用于自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的軌道和輸送車組件的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種用于自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的軌道和輸送車組件，其包括懸空設(shè)置的軌道和懸吊于軌道上的輸送車，在輸送車車身的槽底面位置的車身內(nèi)設(shè)有磁性部件，在軌道的底面設(shè)置可被該磁性部件吸引的金屬條，在軌道側(cè)面的線纜與該金屬條或與輸送車的磁性部件之間設(shè)有磁性屏蔽件。本發(fā)明通過(guò)軌道金屬條、輸送車磁性部件的設(shè)置，相互吸引，提高了其在軌道上行駛的穩(wěn)定性和安全性，也提升了輸送車的載重能力；磁性屏蔽件有效避免磁性部件產(chǎn)生的磁場(chǎng)對(duì)供電線纜造成的干擾。
【專利說(shuō)明】用于自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的軌道和輸送車組件
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路物料輸送設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種硅片盒自動(dòng)搬送系統(tǒng)中的軌道和輸送車組件。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,300mm娃片已經(jīng)逐步取代200mm娃片成為主流,每盒裝載硅片的硅片盒的重量也由原來(lái)的約4公斤變成約9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不僅會(huì)降低效率，還存在搬運(yùn)人員人身傷害的可能。同時(shí)，半導(dǎo)體制造對(duì)于廠房的利用率以及生產(chǎn)周期的要求越來(lái)越嚴(yán)苛，自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)(Automated Material HandlingSystems,簡(jiǎn)稱AMHS)作為連接各個(gè)制造模塊之間輸送娃片的紐帶的重要性也日益凸顯出來(lái)。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，用于300mm硅片制造的一種主流AMHS是采用懸吊式搬送系統(tǒng)，其包括多個(gè)用于存放半導(dǎo)體硅片的硅片存儲(chǔ)設(shè)備(STOCKER)和一個(gè)或多個(gè)空中升降機(jī)輸送車(Overhead Hoist Transport,簡(jiǎn)稱0HT),用于在娃片制造區(qū)域的各工位之間傳送娃片。存放在STOCKER中的娃片被裝入盒式容器,例如前端開(kāi)口片盒(Front Opening Unified Pod,簡(jiǎn)稱F0UP)，隨后它們被傳遞到在懸垂軌道上行進(jìn)的OHT輸送車。輸送車一般是通過(guò)非接觸供電方式供電，其工作原理就是在軌道的一側(cè)鋪設(shè)特殊的線纜，輸送車通過(guò)切割這個(gè)線纜產(chǎn)生的磁力線獲得供電。
[0004]其中，所有的這些傳輸都是基于懸垂在天花板上的軌道來(lái)實(shí)現(xiàn)，而隨著硅片尺寸的變大，300mm硅片盒正向450mm的尺寸發(fā)展，硅片盒FOUP的重量在增加，因此對(duì)OHT輸送車的承載能力及穩(wěn)定性提出了新的要求。現(xiàn)有的懸吊式輸送車大多采用安裝在車頂?shù)能囕啈业踉谲壍郎闲旭??？紤]到軌道上需要保留空間來(lái)安裝連接桿，以將軌道固定在AMHS空間的天花板，車輪只能安裝在軌道頂面靠近兩側(cè)的地方，使得車輪與軌道的接觸面有限。隨著硅片盒重量的增加，這一不足可能會(huì)產(chǎn)生安全性隱患。
[0005]綜上所述，需要提出一種新的懸吊式軌道和輸送車來(lái)提高輸送車的承載能力并提高其懸吊在軌道上的穩(wěn)定性和安全性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于彌補(bǔ)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種新的用于自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的軌道和輸送車組件。