專利名稱：氣密光罩盒構(gòu)造的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型有關(guān)一種用于保存與運(yùn)輸光罩的光罩盒，具體而言是指一種密封效果佳的氣密光罩盒構(gòu)造。
背景技術(shù)：
近年來電子產(chǎn)品不斷朝向輕薄短小、高頻、高效能等特性發(fā)展，而欲滿足這個(gè)產(chǎn)品發(fā)展的方向，用于電子產(chǎn)品中的核心半導(dǎo)體元件或液晶顯示元件的芯片就需微小化與具有高效能，而欲使芯片微小化與具高效能，則需使芯片上的集成電路線徑微細(xì)化，因此現(xiàn)有的集成電路線徑已由早期的0. 25微米發(fā)展至90 45納米，而芯片上集成電路線徑的微細(xì)化的成敗主要在于半導(dǎo)體工藝中的黃光微影工藝技術(shù)，而其關(guān)鍵設(shè)備是在于光罩。由于光罩在作業(yè)環(huán)境中，存在有不少的微粒、水氣、氣體、化學(xué)溶劑分子等有害物質(zhì)，這些有害物質(zhì)會(huì)附著于光罩表面，且在經(jīng)長時(shí)間儲(chǔ)存或晶圓曝光工藝的加熱后，會(huì)于光罩表面產(chǎn)生微粒附著、結(jié)晶、又或霧化等現(xiàn)象，而直接影響到光罩在黃光微影工藝中的透光率，進(jìn)而使光罩上的圖形失真，其會(huì)造成半導(dǎo)體元件或液晶顯示元件良率降低，且增加清理與改善的時(shí)間，造成生產(chǎn)量降低，相對(duì)上也會(huì)提高營運(yùn)的成本。因此，光罩在保存或運(yùn)送時(shí)，用于收納的光罩盒需能有效防止微粒侵入，以避免光罩表面附著塵埃。而現(xiàn)有光罩盒是由可相對(duì)開蓋合的本體與蓋體所組成，且本體與蓋體之間形成有一可容置光罩的容置空間，由于光罩盒在收納光罩時(shí)因時(shí)間長、或因運(yùn)輸過程中的氣壓變化，使微?；蛩畾饪赡軓谋倔w與蓋體相對(duì)蓋合的接縫表面的間隙侵入，進(jìn)而附著于光罩表面，為此，當(dāng)需要長時(shí)間存放或運(yùn)輸時(shí)，會(huì)于該光罩盒的本體與蓋體的接縫處的環(huán)狀周緣粘著有一膠帶，借以提高其密封性，但其因本體與蓋體后側(cè)樞軸結(jié)構(gòu)呈凸出狀，且前側(cè)可用于選擇性扣固本體與蓋體的嵌扣結(jié)構(gòu)也呈凸出狀，而造成膠帶無法貼合于本體與蓋體接縫的周緣表面，進(jìn)而影響到本體與蓋體的氣密性。為此，如日本專利特開平2001-301877可見光罩盒于本體與蓋體的接縫相互套合，并于本體與蓋體之間插入以硬質(zhì)塑料材料一體成形的軸片，使之可以固定，且將軸片的各翼部插入形成于本體與蓋體的接縫緣部的安裝溝孔內(nèi)，使本體與蓋體接合時(shí)，該本體與蓋體及軸片的外表面成平滑地形成本體與蓋體及軸片的光罩盒。另，如中國臺(tái)灣專利公告第I2218M號(hào)的光罩盒具有本體與關(guān)閉本體開口部的蓋體，本體與蓋體在其一邊以軸片形狀開合自在地連接，在相對(duì)的另一邊部分可將蓋體閉鎖及解除閉鎖，其特征在于可閉鎖及解除閉鎖的閉鎖機(jī)構(gòu)是于本體與蓋體的接縫的內(nèi)部方向設(shè)凹部，同時(shí)在該凹部內(nèi)設(shè)可動(dòng)的關(guān)閉滑板，借由使該關(guān)閉滑板于該凹部內(nèi)可動(dòng)使之具有可將蓋體閉鎖及解除閉鎖的閉鎖機(jī)構(gòu)，使光罩盒的該側(cè)面部分成平面狀態(tài)。