專(zhuān)利名稱(chēng)：掩膜板包裝盒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種掩膜板包裝盒。
背景技術(shù)：
在微電子等需要使用光刻圖形工藝的領(lǐng)域中，掩膜板是不可缺少的工具。在整個(gè)的產(chǎn)品加工過(guò)程中需要使用至少一塊掩膜板，很多情況下全部流程中需要使用多塊掩膜板。而且不同的產(chǎn)品所使用的掩膜板基本不同，因此需要隨著產(chǎn)品的變換而更換掩膜板。因此，除了正在使用的掩膜板，其他的掩膜板均需要收納、存放?，F(xiàn)有掩膜板的收納、存放結(jié)構(gòu)主要為掩膜板包裝盒。如圖1所示，收納時(shí)，掩膜板 1豎直放入盒體中，蓋上盒蓋。使用時(shí)，工作人員需要手捏掩膜板1邊緣處抬起、取出。發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有掩膜板包裝盒開(kāi)口小，垂直方向地取出和收納掩膜板易造成掩膜板的損傷。尤其是當(dāng)掩膜板的面積比較大時(shí)，這種垂直地提起或放下的動(dòng)作容易造成包裝盒內(nèi)壁或邊緣與掩膜板表面的碰撞、摩擦，造成掩膜板表面膜層的劃傷。

實(shí)用新型內(nèi)容為了克服上述的缺陷，本實(shí)用新型提供一種方便掩膜板取放的掩膜板包裝盒。為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型掩膜板包裝盒包括相適配的盒蓋和盒體，所述盒體內(nèi)設(shè)置至少三個(gè)掩膜板支撐部，所述三個(gè)支撐部能共同支撐掩膜板。特別是，所述盒體內(nèi)還設(shè)置有限位部，所述限位部位于所述支撐部和所述盒體側(cè)壁之間。特別是，所述限位部和所述支撐部形成L形結(jié)構(gòu)。特別是，所述盒體內(nèi)設(shè)有至少一個(gè)固定用凹部；所述盒蓋內(nèi)對(duì)應(yīng)所述凹部的位置設(shè)有凸塊；所述凸塊與所述凹部相適配。特別是，所述盒體外側(cè)底部邊緣設(shè)有凸出部，所述凸出部圍成容置空間，所述容置空間面積不小于所述盒蓋的面積。本實(shí)用新型掩膜板包裝盒內(nèi)部設(shè)有支撐部，掩膜板取出或收納時(shí)均為水平狀態(tài)， 掩膜板邊緣處空間開(kāi)闊，方便于工作人員用手或設(shè)備抓握、夾持掩膜板，避免掩膜板及其表面膜層的損傷。本實(shí)用新型掩膜板包裝盒外側(cè)為盒體，有利于保證掩膜板的潔凈。

圖1為現(xiàn)有包裝盒結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型盒體優(yōu)選實(shí)施例俯視圖。圖3為本實(shí)用新型盒蓋優(yōu)選實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本實(shí)用新型掩膜板包裝盒使用狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖之一。圖5為本實(shí)用新型掩膜板包裝盒使用狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖之二。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合說(shuō)明書(shū)附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做詳細(xì)描述。本實(shí)用新型掩膜板包裝盒包括相適配的盒蓋和盒體，盒體內(nèi)設(shè)置至少三個(gè)掩膜板支撐部，三個(gè)支撐部能共同支撐掩膜板。為了更好地固定掩膜板，盒體內(nèi)還設(shè)置有限位部。 限位部可以位于支撐部和盒體側(cè)壁之間，即限位部和支撐部形成L形結(jié)構(gòu)，如圖4所示；限位部也可以位于支撐部上，即限位部和支撐部形成倒T形結(jié)構(gòu)，如圖5所示。為了更好地固定掩膜板，支撐部?jī)?yōu)選設(shè)置在一個(gè)平面上，該平面的面積應(yīng)該大于所用掩膜板的面積。因?yàn)檠谀ぐ寤旧暇鶠榫匦?，所以?xún)?yōu)選使用四個(gè)或八個(gè)支撐部，均勻、 對(duì)稱(chēng)地設(shè)置在一矩形底面上。支撐部圍成與掩膜板面積基本相同的矩形區(qū)域，限位部位于支撐部所圍成矩形區(qū)域的外側(cè)。支撐部的高度相同為優(yōu)選結(jié)構(gòu)；限位部的高度無(wú)特殊要求， 但是為了包裝盒使用的方便以及盒蓋與盒體的扣接，限位部?jī)?yōu)選設(shè)置成為相同的高度。而且，限位部頂面和支撐部頂面之間的高度差等于或者略大于掩膜板的厚度即可。掩膜板的邊緣放置在支撐部上，支撐部的寬度根據(jù)具體掩膜板而定，以穩(wěn)定支撐掩膜板且不劃傷掩膜板表面膜層為標(biāo)準(zhǔn)。掩膜板的邊緣靠近限位部的側(cè)面，有效地限定了掩膜板的位置，防止掩膜板因包裝盒的晃動(dòng)而不穩(wěn)定。本實(shí)用新型掩膜板包裝盒的內(nèi)部面積大，掩膜板的邊緣位置除了支撐部和限位部之外沒(méi)有其他的物體，方便于工作人員用手或設(shè)備抓握、夾持掩膜板，避免掩膜板及其表面膜層與包裝盒碰撞或摩擦而造成損傷。如圖2 圖5所示，為了使掩膜板1的保存環(huán)境保持潔凈、干燥，可以將本實(shí)用新型掩膜板包裝盒的外側(cè)設(shè)計(jì)成相適配的盒體10與盒蓋20。