專利名稱：一種自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)，可用于平面顯示器制造領(lǐng)域中。
背景技術(shù)：
自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)(AMHS,Automatic Material Handling System),又稱天車系統(tǒng)。這種搬送系統(tǒng)的應(yīng)用范圍較廣，例如機(jī)場(chǎng)的貨物運(yùn)輸、自動(dòng)化工廠的物料運(yùn)輸?shù)?；?dāng)AMHS應(yīng)用于平面顯示器制造領(lǐng)域時(shí)，由于平面顯示器的制造依賴于不同的處理設(shè)備的多重工藝步驟，這需要利用自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)(AMHS)在處理設(shè)備之間傳送產(chǎn)品?，F(xiàn)有的自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)(AMHS)參見附圖1所示，主要包括自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)和多個(gè)程序加工區(qū)I (Process Bays);其中，程序加工區(qū)內(nèi)設(shè)有各種加工設(shè)備15 ；自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)包括加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路2和多個(gè)儲(chǔ)存?zhèn)}3(Stocker)，所述儲(chǔ)存?zhèn)}之間的傳遞是藉由加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路內(nèi)的懸掛式搬運(yùn)系統(tǒng)16所完成。現(xiàn)有的加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路一般近似矩形或圓角矩形，參見附圖1所示，懸掛式搬運(yùn)系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)于加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路中；所述各個(gè)儲(chǔ)存?zhèn)}分別位于程序加工區(qū)的一側(cè)，每個(gè)儲(chǔ)存?zhèn)}包含一些垂直堆疊的儲(chǔ)存箱，用以承載平面卡匣。圖2為圖1的A-A剖視圖，由圖可見，現(xiàn)有的加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路從上到下包括三層空間架構(gòu)空間4 (TRUSS)、潔凈空間5 (FAB)和循環(huán)空間6 (SUBFAB);架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板7，天花板上設(shè)有風(fēng)機(jī)濾器單元9 (FFU，F(xiàn)an Filter Units)，現(xiàn)有的天花板上設(shè)有通氣孔，以使FFU提供的過濾后的空氣進(jìn)入潔凈空間；潔凈空間和循環(huán)空間之間設(shè)有高架地板17，高架地板上設(shè)有透氣孔，以便氣體通過循環(huán)。現(xiàn)有的自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)(AMHS) —般是整體設(shè)置于一大型潔凈空間內(nèi)(如大型生產(chǎn)車間內(nèi))，以實(shí)現(xiàn)物料的運(yùn)輸及處理。然而，現(xiàn)有的自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)中的所使用的潔凈空氣和多個(gè)程序加工區(qū)所使用的潔凈空氣都是和廠房的大型潔凈空間的潔凈空氣直接連通并混合，在實(shí)際應(yīng)用中發(fā)現(xiàn)，由于程序加工區(qū)內(nèi)設(shè)有很多加工設(shè)備，這些設(shè)備在生產(chǎn)過程中會(huì)產(chǎn)生各種廢氣或腐蝕性氣體(如氯氣、氯化氫等)，一旦這些腐蝕性氣體溢出后，這些氣體會(huì)跑到外部的大型潔凈空間內(nèi)，從而直接和自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)中的產(chǎn)品接觸，尤其是和儲(chǔ)放于儲(chǔ)存?zhèn)}(Stocker)的產(chǎn)品直接接觸，這便大大影響了產(chǎn)品的質(zhì)量；而此種情況一旦發(fā)生后則很難去除。另一方面，為了維持潔凈空間內(nèi)的潔凈度和恒溫，需要形成一定風(fēng)量的空氣循環(huán)，這就對(duì)循環(huán)空間(SUBFAB)以及設(shè)于其內(nèi)的干盤管提出了要求，由于儲(chǔ)存?zhèn)}(Stocker)的循環(huán)風(fēng)量必須與大型潔凈空間的循環(huán)風(fēng)量一起處理，循環(huán)風(fēng)量較大，因此現(xiàn)有的循環(huán)空間的高度都比較高，建造成本較高。又另一方面，考慮少數(shù)加工設(shè)備對(duì)微振動(dòng)的需求，往往為了這些設(shè)備而全面整廠建造華夫板(Waffle Slab)，增加建廠時(shí)間及成本。
發(fā)明內(nèi)容[0009]本實(shí)用新型的發(fā)明目的是提供一種自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)。為達(dá)到上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是一種自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)，包括自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)和至少I個(gè)程序加工區(qū)，所述自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)包括加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路和至少I個(gè)儲(chǔ)存?zhèn)}；所述自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)從上到下包括架構(gòu)空間、潔凈空間和循環(huán)空間，架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板，潔凈空間和循環(huán)空間之間設(shè)有高架地板；所述自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)的四周圍設(shè)有隔板，使其所在的潔凈空間和至少一部分架構(gòu)空間構(gòu)成獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)。上文中，所述自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)包括加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路和至少I個(gè)儲(chǔ)存?zhèn)}，而儲(chǔ)存?zhèn)}與加工區(qū)設(shè)備之間還可以分別設(shè)有傳遞系統(tǒng)，該傳遞系統(tǒng)可以包含Robot、Cassette station、Load/Unload 等。