基板搬送設(shè)備的制作方法
【專利摘要】基板搬送設(shè)備具備：頂部搬送車，其沿行駛軌道行駛移動而將容器搬送至容器搬送部位；基板搬送裝置，其從位于基板取出部位的容器取出基板并將其搬送至基板處理裝置；以及中轉(zhuǎn)搬送裝置，其使載置容器的載置部沿水平方向移動而在容器搬送部位與基板取出部位之間搬送容器。將基板搬送裝置構(gòu)成為：從在載置于載置部的狀態(tài)下位于基板取出部位的容器取出基板，并將該基板自如地搬送至基板處理裝置。
【專利說明】基板搬送設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及設(shè)有頂部搬送車的基板搬送設(shè)備，該頂部搬送車在被配設(shè)于頂部的行駛軌道引導(dǎo)支撐的狀態(tài)下沿所述行駛軌道行駛移動而將容納有多塊基板的容器搬送至容器搬送部位。
【背景技術(shù)】
[0002]作為上述那樣的基板搬送設(shè)備的一個示例，存在構(gòu)成為由頂部搬送車將容納有基板的容器搬送至容器搬送部位的設(shè)備(例如，參照日本特開2010-137961號公報(專利文獻 I))。
[0003]在該專利文獻I記載的基板搬送設(shè)備中，設(shè)有:第一搬送裝置，其通過使載置容器的第一載置部沿水平方向移動而在容器搬送部位與中轉(zhuǎn)部位之間搬送容器；以及第二搬送裝置，其通過使載置容器的第二載置部沿水平方向和上下方向移動而在中轉(zhuǎn)部位與物品容納架的容納部之間搬送容器，構(gòu)成為由這些第一搬送裝置和第二搬送裝置將容器搬送部位的容器搬送至物品容納架的容納部。
[0004]而且，存在如下構(gòu)成的設(shè)備:在物品容納架的附近設(shè)定基板取出部位，在該基板取出部位設(shè)置載置支撐容器的載置臺，并且設(shè)置從載置于載置臺的容器取出基板并將該基板搬送至基板處理裝置的基板搬送裝置(例如，參照日本特開2008-068963號公報(專利文獻2))。在該專利文獻2記載的基板搬送設(shè)備中，構(gòu)成為:利用第二搬送裝置在物品容納架的容納部與基板取出部位的載置臺之間搬送容器，利用基板搬送裝置從載置臺上的容器取出基板并將該基板搬送至基板處理裝置而將基板搬送至基板處理裝置。
[0005]根據(jù)上述專利文獻I中記載的基板搬送設(shè)備以及專利文獻2中記載的基板搬送設(shè)備，可考慮如以下這樣構(gòu)成基板搬送設(shè)備。即，用頂部搬送車將容納有基板的容器搬送至容器搬送部位，用第一搬送裝置將位于該容器搬送部位的容器搬送至中轉(zhuǎn)部位，用第二搬送裝置將位于中轉(zhuǎn)部位的容器搬送至物品容納架的容納部，并且根據(jù)需要將容納于物品容納架的容納部的容器搬送至基板取出部位的載置臺上。然后，用基板搬送裝置從在載置于載置臺上的狀態(tài)下位于基板取出部位的容器取出基板，將該基板4搬送至基板處理裝置。
[0006]然而，在如上述那樣構(gòu)成的基板搬送設(shè)備中，為了在容器搬送部位與基板取出部位之間搬送容器，設(shè)有使第一載置部沿水平方向移動的第一搬送裝置和使第二載置部沿水平方向和上下方向移動的第二搬送裝置，設(shè)有暫時容納容器的物品容納架，且在基板取出部位設(shè)有載置臺，由于這些方面，基板搬送設(shè)備的構(gòu)成變得復(fù)雜。另外，由于將容器從第一搬送裝置轉(zhuǎn)交給第二搬送裝置這點和將容器從第二搬送裝置轉(zhuǎn)交給載置臺這點，難以高效地將基板搬送至基板處理裝置。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]鑒于上述背景，希望實現(xiàn)謀求構(gòu)成的簡單化同時能夠?qū)⒒甯咝У匕崴椭粱逄幚硌b置的基板搬送設(shè)備。[0008]根據(jù)本發(fā)明的基板搬送設(shè)備，具備以下:
頂部搬送車，其在被配設(shè)于頂部的行駛軌道引導(dǎo)支撐的狀態(tài)下沿所述行駛軌道行駛移動，將容納有多塊基板的容器搬送至容器搬送部位；
中轉(zhuǎn)搬送裝置，其在所述容器搬送部位與基板取出部位之間自如地搬送所述容器；基板搬送裝置，其從位于所述基板取出部位的所述容器取出所述基板，將取出的所述基板搬送至對所述基板進行處理的基板處理裝置；
在此，所述中轉(zhuǎn)搬送裝置構(gòu)成為:具備載置所述容器的單一載置部，使所述載置部沿水平方向移動而在所述容器搬送部位與所述基板取出部位之間自如地搬送所述容器，
所述基板搬送裝置構(gòu)成為:從在載置于所述載置部的狀態(tài)下位于所述基板取出部位的所述容器取出所述基板，將該基板自如地搬送至所述基板處理裝置。
[0009]S卩，中轉(zhuǎn)搬送裝置通過使載置容器的單一載置部沿水平方向移動，從而不使該載置部上的容器轉(zhuǎn)移于另一載置部就能夠在容器搬送部位與基板取出部位之間搬送載置于載置部的容器?；灏崴脱b置能夠從在載置于載置部的狀態(tài)下位于基板取出部位的容器取出基板，將該基板搬送至所述基板處理裝置。
[0010]因此，作為在容器搬送部位與基板取出部位之間搬送容器的搬送裝置，可以只設(shè)置使載置部沿水平方向移動的中轉(zhuǎn)搬送裝置，另外，不需要暫時容納容器的物品容納架，也不必另外設(shè)置用于在基板取出部位載置支撐容器的載置臺。因此，能夠謀求基板搬送設(shè)備的構(gòu)成的簡單化。再者，由于基板搬送裝置構(gòu)成為在基板取出部位從載置于中轉(zhuǎn)搬送裝置的載置部的容器直接取出基板并將該基板搬送至基板處理裝置，因而不必將容器從中轉(zhuǎn)搬送裝置的載置部轉(zhuǎn)交給另一部位，易于將基板高效地搬送至基板處理裝置。
[0011]以下，說明本發(fā)明的優(yōu)選實施方式的示例。
[0012]在根據(jù)本發(fā)明的基板搬送設(shè)備的實施方式中，優(yōu)選地，所述基板是被形成為矩形狀的板狀體。
[0013]S卩，基板是玻璃基板等被形成為矩形狀的板狀體，能夠?qū)⒃摫恍纬蔀榫匦螤畹陌鍫铙w高效地從容器取出而搬送至基板處理裝置。
