專利名稱：部件檢查裝置以及處理器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉以及部件檢查裝置以及處理器。
背景技術：
以往在針對半導體設備等各種設備的電氣特性檢查中，廣泛使用由處理器來輸送作為輸送對象的設備的部件檢查裝置。在部件檢查裝置中，設備的檢查是在適合各設備的使用環(huán)境的溫度下進行的，例如不少是在(TC以下的低溫環(huán)境下進行。在進行這樣的低溫環(huán)境下的檢查的部件檢查裝置中，例如如專利文獻I所述，搭載有用于冷卻設備的恒溫槽以及冷卻并檢查設備的檢測器。并且，在部件檢查裝置中，在恒溫槽中冷卻至規(guī)定溫度的設備被輸送到檢測器，來進行低溫下的檢查。專利文獻1:日本特開2004-347329號公報然而，部件檢查裝置一般被設置于保持為常溫的環(huán)境中，因此當從恒溫槽運出的設備被輸送至檢測器時，在設備的表面與外部空氣之間會產生溫度差，從而在設備表面出現(xiàn)結露現(xiàn)象。因此，為了避免設備表面的結露，在專利文獻I所述的部件檢查裝置中形成有用于容納恒溫槽、檢測器以及設備的輸送空間的腔室。并且，向該腔室內供給被干燥至不會因上述溫度差而產生結露的程度的空氣。由此，雖然能夠抑制輸送設備時在設備的表面產生結露，但是由于需要向上述腔室供給干燥氣體，因此不得不增加干燥氣體的消耗量。

發(fā)明內容
本發(fā)明是鑒于該實際情況而產生的，其目的在于提供能夠在對輸送對象進行輸送時控制所消耗的干燥氣體的量并防止在輸送對象上產生結露現(xiàn)象的部件檢查裝置以及處·理器。為了解決上述課題，本發(fā)明的部件檢查裝置的一個方式具有:載置輸送對象并冷卻該輸送對象的載置部；從所述載置部對載置于所述載置部的輸送對象進行輸送的輸送機器人；以及檢查所述輸送對象的檢測器，所述輸送機器人具備:對載置于所述載置部的輸送對象進行保持的保持部；使所述保持部離開所述載置部的臂；在所述保持部離開所述載置部的狀態(tài)下將所述保持部與所述輸送對象一起容納的容納體；以及向所述容納體內供給干燥的氣體的干燥氣體供給部。本發(fā)明的處理器的一個方式具備:載置輸送對象并冷卻該輸送對象的載置部；和從所述載置部對載置于所述載置部的輸送對象進行輸送的輸送機器人，所述輸送機器人具備:對載置于所述載置部的輸送對象進行保持的保持部；使所述保持部離開所述載置部的臂；在所述保持部離開所述載置部的狀態(tài)下將所述保持部和所述輸送對象一起容納的容納體；以及向所述容納體內供給干燥的氣體的干燥氣體供給部。根據(jù)本發(fā)明的部件檢查裝置的一個方式以及處理器的一個方式，對在載置部被冷卻后的輸送對象進行輸送的輸送機器人具有用于對保持于保持部的輸送對象進行容納的容納體，并向該容納體的內部供給干燥的氣體。因此，在由輸送機器人對輸送對象進行輸送時，輸送對象保持在被供給有干燥的氣體的空間內，從而能夠抑制輸送對象與容納體外側的氣體接觸。因此，即使不向用于輸送冷卻后的輸送對象的空間整體供給干燥氣體，在輸送輸送對象時，也能夠抑制在輸送對象的表面產生的結露。本發(fā)明的部件檢查裝置的其他方式構成為，將所述容納體作為第一容納體，具備容納所述載置部的容納體亦即第二容納體，使所述第一容納體與所述第二容納體連接。根據(jù)本發(fā)明的部件檢查裝置的其他方式，因為容納載置部的第二容納體與容納輸送對象和保持部的第一容納體連接，所以能夠進一步抑制輸送對象與容納體以及容納箱的外側的氣體接觸。因此能夠進一步抑制在輸送對象表面產生的結露。本發(fā)明的處理器的其他方式構成為，將所述容納體作為第一容納體，將所述干燥氣體供給部作為第一干燥氣體供給部，具有:容納所述載置部的容納體亦即第二容納體；和向所述第二容納體內供給干燥的氣體的第二干燥氣體供給部。根據(jù)本發(fā)明的處理器的其他方式，也向容納載置部的第二容納體的內部供給干燥的氣體。因此，在由載置部冷卻輸送對象時，被冷卻的輸送對象被保持在供給有干燥的氣體的空間內，因此輸送對象難以與第二容納體的外側的氣體接觸。因此，由于輸送對象在冷卻時和輸送時的兩者的情況下都被保持在供給有干燥的氣體的空間中，從而更難以在輸送對象的表面產生結露。本發(fā)明的處理器的其他方式構成為，所述載置部具有供制冷劑流動的流路，所述第二干燥氣體供給部將從所述載置部的所述流路排出的所述制冷劑作為所述干燥的氣體而供給至所述第二容納體。根據(jù)本發(fā)明的處理器的其他方式，第二干燥氣體供給部將從載置部排出的制冷劑供給至第二容納體，從而將其作為供給至第二容納體內的干燥的氣體來使用。因此，與將用于載置部的輸送對象的冷卻的制冷劑以及供給至第二容納體的干燥的氣體作為單獨的氣體來準備的情況相比，不 但能簡化與氣體的供給相關的結構，還能進行輸送對象的冷卻以及向第二容納體供給干燥的氣體這兩者。本發(fā)明的處理器的其他方式構成為，所述第二干燥氣體供給部具有干燥氣體加熱部，該干燥氣體加熱部對從所述載置部的所述流路排出的所述制冷劑進行加熱。根據(jù)本發(fā)明的處理器的其他方式，因為第二干燥氣體供給部具有對制冷劑進行加熱的干燥氣體加熱部，所以被該干燥氣體加熱部加熱后的制冷劑作為上述干燥的氣體而被供給至第二容納體。由此，能夠進一步抑制供給至第二容納體內的氣體的溫度在露點以下，因此難以在第二容納體內的輸送對象的表面產生結露。另外，還易于抑制構成第二容納體的外表面的部件的溫度成為第二容納體的外部環(huán)境的露點以下，從而也難以在構成第二容納體的外表面的部件上產生結露。本發(fā)明的處理器的其他方式構成為，所述第一容納體和所述第二容納體具有開口部，該開口部用于供所述保持部以及保持于所述保持部的輸送對象通過。根據(jù)本發(fā)明的處理器的其他方式，第一容納體和第二容納體具有開口部，該開口部用于供輸送機器人的保持部、和保持于保持部的輸送對象通過。因此，在將載置于載置部的輸送對象容納在第一容納體內時,輸送對象經由形成于第二容納體的開口部、和形成于第一容納體的開口部而被輸送。所以，與通過開閉第一容納體、第二容納體本身來將輸送對象從載置部向第一容納體輸送的結構相比，能夠更加簡化第一容納體和第二容納體的結構。此外，還能夠進一步抑制輸送對象與第一容納體及第二容納體的外側的氣體接觸，進而更難以在輸送對象的表面產生結露。本發(fā)明的處理器的其他方式構成為，將所述第一容納體的開口部作為第一開口部，將所述第二容納體的開口部作為第二開口部，所述第一容納體具有覆蓋所述第一開口部的第一蓋部，所述第二容納體具有覆蓋所述第二開口部的第二蓋部，在所述保持部通過所述第一開口部時所述第一蓋部敞開，在所述保持部通過所述第二開口部時所述第二蓋部敞開。根據(jù)本發(fā)明的處理器的其他方式，第一容納體具有覆蓋第一開口部的第一蓋部，第二容納體具有覆蓋第二開口部的第二蓋部。而且，在保持部通過第一開口部時第一蓋部敞開，在保持部通過第二開口部時第二蓋部敞開。因此，與第一容納體及第二容納體沒有蓋部的情況相比，第一容納體及第二容納體的外側的氣體難以混入到第一容納體內及第二容納體內。因此，第一容納體內和第二容納體內容易充滿干燥的氣體，從而難以在容納于第一容納體內以及第二容納體內的輸送對象的表面產生結露。本發(fā)明的處理器的其他方式構成為，將所述容納體作為第一容納體，將所述干燥氣體供給部作為第一干燥氣體供給部，具有檢測所述第一容納體內的氣體的性狀的傳感器，基于所述傳感器的檢測結果來改變從所述第一干燥氣體供給部向所述第一容納體供給的所述干燥的氣體的流量。

