專利名稱：壓電馬達(dá)、驅(qū)動(dòng)裝置、電子部件搬送裝置、電子部件檢查裝置、印刷裝置、機(jī)器人手以及機(jī)器人的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及壓電馬達(dá)、驅(qū)動(dòng)裝置、電子部件搬送裝置、電子部件檢查裝置、印刷裝置、機(jī)器人手以及機(jī)器人。
背景技術(shù)：
公知有使由壓電材料形成的振動(dòng)體振動(dòng)來驅(qū)動(dòng)對(duì)象物的壓電馬達(dá)。該壓電馬達(dá)具有的特征是，與利用電磁力來使轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的方式的電磁馬達(dá)相比是小型的并且能夠得到大的驅(qū)動(dòng)力，而且能夠以高分辨本領(lǐng)定位對(duì)象物。因此，作為例如照相機(jī)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)等各種裝置的促動(dòng)器使用。壓電馬達(dá)以如下的原理進(jìn)行動(dòng)作。首先，將振動(dòng)體(壓電材料)形成為近似長(zhǎng)方體形狀，并在長(zhǎng)邊方向的端面預(yù)先設(shè)置凸部。然后，對(duì)振動(dòng)體施加規(guī)定頻率的電壓，從而同時(shí)產(chǎn)生振動(dòng)體伸縮的方式的振動(dòng)和振動(dòng)體彎曲的方式的振動(dòng)。這樣，振動(dòng)體的端面開始進(jìn)行朝一個(gè)方向旋轉(zhuǎn)的橢圓運(yùn)動(dòng)。因此，若將設(shè)置于端面的凸部朝對(duì)象物按壓，則利用在凸部與對(duì)象物之間作用的摩擦力，能夠使對(duì)象物朝恒定方向移動(dòng)。根據(jù)這樣的動(dòng)作原理，需要在將設(shè)置于振動(dòng)體的端面的凸部按壓到對(duì)象物的狀態(tài)下使用壓電馬達(dá)。此外，在驅(qū)動(dòng)對(duì)象物時(shí)，為了使振動(dòng)體不因凸部從對(duì)象物受到的反作用力而脫離，需要預(yù)先保持振動(dòng)體。并且，必須以使凸部進(jìn)行橢圓運(yùn)動(dòng)的方式允許振動(dòng)體的振動(dòng)。因此，提出了如下的技術(shù)，即、在使凸部突出的狀態(tài)下將振動(dòng)體收存于收納殼體，在該收納殼體內(nèi)，從彎曲方向經(jīng)由彈性部件而保持振動(dòng)體的兩側(cè)，并且將收納殼體連同振動(dòng)體朝向?qū)ο笪锒┝?專利文獻(xiàn)I)。專利文獻(xiàn)1:日本特開平11-346486號(hào)公報(bào)然而，在所提出的技術(shù)中存在下述問題:難以將振動(dòng)體所產(chǎn)生的機(jī)械能高效地用于對(duì)象物的驅(qū)動(dòng)。這是因?yàn)閺膹澢较蛑С姓駝?dòng)體的兩側(cè)，故振動(dòng)體的振動(dòng)容易經(jīng)由收納殼體而向外部傳遞，而傳到外部的振動(dòng)無法用于驅(qū)動(dòng)對(duì)象物。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決現(xiàn)有技術(shù)所具有的上述課題的至少一部分而完成的，其目的在于提供一種能夠高效地驅(qū)動(dòng)對(duì)象物的壓電馬達(dá)。為了解決上述課題的至少一部分，本發(fā)明的壓電馬達(dá)采用如下的結(jié)構(gòu)。該壓電馬達(dá)通過對(duì)含有壓電材料的振動(dòng)體施加電壓而使該振動(dòng)體產(chǎn)生彎曲振動(dòng),并且在上述振動(dòng)體的端部設(shè)置的凸部與對(duì)象物接觸，從而使上述對(duì)象物移動(dòng)，該壓電馬達(dá)具備:電極，該電極形成于上述振動(dòng)體的、朝向與設(shè)置有上述凸部的端部因上述振動(dòng)體的彎曲振動(dòng)而進(jìn)行移動(dòng)的彎曲方向交叉的方向的兩個(gè)面，并被施加上述電壓；電線，該電線被非導(dǎo)電性材料覆蓋并對(duì)上述電極施加電壓；接合部,該接合部將上述電極與上述電線電氣接合；收納殼體,該收納殼體收納上述振動(dòng)體；以及支承部，該支承部被設(shè)置在上述振動(dòng)體與上述收納殼體之間，并且從與上述振動(dòng)體的彎曲方向交叉的方向夾持上述振動(dòng)體的設(shè)置有上述電極的兩個(gè)面，其中，上述接合部設(shè)置于在上述振動(dòng)體的上述電極與上述收納殼體之間所產(chǎn)生的、上述支承部的厚度量的間隙，上述接合部的從上述電極起算的高度以及上述電線的外徑比上述支承部的厚度小。在這樣的本發(fā)明的壓電馬達(dá)中，若在形成于振動(dòng)體的兩個(gè)面的電極接合電線并施加電壓，則振動(dòng)體進(jìn)行彎曲振動(dòng)，所以通過使設(shè)置于振動(dòng)體的端部的凸部與對(duì)象物接觸，從而能夠驅(qū)動(dòng)對(duì)象物。而且，該振動(dòng)體以被支承部從與振動(dòng)體的彎曲方向交叉的方向夾持振動(dòng)體的兩側(cè)(設(shè)置有電極的兩個(gè)面)的狀態(tài)收納于收納殼體。此外，將電極與電線接合的接合部設(shè)置于在振動(dòng)體的電極與收納殼體之間所產(chǎn)生的、支承部的厚度量的間隙，接合部的從電極起算的高度以及電線的外徑比支承部的厚度小。若這樣利用支承部從與彎曲方向交叉的方向夾持振動(dòng)體的兩側(cè)而不是從振動(dòng)體的彎曲方向夾持振動(dòng)體的兩側(cè)，則在振動(dòng)體進(jìn)行彎曲振動(dòng)時(shí)，支承部沿剪切方向變形，所以與從彎曲方向進(jìn)行夾持的情況相比，能夠抑制振動(dòng)體的振動(dòng)向收納殼體傳遞。此外，能夠以如下方式支承振動(dòng)體，即，利用支承部沿剪切方向變形時(shí)的剛性承接在驅(qū)動(dòng)對(duì)象物時(shí)振動(dòng)體的凸部所受的反作用力，振動(dòng)體不會(huì)因反作用力而脫離。其結(jié)果是，能夠高效地驅(qū)動(dòng)對(duì)象物。而且，利用支承部夾持與振動(dòng)體的設(shè)置有電極的面相同的面，由此制約對(duì)電極的布線，在本發(fā)明的壓電馬達(dá)中，利用在振動(dòng)體的電極與收納殼體之間所產(chǎn)生的、支承部的厚度量的間隙，能夠?qū)﹄姌O進(jìn)行布線。即，使接合部的從電極起算的高度及電線的外徑比支承部的厚度小，將對(duì)電極的布線(接合部、電線)收存于振動(dòng)體的電極與收納殼體之間的間隙，由此在利用支承部從與振動(dòng)體的彎曲方向交叉的方向夾持振動(dòng)體的兩側(cè)(設(shè)置有電極的兩個(gè)面)的方式中，能夠確保對(duì)電極的布線。 在上述本發(fā)明的壓電馬達(dá)中，可以在彎曲振動(dòng)的振幅比振動(dòng)體的設(shè)置有凸部的端部、多個(gè)腹部小的多個(gè)節(jié)部的一部分的節(jié)部，使支承部夾持振動(dòng)體，而在支承部不夾持的節(jié)部，使接合部與電極接合。若這樣利用支承部夾持振動(dòng)體的節(jié)部，則與夾持不同于節(jié)部的部分(設(shè)置有凸部的端部、腹部)的情況相比，能夠使振動(dòng)體的彎曲振動(dòng)的振幅(凸部的移動(dòng)量)增大，而不會(huì)增大振動(dòng)體彎曲振動(dòng)時(shí)支承部沿剪切方向變形的變形量，所以在驅(qū)動(dòng)對(duì)象物方面是有利的。此外，若在不被支承部夾持的節(jié)部對(duì)電極進(jìn)行布線(利用接合部接合電線)，則能夠抑制布線妨礙振動(dòng)體的彎曲振動(dòng)。并且，能夠抑制由于振動(dòng)體的彎曲振動(dòng)的影響而使布線脫離電極的情況，所以能夠很好地確保穩(wěn)定地對(duì)振動(dòng)體施加電壓的布線。此外，在上述本發(fā)明的壓電馬達(dá)中，可以利用非導(dǎo)線材料覆蓋與電極相對(duì)的收納殼體的內(nèi)表面。這樣，即使在收納殼體產(chǎn)生歪斜等而使收納殼體的內(nèi)表面與電極、接合部發(fā)生了接觸的情況下，也能夠穩(wěn)定地對(duì)振動(dòng)體施加電壓而不會(huì)漏電。此外，在上述本發(fā)明的壓電馬達(dá)中，在電極具有4個(gè)區(qū)域的情況下，將由連結(jié)部連接的第一區(qū)域和第二區(qū)域以含有連結(jié)部的方式一體形成，利用與連結(jié)部交叉的電線連接相對(duì)于連結(jié)部而配置于相互不同側(cè)的第三區(qū)域和第四區(qū)域。在利用電線連接(由電線構(gòu)成連結(jié)部)第一區(qū)域和第二區(qū)域的情況下，需要與連接第三領(lǐng)域和第四區(qū)域的電線立體交叉。