前述專利均在于提高膠帶與光罩盒接縫處的貼合面積，減少因高低表面產(chǎn)生的未貼合現(xiàn)象，但其仍然需要在光罩盒的接縫周緣粘貼膠帶，增加作業(yè)時(shí)間與成本；況且其并未消除光罩盒的本體與蓋體接縫表面間的間隙，因此一旦膠帶未粘貼完善，或因長時(shí)間存放與外力等因素，而造成膠帶剝離時(shí)，環(huán)境中的微粒、水氣或有害物質(zhì)仍會(huì)侵入光罩盒內(nèi)部，無法確保內(nèi)部光罩的潔凈度；最后，使用者更需要花時(shí)間去除光罩盒的膠帶，如未能有效清理干凈，將影響到該光罩盒之后的密封效果，進(jìn)而縮短或減少該光罩盒的使用壽命或次數(shù)。換言之，如能直接提升光罩盒的本體與蓋體間的接縫處密封效果，不僅可克服前述的問題與不便，同時(shí)可確保光罩在收納時(shí)的潔凈度，且能增加光罩管理的便利性，進(jìn)一步可提升生產(chǎn)的良品率、增加產(chǎn)量與降低成本。

實(shí)用新型內(nèi)容因此，本實(shí)用新型的主要目的在提供一種能確保光罩表面的潔凈度、且密封效果佳的氣密光罩盒構(gòu)造。又，本實(shí)用新型的另一主要目的系在提供一種自身密合性佳的氣密光罩盒構(gòu)造， 借以減少不必要的黏貼膠帶與清理工具，而能有效節(jié)省其作業(yè)時(shí)間與成本，進(jìn)一步可延長或增加光罩盒的使用壽命與次數(shù)。為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型主要是通過下列的技術(shù)手段來具體實(shí)現(xiàn)前述的目的與效能；一種氣密光罩盒構(gòu)造，其包含有一開口向上的本體及一開口向下的蓋體，且本體與蓋體選擇性相對(duì)蓋合形成一容置光罩的存放空間；其中本體與蓋體在蓋合的接縫處分別形成有一相對(duì)的開口周緣，且本體與蓋體的開口周緣分別具有一相互嵌套接合的嵌接部，又本體與蓋體至少其中之一的嵌接部在相對(duì)接合表面上具有一道完整環(huán)繞光罩盒接縫處的環(huán)狀彈性密合件。所述本體與所述蓋體的材質(zhì)選自金屬或塑料。所述彈性密合件以射出溶合方式形成于所述本體的嵌接部對(duì)應(yīng)所述蓋體的嵌接部的頂緣接合表面上。所述本體的嵌接部在相對(duì)所述蓋體的嵌接部的其中至少一個(gè)接合表面形成有一道扣環(huán)槽，而環(huán)狀的所述彈性密合件具有對(duì)應(yīng)該扣環(huán)槽的壓接部，所述彈性密合件通過該壓接部與該扣環(huán)槽接合于所述本體的嵌接部上。所述本體的嵌接部上形成有一嵌扣部，而環(huán)狀的所述彈性密合件具有對(duì)應(yīng)該嵌扣部的嵌套部，所述彈性密合件通過該嵌套部套接于所述本體的嵌扣部上。所述本體上的彈性密合件是由軟質(zhì)、且具彈性回復(fù)預(yù)力的塑料材質(zhì)所制成。所述彈性密合件選自橡膠、硅膠或熱塑性彈性體。所述本體選自丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物，而所述彈性密合件選自能與其破壞性溶合的人工膠。所述本體與所述蓋體的內(nèi)部周緣任意處設(shè)有兩片以上肋片，且所述本體與所述蓋體的外側(cè)表面另具有兩個(gè)以上能防止所述本體與蓋體變形的上下沿伸的相對(duì)邊肋。