專利名稱：自動化物料輸送系統(tǒng)及其方法
技術領域：
本發(fā)明屬于物料輸送領域，具體地說，涉及一種自動化物料輸送系統(tǒng)及其方法。
背景技術：
隨著半導體技術的發(fā)展，300mm的娃片已經(jīng)取代200mm的娃片成為主流,每個裝載了硅片的容器重量由原來的約4公斤變成了約9公斤。因此，如果借助于人力來在各個制造模塊之間來進行輸送的話，會導致效率比較低，同時還可能導致人員被傷害的危險。而由于可以有效提高廠房利用率、縮短產(chǎn)品的生產(chǎn)周期，自動化物料輸送系統(tǒng)(AutomatedMaterial Handling Systems,以下簡稱AMHS)相對于人力化的物料輸送來說，成為在300mm娃片制造過程中各個制造模塊之間來進行輸送娃片的主要紐帶。圖8為現(xiàn)有技術中自動化物料輸送系統(tǒng)的結構示意圖。如圖8所示，該自動化物料·輸送系統(tǒng)主要包括存儲單元STOCKER 801和升降機子系統(tǒng)802。其中，存儲單元STOCKER801設有至少一個輸入口 811、至少一個輸出口 821，存儲單元STOCKER 801中放置有盒式容器803，在盒式容器803存放有物料(Work In Product，以下簡稱WIP)如硅片。升降機子系統(tǒng)802包括設置在存儲單元STOCKER 801外圍的懸空軌道812，以及可在懸空軌道812上行駛的輸送車822。每個輸送車822還連接有一機械手832，通過該機械手832來拾取或者卸載盒式容器803，再控制輸送車822沿著懸空軌道812行駛，從而使得硅片在制造區(qū)域的各個制造模塊之間自動輸送。比如拾取了一盒式容器803的輸送車822在懸空軌道812上行駛，并停在可以把其拾取的盒式容器803卸載到其?？课恢锰庉斎肟?811的位置，或者可以從輸出口 821拾取一盒式容器803的位置，并最終完成盒式容器803到存儲單元STOCKER801的卸載或者裝入。當該輸送車822完成卸載或者裝入后，另一?？吭趹铱哲壍?12輸送車822再通過其停靠位置處輸入口 811或者輸出口 821卸載或者裝入其他的盒式容器803。卸載或者裝入盒式容器803是通過與輸送車822連接的、設置在存儲單元801中的機械臂832完成的，為此，該機械臂832通常需要設置3個或更多的運動軸線，從而將存儲單元STOCKER 801中的物料WIP推送到輸出口 811或將輸送車822中的物料WIP推送到輸入口 821。然而，3個或更多的運動軸線使得機械手832的運動過程較為復雜，增加了從存儲單元STOCKER 801拾取即裝入或者卸載盒式容器803的最小時間量，從而導致輸送效率較低。如果采用增加輸入口 811和輸出口 821來提高搬送效率的話，由于受到機械臂832數(shù)量的限制，以及懸空軌道排布的限制，在每次只能允許有一個輸送車822進行卸載或者裝入的情況下，由于存在裝入、卸載過程中的滯時，搬送效率并不會有效地得到提高。另夕卜，存儲單元801中三軸或更多軸的機械臂832與分別具有f 3個運動軸線的若干輸入口811/輸出口 821相結合，從而導致存儲單元801中可能具有5 16個軸線的運動，因此，導致系統(tǒng)復雜度提高，可靠性降低，成本增加，從而也進一步增加了硅片的生產(chǎn)成本。

發(fā)明內容
本發(fā)明所要解決的技術問題是提供一種自動化物料輸送系統(tǒng)、自動化物料輸送臺及其方法，以降低生產(chǎn)成本，提高物料在不同制造模塊之間輸送的搬送效率，簡化系統(tǒng)復雜度，提高可靠性，降低物料的生產(chǎn)成本。為了解決上述技術問題，本發(fā)明提供了一種自動化物料輸送系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括
存儲設備，包括至少兩個存儲單元，每個所述存儲單元中分層存儲有物料；
導軌，與所述物料的生產(chǎn)區(qū)域的主導軌一體，并設置在所述存儲設備中每相鄰兩個所述存儲單元之間；
物料輸送單元，用于在所述存儲設備中進出和存取所述物料，并沿著所述導軌行駛以輸送存取的所述物料；
位置傳感器，用于確定所述物料輸送單元在所述導軌上的第一位置；