與此相對(duì)，若將連接第一區(qū)域和第二區(qū)域的連結(jié)部與電極一體形成，則不需要使2根電線立體交叉，所以能夠容易地將對(duì)電極的布線收存于在振動(dòng)體的電極與收納殼體間所產(chǎn)生的、支承部的厚度量的間隙。因此，在利用支承部從與振動(dòng)體的彎曲方向交叉的方向夾持振動(dòng)體的兩側(cè)(設(shè)置有電極的兩個(gè)面)的方式中，能夠很好地確保對(duì)電極的布線。此外，也可以使用上述本發(fā)明的壓電馬達(dá)構(gòu)成驅(qū)動(dòng)裝置、印刷裝置、機(jī)器人手、機(jī)器人等。本發(fā)明的壓電馬達(dá)是小型的且能夠?qū)崿F(xiàn)高驅(qū)動(dòng)精度。因此，若使用本發(fā)明的壓電馬達(dá)構(gòu)成驅(qū)動(dòng)裝置、印刷裝置、機(jī)器人手、機(jī)器人等，則能夠得到小型且高性能的驅(qū)動(dòng)裝置、印刷裝置、機(jī)器人手、機(jī)器人等。此外，可以使用本發(fā)明的壓電馬達(dá)構(gòu)成以下的電子部件檢查裝置。即，在將把持的電子部件裝配于檢查插座來檢查上述電子部件的電特性的電子部件檢查裝置中，可以使用上述本發(fā)明的任意一個(gè)的壓電馬達(dá)來進(jìn)行電子部件相對(duì)于檢查插座的對(duì)位。如上所述，本發(fā)明的壓電馬達(dá)是小型的且能夠?qū)崿F(xiàn)高驅(qū)動(dòng)精度，所以能夠?qū)﹄娮硬考M(jìn)行高精度地對(duì)位，而且能夠?qū)崿F(xiàn)小型的電子部件檢查裝置。或者，能夠以如下的方式應(yīng)用本發(fā)明的電子部件檢查裝置。即，電子部件檢查裝置的特征在于，將所把持的電子部件裝配于檢查插座來檢查上述電子部件的電特性，并且上述電子部件檢查裝置具備進(jìn)行上述電子部件相對(duì)于上述檢查插座的對(duì)位的壓電馬達(dá)，上述壓電馬達(dá)具備:振動(dòng)體，該振動(dòng)體含有壓電材料而形成，并且在被施加電壓時(shí)進(jìn)行彎曲振動(dòng)；凸部，該凸部設(shè)置于上述振動(dòng)體的端部；電極，該電極形成于上述振動(dòng)體的朝向與設(shè)置有上述凸部的端部因上述振動(dòng)體的彎曲振動(dòng)而移動(dòng)的彎曲方向交叉的方向的兩個(gè)面，并被施加上述電壓；電線，該電線被非導(dǎo)電性材料覆蓋并對(duì)上述電極施加電壓；接合部，該將上述電極與上述電線電氣接合；收納殼體，該收納殼體收納上述振動(dòng)體；以及支承部，該支承部被設(shè)置在上述振動(dòng)體與上述收納殼體之間，并從與上述振動(dòng)體的彎曲方向交叉的方向夾持上述振動(dòng)體的設(shè)置有上述電極的兩個(gè)面，其中，上述接合部設(shè)置于在上述振動(dòng)體的上述電極與上述收納殼體之間所產(chǎn)生的、上述支承部的厚度量的間隙，上述接合部的從上述電極起算的高度以及上述電線的外徑比上述支承部的厚度小。而且，上述本發(fā)明的電子部件檢查裝置能夠以如下的方式進(jìn)行應(yīng)用，即，該電子部件檢查裝置的特征在于具備:檢查插座，該檢查插座供電子部件裝配，用于檢查上述電子部件的電特性；把持裝置，該把持裝置把持上述電子部件；移動(dòng)裝置，該移動(dòng)裝置使上述把持裝置在相互正交的第一軸和第二軸、以及與上述第一軸和上述第二軸正交的第三軸合計(jì)三個(gè)軸向上移動(dòng)；拍攝裝置，該拍攝裝置從上述檢查插座觀察設(shè)置于上述第一軸上或者上述第二軸上，針對(duì)裝配于上述檢查插座的上述電子部件，作為上述電子部件的姿勢(shì)而檢測(cè)上述第一軸和上述第二軸的方向上的位置以及繞上述第三軸的角度；上游側(cè)工作臺(tái)，該上游側(cè)工作臺(tái)將上述電子部件從上述檢查插座搬送到連結(jié)上述拍攝裝置的上述第一軸或者上述第二軸上的規(guī)定位置；下游側(cè)工作臺(tái)，該下游側(cè)工作臺(tái)從經(jīng)由上述檢查插座觀察時(shí)與設(shè)置有上述拍攝裝置的一側(cè)相反的一側(cè)的規(guī)定位置開始搬送上述電子部件；以及控制裝置，該控制裝置控制上述移動(dòng)裝置的動(dòng)作，其中上述控制裝置具備:第一控制部，該第一控制部將把持有上述上游側(cè)工作臺(tái)搬送來的上述電子部件的上述把持裝置移動(dòng)到上述拍攝裝置上；第二控制部，該第二控制部通過使上述把持裝置移動(dòng)而將已被上述拍攝裝置確認(rèn)姿勢(shì)的上述電子部件裝配于上述檢查插座；以及第三控制部，該第三控制部通過使上述把持裝置移動(dòng)，將經(jīng)上述檢查插座被檢查出上述電特性的上述電子部件，從上述檢查插座載置于上述下游側(cè)工作臺(tái)，上述把持裝置具有根據(jù)由上述拍攝裝置檢測(cè)出的上述電子部件的姿勢(shì)，使上述電子部件在上述第一軸向上移動(dòng)的第一壓電馬達(dá)、使上述電子部件在上述第二軸向上移動(dòng)的第二壓電馬達(dá)、以及使上述電子部件繞上述第三軸旋轉(zhuǎn)的第三壓電馬達(dá)，上述第一壓電馬達(dá)至第三壓電馬達(dá)是權(quán)利要求廣4中的任意一項(xiàng)所述的壓電馬達(dá)。這樣的結(jié)構(gòu)的電子部件檢查裝置能夠在使用設(shè)置于把持裝置的第一 第三壓電馬達(dá)調(diào)整電子部件的姿勢(shì)之后，將電子部件安裝于檢查插座。這里，本發(fā)明的壓電馬達(dá)是小型的且能夠高精度地驅(qū)動(dòng)對(duì)象物，所以作為設(shè)置于把持裝置的第一 第三壓電馬達(dá)特別出色。而且，也可以使用本發(fā)明的壓電馬達(dá)構(gòu)成以下的電子部件搬送裝置。即，在對(duì)所把持的電子部件進(jìn)行輸送的電子部件搬送裝置中，可以使用上述本發(fā)明的任意一個(gè)的壓電馬達(dá)進(jìn)行電子部件的對(duì)位。如上所述，本發(fā)明的壓電馬達(dá)是小型的且能夠?qū)崿F(xiàn)高驅(qū)動(dòng)精度，所以能夠?qū)﹄娮硬考呔鹊剡M(jìn)行對(duì)位，而且能夠?qū)崿F(xiàn)小型的電子部件搬送裝置?；蛘?，本發(fā)明的電子部件搬送裝置能夠以如下的方式進(jìn)行應(yīng)用，S卩，該電子部件搬送裝置的特征在于，上述電子部件搬送裝置搬送所把持的電子部件，并具備進(jìn)行上述電子部件的對(duì)位的壓電馬達(dá)，上述壓電馬達(dá)具備:振動(dòng)體，該振動(dòng)體含有壓電材料而形成并在被施加電壓時(shí)進(jìn)行彎曲振動(dòng)；凸部，該凸部設(shè)置于上述振動(dòng)體的端部；電極，該電極形成于上述振動(dòng)體的、朝向與設(shè)置有上述凸部的端部因上述振動(dòng)體的彎曲振動(dòng)而移動(dòng)的彎曲方向交叉的方向的兩個(gè)面，并被施加上述電壓；電線，該電線被非導(dǎo)電性材料覆蓋并對(duì)上述電極施加電壓；接合部，該接合部將上述電極與上述電線電接合；收納殼體，該收納殼體收納上述振動(dòng)體；以及支承部，該支承部設(shè)置在上述振動(dòng)體與上述收納殼體之間，并且從與上述振動(dòng)體的彎曲方向交叉的方向夾持上述振動(dòng)體的設(shè)置有上述電極的兩個(gè)面，上述接合部設(shè)置于在上述振動(dòng)體的上述電極與上述收納殼體之間所產(chǎn)生的、上述支承部的厚度量的間隙，上述接合部的從上述電極起算的高度以及上述電線的外徑比上述支承部的厚度小。而且，上述本發(fā)明的電子部件搬送裝置能夠以如下的方式進(jìn)行應(yīng)用，即，該電子部件搬送裝置的特征在于，具備:把持裝置，該把持裝置把持電子部件；移動(dòng)裝置，該移動(dòng)裝置使上述把持裝置在相互正交的第一軸和第二軸、以及與上述第一軸和上述第二軸正交的第三軸合計(jì)三個(gè)軸向上移動(dòng)；控制裝置，該控制裝置控制上述移動(dòng)裝置的動(dòng)作，上述把持裝置具有:使上述電子部件在上述第一軸向上移動(dòng)的第一壓電馬達(dá)、使上述電子部件在上述第二軸向上移動(dòng)的第二壓電馬達(dá)以及使上述電子部件繞上述第三軸旋轉(zhuǎn)的第三壓電馬達(dá)，上述第一壓電馬達(dá)至第三壓電馬達(dá)是權(quán)利要求廣4中的任意一項(xiàng)所述的壓電馬達(dá)。
