專利名稱：掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)，特別涉及一種掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
掩模傳輸系統(tǒng)是光刻機(jī)等眾多半導(dǎo)體設(shè)備的重要組成分系統(tǒng)，主要承擔(dān)掩模版的存貯、傳輸、定位和交換的工作，能夠避免人與掩模版直接接觸而對掩模版造成損害。隨著集成電路的發(fā)展，電路集成度大大提高，工藝層大幅度增多，在光刻機(jī)等眾多半導(dǎo)體設(shè)備中要求的掩模版數(shù)量也相應(yīng)增多，從而對掩模傳輸系統(tǒng)的效率、可靠性等要求也更加嚴(yán)格。在掩模傳輸系統(tǒng)中,掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)負(fù)責(zé)掩模版盒蓋的取放操作?，F(xiàn)有技術(shù)中，多采用占用空間較大的電機(jī)來驅(qū)動掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)以達(dá)到鎖定和解鎖動作。此外，由于現(xiàn)有的掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)中未設(shè)置過力保護(hù)措施，掩模版盒蓋很容易受到過力擠壓，造成損壞。因此，如何能夠提高掩模版盒蓋的安全性和可靠性，成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問題。

實用新型內(nèi)容本實用新型提供一種掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)，能夠有效確保掩模版盒的安全性，避免掩模版盒蓋因受到過力擠壓而造成損壞。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)，包括安裝板、滑塊導(dǎo)軌、左鎖叉、右鎖叉、托架、撥桿、執(zhí)行器、保護(hù)架以及緩沖器；其中，所述安裝板的一端與所述滑塊導(dǎo)軌固定連接；所述左鎖叉和右鎖叉對稱的設(shè)置于所述滑塊導(dǎo)軌下方，所述托架設(shè)置于所述左鎖叉和右鎖叉的底部；所述撥桿的兩端分別與所述左鎖叉和右鎖叉活動連接，所述執(zhí)行器驅(qū)動所述左鎖叉和右鎖叉沿所述滑塊導(dǎo)軌滑動；所述執(zhí)行器和保護(hù)架均固定于所述安裝板上，所述緩沖器設(shè)置在所述保護(hù)架上。作為優(yōu)選，所述執(zhí)行器為氣缸，更優(yōu)選為微型氣缸。作為優(yōu)選，還包括支撐板，所述安裝板的另一端通過調(diào)整螺釘與所述支撐板相連。作為優(yōu)選，還包括位置傳感檢測裝置，所述位置傳感檢測裝置固定于所述安裝板上。作為優(yōu)選，還包括存在傳感器，所述存在傳感器固定于所述安裝板上。作為優(yōu)選，還包括彈性器件，所述彈性器件的兩端分別與所述左鎖叉和右鎖叉連接。作為優(yōu)選，所述彈性器件為彈簧或皮筋。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型中的安裝板的一端與滑塊導(dǎo)軌固定連接；左鎖叉和右鎖叉對稱的設(shè)置于滑塊導(dǎo)軌下方，托架分別固定于左鎖叉和右鎖叉的底部；撥桿的兩端分別與左鎖叉和右鎖叉活動連接，執(zhí)行器驅(qū)動左鎖叉和右鎖叉沿所述滑塊導(dǎo)軌滑動；執(zhí)行器和保護(hù)架均固定于安裝板上，緩沖器設(shè)置在保護(hù)架上。通過執(zhí)行器與撥桿配合，可以使左鎖叉和右鎖叉同步運(yùn)動，確保開鎖或閉合動作的一致性。并在保護(hù)架上安裝緩沖器，保護(hù)掩模版盒蓋在取放操作的時候不受過力壓損，同時保證了掩模版盒蓋的可靠定位。此外，在掩?？刂葡到y(tǒng)斷電、工作氣體被切斷的情況下，通過彈性器件復(fù)位來帶動左鎖叉和右鎖叉閉合，可以有效確保掩模版盒蓋的安全性。

圖1為本實用新型一具體實施例中掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型一具體實施例中掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)的局部結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實用新型一具體實施例中掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)解鎖位示意圖；圖4為本實用新型一具體實施例中掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)交接工位示意圖。圖中:101-支撐板、102-安裝板、103-滑塊導(dǎo)軌、104-左鎖叉、105-右鎖叉、106-托架、107-撥桿、108-執(zhí)行器、109-保護(hù)架、110-緩沖器、111-存在傳感器、112-彈性器件、113-調(diào)整螺釘、114-位置傳感檢測裝置、201-版盒底座、202-掩模版、203-掩模版盒蓋、301-機(jī)械手。
具體實施方式
為使本實用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式