[0014]在根據(jù)本發(fā)明的基板搬送設(shè)備的實施方式中，優(yōu)選地，所述中轉(zhuǎn)搬送裝置構(gòu)成為:使所述載置部圍繞沿鉛垂方向的軸心旋轉(zhuǎn)移動，在所述容器搬送部位與所述基板取出部位之間搬送所述容器。
[0015]即，在使容器被載置于載置部的狀態(tài)下，能夠通過使載置部旋轉(zhuǎn)移動而在容器搬送部位與基板取出部位之間搬送容器。
[0016]而且，載置部的旋轉(zhuǎn)移動例如能夠以將載置部連結(jié)至圍繞沿鉛垂方向的旋轉(zhuǎn)軸心旋轉(zhuǎn)自如的連結(jié)部并用電動馬達使該連結(jié)部旋轉(zhuǎn)等簡單的構(gòu)成來實現(xiàn)，因而能夠謀求中轉(zhuǎn)搬送裝置的構(gòu)成的簡單化。
[0017]在根據(jù)本發(fā)明的基板搬送設(shè)備的實施方式中，優(yōu)選地，所述基板取出部位被設(shè)定多個，所述中轉(zhuǎn)搬送裝置以將所述容器分別搬送至多個所述基板取出部位的狀態(tài)被設(shè)有多個，所述基板搬送裝置構(gòu)成為在所述容器位于多個所述基板取出部位中任何一個的狀態(tài)下均從該容器自如地取出所述基板。
[0018]S卩，由于設(shè)置多個中轉(zhuǎn)搬送裝置，能夠分別將容器搬送至多處基板取出部位，因而即使在容器存在于一塊基板取出部位的情況下，也能夠?qū)⑷萜靼崴椭亮硗獾幕迦〕霾课?。而且，能夠?qū)⒍鄠€基板取出部位中的、用基板搬送裝置取出基板的容器所存在的基板取出部位以外的基板取出部位用作暫時保存容器的緩沖區(qū)。
[0019]在根據(jù)本發(fā)明的基板搬送設(shè)備的實施方式中，優(yōu)選地，所述頂部搬送車升降自如地具備懸掛支撐所述容器的支撐體，構(gòu)成為在使所述支撐體上升移動至上升位置的行駛用狀態(tài)下行駛移動自如，并且構(gòu)成為以使所述支撐體從所述上升位置下降移動而將所述容器卸于所述載置部上的形態(tài)將所述容器搬送至所述容器搬送部位；所述容器搬送部位被設(shè)定于以下部位:在載置于所述載置部上的狀態(tài)下位于所述容器搬送部位的所述容器的上端比所述行駛用狀態(tài)的所述頂部搬送車的所述支撐體的下端更位于下方，且比被所述行駛用狀態(tài)的所述頂部搬送車支撐的所述容器的下端更位于上方。
[0020]S卩，容器搬送部位被設(shè)定成:在載置于載置部上的狀態(tài)下位于容器搬送部位的容器的上端比行駛用狀態(tài)的頂部搬送車的支撐體的下端更位于下方，且比被行駛用狀態(tài)的頂部搬送車支撐的容器的下端更位于上方。因此，使載置支撐位于容器搬送部位的容器的載置部的位置接近位于容器搬送部位正上方的頂部搬送車，能夠減少頂部搬送車在搬送至容器搬送部位時的支撐體的下降量，能夠快速地將容器搬送至容器搬送部位。
[0021]另外，由于容器搬送部位處于在載置于載置部上的狀態(tài)下位于容器搬送部位的容器的上端比行駛用狀態(tài)的頂部搬送車的支撐體的下端更位于下方的部位，因而即使容器存在于容器搬送部位，也能夠使未支撐容器的行駛用狀態(tài)的頂部搬送車行駛于容器搬送部位正上方O
[0022]在根據(jù)本發(fā)明的基板搬送設(shè)備的實施方式中，優(yōu)選地，作為所述容器搬送部位，設(shè)定有低位置容器搬送部位和被設(shè)定于比該低位置容器搬送部位更高的位置的高位置容器搬送部位；作為所述基板取出部位，設(shè)定有低位置基板取出部位和被設(shè)定于比該低位置容器取出部位更高的位置的高位置基板取出部位；作為所述中轉(zhuǎn)搬送裝置，設(shè)有在所述低位置容器搬送部位與所述低位置基板取出部位之間搬送所述容器的低位置搬送裝置、以及在所述高位置容器搬送部位與所述高位置基板取出部位之間搬送所述容器的高位置搬送裝置；所述高位置搬送裝置所具備的高位置用所述載置部被設(shè)定在比所述低位置搬送裝置所具備的低位置用所述載置部中的載置所述容器的載置面的高度更高且比載置于所述低位置用載置部的所述容器的上端更低的高度；所述低位置用載置部在該低位置用載置部的移動軌跡與載置于所述高位置用載置部的所述容器的移動軌跡從上下方向看具有重復(fù)的部分和不重復(fù)的部分的狀態(tài)下設(shè)置，所述高位置用載置部在該高位置用載置部的移動軌跡與載置于所述低位置用載置部的所述容器的移動軌跡從上下方向看具有重復(fù)的部分和不重復(fù)的部分的狀態(tài)下設(shè)置。
[0023]S卩，在低位置用載置部的移動軌跡與載置于高位置用載置部的容器的移動軌跡從上下方向看具有重復(fù)的部分而且高位置用載置部的移動軌跡與載置于低位置用載置部的容器的移動軌跡從上下方向看具有重復(fù)的部分的狀態(tài)下，設(shè)置低位置用載置部以及高位置用載置部。因此，能夠謀求低位置搬送裝置和高位置搬送裝置在水平方向上的設(shè)置空間的節(jié)省空間化。
[0024]另外，由于高位置用載置部被設(shè)置在比低位置用載置部中的載置容器的載置面的高度更高且比載置于低位置用載置部的容器的上端更低的高度，因而能夠謀求低位置搬送裝置和高位置搬送裝置在上下方向上的設(shè)置空間的節(jié)省空間化。[0025]而且，在高位置用載置部和載置于該高位置用載置部的容器與低位置用載置部的移動軌跡從上下方向看不重復(fù)的狀態(tài)下，當使低位置用載置部移動而搬送容器時，高位置用載置部或載置于該高位置用載置部的容器不會變?yōu)榉恋K。因此，如上述那樣，通過在使高位置用載置部和載置于該高位置用載置部的容器位于與低位置用載置部的移動軌跡從上下方向看不重復(fù)的部位的狀態(tài)下，使低位置用載置部移動至對應(yīng)于低位置容器搬送部位的位置和對應(yīng)于低位置基板取出部位的位置，從而能夠在低位置容器搬送部位與低位置基板取出部位之間搬送容器。
[0026]另外，通過在載置于低位置用載置部的容器與高位置用載置部的移動軌跡從上下方向看不重復(fù)的狀態(tài)下，使高位置用載置部移動至對應(yīng)于高位置容器搬送部位的位置和對應(yīng)于高位置基板搬送部位的位置，從而能夠在高位置容器搬送部位與高位置基板搬送部位之間搬送容器。
