Amhs暫存區(qū)系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其包括至少一個設(shè)于AMHS系統(tǒng)暫存區(qū)內(nèi)的暫存設(shè)備，暫存設(shè)備具有回轉(zhuǎn)式的回形暫存平臺，暫存平臺由傳動裝置驅(qū)動而回形轉(zhuǎn)動，暫存平臺上具有多個用于放置硅片盒的暫存托架。本發(fā)明采用回轉(zhuǎn)式的回形暫存平臺，實現(xiàn)暫存區(qū)各個位置硅片盒的移動，再通過設(shè)置硅片盒抓取裝置，可以快捷取放輸送車上的硅片盒、實現(xiàn)硅片盒在暫存平臺任意位置或不同暫存平臺之間的移動，節(jié)省輸送車存取行駛過程中的時間，從而提高了AMHS系統(tǒng)整體的效率。
【專利說明】AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導體集成電路物料輸送設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種自動化物料傳輸系統(tǒng)的暫存區(qū)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導體技術(shù)的發(fā)展,300mm娃片已經(jīng)逐步取代200mm娃片成為主流,每盒裝載硅片的硅片盒的重量也由原來的約4公斤變成約9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不僅會降低效率，還存在搬運人員人身傷害的可能。同時，半導體制造對于廠房的利用率以及生產(chǎn)周期的要求越來越嚴苛，自動化物料傳輸系統(tǒng)(Automated Material HandlingSystems,簡稱AMHS)作為連接各個制造模塊之間輸送娃片的紐帶的重要性也日益凸顯出來。
[0003]現(xiàn)有的AMHS系統(tǒng)均采用懸掛于天花板上的多條軌道結(jié)構(gòu)與軌道上行駛的0ΗΤ輸送車，往返于各個機臺之間(tool to tool輸送模式),或往返于機臺與暫存區(qū)Stocker之間(走道間系統(tǒng)interbay與走道內(nèi)系統(tǒng)intrabay)。如圖1所示的采用走道間、走道內(nèi)的輸送系統(tǒng)，機臺走道每一邊的每一臺機臺10安裝有娃片盒堆疊部20 (load port), 0ΗΤ輸送車70 (overhead hoist transport)能抓起堆疊部20上的娃片盒30,并通過軌道結(jié)構(gòu)60傳送至另一臺機臺10的堆疊部20上。這種硅片盒30在同一走道內(nèi)的輸送過程稱為走道內(nèi)系統(tǒng)110,而娃片盒30在不同走道之間的輸送過程則稱為走道間系統(tǒng)100。走道內(nèi)系統(tǒng)110的輸送使用0ΗΤ輸送車70，走道間系統(tǒng)100的輸送則是先將硅片盒30以輸送車70移至暫存區(qū)50中暫時儲存，等到需要用到此硅片盒30時，再同樣以輸送車70搬送到指定機臺10處。
[0004]可見，現(xiàn)有技術(shù)中暫存區(qū)內(nèi)暫存的硅片盒都是靠0ΗΤ輸送車存取，比如輸送車A將硅片盒拾取后暫存于暫存區(qū)的P位置，位于遠離P位置的Q位置走道的機臺需要使用該硅片盒，那么輸送車B就需要至少行駛P — Q的距離(假定輸送車B已在P位置)，再加上路徑中可能有的其他輸送車，輸送車B需要耗費很多時間來拾取該硅片盒。
[0005]因此，如何在暫存區(qū)內(nèi)實現(xiàn)各個位置硅片盒的移動，來節(jié)省輸送車存取行駛過程中的時間，提高AMHS系統(tǒng)整體的效率，是技術(shù)人員需要解決的技術(shù)問題之一。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于彌補上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種新的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)。
[0007]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其包括至少一個設(shè)于AMHS系統(tǒng)暫存區(qū)內(nèi)的暫存設(shè)備，該暫存設(shè)備具有回轉(zhuǎn)式的回形暫存平臺，該暫存平臺由傳動裝置驅(qū)動而回形轉(zhuǎn)動，該暫存平臺上具有多個用于放置硅片盒的暫存托架。
[0008]進一步地，該暫存平臺具有兩段平行的直段和連接該兩段直段兩端的連接段。
[0009]進一步地，該至少一個直段的兩側(cè)設(shè)有至少一個硅片盒抓取裝置。
[0010]進一步地，該硅片盒抓取裝置設(shè)于該直段的延長線上。[0011]進一步地，該回形暫存平臺的中間也設(shè)有至少一個硅片盒抓取裝置。
[0012]進一步地，該暫存區(qū)系統(tǒng)包括至少兩個暫存設(shè)備，該兩個暫存設(shè)備之間還設(shè)有至少一個硅片盒抓取裝置。
[0013]進一步地，該硅片盒抓取裝置包括可伸展的機械臂和抓取硅片盒的抓手。
[0014]進一步地，該暫存托架上設(shè)有硅片盒探測器，以探測該暫存托架上是否放置了硅片盒。
[0015]進一步地，該回形暫存平臺沿順時針或逆時針方向回形轉(zhuǎn)動。
[0016]本發(fā)明采用以上技術(shù)方案，提供一種新的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其具有回轉(zhuǎn)式的回形暫存平臺，實現(xiàn)暫存區(qū)各個位置硅片盒的移動，再通過設(shè)置硅片盒抓取裝置，可以快捷取放輸送車上的硅片盒、實現(xiàn)硅片盒在暫存平臺任意位置或不同暫存平臺之間的移動，節(jié)省輸送車存取行駛過程中的時間，從而提高了 AMHS系統(tǒng)整體的效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]為能更清楚理解本發(fā)明的目的、特點和優(yōu)點，以下將結(jié)合附圖對本發(fā)明的較佳實施例進行詳細描述，其中:
[0018]圖1是現(xiàn)有AMHS系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2是本發(fā)明第一實施例的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)平面示意圖；
[0020]圖3是本發(fā)明第二實施例的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)平面示意圖；
[0021]圖4是本發(fā)明第二實施例中的硅片盒抓取裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0022]第一實施例
[0023]請參閱圖2，本實施例的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)包括:其包括一個設(shè)于AMHS系統(tǒng)暫存區(qū)內(nèi)的暫存設(shè)備1，暫存設(shè)備1具有回轉(zhuǎn)式的回形暫存平臺11，暫存平臺11由傳動裝置(未圖示)驅(qū)動而回形轉(zhuǎn)動，暫存平臺11上具有多個用于放置硅片盒的暫存托架12。
[0024]其中，暫存平臺11具有兩段平行的直段13和連接直段13兩段的兩段連接段14，形成一個回字形，運轉(zhuǎn)時，暫存平臺11可沿著順時針或逆時針方向回形轉(zhuǎn)動，圖2中箭頭所示順時針的轉(zhuǎn)動方向。
[0025]本實施例中，暫存托架12上還設(shè)有硅片盒探測器，以探測本暫存托架上是否放置了硅片盒。該硅片盒探測器可以設(shè)于暫存托架表面的中心位置。
[0026]第二實施例
[0027]請參閱圖3，本實施例的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)包括:兩個第一實施例中的暫存設(shè)備1，該兩個暫存設(shè)備1的兩個直段分別位于同一直線上，該直線即AMHS系統(tǒng)懸吊軌道的路徑位置，使得輸送車在經(jīng)過暫存設(shè)備時可以恰好將硅片盒投放到或拾取于暫存設(shè)備直段上的暫存托架。
[0028]本實施例中，該兩個暫存設(shè)備兩段直段的兩側(cè)各設(shè)有一個硅片盒抓取裝置31，即總計6個硅片盒抓取裝置31，用以快捷在輸送車和其鄰近的暫存托架之間輸送硅片盒，以及在兩個暫存設(shè)備的暫存托架之間輸送硅片盒，因此其位置需設(shè)于直段的延長線上，即AMHS軌道的路徑上。[0029]本實施例中，每個暫存設(shè)備暫存平臺的中間各設(shè)有一個硅片盒抓取裝置，用于在同一暫存平臺間實現(xiàn)不同暫存托架上硅片盒的移動。
[0030]請繼續(xù)參閱圖4，本實施例中的硅片盒抓取裝置包括底座51、可伸展的機械臂52和抓手53。
[0031]在其他實施例中，為了增加暫存區(qū)內(nèi)硅片盒的轉(zhuǎn)移效率，可以調(diào)整暫存設(shè)備、硅片盒抓取裝置的數(shù)量。
【權(quán)利要求】
1.一種AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其特征在于，其包括:至少一個設(shè)于AMHS系統(tǒng)暫存區(qū)內(nèi)的暫存設(shè)備，該暫存設(shè)備具有回轉(zhuǎn)式的回形暫存平臺，該暫存平臺由傳動裝置驅(qū)動而回形轉(zhuǎn)動，該暫存平臺上具有多個用于放置硅片盒的暫存托架。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其特征在于:該暫存平臺具有兩段平行的直段和連接該兩段直段兩端的連接段。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其特征在于:該至少一個直段的兩側(cè)設(shè)有至少一個硅片盒抓取裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其特征在于:該硅片盒抓取裝置設(shè)于該直段的延長線上。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其特征在于:該回形暫存平臺的中間也設(shè)有至少一個硅片盒抓取裝置。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其特征在于:該暫存區(qū)系統(tǒng)包括至少兩個暫存設(shè)備，該兩個暫存設(shè)備之間還設(shè)有至少一個硅片盒抓取裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求3至6所述的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其特征在于:該硅片盒抓取裝置包括可伸展的機械臂和抓取硅片盒的抓手。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其特征在于:該暫存托架上設(shè)有硅片盒探測器，以探測該暫存托架上是否放置了硅片盒。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其特征在于:該回形暫存平臺沿順時針或逆時針方向回形轉(zhuǎn)動。
【文檔編號】B65G49/07GK103693445SQ201310739705
【公開日】2014年4月2日 申請日期:2013年12月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月27日
【發(fā)明者】錢剛 申請人:上海集成電路研發(fā)中心有限公司