傳動單元，用于將存取的所述物料在存放位置與第二位置之間推送傳遞，所述第二位 置與所述第一位置在豎直方向上對應。為了解決上述技術問題，本發(fā)明還提供了一種自動化物料輸送臺，該輸送臺包括
導軌，與物料的生產(chǎn)區(qū)域的主導軌一體，并設置在存儲設備中每相鄰兩個存儲單元之
間；
物料輸送單元，用于存取存儲設備中的物料并沿著所述導軌行駛以輸送所述物料； 位置傳感器，用于確定所述物料輸送單元在所述導軌上的第一位置；
傳動單元，用于將存取的所述物料在存放位置與第二位置之間推送傳遞，所述第二位置與所述第一位置在豎直方向對應。為了解決上述技術問題，本發(fā)明又提供了一種自動化物料輸送方法，該輸送方法包括
步驟I、物料分層存儲在存儲設備的每個存儲單元中；
步驟2、位置傳感器確定物料輸送單元在導軌上的第一位置，導軌與所述物料的生產(chǎn)區(qū)域的主導軌一體，并設置在所述存儲設備中相鄰兩個存儲單元之間；
步驟3、傳動單元將存取的所述物料在存放位置與第二位置之間推送傳遞，所述第二位置與所述第一位置在豎直方向對應；
步驟4、物料輸送單元存取所述物料并沿著所述導軌行駛進出所述存儲設備以輸送存取的所述物料。與現(xiàn)有的方案相比，本發(fā)明中以硅片制造過程中，在不同的制作模塊之間自動輸送硅片為例進行說明，硅片從上到下分層存儲在存儲設備的存儲單元中，而每相鄰兩個存儲單元之間設置有一導軌，該導軌與生產(chǎn)區(qū)域的主軌道一體，在存取硅片的過程中，物料輸送單元進出存儲設備，并通過位置傳感器控制將物料輸送單元在導軌上的具體?？课恢?，再通過傳動單元將存取硅片推送到物料輸送單元的正下方，此時物料輸送單元對硅片完成存取動作并沿著導軌行駛進出存儲設備，以使硅片在不同的制造模塊之間輸送。對于本領域的普通技術來說，根據(jù)其理解，也可以將本發(fā)明運用到其他產(chǎn)品的加工制造過程中，從而實現(xiàn)在不同的制作模塊之間物料的輸送。與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明簡化了系統(tǒng)復雜度，提高了可靠性，降低了物料的生產(chǎn)成本。


圖I為本發(fā)明實施例一的自動化物料輸送系統(tǒng)俯視結構示意 圖2為本發(fā)明實施例一的自動化物料輸送系統(tǒng)工作過程俯視示意 圖3為本發(fā)明實施例一的自動化物料輸送系統(tǒng)工作過程側視示意 圖4為本發(fā)明實施例二的自動化物料輸送系統(tǒng)俯視結構示意 圖5為本發(fā)明實施例二的自動化物料輸送系統(tǒng)工作過程俯視示意 圖6為本發(fā)明實施例二的自動化物料輸送系統(tǒng)工作過程側視示意 圖7為本發(fā)明實施例自動化物料輸送方法的流程示意 圖8為現(xiàn)有技術中自動化物料輸送系統(tǒng)的結構示意圖。
具體實施例方式以下將配合圖式及實施例來詳細說明本發(fā)明的實施方式，藉此對本發(fā)明如何應用技術手段來解決技術問題并達成技術功效的實現(xiàn)過程能充分理解并據(jù)以實施。本發(fā)明的下述實施例中，以硅片制造過程中，在不同的制作模塊之間自動輸送硅片為例進行說明，硅片從上到下分層存儲在存儲設備的存儲單元中，而每相鄰兩個存儲單元之間設置有一導軌，該導軌與生產(chǎn)區(qū)域的主軌道一體，在存取硅片的過程中，物料輸送單元進出存儲設備，并通過位置傳感器控制將物料輸送單元在導軌上的具體?？课恢?，再通過傳動單元將存取硅片推送到物料輸送單元的正下方，此時物料輸送單元對硅片完成存取動作并沿著導軌行駛進出存儲設備，以使硅片在不同的制造模塊之間輸送。對于本領域的普通技術來說，根據(jù)其理解，也可以將本發(fā)明運用到其他產(chǎn)品的加工制造過程中，從而實現(xiàn)在不同的制作模塊之間物料的輸送。本發(fā)明下述實施例簡化了系統(tǒng)復雜度，提高了可靠性，降低了物料的生產(chǎn)成本。系統(tǒng)實施例一