[0027]這樣，謀求了低位置搬送裝置和高位置搬送裝置在水平方向和上下方向上的設(shè)置空間的節(jié)省空間化，同時能夠不干擾被載置在高位置搬送裝置中的高位置用載置部上的容器而用低位置搬送裝置將容器搬送至低位置容器搬送部位或低位置基板取出部位。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0028]圖1是基板搬送設(shè)備的立體圖。
[0029]圖2是基板搬送設(shè)備的俯視圖。
[0030]圖3是基板搬送設(shè)備的側(cè)視圖。
[0031]圖4是顯示低位置搬送裝置與高位置搬送裝置的立體圖。
[0032]圖5是顯示低位置搬送裝置與高位置搬送裝置的俯視圖。
[0033]圖6是顯示載置于低位置用載置部的容器的移動軌跡與高位置用載置部和載置于該載置部的容器的移動軌跡的俯視圖。
[0034]圖7是顯示載置于高位置用載置部的容器的移動軌跡與低位置用載置部和載置于該載置部上的容器的移動軌跡的俯視圖。
[0035]圖8是顯示載置部的支撐結(jié)構(gòu)的圖。
[0036]圖9是控制方框圖。
[0037]圖10是流程圖。
[0038]符號說明:
I容器搬送部位 IL低位置容器搬送部位 IH高位置容器搬送部位 2基板取出部位 2L低位置基板取出部位 2H高位置基板取出部位 3容器 4基板
5中轉(zhuǎn)搬送裝置 5L低位置搬送裝置 5H高位置搬送裝置 6頂部搬送車 7基板處理裝置 8基板搬送裝置 11載置部 IlL低位置用載置部 IlH高位置用載置部 20行駛軌道 21支撐體 P 軸心。
【具體實施方式】
[0039]以下，基于【專利附圖】

【附圖說明】本發(fā)明的實施方式。
[0040]如圖1至圖3所示，在基板搬送設(shè)備上設(shè)有:搬送裝置5，其在第一搬送部位I (參照圖2和圖3)與第二搬送部位2(參照圖2和圖3)之間搬送自如地容納多塊基板4的容器3 ;頂部搬送車6，其在第一搬送部位I與自身之間搬送容器3 ;基板處理裝置7，其對基板4進行處理；以及基板搬送裝置8，其在位于第二搬送部位2的容器3與基板處理裝置7之間搬送基板4。在本例中，頂部搬送車6具有在第一搬送部位I與自身之間搬送容器3的機構(gòu)，并且構(gòu)成為沿水平方向移動自如。
[0041]而且，基板搬送設(shè)備構(gòu)成為:由頂部搬送車6將容器3搬送至第一搬送部位1，由搬送裝置5將容器3從第一搬送部位I搬送至第二搬送部位2，由基板搬送裝置8從位于第二搬送部位2的容器3取出基板4并將該基板4向基板處理裝置7搬送。
[0042]另外，基板搬送設(shè)備構(gòu)成為:由基板搬送裝置8將由基板處理裝置7進行的處理完成后的基板4從基板處理裝置7向位于第二搬送部位2的容器3搬送并將該基板4容納于容器3，由搬送裝置5將容器3從第二搬送部位2搬送至第一搬送部位1，由頂部搬送車6從第一搬送部位I搬送容器3。
[0043]基板搬送設(shè)備被設(shè)置于潔凈室內(nèi)，作為基板4，用于液晶面板等的、形成為矩形狀的玻璃基板被容納于容器3中。容器3在橫側(cè)面上形成有用于放入取出基板4的開口，被頂部搬送車6的支撐體21支撐的凸緣部被設(shè)于上表面。另外，雖然圖示省略，但基板4以水平姿勢且在沿上下方向鄰接的基板4彼此之間形成有間隙的狀態(tài)下被容納于容器3。
[0044]此外，在基板處理裝置7中，對基板4進行涂布、曝光以及顯影等規(guī)定的處理。
[0045]如圖3所示，設(shè)有頂部搬送車6而由該頂部搬送車6搬送容器3的容器搬送區(qū)域El和設(shè)有基板處理裝置7和基板搬送裝置8而由該基板搬送裝置8搬送基板4的基板搬送區(qū)域E2由分隔壁9分隔。而且，搬送裝置5構(gòu)成為:以向容器搬送區(qū)域El突出自如的狀態(tài)設(shè)于基板搬送區(qū)域E2，在容器搬送區(qū)域El與基板搬送區(qū)域E2之間搬送容器3。
[0046]此外，第一搬送部位I被設(shè)定于容器搬送區(qū)域El，第二搬送部位2被設(shè)定于基板搬送區(qū)域E2。
[0047]如圖4和圖5所示，作為第一搬送部位I，設(shè)定有低位置第一搬送部位IL和被設(shè)定于比該低位置第一搬送部位更高的位置的高位置第一搬送部位IH ;作為第二搬送部位2，設(shè)定有低位置第二搬送部位2L和被設(shè)定于比該低位置第二搬送部位2L更高的位置的高位置第二搬送部位2H。
[0048]而且，搬送裝置5構(gòu)成為:通過使載置容器3的單一載置部11沿水平方向移動，從而在第一搬送部位I與第二搬送部位2之間搬送容器3。單一載置部11由從上下方向看形成為2字狀(成方形的U字狀)的板狀部件構(gòu)成。
[0049]作為搬送裝置5，設(shè)有:低位置搬送裝置5L，使載置容器3的低位置用載置部IlL沿水平方向移動，在低位置第一搬送部位IL與所述低位置第二搬送部位2L之間搬送容器3 ;以及高位置搬送裝置5H，使載置容器3的高位置用載置部IlH沿水平方向移動，在高位置第一搬送部位IH與高位置第二搬送部位2H之間搬送容器3。
[0050]此外，第一搬送部位I相當于容器搬送部位，第二搬送部位2相當于基板取出部位。低位置第一搬送部位IL相當于低位置容器搬送部位，高位置第一搬送部位IH相當于高位置容器搬送部位。低位置第二搬送部位2L相當于低位置基板取出部位，高位置第二搬送部位2H相當于高位置基板取出部位。這樣，第二搬送部位2設(shè)定有多個。
[0051]另外，搬送裝置5相當于使載置容器3的載置部11沿水平方向移動而在容器搬送部位與基板取出部位之間搬送容器3的中轉(zhuǎn)搬送裝置。搬送裝置5以將容器3分別搬送至多個第二搬送部位2的狀態(tài)設(shè)置多個。
[0052]如圖1和圖3所示，低位置搬送裝置5L和高位置搬送裝置5H這一對搬送裝置5的組以沿上下方向并排的狀態(tài)設(shè)置兩組。這些上側(cè)的低位置搬送裝置5L和高位置搬送裝置5H與下側(cè)的低位置搬送裝置5L和高位置搬送裝置5H除高度不同外同樣地構(gòu)成。另外，上側(cè)的低位置搬送裝置5L和高位置搬送裝置5H與下側(cè)的低位置搬送裝置5L和高位置搬送裝置5H被相同支撐框支撐于上下方向上不同的高度。