根據(jù)本發(fā)明的處理器的其他方式，具有檢測第一容納體內的氣體的性狀、例如溫度、濕度等的傳感器。而且，基于該傳感器的檢測結果，來改變從第一干燥氣體供給部向第一容納體供給的干燥的氣體的流量。因此，與不具有這樣的傳感器的結構相比，傳感器檢測時的第一容納體內的性狀被反映到供給至第一容納體內的干燥的氣體的流量中。所以，容易將第一容納體內的氣體的性狀保持為規(guī)定條件，進而，第一容納體內容易保持為不使輸送對象的表面產生結露的環(huán)境。


圖1是表示將本發(fā)明的部件檢查裝置具體化的第一實施方式的各構成部件的配置的裝置結構圖。圖2是表示第一實施方式的處理器所具備的冷卻部的流路系統(tǒng)的系統(tǒng)圖。圖3是表示第一實施方式的處理器所具備的輸送機器人以及第一往復機構的部分結構的結構圖。圖4是表不第一實施方式的處理器的電氣結構的電氣框圖。圖5是表示由第一實施方式的處理器實施的設備的輸送方式的作用圖。圖6是表示由第一實施方式的處理器實施的設備的輸送方式的作用圖。圖7是表示由第一實施方式的處理器實施的設備的輸送方式的作用圖。圖8是表示將本發(fā)明的部件檢查裝置具體化的第二實施方式的輸送機器人以及第一往復機構的部分結構的結構圖。圖9是表不第二實施方式的處理器的電氣結構的電氣框圖。圖10是表示由第二實施方式的處理器實施的設備的輸送方式的作用圖。圖11是表示由第二實施方式的處理器實施的設備的輸送方式的作用圖。
圖12是表示由第二實施方式的處理器實施的設備的輸送方式的作用圖。圖13是表示由第二實施方式的處理器實施的設備的輸送方式的作用圖。圖14是表示由第二實施方式的處理器實施的設備的輸送方式的作用圖。圖15是表示由第二實施方式的處理器實施的設備的輸送方式的作用圖。
具體實施例方式第一實施方式以下，參照圖1 圖7，說明本發(fā)明的部件檢查裝置以及處理器的第一實施方式。首先，參照圖1說明處理器以及部件檢查裝置的整體結構。處理器以及部件檢查裝置的結構如圖1所示，在處理器10的基座11上，將供各種機器人搭載的搭載面Ila設為上表面，搭載面Ila的大部分被罩部件12覆蓋。從外部向被搭載面Ila和罩部件12包圍的空間亦即輸送空間供給被保持為常溫例如18°C的大氣。在基座11的搭載面Ila上排列有4臺輸送帶Cl C4，它們在罩部件12的外側與內側之間對作為輸送對象的設備T進行輸送。其中，在輸送帶Cl C4的排列方向亦即X方向的一側，敷設有從罩 部件12的外側向內側輸送檢查前的設備T的供給用輸送帶Cl，在X方向的另一側，敷設有從罩部件12的內側向外側輸送檢查后的設備T的回收用輸送帶C2、C3、C4。在上述輸送帶Cl C4中，以將多臺設備T容納于各輸送帶Cl C4上的設備托盤Cla C4a的狀態(tài)進行輸送。另外，在構成輸送空間的搭載面Ila的大致中央，形成有貫通搭載面Ila的矩形狀的開口部13，在開口部13安裝有檢查設備T的電氣特性的檢測器的測試頭14。在測試頭14的上表面安裝有供設備T嵌入的檢查用插座14a，另外，測試頭14與容納于基座11的內部的檢測器的檢查電路電連接。而且，在搭載面Ila的與X方向正交的Y方向上，以隔著開口部13對置的方式配設有第一往復機構15和第二往復機構16，用于暫時載置檢查前和檢查后的設備T。上述往復機構15、16形成為沿X方向延伸,在往復機構15、16的上表面的供給用輸送帶Cl 一側,分別固定有對檢查前的設備T進行容納的供給用往復板15a、16a。另一方面，在往復機構15、16的上表面的回收用輸送帶C2 C4 一側，分別固定有對檢查后的設備T進行容納的回收用往復板15b、16b。另外,在供給用往復板15a、16a和回收用往復板15b、16b的各個上表面上，形成有多個容納設備T的設備凹處15p、16p。并且，往復機構15、16分別與固定于搭載面Ila的沿X方向延伸的往復機構引導件15c、16c連結，并沿著X方向進行往、復移動。此夕卜，上述檢查用插座14a、往復板15a、15b、16a、16b構成載置部。在基座11的搭載面I Ia上搭載有機器人機構,用于分別向檢查用插座14a、供給用往復板15a、16a以及回收用往復板15b、16b輸送設備T。并且使上述往復機構15、16配合構成機器人機構的供給機器人20、輸送機器人30以及回收機器人40的動作，而沿往復機構引導件15c、16c移動。供給機器人20是從供給用輸送帶Cl上的設備托盤Cla向往復機構15、16上的供給用往復板15a、16a輸送檢查前的設備T的機器人，其沿供給用輸送帶Cl的Y方向配置。詳細地說，供給機器人20具有:沿Y方向延伸的固定軸亦即供給側固定引導件21 ;能夠相對于供給側固定引導件21而沿Y方向往、復移動地與供給側固定引導件21連結的供給側可動引導件22 ；以及能夠相對于供給側可動引導件22而沿X方向往、復移動地與供給側可動引導件22連結的供給用機械手單元23。另外，供給用機械手單元23在其下端具有吸附設備T的吸附部，其相對于搭載面Ila能夠下降以及上升地與供給側可動引導件22連結。而且，通過供給側可動引導件22及供給用機械手單元23的移動，載置于設備托盤Cla的設備T在被吸附于供給用機械手單元23的吸附部的狀態(tài)下被輸送，并被載置于供給用往復板15a、16a?；厥諜C器人40是將檢查后的設備T從往復機構15、16上的回收用往復板15b、16b向回收用輸送帶C2 C4上的設備托盤C2a C4a輸送的機器人，其沿回收用輸送帶C2 C4的Y方向配置。詳細地說，回收機器人40與上述供給機器人20相同，具有:沿Y方向延伸的固定軸亦即回收側固定引導件41 ;能夠相對于回收側固定引導件41而沿Y方向往、復移動地與回收側固定引導件41連結的回收側可動引導件42 ；以及能夠相對于回收側可動引導件42而沿X方向往、復移動地與回收側可動引導件42連結的回收用機械手單元43。另外，回收用機械手單元43在下端具有吸附設備T的吸附部，該回收用機械手單元43相對于搭載面Ila能夠下降以及上升地與回收側可動引導件42連結。而且，通過回收側可動引導件42和回收用機械手單元43的移動，載置于回收用往復板15b、16b的設備T被回收用機械手單元43的吸附部吸附而被輸送，并載置于設備托盤C2a C4a。輸送機器人30具有:設置于輸送空間的大致中央的沿Y方向延伸的固定軸亦即輸送引導件31 ;能夠相對于輸送引導件31而沿Y方向往、復移動地與輸送引導件31連結的第一輸送單兀32 ；以及同樣能夠相對于輸送引導件31而沿Y方向往、復移動地與輸送引導件31連結的第二輸送單兀33。其中，第一輸送單兀32在第一往復機構15上與測試頭14上之間往復移動，第二輸送單元33在第二往復機構16上與測試頭14上之間往復移動。另夕卜，第一輸送單元32和第二輸送單元33分別在下端具有吸附設備T的吸附部，并相對于搭載面Ila能夠下降以及上升地與輸送引導件31連結。進而，第一輸送單元32使在第一往復機構15上的供給用往復板15a上載置的檢查前的設備T吸附于吸附部并對其進行輸送，并以規(guī)定的按壓力使設備T嵌入測試頭14的檢查用插座14a。在檢查用插座14a的底面凹設有能夠與設備T的凸端子嵌合的多個凹端子，通過使設備T具有的凸端子嵌入檢查用插座14a的凹端子，由此能夠通過檢測器來檢查設備T的電氣特性。