一種納米探針存放裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開一種納米探針存放裝置，通過(guò)探針容器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提高了探針的存放的穩(wěn)固性及取放的便捷性；通過(guò)將探針容器放置于真空袋中，保證了探針容器的潔凈度，避免外界空氣與探針接觸對(duì)其造成的污染。從而改善了現(xiàn)有技術(shù)在使用完探針進(jìn)行存放時(shí)，由于受外界環(huán)境及固定效果不佳等因素的影響，致使探針被污染或變形而無(wú)法進(jìn)行重復(fù)使用的情況，節(jié)約了資源，減少了產(chǎn)業(yè)額外的開銷。
【專利說(shuō)明】一種納米探針存放裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種納米探針存放裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，探針根據(jù)電子測(cè)試用途可分為:光電路板測(cè)試探針、在線測(cè)試探針及微電子測(cè)試探針。其中，光電路板測(cè)試探針:未安裝元器件前的電路板測(cè)試和只開路、短路檢測(cè)探針，國(guó)內(nèi)大部分的探針產(chǎn)品均可替代進(jìn)口產(chǎn)品；在線測(cè)試探針:PCB線路板安裝元器件后的檢測(cè)探針；高端產(chǎn)品的核心技術(shù)還是掌握在國(guó)外公司手中，國(guó)內(nèi)部分探針產(chǎn)品已研發(fā)成功，可替代進(jìn)口探針產(chǎn)品；微電子測(cè)試探針:即晶圓測(cè)試或芯片IC檢測(cè)探針，核心技術(shù)還是掌握在國(guó)外公司手中，國(guó)內(nèi)生產(chǎn)廠商積極參與研發(fā)，但只有一小部分成功生產(chǎn)。因此，國(guó)內(nèi)在進(jìn)行納米探測(cè)時(shí)大多是購(gòu)買國(guó)外公司生產(chǎn)的探針，例如，供應(yīng)商Zyvex提供的探針是將20個(gè)探針固定于一個(gè)裝有海綿的盒子里；供應(yīng)商DCG提供的探針是將10個(gè)探針固定于填充有膠體的盒子中；供應(yīng)商MSCT提供的探針是將8個(gè)探針固定于一個(gè)裝有塑料薄板的盒子中。但是以上供應(yīng)商提供放置探針的盒子都不利于探針的存放。
[0003]由于國(guó)內(nèi)的技術(shù)還不是成熟，購(gòu)買國(guó)外的產(chǎn)品，使得探針的成本比較高；探針在使用完放置于供應(yīng)商提供的盒子中，以便下次利用，但是受外界環(huán)境及固定效果不佳等因素的影響，導(dǎo)致探針被污染或變形而無(wú)法進(jìn)行重復(fù)使用，造成資源的浪費(fèi)，進(jìn)而增加了產(chǎn)業(yè)額外的開銷。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型的目的在于提供一種納米探針存放裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中在使用完探針進(jìn)行存放時(shí)，由于受外界環(huán)境及固定效果不佳等因素的影響，致使探針被污染或變形而無(wú)法進(jìn)行重復(fù)使用，造成資源的浪費(fèi)，增加了產(chǎn)業(yè)額外開銷的問(wèn)題。
[0005]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種納米探針存放裝置，所述納米探針存放裝置，包括:真空袋及設(shè)置于所述真空袋中的探針容器；其中，
[0006]所述探針容器包括:腔體、與所述腔體的一端連接的底座、與所述腔體的另一端連接的塞子、以及設(shè)置于所述腔體中的探針存放部件；其中，所述探針存放部件能夠在所述底座的推動(dòng)下，在所述腔體中作升降運(yùn)動(dòng)。
[0007]可選的，在所述的納米探針存放裝置中，還包括設(shè)置于所述底座與所述探針存放部件之間的支撐部件。
[0008]可選的，在所述的納米探針存放裝置中，所述支撐部件包括:支撐桿及銜接于所述支撐桿上的伸縮部件；其中，所述支撐桿固定于所述底座上；所述伸縮部件固定于所述塞子上。
[0009]可選的，在所述的納米探針存放裝置中，所述探針存放部件的材質(zhì)為海綿。