[0053]低位置搬送裝置5L設(shè)置成使低位置用載置部IlL圍繞沿鉛垂方向的軸心P旋轉(zhuǎn)移動自如。
[0054]如果施加說明，則如圖8所示，低位置連結(jié)部14L圍繞軸心P旋轉(zhuǎn)自如地被連結(jié)至低位置電動馬達13L的輸出軸，低位置用載置部IlL懸臂狀地被連結(jié)至該低位置連結(jié)部14L。而且構(gòu)成為:通過用低位置電動馬達13L使低位置連結(jié)部14L圍繞軸心P旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，從而使低位置用載置部IlL圍繞軸心P旋轉(zhuǎn)移動而在低位置第一搬送部位IL與低位置第二搬送部位2L之間搬送容器3。
[0055]另外，同樣地，高位置搬送裝置5H也被設(shè)置成使高位置用載置部IlH圍繞沿鉛垂方向的軸心P旋轉(zhuǎn)移動自如，構(gòu)成為:通過用高位置電動馬達13H使高位置連結(jié)部14H圍繞軸心P旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，從而使高位置用載置部IlH圍繞軸心P旋轉(zhuǎn)移動而在高位置第一搬送部位IH與高位置第二搬送部位2H之間搬送容器3。
[0056]這樣，低位置用載置部IlL和高位置用載置部IlH被設(shè)置成圍繞同一軸心旋轉(zhuǎn)自如。
[0057]低位置電動馬達13L和高位置電動馬達13H在低位置電動馬達13L位于高位置電動馬達13H更上方的狀態(tài)下被支撐框12支撐。
[0058]低位置電動馬達13L以輸出軸向上方突出的姿勢被設(shè)置，從低位置連結(jié)部14L的上側(cè)連結(jié)部分14a向上方突出的上突部分14c以一體旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)連結(jié)至該低位置電動馬達13L的輸出軸。[0059]另外，高位置電動馬達13H以輸出軸向下方突出的姿勢被設(shè)置，從高位置連結(jié)部14H的下側(cè)連結(jié)部分14b向下方突出的下突部分14d以一體旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)連結(jié)至該高位置電動馬達13H的輸出軸。
[0060]而且，低位置連結(jié)部14L的下側(cè)連結(jié)部分14b以圍繞軸心P旋轉(zhuǎn)自如的狀態(tài)被連結(jié)至高位置連結(jié)部14H的下突出部分14d，高位置連結(jié)部14H的上側(cè)連結(jié)部分14a以圍繞軸心P旋轉(zhuǎn)自如的狀態(tài)被連結(jié)至低位置連結(jié)部14L的上突出部分14c。
[0061]另外，在低位置連結(jié)部14L的上側(cè)連結(jié)部分14a與高位置連結(jié)部14H的下側(cè)連結(jié)部分14b之間，介入有被支撐框12支撐的部件15，低位置連結(jié)部14L的上側(cè)連結(jié)部分14a以圍繞軸心P旋轉(zhuǎn)自如的狀態(tài)被連結(jié)至部件15的上端部，高位置連結(jié)部14H的下側(cè)連結(jié)部分14b以圍繞軸心P旋轉(zhuǎn)自如的狀態(tài)被連結(jié)至部件15的下端部。
[0062]這樣，低位置連結(jié)部14L和高位置連結(jié)部14H以沿上下方向被夾持于低位置電動馬達13L與高位置電動馬達13H之間的狀態(tài)設(shè)置。而且，從上起按高位置連結(jié)部14H的上側(cè)連結(jié)部分14a、低位置連結(jié)部14L的上側(cè)連結(jié)部分14a、高位置連結(jié)部14H的下側(cè)連結(jié)部分14b、低位置連結(jié)部14L的下側(cè)連結(jié)部分14b的順序排列，使低位置連結(jié)部14L的上側(cè)連結(jié)部分14a位于高位置連結(jié)部14H的上側(cè)連結(jié)部分14a與下側(cè)連結(jié)部分14b之間，使高位置連結(jié)部14H的下側(cè)連結(jié)部分14b位于低位置連結(jié)部14L的上側(cè)連結(jié)部分14a與下側(cè)連結(jié)部分14b之間。由此，能夠?qū)⒌臀恢眠B結(jié)部14L和高位置連結(jié)部14H中的每一個以沿上下方向較寬的間隔連結(jié)至支撐框12側(cè)，同時謀求低位置連結(jié)部14L和高位置連結(jié)部14H在上下方向上的設(shè)置空間的節(jié)省空間化。
[0063]而且，連結(jié)至低位置連結(jié)部14L的低位置用載置部IIL和連結(jié)至高位置連結(jié)部14H的高位置用載置部IlH以如下狀態(tài)設(shè)置:高位置用載置部IlH位于比低位置用載置部IlL中的載置容器3的載置面(載置部IlH的上表面)的高度更高且比載置于低位置用載置部IlL的容器3的上端更低的高度。
[0064]接下來，說明低位置用載置部IlL和高位置用載置部IlH的旋轉(zhuǎn)移動以及從上下方向看的位置關(guān)系。此外，將容器搬送區(qū)域El與基板搬送區(qū)域E2并排的方向稱為設(shè)備前后方向(圖2和圖5中由箭頭X所示的方向)且將與設(shè)備前后方向正交的方向稱為設(shè)備左右方向(圖2和圖5中由箭頭Y所示的方向)來說明。在本例中，設(shè)備前后方向和設(shè)備左右方向中的每一個為平行于水平面的方向。
[0065]如圖5所示，支撐框12被設(shè)置于基板搬送區(qū)域E2，軸心P位于基板搬送區(qū)域E2。
[0066]低位置用載置部IlL構(gòu)成為:通過使其以軸心P為中心從上下方向看逆時針方向旋轉(zhuǎn)移動而向容器搬送區(qū)域El突出移動，從而旋轉(zhuǎn)移動至對應(yīng)于低位置第一搬送部位IL的位置(圖5(a)中由實線所示的位置)。此時，低位置用載置部IlL相對于軸心P位于設(shè)備前后方向的容器搬送區(qū)域El所位于的一側(cè)。