檢測器從處理器10接受開始檢查的指令，而開始檢查設備T，并將該檢查結果與表示檢查結束的信號一起向處理器10輸出。當這樣結束設備T的檢查后，則第一輸送單元32將檢查后的設備T從測試頭14的檢查用插座14a向第一往復機構15上的回收用往復板15b輸送。同樣，第二輸送單元33使在第二往復機構16上的供給用往復板16a上載置的檢查前的設備T吸附于吸附部而對其進行輸送，并以規(guī)定的按壓力設備T嵌入測試頭14的檢查用插座14a。然后，當由檢測器進行的設備T的檢查結束后，則第二輸送單元33將檢查后的設備T從測試頭14的檢查用插座14a向第二往復機構16上的回收用往復板16b輸送。這樣的由第一輸送單元32和第二輸送單元33進行的將設備T向測試頭14的輸送是交替進行的，被測試頭14輸送的設備T依次被 檢測器檢查。另外，供給用機械手單元23、回收用機械手單元43、第一輸送單元32以及第二輸送單元33同時吸附并保持多個設備T，各吸附部例如是通過真空吸附來吸附設備T的末端執(zhí)行器。此處，在本實施方式中，在第一往復機構15的周圍配設有第一容納箱51，該第一容納箱51用于容納第一往復機構15、供給用往復板15a以及回收用往復板15b。同樣，在開口部13以及安裝于開口部13的測試頭14的周圍配設有檢查箱52，該檢查箱52用于容納測試頭14和檢查用插座14a。進而，在第二往復機構16的周圍配設有第二容納箱53，該第二容納箱53用于容納第二往復機構16、供給用往復板16a以及回收用往復板16b。另外，第一容納箱51與第一往復機構15 —起沿X方向往、復移動，并且，第二容納箱53與第二往復機構16—起沿X方向往、復移動。進而，分別在構成第二容納體的第一容納箱51、檢查箱52以及第二容納箱53中對容納在各箱51 53內的各部件以及設備T進行冷卻。冷卻部的結構參照圖2說明進行上述各部件以及設備T的冷卻的冷卻部。另外，對于分別在上述第一容納箱51、檢查箱52以及第二容納箱53進行冷卻的冷卻部而言，雖然各冷卻部的搭載位置、冷卻對象不同，但是對冷卻對象進行冷卻的制冷劑的流路系統(tǒng)的結構相同，因此以下僅說明第一容納箱51的冷卻部。在配設于第一容納箱51內的第一往復機構15的內部，形成有供作為制冷劑的冷卻氣體流動的流路，在該流路的入口，如圖2所示，連接有冷卻氣體供給部61。冷卻氣體供給部61例如由液體氮的貯罐、流量控制閥以及汽化器構成，將因液體氮的氣化所產生的(TC以下、例如_45°C的氮氣供給至第一往復機構15內的流路。冷卻氣體供給部61所供給的氮氣的溫度比供給該氮氣的環(huán)境的溫度低。并且，當從冷卻氣·體供給部61向第一往復機構15內的流路供給氮氣后，則第一往復機構15被冷卻，繼而經由第一往復機構15而對供給用往復板15a以及回收用往復板15b進行冷卻。在形成于第一往復機構15內的流路的出口處連接有作為干燥氣體加熱部的冷卻氣體加熱部62，該冷卻氣體加熱部62對通過第一往復機構15內部的冷卻氣體進行加熱，在冷卻氣體加熱部62的出口處連接有第一容納箱51。冷卻氣體加熱部62例如是在冷卻氣體與比其溫度高的氣體之間進行熱交換的熱交換器，將從第一往復機構15內的流路排出的冷卻氣體例如加熱到常溫，并將加熱后的冷卻氣體供給到第一容納箱51內。由此，能夠進一步抑制被供給到第一容納箱51內的氣體的溫度變?yōu)槁饵c以下，因此難以在容納于第一容納箱51內的設備T的表面產生結露。另外,易于抑制構成第一容納箱51的外表面的部件的溫度成為第一容納箱51的外部空氣的露點以下，從而也難以在構成第一容納箱51的外表面的部件上產生結露。此外,冷卻氣體加熱部62進行加熱以使冷卻氣體的溫度達到第一容納箱51的外部空氣的露點以上。由此，更難以在第一容納箱51內的設備T以及構成第一容納箱51的外表面的部件上產生結露。這樣，在本實施方式中，第一往復機構15、往復板15a、15b、冷卻氣體供給部61以及冷卻氣體加熱部62構成冷卻部。進而,冷卻氣體供給部61和冷卻氣體加熱部62構成第二干燥氣體供給部。輸送機器人及容納箱的結構參照圖3說明上述輸送機器人30的結構，特別是對輸送機器人30具有的輸送單兀32、33以及各箱51 53的結構進行說明。另外，圖3表不通過第一往復機構15向X方向的移動以及第一輸送單兀32向Y方向的移動而使第一輸送單兀32位于第一往復機構15的供給用往復板15a的正上方的狀態(tài)。另外，雖然第一輸送單元32和第二輸送單元33，配設位置和作為輸送對象的設備T等不同，但是用于輸送設備T的結構相同，因此以下僅說明第一輸送單元32。而且，雖然第一容納箱51和第二容納箱53配設位置不同，但是用于容納搭載于內部的設備T的結構相同，因此以下僅說明第一容納箱51。進而，雖然第一容納箱51和檢查箱52，配設位置以及箱內所容納的部件不同，但是由于在被箱包圍的空間內容納設備T這一點上是共同的，所以通過對第一容納箱51的說明來代替對檢查箱52的說明。如圖3所不，第一容納箱51形成將第一往復機構15和供給用往復板15a容納在內部的箱體狀。在第一容納箱51的與第一輸送單兀32對置的面亦即上表面上,且在設備凹處15p的正上方形成有能夠供設備T通過的作為第二開口部的矩形狀的開口部51h。第一輸送單元32具有:水平移動臂71，該水平移動臂71能夠相對于輸送引導件31而沿Y方向往、復移動地與輸送引導件31連接；固定于水平移動臂71的支承部72 ;以及作為沿與Y方向正交的Z方向下降及 上升的臂的垂直移動臂73，該垂直移動臂73相對于支承部72能夠移動地與支承部72連接。此外，第一輸送單元32具有:與垂直移動臂73的下端連接的作為保持部的吸附部74、和固定于水平移動臂71的例如箱體狀的作為第一容納體的臂箱75。垂直移動臂73通過下降而靠近往復板15a、15b，另一方面通過上升而離開往復板 15a、15b ο在臂箱75的上表面形成有供圓柱狀的支承部72插通的例如圓筒形狀的插通孔75a，支承部72的外周面與插通孔75a的內周面之間被密封部件等密封。另外，在臂箱75的與基座11對置的面亦即下表面形成有作為第一開口部的矩形狀的開口部75h，該開口部75h能夠供吸附有設備T的或沒有吸附設備T的吸附部74通過。此外，上述第一容納箱51的開口部51h與臂箱75的開口部75h雖然大致為相同形狀，但是只要是能夠供吸附有設備T的或沒有吸附設備T的吸附部74通過的大小，也可以不是相同形狀。臂箱75的Z方向的長度為能夠將支承部72、位于最上位置亦即輸送位置的垂直移動臂73、吸附部74以及設備T容納在臂箱75的內部的長度。另外，臂箱75在Z方向的長度是第一輸送單元32位于第一容納箱51的正上方時，在臂箱75的下表面與第一容納箱51的上表面之間形成間隙的長度。另外，向第一容納箱51和臂箱75供給干燥空氣，上述箱51、75的內部相對于各自的箱51、75的外部處于正壓狀態(tài)。因此，干燥空氣從第一容納箱51的開口部51h和臂箱75的開口部75h流出。所以，能夠抑制外部空氣從開口部51h侵入到第一容納箱51內、以及外部空氣從開口部75h侵入到臂箱75內。而且，在臂箱75的下表面與第一容納箱51的上表面之間形成的間隙的大小為:在開口部75h與開口部5Ih對置地配置時會被從這些開口部75h、5Ih流出的干燥空氣充滿的大小。