專利名稱：自動搬送軌道結(jié)構(gòu)及搬送系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體集成電路物料輸送設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種硅片盒自動搬送系統(tǒng)中的軌道結(jié)構(gòu)及自動搬送系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,300mm娃片已經(jīng)逐步取代200mm娃片成為主流,每盒裝載硅片的硅片盒的重量也由原來的約4公斤變成約9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不僅會降低效率，還存在搬運人員人身傷害的可能。同時，半導(dǎo)體制造對于廠房的利用率以及生產(chǎn)周期的要求越來越嚴苛，自動化物料傳輸系統(tǒng)(Automated Material HandlingSystems,簡稱AMHS)作為連接各個制造模塊之間輸送娃片的紐帶的重要性也日益凸顯出來。現(xiàn)有技術(shù)中，用于300mm娃片制造的一種主流AMHS包括多個用于存放半導(dǎo)體娃片的硅片存儲設(shè)備(STOCKER)和一個或多個空中升降機輸送車(0ΗΤ)，用于在硅片制造區(qū)域的各工位之間傳送硅片。存放在STOCKER中的硅片被裝入盒式容器，例如前端開口片盒(Front Opening Unified Pod,簡稱F0UP),隨后它們被傳遞到在懸垂軌道上行進的0ΗΤ。在現(xiàn)在比較先進的自動搬送系統(tǒng)中，硅片盒通過OHT實現(xiàn)各工藝設(shè)備間以及與STOCKER之間的自動搬送。OHT小車的運行控制策略是AMHS系統(tǒng)搬送效率的關(guān)鍵。通常在AMHS系統(tǒng)中，均采用單軌道結(jié)構(gòu)供OHT小車運行，而同一段軌道內(nèi)只允許一輛OHT小車進行作業(yè)，當前面已有一輛OHT小車在取放硅片盒時，后面的OHT小車如果需要搬送硅片至軌道更前面位置的設(shè)備時，就必須等待前面的OHT小車完成作業(yè)離開這段軌道后再進行作業(yè)。因此，這在一定程度上制約了整個系統(tǒng)的搬送效率。圖1顯示了傳統(tǒng)的AMHS系統(tǒng)的軌道結(jié)構(gòu)走向設(shè)計，其包括了搬送軌道105，兩輛OHT小車106和107，軌道105通常位于凈化間頂部天花板位置，OHT小車106和107沿著軌道105以固定的方向運行(如圖中箭頭方向)，可以到達四個硅片存儲設(shè)備101、102、103和104，在完成硅片盒的取、放后，繼續(xù)前進離開。在這樣一個結(jié)構(gòu)中，當OHT小車107在硅片存儲設(shè)備104進行搬運操作時，后方OHT小車106無法沿著軌道105前進，如果OHT小車106需要到硅片存儲設(shè)備103取放硅片盒，則需等待OHT小車107完成作業(yè)并離開后，方可前進至設(shè)備103進行作業(yè)。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于彌補上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種自動搬送軌道結(jié)構(gòu)及搬送系統(tǒng)，以實現(xiàn)在前輸送車在取放硅片盒時，后方的輸送車能夠繼續(xù)前行至軌道更前方的硅片存儲設(shè)備，提高AMHS系統(tǒng)的搬送效率。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供一種自動搬送軌道結(jié)構(gòu)，其包括主軌道和一個或多個支路軌道，該支路軌道具有一段支路主軌道及分別與該支路主軌道和主軌道相連接的支路連接軌道。[0008]其中，該支路主軌道即對應(yīng)于硅片存儲設(shè)備位置上方的存取操作軌道。進一步地，該支路主軌道的兩端分別連接有一段支路連接軌道，該兩段支路連接軌道分別連接至該主軌道之上。進一步地，該支路連接軌道兩端分別具有一段弧形軌道，該弧形軌道分別與支路連接軌道、以及主軌道或支路主軌道相切。