(yùn)方向兩側(cè)鄰接配置導(dǎo)向板部16，、且在相對(duì)于容器部14在搬運(yùn)方向上錯(cuò)開的部位配設(shè)空氣供給源11。(6)在上述實(shí)施例中，是用風(fēng)扇過濾器單元來構(gòu)成空氣供給源11，但也可以用壓縮機(jī)等來構(gòu)成空氣供給源11。(7)在上述實(shí)施例中，作為推進(jìn)力施加單元3，是設(shè)置一端推進(jìn)力施加單元3和另一端推進(jìn)力施加單元3，但作為推進(jìn)力施加單元3，也可以只設(shè)一端推進(jìn)力施加單元3和另一端推進(jìn)力施加單元3中的任一個(gè)推進(jìn)力施加單元3，或者，作為推進(jìn)力施加單元3，也可以設(shè)置對(duì)玻璃基板I的橫寬方向中間部予以接觸支撐、從而對(duì)板狀體施加推進(jìn)力的中央側(cè)推進(jìn)力施加單元3。(8)在上述實(shí)施例中，是用防撓金屬來構(gòu)成容器部14的上面部14b，且用在防撓金屬上形成的孔來形成噴出口 13，但也可以是使容器部14的整個(gè)上面部14b開口，并且用該開口來形成噴出口 13。(符號(hào)說明)I板狀體2送風(fēng)式支撐單元3推進(jìn)力施加單元9送風(fēng)扇 10除塵過濾器11空氣供給源12容器空腔13 噴出口14容器部15導(dǎo)向通道部16導(dǎo)向板部16a內(nèi)側(cè)導(dǎo)向板部16b外側(cè)導(dǎo)向板部17a排氣路徑21維護(hù)用開口22蓋子部件
權(quán)利要求
1.一種板狀體搬運(yùn)裝置，具有 送風(fēng)式支撐單元，該送風(fēng)式支撐單元配設(shè)在位于板狀體搬運(yùn)路徑的橫寬尺寸內(nèi)的部位，且向板狀體的下表面供給空氣，從而以非接觸狀態(tài)支撐板狀體； 以及推進(jìn)カ施加単元，該推進(jìn)力施加單元對(duì)板狀體施加搬運(yùn)方向上的推進(jìn)力， 其特征在干， 所述送風(fēng)式支撐單元具有 供給空氣用的空氣供給源； 容器部，該容器部形成供來自所述空氣供給源的空氣壓入的容器空腔，且具有從該容器空腔向上方噴出空氣的噴出口； 導(dǎo)向通道部，該導(dǎo)向通道部以將從所述空氣源供給的空氣引導(dǎo)到所述容器空腔的狀態(tài)使所述空氣源與所述容器部連通； 以及導(dǎo)向板部，該導(dǎo)向板部與所述容器部鄰接配置，從而將從所述噴出ロ向板狀體的下表面噴出的空氣沿著板狀體的下表面引導(dǎo)， 所述空氣供給源配設(shè)在相對(duì)于所述容器部在水平方向上錯(cuò)開的部位，從而俯視時(shí)不與所述容器部的所述噴出口重疊。
2.如權(quán)利要求I所述的板狀體搬運(yùn)裝置，其特征在干， 所述容器部設(shè)置成沿著所述搬運(yùn)方向延伸的形式， 所述導(dǎo)向板部配置成在所述容器部的與所述搬運(yùn)方向交叉的橫寬方向兩側(cè)與之鄰接的狀態(tài)， 所述空氣供給源配設(shè)在相對(duì)于所述容器部在所述橫寬方向上錯(cuò)開的部位。
3.如權(quán)利要求2所述的板狀體搬運(yùn)裝置，其特征在干， 所述送風(fēng)式支撐單元沿著與所述搬運(yùn)方向交叉的橫寬方向設(shè)置有一対， 在所述ー對(duì)送風(fēng)式支撐單元之間形成將所述導(dǎo)向板部上的空氣向所述導(dǎo)向板部下方的空間排出的排氣路徑。