[0067]另外，低位置用載置部IlL構(gòu)成為:通過使其以軸心P為中心從上下方向看順時針方向旋轉(zhuǎn)移動而向基板搬送區(qū)域E2退出移動，從而旋轉(zhuǎn)移動至對應(yīng)于低位置第二搬送部位2L的位置(圖5(a)中由假想線所示的位置)。此時，低位置用載置部IlL相對于軸心P位于設(shè)備左右方向的一側(cè)(頂部搬送車6的行駛方向上游側(cè))。
[0068]而且，高位置用載置部IlH構(gòu)成為:通過使其以軸心P為中心從上下方向看順時針方向旋轉(zhuǎn)移動而向容器搬送區(qū)域El突出移動，從而旋轉(zhuǎn)移動至對應(yīng)于高位置第一搬送部位IH的位置(圖5(b)中由實線所示的位置)。此時，高位置用載置部IlH相對于軸心P位于設(shè)備前后方向的容器搬送區(qū)域El所位于的一側(cè)。
[0069]另外，高位置用載置部IlH構(gòu)成為:通過使其以軸心P為中心從上下方向看逆時針方向旋轉(zhuǎn)移動而向基板搬送區(qū)域E2退出移動，從而旋轉(zhuǎn)移動至對應(yīng)于高位置第二搬送部位2H的位置(圖5(b)中由假想線所示的位置)。此時，高位置用載置部IlH相對于軸心P位于設(shè)備左右方向的另一側(cè)(頂部搬送車6的行駛方向下游側(cè))。
[0070]此外，對應(yīng)于搬送部位(低位置第一搬送部位IL等)的位置是指在容器3位于搬送部位時載置該容器3的載置部11所存在的位置。另外，低位置用載置部IlL和高位置用載置部IlH中的每一個的擺動角度被設(shè)定為90°。
[0071]順便提及，位于圖3中上側(cè)的低位置搬送裝置5L和高位置搬送裝置5H的組成為圖5(b)所示的位置關(guān)系，位于圖3中下側(cè)的低位置搬送裝置5L和高位置搬送裝置5H的組成為圖5(a)所示的位置關(guān)系。
[0072]如圖5所示，低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位IH都被設(shè)定在相對于軸心P而設(shè)備前后方向的容器搬送區(qū)域El所位于的一側(cè)，低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位IH被設(shè)定于從上下方向看相同的位置。于是，旋轉(zhuǎn)移動至對應(yīng)于低位置第一搬送部位IL的位置的低位置用載置部IlL和旋轉(zhuǎn)移動至對應(yīng)于高位置第一搬送部位IH的位置的高位置用載置部IlH都移動至相對于軸心P而設(shè)備前后方向的容器搬送區(qū)域El所位于的一側(cè)，這些低位置用載置部IlL和高位置用載置部IlH位于從上下方向看相同的位置。
[0073]另外，低位置第二搬送部位2L相對于軸心P被設(shè)定在設(shè)備左右方向的一側(cè)，高位置第二搬送部位2H相對于軸心P被設(shè)定在設(shè)備左右方向的另一側(cè)，低位置第二搬送部位2L和高位置第二搬送部位2H被設(shè)定在從上下方向看不同的位置。于是，旋轉(zhuǎn)移動至對應(yīng)于低位置第一搬送部位IL的位置的低位置用載置部IlL相對于軸心P移動到設(shè)備左右方向的一側(cè)，旋轉(zhuǎn)移動至對應(yīng)于高位置第一搬送部位IH的位置的高位置用載置部IlH相對于軸心P移動到設(shè)備左右方向的另一側(cè)，低位置用載置部IlL和高位置用載置部IlH位于從上下方向看不同的位置。
[0074]而且，如圖5至圖7所示，低位置用載置部IlL設(shè)置成:在使其移動至對應(yīng)于低位置第一搬送部位IL的位置的狀態(tài)下，與高位置用載置部IlH的移動軌跡和載置于該高位置用載置部IlH的容器3的移動軌跡從上下方向看重復(fù)，在使其移動至對應(yīng)于低位置第二搬送部位2L的位置的狀態(tài)下，與高位置用載置部IlH的移動軌跡和載置于該高位置用載置部IlH的容器3的移動軌跡從上下方向看不重復(fù)。
[0075]另外，高位置用載置部IlH設(shè)置成:在使其移動至對應(yīng)于高位置第一搬送部位IH的位置的狀態(tài)下，與低位置用載置部IlL的移動軌跡和載置于該低位置用載置部IlL的容器3的移動軌跡從上下方向看重復(fù)，在使其移動至對應(yīng)于高位置第二搬送部位2H的位置的狀態(tài)下，與低位置用載置部IlL的移動軌跡和載置于該低位置用載置部IlL的容器3的移動軌跡從上下方向看不重復(fù)。
[0076]此外，在圖6中，由一點劃線3LT表示載置于低位置用載置部IlL的容器3的移動軌跡，由一點劃線IlHT表示高位置用載置部IlH的移動軌跡和載置于該高位置用載置部IlH的容器3的移動軌跡。另外，在圖7中，由一點劃線3HT表示載置于高位置用載置部IlH的容器3的移動軌跡，由一點劃線IlLT表示低位置用載置部IlL的移動軌跡和載置于該低位置用載置部IlL的容器3的移動軌跡。
[0077]這樣，低位置用載置部IlL中，該低位置用載置部IlL的移動軌跡和載置于該低位置用載置部IlL的容器3的移動軌跡與高位置用載置部IlH的移動軌跡和載置于該高位置用載置部IlH的容器3的移動軌跡從上下方向看，具有重復(fù)的重復(fù)部分和不重復(fù)的非重復(fù)部分，該重復(fù)部分和該非重復(fù)部分以沿著低位置用載置部IlL的移動方向并排的狀態(tài)設(shè)置。另外，高位置用載置部IlH中，該高位置用載置部IlH的移動軌跡和載置于該高位置用載置部IlH的容器3的移動軌跡與低位置用載置部IlL的移動軌跡和載置于該低位置用載置部IlL的容器3的移動軌跡從上下方向看，具有重復(fù)的重復(fù)部分和不重復(fù)的非重復(fù)部分，該重復(fù)部分和該非重復(fù)部分以沿著高位置用載置部IlL的移動方向并排的狀態(tài)設(shè)置。
[0078]而且，高位置用載置部IIH和低位置用載置部IlL中的每一個構(gòu)成為:在另一方的載置部IlLUlH位于不重復(fù)部位的狀態(tài)下，在第一搬送部位I與第二搬送部位2之間自如地搬送容器3。
