一種玻璃基板輸送滾輪及其輸送設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實用新型所述的玻璃基板輸送滾輪及其輸送設(shè)備，滾輪的外圓周面上成型有多個貫穿滾輪壁的真空吸附孔，滾輪的側(cè)面設(shè)置有與真空吸附孔連通的環(huán)形吸附腔，環(huán)形吸附腔內(nèi)設(shè)有真空吸附裝置，真空吸附裝置包括真空吸附管、真空吸附泵和真空罐；玻璃基板輸送設(shè)備，其包括多個平行設(shè)置的滾軸，每個滾軸上均布有至少兩個滾輪；通過在滾輪外圓周面設(shè)置真空吸附孔，并使?jié)L輪與滾軸同步轉(zhuǎn)動，當滾軸轉(zhuǎn)動時，真空吸附孔不斷提供真空從而吸附玻璃基板，使玻璃基板傳送過程中不會翹曲和打滑，保證傳送可靠的同時，避免污染玻璃基板上表面，從而防止光阻附著不良等缺陷。
【專利說明】一種玻璃基板輸送滾輪及其輸送設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及平板顯示輸送【技術(shù)領(lǐng)域】，更具體地講，涉及一種玻璃基板輸送滾輪及其輸送設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在一般傳送單元中均存在阻力部位，如水洗傳送裝置、風刀傳送裝置等，需在滾軸2的上方裝配上壓滾軸1，以防止玻璃基板4打滑，保證正常傳送，如圖1所示。這樣所帶來的后果是:上壓滾輪3的O型圈使用一段時間后會有磨損，或者上壓滾輪3先被污染后造成交叉污染；同時上壓滾輪產(chǎn)生的粉末會粘附在玻璃基板上表面，造成光阻附著不良，在后續(xù)工藝中脫落，最終表現(xiàn)為產(chǎn)品斷線等缺陷。
[0003]目前業(yè)界內(nèi)采用如下方法:
[0004](I)使上壓滾輪盡量遠離圖形區(qū)域，但水流仍會將粉塵帶至圖形區(qū)。
[0005](2)在上壓滾輪上的O型圈磨損影響較嚴重處，使用Teflon等材質(zhì)的上壓滾輪，直接與基板接觸而不再使用O型圈，但還是難以避免交叉污染問題。
[0006]中國專利文獻CN201485014公開了一種可將木地板牢牢吸附在傳送帶上的真空吸附輸送系統(tǒng)，它包括帶孔輸送皮帶，吸氣箱，塑料風管，分配器，塑料風管，測流風機，毛刷輥，測流風機出風口，在側(cè)流風機工作狀態(tài)下，空氣通過帶孔輸送皮帶被吸進吸氣箱，然后通過塑料風管進入分配器，最終通過塑料風管進入側(cè)流風機被側(cè)流風機排到外界空氣中。其使用了真空吸附系統(tǒng)，在輸送皮帶上增加了小孔，并通過一個完整的抽氣過程在工件與輸送皮帶之間形成真空，從而保證工件在吸附狀態(tài)下可以平穩(wěn)前進。工件被吸附在帶孔輸送皮帶上，因此工件的平面加工質(zhì)量穩(wěn)定，提高產(chǎn)品的合格率。上述專利文獻采用輸送皮帶結(jié)構(gòu)方式，工件與輸送皮帶間的吸附力不強，同時，輸送皮帶輸送方式，不便于實現(xiàn)清洗和吹拭動作。
實用新型內(nèi)容
[0007]為了解決現(xiàn)有技術(shù)的問題，本實用新型提供了一種玻璃基板輸送滾輪及其輸送設(shè)備，可防止玻璃基板翹曲和打滑的同時，避免玻璃基板上方傳送滾輪及O型圈帶來污染，進而防止光阻附著不良等缺陷。
[0008]所述技術(shù)方案如下:
[0009]本發(fā)明所述的一種玻璃基板輸送滾輪，所述滾輪的外圓周面上成型有多個貫穿所述滾輪壁的真空吸附孔，所述滾輪的側(cè)面成型有與真空吸附孔相連通的環(huán)形吸附腔，所述環(huán)形吸附腔內(nèi)設(shè)有真空吸附裝置，所述真空吸附裝置包括真空吸附管和真空吸附泵，所述真空吸附管的一端設(shè)置于所述環(huán)形吸附腔內(nèi)，且其吸氣口朝向上方設(shè)置，所述真空吸附管的另一端與所述真空吸附泵相連通。
[0010]所述真空吸附裝置還包括一真空罐，所述真空吸附管與所述真空罐相連通，所述真空吸附泵的真空吸附進口與所述真空罐的上部連通。[0011]所述環(huán)形吸附腔包括成型于所述滾輪側(cè)面上的環(huán)形凹槽，所述環(huán)形凹槽與各個所述真空吸附孔相連通；所述真空吸附管的進氣端相對固定于所述環(huán)形凹槽的最上端位置，其進氣口朝向位于所述滾輪最上端的所述真空吸附孔，所述滾輪相對于所述真空吸附管作旋轉(zhuǎn)運動。
[0012]所述環(huán)形吸附腔還包括與各個所述真空吸附孔相連通的徑向凹槽，所述徑向凹槽與所述環(huán)形凹槽相連通；所述真空吸附管的進氣端相對固定于所述環(huán)形凹槽的最上端位置，所述真空吸附管的進口處設(shè)有一吸頭，所述吸頭位于所述徑向凹槽內(nèi)，且所述吸頭的空氣進口朝向位于所述滾輪最上端的所述真空吸附孔。