圖I為本發(fā)明實施例一的自動化物料輸送系統(tǒng)俯視結構示意圖。圖2為本發(fā)明實施例一的自動化物料輸送系統(tǒng)工作過程俯視示意圖。圖3為本發(fā)明實施例一的自動化物料輸送系統(tǒng)工作過程側視示意圖。如圖I、圖2、圖3所示，本實施例中，自動化物料輸送系統(tǒng)包括存儲設備100、存儲單元STOCKER 101、導軌102、物料輸送單元103、位置傳感器104、傳動單元 105。存儲設備100包括至少兩個個存儲單元STOCKER 101，存儲設備100的每個存儲單元STOCKER 101設置有多層，用來分層存儲硅片。在本實施例中，可以使用一容納單元111來裝載硅片，而將該容納單元111分層放置在存儲單元STOCKER 101的存儲位中。具體的，本實施例中的容納單元111可以為前端開口片盒(Front Opening Unified Pod,以下簡稱F0UP)或者標準機械界面盒(Stand Mechanical Interface,以下簡稱SMIF)。為了便于存取，在所述存儲設備100 —側或相對的兩側設置了一個存取門121，當需要存取存儲設備100任意一個存儲單元STOCKER 101中某層中某特定的容納單元111時，該存取門121打開使物料輸送單元103進出存儲設備100 ;否則，則該存取門關閉，以保持存儲單元101中的加工區(qū)域的隔絕，從而保證存儲單元STOCKER 101內部的潔凈度。導軌102設置在存儲設備100中每相鄰兩個存儲單元STOCKER 101中間，這樣，針對這兩個相鄰存儲單元STOCKER 101可以共享設置同一個物料輸送單元103，即物料輸送單元103可以分時對相鄰存儲單元ST0CKER101中的任意一個進行操作。本實施例中，如圖I所示，該導軌102可以采用懸空的方式設置在每兩個存儲單元100之間。該導軌102與生產(chǎn)區(qū)域的主軌道(圖中未示出)位于同一豎直高度上從而形成了一個整體，從而使容納單元111從存儲單元STOCKER 101中完成存取，通過該導軌106送到不同的制造模塊，或者通過駛入主軌道進入物料的其他生產(chǎn)區(qū)域。在具體設置時，可以將該導軌102穿設在在存儲設備的兩個側壁上本領域普通技術人員可以理解，在本發(fā)明的另外一實施例中，也可以給在每相鄰的兩個存儲單元101之間設置兩條導軌102，以及對應的兩個物料輸送單元103，每一條導軌102和每一個物料輸送單元103針對一個存儲單元STOCKER 101,比如在圖I中，左邊的存儲單元STOCKER 101有一套針對其操作的導軌102和物料輸送單元103，右邊的存儲單元STOCKER 101有一套 針對其操作的導軌102和物料輸送單元103。物料輸送單元103用于在所述存儲設備中進出和存取物料，并沿著導軌102行駛以輸送存取的物料。本實施例中，物料輸送單元103可以包括輸送車113和拾取單元123，拾取單元123設置在輸送車113前端。輸送車113用于帶動拾取單元123沿著導軌102行駛以輸送硅片，該輸送車113具體可以為在豎直方向行進的高架提升輸送車OHT ;拾取單元123用于通過升降存取容納單元111，該拾取單元具體可以為機械手。另外，本實施例中，為了有效確定機械手133是否完成容納單元111的抓放，可以在機械手133前端設置有拾取傳感器143，通過該拾取傳感器143確定機械手133是否完成抓放容納單元111，從而最終完成容納單元111中硅片的存取。拾取傳感器143可以選自電阻式傳感器、電容式傳感器、電感式傳感器、磁電式傳感器、電渦流傳感器、光電傳感器。參見圖3,位置傳感器104用于確定物料輸送單兀103中輸送車113在導軌上的停靠位置A，該?？课恢米鳛榈谝晃恢?。本實施例中，如圖I所示，每個存儲單元STOCKER101中不同層且位于同一豎直方向的若干個存儲位共享設置一位置傳感器103，即將位置傳感器103設置在不同層且在同一豎直方向上的存儲位的上方。為了節(jié)省系統(tǒng)成本，兩個存儲單元STOCKER 101之間可以共享同一位置傳感器103，此時，為了減少拾取單元123的升降動作，可以使相鄰兩個所述存儲單元STOCKER 101之間物料的存放位置對準，即保證兩個存儲單元STOCKER 101中對應的層完全處于同一豎直高度上。