芯片移載裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種芯片移載裝置，包含：一驅(qū)動軸、一R軸凸輪構(gòu)件、一R軸受動構(gòu)件、一Y軸凸輪構(gòu)件、一支撐構(gòu)件、一雙向?qū)б龢?gòu)件、一Z軸偏心軸構(gòu)件、以及一芯片載送受動構(gòu)件，驅(qū)動軸穿過R軸凸輪構(gòu)件及Y軸凸輪構(gòu)件并以一驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動，R軸受動構(gòu)件因R軸受動件受R軸凸輪驅(qū)動件所驅(qū)動而于R軸平移，雙向?qū)б龢?gòu)件藉由一Y軸受動件穿過支撐構(gòu)件的一Y軸第一限位孔而連動于Y軸凸輪驅(qū)動件，芯片載送受動構(gòu)件受動于雙向?qū)б龢?gòu)件以及Z軸偏心軸件于Z軸及Y軸移動，藉此，芯片移載裝置能夠以單一驅(qū)動機(jī)構(gòu)而達(dá)成三軸方向的控制，節(jié)省構(gòu)建成本并降低震動。
【專利說明】芯片移載裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型系關(guān)于一種芯片移載裝置，特別是關(guān)于一種具有單一驅(qū)動軸結(jié)構(gòu)的芯片移載裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在芯片的制造過程中，有搬動芯片以配合各階段制程的需要。該芯片移載的方向，一般分為Y軸移載、Z軸移載、以及R軸移載。所謂Y軸移載一般為指將芯片以水平的方向搬送，所謂Z軸移載一般為指將芯片以垂直水平的方向搬送，而所謂R軸移載一般為指Y軸移載以及Z軸移載的綜合，亦即R軸移載系指將芯片以非水平且非垂直的方向而搬送。
[0003]為了達(dá)成上述Y軸移載、Z軸移載、以及R軸移載，習(xí)知的芯片移載裝置為具有三個驅(qū)動軸，每個驅(qū)動軸對應(yīng)于前述Y軸移載、Z軸移載、以及R軸移載中的一個。在這樣三個驅(qū)動軸的架構(gòu)中，一般需要三個馬達(dá)，其所帶來的能源消耗、震動，對于成本以及產(chǎn)品質(zhì)量將帶來不良的影響。此外，由于具有三個驅(qū)動軸以及三個馬達(dá)，其相互之間的配合，尤其是驅(qū)動軸與驅(qū)動軸之間的配合，將非常復(fù)雜，其所帶來的設(shè)計成本將為提高，且其精密度也會受到設(shè)計本身的復(fù)雜度而降低。即使將三個驅(qū)動軸改為二個驅(qū)動軸，其所相對所需提升的設(shè)計復(fù)雜度、精密度、成本，仍為一問題。
實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型的主要目的是提供一種為以單一驅(qū)動軸以及單一馬達(dá)的方式而進(jìn)行芯片移載的裝置，以解決習(xí)知芯片移載裝置的成本、能源消耗、震動等問題。
[0005]本實用新型為解決習(xí)知技術(shù)的問題所采用的技術(shù)手段系提供一種芯片移載裝置，包含:一驅(qū)動軸，受一驅(qū)動機(jī)構(gòu)所驅(qū)動；一 R軸凸輪構(gòu)件，具有一 R軸凸輪軸孔、以及一 R軸凸輪驅(qū)動件，R軸凸輪軸孔為驅(qū)動軸所穿過而轉(zhuǎn)動R軸凸輪構(gòu)件；一 R軸受動構(gòu)件，具有一芯片轉(zhuǎn)載件、以及一 R軸受動件，R軸受動構(gòu)件因R軸受動件受R軸凸輪驅(qū)動件所驅(qū)動而在一 R軸平移；一 Y軸凸輪構(gòu)件，具有一 Y軸凸輪軸孔、以及一 