[0079]S卩，如圖5 (a)所示，在高位置用載置部IIH位于對應(yīng)于高位置第二搬送部位2H的位置的狀態(tài)下，能夠不接觸高位置用載置部IlH或載置于該高位置用載置部IlH的容器3而使低位置用載置部IlL移動至對應(yīng)于低位置第一搬送部位IL的位置或?qū)?yīng)于低位置第二搬送部位2L的位置，將容器3搬送至低位置第一搬送部位IL或低位置第二搬送部位2L。
[0080]另外,如圖5(b)所示,在低位置用載置部IlL位于對應(yīng)于低位置第二搬送部位2L的位置的狀態(tài)下，能夠不接觸低位置用載置部IlL或載置于該低位置用載置部IlL的容器3而使高位置用載置部IlH移動至對應(yīng)于高位置第一搬送部位IH的位置或?qū)?yīng)于高位置第二搬送部位2H的位置，將容器3搬送至高位置第一搬送部位IH或高位置第二搬送部位2H。
[0081]基板搬送裝置8具備在設(shè)備前后方向上設(shè)置于搬送裝置5與基板處理裝置7之間的升降移動自如的升降臺17和沿設(shè)備左右方向自如地移動該升降臺17的移動機械手18而被構(gòu)成。在移動機械手18上，升降移動自如、圍繞鉛垂軸心旋轉(zhuǎn)移動自如以及沿水平方向退出移動自如地具備叉狀的支撐部18a。
[0082]該基板搬送裝置8構(gòu)成為:通過升降臺17的升降移動和移動機械手18沿設(shè)備左右方向的移動以及支撐部18a的升降、旋轉(zhuǎn)和退出，從而如以下這樣動作。即，基板搬送裝置8構(gòu)成為:從在載置于低位置用載置部IlL的狀態(tài)下位于低位置第二搬送部位2L的容器3逐一取出基板4并將該基板4搬送至基板處理裝置7，從在載置于高位置用載置部IlH的狀態(tài)下位于高位置第二搬送部位2H的容器3逐一取出基板4并將該基板4搬送至基板處理裝置7，并且將由基板處理裝置7結(jié)束處理后的基板4逐一搬送至在載置于高位置用或低位置用載置部11的狀態(tài)下位于第二搬送部位2的容器3并將該基板4容納于容器3。
[0083]基板搬送裝置8構(gòu)成為:在容器3位于四處第二搬送部位2 (兩處低位置第二搬送部位2L和兩處高位置第二搬送部位2H)中任何一處的狀態(tài)下，都從容器3自如地放入取出基板4。而且，能夠?qū)⑺奶幍诙崴筒课?中的、由基板搬送裝置8放入取出基板4的容器3所存在的第二搬送部位2以外的第二搬送部位2用作暫時保存容器3的緩沖區(qū)。
[0084]如圖1至圖3所示，頂部搬送車6構(gòu)成為:在被配設(shè)于頂部的行駛軌道20引導(dǎo)支撐的狀態(tài)下，沿行駛軌道20行駛自如。另外，頂部搬送車6升降自如且圍繞沿上下方向的軸心旋轉(zhuǎn)自如地具備支撐容器3的支撐體21而被構(gòu)成。順便提及，頂部搬送車6在搬送裝置5的附近沿著設(shè)備左右方向而向一個方向(在圖1中從左上到右下)行駛。
[0085]而且，如圖3所示，頂部搬送車6構(gòu)成為在使支撐體21上升移動至上升位置的狀態(tài)下行駛移動自如。另外，頂部搬送車6構(gòu)成為:以使支撐體21從上升位置下降移動而將容器3卸于載置部11的形態(tài)將容器3搬送至第一搬送部位1，以使支撐體21上升移動至上升位置而將容器3從載置部11上拉起的形態(tài)從第一搬送部位I搬送容器3。通過這樣，頂部搬送車6進行將第一搬送部位I作為搬送對象部位的容器3的搬送，在第一搬送部位I與自身之間轉(zhuǎn)移(交接)容器3。
[0086]如果施加說明，則頂部搬送車6構(gòu)成為:在停止于第一搬送部位I正上方的停止位置的狀態(tài)下，使支撐容器3的支撐體21下降移動，解除支撐體21對容器3的支撐而將容器3卸于載置部11，容器3被搬送至第一搬送部位I。
[0087]另外，頂部搬送車6構(gòu)成為:在停止于第一搬送部位I正上方的停止位置的狀態(tài)下，使未支撐容器3的支撐體21下降移動，由支撐體21支撐位于第一搬送部位I的容器3，使支撐容器3的支撐體21上升移動，由此從第一搬送部位I搬送容器3。
[0088]而且，頂部搬送車6構(gòu)成為:在停止于對低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位IH通用設(shè)定的停止位置的狀態(tài)下，在低位置第一搬送部位IL或高位置第一搬送部位IH與自身之間自如地搬送(轉(zhuǎn)移自如)容器3。
[0089]順便提及，在使頂部搬送車6停止于停止位置的狀態(tài)下，當?shù)臀恢糜幂d置部IlL位于對應(yīng)于第一搬送部位I的位置時，在頂部搬送車6與低位置第一搬送部位IL之間搬送容器3 ;當高位置用載置部IIH位于對應(yīng)于第一搬送部位I的位置時，在頂部搬送車6與高位置第一搬送部位IH之間搬送容器3。
[0090]第一搬送部位I (低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位1H)被設(shè)定在以下部位:在載置于載置部11的狀態(tài)下位于第一搬送部位I的容器3的上端比行駛用狀態(tài)的頂部搬送車6的支撐體21的下端更位于下方，并且比被行駛用狀態(tài)的頂部搬送車6支撐的容器3的下端更位于上方。
[0091]由于能夠?qū)⒌谝话崴筒课籌設(shè)定在接近頂部搬送車6的部位，因而能夠減少在頂部搬送車6將容器3搬送至第一搬送部位I時的支撐體21的下降量，能夠快速地將容器3搬送至第一搬送部位I。另外，即使容器3存在于第一搬送部位1，也能夠使未支撐容器3的行駛用狀態(tài)的頂部搬送車6自由地行駛移動。
[0092]如圖9所示，在物品搬送設(shè)備上，設(shè)有控制搬送裝置5、頂部搬送車6以及基板搬送裝置8的動作的搬送控制裝置H。
[0093]搬送控制裝置H構(gòu)成為為了執(zhí)行以下處理而控制頂部搬送車6的動作:交接前行駛處理，使頂部搬送車6行駛移動至位于第一搬送部位I正上方的停止位置；交接后行駛處理，使頂部搬送車6從第一搬送部位I正上方的停止位置行駛移動；卸下處理，由頂部搬送車6將容器3搬送至第一搬送部位I ;撈取處理，由頂部搬送車6從第一搬送部位I搬送容器3。
