一種兼容硅片和玻璃基板的傳輸裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種兼容硅片和玻璃基板的傳輸裝置，包括：傳輸組件，傳輸組件包括無(wú)桿氣缸、連接板以及承片手，連接板安裝于無(wú)桿氣缸的滑塊上，承片手固定連接于連接板上；硅片定位組件，包括硅片夾緊手、定位銷以及第一驅(qū)動(dòng)元件，硅片夾緊手安裝于所述承片手上，硅片夾緊手和定位銷用于定位硅片，所述第一驅(qū)動(dòng)元件安裝于承片手上，驅(qū)動(dòng)硅片沿Y方向的運(yùn)動(dòng)；以及玻璃基板定位組件，包括第二驅(qū)動(dòng)元件、第三驅(qū)動(dòng)元件以及定位塊，第二驅(qū)動(dòng)元件安裝于所述承片手上驅(qū)動(dòng)玻璃基板沿Y方向運(yùn)動(dòng)，第三驅(qū)動(dòng)元件設(shè)置在承片手上驅(qū)動(dòng)玻璃基板沿X方向運(yùn)動(dòng)，所述定位塊安裝于所述承片手上，用于定位所述玻璃基板。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)硅片和玻璃基板的兼容且操作簡(jiǎn)單。
【專利說(shuō)明】一種兼容硅片和玻璃基板的傳輸裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種光刻設(shè)備傳輸裝置，尤其涉及一種兼容硅片和玻璃基板的傳輸裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在光刻設(shè)備中硅片傳輸和玻璃基板傳輸均使用專屬的機(jī)械手，實(shí)現(xiàn)硅片或基板的自動(dòng)化傳輸，此方法適用于大批量生產(chǎn)，而對(duì)于實(shí)驗(yàn)或者小批量生產(chǎn)需求而言，存在很大的功能浪費(fèi)，且因硅片與玻璃基板定位方式不同，無(wú)法實(shí)現(xiàn)硅片與玻璃基板的兼容，當(dāng)工作對(duì)象切換時(shí)，需要更換機(jī)械手。
[0003]專利JP2008175846A提供了一種基板定位裝置和基板定位方法，可以實(shí)現(xiàn)平邊硅片(wafer flat)和玻璃基板的機(jī)械定位功能,適用于工件臺(tái)預(yù)定位,但該裝置及定位方法存在以下不足:
[0004]1.不適用于缺口娃片(wafer notch)；
[0005]2.工作對(duì)象更換時(shí)，需要變換定位及夾緊裝置及布置方案；
[0006]3.裝置安裝在工件臺(tái)上，不易操作。
[0007]因此，如何提供一種能夠兼容硅片和玻璃基板且操作簡(jiǎn)單的傳輸裝置是本領(lǐng)域的技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明的目的在于提供一種兼容娃片和玻璃基板的傳輸裝置，以實(shí)現(xiàn)娃片和玻璃基板的兼容，切換過(guò)程中，無(wú)需人員調(diào)校。
[0009]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種兼容硅片和玻璃基板的傳輸裝置，包括:傳輸組件，所述傳輸組件包括無(wú)桿氣缸、連接板以及承片手，所述連接板安裝于無(wú)桿氣缸的滑塊上，所述承片手固定連接于所述連接板上；硅片定位組件，所述硅片定位組件包括硅片夾緊手、定位銷以及第一驅(qū)動(dòng)元件，所述硅片夾緊手安裝于所述承片手上，所述定位銷可拔插地設(shè)置于所述承片手上，所述硅片夾緊手和定位銷用于定位硅片，所述第一驅(qū)動(dòng)元件安裝于所述承片手上，驅(qū)動(dòng)所述硅片夾緊手沿Y方向運(yùn)動(dòng)；以及玻璃基板定位組件，所述玻璃基板定位組件包括第二驅(qū)動(dòng)元件、第三驅(qū)動(dòng)元件以及定位塊，所述第二驅(qū)動(dòng)元件安裝于所述承片手上驅(qū)動(dòng)所述玻璃基板沿Y方向運(yùn)動(dòng)，所述第三驅(qū)動(dòng)元件設(shè)置在所述承片手上驅(qū)動(dòng)所述玻璃基板沿X方向運(yùn)動(dòng)，所述定位塊安裝于所述承片手上，用于定位所述玻璃基板。