Y軸凸輪驅(qū)動件，Y軸凸輪軸孔為驅(qū)動軸所穿過而轉(zhuǎn)動Y軸凸輪構(gòu)件；一支撐構(gòu)件，具有一 Y軸第一限位孔，支撐構(gòu)件為驅(qū)動軸所穿過；一雙向?qū)б龢?gòu)件，具有一 Y軸第二限位孔以及一 Z軸導(dǎo)引件，Z軸導(dǎo)引構(gòu)件藉由一 Y軸受動件穿過Y軸第一限位孔而連動于Y軸凸輪驅(qū)動件；一 Z軸偏心軸構(gòu)件，其一端連接于穿過Y軸第二限位孔的驅(qū)動軸，另一端具有一 Z軸偏心軸件；一芯片載送受動構(gòu)件，具有一芯片載送件，且芯片載送受動構(gòu)件受動于雙向?qū)б龢?gòu)件以及Z軸偏心軸件而為Z軸以及Y軸的移動。
[0006]依據(jù)本實用新型的一實施例，其中R軸凸輪驅(qū)動件為一槽孔，而R軸受動件為一凸體，經(jīng)轉(zhuǎn)動驅(qū)動軸而使凸體導(dǎo)入至槽孔。
[0007]依據(jù)本實用新型的一實施例，其中Y軸凸輪驅(qū)動件為一槽孔，而Y軸受動件為一凸體。
[0008]依據(jù)本實用新型的一實施例，其中芯片載送受動構(gòu)件具有一 Y軸第三限位孔，Y軸第三限位孔的周緣并受Z軸偏心軸件的施力而使芯片載送受動機(jī)構(gòu)為一 Z軸的移動。
[0009]依據(jù)本實用新型的一實施例，其中芯片載送受動構(gòu)件具有一 Z軸滑軌件，Z軸滑軌件對應(yīng)于雙向?qū)б龢?gòu)件的Z軸導(dǎo)引件。
[0010]依據(jù)本實用新型的一實施例，其中支撐構(gòu)件具有一 Y軸滑軌件，雙向?qū)б龢?gòu)件藉由Y軸滑軌件而在Y軸滑動。
[0011]依據(jù)本實用新型的一實施例，其中驅(qū)動機(jī)構(gòu)為一驅(qū)動馬達(dá)。
[0012]依據(jù)本實用新型的一實施例，還包括一凸輪固定件，穿設(shè)于R軸凸輪構(gòu)件以及Y軸凸輪構(gòu)件之間，R軸凸輪構(gòu)件以及Y軸凸輪構(gòu)件受驅(qū)動機(jī)構(gòu)而同時旋轉(zhuǎn)。
[0013]經(jīng)由本實用新型所采用的技術(shù)手段，芯片移載裝置能夠僅以單驅(qū)動軸單馬達(dá)的結(jié)構(gòu)而達(dá)到三軸方向的控制，不僅能夠節(jié)省裝置的構(gòu)建成本，更能降低裝置運作時的能源消耗，并且減少操作時的馬達(dá)震動，以使移載芯片更加地穩(wěn)定。此外，由于僅使用單馬達(dá)而達(dá)到三軸控制，因此馬達(dá)控制能夠簡化。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1系顯示依據(jù)本實用新型的一實施例的芯片移載裝置的立體示意圖；
[0015]圖2與圖3系顯示依據(jù)本實用新型的一實施例的芯片移載裝置的立體爆炸圖；
[0016]圖4系顯示依據(jù)本實用新型的一實施例的芯片移載裝置于初始位置的透視示意圖；
[0017]圖5系顯示依據(jù)本實用新型的一實施例的芯片移載裝置于進(jìn)程后的透視示意圖；
`[0018]圖6系顯示依據(jù)本實用新型的一實施例的芯片移載裝置于初始位置的正視圖；
[0019]圖7系顯示依據(jù)本實用新型的一實施例的芯片移載裝置于進(jìn)程后的正視圖；
[0020]圖8系顯示依據(jù)本實用新型的一實施例的芯片移載裝置于返程后的正視圖。
[0021]符號說明
[0022]100 芯片移載裝置
[0023]I驅(qū)動軸機(jī)構(gòu)
[0024]11受驅(qū)動機(jī)構(gòu)
[0025]12軸件
[0026]13 凸輪固定件
[0027]131 固定柱
[0028]2本體
[0029]21中央軸孔
[0030]22R軸滑槽