由此，在將設備T從第一容納箱51向臂箱75、或從臂箱75向第一容納箱51傳遞時，上述間隙處于被干燥空氣充滿的狀態(tài)。由此能夠抑制位于臂箱75和第一容納箱51的間隙內的設備T與外部空氣接觸。并且，在垂直移動臂73的位置位于輸送位置與從輸送位置下降規(guī)定距離的位置亦即容納位置之間時，臂箱75容納支承部72、垂直移動臂73、吸附部74以及設備T。作為向臂箱75的內部供給干燥空氣的第一干燥氣體供給部的干燥空氣供給部76，經由調節(jié)干燥空氣的流量的氣閥77而與臂箱75連接。干燥空氣供給部76例如具有壓縮機和干燥器，將被調節(jié)了水分量的壓縮空氣供給至臂箱75內。干燥空氣供給部76所供給的壓縮空氣的露點比在各箱內設備T所達到的最低溫度低。部件檢查裝置的電氣結構參照圖4說明部件檢查裝置的電氣結構。另外，以下對與構成部件檢查裝置的處理器10中搭載的輸送單元32、33以及往復機構15、16的動作相關的電氣結構進行說明，而省略除此以外的電氣結構。另外，與輸送單元32、33的各個動作相關的電氣結構雖然控制對象不同，但是每個構成部件的功能都相同，因此對與第一輸送單元32的動作相關的電氣結構進行說明，而省略對與第二輸送單元33的動作相關的電氣結構的說明。而且，與往復機構15、16的各動作相關的電氣結構，雖然控制對象不同，但是所有構成部件的功能都相同，因此對與第一往復機構15的動作相關的電氣結構進行說明，而省略對與第二往復機構16的動作相關的電氣結構的說明。如圖4所示，在部件檢查裝置上搭載有的控制裝置80，用于對構成上述機器人機構的各機器人20、30、40、各輸送帶Cl C4的動作進行控制?？刂蒲b置80以具有中央處理裝置(CPU)、非易失 性存儲器(ROM)以及易失性存儲器(RAM)的微機為中心構成。驅動第一輸送單元32的第一輸送單元驅動部81與控制裝置80連接，第一輸送單元驅動部81由滑動電機驅動部81a、上下移動電機驅動部81b、吸附閥驅動部81c以及氣閥驅動部81d構成。其中，滑動電機驅動部81a基于從控制裝置80輸入的驅動指令而生成驅動電流，并向滑動電機71M輸出?；瑒与姍C71M根據(jù)輸入的驅動電流進行正轉或反轉，由此水平移動臂71在Y方向上往動或復動。上下移動電機驅動部81b基于從控制裝置80輸入的驅動指令而生成驅動電流，并向上下移動電機73M輸出。上下移動電機73M根據(jù)輸入的驅動電流進行正轉或反轉，由此垂直移動臂73沿Z方向下降或上升。吸附閥驅動部81c基于從控制裝置80輸入的開閉指令而生成驅動電壓，并將其向吸附閥74V輸出，該吸附閥74V控制由吸附部74進行的對設備T的吸附動作。吸附閥74V根據(jù)輸入的驅動電壓而開閥，由此開始吸附設備T，或者根據(jù)輸入的驅動電壓而閉閥，由此結束對設備T的吸附。氣閥驅動部81d基于從控制裝置80輸入的開閉指令而生成驅動電壓，并向上述氣閥77輸出。氣閥77根據(jù)輸入的驅動電壓而開閥，由此開始向臂箱75內供給干燥空氣，或者根據(jù)輸入的驅動電壓而閉閥，由此停止向臂箱75內供給干燥空氣。另外，驅動第一往復機構15的第一往復機構驅動部82與控制裝置80連接，第一往復機構驅動部82具有往復機構電機驅動部82a。往復機構電機驅動部82a基于從控制裝置80輸入的驅動指令而生成驅動電流，將其向往復機構電機15M輸出。往復機構電機15M根據(jù)輸入的驅動電流正轉或反轉，由此，第一往復機構15在X方向上往動或復動。處理器及部件檢查裝置的輸送動作參照圖5 圖7，對上述處理器及部件檢查裝置的第一輸送單元32將容納在第一往復機構15的供給用往復板15a的設備T向測試頭14輸送時的動作進行說明。另外，第一輸送單元32將容納于測試頭14的設備T向回收用往復板15b輸送時的動作，雖然輸送的路徑不同，但是與設備T的輸送相關的各部的動作方向、動作順序與以下說明的動作大致相同，因此省略其說明。另外，第二輸送單元33在第二往復機構16的供給用往復板16a、回收用往復板16b以及測試頭14之間輸送設備T時的動作，雖然與輸送相關的部件、輸送路徑也不同，但是與設備T的輸送相關的各部的動作方向、動作順序與以下說明的動作大致相同，因此省略其說明。首先，從冷卻氣體供給部61向第一往復機構15內的流路供給氮氣，經由第一往復機構15而對供給用往復板15a以及回收用往復板15b進行冷卻。并且從第一往復機構15內的流路排出的冷卻氣體被冷卻氣體加熱部62加熱到常溫，且加熱后的冷卻氣體被供給至第一容納箱51內。而且，與第一往復機構15相同，從冷卻氣體供給部向測試頭14內的流路供給氮氣，經由測試頭14而對檢查用插座14a進行冷卻。另外，從測試頭14的流路排出的冷卻氣體被冷卻氣體加熱部加熱到常溫，且加熱后的冷卻氣體被供給到檢查箱52內。從該狀態(tài)開始，在設備T從第一往復機構15的供給用往復板15a被輸送到測試頭14時，首先，控制裝置80向氣閥驅動部81d輸出開閥指令，通過氣閥驅動部81d對氣閥77開閥，從而開始向臂箱75內供給干燥空氣。接著，控制裝置80向往復機構電機驅動部82a輸出用于驅動往復機構電機15M的驅動信號，通過往復機構電機驅動部82a對往復機構電機15M的驅動，而將第一往復機構15上的供給用往復板15a配置在輸送引導件31的正下方。接下來，控 制裝置80向滑動電機驅動部81a輸出用于驅動滑動電機71M的驅動信號，通過滑動電機驅動部81a對滑動電機71M的驅動，使水平移動臂71沿Y方向移動。由此如圖5所示，第一輸送單元32被配置在第一往復機構15的供給用往復板15a的正上方，臂箱75的開口部75h與第一容納箱51的開口部51h相對置。當開口部75h與開口部51h對置時，則控制裝置80向上下移動電機驅動部81b輸出用于驅動上下移動電機73M的驅動信號，通過上下移動電機驅動部81b對上下移動電機73M的驅動，使垂直移動臂73下降。由此，在供給用往復板15a被冷卻的設備T與吸附部74接觸。進而，控制裝置80向吸附閥驅動部81c輸出用于使吸附閥74V開閥的驅動信號，通過吸附閥驅動部81c對吸附閥74V的開閥，使吸附部74吸附設備T。接著，控制裝置80向上下移動電機驅動部81b輸出用于驅動上下移動電機73M的驅動信號，通過上下移動電機驅動部81b對上下移動電機73M的驅動，使垂直移動臂73上升。由此，將吸附于吸附部74的設備T容納于臂箱75內。此時，吸附于吸附部74的設備T與供給至臂箱75的干燥空氣、以及供給至第一容納箱51的被加熱后的冷卻氣體接觸，而難以與臂箱75外側的氣體亦即外部空氣以及第一容納箱51外側的氣體亦即外部空氣接觸。因此即使不向用于輸送冷卻后的設備T的空間整體供給干燥空氣，在輸送設備T時，也能夠抑制在設備T的表面產生的結露。進而，控制裝置80向滑動電機驅動部81a輸出用于驅動滑動電機71M的驅動信號，通過滑動電機驅動部81a對滑動電機71M的驅動，使水平移動臂71沿Y方向移動。由此，如圖6所不,在設備T被容納于臂箱75中的狀態(tài)下,第一輸送單兀32從第一往復機構15的正上方朝向測試頭14的正上方移動。如圖7所示，當?shù)谝惠斔蛦卧?2位于測試頭14的正上方，臂箱75的開口部75h與檢查箱52的開口部相對置時，則控制裝置80向上下移動電機驅動部81b輸出用于驅動上下移動電機73M的驅動信號，通過上下移動電機驅動部81b對上下移動電機73M的驅動，使垂直移動臂73下降。