[0010]較佳地，所述硅片夾緊手包括凸輪槽、過(guò)橋、垂向?qū)蚩滓约八綄?dǎo)向孔，所述硅片夾緊手為U型板，所述凸輪槽分布于所述U型板的兩側(cè)壁上，所述過(guò)橋設(shè)于所述U型板兩側(cè)壁其中的一個(gè)側(cè)壁上，所述垂向?qū)蚩孜挥谒鯱型板的底邊，所述水平導(dǎo)向孔設(shè)于所述U型板的兩側(cè)壁上。
[0011]較佳地，所述硅片定位組件還包括鋼珠滾輪，所述鋼珠滾輪安裝于所述承片手上，位于所述凸輪槽的下方。[0012]較佳地，所述硅片定位組件還包括垂向?qū)蜾N和水平導(dǎo)向銷，所述垂向?qū)蜾N插設(shè)于所述垂向?qū)蚩變?nèi)，所述水平導(dǎo)向銷設(shè)置于所述承片手上，位于所述水平向?qū)蚩變?nèi)。
[0013]較佳地，所述第一驅(qū)動(dòng)元件包括第一氣缸和導(dǎo)向塊，所述垂向?qū)蜾N設(shè)置于所述導(dǎo)向塊的通孔內(nèi)，所述第一氣缸通過(guò)驅(qū)動(dòng)所述導(dǎo)向塊帶動(dòng)所述硅片夾緊手沿Y方向運(yùn)動(dòng)。
[0014]較佳地，所述硅片夾緊手還包括兩硅片夾緊指，所述兩硅片夾緊指分別設(shè)于所述U型板的兩個(gè)端部，且所述兩硅片夾緊指與所述定位銷的位置分布為等邊三角形的三個(gè)頂點(diǎn)。
[0015]較佳地，所述承片手設(shè)有指槽，所述硅片夾緊指設(shè)置在所述指槽內(nèi)。
[0016]較佳地，所述硅片夾緊指采用尼龍材料。
[0017]較佳地，所述第二驅(qū)動(dòng)元件包括第二氣缸和Y向頂針，所述第三驅(qū)動(dòng)元件包括第三氣缸和X向頂針，所述定位塊與所述第二驅(qū)動(dòng)元件和第三驅(qū)動(dòng)元件配合夾緊所述玻璃基板。
[0018]較佳地，所述X向頂針設(shè)置在所述過(guò)橋的下方并穿過(guò)所述過(guò)橋。
[0019]較佳地，所述承片手上設(shè)有兩承片面以及若干真空氣道，所述兩承片面為相對(duì)設(shè)置的矩形板，每個(gè)矩形板上開(kāi)有若干連接至負(fù)壓源的真空氣道，所述真空氣道由外向內(nèi)逐漸加長(zhǎng)。
[0020]較佳地，所述硅片定位組件還包括兩個(gè)復(fù)位彈簧，所述復(fù)位彈簧的兩端分別連接至所述硅片夾緊手和所述承片手。
[0021 ] 較佳地，所述傳輸組件還包括節(jié)流閥，用于調(diào)節(jié)所述無(wú)桿氣缸的速度。
[0022]較佳地，所述傳輸組件還包括調(diào)節(jié)墊條，所述調(diào)節(jié)墊條設(shè)于所述連接板與所述承片手之間。
[0023]本發(fā)明提供的兼容硅片和玻璃基板的傳輸裝置，包括:傳輸組件，所述傳輸組件包括無(wú)桿氣缸、連接板以及承片手，所述無(wú)桿氣缸與外部設(shè)備連接，是傳輸組件的執(zhí)行元件，與工件臺(tái)的相對(duì)位置保持固定，實(shí)現(xiàn)點(diǎn)對(duì)點(diǎn)(工件臺(tái)與承片手之間)的傳輸運(yùn)動(dòng)。