一種基板的上下料裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型提供一種基板的上下料裝置，包括卡匣、載臺(tái)和滾輪組，所述卡匣設(shè)置于載臺(tái)的上方，且所述卡匣底部的底板具有開(kāi)口，所述開(kāi)口下方設(shè)置有滾輪組，所述載臺(tái)或滾輪組連接有升降機(jī)，所述滾輪組連接有電機(jī)。所述滾輪組包括多個(gè)滾輪，每個(gè)滾輪的滾輪軸與卡匣的底板相平行，且每個(gè)滾輪的滾動(dòng)方向均朝向卡匣的料口方向。實(shí)用新型提供的基板的上下料裝置與機(jī)械手相比，采用滾輪傳送基板，通過(guò)降低或提升載臺(tái)的高度實(shí)現(xiàn)上下料，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉以及空間占用面積小等優(yōu)點(diǎn)，解決了傳統(tǒng)的機(jī)械手方式占用空間大操作、結(jié)構(gòu)復(fù)雜、成本高等問(wèn)題。
【專(zhuān)利說(shuō)明】—種基板的上下料裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)，具體涉及一種基板的上下料裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)中，玻璃基板的傳輸方式有多種,其中最為常見(jiàn)的傳輸方式為通過(guò)機(jī)械手夾取方式，通過(guò)機(jī)械手將玻璃基板取出或放入卡匣，實(shí)現(xiàn)為設(shè)備的上下料動(dòng)作。然而該最為普遍的機(jī)械手夾取進(jìn)行上下料的方式卻存在明顯的不足之處，如空間占用大、機(jī)械手結(jié)構(gòu)復(fù)雜、材料要求高、成本較高等方面，因而，急需開(kāi)發(fā)一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且成本相對(duì)較低的上下料裝置以滿(mǎn)足現(xiàn)有行業(yè)的使用需求。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型提供一種基板的上下料裝置，通過(guò)卡匣升降、滾輪托舉基板的傳送方式實(shí)現(xiàn)上下料，解決了現(xiàn)有技術(shù)中玻璃基板上下料裝置的空間占用大、結(jié)構(gòu)復(fù)雜、成本高等問(wèn)題。
[0004]本實(shí)用新型提供一種基板的上下料裝置，所述上下料裝置包括卡匣、載臺(tái)和滾輪組，所述卡匣設(shè)置于載臺(tái)的上方，且所述卡匣底部的底板具有開(kāi)口，所述開(kāi)口下方設(shè)置滾輪組，所述卡匣側(cè)面還具有料口，所述滾輪組的滾動(dòng)方向朝向卡匣的料口 ；所述上下料裝置還包括使所述卡匣升降或所述滾輪組升降以調(diào)整所述卡匣和滾輪組相對(duì)位置的升降機(jī)。
[0005]進(jìn)一步地，所述載臺(tái)的側(cè)面連接有升降機(jī)。
[0006]進(jìn)一步地，所述升降機(jī)為絲杠升降機(jī)或氣動(dòng)升降機(jī)。
[0007]進(jìn)一步地，所述滾輪組連接有電機(jī)。
[0008]進(jìn)一步地，所述滾輪組包括多個(gè)滾輪，每個(gè)滾輪的滾輪軸與卡匣底部的底板相平行。
[0009]進(jìn)一步地，所述開(kāi)口的個(gè)數(shù)為多個(gè)，且開(kāi)口的個(gè)數(shù)與滾輪的個(gè)數(shù)相等，每個(gè)開(kāi)口對(duì)應(yīng)設(shè)置有一個(gè)滾輪。
[0010]進(jìn)一步地，所述開(kāi)口的個(gè)數(shù)為I個(gè)，開(kāi)口對(duì)應(yīng)分散設(shè)置有多個(gè)滾輪。
[0011]進(jìn)一步地，每個(gè)滾輪均豎直向下連接有單獨(dú)的豎直方向同步帶，而每個(gè)豎直方向同步帶的下方均與一共同的水平方向同步帶相連接，通過(guò)所述水平方向同步帶連接電機(jī)。
[0012]進(jìn)一步地，每個(gè)滾輪的外側(cè)分別設(shè)置有罩子，每個(gè)滾輪的輪體表面均部分凸出于罩子的頂部。
[0013]本實(shí)用新型具有的優(yōu)點(diǎn)在于:
[0014]本實(shí)用新型提供一種基板的上下料裝置，包括卡匣、載臺(tái)、滾輪組以及升降機(jī)，采用滾輪組傳送基板，并通過(guò)升降機(jī)降低或提升卡匣或滾輪組而實(shí)現(xiàn)基板與滾輪組的高度調(diào)整，從而實(shí)現(xiàn)上下料，與現(xiàn)有技術(shù)中采用機(jī)械手上下料技術(shù)相比，基板傳送方式更加靈活，傳送更易于操作，且上下料裝置的整體結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單，成本低廉，并且整個(gè)裝置空間占用面積較小，解決了傳統(tǒng)的機(jī)械手方式占用空間大操作、結(jié)構(gòu)復(fù)雜、成本高等問(wèn)題?！緦?zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1是實(shí)用新型提供的基板的上下料裝置中卡匣的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖；