由此，以規(guī)定的按壓力將吸附于吸附部74的設備T按壓于測試頭14的檢查用插座14a。此時，吸附于吸附部74的設備T與供給至臂箱75的干燥空氣以及供給至檢查箱52的加熱后的冷卻氣體接觸，而難以與臂箱75外側的氣體以及檢查箱52外側的氣體接觸。因此，即使不向用于輸送冷卻后的設備T的空間整體供給干燥空氣，在輸送設備T時，也能夠抑制在設備T表面產生的結露。而且，當設備T的檢查結束后，則控制裝置80生成并輸出用于驅動上下移動電機73M的驅動信號，上下移動電機驅動部81b基于驅動信號而驅動上下移動電機73M。由此，垂直移動臂73上升，將吸附于吸附部74的設備T容納于臂箱75內。如以上說明的那樣，根據(jù)部件檢查裝置和處理器的第一實施方式，能夠獲得以下列舉的效果。(I)對在往復板15a、15b、16a、16b以及檢查用插座14a冷卻后的設備T進行輸送的輸送機器人30，具有對保持于吸附部74的設備T進行容納的臂箱75，并向臂箱75內部供給干燥空氣。因此在由輸送機器人30輸送設備T時，設備T被保持在供給有干燥空氣的空間內，從而設備T難以與臂箱75外側的氣體接觸。所以，即使不向用于輸送冷卻后的設備T的空間整體供給干燥空氣，在輸送設備T時，也能夠抑制在設備T表面產生的結露。(2)也向各箱51 53的內部供給干燥空氣。因此，在設備T被往復板15a、15b、16a、16b以及檢查用插座14a冷卻時，冷卻的設備T被保持在供給有干燥空氣的空間內，因而設備T難以與各箱51 53外側的氣體接觸。所以，由于設備T在冷卻時與輸送時都被保持在供給有干燥空氣的空間中，因此更難以在設備T表面產生結露。(3)從往復板15a 、15b、16a、16b、以及檢查用插座14a排出的冷卻氣體被供給至各箱51 53。由此，冷卻氣體被作為供給至各箱51 53內的干燥空氣使用。因此，與將用于對往復板15a、15b、16a、16b以及檢查用插座14a上的設備T進行冷卻的冷卻氣體、與供給至各箱51 53的干燥空氣作為單獨的氣體來準備的情況相比，簡化了氣體供給方面的結構。(4)因為設置有加熱冷卻氣體的冷卻氣體加熱部62，所以將在該冷卻氣體加熱部62加熱的冷卻氣體作為干燥空氣而供給至各箱51 53。由此，能夠進一步抑制供給至各箱51 53內的干燥空氣的溫度成為露點以下，因此難以在各箱51 53內的設備T表面產生結露。另外，能夠抑制構成各箱51 53的外表面的部件的溫度成為各箱51 53的外部環(huán)境的露點以下，從而也難以在構成各箱51 53的外表面的部件上產生結露。(5)臂箱75以及各箱51 53具有開口部，該開口部供輸送機器人30的吸附部74及保持于吸附部74的設備T通過。因此，在將設備T容納于臂箱75內時，經由形成于各箱51 53的開口部和形成于臂箱75的開口部75h來輸送設備T。所以，與對臂箱75、各箱51 53本身進行開閉而將設備T從往復板15a、15b、16a、16b以及檢查用插座14a向臂箱75輸送的結構相比，能夠更簡化臂箱75以及各箱51 53的結構。此外，還能進一步抑制設備T與臂箱75以及各箱51 53的外側的氣體接觸，進而更難以在設備T的表面產生結露。
第二實施方式以下，參照圖8 圖15說明本發(fā)明的部件檢查裝置以及處理器的第二實施方式。另外，第二實施方式的處理器以及部件檢查裝置與上述第一實施方式的處理器以及部件檢查裝置相比，不同點在于輸送機器人30的輸送單元32、33以及各箱51 53的結構。因此，以下對這些構成進行說明，而省略對其他構成的說明。輸送機器人及容納箱的結構如圖8所示，第一容納箱51與第一實施方式相同，形成為將第一往復機構15與供給用往復板15a容納于內部的箱體狀。在第一容納箱51的上表面且在設備凹處15p的正上方，設置有能夠供第一輸送單元32的吸附部74通過的矩形狀的開口部51h。此外，第一容納箱51具有覆蓋開口部51h的作為第二蓋部的蓋部51a，蓋部51a具有沿X方向延伸的矩形狀的兩塊板部件51b、51c、以及分別驅動板部件51b、51c的未圖示的箱用開閉氣缸。在本實施方式中，第一容納箱51和蓋部51a構成第二容納體。進而，當對箱用開閉氣缸施加用于打開蓋部51a的開放壓力時，則箱用開閉氣缸收縮，從而板部件51b、51c分別被容納在第一容納箱51內。另一方面，當對箱用開閉氣缸施加用于關閉蓋部51a的關閉壓力時,貝U箱用開閉氣缸伸長，從而板部件51b、51c分別從第一容納箱51內向開口部51h突出。由此，板部件51b、51c的沿X方向延伸的突出端彼此接觸，從而開口部51h被板部件51b、51c覆蓋。第一輸送單元32與上述第一實施方式相同，具有水平移動臂71、支承部72、垂直移動臂73、吸附部74以及臂箱75，干燥空氣供給部76經由氣閥77而與臂箱75連接。此外，第一輸送單元32的臂箱75具有覆蓋上述開口部75h的作為第一蓋部的蓋部75b。蓋部75b具有沿X方向延伸的矩形狀的兩塊板部件75c、75d、和分別驅動板部件75c、75d的未圖示的臂用開閉氣缸。在本實施方式中，臂箱75和蓋部75b構成第一容納體。然后，當對臂用·開閉氣缸施加用于打開蓋部75b的開放壓力時，則臂用開閉氣缸收縮，從而板部件75c、75d分別被容納在臂箱75內。另一方面，當對臂用開閉氣缸施加用于關閉蓋部75b的關閉壓力時,貝U臂用開閉氣缸伸長，從而板部件75c、75d分別從臂箱75內向開口部75h突出。由此，板部件75c、75d的沿X方向延伸的突出端彼此接觸，從而開口部75h被板部件75c、75d覆蓋。部件檢查裝置的電氣結構參照圖9說明部件檢查裝置的電氣結構。另外，第二實施方式的電氣結構與上述第一實施方式的電氣結構相比，不同點在于，前者具有控制臂箱75的蓋部75b的動作的電氣結構、和控制第一容納箱51的動作的電氣結構。因此，以下詳細說明上述不同點。如圖9所示，與第一實施方式相同，在部件檢查裝置上搭載控制裝置80，控制裝置80與第一輸送單元驅動部81以及第一往復機構驅動部82連接。其中，第一輸送單元驅動部81由滑動電機驅動部81a、上下移動電機驅動部81b、吸附閥驅動部81c、氣閥驅動部Sld以及臂用開閉氣缸驅動部81e構成。臂用開閉氣缸驅動部Sle基于從控制裝置80輸入的驅動指令而生成臂用開閉氣缸91的工作壓亦即開放壓力或關閉壓力，并向臂用開閉氣缸91輸出。臂用開閉氣缸91根據(jù)輸入的工作壓進行收縮或伸長，由此使臂箱75的蓋部75b敞開或關閉。另外，與上述第一實施方式相同，第一往復機構驅動部82具有往復機構電機驅動部 82a。而且，控制裝置80與第一容納箱驅動部83連接，第一容納箱驅動部83具有箱用開閉氣缸驅動部83a。箱用開閉氣缸驅動部83a基于從控制裝置80輸入的驅動指令，生成箱用開閉氣缸92的工作壓亦即開放壓力或關閉壓力，并向箱用開閉氣缸92輸出。箱用開閉氣缸92根據(jù)輸入的工作壓進行收縮或伸長，由此使第一容納箱51的蓋部51a敞開或關閉。處理器及部件檢查裝置的輸送動作參照圖10 圖15，對上述處理器及部件檢查裝置的第一輸送單元32，將容納于第一往復機構15的供給用往復板15a的設備T輸送至測試頭14時的動作進行說明。另外，第二實施方式的輸送動作與上述第一實施方式的輸送動作相比，不同點在于在臂箱75的蓋部75b和第一容納箱51的蓋部51a進行敞開和關閉。因此以下詳細說明該不同點。首先，與上述第一實施方式相同，從冷卻氣體供給部61向第一往復機構15內的流路供給氮氣，并經由第一往復機構15而對供給用往復板15a和回收用往復板15b進行冷卻。