如此設(shè)置目的在于，使輪子可以平滑地從主軌道運行至支路軌道，或平滑地從支路軌道運行至主軌道，以提高搬送系統(tǒng)的安全性。進一步地，每段支路軌道中的弧形軌道與相鄰支路軌道的弧形軌道不相接。如此設(shè)置目的在于，使輪子在一個硅片存儲設(shè)備處完成存取操作后行駛并回到主軌道上，避免因兩個弧形軌道相接而可能造成的輪子行駛錯位，避免了搬送系統(tǒng)運作中的安全隱患。較佳地，相鄰支路軌道的相鄰弧形軌道之間相距5-lOOOcm。另一方面，該相鄰兩段支路主軌道之間的支路連接軌道可以相連，使得兩個支路主軌道及其之間的支路連接軌道組成一個新的支路主軌道，這樣可以便于輸送車在連續(xù)兩個或多個硅片存儲設(shè)備之間作業(yè)，而不影響主軌道上的其他輸送車。進一步地，該支路連接軌道與主軌道的連接處設(shè)置有轉(zhuǎn)撤器。該轉(zhuǎn)撤器可用現(xiàn)有軌道建設(shè)領(lǐng)域的常用轉(zhuǎn)撤器，目的是為了便于切換輪子在主軌道或支路軌道中行駛。進一步地，該支路主軌道與主軌道通過一段支路連接軌道相連。如此設(shè)置與上述兩段支路連接軌道的不同在于:兩段支路連接軌道是從一段支路連接軌道進入支路主軌道而從另一段支路連接軌道駛出支路主軌道；一段支路連接軌道則是以“原路返回”的方式從該段支路連接軌道進出支路主軌道。在實際應(yīng)用中，兩段支路連接軌道的設(shè)置可以為同一段支路主軌道需要兩臺輸送車進行同時操作時提供便利，而一段支路連接軌道只允許支路主軌道上同時只有一臺輸送車存取操作。較佳地，該主軌道、支路主軌道和支路連接軌道位于同一平面。但在某些場合中，也可以不處于同一平面，例如在硅片存儲設(shè)備上方空間有限而主軌道方向有較大空間的情況下，將支路軌道設(shè)置在主軌道平面以下，如此設(shè)置，當輸送車從主軌道行駛到支路軌道時，便可下降到硅片存儲設(shè)備的高度，以便于存取硅片操作。本實用新型還提供一種自動搬送系統(tǒng)，其包括:至少一個硅片存儲設(shè)備；軌道結(jié)構(gòu)，包括主軌道和一個或多個支路軌道，該支路軌道具有一段支路主軌道及分別與該支路主軌道和主軌道相連接的支路連接軌道，該支路軌道與硅片存儲設(shè)備一一對應(yīng)而設(shè)，并位于硅片存儲設(shè)備上方；至少一輛輸送車，設(shè)置于軌道結(jié)構(gòu)上；以及控制單元，與該輸送車信號連接。進一步地，該支路主軌道的兩端分別連接有一段支路連接軌道，該兩段支路連接軌道分別連接至該主軌道之上。進一步地，該支路連接軌道兩端分別具有一段弧形軌道，該弧形軌道分別與支路連接軌道、以及主軌道或支路主軌道相切。進一步地，每段支路軌道中的弧形軌道與相鄰支路軌道的弧形軌道不相接。進一步地，該支路連接軌道與主軌道的連接處設(shè)置有轉(zhuǎn)撤器，該轉(zhuǎn)撤器與控制單元信號連接。[0025]進一步地，該支路主軌道與主軌道通過一段支路連接軌道相連。進一步地，該主軌道、支路主軌道和支路連接軌道位于同一平面。本實用新型采用以上技術(shù)方案，通過主軌道與支路軌道的設(shè)置，可以實現(xiàn)前方輸送車在一處硅片存儲設(shè)備上方的支路軌道區(qū)域取放硅片盒時，后方的輸送車能夠沿著主軌道繼續(xù)前行至更前方的硅片存儲設(shè)備所在支路軌道區(qū)域，提高了 AMHS系統(tǒng)的搬送效率。

為能更清楚理解本實用新型的目的、特點和優(yōu)點，以下將結(jié)合附圖對本實用新型的較佳實施例進行詳細描述，其中:圖1是傳統(tǒng)的AMHS系統(tǒng)的軌道結(jié)構(gòu)走向設(shè)計圖；圖2是本實用新型第一實施例的自動搬送系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實用新型第一實施例中第一支路軌道部分的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本實用新型第二實施例的軌道結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