[0031]221 滑軌
[0032]3支撐構(gòu)件
[0033]31中央軸孔
[0034]32Y軸第一限位孔
[0035]33Y軸滑軌件
[0036]34 R軸滑軌件
[0037]4R軸凸輪構(gòu)件[0038]41 R軸凸輪軸孔
[0039]42R軸凸輪驅(qū)動件
[0040]43 R軸凸輪固定孔
[0041]5R軸受動構(gòu)件
[0042]51基板
[0043]52芯片轉(zhuǎn)載件
[0044]53滑塊
[0045]54 R軸受動件
[0046]541 R軸軸承滾輪
[0047]6Y軸凸輪構(gòu)件
[0048]61Y軸凸輪軸孔
[0049]62Y軸凸輪驅(qū)動件
[0050]63Y軸凸輪固定孔
[0051]7雙向?qū)б龢?gòu)件
[0052]71Y軸第 二限位孔
[0053]72Z軸導(dǎo)引件
[0054]721 滑軌
[0055]73 Y軸受動件
[0056]8Z軸偏心軸構(gòu)件
[0057]81中心軸孔
[0058]82Z軸偏心軸件
[0059]9芯片載送受動構(gòu)件
[0060]91 Z軸滑移構(gòu)件
[0061]911 Y軸第三限位孔
[0062]92 芯片載送件
[0063]W芯片
【具體實施方式】
[0064]本實用新型所采用的具體實施例，將藉由以下的實施例及附呈圖式作進(jìn)一步的說明。
[0065]請參閱圖1至圖3，依據(jù)本實用新型的一實施例的一種芯片移載裝置100，包含:一驅(qū)動軸機(jī)構(gòu)1、一本體2、一支撐構(gòu)件3、一 R軸凸輪構(gòu)件4、一 R軸受動構(gòu)件5、一 Y軸凸輪構(gòu)件6、一雙向?qū)б龢?gòu)件7、一 Z軸偏心軸構(gòu)件8、以及一芯片載送受動構(gòu)件9。
[0066]驅(qū)動軸機(jī)構(gòu)I包括一驅(qū)動機(jī)構(gòu)11、一軸件12、以及一凸輪固定件13。驅(qū)動機(jī)構(gòu)11系為一馬達(dá)。軸件12—端連接驅(qū)動機(jī)構(gòu)11，另一端則供R軸凸輪構(gòu)件4及Y軸凸輪構(gòu)件6套設(shè)。軸件12受驅(qū)動機(jī)構(gòu)11帶動而旋轉(zhuǎn)動作，進(jìn)而帶動R軸凸輪構(gòu)件4及Y軸凸輪構(gòu)件6旋轉(zhuǎn)。
[0067]凸輪固定件13 —端系套設(shè)于軸件12上，另一端則凸設(shè)有朝向X軸延伸的一固定柱131。固定柱131穿設(shè)于R軸凸輪構(gòu)件4以及Y軸凸輪構(gòu)件6之間，以使R軸凸輪構(gòu)件4以及Y軸凸輪構(gòu)件6在旋轉(zhuǎn)時能夠保持固定的相對位置，使得芯片移載裝置100動作時的精確度更佳。
[0068]本體2包括一中央軸孔21以及一 R軸滑槽22。中央軸孔21用以供軸件12設(shè)置于其中。R軸滑槽22位于本體2的左側(cè)，內(nèi)側(cè)設(shè)置有平行于R軸的一滑軌221。
[0069]支撐構(gòu)件3設(shè)置于本體2的前側(cè)。支撐構(gòu)件3具有中央軸孔31以及一 Y軸第一限位孔32，并包括一 Y軸滑軌件33以及一 R軸滑軌件34。中央軸孔31為軸件12所穿過。Y軸第一限位孔32系為孔型與Y軸平行的一長條孔。Y軸滑軌件33系為兩滑軌，分別設(shè)置于Y軸第一限位孔32的上下兩側(cè)而平行于Y軸。R軸滑軌件34系為一滑軌，其系設(shè)置于支撐構(gòu)件3的左前側(cè)并平行于R軸。