所述連接板安裝于無(wú)桿氣缸的滑塊上，所述承片手固定連接于所述連接板上，所述承片手用于承載工作對(duì)象(硅片或玻璃基板)；硅片定位組件，所述硅片定位組件包括硅片夾緊手、定位銷以及第一驅(qū)動(dòng)元件，所述硅片夾緊手安裝于所述承片手上，所述定位銷可插拔地設(shè)置于所述承片手上，所述硅片夾緊手和定位銷用于定位硅片，所述第一驅(qū)動(dòng)元件安裝于所述承片手上，驅(qū)動(dòng)所述硅片夾緊手Y方向運(yùn)動(dòng)；還包括玻璃基板定位組件，所述玻璃基板定位組件包括第二驅(qū)動(dòng)元件、第三驅(qū)動(dòng)元件以及定位塊，所述第二驅(qū)動(dòng)元件安裝于所述承片手上驅(qū)動(dòng)所述玻璃基板沿Y方向運(yùn)動(dòng)，所述第三驅(qū)動(dòng)元件設(shè)置在所述承片手上驅(qū)動(dòng)所述玻璃基板沿X方向運(yùn)動(dòng)，所述定位塊安裝于所述承片手上，用于定位所述玻璃基板。本發(fā)明利用互不干涉的兩組組件分別定位夾緊硅片和玻璃基板，一方面實(shí)現(xiàn)工作對(duì)象在傳輸前預(yù)定位，從而減少工件臺(tái)的工作量，另一方面能夠?qū)崿F(xiàn)硅片與玻璃基板的兼容。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0024]圖1為本發(fā)明一實(shí)施例的兼容娃片和玻璃基板的傳輸裝置結(jié)構(gòu)不意圖；
[0025]圖2為圖1的左視圖；
[0026]圖3為圖2的A部放大圖(初始狀態(tài))；[0027]圖4為圖2的A部放大圖(硅片夾緊狀態(tài))；
[0028]圖5為本發(fā)明一實(shí)施例的承片手結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖6為本發(fā)明一實(shí)施例的硅片夾緊手結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030]圖7為本發(fā)明一實(shí)施例的硅片定位夾緊示意圖；
[0031]圖8為本發(fā)明一實(shí)施例的玻璃基板定位夾緊示意圖。
[0032]圖中:110-無(wú)桿氣缸、111-節(jié)流閥、120-連接板、130-承片手、131-承片面、132-真空氣道、133-指槽、140-調(diào)節(jié)墊條、200-硅片、210-硅片夾緊手、211-凸輪槽、212-過(guò)橋、213-垂向?qū)蚩住?14-水平導(dǎo)向孔、215-硅片夾緊指、216-第一氣缸、217-導(dǎo)向塊、220-定位銷、230-垂向?qū)蜾N、240-水平導(dǎo)向銷、250-鋼珠滾輪、260-復(fù)位彈簧、300-玻璃基板、311-第二氣缸、312-Y向頂針、321-第三氣缸、322-X向頂針、330-定位塊。
【具體實(shí)施方式】
[0033]為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】做詳細(xì)的說(shuō)明。
[0034]本發(fā)明提供的一種兼容硅片和玻璃基板的傳輸裝置，如圖1、圖7和圖8所示，包括:傳輸組件，所述傳輸組件包括無(wú)桿氣缸110、連接板120以及承片手130，具體地，所述無(wú)桿氣缸110與外部設(shè)備連接，是傳輸組件的執(zhí)行元件，與工件臺(tái)(圖中未示出)的相對(duì)位置保持固定，實(shí)現(xiàn)點(diǎn)對(duì)點(diǎn)(工件臺(tái)與承片手之間)的傳輸運(yùn)動(dòng)，無(wú)需做復(fù)雜的軌跡規(guī)劃，簡(jiǎn)化控制要求，降低成本，作為優(yōu)選，所述無(wú)桿氣缸110利用節(jié)流閥111進(jìn)行速度調(diào)節(jié)。