并且，從第一往復機構15內的流路排出的冷卻氣體，被冷卻氣體加熱部62加熱到常溫，加熱后的冷卻氣體被供給至第一容納箱51內。并且，與第一實施方式相同，從冷卻氣體供給部向測試頭14內的流路供給氮氣，并經由測試頭14而對檢查用插座14a進行冷卻。另夕卜，從測試頭14的流路排出的冷卻氣體被冷卻氣體加熱部加熱到常溫，加熱后的冷卻氣體被供給到檢查箱52內。另外，向第一輸送單元32的臂用開閉氣缸91和第一容納箱51的箱用開閉氣缸92供給關閉壓力，使蓋部75b、51a關閉。并且也向檢查箱52的開閉氣缸供給關閉壓力，使蓋部52a關閉。此外，這些蓋部5la、52a各自的關閉是在向各箱51、52供給了規(guī)定時間的加熱的冷卻氣體、并實施了這樣 的箱內清潔后進行的。另外，蓋部75b的關閉也同樣，是在向臂箱75供給了規(guī)定時間的干燥空氣、并實施了這樣的臂箱75內的清潔后進行的。接著，在從第一往復機構15的供給用往復板15a向測試頭14輸送設備T時,與上述第一實施方式相同，如圖10所示，首先，第一往復機構15沿X方向移動，從而供給用往復板15a位于輸送引導件31的正下方。另外，水平移動臂71沿Y方向移動,從而第一輸送單元32位于供給用往復板15a的正上方。繼而，控制裝置80向臂用開閉氣缸驅動部Sle輸出用于驅動臂用開閉氣缸91的驅動信號，通過臂用開閉氣缸驅動部81e使臂用開閉氣缸91收縮，由此使蓋部75b敞開。另夕卜，控制裝置80向箱用開閉氣缸92輸出用于驅動箱用開閉氣缸92的驅動信號,通過箱用開閉氣缸驅動部83a根據(jù)驅動信號使箱用開閉氣缸92收縮，由此使蓋部51a敞開。此時，與蓋部75b持續(xù)敞開的情況相比，外部空氣難以混入臂箱75的內部。另外，與蓋部51a持續(xù)敞開的情況相比，外部空氣難以混入第一容納箱51的內部。因此與沒有蓋部51a、75b的結構相比，能夠在設備T的周圍提高干燥空氣的濃度，并在成為設備T的輸送目的地的空間內分別提高加熱后的冷卻氣體的濃度。而且，與蓋部51a、75b持續(xù)敞開的情況相比，臂箱75和第一容納箱51各自的內部壓力由于蓋部5la、75b的關閉而提高。因此，即使在蓋部51a、75b各自敞開時，也能夠抑制外部空氣混入臂箱75和第一容納箱51各自的內部。進而，如圖11所示，垂直移動臂73下降，吸附部74對容納于供給用往復板15a的設備T進行吸附。然后，垂直移動臂73上升，由此吸附于吸附部74的設備T被容納于臂箱75內。接下來，控制裝置80向臂用開閉氣缸驅動部Sle輸出用于驅動臂用開閉氣缸91的驅動信號，并通過臂用開閉氣缸驅動部81e使臂用開閉氣缸91伸長，而關閉蓋部75b。另夕卜，控制裝置80向箱用開閉氣缸驅動部83a輸出用于驅動箱用開閉氣缸92的驅動信號,通過箱用開閉氣缸驅動部83a使箱用開閉氣缸92伸長，而關閉蓋部51a。進而，水平移動臂71沿Y方向移動，從而如圖12所示，在將設備T容納于臂箱75的狀態(tài)下，第一輸送單元32從第一往復機構15的正上方朝向測試頭14的正上方移動。并且，如圖13所示，第一輸送單元32位于測試頭14的正上方，臂箱75的蓋部75b與檢查箱52的蓋部52a相對置。接著，控制裝置80向臂用開閉氣缸驅動部81e輸出用于驅動臂用開閉氣缸91的驅動信號，通過臂用開閉氣缸驅動部Sle使臂用開閉氣缸91收縮，從而使蓋部75b敞開。另外，控制裝置80向箱用開閉氣缸驅動部83a輸出用于驅動箱用開閉氣缸92的驅動信號，通過箱用開閉氣缸驅動部83a使箱用開閉氣缸92收縮，從而使蓋部51a敞開。進而，如圖14所示，垂直移動臂73下降，以規(guī)定的按壓力將吸附于吸附部74的設備T向測試頭14的檢查用插座14a按壓。并且，當設備T的檢查結束后，則垂直移動臂73上升，從而吸附于吸附部74的設備T被容納在臂箱75內。繼而，控制裝置80生成并輸出用于驅動臂用開閉氣缸91的驅動信號，臂用開閉氣缸驅動部81e基于驅動信號而使臂用開閉氣缸91伸長。另外，控制裝置80生成并輸出用于驅動箱用開閉氣缸92的驅動信號，箱用開閉氣缸驅動部83a基于驅動信號而使箱用開閉氣缸92收縮。由此，蓋部75b、51a關閉。如以上說明的那樣，根據(jù)部件檢查裝置及處理器的第二實施方式，除了通過上述第一實施方式能夠獲得的效 果 以外，還能獲得以下效果。(6)臂箱75具有覆蓋開口部75h的蓋部75b，各箱51 53具有覆蓋開口部的蓋部，在吸附部74通過這些開口部時，蓋部敞開。因此與臂箱75以及各箱51 53沒有蓋部的情況相比，這些外側的氣體難以混入到臂箱75內以及各箱51 53內。所以臂箱75內以及各箱51 53內，干燥空氣易充滿，從而難以在容納于臂箱75內以及各箱51 53內的設備T的表面產生結露。另外，上述第一實施方式和第二實施方式還能夠以如下方式適當?shù)馗淖兌鴮嵤?設備T容納于臂箱75的期間，可以是利用水平移動臂71的移動而輸送設備T的整個期間、或者是該期間的一部分。只要在設備T的輸送期間的至少一部分時間內，將設備T容納于臂箱75內即可。.容納冷卻部的箱的數(shù)量可以是I個、2個、或4個以上。與沒有設置這樣的箱的結構相比，設置一個以上的箱，也相應地難以在設備T上產生結露。.可以省略全部第一容納箱51、檢查箱52以及第二容納箱53。即使是這樣的結構，也能夠獲得與上述(I)相應的效果。 供給干燥空氣的氣體供給部也可以不與第一容納箱51、檢查箱52以及第二容納箱53連接。即使是這樣的結構也能夠獲得與上述(I)相應的效果。.冷卻氣體供給用供給部和干燥空氣供給用供給部可以分別設置。即使是這樣的結構，也能夠獲得與上述(I)、(2)、(4)、(5)相應的效果。.冷卻氣體加熱部62可以將冷卻氣體的溫度加熱到低于外部空氣的露點的溫度。即使是這樣的結構，與不加熱的情況相比，也能夠抑制在容納于第一容納箱51內的設備T的表面的結露、以及在第一容納箱51的外表面的結露。.還可以是省略冷卻氣體加熱部62的結構，即使是這樣的結構，也能夠獲得與上述(I) (3)、(5)相應的效果。 可以在第二實施方式中，省略設置于臂箱75的蓋部75b,或省略設置于各箱51 53的蓋部的一部分或全部。即，與完全不設置蓋部的結構相比，只要是設置有任意一個蓋部的結構，就能相應地獲得與上述(5)相應的效果。.還可以向處理器10的輸送空間供給干燥空氣。即使是這樣的結構，如果設置有臂箱75、各箱51 53，則在對處理器10以及部件檢查裝置進行維護時，即使設置有部件檢查裝置的環(huán)境中的環(huán)境氣體流入，而提高了部件檢查裝置內部的濕度，臂箱75、箱51 53內也容易保持干燥空氣。因此，能夠抑制在設備T的表面產生結露。另外，因為只要將干燥空氣保持在臂箱75內以及各箱51 53內就能進行設備T的輸送等，所以與不具備這樣的結構的情況相比，能夠抑制干燥空氣的消耗量。并且因為不需要用于使這樣的部件檢查裝置內的環(huán)境恢復的時間，或者因為用于使臂箱75以及各箱51 53內的環(huán)境恢復的時間足夠，所以能夠提高部件檢查裝置的工作效率。.冷卻氣體供給部61除了供給氮氣來作為冷卻第一往復機構15的氣體的結構以夕卜，例如還能夠采用將被氮氣冷卻后的壓縮空氣供給至第一往復機構15的結構。