圖1是表示本實(shí)施例的壓電馬達(dá)的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)的說明圖。圖2是表示本實(shí)施例的主體部的構(gòu)造的分解組裝圖。圖3是表不用于對(duì)設(shè)置有表面電極以及背面電極的本實(shí)施例的振動(dòng)體施加電壓的布線的說明圖。圖4是表示壓電馬達(dá)的動(dòng)作原理的說明圖。圖5是截取主體部在X-Z平面的剖面來表示在本實(shí)施例的振動(dòng)體的表面電極以及背面電極進(jìn)行布線的樣子的說明圖。圖6是表示振動(dòng)體的節(jié)部的說明圖。圖7是表示對(duì)設(shè)置于變形例的振動(dòng)體的表面電極以及表面電極布線的說明圖。圖8是例示組裝本實(shí)施例的壓電馬達(dá)而構(gòu)成的電子部件檢查裝置的立體圖。圖9是內(nèi)置于把持裝置的微調(diào)機(jī)構(gòu)的說明圖。圖10是例示組裝有本實(shí)施例的壓電馬達(dá)的印刷裝置的立體圖。圖11是例示組裝有本實(shí)施例的壓電馬達(dá)的機(jī)器人手的說明圖。圖12是例示具備機(jī)器人手的機(jī)器人的說明圖。圖13是表示在與實(shí)施例不同的方式中利用支承部件夾持振動(dòng)體的節(jié)部的例子的說明圖。
具體實(shí)施例方式以下，為了闡明上述本申請(qǐng)發(fā)明的內(nèi)容，按照如下的順序?qū)?shí)施例進(jìn)行說明。A.裝置構(gòu)成B.壓電馬達(dá)的動(dòng)作原理C.對(duì)表面電極以及背面電極的布線的確保D.變形例E.應(yīng)用例A.裝置構(gòu)成圖1是表示本實(shí)施例的壓電馬達(dá)10的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)的說明圖。圖1 (a)表示本實(shí)施例的壓電馬達(dá)10的整體圖，圖1 (b)表示分解組裝圖。如圖1 (a)所示,本實(shí)施例的壓電馬達(dá)10大體上包括主體部100和基臺(tái)部200。主體部100被安裝于基臺(tái)部200內(nèi)，能夠在該狀態(tài)下朝一個(gè)方向移動(dòng)。另外，在本說明書中，將主體部100的移動(dòng)方向稱為X方向。此夕卜，如圖中所示，將與X方向正交的方向分別稱為Y方向、Z方向。主體部100以及基臺(tái)部200分別是將多個(gè)部件組合而構(gòu)成的。例如基臺(tái)部200是利用固定螺釘240將第一側(cè)壁塊210以及第二側(cè)壁塊220緊固在呈近似矩形形狀的基板230的上表面的兩側(cè)而構(gòu)成的(參照?qǐng)D1 (b))。在組裝壓電馬達(dá)10時(shí)，使用固定螺釘240，從主體部100的上方將第一側(cè)壁塊210以及第二側(cè)壁塊220安裝于基板230。此外,在第一側(cè)壁塊210形成有前方外殼212、中央外殼214、后方外殼216這樣3個(gè)凹部。而且，在將第一側(cè)壁塊210安裝于基板230時(shí)，以在前方外殼212收納有前方側(cè)壓彈簧212s、在后方外殼216收納有后方側(cè)壓彈簧216s的狀態(tài)進(jìn)行安裝。其結(jié)果是，主體部100成為被前方側(cè)壓彈簧212s以及后方側(cè)壓彈簧216s按壓到第二側(cè)壁塊220的狀態(tài)。此夕卜，在主體部100的側(cè)面的、面向第二側(cè)壁塊220的一側(cè)，安裝有前側(cè)滾子102r以及后側(cè)滾子106r。而且，在主體部100的側(cè)面設(shè)置有加壓彈簧222s。該加壓彈簧222s在前側(cè)滾子102r的后側(cè)的位置沿X方向按壓主體部100。此外，在主體部100的與設(shè)置有前側(cè)滾子102r以及后側(cè)滾子106r側(cè)相反的一側(cè)的側(cè)面，朝向Z方向(附圖上的上方)設(shè)置有按壓滾子104r。在安裝好第一側(cè)壁塊210的狀態(tài)下，該按壓滾子104r被收納于第一側(cè)壁塊210的中央外殼214。此外，在主體部100的設(shè)置有按壓滾子104r的部分的里面?zhèn)扰c基板230之間設(shè)置有按壓彈簧232s。因此，按壓滾子104r成為相對(duì)于中央外殼214的內(nèi)表面而被朝Z方向(附圖上的上方)按壓的狀態(tài)。圖2是表示本實(shí)施例的主體部100的構(gòu)造的分解組裝圖。主體部100大體上形成為在振動(dòng)體殼體120內(nèi)收納有振動(dòng)部110的構(gòu)造。振動(dòng)部110構(gòu)成為包括:由壓電材料形成為長(zhǎng)方體形狀的振動(dòng)體112、安裝于振動(dòng)體112的長(zhǎng)邊方向(X方向)的端面的陶瓷制的驅(qū)動(dòng)凸部114以及將振動(dòng)體112的朝向Z方向一方的面分成4份而設(shè)置的4塊表面電極116等。此外，雖然在圖2中沒有不出，但在與設(shè)置有4塊表面電極116側(cè)相反側(cè)的面,設(shè)置有幾乎覆蓋整個(gè)面的背面電極，該背面電極接地。如后所述，振動(dòng)體112具有通過被施加電壓而振動(dòng)的性質(zhì)。另外，本實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)凸部114相當(dāng)于本發(fā)明的“凸部”，本實(shí)施例的表面電極116以及背面電極相當(dāng)于本發(fā)明的“電極”。振動(dòng)體112以被樹脂制的支承部件130從設(shè)置有表面電極116以及背面電極的兩個(gè)面(圖2中朝向Z方向的兩個(gè)面)夾住的狀態(tài)被收納于振動(dòng)體殼體120。而且，從表面電極116側(cè)的支承部件130的上面層疊蓋板140、碟形彈簧142、按壓板144，利用固定螺釘146將按壓板144緊固于振動(dòng)體殼體120。因此，振動(dòng)部110構(gòu)成為:經(jīng)由蓋板140及支承部件130而被碟形彈簧142的彈簧力按壓，并且由于樹脂制的支承部件130剪切變形，而使振動(dòng)體112以能夠在振動(dòng)體殼體120內(nèi)振動(dòng)的狀態(tài)被收納。另外，本實(shí)施例的振動(dòng)體殼體120以及蓋板140相當(dāng)于本發(fā)明的“收納殼體”，本實(shí)施例的支承部件130相當(dāng)于本發(fā)明的“支承部”。圖3是表不用于對(duì)設(shè)置有表面電極116以及背面電極的振動(dòng)體112施加電壓的配線的說明圖。如圖所示，在振動(dòng)體112的朝向Z方向的兩個(gè)面(支承部件130接觸的兩個(gè)面)的一方的面設(shè)置有4塊表面電極116，將相互位于對(duì)角線的位置的2個(gè)表面電極116作為一組(表面電極116a以及表面電極116d的組、表面電極116b以及表面電極116c的組)，各組的表面電極116彼此通過電極間電線300a、300b連接。在上下方向(Z方向)立體交叉的電極間電線300a、300b被絕緣材料覆蓋，通過焊錫302而與表面電極116接合。此外，在表面電極116的各組中,遠(yuǎn)離驅(qū)動(dòng)凸部114側(cè)的表面電極116 (表面電極116c和表面電極116d)通過外部電線304a、304b而與未圖示的外部電源連接。該外部電線304a、304b與電極間電線300a、300b相同，采用被絕緣材料覆蓋的電線，并通過焊錫302與表面電極116接
八
口 ο此外，如上所述，在振動(dòng)體112的與設(shè)置有4塊表面電極116側(cè)相反的一側(cè)的面上設(shè)置有幾乎覆蓋整個(gè)面的背面電極，該背面電極通過焊錫302接合有用于接地的接地電線306。另外，本實(shí)施例的電極間電線300、外部電線304以及接地電線306相當(dāng)于本發(fā)明的“電線”，本實(shí)施例的焊錫302相當(dāng)于本發(fā)明的“接合部”。B.壓電馬達(dá)的動(dòng)作原理圖4是表示壓電馬達(dá)10的動(dòng)作原理的說明圖。在對(duì)振動(dòng)部110的表面電極116以恒定周期施加電壓時(shí)，壓電馬達(dá)10由于振動(dòng)部110的驅(qū)動(dòng)凸部114進(jìn)行橢圓運(yùn)動(dòng)而動(dòng)作。振動(dòng)部110的驅(qū)動(dòng)凸部114進(jìn)行橢圓運(yùn)動(dòng)的理由如下。首先，眾所周知，振動(dòng)體112具有若被施加正電壓則伸長(zhǎng)的性質(zhì)。