所述本體與所述蓋體的內(nèi)部在對(duì)應(yīng)光罩的角落邊緣分設(shè)有一相對(duì)錯(cuò)位的限壓件， 該限壓件的自由端具有一能承接或壓掣光罩上下表面的承壓部，又該限壓件進(jìn)一步在該承壓部一側(cè)凸伸有一能貼抵光罩側(cè)邊表面的推抵部。借此，通過前述技術(shù)手段的展現(xiàn)，讓本實(shí)用新型的光罩盒可借由軟質(zhì)的彈性密合件的設(shè)計(jì)，使其能吸收本體與蓋體的接合表面的間隙，而能提升自身的密封效果，可有效防止外部微粒、水氣或有害物質(zhì)侵入光罩盒內(nèi)部，進(jìn)一步提高光罩收納時(shí)的潔凈度，可避免光罩表面因微粒、水氣或有害物質(zhì)附著而受到污染，故可提升其附加價(jià)值，并可提高其經(jīng)濟(jì)效益。

[0023] 玄圖1為本實(shí)用新型光罩 構(gòu)造的展開示意圖，其說明各組件的形態(tài)及其相對(duì)關(guān)系；圖2為本實(shí)用新型光罩盒構(gòu)造蓋合時(shí)的示意圖；[0025]圖3為本實(shí)用新型光罩盒構(gòu)造的局部放大示意圖；[0026]圖4為本實(shí)用新型光罩盒構(gòu)造的剖面示意圖；[0027]圖5為本實(shí)用新型光罩盒構(gòu)造的局部剖面放大示意圖；[0028]圖6為本實(shí)用新型光罩盒構(gòu)造另一實(shí)施例的局部剖面放大示意圖；[0029]圖7為本實(shí)用新型光罩盒構(gòu)造再一實(shí)施例的局部剖面放大示意圖。[0030]附圖標(biāo)記說明[0031]10本體 100邊肋[0032]11開口周緣 12嵌接部[0033]120扣環(huán)槽 122嵌扣部[0034]13接軸部 14滑條[0035]15扣塊 16肋片[0036]17限壓件 18承壓部[0037]19推抵部 20蓋體[0038]200邊肋 21開口周緣[0039]22嵌接部 23接軸部[0040]24扣條 26肋片[0041]27限壓件 28承壓部[0042]29推抵部 30彈性密合件[0043]35彈性密合件 36壓接部[0044]40彈性密合件 42嵌套部[0045]50光罩
具體實(shí)施方式
為進(jìn)一步了解本實(shí)用新型的構(gòu)成、特征及其它目的，以下舉本實(shí)用新型的若干較佳實(shí)施例，并配合附圖詳細(xì)說明如后，同時(shí)讓熟悉該項(xiàng)技術(shù)領(lǐng)域者能夠具體實(shí)施。本實(shí)用新型是一種供收納、保存運(yùn)送用于制造半導(dǎo)體元件或液晶顯示元件等的光罩的氣密光罩盒構(gòu)造，隨附圖例示的本實(shí)用新型光罩盒的具體實(shí)施例及其構(gòu)件中，所有關(guān)于前與后、左與右、頂部與底部、上部與下部、以及水平與垂直的參考，僅用于方便進(jìn)行描述，并非限制本實(shí)用新型，也并非將其構(gòu)件限制于任何位置或空間方向。附圖與說明書中所指定的尺寸，當(dāng)可在不離開本實(shí)用新型的權(quán)利要求范圍內(nèi)，根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例的設(shè)計(jì)與需求而進(jìn)行變化。請(qǐng)參照?qǐng)D1、2及4所示，本實(shí)用新型氣密光罩盒構(gòu)造包含有一開口向上的本體10 及一開口向下的蓋體20，其中本體10與蓋體20可選擇性相對(duì)蓋合形成一容置光罩50的存放空間，且該本體10與蓋體20的材質(zhì)可選自金屬或塑料，本實(shí)用新型是以硬質(zhì)的ABS塑料 (苯乙烯、丙烯腈和丁二烯乳漿共聚合而成)為主要實(shí)施例。