[0094]另外，搬送控制裝置H構(gòu)成為為了執(zhí)行以下處理而控制搬送裝置5的動作:退出處理，使載置部11從對應(yīng)于第一搬送部位I的位置移動至對應(yīng)于第二搬送部位2的位置；突出處理，使載置部11從對應(yīng)于第二搬送部位2的位置移動至對應(yīng)于第一搬送部位I的位置。
[0095]接下來，基于圖10所示的流程圖列舉了以下情況:通過搬送控制裝置H執(zhí)行卸下處理，由頂部搬送車6將容器3搬送至低位置第一搬送部位1L，通過搬送控制裝置H執(zhí)行撈取處理，由頂部搬送車6從高位置第一搬送部位IH搬送容器3 ;說明了在頂部搬送車6與搬送裝置5之間搬送容器3的搬送控制。此外，通常，載置部11移動至對應(yīng)于第二搬送部位2的位置。
[0096]如果將容器3搬送至低位置第二搬送部位2L的搬入指令被指示，則搬送控制裝置H首先執(zhí)行交接前行駛處理和突出處理。在交接前行駛處理和突出處理中，為了使支撐搬入對象容器3的頂部搬送車6行駛至第一搬送部位I正上方的停止位置且使低位置用載置部IlL突出移動至對應(yīng)于低位置第一搬送部位LI的位置，控制頂部搬送車6和搬送裝置5的動作。此后，搬送控制裝置H在執(zhí)行了卸下處理之后執(zhí)行退出處理。在卸下處理中，為了將容器3卸在低位置用載置部IlL上而使容器3被搬送至低位置第一搬送部位1L，控制頂部搬送車6的動作。另外，在退出處理中，為了使低位置用載置部IlL移動至對應(yīng)于低位置第二搬送部位2L的位置而將容器3搬送至低位置第二搬送部位2L，控制搬送裝置5的動作。
[0097]順便提及，在交接前行駛處理和突出處理中，通常，交接前行駛處理一方需要長的時間，在頂部搬送車6移動至第一搬送部位I正上方的停止位置之前，載置部11已完成向?qū)?yīng)于第一搬送部位I的位置的移動。因此，在使頂部搬送車6行駛至第一搬送部位I的正上方之后，不必使卸下處理的開始伺機直到載置部11突出移動至第一搬送部位1，能夠快速地將容器3搬送至第一搬送部位I。
[0098]如上所述，為了在執(zhí)行退出處理而將容器3搬送至低位置第二搬送部位2L之后，如果搬出指令沒有被指示，則執(zhí)行交接后行駛處理而使未支撐容器3的頂部搬送車6從第一搬送部位I正上方的停止位置行駛，搬送控制裝置H控制頂部搬送車6的動作。
[0099]另外，如果有搬出指令，則搬送控制裝置H執(zhí)行突出處理。在突出處理中，為了使高位置用載置部IlH突出移動至對應(yīng)于高位置第一搬送部位IH的位置，控制搬送裝置5的動作。此后，搬送控制裝置H在執(zhí)行了撈取處理之后執(zhí)行交接后行駛處理和退出處理。在撈取處理中，為了由頂部搬送車6支撐搬出對象容器3，控制頂部搬送車6的動作。另外，在交接后行駛處理和退出處理中，為了使支撐搬出對象容器3的頂部搬送車6從第一搬送部位I正上方的停止位置行駛且使高位置用載置部IlH退出移動至對應(yīng)于高位置第二搬送部位2H的位置，控制頂部搬送車6和搬送裝置5的動作。
[0100]而且，在搬入指令沒有被指示而只有搬出指令被指示的情況下，搬送控制裝置H首先執(zhí)行交接前行駛處理和突出處理。在交接前行駛處理和突出處理中，為了使未支撐容器3的頂部搬送車6行駛至第一搬送部位I正上方的停止位置且使高位置用載置部11突出移動至對應(yīng)于高位置第一搬送部位IH的位置，控制頂部搬送車6和搬送裝置5的動作。此后，搬送控制裝置H在執(zhí)行了撈取處理之后執(zhí)行交接后行駛處理和退出處理。在撈取處理中，為了由頂部搬送車6支撐搬出對象容器3，控制頂部搬送車6的動作。另外，在交接后行駛處理和退出處理中，為了使支撐搬出對象容器3的頂部搬送車6從第一搬送部位I正上方的停止位置行駛且使高位置用載置部IlH退出移動至對應(yīng)于高位置第二搬送部位2H的位置，控制頂部搬送車6和搬送裝置5的動作。
[0101]這樣，通過使載置容器3的載置部11沿水平方向移動，從而在第一搬送部位I與第二搬送部位2之間搬送載置于載置部11的容器3，用基板搬送裝置8從在載置于載置部11的狀態(tài)下位于第二搬送部位2的容器3取出基板4并將該基板4搬送至基板處理裝置7。結(jié)果，能夠謀求基板搬送設(shè)備的構(gòu)成的簡單化，同時易于將基板4高效地搬送至基板處
理裝置7。
[0102][其它實施方式]
(I)在上述實施方式中，作為中轉(zhuǎn)搬送裝置，設(shè)置了低位置搬送裝置5L和高位置搬送裝置5H，但是作為中轉(zhuǎn)搬送裝置，也可以只設(shè)置低位置搬送裝置5L和高位置搬送裝置5H中的任意一個。
[0103](2)在上述實施方式中，構(gòu)成為通過使載置部11圍繞沿鉛垂方向的軸心旋轉(zhuǎn)移動而使其移動至對應(yīng)于容器搬送部位的位置和對應(yīng)于基板取出部位的位置，但是也可構(gòu)成為通過使載置部11沿水平方向直線移動而使其移動至對應(yīng)于容器搬送部位的位置和對應(yīng)于基板取出部位的位置。
[0104]另外，也可以由具備載置支撐容器3的鏈條或皮帶等的輸送裝置構(gòu)成中轉(zhuǎn)搬送裝置。在如此由輸送裝置構(gòu)成中轉(zhuǎn)搬送裝置的情況下，鏈條或皮帶等載置支撐容器3的部分相當于載置部11，通過使鏈條或皮帶被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動而使載置支撐的部分(載置部11)沿水平方向移動。
[0105]此外，單一載置部11除了如上述實施方式那樣的-字狀(成方形的U字狀)的板狀部件那樣由一個部件構(gòu)成以外，也可以以分別支撐容器3的設(shè)備橫寬方向的兩端部的方式由一對部件(例如環(huán)形皮帶)構(gòu)成。
[0106](3)在上述實施方式中，將容器搬送部位設(shè)定于以下部位:在載置于載置部11的狀態(tài)下位于容器搬送部位的容器3的上端比行駛用狀態(tài)的頂部搬送車6的下端更位于下方，并且比被行駛用狀態(tài)的頂部搬送車6支撐的容器3的下端更位于上方。但是也可構(gòu)成為:將容器搬送部位設(shè)定于在載置于載置部11的狀態(tài)下位于容器搬送部位的容器3的上端比行駛用狀態(tài)的頂部搬送車6的下端更位于下方且比被行駛用狀態(tài)的頂部搬送車6支撐的容器3的下端更位于下方的部位，即使容器3存在于容器搬送部位，也能夠使支撐容器3的行駛用狀態(tài)的頂部搬送車6自由地行使移動。