本領域普通技術人員可理解，在不考慮系統(tǒng)成本的情況下，也可以給每一個存儲單元ST0CKER101單獨設置各自的位置傳感器，此時，相鄰兩個所述存儲單元STOCKER 101之間物料的存放位置對準，或者錯位，即兩個存儲單元STOCKER 101中對應的層可以在同一豎直高度，也可以不在同一豎直高度，在此不再贅述。該位置傳感器為104可以具體為一維條碼傳感器，或光柵尺位置傳感器。如圖I所示，本實施例中，對于某一個存儲單元STOCKER 101來說，如果為其同層的每一個容納單元111配置一個存儲位的話，從俯視圖上看，如果每層有6個存儲位，則就需要在導軌102上設置6個位置傳感器。在另外一實施例中，也可以給同層的所有容納單元111共享配置一存儲位，此時，同層的所有容納單元111可以共享設置一傳動單元105，詳細過程在此不再贅述。傳動單元105用于將存取的物料在存放位置與第二位置之間推送傳遞，第二位置與上述第一位置在豎直方向對應。該傳動單元105可以具體包括傳送帶(圖中未示出)和用于驅動傳送帶動作的驅動單元(圖中未示出)，傳送帶上放置有容納單元111。具體地，如圖2、圖3所示，傳動單元105將存取的容納單元111向左或者向右推送到導軌上停靠位置處輸送車113前端機械手133的正下方位置B，該正下方位置作為第二位置。機械手133根據(jù)第一位置和第二位置抓放容納單元111。為了減少傳動單元105數(shù)量，降低系統(tǒng)成本，可以為同一層的所有存儲位共享設置有一傳動單元105。如圖I所示，存儲單元STOCKER 101同一層中所有容納單元111共享設置一傳動單元105。本發(fā)明的另外一實施例中，也可以為存儲單元STOCKER 101同層的每個容納單元111單獨設置一傳動單元105。如圖I和圖2所示，本實施例中，以每個存儲單元STOCKER 101中放置容納單元111的層數(shù)為6層，每層放置的容納單元111為6個，由此，按照不同層但位于同一豎直方向上的容納單元111共享配置一位置傳感器104，如果兩個存儲單元STOCKER 101共享位置傳感器的話，從俯視圖上共計6個位置傳感器104。另外，在導軌102上設置一輸送車113和一拾取單元123。以右側存儲單元STOCKER 101中從上到下的第3層從后往前第3個容納單元111為存取對象。參見圖2和圖3所示，則在將容納硅片的容納單元111按照從上到下、分層放置的方式置于存儲單元STOCKER 101之后，本實施例中的自動化物料輸送系統(tǒng)的后續(xù)工作過程可如下
打開存取門121，輸送車113沿著導軌102進入存儲設備100中； 位置傳感器104確定出輸送車113在導軌102的水平?？课恢茫?br> 傳動單元105將水平?？课恢锰幷麑拥娜菁{單元111推送到輸送車113前端機械手133的正下方位置，根據(jù)水平?？课恢煤驼路轿恢茫箼C械手133抓放容納單元111。機械手133下降并通過其前端的拾取傳感器143確定完成抓放容納單元111 ; 機械手133回升到頂部，輸送車113帶動機械手133沿著導軌102通過存取門121離
開存儲單元STOCKER 101，以完成不同制作模塊之間硅片的輸送，或者駛入主軌道。在上述實施例一中，由于為處于同一層的所有容納單元111共享設置了一傳動單元105，所以，當需要對某層中任意一個容納單元111存取時，如圖3所示，使整層容納單元111被推送到機械手133的正下方位置，使該層所有的容納單元111處于存取位置，從而暫時將該層中所有的存儲位未被占用。當完成對某容納單元111存取時，傳送單元105將整層剩余的的容納單元111推送回存儲單元STOCKER 101內部，以與外界隔離，從而使該層剩余的容納單元111處于空閑位置。本領域普通技術人員可以理解，如果給每一個存儲單元STOCKER 201都設置一套導軌102和物料輸送單元103的話，可以實現(xiàn)同時對每一個存儲單元STOCKER 201中的物料進行操作，詳細過程在此不再贅述。系統(tǒng)實施例二
