專利名稱：一種儲液罐加液裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種儲液罐加液裝置技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域，尤其是涉及一種在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的清洗工序中應(yīng)用的儲液罐的加液裝置。背景技術(shù)：
公知的，在半導(dǎo)體的生產(chǎn)過程中，不但需要使用清洗設(shè)備對液顯的玻璃基板進(jìn)行清洗，而且在硅片的制絨、刻蝕工藝過程中也都需要應(yīng)用到清洗設(shè)備，因而清洗工序是半導(dǎo)體生產(chǎn)中十分重要的工序之一；但是，由于在清洗過程中，硅片與清洗液之間會發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，進(jìn)而導(dǎo)致清洗槽內(nèi)清洗液中的相關(guān)化學(xué)成份不可避免的被消耗掉，因此，若不能及時補充清洗液就勢必會直接影響到硅片的清洗效果；目前，為了保障清洗效果，基本是在清洗工序進(jìn)行到一定時間時通過添加適量清洗液的方式來保持清洗液中相關(guān)化學(xué)成份的含量，而現(xiàn)有的加液方式是利用恒壓供液原理加液，即利用恒壓罐定流量的方式通過控制閥門的打開時間來控制加液量，但實施這種方式的加液裝置在應(yīng)用中受管路阻力、閥門開度及罐內(nèi)壓力波動等因素的影響較大，其除了需要定期對管路、閥門進(jìn)行檢查外，還需要頻繁對流量進(jìn)行校正，因此這種加液裝置的穩(wěn)定性和可靠性都相對較差；為了克服上述加液方式中存在的不足，一些廠家采用通過與浮標(biāo)對應(yīng)的傳感器來檢測液面下降的高度從而達(dá)到控制加液量的加液裝置，還有一些廠家則采用通過稱重方式來達(dá)到控制加液量的加液裝置，這些加液裝置雖然可以實現(xiàn)較高精度的加液控制，但是卻均存在有結(jié)構(gòu)復(fù)雜、部件較多及價格較貴等問題。
發(fā)明內(nèi)容
為了克服背景技術(shù)中的不足，本實用新型公開了一種儲液罐加液裝置，所述的裝置能夠穩(wěn)定可靠的對清洗槽進(jìn)行精準(zhǔn)的補液，從而確保了清洗槽內(nèi)的清洗液得到精準(zhǔn)的補充，進(jìn)而有效的保障了清洗的效果。為實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案:一種儲液罐加液裝置，所述的裝置包含儲液罐、液位傳感器、控制器及相關(guān)管路；所述的儲液罐的頂端設(shè)有用于注入輔助氣體的輔助管路，儲液罐罐壁的一側(cè)上部設(shè)有用于釋放罐內(nèi)壓力的排氣管路，儲液罐的底端設(shè)有用于注入清洗液的供液管路和加液管路；所述的供液管路與加液管路各自靠近儲液罐的一端端部均設(shè)有隔膜閥，且隔膜閥均與設(shè)在儲液罐外部的控制器連接；所述的液位傳感器設(shè)置在儲液罐的頂端中部，且與控制器連接；所述的輔助管路設(shè)有與控制器連接的電磁閥。所述的儲液罐加液裝置，所述的儲液罐罐體外部一側(cè)設(shè)有旁通管。所述的儲液罐加液裝置，所述的旁通管為具備透明度的玻璃管或PFA管。所述的儲液罐加液裝置，所述的儲液罐罐體為方柱形或圓柱形。所述的儲液罐加液裝置，所述的輔助管路設(shè)有低流速管和高流速管，且低流速管設(shè)有節(jié)流閥，高流速管設(shè)有電磁閥。所述的儲液罐加液裝置，所述的電磁閥與控制器連接。[0016]所述的儲液罐加液裝置，所述的排氣管路設(shè)有與控制器連接的漏液傳感器。所述的儲液罐加液裝置，所述的加液管路設(shè)有低速加液管和高速加液管，且低速加液管與高速加液管各自靠近儲液罐的一端端部均設(shè)有與控制器連接的隔膜閥。所述的儲液罐加液裝置，所述的液位傳感器為連續(xù)測量式液位傳感器。所述的儲液罐加液裝置，所述的液位傳感器為超聲波液位傳感器、導(dǎo)波雷達(dá)液位傳感器、電位式液位傳感器、連續(xù)浮球液位傳感器或磁致伸縮液位傳感器。由于采用如上所述的技術(shù)方案，本實用新型具有如下有益效果:本實用新型所述的儲液罐加液裝置采用定容積原理，以定容補液的方式提高了自動加液的精準(zhǔn)度和裝置的可靠性，在有效減少維護(hù)次數(shù)和流量校正次數(shù)的同時使清洗槽內(nèi)的清洗液得到精準(zhǔn)的補充，從而通過控制清洗液的液量達(dá)到了有效保障清洗效果的目的；此外，所述的裝置還通過采用非接觸式傳感器達(dá)到了適用于強腐蝕性、濃酸或濃堿等液體的定量添加的目的。