[0107](4)在上述實施方式中，將低位置用載置部IlL在該低位置用載置部IlL的移動軌跡與高位置用載置部IlH的移動軌跡從上下方向看具有重復(fù)的部分和非重復(fù)的部分的狀態(tài)下設(shè)置，將高位置用載置部IlH在該高位置用載置部IlH的移動軌跡與低位置用載置部IlH的移動軌跡從上下方向看具有重復(fù)的部分和非重復(fù)的部分的狀態(tài)下設(shè)置，但是也可以在各自的移動軌跡沿上下方向不重復(fù)的狀態(tài)下設(shè)置這些低位置用載置部IlL和高位置用載置部11H。
[0108]具體而言，例如，在上述實施方式中，也可以構(gòu)成為通過將載置部11的俯視形狀形成為梳齒狀等而使對應(yīng)于第一搬送部位IL的位置的低位置用載置部IlL與對應(yīng)于高位置第一搬送部位IH的位置的高位置用載置部IlH從上下方向看不重疊，以各自的移動軌跡沿上下方向不重復(fù)的狀態(tài)設(shè)置低位置用載置部IlL和高位置用載置部11H。
[0109]此外，也可以是，低位置用載置部IlL的移動軌跡整體和高位置用載置部IlH的移動軌跡整體以沿上下方向重復(fù)的狀態(tài)設(shè)置。
[0110](5)在上述實施方式中，將基板4作為被形成為矩形狀的板狀體，但是也可以將基板4作為晶片等被形成為圓形或大致圓形的板狀體。另外，容器3也可以作為晶片容納用的FOUP。
【權(quán)利要求】
1.一種基板搬送設(shè)備，具備以下: 頂部搬送車，其在被配設(shè)于頂部的行駛軌道引導(dǎo)支撐的狀態(tài)下沿所述行駛軌道行駛移動，將容納有多炔基板的容器搬送至容器搬送部位； 具有以下特征: 中轉(zhuǎn)搬送裝置，在所述容器搬送部位與基板取出部位之間自如地搬送所述容器；基板搬送裝置，從位于所述基板取出部位的所述容器取出所述基板，將取出的所述基板搬送至對所述基板進行處理的基板處理裝置， 在此，所述中轉(zhuǎn)搬送裝置構(gòu)成為:具備載置所述容器的單一載置部，使所述載置部沿水平方向移動而在所述容器搬送部位與所述基板取出部位之間自如地搬送所述容器， 所述基板搬送裝置構(gòu)成為:從在載置于所述載置部的狀態(tài)下位于所述基板取出部位的所述容器取出所述基板，將該基板自如地搬送至所述基板處理裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬送設(shè)備，具有以下特征: 所述基板是被形成為矩形狀的板狀體。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板搬送設(shè)備，具有以下特征: 所述中轉(zhuǎn)搬送裝置構(gòu)成為:使所述載置部圍繞沿鉛垂方向的軸心旋轉(zhuǎn)移動，在所述容器搬送部位與所述基板取出部位之間搬送所述容器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項所述的基板搬送設(shè)備，具有以下特征: 所述基板取出部位被設(shè)定有多個， 所述中轉(zhuǎn)搬送裝置以將所述容器分別搬送至多個所述基板取出部位的狀態(tài)被設(shè)有多個， 所述基板搬送裝置構(gòu)成為:在所述容器位于多個所述基板取出部位中任何一個的狀態(tài)下，均從該容器自如地取出所述基板。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任意一項所述的基板搬送設(shè)備，具有以下特征: 所述頂部搬送車升降自如地具備懸掛支撐所述容器的支撐體，構(gòu)成為在使所述支撐體上升移動至上升位置的行駛用狀態(tài)下行駛移動自如，并且構(gòu)成為以使所述支撐體從所述上升位置下降移動而將所述容器卸于所述載置部上的形態(tài)將所述容器搬送至所述容器搬送部位， 所述容器搬送部位被設(shè)定在以下部位:在載置于所述載置部上的狀態(tài)下位于所述容器搬送部位的所述容器的上端比所述行駛用狀態(tài)的所述頂部搬送車的所述支撐體的下端更位于下方，并且比被所述行駛用狀態(tài)的所述頂部搬送車支撐的所述容器的下端更位于上方。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任意一項所述的基板搬送設(shè)備，具有以下特征: 作為所述容器搬送部位，設(shè)定有低位置容器搬送部位和被設(shè)定于比該低位置容器搬送部位更高的位置的高位置容器搬送部位； 作為所述基板取出部位，設(shè)定有低位置基板取出部位和被設(shè)定于比該低位置容器取出部位更高的位置的高位置基板取出部位； 作為所述中轉(zhuǎn)搬送裝置，設(shè)有在所述低位置容器搬送部位與所述低位置基板取出部位之間搬送所述容器的低位置 搬送裝置、以及在所述高位置容器搬送部位與所述高位置基板取出部位之間搬送所述容器的高位置搬送裝置，所述高位置搬送裝置所具備的高位置用所述載置部被設(shè)置在比所述低位置搬送裝置所具備的低位置用所述載置部中的載置所述容器的載置面的高度更高且比載置于所述低位置用載置部的所述容器的上端更低的高度； 所述低位置用載置部以如下狀態(tài)設(shè)置:該低位置用載置部的移動軌跡與載置于所述高位置用載置部的所述容器的移動軌跡從上下方向看，具有重復(fù)的部分和不重復(fù)的部分，所述高位置用載置部以如下狀態(tài)設(shè)置:該高位置用載置部的移動軌跡與載置于所述低位置用載置部的所述 容器的移動軌跡從上下方向看，具有重復(fù)的部分和不重復(fù)的部分。
【文檔編號】B65G1/04GK103803230SQ201310543082
【公開日】2014年5月21日 申請日期:2013年11月6日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月7日
【發(fā)明者】村山繁人 申請人:株式會社大福