而關(guān)于本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的詳細(xì)構(gòu)成，則仍請(qǐng)參看圖1、2、3及4所示，其中本體10與蓋體20在蓋合的接縫處分別形成有一相對(duì)的開口周緣11、21，且本體10與蓋體20 的開口周緣11、21分別具有一突出狀的嵌接部12、22，嵌接部12、22呈相對(duì)錯(cuò)位狀，使本體 10與蓋體20蓋合時(shí)可借由該兩嵌接部12、22相互嵌套接合，并令本體10與蓋體20于接縫處的內(nèi)外表面呈平齊狀(且前述本體10與蓋體20的嵌接部也可互換)，又本體10與蓋體 20至少其中之一的嵌接部12、22于至少其中一相對(duì)接合表面上具有一道完整環(huán)繞光罩盒接縫處的環(huán)狀彈性密合件30，該彈性密合件30是由軟質(zhì)、且具彈性回復(fù)預(yù)力的塑料材質(zhì)所制成，該彈性密合件30可選自如橡膠、硅膠、人工膠、TPV (Thermoplastic Vulcanizate，熱塑性硫化橡膠)>TPE (Thermoplastic Elastomer，熱塑性彈性體)或TPEE (熱塑性聚酯彈性體)等等，本實(shí)用新型選自可與本體10與蓋體20的ABS塑料(Acrylonitrile Butadiene Styrene,丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物)進(jìn)行破壞性溶合的人工膠(如和泰股份有限公司生產(chǎn)的EMPILON HA系列產(chǎn)品)，而另外配合參看圖5所示，本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例是將該彈性密合件30以射出溶合方式形成于本體10的嵌接部12對(duì)應(yīng)蓋體20嵌接部22 的頂緣接合表面上(其也可為粘合或嵌卡，如圖6、7的實(shí)施例，后面會(huì)有說明)，且前述蓋體20蓋合于本體10上時(shí)，蓋體20的嵌接部22相對(duì)接合表面適可緊壓該彈性密合件30變形，以完全消除本體10與蓋體20蓋合時(shí)接縫處接合表面的間隙，達(dá)到防止微粒、水氣或有害物質(zhì)侵入光罩盒的目的。又本體10與蓋體20在一側(cè)邊上形成有相對(duì)的接軸部13、23，使本體10與蓋體20 可利用接軸部13、23相對(duì)樞接、且能相對(duì)樞轉(zhuǎn)啟閉，再者該接軸部13、23可形成突出于光罩盒側(cè)邊的外部或內(nèi)部。另本體10與蓋體20異于接軸部13、23的側(cè)邊分別形成有相對(duì)交錯(cuò)的一滑條14與一扣條M，其中滑條14上滑設(shè)有一扣塊15，該扣塊15可在本體10與蓋體 20相對(duì)蓋合時(shí)滑扣于扣條M上，使光罩盒的本體10與蓋體20產(chǎn)生閉鎖的效果，令蓋體20 無法被掀起，且當(dāng)扣塊15滑離扣條M時(shí)，可產(chǎn)生釋放的效果，使蓋體20可相對(duì)本體10掀開，而開啟該光罩盒。