因此，如圖4 (a)所示，若反復(fù)進(jìn)行對(duì)4個(gè)表面電極116的全部施加正電壓后解除施加電壓的動(dòng)作，則振動(dòng)體112反復(fù)進(jìn)行在長(zhǎng)邊方向(X方向)伸縮的動(dòng)作。這樣，將振動(dòng)體112在長(zhǎng)邊方向(X方向)反復(fù)伸縮的動(dòng)作稱為“伸縮振動(dòng)”。此外，若使施加正電壓的頻率變化，則在成為某個(gè)確定的頻率時(shí)伸縮量突然變大，產(chǎn)生一種共振現(xiàn)象。由于伸縮振動(dòng)而產(chǎn)生共振的頻率(共振頻率)由振動(dòng)體112的物性和振動(dòng)體112的尺寸(寬度W、長(zhǎng)度L、厚度T)決定。此外，如圖4 (b)或者圖4 (C)所示，將相互位于對(duì)角線位置的2個(gè)表面電極116作為一組(表面電極116a以及表面電極116d的組、或者表面電極116b以及表面電極116c的組)，以恒定周期施加正電壓。這樣，振動(dòng)體112的長(zhǎng)邊方向(X方向)的頭端部(安裝有驅(qū)動(dòng)凸部114的部分)反復(fù)做出在圖上的左右方向(Y方向)擺頭的動(dòng)作。例如，如圖4 (b)所示，每當(dāng)對(duì)表面電極116a以及表面電極116d的組施加正電壓時(shí)，振動(dòng)體112反復(fù)進(jìn)行長(zhǎng)邊方向的頭端部朝右方向移動(dòng)的動(dòng)作。此外，如圖4 (c)所示，每當(dāng)對(duì)表面電極116b以及表面電極116c的組施加正電壓時(shí)，振動(dòng)體112反復(fù)進(jìn)行長(zhǎng)邊方向的頭端部朝左方向移動(dòng)的動(dòng)作。將這樣的振動(dòng)體112的動(dòng)作稱為“彎曲振動(dòng)”。這樣的彎曲振動(dòng)具有由振動(dòng)體112的物性和振動(dòng)體112的尺寸(寬度W、長(zhǎng)度L、厚度T)決定的共振頻率。因此，如果對(duì)相互位于對(duì)角線位置的2個(gè)表面電極116以該共振頻率施加正電壓，則振動(dòng)體112朝右方向或者左方向(Y方向)大幅度擺頭地振動(dòng)。這里，圖4 (a)所示的伸縮振動(dòng)的共振頻率、以及圖4 (b)或者圖4 (C)所示的彎曲振動(dòng)的共振頻率都由振動(dòng)體112的物性和振動(dòng)體112的尺寸(寬度W、長(zhǎng)度L、厚度T)決定。因此，若適當(dāng)選擇振動(dòng)體112的尺寸(寬度W、長(zhǎng)度L、厚度T)，則能夠使2個(gè)共振頻率一致。而且，若以共振頻率對(duì)上述的振動(dòng)體112施加圖4 (b)或者圖4 (c)所示的彎曲振動(dòng)的方式的電壓，則在產(chǎn)生圖4 (b)或者圖4 (c)所示的彎曲振動(dòng)的同時(shí)，也會(huì)由于共振而引起圖4 (a)的伸縮振動(dòng)。其結(jié)果是，在以圖4 (b)所示的方式對(duì)表面電極116a以及表面電極116d的組施加電壓的情況下，振動(dòng)體112的頭端部(安裝有驅(qū)動(dòng)凸部114的部分)進(jìn)行在附圖上順時(shí)針描繪橢圓的動(dòng)作(橢圓運(yùn)動(dòng))。此外，在以圖4 (c)所不的方式對(duì)表面電極116b以及表面電極116c的組施加電壓的情況下，振動(dòng)體112的頭端部進(jìn)行在附圖上繞逆時(shí)針的橢圓運(yùn)動(dòng)。壓電馬達(dá)10利用這樣的橢圓運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)對(duì)象物。即，使振動(dòng)體112的驅(qū)動(dòng)凸部114以按壓到對(duì)象物的狀態(tài)產(chǎn)生橢圓運(yùn)動(dòng)。這樣，驅(qū)動(dòng)凸部114反復(fù)進(jìn)行以下動(dòng)作，S卩:在振動(dòng)體112伸長(zhǎng)時(shí)以按壓到對(duì)象物的狀態(tài)從左向右(或者從右向左)移動(dòng)，之后在振動(dòng)體112收縮時(shí)以從對(duì)象物離開的狀態(tài)恢復(fù)到原來的位置。其結(jié)果是，對(duì)象物由于從驅(qū)動(dòng)凸部114受到的摩擦力而朝一個(gè)方向被驅(qū)動(dòng)。此外，對(duì)象物受到的驅(qū)動(dòng)力等于在其與驅(qū)動(dòng)凸部114之間所產(chǎn)生的摩擦力，所以驅(qū)動(dòng)力的大小由驅(qū)動(dòng)凸部114與對(duì)象物之間的摩擦系數(shù)和驅(qū)動(dòng)凸部114被對(duì)象物按壓的力來決定。根據(jù)以上說明的壓電馬達(dá)10的動(dòng)作原理可知，需要在將驅(qū)動(dòng)凸部114按壓到對(duì)象物的狀態(tài)下使用壓電馬達(dá)10。因此，在本實(shí)施例的壓電馬達(dá)10中，具備驅(qū)動(dòng)凸部114的主體部100相對(duì)于基臺(tái)部200能夠移動(dòng)，利用設(shè)置在主體部100與基臺(tái)部200之間的加壓彈簧222s，將從主體部100突出的驅(qū)動(dòng)凸部114按壓于對(duì)象物(參照?qǐng)D1)。此外，若驅(qū)動(dòng)對(duì)象物，則驅(qū)動(dòng)凸部114從對(duì)象物受到反作用力。而且，該反作用力傳遞至主體部100。如上所述，主體部100必須相對(duì)于基臺(tái)部200能夠移動(dòng)，但如果主體部100由于在驅(qū)動(dòng)時(shí)受到的反作用力而朝正交于移動(dòng)方向的方向脫離，則無法向?qū)ο笪飩鬟f足夠的驅(qū)動(dòng)力。此外，若主體部100脫離，則驅(qū)動(dòng)凸部114的移動(dòng)量減少，所以對(duì)象物的驅(qū)動(dòng)量變少。而且，主體部100的脫離量通常不是穩(wěn)定的，所以導(dǎo)致對(duì)象物的驅(qū)動(dòng)量不穩(wěn)定。因此，如圖1所示，在本實(shí)施例的壓電馬達(dá)10中，從正交于主體部100的移動(dòng)方向的方向，利用前方側(cè)壓彈簧212s以及后方側(cè)壓彈簧216s將主體部100按壓于第二側(cè)壁塊220。而且，必須在以驅(qū)動(dòng)凸部114進(jìn)行橢圓運(yùn)動(dòng)的方式允許振動(dòng)體112的振動(dòng)(伸縮振動(dòng)以及彎曲振動(dòng))的狀態(tài)下，將振動(dòng)體112收納到振動(dòng)體殼體120內(nèi)。因此，如圖2所示，在本實(shí)施例的壓電馬達(dá)10中，在從與振動(dòng)體112的彎曲方向(Y方向:設(shè)置有驅(qū)動(dòng)凸部114的端部移動(dòng)的方向)交叉的方向(Z方向:振動(dòng)部110的設(shè)置有表面電極116以及背面電極的兩個(gè)面所朝向的方向)利用支承部件130進(jìn)行夾持的狀態(tài)下，將振動(dòng)體112收納于振動(dòng)體殼體120。在通過施加電壓來使振動(dòng)體112振動(dòng)時(shí)，支承部件130朝剪切方向變形而允許振動(dòng)體112的振動(dòng)，所以能夠產(chǎn)生上述的驅(qū)動(dòng)凸部114的橢圓運(yùn)動(dòng)。此外，利用支承部件130從與彎曲方向交叉的方向夾持振動(dòng)體112，由此與從振動(dòng)體112的彎曲方向夾持振動(dòng)體112的情況相比,能夠抑制彎曲振動(dòng)傳遞到振動(dòng)體殼體120所產(chǎn)生的能量的損失，能夠高效地驅(qū)動(dòng)對(duì)象物。這樣的支承部件130由聚酰亞胺等樹脂材料形成，支承部件130的厚度越大，則越容易朝剪切方向變形(剪切變形)，被允許的振動(dòng)體112的振幅(振動(dòng)的自由度)越大。這樣，驅(qū)動(dòng)凸部114的移動(dòng)量增加，對(duì)象物的驅(qū)動(dòng)量、驅(qū)動(dòng)速度提高，所以在驅(qū)動(dòng)對(duì)象物方面向有利的方向發(fā)揮作用。其中，支承部件130利用在朝剪切方向變形時(shí)的剛性來承接驅(qū)動(dòng)凸部114從對(duì)象物受到的反作用力，若支承部件130變厚則容易發(fā)生剪切變形，相反，承接來自對(duì)象物的反作用力的剛性降低，導(dǎo)致對(duì)象物的驅(qū)動(dòng)減少。這樣，需要將支承部件130預(yù)先設(shè)定為適當(dāng)?shù)暮穸?，以使得通過剪切變形而允許振動(dòng)體112的振動(dòng)，并且具備承接驅(qū)動(dòng)凸部114從對(duì)象物受到的反作用力的適當(dāng)?shù)膭傂?。在本?shí)施例的壓電馬達(dá)中，利用1.0mm厚的支承部件130從兩側(cè)夾持振動(dòng)體112 (寬度:7.5mm、長(zhǎng)度:30.0mm、厚度:3.0mm)。這里，如上所述，在被支承部件130夾持的振動(dòng)體112的兩個(gè)面(朝向與振動(dòng)體112的彎曲方向交叉的方向的兩個(gè)面)設(shè)置有表面電極116、背面電極，利用焊錫302將用于對(duì)振動(dòng)體112施加電壓的各種電線(電極間電線300a、300b、外部電線304a、304b、接地電線306)與上述電極接合。然而，這樣在利用支承部件130夾持振動(dòng)體112的與設(shè)置有表面電極116以及背面電極的面相同的面的情況下，對(duì)表面電極116以及背面電極的布線的確保被制約。因此，在本實(shí)施例的壓電馬達(dá)10中，以如下方式確保對(duì)振動(dòng)體112的表面電極116a以及背面電極的布線。C.對(duì)表面電極以及背面電極的布線的確保圖5截取主體部100在X-Z平面的剖面來表示在振動(dòng)體112的表面電極116以及背面電極115進(jìn)行布線的樣子的說明圖。