做詳細(xì)的說明。需說明的是，本實用新型附圖均采用簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。請參照圖1 4，本實用新型的掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)，包括安裝板102、滑塊導(dǎo)軌103、左鎖叉104、右鎖叉105、托架106、撥桿107、執(zhí)行器108、保護(hù)架109以及緩沖器110。其中，所述安裝板102的一端與所述滑塊導(dǎo)軌103固定連接；所述滑塊導(dǎo)軌103分成2塊，且2塊滑塊導(dǎo)軌103分別連接在所述左鎖叉104和右鎖叉105的上方，所述左鎖叉104和右鎖叉105之間通過撥桿107連接，所述左鎖叉104和右鎖叉105的底部均固定有所述托架106 ;所述執(zhí)行器108和保護(hù)架109均固定于所述安裝板102上，執(zhí)行器108驅(qū)動所述左鎖叉104和右鎖叉105沿著滑塊導(dǎo)軌103滑動，所述緩沖器110設(shè)置在所述保護(hù)架109 上。本實施例中，所述安裝板102起連接和固定掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)中的各部件的作用。執(zhí)行器108作為執(zhí)行裝置，驅(qū)動左鎖叉104和右鎖叉105的滑動。所述左鎖叉104以滑塊導(dǎo)軌103作為導(dǎo)向裝置，即，沿所述滑塊導(dǎo)軌103移動。左鎖叉104轉(zhuǎn)動的同時帶動與左鎖叉104相連的撥桿107的轉(zhuǎn)動，撥桿107相應(yīng)帶動右鎖叉105滑動。通過上述動作即可控制左鎖叉104和右鎖叉105處于張開或閉合狀態(tài)，從而進(jìn)行掩模版盒蓋203的取放操作。其中，在執(zhí)行器108驅(qū)動左鎖叉104運(yùn)動的同時，撥桿107控制右鎖叉105進(jìn)行相對應(yīng)的動作，保證了左鎖叉104和右鎖叉105運(yùn)動的一致性。而通過在保護(hù)架109上安裝緩沖器110，可以確保掩模版盒蓋203在取放操作的時候不受過力壓損，同時保證了掩模版盒蓋203的可靠定位。較佳的，所述掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)還包括彈性器件112，所述彈性器件112的兩端分別與所述左鎖叉104和右鎖叉105連接。在掩模控制系統(tǒng)斷電、工作氣體被切斷的情況下，通過彈性器件112復(fù)位來帶動左鎖叉104和右鎖叉105閉合，可以有效確保掩模版盒蓋203的安全性。作為優(yōu)選，所述彈性器件112為彈簧或皮筋。較佳的，所述掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)還包括存在傳感器111，所述存在傳感器111固定于所述安裝板102上。使用存在傳感器111，可以快速感應(yīng)出所述夾持掩模版盒203是否存在。確保掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)工作時，左鎖叉104和右鎖叉105之間沒有夾持掩模版盒蓋203，左右鎖叉均處于張開狀態(tài)。本實施例中，所述執(zhí)行器108為氣缸,優(yōu)選為微型氣缸,直接選用微型氣缸作為執(zhí)行裝置，既簡化了運(yùn)動機(jī)構(gòu)又可以減小執(zhí)行器的占用空間。本實施例中，所述安裝板102的另一端通過調(diào)整螺釘113與所述支撐板101相連，所述支撐板101用于支撐整個掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)。較佳的，所述調(diào)整螺釘113的數(shù)目為三個，通過調(diào)整三個調(diào)整螺釘113，可以確保安裝板102的水平度，保障掩模版盒蓋203的取放操作的安全性。本實施例中，掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)還包括位置傳感檢測裝置114，所述位置傳感檢測裝置114固定于所述安裝板102上。位置傳感檢測裝置114便于對掩模版盒解鎖結(jié)構(gòu)中左鎖叉104和右鎖叉105的位置進(jìn)行實時監(jiān)控。需要說明的是，由于所述掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)為掩模傳輸系統(tǒng)中的一個部件，所述執(zhí)行器108、存在傳感器111以及位置傳感檢測裝置114均由掩模傳輸系統(tǒng)控制，本實用新型對所述掩模傳輸系統(tǒng)的工作過程不作贅述。請繼續(xù)參照圖1 4，下面詳細(xì)說明所述掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)的工作過程。首先，存在傳感器111檢測掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)是否夾持了掩模版盒蓋203并反饋狀態(tài)。若確定所述掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)沒有夾持掩模版盒蓋203，執(zhí)行器108工作，使左鎖叉104和右鎖叉105處于張開狀態(tài)。接著，使用一機(jī)械手301或其他器件將掩模版盒從存放掩模版盒的倉庫中取出，并將掩模版盒移動到掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)的解鎖位，即，移動到托架106底部與左右鎖叉之間，且不影響左右鎖叉以及托架106自由移動的位置。此時，保護(hù)架109上的緩沖器110受力處于壓縮狀態(tài)，將掩模版盒定位。