再者本體10與蓋體20的內(nèi)部周緣任意處設(shè)有兩片以上肋片16、26，其能防止本體 10與蓋體20變形，且本體10與蓋體20的外側(cè)表面另具有兩個(gè)以上上下延伸的相對(duì)邊肋 100、200，其能進(jìn)一步確保本體10與蓋體20的外形，借此可防止本體10與蓋體20相對(duì)嵌套的嵌接部12、22產(chǎn)生偏移，以確保彈性密合件30消除間隙的效能，并能提高本體10與蓋體20的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度。更特別的是本體10與蓋體20的內(nèi)部在對(duì)應(yīng)光罩50的四個(gè)角落邊緣分設(shè)有一相對(duì)錯(cuò)位的限壓件17、27，限壓件17、27的自由端具有一能承接或壓掣光罩50上下表面的承壓部18、28，又限壓件17、27進(jìn)一步于承壓部18J8 —側(cè)凸伸有一可貼抵光罩50 側(cè)邊表面的推抵部19、29，使本體10與蓋體20相對(duì)蓋合時(shí)，可利用限壓件17、27將光罩50 限制定位于光罩盒內(nèi)部，且通過承壓部18J8與推抵部19、四能產(chǎn)生定位與壓掣作用，防止光罩50在光罩盒因偏移或晃動(dòng)而產(chǎn)生靜電，可避免微粒、水氣或有害物質(zhì)因靜電而附著于光罩50或各限壓件17、27的接觸表面。借此，光罩盒的本體10與蓋體20在蓋合的接縫處，可利用彈性密合件30產(chǎn)生密封效果，以避免微粒、水氣或有害物質(zhì)侵入，而組構(gòu)成一可收納、保存運(yùn)輸光罩50的氣密光罩盒構(gòu)造，且可將前述本體10作為蓋體、而蓋體20作為本體，其也可達(dá)到相同功能。經(jīng)由上述的說明，本實(shí)用新型在實(shí)際運(yùn)用時(shí)，則如圖1、圖2及圖4所揭示，當(dāng)使用者欲將光罩50收納于光罩盒內(nèi)時(shí)，將蓋體20向上相對(duì)本體10掀開，且將光罩50置于本體 10的限壓件17上，并利用限壓件17的承壓部18與推抵部19相對(duì)光罩50頂撐及定位，接著將蓋體20向下相對(duì)本體10蓋合，使蓋體20可利用其限壓件27的承壓部觀與推抵部四相對(duì)光罩50壓掣及定位，令光罩50完全夾限于光罩盒的本體10與蓋體20之間。且本體10與蓋體20在蓋合時(shí)，由于本體10開口周緣11的嵌接部12具有彈性密合件30，因此當(dāng)蓋體20利用嵌接部22相對(duì)蓋合時(shí)，蓋體20可利用嵌接部22的接合表面緊壓該設(shè)于本體10嵌接部12上的彈性密合件30產(chǎn)生具彈性回復(fù)預(yù)力的變形，其能完全消除本體10與蓋體20在蓋合時(shí)相對(duì)接合表面的間隙，使光罩盒本身具有極佳的密封效果，而達(dá)到防止微粒、水氣或有害物質(zhì)侵入光罩盒的目的，以確保光罩盒內(nèi)光罩50的潔凈度。同時(shí)由于本體10與蓋體20相對(duì)蓋合時(shí)，可利用限壓件17、27將光罩50完全夾限定位，故可防止光罩50在光罩盒因偏移或晃動(dòng)而產(chǎn)生靜電，而具有避免微粒、水氣或有害物質(zhì)因靜電而附著于光罩50或各限壓件17、27接觸表面的效果。