.冷卻氣體加熱部62除了加熱冷卻氣體的熱交換器以外，還可以是具有干燥冷卻氣體的干燥器的結構。.供給至臂箱75內的干燥空氣不局限于壓縮空氣，例如還可以是氮氣等。.干燥空氣供給部76的連接部位可以不是臂箱75，只要干燥空氣供給部76的干燥空氣的供給口，設置在能夠向臂箱75的內部空間供給干燥空氣的部位即可。.干燥空氣供給部76的供給管可以是通過輸送機器人30內的結構。 臂箱75上可以安裝有檢測臂箱75內的氣體性狀、例如溫度、相對濕度、絕對濕度以及壓力中的至少一項的傳感器。而且，控制裝置80可以基于傳感器所檢測的檢測值來調節(jié)從干燥空氣供給部76向臂箱75供給的干燥空氣的流量。在該情況下，安裝在干燥空氣供給部76與臂箱75之間的氣閥77可以作為節(jié)氣閥發(fā)揮作用，通過改變其開度而將供給至臂箱75的干燥空氣的流量減小到規(guī)定的流量以下?；蛘撸诟稍锟諝夤┙o部76與臂箱75之間，除了氣閥77，還可以連接有節(jié)氣閥，以便將供給至臂箱75的干燥空氣的流量減小到規(guī)定的流量以下。另外，還可以在干燥空氣供給部76與臂箱75之間，連接有將供給至臂箱75的干燥空氣的壓力調節(jié)到規(guī)定范圍的調節(jié)器。進而，向臂箱75供給干燥空氣的配管還可以分支為:供給流量相對較高的干燥空氣的配管、和供給流量相對較低的干燥空氣的配管。例如，供給流量相對較高的干燥空氣的配管和供給流量相對較低的干燥空氣的配管，可以相對于臂箱75并連地連接，這樣的流量的差異可以通過與各配管連結的節(jié)氣閥來調整。另外，向臂箱75供給干燥空氣的配管可以分支為:供給壓力相對較高的干燥空氣的配管、和供給壓力相對較低的干燥空氣的配管。例如，供給壓力相對較高的干燥空氣的配管和供給壓力相對較低的干燥空氣的配管，可以相對于臂箱75并連地連接，這樣的壓力差異可以通過與各配管連結的調節(jié)器來調整。另外，供給流量相對較高的干燥空氣的配管還可以兼作供給壓力相對較高的干燥空氣的配管，并且供給流量相對較低的干燥空氣的配管可以兼作供給壓力相對較低的干燥空氣的配管。而且，基于安裝于臂箱75的傳感器所檢測的檢測值，對向臂箱75供給的干燥空氣的流量實施如下控制。例如，將在臂箱75內不產生結露的程度的溫度范圍作為臂箱75內溫度的基準范圍，當臂箱75內的溫度低于基準范圍時，控制裝置80提高從干燥空氣供給部76向臂箱75供給的干燥空氣的流量。相反，當臂箱75內的溫度高于基準范圍時，控制裝置80降低從干燥空氣供給部76向臂箱75供給的干燥空氣的流量。并且，當臂箱75內的溫度在基準范圍內下降時，控制裝置80提高從干燥空氣供給部76向臂箱75供給的干燥空氣的流量。相反，當臂箱75內的溫度在基準范圍內升高時，控制裝置80降低從干燥空氣供給部76向臂箱75供給的干燥空氣的流量。例如，將不妨礙后續(xù)的設備T的溫度調整的程度的溫度范圍作為臂箱75內溫度的基準范圍，當臂箱75內的溫度低于基準范圍時，控制裝置80提高從干燥空氣供給部76向臂箱75供給的干燥空氣的流量。相反，當臂箱75內的溫度高于基準范圍時，控制裝置80降低從干燥空氣供給部76向臂箱75供給的干燥空氣的流量。另外，當臂箱75內的溫度在基準范圍內下降時，控制裝置8 0提高從干燥空氣供給部76向臂箱75供給的干燥空氣的流量。相反，當臂箱75內的溫度在基準范圍內升高時，控制裝置80降低從干燥空氣供給部76向臂箱75供給的干燥空氣的流量。例如，將在臂箱75內不產生結露的程度的相對濕度或絕對濕度的范圍作為臂箱75內的濕度的基準范圍，當臂箱75內的相對濕度或絕對濕度低于基準范圍時，控制裝置80降低從干燥空氣供給部76向臂箱75供給的干燥空氣的流量。相反地，當臂箱75內的濕度超過基準范圍時，控制裝置80提高從干燥空氣供給部76向臂箱75供給的干燥空氣的流量。并且，當臂箱75內的相對濕度或絕對濕度在基準范圍內降低時，控制裝置80降低從干燥空氣供給部76向臂箱75供給的干燥空氣的流量。相反，當臂箱75內的濕度在基準范圍內升高時，控制裝置80提高從干燥空氣供給部76向臂箱75供給的干燥空氣的流量。例如，將在臂箱75內的壓力中、進入到臂箱75內的外部空氣的流量不影響對設備T的溫度控制的程度亦即范圍作為臂箱75內的壓力的基準范圍。而且，當臂箱75內的壓力低于基準范圍時，控制裝置80提高從干燥空氣供給部76向臂箱75供給的干燥空氣的流量。相反，當臂箱75內的壓力高于基準范圍時，控制裝置80降低從干燥空氣供給部76向臂箱75供給的干燥空氣的流量。另外，當臂箱75內的壓力在基準范圍內降低時，控制裝置80提高從干燥空氣供給部76向臂箱75供給的干燥空氣的流量。相反，當臂箱75內的壓力在基準范圍內升高時，控制裝置80降低從干燥空氣供給部76向臂箱75供給的干燥空氣的流量。另外，例如，可以相對增加干燥空氣的供給流量直至傳感器的檢測值達到基準范圍，并且可以在達到基準范圍時，相對減小干燥空氣的供給流量。此外，可以基于從開始時所經過的時間進行這樣的干燥空氣的供給流量的切換。另外，在上述變形例中，還可以依據(jù)上述溫度、相對濕度、絕對濕度以及壓力中的兩個以上的性狀對供給至臂箱75的干燥空氣的流量進行調節(jié)。由此能夠獲得以下所述的效果。(7)在臂箱75內安裝有對溫度、相對濕度、絕對濕度以及壓力中至少一項進行檢測的傳感器。而且，控制裝置80基于該傳感器的檢測結果，改變從干燥空氣供給部76向臂箱75供給的干燥空氣的流量。因此，與沒有這樣的傳感器的結構相比，會在向臂箱75內供給的干燥空氣的流量中反映傳感器檢測時臂箱75內的溫度、相對濕度、絕對濕度以及壓力中的至少一項。所以容易將臂箱75內的溫度、相對濕度、絕對濕度以及壓力中的至少一項保持在規(guī)定的范圍內。其結果，臂箱75內容易保持為不使設備T的表面產生結露的環(huán)境。另外，臂箱75內容易保持為適合對設備T的溫度進行控制的環(huán)境。(8)在臂箱75的內部與外部的壓力差超過基準范圍時，為了降低干燥空氣的流量，可以通過提高臂箱75內的壓力來抑制設備T的溫度上升。相對于此，如果是不進行這樣的壓力控制的結構，則需要通過相對降低流入到臂箱75內的干燥空氣的溫度，從而抑制設備T的溫度上升。即，與這樣的結構相比，采用上述結構能夠借助臂箱75內的壓力來抑制對設備T的溫度的控制造成負擔。另外，當臂箱75的內部與外部的壓力差低于基準范圍時，為了提高干燥空氣的流量，可以通過降低臂箱75內的壓力，從而抑制設備T的溫度降低。因此，與不進行這樣的壓力控制的結構相比，能夠借助臂箱75內的壓力來抑制對設備T的溫度控制造成負擔。此外，通過抑制外部空氣向臂箱75的內部流入，從而抑制臂箱75內的濕度升高。.與臂箱75相同，在第一容納箱51、檢查箱52以及第二容納箱53中也可以安裝用于對上述箱51 53內的溫度、相對濕度、絕對濕度以及壓力中的至少一項進行檢測的傳感器。在該情況下，只要以與上述相同的方式來調節(jié)從冷卻氣體加熱部62供給的氣體的流量即可。另外，傳感器、節(jié)氣閥等可以安裝在全部上述箱51 53上，也可以安裝在箱51 53中的任意一個或任意兩個上。根據(jù)這樣的結構，在各箱51 53中能夠獲得與上述臂箱75的效果同等的效果。.在第二實施方式中，臂箱75的蓋部75b與各箱51 53的蓋部采用具有兩塊板部件的結構，但也可以是利用一塊板部件覆蓋開口部的結構。另外，臂箱75的蓋部75b與各箱51 53的蓋部是被來自開閉氣缸的工作壓驅動的結構，但也可以是由除此以外的致動器驅動的結構。