掩膜板1平放在支撐部11上， 盒蓋20扣接盒體10，相對(duì)密封的盒內(nèi)為收納掩膜板1提供了理想的環(huán)境。掩膜板1邊緣與盒體10的內(nèi)側(cè)壁之間留有較大的間隙，可以容納工作人員的手指伸入或者設(shè)備夾具的伸入，方便工作人員取出或者收納掩膜板1。這樣的取放方式避免了掩膜板1和盒體10發(fā)生碰撞或摩擦，不易造成掩膜板1的損傷，尤其是可以保護(hù)掩膜板1的表面膜層。為了更好地固定掩膜板，盒蓋20內(nèi)對(duì)應(yīng)支撐部11和限位部13的位置處設(shè)有壓塊 21。盒蓋20扣接到盒體10上后，壓塊21可以壓在限位部13頂面上，也可以懸置在支撐部 11的上方。壓塊21下表面與支撐部11頂面之間的距離等于或者略大于掩膜板1的厚度即可。為了使盒體10和盒蓋20組成的掩膜板包裝盒本身更加地穩(wěn)定，盒體10內(nèi)設(shè)有至少一個(gè)固定用凹部12，盒蓋20上對(duì)應(yīng)凹部12的位置設(shè)有凸塊22 ；凸塊22與凹部12相適配。因?yàn)楹畜w10基本為矩形，凹部12優(yōu)選設(shè)置在盒體10的四個(gè)頂角處，凸塊22相應(yīng)地設(shè)置在盒蓋20的四個(gè)頂角處。使用時(shí)，盒蓋20扣接在盒體10上，凸塊22插入到凹部12中， 限制盒蓋20與盒體10在水平方向發(fā)生相對(duì)位移。為了節(jié)省空間，可以將兩個(gè)或兩個(gè)以上的包裝盒摞起來(lái)放置。為了使包裝盒摞得更加穩(wěn)固，盒體外側(cè)底部邊緣設(shè)有凸出部23，凸出部23圍成容置空間的面積不小于盒蓋20 的面積。摞列放置時(shí)凸出部23與盒蓋20頂部能卡固，摞列放置包裝盒更加穩(wěn)定。凸出部 23可以是設(shè)置在盒體外側(cè)底部邊緣的口字形結(jié)構(gòu)，也可以是設(shè)置在盒體外側(cè)底部四個(gè)角的四個(gè)L形結(jié)構(gòu)，或是設(shè)置在盒體外側(cè)底部四邊的四條一字形結(jié)構(gòu)。
4[0027]本實(shí)用新型掩膜板包裝盒的外側(cè)為相適配的盒蓋和盒體，相對(duì)封閉的包裝盒內(nèi)潔凈、干燥，有利于延長(zhǎng)放置其中的掩膜板的使用壽命。同時(shí)，有包裝盒的保護(hù)，避免外界物體對(duì)掩膜板的碰撞和刮壓等傷害。以上，僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求所界定的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種掩膜板包裝盒，其特征在于包括相適配的盒蓋和盒體，所述盒體內(nèi)設(shè)置至少三個(gè)掩膜板支撐部，所述三個(gè)支撐部能共同支撐掩膜板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板包裝盒，其特征在于所述盒體內(nèi)還設(shè)置有限位部，所述限位部位于所述支撐部和所述盒體側(cè)壁之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜板包裝盒，其特征在于所述限位部和所述支撐部形成L 形結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板包裝盒，其特征在于所述盒蓋內(nèi)對(duì)應(yīng)所述支架的位置設(shè)有壓塊。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板包裝盒，其特征在于所述盒體內(nèi)設(shè)有至少一個(gè)固定用凹部；所述盒蓋內(nèi)對(duì)應(yīng)所述凹部的位置設(shè)有凸塊；所述凸塊與所述凹部相適配。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板包裝盒，其特征在于所述盒體外側(cè)底部邊緣設(shè)有凸出部，所述凸出部圍成容置空間，所述容置空間面積不小于所述盒蓋的面積。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)一種掩膜板包裝盒，為解決現(xiàn)有立式掩膜板包裝盒易于造成掩膜板及其表面膜層損傷的缺陷而設(shè)計(jì)。本實(shí)用新型掩膜板包裝盒包括相適配的盒蓋和盒體，盒體內(nèi)設(shè)置至少三個(gè)能共同支撐掩膜板的支撐部。盒體內(nèi)還設(shè)置有限位部，限位部位于支撐部和盒體側(cè)壁之間形成L形結(jié)構(gòu)。盒蓋內(nèi)對(duì)應(yīng)支架的位置設(shè)有壓塊。盒體內(nèi)設(shè)有至少一個(gè)固定用凹部；盒蓋內(nèi)對(duì)應(yīng)凹部的位置設(shè)有凸塊；凸塊與凹部相適配；盒體外側(cè)底部邊緣設(shè)有凸出部。本實(shí)用新型掩膜板包裝盒方便于工作人員用手或設(shè)備抓握、夾持掩膜板，避免掩膜板及其表面膜層的損傷。本實(shí)用新型掩膜板包裝盒外側(cè)為盒體，有利于保證掩膜板的潔凈。
文檔編號(hào)B65D25/10GK202244461SQ20112036321
公開(kāi)日2012年5月30日 申請(qǐng)日期2011年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月26日
發(fā)明者史大為, 沈奇雨, 王德帥, 王玲杰, 郭建 申請(qǐng)人:北京京東方光電科技有限公司