又本實(shí)用新型另有一實(shí)施例，其如圖6所示，該光罩盒的本體10嵌接部12在相對(duì)蓋體20嵌接部22的其中至少一接合表面形成有一道扣環(huán)槽120，而環(huán)狀的彈性密合件35 具有對(duì)應(yīng)該扣環(huán)槽120的壓接部36，使彈性密合件35能通過壓接部36與扣環(huán)槽120接合于本體10嵌接部12上，且前述蓋體20蓋合于本體10上時(shí)，蓋體20的嵌接部22相對(duì)接合表面適可緊壓該彈性密合件35變形，以完全消除本體10與蓋體20蓋合時(shí)接縫處接合表面的間隙，達(dá)到防止微粒、水氣或有害物質(zhì)侵入光罩盒的目的，其一樣能具有前述的優(yōu)點(diǎn)與實(shí)用價(jià)值。再者，該彈性密合件40并另有一實(shí)施例，其如圖7所示，該光罩盒的本體10嵌接部12上形成有一較小的嵌扣部122，而環(huán)狀的彈性密合件40具有對(duì)應(yīng)該嵌扣部122的“門” 形嵌套部42，使彈性密合件40能通過嵌套部42套接于本體10的嵌扣部122上，且彈性密合件40并至少對(duì)應(yīng)本體10與蓋體20的嵌接部12、22接縫處的其中之一接合表面，如此當(dāng)蓋體20蓋合于本體10上時(shí)，蓋體20的嵌接部22接合表面可緊壓該彈性密合件40變形， 以消除本體10與蓋體20蓋合時(shí)接縫處的間隙，其一樣具有本實(shí)用新型前述防止微粒、水氣或有害物質(zhì)侵入的效果。經(jīng)由前述技術(shù)手段的實(shí)現(xiàn)，使得本實(shí)用新型至少具有下列的效能與功效增進(jìn)1、通過本實(shí)用新型光罩盒的彈性密合件30設(shè)計(jì)，使光罩盒本身可產(chǎn)生較佳的密封效果，而能消除本體10與蓋體20接縫處的間隙，故不論是長時(shí)間存放或于氣壓變化較大的環(huán)境中運(yùn)輸，均能有效防止微粒、水氣或有害物質(zhì)侵入光罩盒，以確保光罩盒內(nèi)光罩50 的潔凈度，進(jìn)而提高工藝良品率。2、由于本實(shí)用新型的光罩盒的本體10與蓋體20相對(duì)蓋合時(shí)，可利用限壓件17、 27將光罩50限制定位于光罩盒內(nèi)部，且通過承壓部18J8與推抵部19、四的定位與壓掣作用，可避免光罩50在光罩盒內(nèi)任意偏移或晃動(dòng)，防止因摩擦而產(chǎn)生靜電，故可有效避免微粒、水氣或有害物質(zhì)因靜電而附著于光罩50的接觸表面。3、且本實(shí)用新型的光罩盒的本體10與蓋體20相對(duì)蓋合時(shí)，利用其彈性密合件30 的氣密作用，而有有效防止水氣侵入，減少光罩50表面積聚水氣形成霧霾的機(jī)會(huì)，如此可消除、最小化或充分地控制霧霾形成與環(huán)境調(diào)整，減少光罩50清洗的次數(shù)，以降低生產(chǎn)的成本。 4、又本實(shí)用新型的光罩盒因本身即具有極佳的密封效果，因此在長時(shí)間存放或運(yùn)輸時(shí)，不需要使用膠帶來粘貼本體10與蓋體20間的接縫，而能減少不必要的粘貼與清理工作，除能節(jié)省人力、時(shí)間與成本外，更能延長或增加光罩盒的使用壽命或次數(shù)，可有效提升其經(jīng)濟(jì)效益。
權(quán)利要求1.一種氣密光罩盒構(gòu)造，其包含有一開口向上的本體及一開口向下的蓋體，且該本體與蓋體選擇性相對(duì)蓋合形成一容置光罩的存放空間；其特征在于，所述本體與所述蓋體在蓋合的接縫處分別形成有一相對(duì)的開口周緣，且所述本體與所述蓋體的開口周緣分別具有一相互嵌套接合的嵌接部，又所述本體與蓋體至少其中之一的嵌接部在相對(duì)接合表面上具有一道完整環(huán)繞光罩盒接縫處的環(huán)狀彈性密合件。