圖1是本實用新型的示意圖；圖2是本實用新型的另一結(jié)構(gòu)示意圖。圖中:1、儲液罐；2、液位傳感器；3、控制器；4、輔助管路；5、排氣管路；6、供液管路；7、加液管路；8、隔膜閥；9、旁通管；10、低流速管；11、高流速管；12、節(jié)流閥；13、電磁閥；14、漏液傳感器；15、低速加液管；16、高速加液管。
具體實施方式
通過下面的實施例可以更詳細(xì)的解釋本實用新型，公開本實用新型的目的旨在保護(hù)本實用新型范圍內(nèi)的一切變化和改進(jìn)，本實用新型并不局限于下面的實施例；結(jié)合附圖1 2所述的儲液罐加液裝置，所述的裝置包含罐體為方柱形或圓柱形的儲液罐1、液位傳感器2、控制器3及相關(guān)管路；所述的儲液罐I的頂端設(shè)有用于向儲液罐I罐內(nèi)注入輔助氣體，如壓縮空氣或氮氣的輔助管路4，該輔助管路4設(shè)有與控制器3連接的電磁閥13 ;在更便于操作，能夠在輔助管路4中設(shè)置低流速管10和高流速管11，且在低流速管10中設(shè)置可調(diào)節(jié)的節(jié)流閥12，在高流速管11中設(shè)置電磁閥13，即在輔助管路4中設(shè)置出兩條不同氣流量的管道，其中，通過低流速管10不斷的以低流量向儲液罐I罐內(nèi)注入相應(yīng)氣體，使罐內(nèi)的壓力始終保持正壓，從而避免外部空氣進(jìn)入儲液罐I罐內(nèi)污染到罐內(nèi)的清洗液；另一方面，通過高流速管11在需要快速加液時將大流量的氣體注入至儲液罐I罐內(nèi)，使罐內(nèi)壓力增高，從而實現(xiàn)快速加液的目的；在儲液罐I罐壁的一側(cè)上部設(shè)有用于釋放儲液罐I罐內(nèi)壓力的排氣管路5，即通過排氣管路5來排出罐內(nèi)的多余氣體；此外，所述的排氣管路5還能夠在設(shè)置相應(yīng)的漏液傳感器14后作為安全排放管路使用，即在儲液罐I罐內(nèi)的液位過高時起到溢流排放的作用；在儲液罐I的底端設(shè)有用于向儲液罐I罐內(nèi)注入清洗液的供液管路6和向清洗槽內(nèi)添加清洗液的加液管路7，為便于通過設(shè)在儲液罐I外部的控制器3集中控制操作，供液管路6與加液管路7各自靠近儲液罐I的一端端部均設(shè)有與控制器3連接的隔膜閥8 ;為進(jìn)一步優(yōu)化加液效果，所述的加液管路7中能夠包含一條用于精準(zhǔn)加液的低速加液管15和一條用于快速加液的高速加液管16，且低速加液管15與高速加液管16各自靠近儲液罐I的一端端部均安裝有與控制器3連接的隔膜閥8 ；[0030]為便于連續(xù)測量儲液罐I罐內(nèi)的液位變化，將相應(yīng)的信息反饋給控制器3，以通過控制器3控制相應(yīng)的閥門做出相關(guān)動作，所述的裝置在儲液罐I的頂端中部安裝有與控制器3連接的超聲波液位傳感器、導(dǎo)波雷達(dá)液位傳感器、電位式液位傳感器、連續(xù)浮球液位傳感器或磁致伸縮液位傳感器等連續(xù)測量式液位傳感器2 ;為便于及時準(zhǔn)確的觀察儲液罐I罐內(nèi)的液面高度，能夠在儲液罐I罐體外部的一側(cè)設(shè)置一具備透明度的玻璃管或PFA管做為旁通管9來觀察罐內(nèi)的液面高度。實施所述的儲液罐加液裝置進(jìn)行加液操作時，只須將所述的裝置固定在相應(yīng)的位置，然后根據(jù)需求的加液量計算出液面下降的高度，然后再通過加液管路7進(jìn)行加液，同時利用液位傳感器2將儲液罐I罐內(nèi)的液位信息傳輸至控制器3，最后由控制器3控制相應(yīng)的閥門做出相關(guān)動作直至完成加液操作；如采用低速加液管15與高速加液管16構(gòu)成的加液管路7時，則先利用高速加液管16來達(dá)到快速加液的效果，并在即將結(jié)束加液時再換至低速加液管15來進(jìn)行緩慢而精準(zhǔn)的添加，從而在加液操作中實現(xiàn)快速與精準(zhǔn)的結(jié)合。本實用新型未詳述部分為現(xiàn)有技術(shù)，故本實用新型未對其進(jìn)行詳述。
