專利名稱：一種電子級(jí)化學(xué)品輸送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及通過管道輸送流體，具體來說涉及一種電子級(jí)化學(xué)品輸送裝置。
背景技術(shù)：
目前國內(nèi)應(yīng)用于電子級(jí)化學(xué)品輸送方式，多采用離心泵輸送，在電機(jī)的驅(qū)動(dòng)力下， 帶動(dòng)葉輪轉(zhuǎn)動(dòng)產(chǎn)生離心力，將物料由泵的進(jìn)口吸入，從泵的出口甩出，達(dá)到對(duì)物料的輸送。 在輸送物料時(shí)泵與物料發(fā)生接觸，并且葉輪在高速旋轉(zhuǎn)時(shí)與物料會(huì)產(chǎn)生很大的摩擦力，對(duì)電子級(jí)化學(xué)品會(huì)產(chǎn)生很大影響。離心泵制造商為了減少離心泵在輸送過程中對(duì)電子級(jí)化學(xué)品的污染，采用特殊材質(zhì)(如合金、高純密度聚乙烯一HDPE、聚四氟乙烯-PTFE、聚四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚-PFA等)，可減少泵在輸送過程中對(duì)物料的污染，但價(jià)格非常貴(一臺(tái)流量3m3/h鋼襯PFA泵價(jià)格為12萬元左右)，另外離心泵與物料發(fā)生直接接觸，物料會(huì)產(chǎn)生很大的摩擦力，對(duì)化學(xué)品會(huì)產(chǎn)生污染，如果輸送的物料為晶漿，泵會(huì)對(duì)晶體產(chǎn)生破壞；并且在離心泵停止運(yùn)行時(shí)，管道、泵內(nèi)的余料無法排出，如輸送物料為電子級(jí)磷酸，因電子級(jí)磷酸在低溫條件下易結(jié)晶，造成管線堵塞，導(dǎo)致清理困難，從而造成污染，并影響產(chǎn)品的質(zhì)量及生產(chǎn)周期。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、實(shí)用、潔凈、有效的一種電子級(jí)化學(xué)品輸送裝置，以滿足電子級(jí)化學(xué)品在輸送過程不被污染的需要。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下一種電子級(jí)化學(xué)品輸送裝置，包括若干物料罐、輸送管道、真空物料罐、真空泵，其特征在于各物料罐經(jīng)輸送支管接輸送總管再接真空物料罐，真空物料罐接真空泵，所述輸送支管的吸入口插入物料罐底部，輸送支管接有吸入量調(diào)節(jié)閥，輸送總管接有排放調(diào)節(jié)閥， 所述真空物料罐置有真空調(diào)節(jié)閥。物料罐為一個(gè)或多個(gè)，本實(shí)用新型可以同時(shí)對(duì)多個(gè)串聯(lián)的物料罐內(nèi)的物料進(jìn)行輸送。本實(shí)用新型是一種潔凈輸送方式，利用真空原理實(shí)現(xiàn)電子級(jí)化學(xué)品的輸送，是一種不需要泵與物料直接接觸就能實(shí)現(xiàn)流體輸送的技術(shù)，該方法能耗低、成本低，輸送的流速快，具有設(shè)備簡(jiǎn)單易于安裝，易于清潔，低噪音，無塵輸送，操作過程易控制，對(duì)輸送的產(chǎn)品純度有保證，具有很好的經(jīng)濟(jì)效益。本實(shí)用新型提供的一種電子級(jí)化學(xué)品輸送裝置，通過實(shí)際使用證明，達(dá)到了預(yù)定目的，適用于電子級(jí)化學(xué)品的輸送。

附圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；圖中1為物料罐，2為輸送支管，3為輸送總管，4為真空物料罐，
3[0011]5為真空泵，6為吸入量調(diào)節(jié)閥，7為排放調(diào)節(jié)閥，8為真空調(diào)節(jié)閥，9為真空閥。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖與實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述實(shí)施例附圖1示意了本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)，本實(shí)施例有兩個(gè)物料罐1，物料罐1經(jīng)輸送支管 2接輸送總管3再接真空物料罐4，真空物料罐4接真空泵5，所述輸送支管2的吸入口插入物料罐1底部，輸送支管2接有吸入量調(diào)節(jié)閥6，輸送總管3接有排放調(diào)節(jié)閥7，所述真空物料罐4置有真空調(diào)節(jié)閥8。生產(chǎn)時(shí)，開啟真空泵5，打開真空閥9對(duì)真空物料罐4抽空，真空度由真空調(diào)節(jié)閥8 調(diào)節(jié)，開啟排放調(diào)節(jié)閥7和吸入量調(diào)節(jié)閥6，分別調(diào)節(jié)電子級(jí)化學(xué)品輸送流量和各吸入口的流量，實(shí)現(xiàn)電子級(jí)化學(xué)品的輸送。本實(shí)用新型已在某廠電子級(jí)化學(xué)品的輸送生產(chǎn)裝置上運(yùn)用，取代了原輸送方式， 輸送的產(chǎn)品純度有保證，具有很好的經(jīng)濟(jì)效益。
權(quán)利要求1. 一種電子級(jí)化學(xué)品輸送裝置，包括若干物料罐、輸送管道、真空物料罐、真空泵，其特征在于各物料罐(1)經(jīng)輸送支管( 接輸送總管C3)再接真空物料罐G)，真空物料罐(4) 接真空泵(5)，所述輸送支管O)的吸入口插入物料罐(1)底部，輸送支管( 接有吸入量調(diào)節(jié)閥(6)，輸送總管C3)接有排放調(diào)節(jié)閥(7)，所述真空物料罐(4)置有真空調(diào)節(jié)閥(8)。
專利摘要一種電子級(jí)化學(xué)品輸送裝置，包括若干物料罐、輸送管道、真空物料罐、真空泵，其特征在于各物料罐經(jīng)輸送支管接輸送總管再接真空物料罐，真空物料罐接真空泵，所述輸送支管的吸入口插入物料罐底部，輸送支管接有吸入量調(diào)節(jié)閥，輸送總管接有排放調(diào)節(jié)閥，所述真空物料罐置有真空調(diào)節(jié)閥。本實(shí)用新型是一種潔凈輸送方式，利用真空原理實(shí)現(xiàn)電子級(jí)化學(xué)品的輸送，該方法能耗低、成本低，輸送的流速快，具有設(shè)備簡(jiǎn)單易于安裝，易于清潔，低噪音，無塵輸送，操作過程易控制，對(duì)輸送的產(chǎn)品純度有保證，具有很好的經(jīng)濟(jì)效益。
文檔編號(hào)B65G53/24GK202124333SQ20112017095
公開日2012年1月25日 申請(qǐng)日期2011年5月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月26日
發(fā)明者劉飛, 唐文松, 孟文祥 申請(qǐng)人:甕福(集團(tuán))有限責(zé)任公司