專利名稱:Tft玻璃基板風干后的排氣裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及一種玻璃基板風干后排氣裝置,具體涉及一種TFT玻璃基板清洗、吹干之后的輸出單元排氣裝置。
背景技術(shù):
由于目前玻璃基板清洗之后要在密閉的環(huán)境內(nèi)進行風干(用風刀進行吹干),同時玻璃基板是被氣浮條吹得處于懸浮狀態(tài),故內(nèi)部的氣體需在輸出單元排出,如圖I所示,基板2 —側(cè)有排風裝置3 (向外抽風的排風扇),此裝置可以調(diào)整排風量,在輸出單元玻璃基板 2的傳動依靠兩邊的錐形輪4和下面的氣浮條1,氣浮條I把基板2吹浮起來,邊輪4帶動基板2向前傳動,而氣浮條I吹出的氣體是均勻地打在基板2下表面,氣流由中間向兩邊發(fā)散,但在外罩5—測增加一個排風扇3后打破了這種氣流平衡,這樣懸浮起來的基板就會向一側(cè)飄動,故在兩側(cè)邊輪的帶動下基板易出現(xiàn)走斜現(xiàn)象,使基板卡死在輸出單元,對正常生產(chǎn)帶來影響且對基板本身造成傷害。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型針對清洗后的基板在輸出單元易走斜的問題,提供一種玻璃基板清洗之后輸出單元排氣裝置,使得基板下側(cè)氣流平衡,無走斜現(xiàn)象發(fā)生并且可以加快此單元內(nèi)部氣體循環(huán)速度。為實現(xiàn)上述目的,本實用新型采取的技術(shù)方案為一種TFT玻璃基板風干后的排氣裝置,包括外罩、對稱設(shè)置在外罩兩內(nèi)側(cè)的錐形傳動輪和位于對稱傳動輪之間的氣浮條及設(shè)置在外罩一側(cè)的排風裝置I,所述外罩另一側(cè)設(shè)置有與排風裝置I相對應(yīng)的排風裝置II。所述排風裝置I與排風裝置II排風量相同。本實用新型在另一側(cè)錐形傳動輪上方設(shè)置有與排風裝置I相對稱的排風裝置II, 排風量大小相同,使得基板下側(cè)的氣流平衡,不會出現(xiàn)基板走斜現(xiàn)象,而且兩邊同時排風能加快輸出單元內(nèi)部空氣的循環(huán)速度,也有利于基板顆粒的降低。
圖I為現(xiàn)有技術(shù)結(jié)構(gòu)示意圖。圖2本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
如圖2所示,一種TFT玻璃基板風干后的排氣裝置,包括外罩10、對稱設(shè)置在外罩 10兩內(nèi)側(cè)的錐形傳動輪11和位于對稱傳動輪11之間的氣浮條7及設(shè)置在外罩10 —側(cè)的排風裝置I 8,外罩10另一側(cè)設(shè)置有與排風裝置I 8相對應(yīng)的排風裝置II 9,排風裝置I 8 與排風裝置II 9排風量大小相同。[0011]在輸出單元上,玻璃基板6的傳動靠的是兩邊的錐形輪11和下面的氣浮條7,氣浮條7把基板6吹浮起來,邊輪11帶動基板6向前傳動,在外罩5兩側(cè)分別設(shè)置有排風裝置
I8和排風裝置II 9,其使得基板下側(cè)氣流平衡,本實用新型工作時,玻璃基板在正常情況下無再走斜現(xiàn)象,而且兩邊同時排風能加快輸出單元內(nèi)部空氣的循環(huán)速度,也有利于基板顆粒的降低。
權(quán)利要求1.一種TFT玻璃基板風干后的排氣裝置,包括外罩、對稱設(shè)置在外罩兩內(nèi)側(cè)的錐形傳動輪和位于對稱傳動輪之間的氣浮條及設(shè)置在外罩一側(cè)的排風裝置I,其特征在于所述外罩另一側(cè)設(shè)置有與排風裝置I相對應(yīng)的排風裝置II。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的TFT玻璃基板風干后的排氣裝置,其特征在于所述排風裝置I與排風裝置II排風量相同。
專利摘要本實用新型涉及一種玻璃基板風干后排氣裝置,具體涉及一種TFT玻璃基板清洗、吹干之后的輸出單元排氣裝置,包括外罩、對稱設(shè)置在外罩兩內(nèi)側(cè)的錐形傳動輪和位于對稱傳動輪之間的氣浮條及設(shè)置在外罩一側(cè)的排風裝置Ⅰ,所述外罩另一側(cè)設(shè)置有與排風裝置Ⅰ相對應(yīng)的排風裝置Ⅱ。本實用新型在另一側(cè)錐形傳動輪上方設(shè)置有與排風裝置Ⅰ相對稱的排風裝置Ⅱ,排風量大小相同,使得基板下側(cè)的氣流平衡,不會出現(xiàn)基板走斜現(xiàn)象,而且兩邊同時排風能加快輸出單元內(nèi)部空氣的循環(huán)速度,也有利于基板顆粒的降低。
文檔編號B65G49/06GK202337578SQ20112050233
公開日2012年7月18日 申請日期2011年12月6日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月6日
發(fā)明者馮增順, 劉龍起, 李海東, 杜躍武, 楊忠杰, 王俊明, 馬巖, 齊少爭 申請人:東旭集團有限公司, 鄭州旭飛光電科技有限公司