所述連接板120安裝于無(wú)桿氣缸110的滑塊上，所述承片手130固定連接于所述連接板120上，所述承片手130用于承載工作對(duì)象(硅片200或玻璃基板300);硅片定位組件，所述硅片定位組件包括硅片夾緊手210、定位銷220、第一驅(qū)動(dòng)元件、垂向?qū)蜾N230、水平導(dǎo)向銷240以及鋼珠滾輪250，所述硅片夾緊手210與所述定位銷220分別固定于所述承片手130上，用于定位硅片200，所述第一驅(qū)動(dòng)元件安裝于所述承片手130上，驅(qū)動(dòng)所述硅片夾緊手210沿Y方向運(yùn)動(dòng)，所述垂向?qū)蜾N230與硅片夾緊手210固連，所述水平導(dǎo)向銷240固定于所述承片手130上，請(qǐng)參考圖6，所述垂向?qū)蜾N230與所述水平導(dǎo)向銷240分別插置于所述硅片夾緊手210相應(yīng)位置的垂向及水平導(dǎo)向孔213、214中，所述鋼珠滾輪250設(shè)于所述承片手130上，具體地，所述鋼珠滾輪250位于所述硅片夾緊手210的下方，并且能夠在所述硅片夾緊手210的下表面滑動(dòng)或滾動(dòng)；兼容硅片和玻璃基板的傳輸裝置還包括玻璃基板定位組件，所述玻璃基板定位組件包括第二驅(qū)動(dòng)元件、第三驅(qū)動(dòng)元件以及若干定位塊330，所述第二驅(qū)動(dòng)元件安裝于所述承片手130上驅(qū)動(dòng)所述玻璃基板300沿Y方向運(yùn)動(dòng)、所述第三驅(qū)動(dòng)元件設(shè)置在所述承片手130上驅(qū)動(dòng)所述玻璃基板300沿X方向運(yùn)動(dòng)，所述定位塊330分別安裝于所述承片手130上，用于定位玻璃基板300。本發(fā)明利用互不干涉的兩組組件分別定位夾緊硅片200和玻璃基板300，一方面實(shí)現(xiàn)工作對(duì)象在傳輸前的預(yù)定位，從而減少工件臺(tái)的工作量，另一方面能夠?qū)崿F(xiàn)硅片200與玻璃基板300的兼容，具體地，本實(shí)施例的傳輸裝置能夠兼容8英寸硅片和200mm玻璃基板。
[0035]較佳地，如圖5所示，所述承片手130上設(shè)有兩承片面131以及若干真空氣道132，所述兩承片面131為相對(duì)設(shè)置的矩形板，每個(gè)矩形板上開(kāi)有若干連接至負(fù)壓源的真空氣道132，用以實(shí)現(xiàn)對(duì)工作對(duì)象(硅片或玻璃基板)的吸附，所述真空氣道132由外向內(nèi)逐漸加長(zhǎng)，換句話說(shuō)，請(qǐng)參考圖7和圖8，由于硅片200為圓形，玻璃基板300為矩形，將不同的工作對(duì)象放置于所述承片面131上時(shí)，不會(huì)出現(xiàn)真空氣道132外露而導(dǎo)致氣道不封閉無(wú)法吸附工作對(duì)象的現(xiàn)象發(fā)生，進(jìn)一步適應(yīng)所述硅片200和所述玻璃基板300的兼容。較佳地，所述承片手130上還設(shè)有指槽133。
[0036]較佳地，如圖2和圖6所示，第一驅(qū)動(dòng)元件是所述硅片定位組件的執(zhí)行機(jī)構(gòu)，包括第一氣缸216和導(dǎo)向塊217，所述垂向?qū)蜾N230設(shè)置于所述導(dǎo)向塊217的通孔內(nèi)，所述第一氣缸216通過(guò)驅(qū)動(dòng)所述導(dǎo)向孔217帶動(dòng)所述硅片夾緊手210沿Y方向運(yùn)動(dòng)，所述第一氣缸216可由其自帶的磁性開(kāi)關(guān)(圖中未示出)檢測(cè)氣缸桿(圖中未示出)是否縮至最后端。