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種用于自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的軌道和輸送車組件，其包括懸空設(shè)置的軌道和懸吊于軌道上的輸送車，該軌道的一個(gè)側(cè)面設(shè)有向輸送車供電的線纜，該輸送車包括車身、車輪、硅片盒取放機(jī)構(gòu)以及連接機(jī)構(gòu)，該車身頂部具有供軌道穿過(guò)的槽，該槽的兩側(cè)具有車輪安裝部，該車輪設(shè)置在車輪安裝部上，該輸送車懸吊于軌道上行駛時(shí)車輪輪面抵貼軌道的頂面并滾動(dòng)，該車身槽側(cè)與該線纜對(duì)應(yīng)位置還設(shè)有取電裝置并與線纜組成供電組件，該連接機(jī)構(gòu)分別連接車身與硅片盒取放機(jī)構(gòu)，其中，在該輸送車車身的槽底面位置的車身內(nèi)設(shè)有磁性部件，在該軌道的底面設(shè)置可被該磁性部件吸引的金屬條并與磁性部件組成磁吸組件，在該供電組件與磁吸組件之間設(shè)有磁性屏蔽件以防止兩者磁場(chǎng)干擾。
[0008]進(jìn)一步地，該磁性屏蔽件固定在軌道上。
[0009]進(jìn)一步地，該磁性屏蔽件固定在該磁吸組件上方的軌道底面上或固定在供電組件一側(cè)的軌道側(cè)面內(nèi)，并遮擋住該磁吸組件和供電組件之間以任何直線可以相通的范圍。
[0010]進(jìn)一步地，該磁性屏蔽件的材料選自不導(dǎo)磁的不銹鋼、硅鋼或玻璃鋼。
[0011]進(jìn)一步地，該金屬條固定于軌道底面的上或下表面，該輸送車車身在該槽的底面處具有殼層，該磁性部件固定在殼層上。
[0012]進(jìn)一步地，該磁性部件為磁性材料，或?yàn)橥姾罂僧a(chǎn)生磁性的電磁件。
[0013]進(jìn)一步地，該槽底面處的殼層向上設(shè)有至少一個(gè)緩沖部件。
[0014]進(jìn)一步地，該輸送車車身在該槽的側(cè)面處也具有殼層，該槽的兩個(gè)側(cè)面處的殼層向槽內(nèi)方向均設(shè)有至少一個(gè)緩沖部件。
[0015]進(jìn)一步地，該緩沖部件為滾珠或滾輪，并通過(guò)彈性件固定在殼層上。
[0016]進(jìn)一步地，該車輪通過(guò)彈性件固定在車輪安裝部上，該連接機(jī)構(gòu)包括一升降機(jī)構(gòu)，以使硅片盒取放機(jī)構(gòu)上下升降。
[0017]本發(fā)明采用以上技術(shù)方案，提供一種新的用于自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的軌道和輸送車組件，通過(guò)在軌道底面設(shè)置金屬條，在車身內(nèi)靠近軌道的位置設(shè)置磁性部件，可以對(duì)金屬條產(chǎn)生吸引作用，依靠這樣的吸引力，抵消部分輸送車的自重，使輸送車?yán)卫螒业踉谲壍乐希岣吡似湓谲壍郎闲旭偟姆€(wěn)定性和安全性，也提升了輸送車的載重能力；其次，本發(fā)明僅產(chǎn)生輸送車車身與軌道之間的吸引力，除了可忽略不計(jì)重量的磁性部件，不增加軌道和輸送車的總重量，不會(huì)增加懸空輸送系統(tǒng)額外的負(fù)重；再者，磁性屏蔽件的設(shè)置可以有效避免磁性部件產(chǎn)生的磁場(chǎng)對(duì)供電線纜造成的干擾，使得對(duì)輸送車的供電保持穩(wěn)定。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，適于工業(yè)化。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0018]為能更清楚理解本發(fā)明的目的、特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)，以下將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的較佳實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述，其中:
[0019]圖1是本發(fā)明第一實(shí)施例的軌道和輸送車組件結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2是本發(fā)明第二實(shí)施例的軌道和輸送車組件結(jié)構(gòu)示意圖；以及
[0021]圖3是本發(fā)明第三實(shí)施例的軌道和輸送車組件結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022]第一實(shí)施例
[0023]請(qǐng)參閱圖1，本實(shí)施例的軌道和輸送車組件用于AMHS懸吊式輸送系統(tǒng)，其中，軌道9的右側(cè)面設(shè)有向輸送車供電的第一線纜921，輸送車包括第一車身11、第一車輪14、第一硅片盒取放機(jī)構(gòu)16和第一連接機(jī)構(gòu)15，第一車身11頂部具有供軌道9穿過(guò)的第一槽12，第一槽12為方形且有上開(kāi)口以供連接軌道9的連接桿91通過(guò)，第一槽12兩側(cè)分別具有第一車輪安裝部13，第一車輪安裝部13的剖面呈倒L型，如圖1所示，且在俯視角度有30cm的長(zhǎng)度(未圖示)，其頂部均向下裝有第一車輪14，每個(gè)第一車輪安裝部13下的第一車輪14具有5個(gè)小輪，以使輸送車懸吊于軌道上行駛時(shí)車輪的輪面可以抵貼軌道的頂面，并使車輪滾動(dòng)，而兩列共十個(gè)小輪使得輸送車與軌道有十個(gè)接觸點(diǎn)，使其在行駛過(guò)程中保持穩(wěn)定。