[0070]R軸凸輪構(gòu)件4系為一盤型凸輪，具有一 R軸凸輪軸孔41、一 R軸凸輪驅(qū)動件42、以及一 R軸凸輪固定孔43。R軸凸輪軸孔41設(shè)置于盤型凸輪的圓心處，供軸件12穿設(shè)于其中，以使驅(qū)動軸機(jī)構(gòu)I帶動R軸凸輪構(gòu)件4以X軸為旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)。R軸凸輪驅(qū)動件42系為R軸凸輪構(gòu)件4的周緣，接觸R軸受動構(gòu)件5并帶動R軸受動構(gòu)件5沿著R軸動作。不過，R軸凸輪驅(qū)動件42也可為一槽孔，供R軸受動構(gòu)件5的一 R軸受動件(例如，一凸塊)導(dǎo)入槽孔之中，以使R軸受動構(gòu)件5沿著R軸動作。R軸凸輪固定孔43設(shè)置鄰近于R軸凸輪軸孔41處，供固定柱131穿設(shè)于其中。在本實施例中，R軸凸輪構(gòu)件4在進(jìn)程時系為逆時針旋轉(zhuǎn)。
[0071]詳細(xì)而言，隨著R軸凸輪構(gòu)件4的進(jìn)程旋轉(zhuǎn)角度增加，R軸凸輪構(gòu)件4的內(nèi)徑(夕卜緣輪廓到R軸凸輪軸孔41的長度)系為漸縮。較佳地，R軸凸輪構(gòu)件4可挖有多個開孔，以減輕R軸凸輪構(gòu)件4的重量而降低轉(zhuǎn)動慣量，進(jìn)而使R軸凸輪構(gòu)件4易于旋轉(zhuǎn)。
[0072]R軸受動構(gòu)件5包括一基板51、一芯片轉(zhuǎn)載件52、兩組滑塊53、以及一 R軸受動件54。芯片轉(zhuǎn)載件52設(shè)置于基板51的外側(cè)面。兩組滑塊53系設(shè)置于基板51的上側(cè)面而平行于R軸，且兩滑塊53相間隔一距離。R軸受動構(gòu)件5藉由滑塊53而滑設(shè)于滑軌121以及R軸滑軌件34，以使R軸受動構(gòu)件5沿著R軸動作。R軸受動件54設(shè)置于基板51的上側(cè)面而位于兩組滑塊53之間，自基板51的上側(cè)面而垂直向上延伸。一 R軸軸承滾輪541設(shè)置于R軸受動件54的延伸末端處，并靠置于R軸凸輪驅(qū)動件42。
[0073]Y軸凸輪構(gòu)件6系為一槽型凸輪，具有一 Y軸凸輪軸孔61、一 Y軸凸輪驅(qū)動件62、以及一 Y軸凸輪固定孔63。Y軸凸輪軸孔61設(shè)置于盤型凸輪的圓心處，軸件12穿設(shè)于Y軸凸輪軸孔61中，以使驅(qū)動軸機(jī)構(gòu)I帶動Y軸凸輪構(gòu)件6以X軸為旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)。Y軸凸輪驅(qū)動件62系為一導(dǎo)引槽，其系對應(yīng)Y軸凸輪構(gòu)件6的外緣輪廓的形狀而凹設(shè)于表面處。Y軸凸輪固定孔63系設(shè)置于表面處而鄰近Y軸凸輪軸孔61，供固定柱131穿設(shè)其中。
[0074]雙向?qū)б龢?gòu)件7系呈「L」字型，設(shè)置于支撐構(gòu)件3的前側(cè)。雙向?qū)б龢?gòu)件7具有一 Y軸第二限位孔71，包括一 Z軸導(dǎo)引件72以及一 Y軸受動件73。Y軸第二限位孔71系為一長條孔，其孔型平行于Y軸。Z軸導(dǎo)引件72系為一滑軌，設(shè)置于雙向?qū)б龢?gòu)件7的右側(cè)而平行于Z軸。Y軸受動件73設(shè)置于雙向?qū)б龢?gòu)件7的后側(cè)，其可穿于支撐構(gòu)件3的Y軸第一限位孔32后，而容置于Y軸凸輪構(gòu)件6的Y軸凸輪驅(qū)動件62 (導(dǎo)引槽)之中。在本實施例中，Y軸受動件73系為一軸承滾輪，而可滾動于Y軸凸輪驅(qū)動件62之中。
[0075]Z軸偏心軸構(gòu)件8具有一中心軸孔81以及一 Z軸偏心軸件82。Z軸偏心軸構(gòu)件8一端連接于穿過Y軸第二限位孔71的軸件12，Z軸偏心軸件82則設(shè)置于另一端。在本實施例中，Z軸偏心軸件82系為一軸承滾輪。