第一實施例請同時參閱圖2和圖3，本實施例中，自動搬送軌道結(jié)構(gòu)包括第一主軌道205和四個支路軌道(第一支路軌道211、第二支路軌道212、第三支路軌道213以及第四支路軌道214)，四個支路軌道均各自具有一段支路主軌道(第一支路主軌道211a、第二支路主軌道、第三支路主軌道以及第四支路主軌道)及分別與該四段支路主軌道和第一主軌道205相連接的支路連接軌道，以第一支路軌道211為例，第一支路主軌道211a的兩端分別連接有第一支路連接軌道211b和第二支路連接軌道211c，第一支路連接軌道211b和第二支路連接軌道211c分別連接至第一主軌道205之上。第一支路連接軌道211b的兩端分別具有第一弧形軌道211d和第二弧形軌道211e，第一弧形軌道211d分別與第一支路連接軌道211b以及第一主軌道205相切，第二弧形軌道211e分別與第一支路連接軌道211b以及第一支路主軌道211a相切。第一支路軌道211中的第一弧形軌道21 Id與相鄰第二支路軌道212的弧形軌道不相接，且兩者相距100cm。第一弧形軌道211d與第一主軌道205的連接處還設(shè)置有轉(zhuǎn)撤器(未圖示)，以在主軌道與支路軌道間切換。其中，第一主軌道205、四個支路軌道、四個支路主軌道以及各支路連接軌道和弧形軌道均位于同一平面上。本實施例的自動搬送系統(tǒng)除了包括上述軌道結(jié)構(gòu)外，還包括分別與第一支路軌道211、第二支路軌道212、第三支路軌道213以及第四支路軌道214對應(yīng)而設(shè)的第一硅片存儲設(shè)備201、第二硅片存儲設(shè)備202、第三硅片存儲設(shè)備203以及第四硅片存儲設(shè)備204，該四個硅片存儲設(shè)備位于四個支路軌道的下方；此外，自動搬送系統(tǒng)還包括第一輸送車206、第二輸送車207和控制單元(未圖示)，控制單元分別與兩個輸送車和各轉(zhuǎn)撤器信號連接。本實施例的操作過程如下:步驟SOl，第二輸送車207接收到控制單元發(fā)出的指令，沿著第一主軌道205行駛至第四硅片存儲設(shè)備204附近，第四支路軌道214的轉(zhuǎn)撤器接收到指令將第二輸送車207的車輪引導(dǎo)至第四支路軌道214，第二輸送車207即位于第四硅片存儲設(shè)備204上方，進行取硅片盒的作業(yè)； 步驟S02，第二輸送車207作業(yè)的同時，第一輸送車206接收到指令，沿著第一主軌道205，經(jīng)過第四硅片存儲設(shè)備204上方的區(qū)域(此時，第四支路軌道214的轉(zhuǎn)撤器接收到指令并轉(zhuǎn)向至第一主軌道205，使第一輸送車206繼續(xù)沿著第一主軌道205行駛)，到達第三硅片存儲設(shè)備203附近，第三支路軌道213的轉(zhuǎn)撤器將第一輸送車206引導(dǎo)至第三支路軌道213,第一輸送車206即位于第三娃片存儲設(shè)備203上方,進行存放娃片盒的作業(yè)；步驟S03，第二輸送車207完成作業(yè)，從第四支路軌道214返回到第二主軌道205，離開第四硅片存儲設(shè)備204區(qū)域；步驟S04，第一輸送車206完成作業(yè)，從第三支路軌道213返回到第二主軌道205，離開第三硅片存儲設(shè)備203區(qū)域。第二實施例請參閱圖4，本實施例中，第五支路主軌道311a是通過一段第五支路連接軌道311b與第二主軌道305相連，第五支路連接軌道311b設(shè)于第五支路主軌道311a的中間。與第一實施例相類似的，第五支路連接軌道311b也可以在與第五支路主軌道311a和第二主軌道305連接之處設(shè)置弧形軌道和轉(zhuǎn)撤器。其中，第二主軌道305、第五支路主軌道311a和第五支路連接軌道311b位于同一平面上。