只要作為蓋部設置如下結構即可，即，具備覆蓋形成于臂箱75的開口部75h、形成于各箱51 53的開口部的部件，并通過驅動該部件而使蓋部敞開及關閉，從而成為能夠使吸附部74通過的狀態(tài)、和不能通過的狀態(tài)的結構。.也可以是如下結構，S卩，當?shù)谝惠斔蛦卧?2位于第一容納箱51的正上方時，通過使臂箱75相對于支承部72的相對位置移動到第一容納箱51側，從而使臂箱75的下表面與第一容納箱51的上表面接觸。另外，還可以是如下結構，即，當?shù)谝惠斔蛦卧?2位于第一容納箱51的正上方時，通過使臂箱75的Z方向的長度伸長，從而使臂箱75的下表面與第一容納箱51的上表面接觸。由此，臂箱75與第一容納箱51連接，S卩，各箱的內部空間經由臂箱75的開口部75h與第一容納箱51的開口部51h而連接。因此能夠進一步抑制設備T與臂箱75以及第一容納箱51的外側的氣體接觸，進而進一步抑制在設備T的表面產生結露。.臂箱75的Z方 向的長度、以及第一容納箱51的Z方向的長度，可以是第一輸送單元32位于第一容納箱51的正上方時，臂箱75的下表面與第一容納箱51的上表面接觸的長度。由此，因為臂箱75與第一容納箱51連接，所以能夠進一步抑制設備T與臂箱75以及第一容納箱51的外側的氣體接觸，進而能夠進一步抑制在設備T表面產生的結露。 在臂箱75上可以不形成開口部75h，而構成為，通過開閉臂箱本身來將吸附部74和設備T容納于內部并從內部運出。.在各箱51 53上可以不形成開口部，而構成為，通過開閉各箱51 53本身來將吸附部74和設備T容納于內部并從內部運出。.吸附部74可以安裝于垂直移動臂73的下端以外的位置。 處理器10可以是單獨設置有朝向構成載置部的往復板15a、15b、16a、16b以及檢查用插座14a下降的臂、和從載置部上升的臂的結構。 在臂箱75中可以不容納垂直移動臂73，只要至少容納吸附部74和設備T即可。.輸送單元32、33可以具有以真空吸附以外的方法保持設備T的保持部來作為保持設備T的保持部。 處理器10的輸送對象以及部件檢查裝置的檢查對象，不局限于上述設備T，只要是能夠利用處理器10來輸送的輸送對象即可。另外，部件檢查裝置所進行的檢查也不局限于上述電氣特性檢查，可以是與輸送對象對應的檢查。符號說明:10…處理器;11…基座；lla…搭載面;12…罩部件;13…開口部;14...測試頭；14a…檢查用插座;15…第一往復機構；15a、16a…供給用往復板；15b、16b…回收用往復板；15c、16c...往復機構引導件；15M...往復機構電機；15p、16p...設備凹處；20...供給機器人；21…供給側固定引導件；22…供給側可動引導件；23…供給側機械手單元；3(l...輸送機器人；31…輸送引導件；32…第一輸送單兀；33…第二輸送單兀；40…回收機器人；41…回收側固定引導件；42...回收側可動引導件；43...回收側機械手單元；51…第一容納箱；51a、75b…蓋部；51h…開口部；52...檢查箱；53…第二容納箱；61…冷卻氣體供給部；62…冷卻氣體加熱部；71…水平移動臂；71M…滑動電機；72…支承部；73…垂直移動臂；73M…上下移動電機;74…吸附部;74V…吸附閥;75…臂箱;75a…插通孔；75h…開口部；76…干燥空氣供給部；77…氣閥；80…控制裝置；81…第一輸送單元驅動部；81a…滑動電機驅動部；81b…上下移動電機驅動部；81c…吸附閥驅動部；81d…氣閥驅動部；81e…臂用開閉氣缸驅動部 ；82…第一往復機構驅動部；82a…往復機構電機驅動部；83…第一容納箱驅動部；83a…箱用開閉氣缸驅動部；91…臂用開閉氣缸；92...箱用開閉氣缸；C1...供給用輸送帶；C2、C3、C4…回收用輸送帶；Cla、C2a、C3a、C4a…設備托盤汀…設備。
權利要求
1.一種部件檢查裝置，其特征在于，具有: 載置輸送對象并冷卻該輸送對象的載置部； 從所述載置部對載置于所述載置部的輸送對象進行輸送的輸送機器人；以及 檢查所述輸送對象的檢測器， 所述輸送機器人具備: 對載置于所述載置部的輸送對象進行保持的保持部； 使所述保持部離開所述載置部的臂； 在所述保持部離開所述載置部的狀態(tài)下將所述保持部與所述輸送對象一起容納的容納體；以及 向所述容納體內供給干燥的氣體的干燥氣體供給部。
2.根據(jù)權利要求1所述的部件檢查裝置，其特征在于， 將所述容納體作為第一容納體， 具備容納所述載置部的容納體亦即第二容納體， 使所述第一容納體與所述第二容納體連接。
3.—種處理器，其特征在于，具備: 載置輸送對象并冷卻該輸送對象的載置部；和 從所述載置部對載置于所述載置部的輸送對象進行輸送的輸送機器人， 所述輸送機器人具備: 對載置于所述載置部的輸送對象進行保持的保持部； 使所述保持部離開所述載置部的臂； 在所述保持部離開所述載置部的狀態(tài)下將所述保持部和所述輸送對象一起容納的容納體；以及 向所述容納體內供給干燥的氣體的干燥氣體供給部。
4.根據(jù)權利要求3所述的處理器，其特征在于， 將所述容納體作為第一容納體， 將所述干燥氣體供給部作為第一干燥氣體供給部， 具有:容納所述載置部的容納體亦即第二容納體；和 向所述第二容納體內供給干燥的氣體的第二干燥氣體供給部。
5.根據(jù)權利要求4所述的處理器，其特征在于， 所述載置部具有供制冷劑流動的流路， 所述第二干燥氣體供給部將從所述載置部的所述流路排出的所述制冷劑作為所述干燥的氣體而供給至所述第二容納體。
6.根據(jù)權利要求5所述的處理器，其特征在于， 所述第二干燥氣體供給部具有干燥氣體加熱部，該干燥氣體加熱部對從所述載置部的所述流路排出的所述制冷劑進行加熱。
7.根據(jù)權利要求4 6中任意一項所述的處理器，其特征在于， 所述第一容納體和所述第二容納體具有開口部，該開口部用于供所述保持部以及保持于所述保持部的輸送對象通過。
8.根據(jù)權利要求7所述的處理器，其特征在于，將所述第一容納體的開口部作為第一開口部， 將所述第二容納體的開口部作為第二開口部， 所述第一容納體具有覆蓋所述第一開口部的第一蓋部， 所述第二容納體具有覆蓋所述第二開口部的第二蓋部， 在所述保持部通過所述第一開口部時所述第一蓋部敞開， 在所述保持部通過所述第二開口部時所述第二蓋部敞開。
9.根據(jù)權利要求3 8中任意一項所述的處理器，其特征在于， 將所述容納體作為第一容納體， 將所述干燥氣體供給部作為第一干燥氣體供給部， 具有檢測所述第一容納體內的氣體的性狀的傳感器， 基于所述傳感器的檢測結果來改變從所述第一干燥氣體供給部向所述第一容納體供給的所述干燥的氣體 的流量。
全文摘要
本發(fā)明提供部件檢查裝置以及處理器。處理器具有載置設備并冷卻設備的供給用往復板、和從供給用往復板對載置于供給用往復板的設備進行輸送的輸送機器人。輸送機器人具備對載置于供給用往復板的設備進行吸附的吸附部、使吸附部離開供給用往復板的垂直移動臂、在離開供給用往復板的狀態(tài)下將吸附部與設備一起容納的臂箱、以及將干燥的氣體供給至臂箱內的干燥空氣供給部。
文檔編號B65G49/00GK103241547SQ201310048260
公開日2013年8月14日 申請日期2013年2月6日 優(yōu)先權日2012年2月14日
發(fā)明者前田政已, 下島聰興 申請人:精工愛普生株式會社