[0016]圖2是實(shí)用新型提供的基板的上下料裝置的整體結(jié)構(gòu)圖；
[0017]圖3是實(shí)用新型提供的基板的上下料裝置中載臺(tái)和滾輪組的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖中:1-卡匣；2_開(kāi)口；3_載臺(tái)；4_滾輪組；5_滾輪；6_電機(jī)；7_升降機(jī)；8_料□。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明，以使本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以更好的理解本實(shí)用新型并能予以實(shí)施，但所舉實(shí)施例不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。
[0020]本實(shí)用新型提供一種基板的上下料裝置，如圖1-圖3所示，包括卡匣1、載臺(tái)3和滾輪組4。所述卡匣I的結(jié)構(gòu)如圖1所示，為現(xiàn)有技術(shù)中常見(jiàn)的結(jié)構(gòu)框架部件，圖1所示的卡匣I為400mmX500mm尺寸的卡匣，卡匣I底部的底板為具有開(kāi)口 2的平板，該開(kāi)口 2可以設(shè)置I個(gè)或多個(gè)，其中圖1所示的現(xiàn)有400mmX 500mm尺寸的卡匣，其底部為具有六個(gè)正方形開(kāi)口。若選用現(xiàn)有技術(shù)中其他結(jié)構(gòu)的卡匣I的底板為無(wú)開(kāi)口 2的平板，則將其加工為具有開(kāi)口 2的結(jié)構(gòu)。
[0021]所述卡匣I設(shè)置于載臺(tái)3上方，所述載臺(tái)3采用適合卡匣I底部框架輪廓形狀的結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)有效承載卡匣1，限制卡匣I前后左右偏移的框體。載臺(tái)3或滾輪組4連接有升降機(jī)7，通過(guò)升降機(jī)7可以上升、下降該載臺(tái)3或滾輪組4，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)其上放置的卡匣I的升降或滾輪組4的升降，以實(shí)現(xiàn)位置調(diào)整。所述滾輪組4設(shè)置于載臺(tái)3的中空框架中，但不與所述載臺(tái)3或卡匣I有任何固定或連接，可相應(yīng)設(shè)置于底面或者固定的操作臺(tái)平面上。所述卡匣側(cè)面還具有料口 8，所述滾輪組4的滾動(dòng)方向朝向卡匣I的料口 8。
[0022]優(yōu)選地，所述載臺(tái)3的側(cè)面連接有所述升降機(jī)7。
[0023]優(yōu)選地，所述升降機(jī)7優(yōu)選為絲杠升降機(jī)，也可以選擇氣動(dòng)升降機(jī)。
[0024]優(yōu)選地，所述滾輪組4連接有電機(jī)6。
[0025]優(yōu)選地，所述滾輪組4包括多個(gè)滾輪5，每個(gè)滾輪5的滾輪軸與卡匣底部的底板相平行。
[0026]優(yōu)選地，所述開(kāi)口 2的個(gè)數(shù)為多個(gè)，且開(kāi)口 2的個(gè)數(shù)與滾輪5的個(gè)數(shù)相等，每個(gè)開(kāi)口 2對(duì)應(yīng)設(shè)置有一個(gè)滾輪5。
[0027]優(yōu)選地,所述卡匣I底部設(shè)計(jì)為一個(gè)大尺寸的開(kāi)口 2，則多個(gè)滾輪5對(duì)應(yīng)均勻分散設(shè)置于該開(kāi)口 2的下方。
[0028]優(yōu)選地，所述滾輪5為豎直方向設(shè)置的帶動(dòng)力滾輪，設(shè)置時(shí)使每個(gè)滾輪5的滾動(dòng)方向均朝向相同的方向，即朝向卡匣I的料口 8出去或進(jìn)入方向。每個(gè)滾輪5分別豎直向下連接有單獨(dú)的豎直方向同步帶，而每個(gè)豎直方向同步帶的下方均與一共同的水平方向同步帶相連接，通過(guò)該水平方向同步帶連接電機(jī)6,進(jìn)而提供滾輪5滾動(dòng)動(dòng)力，并通過(guò)水平方向同步帶以及多個(gè)豎直方向同步帶的同步傳遞動(dòng)力，使各個(gè)滾輪5同步滾動(dòng)。
[0029]優(yōu)選地，每個(gè)滾輪5的外側(cè)分別設(shè)置有罩子進(jìn)行遮擋，罩子也可以將滾輪5下方相應(yīng)的豎直方向同步帶一并進(jìn)行遮擋，但滾輪5的輪體表面可部分凸出于罩子的頂部，以滿(mǎn)足能夠透過(guò)開(kāi)口 2接觸并滾動(dòng)傳送基板。