如圖所示，在振動(dòng)體112的表面電極116與蓋板140之間產(chǎn)生支承部件130的厚度量的空間(間隙)。如上所述，考慮用于允許振動(dòng)體112的振動(dòng)的剪切變形的容易度和承接驅(qū)動(dòng)凸部114從對(duì)象物受到的反作用力的適當(dāng)?shù)膭傂裕瑏碓O(shè)定支承部件130的厚度，在本實(shí)施例的壓電馬達(dá)10中，使用1.0mm厚的支承部件130。然后，利用該支承部件130的厚度量的間隙，進(jìn)行對(duì)表面電極116的布線。S卩，如圖3所示，在設(shè)置于振動(dòng)體112的4塊表面電極116中，利用電極間電線300a、300b將相互位于對(duì)角線位置的2個(gè)表面電極116 (表面電極116a以及表面電極116d的組、表面電極116b以及表面電極116c的組)連接，上述電極間電線300a、300b在上下方向(Z方向)立體交叉，并通過焊錫302而與表面電極116接合。此外,在表面電極116 (表面電極116c以及表面電極116d)通過焊錫302接合有外部電線304a、304b。上述電極間電線300a、300b以及外部電線304a、304b采用的是外徑比支承部件130的厚度小的電線(例如，外徑為0.27mm)。此外，使各種電線與表面電極116接合的焊錫302的厚度(從表面電極116起算的高度)形成為比支承部件130的厚度小。因此，能夠?qū)?duì)表面電極116的布線(焊錫302、電極間電線300a、300b、外部電線304a、304b)收存于支承部件130的厚度量的間隙。此外，同樣，在振動(dòng)體殼體120的底面與振動(dòng)體112的背面電極115之間也產(chǎn)生支持部件130的厚度量的間隙。如上所述，在振動(dòng)體112的與設(shè)置有4塊表面電極116側(cè)相反的一側(cè)的面設(shè)置有幾乎覆蓋整個(gè)面的背面電極115，在背面電極115通過焊錫302接合有接地電線306。與外部電線304a、304b相同，該接地電線306也采用外徑比支承部件130的厚度小的電線。此外，使接地電線306與背面電極115接合的焊錫302的厚度(從背面電極115起算的高度)形成為比支承部件130的厚度小，所以能夠?qū)?duì)背面電極115的布線(焊錫302、接地電線306)收存于支承部件130的厚度量的間隙。如上所述，在本實(shí)施例的壓電馬達(dá)10中，將對(duì)表面電極116的布線(焊錫302、電極間電線300a、300b、外部電線304a、304b)以及對(duì)背面電極115的布線(焊錫302、接地電線306)收存于由支承部件130的厚度所產(chǎn)生的間隙，所以在利用支承部件130從與振動(dòng)體112的彎曲方向交叉的方向夾持振動(dòng)體112的兩側(cè)(設(shè)置有表面電極116以及背面電極115的兩個(gè)面)的方式中，能夠確保對(duì)表面電極116以及背面電極115的布線。此外，如圖5所示，在蓋板140的與表面電極116相對(duì)的內(nèi)表面、以及振動(dòng)體殼體120的與背面電極115相對(duì)的內(nèi)表面貼付有由絕緣材料形成的絕緣片132。因此，即使在蓋板140、振動(dòng)體殼體120暫時(shí)產(chǎn)生歪斜而使蓋板140的內(nèi)表面與表面電極116的焊錫302接觸，或振動(dòng)體殼體120的內(nèi)表面與背面電極115的焊錫302接觸，也不會(huì)發(fā)生漏電，能夠穩(wěn)定地對(duì)振動(dòng)體112施加電壓。并且，在本實(shí)施例的壓電馬達(dá)10中，利用支承部件130夾持振動(dòng)體112的比設(shè)置有驅(qū)動(dòng)凸部114的端部的彎曲振動(dòng)的振幅小的部分(節(jié)部)，在與被該支持部件130夾持的節(jié)部不同的節(jié)部對(duì)各電極(表面電極116以及背面電極115)進(jìn)行布線。由此，能夠確保更穩(wěn)定的布線。以下，對(duì)這一點(diǎn)進(jìn)行補(bǔ)充說明。圖6是表示振動(dòng)體112的節(jié)部的說明圖。如以上使用圖4所說明的那樣，在振動(dòng)體112中，將4個(gè)表面電極116的相互位于對(duì)角線位置的2個(gè)表面電極116作為一組(表面電極116a以及表面電極116d的組、表面電極116b以及表面電極116c的組),若以獲得周期施加正電壓，則振動(dòng)體112以驅(qū)動(dòng)凸部114在附圖上向左右方向(Y方向)擺頭的方式反復(fù)進(jìn)行彎曲振動(dòng)。在圖6中，用虛線表示沒有對(duì)振動(dòng)體112施加正電壓的狀態(tài)，用實(shí)線表示對(duì)振動(dòng)體112的表面電極116a以及表面電極116d的組施加正電壓而使驅(qū)動(dòng)凸部114朝右方向移動(dòng)的狀態(tài)。這樣彎曲振動(dòng)的振動(dòng)體112并非整體一樣地振動(dòng)(在Y方向移動(dòng)),而是如圖6所示，具有以與設(shè)置有驅(qū)動(dòng)凸部114的頭端部相同的振幅振動(dòng)的部分亦即腹部117 (117a、117b)、以及彎曲振動(dòng)的振幅比頭端部、腹部117小的部分亦即節(jié)部118。本實(shí)施例的振動(dòng)體112具有:位于振動(dòng)體112的長(zhǎng)邊方向(X方向)的中央的中央節(jié)部118b、位于靠近驅(qū)動(dòng)凸部114側(cè)的前節(jié)部118a以及位于遠(yuǎn)離驅(qū)動(dòng)凸部114側(cè)的后節(jié)部118c這樣3個(gè)節(jié)部118。上述3個(gè)節(jié)部118中的前節(jié)部118a以及后節(jié)部118c成為支承部件130夾持振動(dòng)體112的部分(參照?qǐng)D5)。若這樣利用支承部件130夾持振動(dòng)體112的節(jié)部118，則與夾持不同于節(jié)部118的部分(腹部117等)的情況相比，在振動(dòng)體112進(jìn)行彎曲振動(dòng)時(shí)不會(huì)增大支承部件130朝剪切方向變形的變形量，而能夠使振動(dòng)體112的彎曲振動(dòng)的振幅(驅(qū)動(dòng)凸部114的移動(dòng)量)增大，所以在驅(qū)動(dòng)對(duì)象物方面是有利的。此外，沒有被支承部件130夾持的中央節(jié)部118b面對(duì)上述支承部件130的厚度量的間隙(參照?qǐng)D5)。而且，在本實(shí)施例的壓電馬達(dá)10中，在該中央節(jié)部118b進(jìn)行對(duì)表面電極116的布線(電極間電線300a、300b以及外部電線304a、304b通過焊錫302的接合)、以及對(duì)背面電極115的布線(接地電線306通過焊錫302的接合)。若這樣在該節(jié)部118進(jìn)行對(duì)各電極的布線，則能夠抑制布線妨礙振動(dòng)體112彎曲振動(dòng)。此外，能夠抑制由于振動(dòng)體112的彎曲振動(dòng)的影響而使布線從電極脫離的情況，所以在確保穩(wěn)定地對(duì)振動(dòng)體112施加電壓的布線方面來看比較優(yōu)選。D.變形例以下，對(duì)上述本實(shí)施例的壓電馬達(dá)10的變形例進(jìn)行說明。另外，在對(duì)變形例進(jìn)行說明時(shí)，對(duì)與上述的實(shí)施例相同的構(gòu)成部分標(biāo)注與之前說明的實(shí)施例相同的符號(hào)并省略其詳細(xì)的說明。圖7是表不變形例的設(shè)置于振動(dòng)體112的表面電極116以及對(duì)表面電極116的布線的說明圖。首先，圖7 (a)表示利用焊錫302將電極間電線300、外部電線304與表面電極116接合之前的狀態(tài)。在變形例的振動(dòng)體112中，與上述實(shí)施例相同，表面電極116也由4個(gè)區(qū)域構(gòu)成。其中，表面電極116b以及表面電極116c由在形成表面電極116時(shí)一體形成的連結(jié)部116e預(yù)先連接。如圖7(b)所示，在這樣的變形例的振動(dòng)體112中，當(dāng)在表面電極116布線時(shí)，只要利用電極間電線300a將表面電極116a與表面電極116d連接即可，由于表面電極116b與表面電極116c由連結(jié)部116e預(yù)先連接，所以不需要像上述實(shí)施例那樣利用電極間電線300b(參照?qǐng)D3)進(jìn)行連接。因此，與上述實(shí)施例相比，能夠簡(jiǎn)化對(duì)表面電極116的布線操作。另夕卜，變形例的表面電極116b以及表面電極116c相當(dāng)于本發(fā)明的“第一區(qū)域”以及“第二區(qū)域”，變形例的116a以及表面電極116d相當(dāng)于本發(fā)明的“第三區(qū)域”以及“第四區(qū)域”。此外，在上述實(shí)施例的振動(dòng)體112中，2根電極間電線300a、300b在上下方向(Z方向)立體交叉(參照?qǐng)D5)，與此相對(duì)，在變形例的振動(dòng)體112中，代替電極間電線300b而在形成表面電極116時(shí)一體形成連結(jié)部116e，不需要使2根電極間電線300a、300b立體交叉，所以能夠容易地將表面電極的布線(焊錫302、電極間電線300a、外部電線304a、304b)收存于在振動(dòng)體112的表面電極116與蓋板140之間所產(chǎn)生的支承部件130的厚度量的間隙。因此，特別是在利用支承部件130從與振動(dòng)體112的彎曲方向交叉的方向夾持振動(dòng)體112的兩個(gè)面(設(shè)置有表面電極116以及背面電極115的兩個(gè)面)的方式下，可以很好地確保對(duì)表面電極116的布線。E.應(yīng)用例