[0013]所述滾輪的外圓周面上成型有兩列所述真空吸附孔，兩列所述真空吸附孔之間呈交錯分布，每列所述的真空吸附孔獨立對應(yīng)一個所述真空吸附裝置。
[0014]本發(fā)明所述的一種玻璃基板輸送設(shè)備，其包括多個平行設(shè)置的滾軸，每個所述滾軸上均布有至少兩個滾輪，玻璃基板位于所述滾輪上并與所述滾輪相接觸。
[0015]多個所述滾軸上的位于同一列的多個所述滾輪分別與所述的真空吸附裝置對應(yīng)連接，各列上的所述滾輪與所述的真空吸附裝置實現(xiàn)一一對應(yīng)連接。
[0016]所述滾軸還設(shè)有多個O型圈，所述O型圈套裝于所述滾輪上，其上分布有與所述滾輪上的真空吸附孔相連通的小孔。
[0017]本實用新型提供的技術(shù)方案帶來的有益效果是:
[0018]A.本實用新型通過在滾輪上的外圓周面上分布真空吸附孔，滾輪與滾軸同步轉(zhuǎn)動，當滾軸轉(zhuǎn)動時，真空吸附滾輪上方小孔可源源不斷提供真空從而吸附玻璃基板，使玻璃基板傳送過程中不會翹曲和打滑，從而省去了上壓滾輪，保證傳送可靠的同時，避免污染玻璃基板上表面。
[0019]B.本實用新型所提供的滾輪僅對其上方與基板接觸處有吸附力，相對密閉，吸附力更強。
[0020]C.為了避免滾輪對玻璃基板吸附力不均的技術(shù)問題，本實用新型在滾輪的外圓周面上設(shè)置了兩列呈交叉分布的真空吸附孔，每列均有獨立的抽真空管道，可解決單列真空吸附滾輪在轉(zhuǎn)動過程中，吸附力時大時小不均勻的問題。
[0021]D.本實用新型還增加了在水汽環(huán)境中使用的情況，增加一個真空罐用于收集溶液。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0022]為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術(shù)方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0023]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中所提供的玻璃基板輸送設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖2是本實用新型所提供的玻璃基板輸送設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖3是圖2中的滾軸和玻璃基板的截面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖4是本實用新型所提供的滾輪的一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖5是本實用新型所提供的滾輪的另一種結(jié)構(gòu)示意圖?！揪唧w實施方式】
[0028]為使本實用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合附圖對本實用新型實施方式作進一步地詳細描述。
[0029]本實用新型所提供的一種玻璃基板輸送滾輪如圖2所示，在滾輪的外圓周面上成型有多個貫穿滾輪壁的真空吸附孔8，滾輪3的側(cè)面成型有與真空吸附孔8相連通的環(huán)形吸附腔7，環(huán)形吸附腔7上設(shè)有真空吸附裝置6，其包括真空吸附管61和真空吸附泵62，真空吸附管61的一端設(shè)置于環(huán)形吸附腔7內(nèi)，且其吸氣口朝向上方與所述的真空吸附孔8連通，真空吸附管61的另一端與真空吸附泵62相連通，真空吸附泵62通過真空吸附管61對位于滾輪3上方的真空吸附孔8抽真空處理，使?jié)L輪3吸附著玻璃基板4向前輸送。
[0030]其中的真空吸附裝置6還包括一真空罐63，真空吸附管61與真空罐63相連通，真空吸附泵62的真空吸附進口與真空罐63的上部連通。
[0031]其中的環(huán)形吸附腔7包括成型于滾輪3側(cè)面上的環(huán)形凹槽71，環(huán)形凹槽71與各個真空吸附孔8相連通；真空吸附管61的進氣端相對固定于環(huán)形凹槽71的最上端位置，其進氣口朝向位于滾輪3最上端的真空吸附孔8，滾輪3相對于真空吸附管61作旋轉(zhuǎn)運動。
[0032]或優(yōu)選，環(huán)形吸附腔7還包括與各個真空吸附孔8相連通的徑向凹槽72，徑向凹槽72與環(huán)形凹槽71相連通；真空吸附管61的進氣端相對固定于環(huán)形凹槽71的最上端位置，真空吸附管61的進口處設(shè)有一吸頭9，吸頭9位于徑向凹槽72內(nèi)，且吸頭9的空氣進口朝向位于滾輪3最上端的真空吸附孔8。