[0024]第一槽12的右側(cè)壁對(duì)應(yīng)第一線纜921的位置還設(shè)有第一取電裝置17，并與第一線纜921組成供電組件，用以對(duì)輸送車供電。第一槽12的底面位置的第一車身11內(nèi)設(shè)有磁鐵18，磁鐵18固定在第一車身11內(nèi)，軌道9底面的上表面固定有可被磁鐵18吸引的金屬鐵條93并與磁鐵18組成磁吸組件。在金屬鐵條93的上方固定有一層不銹鋼片922，其完全覆蓋磁吸組件，因此可以遮擋住磁吸組件與供電組件之間以任何直線可以相通的范圍，即磁吸組件與供電組件之間沒(méi)有可以直線連通的地方，都被不銹鋼片922所遮擋，用于屏蔽磁鐵18和金屬鐵條93產(chǎn)生的磁場(chǎng)對(duì)供電組件的影響。
[0025]本實(shí)施例的磁鐵18使用釹鐵硼磁鐵，在其他實(shí)施例中，還可采用鐵氧體磁鐵、鋁鎳鈷磁鐵、釤鈷等其他已知本身具有磁性的材料；金屬鐵條還可由其他可被磁鐵等磁性材料所吸引的已知金屬材質(zhì)；也可由其他不導(dǎo)磁的材料代替本實(shí)施例的不銹鋼片，如硅鋼、玻璃鋼等。
[0026]在其他實(shí)施例中，車輪安裝部的長(zhǎng)度以及設(shè)置小輪的數(shù)量可根據(jù)實(shí)際情況調(diào)節(jié)，如較小的輸送車配備15cm長(zhǎng)的車輪安裝部和兩列共6個(gè)小輪。
[0027]在其他實(shí)施例中，槽的形狀不限于方形，還可以是長(zhǎng)方形或其他根據(jù)軌道形狀而改變的形狀；車輪安裝部的形狀也不限于倒L型，只要是可以將車輪向下安裝，使車輪可以抵貼軌道頂面并滾動(dòng)的構(gòu)型都在本發(fā)明保護(hù)范圍之內(nèi)。
[0028]第二實(shí)施例
[0029]請(qǐng)參閱圖2，本實(shí)施例的軌道和輸送車組件用于AMHS懸吊式輸送系統(tǒng)，其中，軌道9的右側(cè)面設(shè)有向輸送車供電的第二線纜941，輸送車包括第二車身21、第二車輪24、第二硅片盒取放機(jī)構(gòu)26和第二連接機(jī)構(gòu)25，第二車身21頂部具有供軌道9穿過(guò)的第二槽22，第二槽22為方形且有上開(kāi)口以供連接軌道9的連接桿91通過(guò)，第二槽22兩側(cè)分別具有第二車輪安裝部23，第二車輪安裝部23的剖面呈倒L型，如圖2所示，且在俯視角度有20cm的長(zhǎng)度(未圖示)，其頂部均向下裝有第二車輪24，每個(gè)第二車輪安裝部23下的第二車輪24具有3個(gè)小輪，以使輸送車懸吊于軌道上行駛時(shí)車輪的輪面可以抵貼軌道的頂面，并使車輪滾動(dòng)，而兩列共六個(gè)小輪使得輸送車與軌道有六個(gè)接觸點(diǎn)，使其在行駛過(guò)程中保持穩(wěn)定。
[0030]第二槽22的右側(cè)壁對(duì)應(yīng)第二線纜941的位置還設(shè)有第二取電裝置27，并與第二線纜941成供電組件，用以對(duì)輸送車供電。第二車身21在第二槽22的底面和側(cè)面具有殼層，底面殼層211正對(duì)軌道9的正下方，電磁鐵28則固定在該底面殼層211上并于第二車身21以內(nèi)，軌道9底面的下表面固定有可被通電后的電磁鐵28所吸引的氧化鐵條95并與電磁鐵28組成磁吸組件。在軌道9底面的上表面還設(shè)置有一層硅鋼片96，其完全覆蓋磁吸組件，因此可以遮擋住磁吸組件與供電組件之間以任何直線可以相通的范圍，即磁吸組件與供電組件之間沒(méi)有可以直線連通的地方，都被硅鋼片96所遮擋，用以屏蔽電磁鐵28和氧化鐵條95所產(chǎn)生的磁場(chǎng)對(duì)供電組件的影響。
[0031]本實(shí)施例中，第二槽22下的底面殼層211向上還設(shè)有兩列每列兩個(gè)滾珠212，第二槽22兩側(cè)的側(cè)面殼層213向槽內(nèi)方向還都設(shè)有一列兩個(gè)滾輪214，滾珠212和滾輪214與殼層的連接處都設(shè)有彈簧。滾珠和滾輪的設(shè)置可以增加軌道與車身的接觸點(diǎn)，使輸送車的行駛更加穩(wěn)定，而彈簧或其他彈性件的設(shè)置可以使軌道或輸送車晃動(dòng)的時(shí)候，為兩者提供一個(gè)緩沖，避免兩者撞擊造成的部件損壞或安全隱患。
[0032]第三實(shí)施例