上述的本實(shí)施例的壓電馬達(dá)10或者變形例的壓電馬達(dá)10是小型的且能夠高精度地驅(qū)動(dòng)對(duì)象物，因此能夠作為以下的裝置的驅(qū)動(dòng)裝置而適當(dāng)?shù)匕惭b。圖8是例示組裝本實(shí)施例的壓電馬達(dá)10而構(gòu)成的電子部件檢查裝置600的立體圖。圖示的電子部件檢查裝置600大體上具備基臺(tái)610和直立設(shè)置于基臺(tái)610的側(cè)面的支承臺(tái)630。在基臺(tái)610的上表面設(shè)置有對(duì)檢查對(duì)象的電子部件I進(jìn)行載置并輸送的上游側(cè)工作臺(tái)612u、和對(duì)檢查完畢的電子部件I進(jìn)行載置并輸送的下游側(cè)工作臺(tái)612d。此外，在上流側(cè)工作臺(tái)612u與下游側(cè)工作臺(tái)612d之間設(shè)置有用于確認(rèn)電子部件I的姿勢(shì)的拍攝裝置614、和為了檢查電特性而放置電子部件I的檢查臺(tái)616。另外，作為電子部件I的代表性的部件，可以舉出“半導(dǎo)體”、“CLD、OLED等顯示器件”、“水晶器件”、“各種傳感器”、“噴墨頭”、“各種MEMS器件”等。此外，本實(shí)施例的檢查臺(tái)616與本發(fā)明的“檢查插座”對(duì)應(yīng)。此外，在支承臺(tái)630上設(shè)置有能夠在與基臺(tái)610的上游側(cè)工作臺(tái)612u以及下游側(cè)工作臺(tái)612d平行的方向(Y方向)移動(dòng)的Y工作臺(tái)632，從Y工作臺(tái)632在朝向基臺(tái)610的方向(X方向)延伸配置有臂部634。此外，在臂部634的側(cè)面設(shè)置有能夠在X方向移動(dòng)的X工作臺(tái)636。而且，在X工作臺(tái)636設(shè)置有拍攝照相機(jī)638和內(nèi)置有能在上下方向(Z方向)移動(dòng)的Z工作臺(tái)的把持裝置650。此外，在把持裝置650的前端設(shè)置有把持電子部件I的把持部652。而且，在基臺(tái)610的前面?zhèn)仍O(shè)置有控制電子部件檢查裝置600的整體動(dòng)作的控制裝置618。另外，在本實(shí)施例中，設(shè)置于支承臺(tái)630的Y工作臺(tái)632、臂部634、X工作臺(tái)636、把持裝置650與本發(fā)明的“電子部件搬送裝置”對(duì)應(yīng)。此外，X工作臺(tái)636、Y工作臺(tái)632以及內(nèi)置于把持裝置650的Z工作臺(tái)與本發(fā)明的“移動(dòng)裝置”對(duì)應(yīng)。而且，本實(shí)施例的控制裝置618與本發(fā)明的“第一控制部”、“第二控制部”、“第三控制部”對(duì)應(yīng)。具有以上結(jié)構(gòu)的電子部件檢查裝置600以如下方式進(jìn)行電子部件I的檢查。首先，將檢查對(duì)象即電子部件I放置于上游側(cè)工作臺(tái)612u并移動(dòng)到檢查臺(tái)616附近。接下來，移動(dòng)Y工作臺(tái)632以及X工作臺(tái)636，使把持裝置650移動(dòng)到載置于上游側(cè)工作臺(tái)612u的電子部件I的正上方的位置。此時(shí)，能夠使用拍攝照相機(jī)638確認(rèn)電子部件I的位置。然后，若使用內(nèi)置于把持裝置650內(nèi)的Z工作`臺(tái)使把持裝置650下降來利用把持部652把持電子部件1，則使把持裝置650直接地移動(dòng)到拍攝裝置614上，從而使用拍攝裝置614確認(rèn)電子部件I的姿勢(shì)。接著，使用內(nèi)置于把持裝置650的微調(diào)機(jī)構(gòu)調(diào)整電子部件I的姿勢(shì)。然后，在使把持裝置650移動(dòng)到檢查臺(tái)616上之后，移動(dòng)內(nèi)置于把持裝置650的Z工作臺(tái)來將電子部件I放置到檢查臺(tái)616上。使用把持裝置650內(nèi)的微調(diào)機(jī)構(gòu)調(diào)整電子部件I的姿勢(shì)，所以能夠?qū)㈦娮硬考蘒放到檢查臺(tái)616的正確位置。然后，如果使用檢查臺(tái)616檢查完電子部件I的電特性，再次從檢查臺(tái)616提起電子部件I，之后移動(dòng)Y工作臺(tái)632以及X工作臺(tái)636，使把持裝置650移動(dòng)到下游側(cè)工作臺(tái)612d上，并將電子部件I放置于下游側(cè)工作臺(tái)612d。之后，移動(dòng)下游側(cè)工作臺(tái)612d，將檢查完的電子部件I輸送到規(guī)定位置。圖9是內(nèi)置于把持裝置650的微調(diào)機(jī)構(gòu)的說明圖。如圖所示，在把持裝置650內(nèi)設(shè)置有與把持部652連接的旋轉(zhuǎn)軸654、能夠旋轉(zhuǎn)地安裝有旋轉(zhuǎn)軸654的微調(diào)板656等。此夕卜，微調(diào)板656能夠被未圖的引導(dǎo)機(jī)構(gòu)引導(dǎo)而在X方向以及Y方向移動(dòng)。這里，如圖9中標(biāo)注斜線所示那樣，朝向旋轉(zhuǎn)軸654的端面搭載有旋轉(zhuǎn)方向用的壓電馬達(dá)10 Θ，壓電馬達(dá) ο Θ的驅(qū)動(dòng)凸部(圖示省略)被按壓于旋轉(zhuǎn)軸654的端面。因此，使壓電馬達(dá)100動(dòng)作，從而能夠使旋轉(zhuǎn)軸654 (以及把持部652)沿Θ方向高精度地僅旋轉(zhuǎn)任意的角度。此外，朝向微調(diào)板656設(shè)置有X方向用的壓電馬達(dá)IOx和Y方向用的壓電馬達(dá)10y，各自的驅(qū)動(dòng)凸部(圖示省略)被按壓于微調(diào)板656的表面。因此，使壓電馬達(dá)IOx動(dòng)作，從而能夠使微調(diào)板656 (以及把持部652)在X方向高精度地僅移動(dòng)任意的距離，同樣地，使壓電馬達(dá)IOy動(dòng)作，從而能夠使微調(diào)板656 (以及把持部652)在Y方向高精度地僅移動(dòng)任意的距離。因此，通過使壓電馬達(dá)10 Θ、壓電馬達(dá)10x、壓電馬達(dá)IOy動(dòng)作，圖8的電子部件檢查裝置600能夠?qū)τ砂殉植?52把持的電子部件I的姿勢(shì)進(jìn)行微調(diào)。另外，在本實(shí)施例中，壓電馬達(dá)10x、壓電馬達(dá)IOy分別與本發(fā)明的“第一壓電馬達(dá)”、“第二壓電馬達(dá)”對(duì)應(yīng)，壓電馬達(dá)10 Θ與本發(fā)明的“第三壓電馬達(dá)”對(duì)應(yīng)。此外，由旋轉(zhuǎn)軸654、微調(diào)板656、壓電馬達(dá)10 Θ、壓電馬達(dá)10x、壓電馬達(dá)IOy構(gòu)成的微調(diào)機(jī)構(gòu)與本發(fā)明的“驅(qū)動(dòng)裝置”對(duì)應(yīng)。圖10是例示組裝有本實(shí)施例的壓電馬達(dá)10的印刷裝置700的立體圖。圖示的印刷裝置700是在印刷介質(zhì)2的表面噴射墨水來印刷圖像的所謂的噴墨打印機(jī)。印刷裝置700形成為近似箱形的外觀形狀，在前表面的大致中央設(shè)置有排紙托盤701、排出口 702、多個(gè)操作按鈕705。此外，在背面?zhèn)仍O(shè)置有供給托盤703。若在供給托盤703放置印刷介質(zhì)2并對(duì)操作按鈕705進(jìn)行操作，則印刷介質(zhì)2從供給托盤703被吸入，在印刷裝置700的內(nèi)部將圖像印刷到印刷介質(zhì)2的表面之后，從排出口 702排出。在印刷裝置700的內(nèi)部設(shè)置有在印刷介質(zhì)2上沿主掃描方向往復(fù)移動(dòng)的滑架720、和對(duì)滑架720在主掃描方向的移動(dòng)進(jìn)行引導(dǎo)的導(dǎo)軌710。此外，圖示的滑架720構(gòu)成為包括:在印刷介質(zhì)2上噴射墨水的噴射頭722、用于在主掃描方向驅(qū)動(dòng)滑架720的驅(qū)動(dòng)部724等。