[0076]芯片載送受動構(gòu)件9固設(shè)于雙向?qū)б龢?gòu)件7的前側(cè)。芯片載送受動構(gòu)件9包括一Z軸滑移構(gòu)件91以及一芯片載送件92。Z軸滑移構(gòu)件91系為一滑臺，具有一 Y軸第三限位孔911。Z軸滑移構(gòu)件91滑設(shè)于滑軌721上，而能夠動作于Z軸。Y軸第三限位孔911設(shè)置于Z軸滑移構(gòu)件91的左側(cè)，用以容置Z軸偏心軸件82。芯片載送件92設(shè)置于Z軸滑移構(gòu)件91的前側(cè)，能夠吸取芯片載送件92正下方的芯片W。
[0077]請同時參閱圖4至圖8。圖4、圖6系顯示芯片移載裝置100位于初始位置的示意圖。此時R軸凸輪構(gòu)件4、Y軸凸輪構(gòu)件6以及Z軸偏心軸構(gòu)件8位于一初始位置，R軸受動構(gòu)件5以R軸受動件54靠置于R軸凸輪構(gòu)件4而保持一高度，雙向?qū)б龢?gòu)件7則藉由Y軸受動件73而靜止于Y軸第一限位孔32的右側(cè)。
[0078]當(dāng)芯片移載裝置100欲進(jìn)行芯片W的移載作業(yè)時，驅(qū)動軸機(jī)構(gòu)I以逆時針方向旋轉(zhuǎn)而為進(jìn)程，并帶動R軸凸輪構(gòu)件4以及Y軸凸輪構(gòu)件6旋轉(zhuǎn)。此時R軸凸輪構(gòu)件4的內(nèi)徑隨著進(jìn)程旋轉(zhuǎn)角度增加而為漸縮，亦即，R軸凸輪構(gòu)件4的外緣側(cè)距離圓心的距離越來越短，靠置在R軸凸輪構(gòu)件4外緣端的R軸受動件54因此逐漸靠近圓心，進(jìn)而帶動R軸受動構(gòu)件5沿著R軸而于滑軌121以及R軸滑軌件34下滑。Y軸受動件73設(shè)置于Y軸凸輪驅(qū)動件62之中，由于Y軸凸輪驅(qū)動件62的設(shè)計，故進(jìn)程時，Y軸受動件73會先滯留初始位置一段時間，再受槽壁的正向力導(dǎo)引而沿著Y軸動作，進(jìn)而帶動雙向?qū)б龢?gòu)件7沿著Y軸動作。
[0079]同時，Z軸偏心軸件82以逆時針旋轉(zhuǎn)，而卡于Y軸第三限位孔911。故Z軸偏心軸件82以向上的分力而帶動Z軸滑移構(gòu)件91于滑軌721沿著Z軸上升。當(dāng)進(jìn)程旋轉(zhuǎn)角度超過180度時，Z軸偏心軸件82則改以向下的Z軸分力帶動Z軸滑移構(gòu)件91于滑軌721沿著Z軸下降。
[0080]如此一來，當(dāng)芯片移載裝置100，R軸受動構(gòu)件5自初始位置而沿著R軸向下滑移，而芯片載送受動構(gòu)件9則先受Z軸偏心軸件82而沿著Z軸向上滑移，并且芯片載送受動構(gòu)件9受雙向?qū)б龢?gòu)件7帶動而沿著Y軸向左橫移，以使芯片載送件92將吸取的芯片W放置于芯片轉(zhuǎn)載件52。
[0081]之后，芯片移載裝置100若欲進(jìn)行返程作業(yè)，以將芯片轉(zhuǎn)載件52上的芯片W移載至別處，則驅(qū)動軸機(jī)構(gòu)I以順時針方向旋轉(zhuǎn)，并帶動R軸凸輪構(gòu)件4以及Y軸凸輪構(gòu)件6旋轉(zhuǎn)回復(fù)至初始位置，其動作細(xì)節(jié)與前述類似而僅為反向動作，故在此不再贅述。從而，芯片載送件92回到初始位置并預(yù)備吸取下個芯片，而芯片轉(zhuǎn)載件52則將芯片W沿著R軸載送至下一階段的制程。
[0082]藉由上述的結(jié)構(gòu)，芯片移載裝置100能夠僅以單驅(qū)動軸單馬達(dá)的結(jié)構(gòu)而達(dá)到三軸方向的控制，不僅能夠節(jié)省裝置的構(gòu)建成本，更能降低裝置運作時的能源消耗，并且減少操作時的馬達(dá)震動，以使移載芯片更加地穩(wěn)定。此外，由于僅使用單馬達(dá)而達(dá)到三軸控制，因此馬達(dá)控制能夠簡化。