[0033]請(qǐng)參閱圖3，本實(shí)施例的軌道及輸送車的設(shè)置與第一實(shí)施例基本相同，但是以豎向的玻璃鋼片923代替了第一實(shí)施例中橫向的不銹鋼片922，并且，玻璃鋼片923是豎向固定在供電組件一側(cè)的軌道側(cè)面內(nèi)。玻璃鋼片923完全覆蓋供電組件，因此可以遮擋住磁吸組件與供電組件之間以任何直線可以相通的范圍，即磁吸組件與供電組件之間沒(méi)有可以直線連通的地方，都被玻璃鋼片923所遮擋，用于屏蔽磁鐵18和金屬鐵條93產(chǎn)生的磁場(chǎng)對(duì)供電組件的影響。
[0034]第四實(shí)施例
[0035]本實(shí)施例輸送車的設(shè)置與第二實(shí)施例相同，但在第二車輪24和第二車輪安裝部23的連接處設(shè)置了彈簧，用以給予車輪和軌道相接觸而產(chǎn)生震動(dòng)的緩沖；同時(shí)，在第二連接機(jī)構(gòu)25上設(shè)置升降機(jī)構(gòu)，使得第二硅片盒取放機(jī)構(gòu)26可以上下升降，便于取放不同高度的硅片盒。
【權(quán)利要求】
1.一種用于自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的軌道和輸送車組件，其特征在于:其包括懸空設(shè)置的軌道和懸吊于軌道上的輸送車，該軌道的一個(gè)側(cè)面設(shè)有向輸送車供電的線纜，該輸送車包括車身、車輪、硅片盒取放機(jī)構(gòu)以及連接機(jī)構(gòu)，該車身頂部具有供軌道穿過(guò)的槽，該槽的兩側(cè)具有車輪安裝部，該車輪設(shè)置在車輪安裝部上，該輸送車懸吊于軌道上行駛時(shí)車輪輪面抵貼軌道的頂面并滾動(dòng)，該車身槽側(cè)與該線纜對(duì)應(yīng)位置還設(shè)有取電裝置并與線纜組成供電組件，該連接機(jī)構(gòu)分別連接車身與硅片盒取放機(jī)構(gòu)，其中，在該輸送車車身的槽底面位置的車身內(nèi)設(shè)有磁性部件，在該軌道的底面設(shè)置可被該磁性部件吸引的金屬條并與磁性部件組成磁吸組件，在該供電組件與磁吸組件之間設(shè)有磁性屏蔽件以防止兩者磁場(chǎng)干擾。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的軌道和輸送車組件，其特征在于:該磁性屏蔽件固定在軌道上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的軌道和輸送車組件，其特征在于:該磁性屏蔽件固定在該磁吸組件上方的軌道底面上或固定在供電組件一側(cè)的軌道側(cè)面內(nèi)，并遮擋住該磁吸組件和供電組件之間以任何直線可以相通的范圍。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的用于自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的軌道和輸送車組件，其特征在于:該磁性屏蔽件的材料選自不導(dǎo)磁的不銹鋼、硅鋼或玻璃鋼。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的軌道和輸送車組件，其特征在于:該金屬條固定于軌道底面的上或下表面，該輸送車車身在該槽的底面處具有殼層，該磁性部件固定在殼層上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的軌道和輸送車組件，其特征在于:該磁性部件為磁性材料，或?yàn)橥姾罂僧a(chǎn)生磁性的電磁件。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的軌道和輸送車組件，其特征在于:該槽底面處的殼層向上設(shè)有至少一個(gè)緩沖部件。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的軌道和輸送車組件，其特征在于:該輸送車車身在該槽的側(cè)面處也具有殼層，該槽的兩個(gè)側(cè)面處的殼層向槽內(nèi)方向均設(shè)有至少一個(gè)緩沖部件。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的用于自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的軌道和輸送車組件，其特征在于:該緩沖部件為滾珠或滾輪，并通過(guò)彈性件固定在殼層上。
10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的軌道和輸送車組件，其特征在于:該車輪通過(guò)彈性件固定在車輪安裝部上，該連接機(jī)構(gòu)包括一升降機(jī)構(gòu)，以使硅片盒取放機(jī)構(gòu)上下升降。
【文檔編號(hào)】B65G35/00GK103482318SQ201310460447
【公開(kāi)日】2014年1月1日 申請(qǐng)日期:2013年9月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月30日
【發(fā)明者】李小剛 申請(qǐng)人:上海集成電路研發(fā)中心有限公司