在噴射頭722的底面?zhèn)?朝向印刷介質(zhì)2 —側(cè))設(shè)置有多個(gè)噴射噴嘴，能夠從噴射噴嘴向印刷介質(zhì)2噴射墨水。此外，在驅(qū)動(dòng)部724搭載有壓電馬達(dá)10m、10s。壓電馬達(dá)IOm的驅(qū)動(dòng)凸部(圖示省略)被按壓于導(dǎo)軌710。因此，通過使壓電馬達(dá)IOm動(dòng)作，從而能夠使滑架720在主掃描方向移動(dòng)。此外，壓電馬達(dá)IOs的驅(qū)動(dòng)凸部114被按壓于噴射頭722。因此，通過使壓電馬達(dá)IOs動(dòng)作，從而能夠使噴射頭722的底面?zhèn)冉咏∷⒔橘|(zhì)2或遠(yuǎn)離印刷介質(zhì)2。此外，在使用所謂的卷筒紙作為印刷介質(zhì)2的印刷裝置700中，需要將印刷有畫像的卷筒紙切斷的機(jī)構(gòu)。在這樣的情況下，若在滑架720上安裝刀具并使其在主掃描方向移動(dòng)，則能夠切斷卷筒紙。圖11是例示組裝有本實(shí)施例的壓電馬達(dá)10的機(jī)器人手800的說明圖。圖示的機(jī)器人手800從基臺(tái)802直立設(shè)置有多根指部803，經(jīng)由手腕804而與臂810連接。這里，指部803的指根的部分能夠在基臺(tái)802內(nèi)移動(dòng)，在該指部803的指根的部分以按壓驅(qū)動(dòng)凸部114的狀態(tài)搭載有壓電馬達(dá)IOf。因此，通過使壓電馬達(dá)IOf動(dòng)作，從而能夠使指部803移動(dòng)來把持對(duì)象物。此外，在手腕804的部分以將驅(qū)動(dòng)凸部114按壓于手腕804的端面的狀態(tài)搭載有壓電馬達(dá)10r。因此，通過使壓電馬達(dá)IOr動(dòng)作，從而能夠使基臺(tái)802整體旋轉(zhuǎn)。圖12是例示具備機(jī)器人手800的機(jī)器人850的說明圖。如圖所示，機(jī)器人850具備:多條臂810和將這些臂810之間以能夠彎曲的狀態(tài)連接的關(guān)節(jié)部820。此外，機(jī)器人手800與臂810的前端連接。而且，在關(guān)節(jié)部820中內(nèi)置有作為用于使關(guān)節(jié)部820彎曲的促動(dòng)器的壓電馬達(dá)10j。因此，使壓電馬達(dá)IOj動(dòng)作，由此能夠使每個(gè)關(guān)節(jié)部820僅彎曲任意的角度。以上，對(duì)本發(fā)明的壓電馬達(dá)、搭載有壓電馬達(dá)的各種裝置進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不限于上述的實(shí)施例、變形例、應(yīng)用例，能夠在不脫離其宗旨的范圍以各種方式實(shí)施。
例如，在上述實(shí)施例中，在振動(dòng)體112的3個(gè)節(jié)部118中的、前節(jié)部118a以及后節(jié)部118c利用支承部件130夾持振動(dòng)體112，在中央節(jié)部118b進(jìn)行對(duì)表面電極116的布線以及對(duì)背面電極115的布線(參照?qǐng)D5以及圖6)。然而，可以在3個(gè)節(jié)部118中的一部分的節(jié)部118利用支承部材130夾持振動(dòng)體112，而在不被支承部件130夾持的任意的節(jié)部118進(jìn)行對(duì)電極的配線，不限于上述實(shí)施例的方式。例如，如圖13所示，可以在中央節(jié)部118b利用支承部件130夾持振動(dòng)體112，而在前節(jié)部118a以及后節(jié)部118c進(jìn)行對(duì)表面電極116的布線(電極間電線300a、300b以及外部電線304a、304b通過焊錫302的接合)以及對(duì)背面電極115的布線(接地電線306通過焊錫302的接合)。在該情況下，也能與上述實(shí)施例相同，獲得使振動(dòng)體112的驅(qū)動(dòng)凸部114的移動(dòng)量增大而不增大支承部件130的變形量、抑制布線由于振動(dòng)體112的彎曲振動(dòng)的影響而脫離電極的效果。此外，也可以在前節(jié)部118a或者后節(jié)部118c的任一方夾持振動(dòng)體112，而在中央節(jié)部118b進(jìn)行對(duì)表面電極116的布線以及對(duì)背面電極115的布線。符號(hào)說明10…壓電馬達(dá)；100…主體部；110…振動(dòng)部；112…振動(dòng)體；114…驅(qū)動(dòng)凸部；115…背面電極；116…表面電極；120…振動(dòng)體殼體；130…支承部件；132…絕緣片；140…蓋板；142…碟形彈簧；144…按壓板；146…固定螺釘;200…基臺(tái)部;210…第一側(cè)壁塊；220…第二側(cè)壁塊；230…基板；240…固定螺釘;300…電極間電線;302…焊錫;304…外部電線；306…接地電線；600…電子部件檢查裝置；610…基臺(tái);612d…下游側(cè)工作臺(tái);612u…上游側(cè)工作臺(tái)；614…拍攝裝置；616…檢查臺(tái)；618…控制部；630…支承臺(tái)；634…臂部；638…拍攝照相機(jī)；650…把持裝置；652…把持部；654…旋轉(zhuǎn)軸；656…微調(diào)板；700…印刷裝置；701…排紙托盤;702…排出口 ;703…供給托盤;705…操作按鈕；710…導(dǎo)軌；720…滑架；722…噴射頭；724…驅(qū)動(dòng) 部;800…機(jī)器人手;802…基臺(tái);803…指部;804…手腕;810…臂;820…關(guān)節(jié)部;850…機(jī)器人。
權(quán)利要求
1.一種壓電馬達(dá)，其特征在于， 通過對(duì)含有壓電材料的振動(dòng)體施加電壓而使該振動(dòng)體產(chǎn)生彎曲振動(dòng)，并且使在所述振動(dòng)體的端部設(shè)置的凸部與對(duì)象物接觸，從而使所述對(duì)象物移動(dòng)， 該壓電馬達(dá)具備: 電極，該電極形成于所述振動(dòng)體的、朝向與設(shè)置有所述凸部的端部因所述振動(dòng)體的彎曲振動(dòng)而進(jìn)行移動(dòng)的彎曲方向交叉的方向的兩個(gè)面，并且被施加所述電壓； 電線，該電線被非導(dǎo)電性材料覆蓋并對(duì)所述電極施加電壓； 接合部，該接合部將所述電極與所述電線電接合； 收納殼體，該收納殼體收納所述振動(dòng)體；以及 支承部，該支承部設(shè)置在所述振動(dòng)體與所述收納殼體之間，并且從與所述振動(dòng)體的彎曲方向交叉的方向夾持所述振動(dòng)體的設(shè)置有所述電極的兩個(gè)面，其中， 所述接合部設(shè)置于在所述振動(dòng)體的所述電極與所述收納殼體之間所產(chǎn)生的、所述支承部的厚度量的間隙， 所述接合部的從所述電極起算的高度以及所述電線的外徑比所述支承部的厚度小。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電馬達(dá)，其特征在于， 所述振動(dòng)體具有:多個(gè)腹部，所述多個(gè)腹部的所述彎曲振動(dòng)的振幅與設(shè)置有所述凸部的端部的所述彎曲振動(dòng)的振幅相同；多個(gè)節(jié)部，所述多個(gè)節(jié)部的所述彎曲振動(dòng)的振幅比所述腹部的所述彎曲振動(dòng)的振幅小， 所述支承部通過 所述多個(gè)節(jié)部中的一部分節(jié)部與所述振動(dòng)體接觸， 所述接合部通過所述支承部不接觸的任意的所述節(jié)部與所述電極接合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電馬達(dá)，其特征在于， 所述收納殼體的與所述電極相對(duì)的內(nèi)表面被非導(dǎo)電性材料覆蓋。
4.權(quán)利要求廣3中的任意一項(xiàng)所述的壓電馬達(dá)，其特征在于， 所述電極具有: 第一區(qū)域和第二區(qū)域，所述第一區(qū)域和第二區(qū)域經(jīng)由連結(jié)部而相互連接并與所述連結(jié)部一體形成； 第三區(qū)域和第四區(qū)域，所述第三區(qū)域和第四區(qū)域與所述第一區(qū)域和所述第二區(qū)域電隔絕地形成，并且相對(duì)于所述連結(jié)部配置在相互不同的一側(cè)，其中 所述第三區(qū)域和所述第四區(qū)域通過與所述連結(jié)部交叉的所述電線而相互連接。
5.一種驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于， 具備權(quán)利要求廣4中的任意一項(xiàng)所述的壓電馬達(dá)。
6.一種印刷裝置，其特征在于， 具備權(quán)利要求廣4中的任意一項(xiàng)所述的壓電馬達(dá)。