4.如權(quán)利要求3所述的板狀體搬運(yùn)裝置，其特征在干， 作為所述推進(jìn)カ施加単元，具有如下的一對(duì)推進(jìn)力施加単元對(duì)板狀體上的所述橫寬方向一端部予以接觸支撐、從而對(duì)板狀體施加搬運(yùn)方向上的推進(jìn)カ的一端推進(jìn)カ施加單元，以及對(duì)板狀體上的所述橫寬方向另一端部予以接觸支撐、從而對(duì)板狀體施加搬運(yùn)方向上的推進(jìn)カ的另一端推進(jìn)カ施加単元， 設(shè)置在所述ー對(duì)送風(fēng)式支撐單元上的導(dǎo)向板部各自如下構(gòu)成在所述橫寬方向上接近所述排氣路徑的內(nèi)側(cè)導(dǎo)向板部在所述橫寬方向上的寬度比在所述橫寬方向上遠(yuǎn)離所述排氣路徑的外側(cè)導(dǎo)向板部小。
5.如權(quán)利要求I 4中任一項(xiàng)所述的板狀體搬運(yùn)裝置，其特征在干， 所述容器部在其下面部或側(cè)面部形成維護(hù)用開ロ，并且設(shè)有自由開閉該維護(hù)用開ロ的蓋子部件。
6.如權(quán)利要求I 4中任一項(xiàng)所述的板狀體搬運(yùn)裝置，其特征在干， 所述空氣供給源配置成向上方供給空氣的狀態(tài)， 所述導(dǎo)向通道部的一端部與所述空氣供給源的上面部連接，另一端部與所述容器部的側(cè)面部連接，并且上下方向的通道寬度隨著向所述容器部ー側(cè)延伸而增寬。
7.如權(quán)利要求I 4中任一項(xiàng)所述的板狀體搬運(yùn)裝置，其特征在干， 所述空氣供給源由將電動(dòng)式送風(fēng)扇與除塵過濾器組裝成一體的風(fēng)扇過濾器單元構(gòu)成。
8.如權(quán)利要求I 4中任一項(xiàng)所述的板狀體搬運(yùn)裝置，其特征在干， 所述空氣供給源配設(shè)在相對(duì)于所述容器部在上下方向的下方錯(cuò)開的部位，從而在作橫向側(cè)視時(shí)不與所述容器部重疊。
9.如權(quán)利要求I 4中任一項(xiàng)所述的板狀體搬運(yùn)裝置，其特征在干， 在所述導(dǎo)向板部的外側(cè)端部設(shè)有凸條部，所述凸條部從所述導(dǎo)向板部的上表面向上方凸出，其高度到達(dá)搬運(yùn)的板狀體的下表面的下方，并且凸條部沿著搬運(yùn)方向呈直線狀地連續(xù)延伸。
全文摘要
一種板狀體搬運(yùn)裝置，具有向板狀體(1)的下表面供給空氣、以非接觸狀態(tài)支撐板狀體(1)的送風(fēng)式支撐單元(2)，該送風(fēng)式支撐單元(2)包括供給空氣用的空氣供給源(11)、具有向上方噴出空氣的噴出口(13)的容器部(14)、使空氣供給源(11)與容器部(14)連通的導(dǎo)向通道部(15)、以及與容器部(14)鄰接配置的導(dǎo)向板部(16)，將空氣供給源(11)配設(shè)在相對(duì)于容器部(14)在水平方向上錯(cuò)開的部位，從而俯視時(shí)不與容器部(14)的噴出口(13)重疊。本發(fā)明的板狀體搬運(yùn)裝置容易實(shí)施異物除去作業(yè)。
文檔編號(hào)B65G1/04GK102745453SQ20111043732
公開日2012年10月24日 申請(qǐng)日期2011年12月5日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月6日
發(fā)明者中尾多通夫, 斎田克彥, 池田大介, 辻起久, 飯塚雪夫 申請(qǐng)人:株式會(huì)社大福