具體地，所述硅片夾緊手210包括凸輪槽211、過(guò)橋212、垂向?qū)蚩?13、水平導(dǎo)向孔214以及兩硅片夾緊指215，所述硅片夾緊手210為U型板，所述凸輪槽211分別分布于所述U型板的兩側(cè)壁上與所述鋼珠滾輪250相對(duì)應(yīng)的位置，所述鋼珠滾輪250與所述凸輪槽211組成凸輪機(jī)構(gòu)，具體地，包括4組鋼珠滾輪250與所述凸輪槽211組成凸輪機(jī)構(gòu)，所述兩硅片夾緊指215分別設(shè)于所述U型板的兩個(gè)端部，請(qǐng)進(jìn)一步參考圖1、圖3和圖4，初始位置時(shí)，所述鋼珠滾輪250位于所述凸輪槽211與所述承片手130組成的空隙之間，所述硅片夾緊手210處于低位，所述硅片夾緊指215設(shè)置于所述指槽133內(nèi)，所述硅片夾緊指215的上表面低于所述承片面131 ;當(dāng)進(jìn)行夾緊動(dòng)作時(shí)，所述硅片夾緊手210向Y負(fù)向(圖3中虛線箭頭方向)運(yùn)動(dòng)，具體地，娃片夾緊手210的運(yùn)動(dòng)由第一氣缸216驅(qū)動(dòng),所述第一氣缸216的滑塊連接于導(dǎo)向塊217，垂向?qū)蜾N230穿過(guò)所述導(dǎo)向塊217的通孔將導(dǎo)向塊217連接至所述硅片夾緊手210，所述第一氣缸216通過(guò)驅(qū)動(dòng)所述導(dǎo)向塊217帶動(dòng)所述硅片夾緊手210沿Y方向運(yùn)動(dòng)，所述硅片夾緊手210的運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)所述鋼珠滾輪250離開(kāi)所述凸輪槽211，將所述硅片夾緊手210抬高，從而將所述硅片夾緊指215抬高至所述承片面131之上，進(jìn)而完成夾緊硅片的動(dòng)作，采用這種凸輪機(jī)構(gòu)能夠避免工作對(duì)象為玻璃基板時(shí)發(fā)生干涉，而且簡(jiǎn)單有效，重復(fù)性好，適合人工操作。較佳地，所述四個(gè)鋼珠滾輪250同時(shí)動(dòng)作，使所述硅片夾緊手210保持水平。所述過(guò)橋212設(shè)于所述U型板兩側(cè)壁其中的一個(gè)側(cè)壁上，用于避讓所述玻璃定位組件中的X向頂針322，所述垂向?qū)蚩?13位于所述U型板的底邊，用于插置所述垂向?qū)蜾N230，避免所述硅片定位組件和所述玻璃基板定位組件干涉，進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)工作對(duì)象的兼容。所述水平導(dǎo)向孔214設(shè)于所述U型板的兩側(cè)壁上，用于插置所述水平導(dǎo)向銷240，分別對(duì)所述硅片夾緊手210垂向及水平的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行導(dǎo)向。
[0037]較佳地，如圖7所示，所述兩硅片夾緊指215與所述定位銷220的位置分布為等邊三角形的三個(gè)頂點(diǎn)，采用這種一點(diǎn)(定位銷220)、兩切邊(兩硅片夾緊指215)的定位方式固定更穩(wěn)固，且適用于定位缺口娃片(wafer notch),較佳地,所述娃片夾緊指215采用尼龍材料，用以保護(hù)硅片200。
[0038]較佳地，如圖1和圖8所示，第二驅(qū)動(dòng)元件以及第三驅(qū)動(dòng)元件分別位于兩個(gè)相互垂直的水平方向上，分別驅(qū)動(dòng)玻璃基板300在X方向和Y方向運(yùn)動(dòng)，具體地，本實(shí)施例中，所述第二驅(qū)動(dòng)元件和第三驅(qū)動(dòng)元件分別位于圖中Y負(fù)向和X向上，第二驅(qū)動(dòng)元件包括第二氣缸311和Y向頂針312，第三驅(qū)動(dòng)元件包括第三氣缸321和X向頂針322，具體地，所述X向頂針322設(shè)置在所述過(guò)橋212的下方并穿過(guò)所述過(guò)橋212，所述若干定位塊330分別位于所述基第二驅(qū)動(