[0033]其中圖4所示滾輪結(jié)構(gòu)上設(shè)置了單列的真空吸附孔8，為了避免滾輪3對玻璃基板4吸附力不均的技術(shù)問題，如圖5結(jié)構(gòu)所示，本實用新型在滾輪3的外圓周面上設(shè)置了兩列呈交叉分布的真空吸附孔8，每列均有獨立的真空吸附裝置6，可解決單列真空吸附滾輪3在轉(zhuǎn)動過程中，吸附力時大時小不均勻的問題。
[0034]本實用新型還提供了一種玻璃基板輸送設(shè)備，如圖2所示，其包括多個平行設(shè)置的滾軸2，每個滾軸2上均布有至少兩個滾輪3，玻璃基板4位于滾輪3上并與滾輪3相接觸，多個滾軸上的位于同一列的多個滾輪分別與真空吸附裝置對應(yīng)連接，各列上的滾輪與真空吸附裝置實現(xiàn)一一對應(yīng)連接。
[0035]也可以在滾軸設(shè)有多個O型圈，O型圈可以套裝于滾輪3上，其上分布有與滾輪3上的真空吸附孔8相連通的小孔。
[0036]當玻璃基板4傳送至真空吸附滾軸2上方時，真空吸附管61開始提供真空吸附力，由于真空管路末端的吸頭正對上方，因此該真空吸附力是定向作用于真空吸附滾輪與玻璃基板接觸處，玻璃基板受到吸附力從而轉(zhuǎn)化成O型圈對玻璃基板前進方向的摩擦力。
[0037]上述本實用新型實施例序號僅僅為了描述，不代表實施例的優(yōu)劣。
[0038]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種玻璃基板輸送滾輪，其特征在于，所述滾輪的外圓周面上成型有多個貫穿所述滾輪壁的真空吸附孔，所述滾輪的側(cè)面成型有與真空吸附孔相連通的環(huán)形吸附腔，所述環(huán)形吸附腔內(nèi)設(shè)有真空吸附裝置，所述真空吸附裝置包括真空吸附管和真空吸附泵，所述真空吸附管的一端設(shè)置于所述環(huán)形吸附腔內(nèi)，且其吸氣口朝向上方設(shè)置，所述真空吸附管的另一端與所述真空吸附泵相連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板輸送滾輪，其特征在于，所述真空吸附裝置還包括一真空罐，所述真空吸附管與所述真空罐相連通，所述真空吸附泵的真空吸附進口與所述真空罐的上部連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板輸送滾輪，其特征在于，所述環(huán)形吸附腔包括成型于所述滾輪側(cè)面上的環(huán)形凹槽，所述環(huán)形凹槽與各個所述真空吸附孔相連通；所述真空吸附管的進氣端相對固定于所述環(huán)形凹槽的最上端位置，其進氣口朝向位于所述滾輪最上端的所述真空吸附孔，所述滾輪相對于所述真空吸附管作旋轉(zhuǎn)運動。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的玻璃基板輸送滾輪，其特征在于，所述環(huán)形吸附腔還包括與各個所述真空吸附孔相連通的徑向凹槽，所述徑向凹槽與所述環(huán)形凹槽相連通；所述真空吸附管的進氣端相對固定于所述環(huán)形凹槽的最上端位置，所述真空吸附管的進口處設(shè)有一吸頭，所述吸頭位于所述徑向凹槽內(nèi)，且所述吸頭的空氣進口朝向位于所述滾輪最上端的所述真空吸附孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的玻璃基板輸送滾輪，其特征在于，所述滾輪的外圓周面上成型有兩列所述真空吸附孔，兩列所述真空吸附孔之間呈交錯分布，每列所述的真空吸附孔獨立對應(yīng)一個所述真空吸附裝置。
6.一種玻璃基板輸送設(shè)備，其包括多個平行設(shè)置的滾軸，每個所述滾軸上均布有至少兩個滾輪，玻璃基板位于所述滾輪上并與所述滾輪相接觸，其特征在于，所述滾輪為權(quán)利要求1-4任一所述的玻璃基板輸送滾輪。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的玻璃基板輸送設(shè)備,其特征在于，多個所述滾軸上的位于同一列的多個所述滾輪分別與所述的真空吸附裝置對應(yīng)連接，各列上的所述滾輪與所述的真空吸附裝置實現(xiàn)一一對應(yīng)連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的玻璃基板輸送設(shè)備，其特征在于，所述滾軸還設(shè)有多個O型圈，所述O型圈套裝于所述滾輪上，其上分布有與所述滾輪上的真空吸附孔相連通的小孔。
【文檔編號】B65G49/06GK203753852SQ201320868098
【公開日】2014年8月6日 申請日期:2013年12月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月26日
【發(fā)明者】汪永佳 申請人:昆山國顯光電有限公司