圖4為本發(fā)明實施例二的自動化物料輸送系統(tǒng)俯視結構示意圖。圖5為本發(fā)明實施例二的自動化物料輸送系統(tǒng)工作過程俯視示意圖。圖6為本發(fā)明實施例二的自動化物料輸送系統(tǒng)工作過程側視示意圖。如圖4、圖5、圖6所示，與上述實施例一相同之處在于，自動化物料輸送系統(tǒng)包括存儲單元200、存儲單元STOCKER 201、導軌202、物料輸送單元203、位置傳感器204、傳動單元205。可以使用一容納單元211來裝載硅片，而將該容納單元211分層放置在存儲單元STOCKER 201的存儲位中。導軌202設置在每相鄰存儲單元STOCKER 201之間。該導軌202可以采用懸空的方式設置在存儲單元ST0CKER201的對側壁上。該導軌202與生產(chǎn)區(qū)域的主軌道位于同一豎直高度上從而形成了一個整體。物料輸送單元203可以包括輸送車213和拾取單元223。該拾取單元具體可以為機械手233。另外，可以在機械手133前端設置有拾取傳感器243。拾取傳感器243可以選自電阻式傳感器、電容式傳感器、電感式傳感器、磁電式傳感器、電渦流傳感器、光電傳感器中之一，或者其中至少兩種的任意組合。位置傳感器204用于確定物料輸送單元203中輸送車213在導軌上的?？课恢肁，該?？课恢米鳛榈谝晃恢谩Ｈ鐖D4所示，每一個存儲單元ST0KCER201不同層且位于同一豎直方向的若干個容納單元211共享設置一位置傳感器203。該位置傳感器為104可以具體為一維條碼傳感器，或光柵尺位置傳感器。傳動單元205用于將存取的容納單元211向左或者向右推送到導軌上?？课恢锰庉斔蛙?13前端機械手233的正下方位置B，該正下方位置作為第二位置。根據(jù)第一位置和第二位置B使機械手233存取容納單元211。該傳動單元205可以具體包括傳送帶(圖中未 示出)和用于驅動傳送帶動作的驅動單元(圖中未示出)，傳送帶上放置有容納單元211。與上述實施例一不同之處在于，為同一層的每一個容納單元211單獨設置一傳動單元205。因此，參見圖4和圖5所示，本實施例二與上述實施例一自動化物料輸送系統(tǒng)的工作過程不同之處在于，傳動單元205在存取容納單元211時，由于每一個容納單元211單獨配置有傳動單元205，因此，在推送存取的容納單元211時，僅是將存取的容納單元211從存放位置推送到機械手233的正下方位置，該存取的容納單元211所在層的其余容納單元211仍保留在原存儲位不動。其他與實施例一相同的過程在此不再贅述。本發(fā)明的上述實施例中，傳動單元也可以采用現(xiàn)有技術中的機械臂，該機械臂可以在豎直方向上的滑軌上下滑動上述每個實施例中，由導軌、物料輸送單元、位置傳感器、傳動單元可以組成一自動化物料輸送臺。方法實施例
圖7為本發(fā)明實施例自動化物料輸送方法的流程示意圖。如圖I所示，本實施例自動化物料輸送方法的流程可以包括
步驟I、物料分層存儲在存儲設備的每個存儲單元中；
步驟2、位置傳感器確定物料輸送單元在導軌上的第一位置，導軌與物料的生產(chǎn)區(qū)域的主導軌一體，并設置在存儲設備中相鄰兩個存儲單元之間；
步驟3、傳動單元將存取的物料在存放位置與第二位置之間推送傳遞，第二位置與所述第一位置在豎直方向對應；
步驟4、物料輸送單元存取所述物料并沿著所述導軌行駛進出所述存儲設備以輸送存取的所述物料。本實施例中，步驟I可以包括
步驟101、將物料裝載到容納單元中；
步驟102、將容納單元分層放置在每個存儲單元中。 本實施例中，所述步驟4可以包括
所述物料輸送單元的拾取單元根據(jù)所述第一位置和第二位置存取所述物料；
所述物料輸送單元的輸送車帶動所述拾取單元沿著所述導軌行駛進出所述存儲設備以輸送存取的所述物料。上述實施例雖然介紹了如何通過物料輸送單元的升降來進行硅片在不同制造模塊之間的輸送，但是，對于本領域的普通技術人員來說，其也可以完全將上述實施例應用于通過物料輸送單元的水平移動來進行物料的輸送。上述說明示出并描述了本發(fā)明的若干優(yōu)選實施例，但如前所述，應當理解本發(fā)明并非局限于本文所披露的形式，不應看作是對其他實施 例的排除，而可用于各種其他組合、修改和環(huán)境，并能夠在本文所述發(fā)明構想范圍內，通過上述教導或相關領域的技術或知識進行改動。而本領域人員所進行的改動和變化不脫離本發(fā)明的精神和范圍，則都應在本發(fā)明所附權利要求的保護范圍內。