[0030]本實(shí)用新型中卡匣I在載臺(tái)3的帶動(dòng)下可以上下升降。當(dāng)上料時(shí)，通過(guò)升降機(jī)7可以下降載臺(tái)3，使卡匣I下降，可以使卡匣I中層層疊放于支撐片中的基板可以逐層降落到滾輪5上被托起，并通過(guò)滾輪5滑動(dòng)傳送出卡匣I料口 8，卡匣I的料口 8對(duì)齊機(jī)臺(tái)的上料口，機(jī)臺(tái)通過(guò)本身傳動(dòng)的滾輪5接收基板，然后可以再驅(qū)動(dòng)升降機(jī)7，使卡匣I再下降一層支撐片高度，繼續(xù)完成下一片基板的上料過(guò)程。當(dāng)下料時(shí)，卡匣I的料口 8對(duì)齊機(jī)臺(tái)的上料口，基板通過(guò)機(jī)臺(tái)本身傳動(dòng)的滾輪5進(jìn)入卡匣I的料口 8，然后通過(guò)滾輪5滾動(dòng)使基板完全移動(dòng)進(jìn)入卡匣I中相應(yīng)支撐片處，然后通過(guò)升降機(jī)7上升載臺(tái)3，進(jìn)而使卡匣I上升，使卡匣I中的基板上升一層支撐片的位置高度，然后再逐層一一疊放其他層基板即可，這樣就可以逐一完成各層基板的下料過(guò)程。
[0031]本實(shí)用新型中根據(jù)卡匣I底面結(jié)構(gòu)，設(shè)計(jì)多組豎直設(shè)置的帶動(dòng)力滾輪，并通過(guò)升降機(jī)7驅(qū)動(dòng)載臺(tái)3升降而控制卡匣I升降，并通過(guò)電機(jī)6驅(qū)動(dòng)同步帶使基板移入或移出卡匣I。該基板的上下料裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低，占用空間小，可以高效的完成基板的上下料過(guò)程。
[0032]以上所述實(shí)施例僅是為充分說(shuō)明本實(shí)用新型而所舉的較佳的實(shí)施例，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不限于此。本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本實(shí)用新型基礎(chǔ)上所作的等同替代或變換，均在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。本實(shí)用新型的保護(hù)范圍以權(quán)利要求書(shū)為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種基板的上下料裝置，其特征在于，所述上下料裝置包括卡匣、載臺(tái)和滾輪組，所述卡匣設(shè)置于載臺(tái)的上方，且所述卡匣底部的底板具有開(kāi)口，所述開(kāi)口下方設(shè)置滾輪組，所述卡匣側(cè)面還具有料口，所述滾輪組的滾動(dòng)方向朝向卡匣的料口 ；所述上下料裝置還包括使所述卡匣升降或所述滾輪組升降以調(diào)整所述卡匣和滾輪組相對(duì)位置的升降機(jī)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板的上下料裝置，其特征在于，所述載臺(tái)的側(cè)面連接有升降機(jī)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板的上下料裝置，其特征在于，所述升降機(jī)為絲杠升降機(jī)或氣動(dòng)升降機(jī)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板的上下料裝置，其特征在于，所述滾輪組連接有電機(jī)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板的上下料裝置，其特征在于，所述滾輪組包括多個(gè)滾輪，每個(gè)滾輪的滾輪軸與卡匣底部的底板相平行。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板的上下料裝置，其特征在于，所述開(kāi)口的個(gè)數(shù)為多個(gè)，且開(kāi)口的個(gè)數(shù)與滾輪的個(gè)數(shù)相等，每個(gè)開(kāi)口對(duì)應(yīng)設(shè)置有一個(gè)滾輪。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板的上下料裝置，其特征在于，所述開(kāi)口的個(gè)數(shù)為I個(gè)，開(kāi)口對(duì)應(yīng)分散設(shè)置有多個(gè)滾輪。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的基板的上下料裝置，其特征在于，每個(gè)滾輪均豎直向下連接有單獨(dú)的豎直方向同步帶，而每個(gè)豎直方向同步帶的下方均與一共同的水平方向同步帶相連接，所述水平方向同步帶與所述電機(jī)連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板的上下料裝置，其特征在于，每個(gè)滾輪的外側(cè)分別設(shè)置有罩子，每個(gè)滾輪的輪體表面均部分凸出于罩子的頂部。
【文檔編號(hào)】B65G49/06GK203624570SQ201320836178
【公開(kāi)日】2014年6月4日 申請(qǐng)日期:2013年12月18日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月18日
【發(fā)明者】岳偉星, 楊碩, 李素華, 高峰, 崔永鑫 申請(qǐng)人:昆山工研院新型平板顯示技術(shù)中心有限公司, 昆山國(guó)顯光電有限公司