所述加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路一般近似矩形或圓角矩形，懸掛式搬運(yùn)系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)于加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路中，所述懸掛式搬運(yùn)系統(tǒng)可以是0HS。所述自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)的四周圍設(shè)有隔板，并補(bǔ)入新風(fēng)形成一個(gè)相對(duì)于大型潔凈空間為正壓的潔凈微環(huán)境，因而當(dāng)加工設(shè)備中有腐蝕性氣體溢出并跑到外部的大型潔凈空間內(nèi)之后，也不會(huì)進(jìn)入自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)，從而避免了這些氣體對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的影響。將所述自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)所在的潔凈空間和至少一部分架構(gòu)空間構(gòu)成獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)，即隔板的底部只達(dá)到高架地板上，而未深入下方的循環(huán)空間；隔板的頂部部分深入架構(gòu)空間之中。上述技術(shù)方案中，在所述加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路中，其軌道的正上方的天花板上設(shè)有風(fēng)機(jī)濾器單元，軌道的內(nèi)側(cè)面上設(shè)有豎直設(shè)置的擋板，擋板圍設(shè)于整個(gè)加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路上，構(gòu)成一回風(fēng)通道，所述回風(fēng)通道正對(duì)的天花板上設(shè)有通孔；所述通孔的正上方設(shè)有新風(fēng)輸送系統(tǒng)，并使所述獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)中的氣壓大于其外部潔凈空間的氣壓。進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述擋板與高架地板之間的距離為2 4 m。與之相應(yīng)的另一種技術(shù)方案，一種自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)，包括自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)和至少I個(gè)程序加工區(qū)，所述自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)包括加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路和至少I個(gè)儲(chǔ)存?zhèn)}；所述自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)從上到下包括架構(gòu)空間、潔凈空間和循環(huán)空間，架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板，潔凈空間和循環(huán)空間之間設(shè)有高架地板；所述自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)的四周圍設(shè)有隔板，使其所在的潔凈空間、循環(huán)空間和至少一部分架構(gòu)空間構(gòu)成獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)；位于循環(huán)空間內(nèi)的隔板側(cè)面設(shè)有氣體調(diào)節(jié)風(fēng)門。上文中，將所述自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)所在的潔凈空間、循環(huán)空間和至少一部分架構(gòu)空間構(gòu)成獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)，即隔板的底部深入下方的循環(huán)空間，與上方的潔凈空間一起做成潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)；同時(shí)在位于循環(huán)空間內(nèi)的隔板側(cè)面設(shè)置氣體調(diào)節(jié)風(fēng)門，提供壓力調(diào)節(jié)。該氣體調(diào)節(jié)風(fēng)門優(yōu)選可以調(diào)節(jié)氣體流量大小。上述技術(shù)方案中，在所述加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路中，其軌道的正上方的天花板上設(shè)有風(fēng)機(jī)濾器單元，軌道的內(nèi)側(cè)面上設(shè)有豎直設(shè)置的擋板，擋板圍設(shè)于整個(gè)加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路上，構(gòu)成一回風(fēng)通道，所述回風(fēng)通道正對(duì)的天花板上設(shè)有通孔；所述通孔的正上方設(shè)有新風(fēng)輸送系統(tǒng)，并使所述獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)中的氣壓大于其外部潔凈空間的氣壓。進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述擋板與高架地板之間的距離為2 4 m。由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn)1、本實(shí)用新型設(shè)計(jì)得到了一種新的自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)，其在自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)的四周圍設(shè)置隔板，構(gòu)成了獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)，因而即使當(dāng)加工設(shè)備中有腐蝕性氣體溢出并跑到外部的大型潔凈空間內(nèi)之后，也不會(huì)進(jìn)入自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)形成的潔凈微環(huán)境之中，從而避免了這些氣體對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的影響。