dòng)元件以及第三驅(qū)動(dòng)元件的反方向，即X負(fù)向及Y向上，所述第二驅(qū)動(dòng)元件是玻璃基板300Y向夾緊動(dòng)作的的執(zhí)行器，用第二氣缸311驅(qū)動(dòng)，所述第三驅(qū)動(dòng)元件是玻璃基板300X向夾緊動(dòng)作的執(zhí)行器，用第三氣缸321驅(qū)動(dòng)，所述定位塊330分別用于玻璃基板300X向和Y向的定位，所述定位塊330與所述第一驅(qū)動(dòng)元件和第三驅(qū)動(dòng)元件配合夾緊所述玻璃基板300，本發(fā)明采用定位銷220以及定位塊330對(duì)所述的工作對(duì)象進(jìn)行預(yù)定位，以減少工件臺(tái)的工作量。
[0039]較佳地，如圖1和圖2所示，所述硅片定位組件還包括兩個(gè)復(fù)位彈簧260，所述復(fù)位彈簧260的兩端分別連接至所述硅片夾緊手210和所述承片手130，以確保所述硅片夾緊手210能夠回復(fù)到初始位置。
[0040]較佳地，如圖1、圖7和圖8所示，所述定位銷220為可插拔式，也可以說(shuō)是可拆除式，當(dāng)工作對(duì)象為硅片200時(shí)，所述定位銷220為所述硅片200在所述承片手130上的定位基準(zhǔn)；當(dāng)工作對(duì)象為玻璃基板300時(shí)，取出定位銷220，這種切換方式簡(jiǎn)單迅速，無(wú)需專業(yè)人員調(diào)校，所述工作對(duì)象的中心在所述承片手130上的中心一致時(shí)，避免所述定位銷220與所述玻璃基板300發(fā)生干涉，進(jìn)而保證交接位置一致。
[0041]較佳地，如圖1和圖2所示，所述傳輸組件還包括調(diào)節(jié)墊條140，所述調(diào)節(jié)墊條140設(shè)于所述連接板120與所述承片手130之間，所述調(diào)節(jié)墊條140為修配環(huán)節(jié)，用于保證所述連接板120與所述承片手130之間的Z向距離。
[0042]下面參照附圖對(duì)裝置的運(yùn)動(dòng)過(guò)程進(jìn)行詳細(xì)的介紹，
[0043]請(qǐng)參考圖1和圖7，當(dāng)工作對(duì)象為硅片200時(shí)的動(dòng)作說(shuō)明如下:
[0044]初始狀態(tài):
[0045]無(wú)桿氣缸110處于外部交接位置；硅片夾緊手210處于最后端；第二氣缸311和第三氣缸321均處于縮回狀態(tài)；鋼珠滾輪250位于硅片夾緊手210的凸輪槽211內(nèi)；硅片夾緊指215藏于所述指槽133內(nèi)，所述硅片夾緊指215的上表面低于所述承片面131。
[0046]夾緊動(dòng)作:
[0047]1.將硅片200放置在所述承片面131上，若所述硅片200為缺口硅片，將所述缺口硅片的缺口與所述定位銷220對(duì)準(zhǔn)；
[0048]2.所述第一氣缸216伸出，通過(guò)所述導(dǎo)向塊217帶動(dòng)硅片夾緊手210沿Y向運(yùn)動(dòng)，凸輪槽211和鋼珠滾輪250組成的凸輪機(jī)構(gòu)將硅片夾緊手210抬高，并帶動(dòng)硅片夾緊指215，使所述硅片夾緊指215的上表面高出所述承片面131 ；
[0049]3.所述硅片夾緊指131斜邊與硅片200的外邊緣相切，并推動(dòng)所述硅片200與所述定位銷220靠緊；
[0050]4.真空氣道132接通真空負(fù)壓源，將所述硅片200吸附在所述承片面131上；
[0051]5.所述第一氣缸216縮回，帶動(dòng)所述硅片夾緊手210回到初始位置，完成所述硅片200在所述承片手130上的定位；
[0052]6.所述無(wú)桿氣缸110運(yùn)動(dòng)至內(nèi)部交接位置與工件臺(tái)完成硅片200的交接。