7.一種機(jī)器人手，其特征在于， 具備權(quán)利要求廣4中的任意一項(xiàng)所述的壓電馬達(dá)。
8.—種機(jī)器人,其特征在于， 具備權(quán)利要求Γ4中的任意一項(xiàng)所述的壓電馬達(dá)、或者權(quán)利要求7所述的機(jī)器人手。
9.一種電子部件檢查裝置，其特征在于， 所述電子部件檢查裝置將所把持的電子部件裝配于檢查插座來檢查所述電子部件的電特性，并且 所述電子部件檢查裝置使用權(quán)利要求廣4中的任意一項(xiàng)所述的壓電馬達(dá)進(jìn)行所述電子部件相對(duì)于所述檢查插座的對(duì)位。
10.一種電子部件檢查裝置，其特征在于， 所述電子部件檢查裝置將所把持的電子部件裝配于檢查插座來檢查所述電子部件的電特性，并且 所述電子部件檢查裝置具備進(jìn)行所述電子部件相對(duì)于所述檢查插座的對(duì)位的壓電馬達(dá)，其中 所述壓電馬達(dá)具備: 振動(dòng)體，該振動(dòng)體含有壓電材料而形成，并且在被施加電壓時(shí)進(jìn)行彎曲振動(dòng)； 凸部，該凸部設(shè)置于所述振動(dòng)體的端部； 電極，該電極形成于所述振動(dòng)體的、朝向與設(shè)置有所述凸部的端部因所述振動(dòng)體的彎曲振動(dòng)而進(jìn)行移動(dòng)的彎曲方向交叉的方向的兩個(gè)面，并被施加所述電壓； 電線，該電線被非導(dǎo)電性材料覆蓋并對(duì)所述電極施加電壓； 接合部，該接合部將所述電極與所述電線電接合； 收納殼體，該收納殼體收納所述振動(dòng)體；以及 支承部，該支承部設(shè)置在所述振動(dòng)體與所述收納殼體之間，并且從與所述振動(dòng)體的彎曲方向交叉的方向夾持所述振動(dòng)體的設(shè)置有所述電極的兩個(gè)面，其中 所述接合部設(shè)置于在所述振動(dòng)體的所述電極與所述收納殼體之間所產(chǎn)生的、所述支承部的厚度量的間隙， 所述接合部的從所述電極起算的高度以及所述電線的外徑比所述支承部的厚度小。
11.一種電子部件檢查裝置，其特征在于，具備: 檢查插座，該檢查插座供電子部件裝配，用于檢查所述電子部件的電特性； 把持裝置，該把持裝置把持所述電子部件； 移動(dòng)裝置，該移動(dòng)裝置使所述把持裝置在相互正交的第一軸和第二軸、以及與所述第一軸和所述第二軸正交的第三軸合計(jì)三個(gè)軸向上移動(dòng)； 拍攝裝置，該拍攝裝置從所述檢查插座觀察設(shè)置于所述第一軸上或者所述第二軸上，針對(duì)裝配于所述檢查插座的所述電子部件，作為所述電子部件的姿勢(shì)而檢測(cè)所述第一軸和所述第二軸的方向上的位置以及繞所述第三軸的角度； 上游側(cè)工作臺(tái)，該上游側(cè)工作臺(tái)將所述電子部件從所述檢查插座搬送到連結(jié)所述拍攝裝置的所述第一軸或者所述第二軸上的規(guī)定位置； 下游側(cè)工作臺(tái)，該下游側(cè)工作臺(tái)從經(jīng)由所述檢查插座觀察時(shí)與設(shè)置有所述拍攝裝置的一側(cè)相反的一側(cè)的規(guī)定位置開始搬送所述電子部件；以及控制裝置，該控制裝置控制所述移動(dòng)裝置的動(dòng)作，其中所述控制裝置具備: 第一控制部，該第一控制部將把持有所述上游側(cè)工作臺(tái)搬送來的所述電子部件的所述把持裝置移動(dòng)到所述拍攝裝置上； 第二控制部，該第二控制部通過使所述把持裝置移動(dòng)而將已被所述拍攝裝置確認(rèn)姿勢(shì)的所述電子部件裝配于所述檢查插座；以及第三控制部，該第三控制部通過使所述把持裝置移動(dòng)，將經(jīng)所述檢查插座被檢查出所述電特性的所述電子部件，從所述檢查插座載置于所述下游側(cè)工作臺(tái)， 所述把持裝置具有根據(jù)由所述拍攝裝置檢測(cè)出的所述電子部件的姿勢(shì)，使所述電子部件在所述第一軸向上移動(dòng)的第一壓電馬達(dá)、使所述電子部件在所述第二軸向上移動(dòng)的第二壓電馬達(dá)、以及使所述電子部件繞所述第三軸旋轉(zhuǎn)的第三壓電馬達(dá)， 所述第一壓電馬達(dá)至第三壓電馬達(dá)是權(quán)利要求廣4中的任意一項(xiàng)所述的壓電馬達(dá)。
12.一種電子部件搬送裝置，其特征在于， 所述電子部件搬送裝置搬送所把持的電子部件， 并且使用權(quán)利要求廣4中的任意一項(xiàng)所述的壓電馬達(dá)進(jìn)行所述電子部件的對(duì)位。
13.一種電子部件搬送裝置，其特征在于， 所述電子部件搬送裝置搬送所把持的電子部件，并具備進(jìn)行所述電子部件的對(duì)位的壓電馬達(dá)， 所述壓電馬達(dá)具備: 振動(dòng)體，該振動(dòng)體含有壓電材料而形成并在被施加電壓時(shí)進(jìn)行彎曲振動(dòng)； 凸部，該凸部設(shè)置于所述振動(dòng)體的端部； 電極，該電極形成于所述振動(dòng)體的、朝向與設(shè)置有所述凸部的端部因所述振動(dòng)體的彎曲振動(dòng)而移動(dòng)的彎曲方向交叉的方向的兩個(gè)面，并被施加所述電壓； 電線，該電線被非導(dǎo)電性材料 覆蓋并對(duì)所述電極施加電壓； 接合部，該接合部將所述電極與所述電線電接合； 收納殼體，該收納殼體收納所述振動(dòng)體；以及 支承部，該支承部設(shè)置在所述振動(dòng)體與所述收納殼體之間，并且從與所述振動(dòng)體的彎曲方向交叉的方向夾持所述振動(dòng)體的設(shè)置有所述電極的兩個(gè)面， 所述接合部設(shè)置于在所述振動(dòng)體的所述電極與所述收納殼體之間所產(chǎn)生的、所述支承部的厚度量的間隙， 所述接合部的從所述電極起算的高度以及所述電線的外徑比所述支承部的厚度小。
14.一種電子部件搬送裝置，其特征在于，具備: 把持裝置，該把持裝置把持電子部件； 移動(dòng)裝置，該移動(dòng)裝置使所述把持裝置在相互正交的第一軸和第二軸、以及與所述第一軸和所述第二軸正交的第三軸合計(jì)三個(gè)軸向上移動(dòng)； 控制裝置，該控制裝置控制所述移動(dòng)裝置的動(dòng)作， 所述把持裝置具有:使所述電子部件在所述第一軸向上移動(dòng)的第一壓電馬達(dá)、使所述電子部件在所述第二軸向上移動(dòng)的第二壓電馬達(dá)以及使所述電子部件繞所述第三軸旋轉(zhuǎn)的第三壓電馬達(dá)， 所述第一壓電馬達(dá)至第三壓電馬達(dá)是權(quán)利要求廣4中的任意一項(xiàng)所述的壓電馬達(dá)。
15.一種壓電馬達(dá)，其特征在于，具備: 壓電元件； 電極，該電極配置于所述壓電元件的一方的面并對(duì)所述壓電元件施加電壓； 電線，該電線對(duì)所述電極施加電壓； 接合部，該接合部將所述電極與所述電線電接合；收納殼體，該收納殼體收納所述壓電元件；以及 支承部，該支承部設(shè)置在所述壓電元件與所述收納殼體之間，并支承所述壓電元件的所述一方的面， 所述接合部設(shè)置在所述電極與所述收納殼體的間隙， 所述接合部的從所述電極起算的高度以及所述電線的外徑比所述支承部的厚度小， 所述壓電元件的所述一方的面包含所述壓電元件進(jìn)行彎曲振動(dòng)的方向。
16.—種機(jī)器人手,其特征在于,具備: 指部; 連結(jié)所述指部的關(guān)節(jié)部； 配置于所述關(guān)節(jié)部的壓電元件； 電極，該電極配置于所述壓電元件的一方的面并對(duì)所述壓電元件施加電壓； 電線，該電線對(duì)所述電 極施加電壓； 接合部，該接合部將所述電極與所述電線電接合； 收納殼體，該收納殼體收納所述壓電元件；以及 支承部，該支承部設(shè)置于所述壓電元件與所述收納殼體之間，并支承所述壓電元件的所述一方的面， 所述接合部設(shè)置于所述電極與所述收納殼體的間隙， 所述接合部的從所述電極起算的高度以及所述電線的外徑比所述支承部的厚度小， 所述壓電元件的所述一方的面包含所述壓電元件進(jìn)行彎曲振動(dòng)的方向。
17.—種機(jī)器人,其特征在于， 具備權(quán)利要求16所述的機(jī)器人手。
18.一種電子部件搬送裝置，其特征在于， 具備權(quán)利要求15所述的壓電馬達(dá)。
全文摘要
本發(fā)明提供壓電馬達(dá)、驅(qū)動(dòng)裝置、電子部件搬送裝置、電子部件檢查裝置、印刷裝置、機(jī)器人手以及機(jī)器人。壓電馬達(dá)具備壓電元件、設(shè)置于壓電元件的電極、與電極連接的電線、將電極與電線接合的接合部、收納壓電元件的收納殼體以及設(shè)置于壓電元件與上述收納殼體之間的支承部，接合部以及電線設(shè)置于電極與收納殼體之間的間隙。
文檔編號(hào)B65G47/74GK103151955SQ20121051374
公開日2013年6月12日 申請(qǐng)日期2012年12月4日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月6日
發(fā)明者水島信幸 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社