權利要求
1.一種自動化物料輸送系統(tǒng)，其特征在于，包括 存儲設備，包括至少兩個存儲單元，每個所述存儲單元中分層存儲有物料； 導軌，與所述物料的生產(chǎn)區(qū)域的主導軌一體，并設置在所述存儲設備中每相鄰兩個所述存儲單元之間； 物料輸送單元，用于在所述存儲設備中進出和存取所述物料，并沿著所述導軌行駛以輸送存取的所述物料； 位置傳感器，用于確定所述物料輸送單元在所述導軌上的第一位置； 傳動單元，用于將存取的所述物料在存放位置與第二位置之間推送傳遞，所述第二位置與所述第一位置在豎直方向上對應。
2.根據(jù)權利要求I所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括存取門，用于使所述物料輸送單元在存取所述物料時進出所述存儲設備，設置在所述存儲設備一側或相對的兩側。
3.根據(jù)權利要求I所述的系統(tǒng)，其特征在于，每個所述存儲單元中設置有存儲位，用于存放裝載物料的容納單元。
4.根據(jù)權利要求3所述的系統(tǒng)，其特征在于，每個所述存儲單元中同層的所有所述容納單元共享設置一所述存儲位，或者，每個所述存儲單元中同層的每個所述容納單元單獨設置一所述存儲位。
5.根據(jù)權利要求3所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述容納單元為前端開口片盒和/或標準機械界面盒。
6.根據(jù)權利要求3所述的系統(tǒng)，其特征在于，每個所述存儲單元中同層的所有所述存儲位共享設置一所述傳動單元，或者每個所述存儲單元中同層的每個所述存儲位單獨設置一所述傳動單元。
7.根據(jù)權利要求3所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述傳動單元包括傳送帶和用于驅動所述傳送帶動作的驅動單元，所述傳送帶上放置有所述容納單元。
8.根據(jù)權利要求I所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述傳動單元包括機械臂。
9.根據(jù)權利要求I所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述物料輸送單元包括輸送車和拾取單元，其中，所述輸送車用于帶動所述拾取單元沿著所述導軌行駛以輸送所述物料；所述拾取單元設置在所述輸送車前端，用于存取所述物料。
10.根據(jù)權利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述拾取單元為機械手。
11.根據(jù)權利要求10所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述機械手前端設置有拾取傳感器，用于確定所述機械手是否抓放所述物料。
12.根據(jù)權利要求11所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述拾取傳感器選自電阻式傳感器、電容式傳感器、電感式傳感器、磁電式傳感器、電渦流傳感器、光電傳感器。
13.根據(jù)權利要求I所述的系統(tǒng)，其特征在于，每個所述存儲單元中不同層且位于同一豎直方向的若干個所述物料共享設置一所述位置傳感器。
14.根據(jù)權利要求I所述的系統(tǒng)，其特征在于，相鄰兩個所述存儲單元之間共享設置所述位置傳感器。
15.根據(jù)權利要求I所述的系統(tǒng)，其特征在于，相鄰兩個所述存儲單元之間物料的存放位置對準。
16.根據(jù)權利要求I所述的系統(tǒng)，其特征在于，相鄰兩個所述存儲單元單獨設置所述位置傳感器。
17.根據(jù)權利要求16所述的系統(tǒng)，其特征在于，相鄰兩個所述存儲單元之間物料的存放位置對準，或者錯位。
18.根據(jù)權利要求13-17任意所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述位置傳感器為一維條碼傳感器，或光柵尺位置傳感器。