[0053]請(qǐng)參考圖1和圖8，當(dāng)工作對(duì)象為玻璃基板300時(shí)的動(dòng)作說(shuō)明如下:
[0054]初始狀態(tài):
[0055]無(wú)桿氣缸110處于外部交接位置；硅片夾緊手210處于最后端；第二氣缸311和第三氣缸321均處于縮回狀態(tài)；鋼珠滾輪250位于硅片夾緊手210的凸輪槽211內(nèi)；硅片夾緊指215藏于所述指槽133內(nèi)，所述硅片夾緊指215的上表面低于所述承片面131。
[0056]夾緊動(dòng)作:[0057]1.取下定位銷220 ；
[0058]2.將玻璃基板300放置在所述承片面131上；
[0059]3.所述第二驅(qū)動(dòng)元件和第三驅(qū)動(dòng)元件分別在所述第二氣缸311和第三氣缸321的驅(qū)動(dòng)下同時(shí)動(dòng)作，將所述玻璃基板300在X、Y方向上分別以所述定位塊330的邊緣定位；
[0060]4.真空氣道132接通真空負(fù)壓源，將所述玻璃基板300吸附在所述承片面131上；
[0061]5.所述第二氣缸311和第三氣缸321回到初始狀態(tài)；
[0062]6.所述無(wú)桿氣缸110運(yùn)動(dòng)至內(nèi)部交接位置與工件臺(tái)完成玻璃基板300的交接。
[0063]綜上所述，本發(fā)明提供的兼容硅片和玻璃基板的傳輸裝置，具有如下所述的進(jìn)步效果:
[0064]1.采用無(wú)桿氣缸110做為傳輸組件的驅(qū)動(dòng)，降低成本，簡(jiǎn)化控制要求；
[0065]2.實(shí)現(xiàn)所述硅片200和玻璃基板300的兼容，避免工作對(duì)象變更時(shí)更換專用傳輸機(jī)構(gòu)；
[0066]3.采用所述鋼珠滾輪250與所述凸輪槽211組成的凸輪機(jī)構(gòu)，使用單一氣缸驅(qū)動(dòng)，
[0067]同時(shí)完成所述硅片夾緊手210的抬升和夾緊動(dòng)作，簡(jiǎn)單有效，重復(fù)性好；
[0068]4.工作對(duì)象切換時(shí)，只需對(duì)所述定位銷220進(jìn)行插入和拔除的動(dòng)作，切換迅速，無(wú)需專業(yè)人員調(diào)校；
[0069]5.所述硅片200的中心與所述玻璃基板300的中心重合，使得工件臺(tái)的交接位置
一致，方便操作。
[0070]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種兼容娃片和玻璃基板的傳輸裝置，其特征在于，包括: 傳輸組件，所述傳輸組件包括無(wú)桿氣缸、連接板以及承片手，所述連接板安裝于無(wú)桿氣缸的滑塊上，所述承片手固定連接于所述連接板上； 硅片定位組件，所述硅片定位組件包括硅片夾緊手、定位銷以及第一驅(qū)動(dòng)元件，所述硅片夾緊手安裝于所述承片手上，所述定位銷可拔插地設(shè)置于所述承片手上，所述硅片夾緊手和定位銷用于定位硅片，所述第一驅(qū)動(dòng)元件安裝于所述承片手上，驅(qū)動(dòng)所述硅片夾緊手沿Y方向運(yùn)動(dòng)；以及 玻璃基板定位組件，所述玻璃基板定位組件包括第二驅(qū)動(dòng)元件、第三驅(qū)動(dòng)元件以及定位塊，所述第二驅(qū)動(dòng)元件安裝于所述承片手上驅(qū)動(dòng)所述玻璃基板沿Y方向運(yùn)動(dòng)，所述第三驅(qū)動(dòng)元件設(shè)置在所述承片手上驅(qū)動(dòng)所述玻璃基板沿X方向運(yùn)動(dòng)，所述定位塊安裝于所述承片手上，用于定位所述玻璃基板。
