基于amhs系統(tǒng)的輸送車行駛控制方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種基于AMHS系統(tǒng)的輸送車行駛控制方法，其包括獲取目標機臺方位；根據(jù)當前軌道交通情況，預算輸送車當前位置到目標機臺位置的總路徑，并將該總路徑分解為多個路段；輸送車出發(fā)并每經(jīng)過一個路段的過程中，判斷下一路段有無其他輸送車；若無，則繼續(xù)按照總路徑行駛下一個路段；否則重新計算輸送車當前位置到目標機臺位置的總路徑，并將該重新計算的總路徑分解為多個路段；到達目標機臺。本發(fā)明可以根據(jù)當時的情況即時選擇最佳行駛路徑，提高搬送效率的同時，可以有效避免因系統(tǒng)故障等原因?qū)е萝壍郎蟽绍囅嘧驳那闆r發(fā)生。
【專利說明】基于AMHS系統(tǒng)的輸送車行駛控制方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及半導體集成電路物料輸送機臺【技術領域】，尤其涉及一種基于AMHS系統(tǒng)的輸送車行駛控制方法。
【背景技術】
[0002]隨著半導體技術的發(fā)展,300mm娃片已經(jīng)逐步取代200mm娃片成為主流,每盒裝載硅片的硅片盒的重量也由原來的約4公斤變成約9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不僅會降低效率，還存在搬運人員人身傷害的可能。同時，半導體制造對于廠房的利用率以及生產(chǎn)周期的要求越來越嚴苛，自動化物料傳輸系統(tǒng)(Automated Material HandlingSystems,簡稱AMHS)作為連接各個制造模塊之間輸送娃片的紐帶的重要性也日益凸顯出來。
[0003]現(xiàn)有的AMHS系統(tǒng)均采用懸掛于天花板上的多條軌道結(jié)構(gòu)與軌道上行駛的OHT輸送車，往返于各個機臺之間(tool to tool輸送模式),或往返于機臺與暫存區(qū)Stocker之間(走道間系統(tǒng)interbay與走道內(nèi)系統(tǒng)intrabay)。如圖1所示的采用走道間、走道內(nèi)的輸送系統(tǒng)，機臺走道每一邊的每一臺機臺10安裝有娃片盒堆疊部20 (load port), OHT輸送車70 (overhead hoist transport)能抓起堆疊部20上的娃片盒30,并通過軌道結(jié)構(gòu)60傳送至另一臺機臺10的堆疊部20上。這種硅片盒30在同一走道內(nèi)的輸送過程稱為走道內(nèi)系統(tǒng)110,而娃片盒30在不同走道之間的輸送過程則稱為走道間系統(tǒng)100。走道內(nèi)系統(tǒng)110的輸送使用OHT輸送車70，走道間系統(tǒng)100的輸送則是先將硅片盒30以輸送車70移至暫存區(qū)50中暫時儲存，等到需要用到此硅片盒30時，再同樣以輸送車70搬送到指定機臺10處。
[0004]一般而言，一個AMHS系統(tǒng)中有多輛輸送車同時運行執(zhí)行任務，如何根據(jù)軌道的實時交通情況，選擇每輛輸送車的最佳行駛路徑是困擾技術人員的難題之一。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于彌補上述現(xiàn)有技術的不足，提供一種基于AMHS系統(tǒng)的輸送車行駛控制方法。
[0006]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種基于AMHS系統(tǒng)的輸送車行駛控制方法，其包括以下步驟:
[0007]步驟SOI，獲取目標機臺方位；
[0008]步驟S02，根據(jù)當前軌道交通情況，預算輸送車當前位置到目標機臺位置的總路徑，并將該總路徑分解為多個路段；