2、本實(shí)用新型在加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路的軌道內(nèi)側(cè)面上設(shè)置了豎直的擋板，擋板圍設(shè)于整個(gè)加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路上，構(gòu)成一回風(fēng)通道，從而充分利用了加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路中間區(qū)域的空間，且形成的回風(fēng)通道可以在潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)中形成微循環(huán)，不僅充分利用了其內(nèi)的潔凈空氣，降低了消耗，同時(shí)不需要利用外部大型潔凈空間的循環(huán)空間，實(shí)現(xiàn)了降低循環(huán)空間(SUBFAB)高度的可能性，進(jìn)而降低建廠成本。3、本實(shí)用新型在回風(fēng)通道正對(duì)的天花板上設(shè)置通孔，在通孔的正上方設(shè)置新風(fēng)輸送系統(tǒng)，并使所述獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)中的氣壓大于其外部潔凈空間的氣壓，這不僅進(jìn)一步防止了腐蝕性氣體進(jìn)入自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)形成的潔凈微環(huán)境之中，還可以利用新風(fēng)和由回風(fēng)通道出來(lái)的潔凈空氣進(jìn)行預(yù)混，實(shí)現(xiàn)溫度的預(yù)調(diào)整。4、由于本實(shí)用新型可以降低循環(huán)空間(SUBFAB)的高度，因此，針對(duì)微振動(dòng)敏感加工設(shè)備，可以直接使用防振基座，不需要整廠全面建造華夫板(Waffle Slab)，縮短建廠時(shí)間及降低建廠成本。5、本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于制備，適于推廣應(yīng)用。

圖1是背景技術(shù)中自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)(AMHS)的俯視圖； 圖2為圖1的A-A剖視圖；圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例一的俯視圖；圖4是圖3的B-B剖視圖；圖5是圖4的氣流不意圖；圖6是本實(shí)用新型實(shí)施例二的局部剖視圖；圖7是圖6的氣流示意圖。其中1、程序加工區(qū)；2、加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路；3、儲(chǔ)存?zhèn)}；4、架構(gòu)空間；5、潔凈空間；6、循環(huán)空間；7、天花板；8、隔板；9、風(fēng)機(jī)濾器單元；10、擋板；11、回風(fēng)通道；12、通孔；13、新風(fēng)輸送系統(tǒng)；14、氣體調(diào)節(jié)風(fēng)門；15、加工設(shè)備；16、懸掛式搬運(yùn)系統(tǒng)；17、高架地板。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述實(shí)施例一參見圖3飛所示，一種自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)，包括自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)和6個(gè)程序加工區(qū)1，程序加工區(qū)內(nèi)設(shè)有各種加工設(shè)備15，所述自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)包括加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路2和6個(gè)儲(chǔ)存?zhèn)}；所述自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)從上到下包括架構(gòu)空間4、潔凈空間和循環(huán)空間6，架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板7 ;潔凈空間和循環(huán)空間之間設(shè)有高架地板17，高架地板上設(shè)有透氣孔，以便氣體循環(huán)；所述自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)的四周圍設(shè)有隔板8，使其所在的潔凈空間和至少一部分架構(gòu)空間構(gòu)成獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)。在所述加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路中，其軌道的正上方的天花板上設(shè)有風(fēng)機(jī)濾器單元9，軌道的內(nèi)側(cè)面上設(shè)有豎直設(shè)置的擋板10，擋板圍設(shè)于整個(gè)加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路上，構(gòu)成一回風(fēng)通道11，所述回風(fēng)通道正對(duì)的天花板上設(shè)有通孔12 ；所述通孔的正上方設(shè)有新風(fēng)輸送系統(tǒng)13，并使所述獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)中的氣壓大于其外部潔凈空間的氣壓。所述擋板與高架地板之間的距離為3 m。實(shí)施例二參見圖6 7所示，一種自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)，包括自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)和6個(gè)程序加工區(qū)，所述自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)包括加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路和6個(gè)儲(chǔ)存?zhèn)}；所述自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)從上到下包括架構(gòu)空間、潔凈空間和循環(huán)空間，架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板；6所述自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)的四周圍設(shè)有隔板，使其所在的潔凈空間、循環(huán)空間和至少一部分架構(gòu)空間構(gòu)成獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)；位于循環(huán)空間內(nèi)的隔板側(cè)面設(shè)有氣體調(diào)節(jié)風(fēng)門14。在所述加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路中，其軌道的正上方的天花板上設(shè)有風(fēng)機(jī)濾器單元，軌道的內(nèi)側(cè)面上設(shè)有豎直設(shè)置的擋板，擋板圍設(shè)于整個(gè)加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路上，構(gòu)成一回風(fēng)通道，所述回風(fēng)通道正對(duì)的天花板上設(shè)有通孔；所述通孔的正上方設(shè)有新風(fēng)輸送系統(tǒng)，并使所述獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)中的氣壓大于其外部潔凈空間的氣壓。所述擋板與高架地板之間的距離為3 m。