2.如權(quán)利要求1所述的兼容硅片和玻璃基板的傳輸裝置，其特征在于，所述硅片夾緊手包括凸輪槽、過(guò)橋、垂向?qū)蚩滓约八綄?dǎo)向孔，所述硅片夾緊手為U型板，所述凸輪槽分布于所述U型板的兩側(cè)壁上，所述過(guò)橋設(shè)于所述U型板兩側(cè)壁其中的一個(gè)側(cè)壁上，所述垂向?qū)蚩孜挥谒鯱型板的底邊，所述水平導(dǎo)向孔設(shè)于所述U型板的兩側(cè)壁上。
3.如權(quán)利要求2所述的兼容硅片和玻璃基板的傳輸裝置，其特征在于，所述硅片定位組件還包括鋼珠滾輪，所述鋼珠滾輪安裝于所述承片手上，位于所述凸輪槽的下方。
4.如權(quán)利要求3所述的兼容硅片和玻璃基板的傳輸裝置，其特征在于，所述硅片定位組件還包括垂向?qū)蜾N和水平導(dǎo)向銷，所述垂向?qū)蜾N插設(shè)于所述垂向?qū)蚩變?nèi)，所述水平導(dǎo)向銷設(shè)置于所述承片手上，位于所述水平向?qū)蚩變?nèi)。
5.如權(quán)利要求4所述的兼容娃片和玻璃基板的傳輸裝置,其特征在于,所述第一驅(qū)動(dòng)元件包括第一氣缸和導(dǎo)向塊，所述垂向?qū)蜾N設(shè)置于所述導(dǎo)向塊的通孔內(nèi)，所述第一氣缸通過(guò)驅(qū)動(dòng)所述導(dǎo)向塊帶動(dòng)所述硅片夾緊手沿Y方向運(yùn)動(dòng)。
6.如權(quán)利要求2所述的兼容硅片和玻璃基板的傳輸裝置，其特征在于，所述硅片夾緊手還包括兩硅片夾緊指，所述兩硅片夾緊指分別設(shè)于所述U型板的兩個(gè)端部，且所述兩硅片夾緊指與所述定位銷的位置分布為等邊三角形的三個(gè)頂點(diǎn)。
7.如權(quán)利要求6所述的兼容硅片和玻璃基板的傳輸裝置，其特征在于，所述承片手設(shè)有指槽，所述硅片夾緊指設(shè)置在所述指槽內(nèi)。
8.如權(quán)利要求7所述的兼容硅片和玻璃基板的傳輸裝置，其特征在于，所述硅片夾緊指采用尼龍材料。
9.如權(quán)利要求2所述的兼容硅片和玻璃基板的傳輸裝置，其特征在于，所述第二驅(qū)動(dòng)元件包括第二氣缸和Y向頂針，所述第三驅(qū)動(dòng)元件包括第三氣缸和X向頂針，所述定位塊與所述第二驅(qū)動(dòng)元件和第三驅(qū)動(dòng)元件配合夾緊所述玻璃基板。
10.如權(quán)利要求9所述的兼容硅片和玻璃基板的傳輸裝置，其特征在于，所述X向頂針設(shè)置在所述過(guò)橋的下方并穿過(guò)所述過(guò)橋。
11.如權(quán)利要求1所述的兼容硅片和玻璃基板的傳輸裝置，其特征在于，所述承片手上設(shè)有兩承片面以及若干真空氣道，所述兩承片面為相對(duì)設(shè)置的矩形板，每個(gè)矩形板上開(kāi)有若干連接至負(fù)壓源的真空氣道，所述真空氣道由外向內(nèi)逐漸加長(zhǎng)。
12.如權(quán)利要求1所述的兼容硅片和玻璃基板的傳輸裝置，其特征在于，所述硅片定位組件還包括兩個(gè)復(fù)位彈簧，所述復(fù)位彈簧的兩端分別連接至所述硅片夾緊手和所述承片手。
13.如權(quán)利要求1所述的兼容硅片和玻璃基板的傳輸裝置，其特征在于，所述傳輸組件還包括節(jié)流閥，用于調(diào)節(jié)所述無(wú)桿氣缸的速度。
14.如權(quán)利要求1所述的兼容硅片和玻璃基板的傳輸裝置，其特征在于，所述傳輸組件還包括調(diào)節(jié)墊條，所述調(diào)節(jié)墊條設(shè)于所述連接板與所述承片手之間。
【文檔編號(hào)】B65G47/91GK103569672SQ201210254273
【公開(kāi)日】2014年2月12日 申請(qǐng)日期:2012年7月20日 優(yōu)先權(quán)日:2012年7月20日
【發(fā)明者】賈海立, 朱岳彬, 陳力, 胡書(shū)平 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司