[0083]以上的敘述僅為本實用新型的較佳實施例說明，凡精于此項技藝者當(dāng)可依據(jù)上述的說明而作其它種種的改良，然而這些改變?nèi)詫儆诒緦嵱眯滦偷膭?chuàng)作精神及所界定的專利范圍中。
【權(quán)利要求】
1.一種芯片移載裝置，其特征在于，包含: 一驅(qū)動軸，受一驅(qū)動機(jī)構(gòu)所驅(qū)動； 一 R軸凸輪構(gòu)件，具有一 R軸凸輪軸孔、以及一 R軸凸輪驅(qū)動件，該R軸凸輪軸孔為該驅(qū)動軸所穿過而轉(zhuǎn)動該R軸凸輪構(gòu)件； 一 R軸受動構(gòu)件，具有一芯片轉(zhuǎn)載件、以及一 R軸受動件，該R軸受動構(gòu)件因該R軸受動件受該R軸凸輪驅(qū)動件所驅(qū)動而在一 R軸平移； 一 Y軸凸輪構(gòu)件，具有一 Y軸凸輪軸孔、以及一 Y軸凸輪驅(qū)動件，該Y軸凸輪軸孔為該驅(qū)動軸所穿過而轉(zhuǎn)動該Y軸凸輪構(gòu)件； 一支撐構(gòu)件，具有一 Y軸第一限位孔，該支撐構(gòu)件為該驅(qū)動軸所穿過； 一雙向?qū)б龢?gòu)件，具有一 Y軸第二限位孔以及一 Z軸導(dǎo)引件，該Z軸導(dǎo)引構(gòu)件藉由一 Y軸受動件穿過該Y軸第一限位孔而連動于該Y軸凸輪驅(qū)動件； 一 Z軸偏心軸構(gòu)件，其一端連接于穿過該Y軸第二限位孔的該驅(qū)動軸，另一端具有一 Z軸偏心軸件； 一芯片載送受動構(gòu)件，具有一芯片載送件，且該芯片載送受動構(gòu)件受動于該雙向?qū)б龢?gòu)件以及該Z軸偏心軸件而為Z軸以及Y軸的移動。
2.如權(quán)利要求1所述的芯片移載裝置，其特征在于，該R軸凸輪驅(qū)動件為一槽孔，而該R軸受動件為一凸體，經(jīng)轉(zhuǎn)動該驅(qū)動軸而使該凸體導(dǎo)入至該槽孔。
3.如權(quán)利要求1所述的芯片移載裝置，其特征在于，該Y軸凸輪驅(qū)動件為一槽孔，而該Y軸受動件為一凸體。
4.如權(quán)利要求1所述的芯片移載裝置，其特征在于，該芯片載送受動構(gòu)件具有一Y軸第三限位孔，該Y軸第三限位孔的周緣并受Z軸偏心軸件的施力而使該芯片載送受動機(jī)構(gòu)為一 Z軸的移動。
5.如權(quán)利要求1所述的芯片移載裝置，其特征在于，該芯片載送受動構(gòu)件具有一Z軸滑軌件，該Z軸滑軌件對應(yīng)于該雙向?qū)б龢?gòu)件的該Z軸導(dǎo)引件。
6.如權(quán)利要求1所述的芯片移載裝置，其特征在于，該支撐構(gòu)件具有一Y軸滑軌件，該雙向?qū)б龢?gòu)件藉由該Y軸滑軌件而在Y軸滑動。
7.如權(quán)利要求1所述的芯片移載裝置，其特征在于，該驅(qū)動機(jī)構(gòu)為一驅(qū)動馬達(dá)。
8.如權(quán)利要求1所述的芯片移載裝置，其特征在于，還包括一凸輪固定件，穿設(shè)于該R軸凸輪構(gòu)件以及該Y軸凸輪構(gòu)件之間，該R軸凸輪構(gòu)件以及該Y軸凸輪構(gòu)件受驅(qū)動機(jī)構(gòu)而同時旋轉(zhuǎn)。
【文檔編號】B65G47/90GK203450841SQ201320369763
【公開日】2014年2月26日 申請日期:2013年6月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月19日
【發(fā)明者】陳光誠, 鐘全銘 申請人:威控自動化機(jī)械股份有限公司