權(quán)利要求1.一種自動搬送軌道結(jié)構(gòu)，其特征在于:其包括主軌道和一個或多個支路軌道，該支路軌道具有一段支路主軌道及分別與該支路主軌道和主軌道相連接的支路連接軌道。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動搬送軌道結(jié)構(gòu)，其特征在于:該支路主軌道的兩端分別連接有一段支路連接軌道，該兩段支路連接軌道分別連接至該主軌道之上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的自動搬送軌道結(jié)構(gòu)，其特征在于:該支路連接軌道兩端分別具有一段弧形軌道，該弧形軌道分別與支路連接軌道、以及主軌道或支路主軌道相切。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的自動搬送軌道結(jié)構(gòu)，其特征在于:每段支路軌道中的弧形軌道與相鄰支路軌道的弧形軌道不相接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的自動搬送軌道結(jié)構(gòu)，其特征在于:該支路連接軌道與主軌道的連接處設(shè)置有轉(zhuǎn)撤器。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動搬送軌道結(jié)構(gòu)，其特征在于:該支路主軌道與主軌道通過一段支路連接軌道相連。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6任一項所述的自動搬送軌道結(jié)構(gòu)，其特征在于:該主軌道、支路主軌道和支路連接軌道位于同一平面。
8.一種自動搬送系統(tǒng)，其特征在于，其包括: 至少一個硅片存儲設(shè)備； 軌道結(jié)構(gòu)，包括主軌道和一個或多個支路軌道，該支路軌道具有一段支路主軌道及分別與該支路主軌道和主軌道相連接的支路連接軌道，該支路軌道與硅片存儲設(shè)備一一對應(yīng)而設(shè)，并位于硅片存儲設(shè)備上方； 至少一輛輸送車，設(shè)置于軌道結(jié)構(gòu)上；以及 控制單元，與該輸送車信號連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的自動搬送系統(tǒng)，其特征在于:該支路主軌道的兩端分別連接有一段支路連接軌道，該兩段支路連接軌道分別連接至該主軌道之上。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的自動搬送系統(tǒng)，其特征在于:該支路連接軌道兩端分別具有一段弧形軌道，該弧形軌道分別與支路連接軌道、以及主軌道或支路主軌道相切。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的自動搬送系統(tǒng)，其特征在于:每段支路軌道中的弧形軌道與相鄰支路軌道的弧形軌道不相接。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的自動搬送系統(tǒng)，其特征在于:該支路連接軌道與主軌道的連接處設(shè)置有轉(zhuǎn)撤器，該轉(zhuǎn)撤器與控制單元信號連接。
13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的自動搬送系統(tǒng)，其特征在于:該支路主軌道與主軌道通過一段支路連接軌道相連。
14.根據(jù)權(quán)利要求8至13任一項所述的自動搬送系統(tǒng)，其特征在于:該主軌道、支路主軌道和支路連接軌道位于同一平面。
專利摘要本實用新型公開了一種自動搬送軌道結(jié)構(gòu)及搬送系統(tǒng)，該軌道結(jié)構(gòu)包括主軌道和一個或多個支路軌道，該支路軌道具有一段支路主軌道及分別與該支路主軌道和主軌道相連接的支路連接軌道。本實用新型通過主軌道與支路軌道的設(shè)置，可以實現(xiàn)前方輸送車在一處硅片存儲設(shè)備上方的支路軌道區(qū)域取放硅片盒時，后方的輸送車能夠沿著主軌道繼續(xù)前行至更前方的硅片存儲設(shè)備所在支路軌道區(qū)域，提高了AMHS系統(tǒng)的搬送效率。
文檔編號B65G35/00GK202967393SQ20122065977
公開日2013年6月5日 申請日期2012年12月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月4日
發(fā)明者李佳青 申請人:上海集成電路研發(fā)中心有限公司