2.依權(quán)利要求1所述的氣密光罩盒構(gòu)造，其特征在于，所述本體與所述蓋體的材質(zhì)選自金屬或塑料。
3.依權(quán)利要求1所述的氣密光罩盒構(gòu)造，其特征在于，所述彈性密合件以射出溶合方式形成于所述本體的嵌接部對(duì)應(yīng)所述蓋體的嵌接部的頂緣接合表面上。
4.依權(quán)利要求1所述的氣密光罩盒構(gòu)造，其特征在于，所述本體的嵌接部在相對(duì)所述蓋體的嵌接部的其中至少一個(gè)接合表面形成有一道扣環(huán)槽，而環(huán)狀的所述彈性密合件具有對(duì)應(yīng)該扣環(huán)槽的壓接部，所述彈性密合件通過該壓接部與該扣環(huán)槽接合于所述本體的嵌接部上。
5.依權(quán)利要求1所述的氣密光罩盒構(gòu)造，其特征在于，所述本體的嵌接部上形成有一嵌扣部，而環(huán)狀的所述彈性密合件具有對(duì)應(yīng)該嵌扣部的嵌套部，所述彈性密合件通過該嵌套部套接于所述本體的嵌扣部上。
6.依權(quán)利要求1或3或4或5所述的氣密光罩盒構(gòu)造，其特征在于，所述本體上的彈性密合件是由軟質(zhì)、且具彈性回復(fù)預(yù)力的塑料材質(zhì)所制成。
7.依權(quán)利要求6所述的氣密光罩盒構(gòu)造，其特征在于，所述彈性密合件選自橡膠、硅膠或熱塑性彈性體。
8.依權(quán)利要求6所述的氣密光罩盒構(gòu)造，其特征在于，所述本體選自苯乙烯、丙烯腈和丁二烯乳漿共聚物，而所述彈性密合件選自能與其破壞性溶合的人工膠。
9.依權(quán)利要求1所述的氣密光罩盒構(gòu)造，其特征在于，所述本體與所述蓋體的內(nèi)部周緣任意處設(shè)有兩片以上肋片，且所述本體與所述蓋體的外側(cè)表面另具有兩個(gè)以上能防止所述本體與蓋體變形的上下沿伸的相對(duì)邊肋。
10.依權(quán)利要求1所述的氣密光罩盒構(gòu)造，其特征在于，所述本體與所述蓋體的內(nèi)部在對(duì)應(yīng)光罩的角落邊緣分設(shè)有一相對(duì)錯(cuò)位的限壓件，該限壓件的自由端具有一能承接或壓掣光罩上下表面的承壓部，又該限壓件進(jìn)一步在該承壓部一側(cè)凸伸有一能貼抵光罩側(cè)邊表面的推抵部。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種氣密光罩盒構(gòu)造，特別是指一種密封性佳、且可防止微粒侵入的氣密光罩盒構(gòu)造，其是由可相對(duì)蓋合的一本體與一蓋體所組成，且本體與蓋體之間形成有一容置光罩的空間，本實(shí)用新型的特色在于本體與蓋體的至少其中之一，在兩者相對(duì)蓋合的其中一接合表面上設(shè)有一道軟質(zhì)的彈性密合件，通過本實(shí)用新型的設(shè)計(jì)，可借由軟質(zhì)的彈性密合件使光罩盒的本體與蓋體的接合表面產(chǎn)生較佳的貼合性與氣密性，如此可有效防止外部微粒、水氣或有害物質(zhì)侵入光罩盒內(nèi)部，以提升光罩儲(chǔ)存時(shí)的潔凈度，可避免光罩表面因微粒、水氣或有害物質(zhì)附著而破壞表面圖案，而能用于保存或運(yùn)輸光罩。
文檔編號(hào)B65D55/02GK202193337SQ20112028721
公開日2012年4月18日 申請(qǐng)日期2011年8月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月9日
發(fā)明者陳明生 申請(qǐng)人:陳明生