接著，執(zhí)行器108與撥桿107配合，使左鎖叉104和右鎖叉105同時閉合，鎖定掩模版盒蓋203，移動機(jī)械手301，掩模版202和掩模版盒底座201隨機(jī)械手301下降，完成掩模版盒蓋203的取放動作。此時，緩沖器110復(fù)位，將掩模版盒蓋203與托架106相對定位。相應(yīng)的，取掩模版盒蓋203時，機(jī)械手301上升到解鎖位，左鎖叉104和右鎖叉105同時張開，緩沖器110處于受力狀態(tài)，確保掩模版盒蓋203不攢動，機(jī)械手301移開。綜上所述，本實用新型的掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)，包括支撐板101、安裝板102、滑塊導(dǎo)軌103、左鎖叉104、右鎖叉105、托架106、撥桿107、執(zhí)行器108、保護(hù)架109、緩沖器110、彈性器件112以及存在傳感器111。其中，所述安裝板102的一端與所述支撐板101相連，所述安裝板102的另一端與所述滑塊導(dǎo)軌103固定連接；所述左鎖叉104和右鎖叉105對稱設(shè)置于所述滑塊導(dǎo)軌103下方，所述托架106設(shè)置于所述左鎖叉104和右鎖叉105的底部；所述彈性器件112的兩端分別與所述左鎖叉104和右鎖叉105連接，所述執(zhí)行器108驅(qū)動所述左鎖叉104和右鎖叉105沿著所述滑塊導(dǎo)軌103滑動；所述執(zhí)行器108、保護(hù)架109以及存在傳感器111均固定于所述安裝板102上，所述緩沖器110設(shè)置在所述保護(hù)架109上。本實用新型通過單作用的微型氣缸與撥桿107配合來使左鎖叉104和右鎖叉105同步運(yùn)動，確保開鎖或閉合動作的一致性，并在保護(hù)架109上安裝緩沖器110，從而保護(hù)掩模版盒蓋203在取放操作的時候不受過力壓損，同時保證了掩模版盒蓋203的可靠定位。此外，在掩?？刂葡到y(tǒng)斷電、工作氣體被切斷的情況下，通過彈性器件112復(fù)位來帶動左鎖叉104和右鎖叉105閉合，可以有效確保掩模版盒蓋203的安全性。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對實用新型進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包括這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括安裝板、滑塊導(dǎo)軌、左鎖叉、右鎖叉、托架、撥桿、執(zhí)行器、保護(hù)架以及緩沖器；其中， 所述安裝板的一端與所述滑塊導(dǎo)軌固定連接； 所述左鎖叉和右鎖叉對稱的設(shè)置于所述滑塊導(dǎo)軌下方，所述托架設(shè)置于所述左鎖叉和右鎖叉的底部; 所述撥桿的兩端分別與所述左鎖叉和右鎖叉活動連接，所述執(zhí)行器驅(qū)動所述左鎖叉和右鎖叉沿所述導(dǎo)軌滑動； 所述執(zhí)行器和保護(hù)架均固定于所述安裝板上，所述緩沖器設(shè)置在所述保護(hù)架上。
2.如權(quán)利要求1所述的掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述執(zhí)行器為氣缸。
3.如權(quán)利要求1所述的掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括支撐板，所述安裝板的另一端通過調(diào)整螺釘與所述支撐板相連。
4.如權(quán)利要求1所述的掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括位置傳感檢測裝置，所述位置傳感檢測裝置固定于所述安裝板上。
5.如權(quán)利要求1所述的掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括存在傳感器，所述存在傳感器固定于所述安裝板上。
6.如權(quán)利要求1所述的掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括彈性器件，所述彈性器件的兩端分別與所述左鎖叉和右鎖叉連接。
7.如權(quán)利要求6所述的掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述彈性器件為彈簧或皮筋。
專利摘要本實用新型公開了一種掩模版盒開鎖機(jī)構(gòu)，包括安裝板、滑塊導(dǎo)軌、左鎖叉、右鎖叉、托架、撥桿、執(zhí)行器、保護(hù)架以及緩沖器；其中，所述安裝板的一端與滑塊導(dǎo)軌固定連接；左鎖叉和右鎖叉對稱的設(shè)置于滑塊導(dǎo)軌下方，所述托架設(shè)置于所述左鎖叉和右鎖叉的底部；撥桿的兩端分別與左鎖叉和右鎖叉活動連接，所述執(zhí)行器驅(qū)動所述左鎖叉和右鎖叉沿所述滑塊導(dǎo)軌滑動；執(zhí)行器和保護(hù)架均固定于所述安裝板上，所述緩沖器設(shè)置在所述保護(hù)架上。本實用新型通過單作用的微型氣缸與撥桿配合來使左鎖叉和右鎖叉同步運(yùn)動，確保開鎖或閉合動作的一致性，并在保護(hù)架上安裝緩沖器，從而保護(hù)掩模版盒蓋在取放操作的時候不受過力壓損，同時保證了掩模版盒蓋的可靠定位。
文檔編號B65G47/90GK202944866SQ20122054065
公開日2013年5月22日 申請日期2012年10月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月19日
發(fā)明者李臣 申請人:上海微電子裝備有限公司, 上海微高精密機(jī)械工程有限公司