權(quán)利要求1.一種自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)，包括自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)和至少I個(gè)程序加工區(qū)(1)，所述自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)包括加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路(2)和至少I個(gè)儲(chǔ)存?zhèn)}(3);所述自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)從上到下包括架構(gòu)空間(4)、潔凈空間(5)和循環(huán)空間(6)，架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板(7)，潔凈空間和循環(huán)空間之間設(shè)有高架地板；其特征在于所述自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)的四周圍設(shè)有隔板(8)，使其所在的潔凈空間和至少一部分架構(gòu)空間構(gòu)成獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)，其特征在于在所述加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路中，其軌道的正上方的天花板上設(shè)有風(fēng)機(jī)濾器單元(9)，軌道的內(nèi)側(cè)面上設(shè)有豎直設(shè)置的擋板(10)，擋板圍設(shè)于整個(gè)加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路上，構(gòu)成一回風(fēng)通道(11)，所述回風(fēng)通道正對(duì)的天花板上設(shè)有通孔(12)； 所述通孔的正上方設(shè)有新風(fēng)輸送系統(tǒng)(13)，并使所述獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)中的氣壓大于其外部潔凈空間的氣壓。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)，其特征在于所述擋板與高架地板之間的距離為2 4 m。
4.一種自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)，包括自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)和至少I個(gè)程序加工區(qū)，所述自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)包括加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路和至少I個(gè)儲(chǔ)存?zhèn)}；所述自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)從上到下包括架構(gòu)空間、潔凈空間和循環(huán)空間，架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板，潔凈空間和循環(huán)空間之間設(shè)有高架地板；其特征在于所述自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)的四周圍設(shè)有隔板，使其所在的潔凈空間、循環(huán)空間和至少一部分架構(gòu)空間構(gòu)成獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)； 位于循環(huán)空間內(nèi)的隔板側(cè)面設(shè)有氣體調(diào)節(jié)風(fēng)門(14)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)，其特征在于在所述加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路中，其軌道的正上方的天花板上設(shè)有風(fēng)機(jī)濾器單元，軌道的內(nèi)側(cè)面上設(shè)有豎直設(shè)置的擋板，擋板圍設(shè)于整個(gè)加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路上，構(gòu)成一回風(fēng)通道，所述回風(fēng)通道正對(duì)的天花板上設(shè)有通孔； 所述通孔的正上方設(shè)有新風(fēng)輸送系統(tǒng)，并使所述獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)中的氣壓大于其外部潔凈空間的氣壓。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)，其特征在于所述擋板與高架地板之間的距離為2 4 m。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)，包括自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)和至少1個(gè)程序加工區(qū)，所述自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)包括加工區(qū)間自動(dòng)輸送軌道回路和至少1個(gè)儲(chǔ)存?zhèn)}；所述自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)從上到下包括架構(gòu)空間、潔凈空間和循環(huán)空間，架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板；所述自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)的四周圍設(shè)有隔板，使其所在的潔凈空間和至少一部分架構(gòu)空間構(gòu)成獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型構(gòu)成了獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)，因而即使當(dāng)加工設(shè)備中有腐蝕性氣體溢出并跑到外部的大型潔凈空間內(nèi)之后，也不會(huì)進(jìn)入自動(dòng)化物料處理系統(tǒng)形成的潔凈微環(huán)境之中，從而避免了這些氣體對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的影響。
文檔編號(hào)B65G49/00GK202828945SQ20122049922
公開日2013年3月27日 申請(qǐng)日期2012年9月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月27日
發(fā)明者楊政諭 申請(qǐng)人:亞翔系統(tǒng)集成科技(蘇州)股份有限公司