權(quán)利要求1.一種儲液罐加液裝置，其特征是:所述的裝置包含儲液罐(I)、液位傳感器(2)、控制器(3)及相關(guān)管路；所述的儲液罐(I)的頂端設(shè)有用于注入輔助氣體的輔助管路(4)，儲液罐(I)罐壁的一側(cè)上部設(shè)有用于釋放罐內(nèi)壓力的排氣管路(5)，儲液罐(I)的底端設(shè)有用于注入清洗液的供液管路(6)和加液管路(7);所述的供液管路(6)與加液管路(7)各自靠近儲液罐(I)的一端端部均設(shè)有隔膜閥(8)，且隔膜閥(8)均與設(shè)在儲液罐(I)外部的控制器(3)連接；所述的液位傳感器(2)設(shè)置在儲液罐(I)的頂端中部，且與控制器(3)連接；所述的輔助管路(4)設(shè)有與控制器(3)連接的電磁閥(13)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的儲液罐加液裝置，其特征是:所述的儲液罐(I)罐體外部一側(cè)設(shè)有旁通管(9)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的儲液罐加液裝置，其特征是:所述的旁通管(9)為具備透明度的玻璃管或PFA管。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的儲液罐加液裝置，其特征是:所述的儲液罐(I)罐體為方柱形或圓柱形。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的儲液罐加液裝置，其特征是:所述的輔助管路(4)設(shè)有低流速管(10)和高流速管(11)，且低流速管(10)設(shè)有節(jié)流閥(12)，高流速管(11)設(shè)有電磁閥(13)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的儲液罐加液裝置，其特征是:所述的電磁閥(13)與控制器(3)連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的儲液罐加液裝置，其特征是:所述的排氣管路(5)設(shè)有與控制器⑶連接的漏液傳感器(14)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的儲液罐加液裝置，其特征是:所述的加液管路(7)設(shè)有低速加液管(15)和高速加液管(16)，且低速加液管(15)與高速加液管(16)各自靠近儲液罐(I)的一端端部均設(shè)有與控制器(3)連接的隔膜閥(8)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的儲液罐加液裝置，其特征是:所述的液位傳感器(2)為連續(xù)測量式液位傳感器。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的儲液罐加液裝置，其特征是:所述的液位傳感器(2)為超聲波液位傳感器、導(dǎo)波雷達(dá)液位傳感器、電位式液位傳感器、連續(xù)浮球液位傳感器或磁致伸縮液位傳感器。
專利摘要一種涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域的儲液罐加液裝置，所述的裝置包含儲液罐、液位傳感器、控制器及相關(guān)管路；所述的儲液罐的頂端設(shè)有輔助管路，儲液罐罐壁的一側(cè)上部設(shè)有排氣管路，儲液罐的底端設(shè)有供液管路和加液管路；所述的供液管路與加液管路各自靠近儲液罐的一端端部均設(shè)有隔膜閥，且隔膜閥均與設(shè)在儲液罐外部的控制器連接；所述的液位傳感器設(shè)置在儲液罐的頂端中部，且與控制器連接；所述的裝置能夠穩(wěn)定可靠的對清洗槽進(jìn)行精準(zhǔn)的補液，從而確保了清洗槽內(nèi)的清洗液得到精準(zhǔn)的補充，進(jìn)而有效的保障了清洗的效果。
文檔編號B67D99/00GK202988700SQ20122058944
公開日2013年6月12日 申請日期2012年11月10日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月10日
發(fā)明者張偉峰, 霍得生, 藺曉琳, 李軍峰, 張磊 申請人:上海超日(洛陽)太陽能有限公司