[0009]步驟S03，輸送車出發(fā)并每經(jīng)過一個路段的過程中，判斷下一路段有無其他輸送車；或每經(jīng)過一個路段后停下，判斷下一路段有無其他輸送車；
[0010]步驟S04，若無，則繼續(xù)按照總路徑行駛下一個路段；若有，則重新計算輸送車當前位置到目標機臺位置的總路徑，并將該重新計算的總路徑分解為多個路段；[0011]步驟S05，重復步驟S03和S04，最終到達目標機臺位置。
[0012]進一步地，步驟S02和步驟S04中分解出的多個路段是軌道中每兩個拐角之間的直段軌道。
[0013]本發(fā)明的基于AMHS系統(tǒng)的輸送車行駛控制方法，每經(jīng)過一個路段均考慮下一路段的實時交通情況，可以根據(jù)當時的情況即時選擇最佳行駛路徑，提高搬送效率的同時，可以有效避免因系統(tǒng)故障等原因?qū)е萝壍郎蟽绍囅嘧驳那闆r發(fā)生。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]為能更清楚理解本發(fā)明的目的、特點和優(yōu)點，以下將結(jié)合附圖對本發(fā)明的較佳實施例進行詳細描述，其中:
[0015]圖1本發(fā)明輸送車行駛控制方法第一實施例的流程示意圖。
【具體實施方式】
[0016]第一實施例
[0017]請參閱圖1，本實施例中的基于AMHS系統(tǒng)的輸送車行駛控制方法，包括以下步驟:
[0018]步驟S01，獲取目標機臺方位；
[0019]步驟S02，根據(jù)當前軌道交通情況，預算輸送車當前位置到目標機臺位置的總路徑，并將該總路徑分解為多個路段；
[0020]步驟S03，輸送車出發(fā)并每經(jīng)過一個路段的過程中，判斷下一路段有無其他輸送車；
[0021]步驟S041，若無，則繼續(xù)按照總路徑行駛下一個路段；
[0022]步驟S042，若有，則重新計算輸送車當前位置到目標機臺位置的總路徑，并將該重新計算的總路徑分解為多個路段；
[0023]步驟S05，重復步驟S03和S04，到達目標機臺位置。
[0024]其中，本實施例中步驟S02和步驟S04中分解出的多個路段是軌道中每兩個拐角之間的直段軌道，也就是說AMHS系統(tǒng)中軌道結(jié)構(gòu)的每一段直段就是總路徑中分解出的每一段路段。
[0025]其中，本實施例的預算和計算總路徑可以由AMHS系統(tǒng)的總控制單元完成，也可由每臺輸送車內(nèi)的控制單元完成。
[0026]在其他實施例中，步驟S03可以是，輸送車每經(jīng)過一個路段后停下，判斷下一路段有無其他輸送車，這種方案的搬送效率可能低于第一實施例，但安全性進一步增加了。
【權利要求】
1.一種基于AMHS系統(tǒng)的輸送車行駛控制方法，其特征在于，其包括以下步驟: 步驟SOI，獲取目標機臺方位； 步驟S02，根據(jù)當前軌道交通情況，預算輸送車當前位置到目標機臺位置的總路徑，并將該總路徑分解為多個路段； 步驟S03，輸送車出發(fā)并每經(jīng)過一個路段的過程中，判斷下一路段有無其他輸送車；或每經(jīng)過一個路段后停下，判斷下一路段有無其他輸送車； 步驟S04，若無，則繼續(xù)按照總路徑行駛下一個路段；若有，則重新計算輸送車當前位置到目標機臺位置的總路徑，并將該重新計算的總路徑分解為多個路段； 步驟S05，重復步驟S03和S04，最終到達目標機臺位置。
2.根據(jù)權利要求1所述的基于AMHS系統(tǒng)的輸送車行駛控制方法，其特征在于:步驟S02和步驟S04中分解出的多個路段是軌道中每兩個拐角之間的直段軌道。
【文檔編號】B65G43/00GK103708203SQ201310739688
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年12月27日 優(yōu)先權日:2013年12月27日
【發(fā)明者】尹哲堅 申請人:上海集成電路研發(fā)中心有限公司