19.根據(jù)權利要求I所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述每個存儲單元單獨配置有一導軌和一物料輸送單元，或者，相鄰兩個存儲單元共享設置一導軌和一物料輸送單元。
20.根據(jù)權利要求I所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述物料為硅片。
21.—種自動化物料輸送臺，其特征在于，包括 導軌，與物料的生產(chǎn)區(qū)域的主導軌一體，并設置在存儲設備中每相鄰兩個存儲單元之間； 物料輸送單元，用于存取存儲設備中的物料并沿著所述導軌行駛以輸送所述物料； 位置傳感器，用于確定所述物料輸送單元在所述導軌上的第一位置； 傳動單元，用于將存取的所述物料在存放位置與第二位置之間推送傳遞，所述第二位置與所述第一位置在豎直方向對應。
22.根據(jù)權利要求21所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述物料輸送單元包括輸送車和拾取單元，其中，所述輸送車用于帶動所述拾取單元沿著所述導軌行駛以輸送所述物料；所述拾取單元設置在所述輸送車前端，用于存取所述物料。
23.根據(jù)權利要求22所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述拾取單元為機械手。
24.根據(jù)權利要求22所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述機械手前端設置有拾取傳感器，用于確定所述機械手是否完成存取所述物料。
25.根據(jù)權利要求21所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述存儲單元中不同層且同一豎直方向的若干個所述物料共享設置一所述位置傳感器。
26.根據(jù)權利要求21所述系統(tǒng)，其特征在于，所述位置傳感器為一維條碼傳感器，或光柵尺位置傳感器。
27.一種自動化物料輸送方法，其特征在于，包括 步驟I、物料分層存儲在存儲設備的每個存儲單元中； 步驟2、位置傳感器確定物料輸送單元在導軌上的第一位置，導軌與所述物料的生產(chǎn)區(qū)域的主導軌一體，并設置在所述存儲設備中相鄰兩個存儲單元之間； 步驟3、傳動單元將存取的所述物料在存放位置與第二位置之間推送傳遞，所述第二位置與所述第一位置在豎直方向對應； 步驟4、物料輸送單元存取所述物料并沿著所述導軌行駛進出所述存儲設備以輸送存取的所述物料。
28.根據(jù)權利要求27所述的方法，其特征在于，所述步驟I包括 步驟101、將物料裝載到容納單元中； 步驟102、將所述容納單元分層放置在每個所述存儲單元中。
29.根據(jù)權利要求27所述的方法，其特征在于，所述步驟4包括 所述物料輸送單元的拾取單元根據(jù)所述第一位置和第二位置存取所述物料； 所述物料輸送單元的輸送車帶動所述拾取單元沿著所述導軌行駛進出所述存儲設備以輸送存取 的所述物料。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種自動化物料輸送系統(tǒng)及其方法，屬于物料輸送領域。該系統(tǒng)包括存儲設備，包括至少兩個存儲單元，每個所述存儲單元中分層存儲有物料；導軌，與所述物料的生產(chǎn)區(qū)域的主導軌一體，并設置在所述存儲設備中每相鄰兩個所述存儲單元之間；物料輸送單元，用于在所述存儲設備中進出和存取所述物料，并沿著所述導軌行駛以輸送存取的所述物料；位置傳感器，用于確定所述物料輸送單元在所述導軌上的第一位置；傳動單元，用于將存取的所述物料在存放位置與第二位置之間推送傳遞，所述第二位置與所述第一位置在豎直方向上對應。本發(fā)明簡化了系統(tǒng)復雜度，提高了可靠性，降低了物料的生產(chǎn)成本。
文檔編號B65G1/137GK102874534SQ20121037978
公開日2013年1月16日 申請日期2012年10月8日 優(yōu)先權日2012年10月8日
發(fā)明者李佳青 申請人:上海集成電路研發(fā)中心有限公司