[0010]可選的，在所述的納米探針存放裝置中，所述底座的側(cè)面設(shè)置有螺紋或者條紋。[0011 ] 可選的，在所述的納米探針存放裝置中，所述塞子上設(shè)置有通孔。[0012]可選的，在所述的納米探針存放裝置中，其特征在于，所述真空袋上設(shè)置有抽氣孔。
[0013]可選的，在所述的納米探針存放裝置中，所述底座的材質(zhì)為金屬或者塑料。
[0014]可選的，在所述的納米探針存放裝置中，所述塞子的材質(zhì)為塑料或者橡膠。
[0015]在本實(shí)用新型所提供的納米探針存放裝置中，探針容器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提高了探針的存放的穩(wěn)固性及取放的便捷性；通過(guò)將探針容器放置于真空袋中，保證了探針容器的潔凈度，避免外界空氣與探針接觸對(duì)其造成的污染。從而改善了現(xiàn)有技術(shù)在使用完探針進(jìn)行存放時(shí)，由于受外界環(huán)境及固定效果不佳等因素的影響，致使探針被污染或變形而無(wú)法進(jìn)行重復(fù)使用的情況，節(jié)約了資源，減少了產(chǎn)業(yè)額外的開銷。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1是本實(shí)用新型納米探針存放裝置的剖面示意圖；
[0017]圖2是本實(shí)用新型納米探針存放裝置中探針容器的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型提出的納米探針存放裝置作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0019]請(qǐng)參考圖1、圖2，其為本實(shí)用新型實(shí)施例的納米探針存放裝置的相關(guān)示意圖。如圖1所示，所述納米探針存放裝置包括:真空及設(shè)置于所述真空中的探針容器2 ;其中，所述探針容器2包括:腔體23、與所述腔體23的一端連接的底座20、與所述腔體23的另一端連接的塞子24、以及設(shè)置于所述腔體23中的探針存放部件22 ;其中，所述探針存放部件22能夠在所述底座20的推動(dòng)下，在所述腔體23中作升降運(yùn)動(dòng)。
[0020]本實(shí)用新型的納米探針存放裝置應(yīng)用的原理:
[0021]請(qǐng)繼續(xù)參照?qǐng)D1及圖2，首先對(duì)所述探針容器進(jìn)行以下操作:第一步，打開探針容器2的塞子24，手動(dòng)旋轉(zhuǎn)底座20，使得支撐部件21支撐所述探針存放部件22的位置上升；第二步，將用完的探針?lè)胖锰结槾娣挪?2中；第三步，再次旋轉(zhuǎn)底座20，使得放置有探針的探針存放部件22的位置下降；第四步，蓋上塞子24 ;第五步，將探針容器2放置于所述真空袋I中；第六步，抽取真空袋中I的空氣。
[0022]優(yōu)選的，所述納米探針存放裝置還包括設(shè)置于所述底座20與所述探針存放部件22之間的支撐部件21 ;其中，所述支撐部件包括:支撐桿210及銜接于所述支撐桿210上的伸縮部件211 ;其中，所述支撐桿210固定于所述底座20上；所述伸縮部件211固定于所述塞子24上。進(jìn)一步，通過(guò)手動(dòng)旋轉(zhuǎn)底座20，在底座20的驅(qū)動(dòng)下，帶動(dòng)所述支撐桿210及伸縮部件211運(yùn)動(dòng)，改變探針存放部件22在腔體23中的位置，以便取放探針的操作。
[0023]優(yōu)選的，所述探針存放部件22的材質(zhì)為海綿。進(jìn)一步，確保探針存放的穩(wěn)固性，使得探針完好，以便不影響下次的使用。
[0024]優(yōu)選的，所述底座20的側(cè)面設(shè)置有螺紋或者條紋。進(jìn)一步，增大旋轉(zhuǎn)底座20時(shí)的摩擦力，有利于手動(dòng)操作的進(jìn)行，達(dá)到較佳的效果。[0025]優(yōu)選的，所述塞子24上設(shè)置有通孔，所述真空袋I上設(shè)置有抽氣孔10。進(jìn)一步，可以利用抽氣孔10將真空袋I及探針容器2中的空氣抽取出來(lái)，以便探針處于一個(gè)真空的環(huán)境中，降低探針受環(huán)境的影響所造成的污染。
[0026]優(yōu)選的，所述底座20的材質(zhì)為金屬或者塑料。
[0027]優(yōu)選的，所述塞子24的材質(zhì)為塑料或者橡膠。具有較好的可塑性，保證所述腔體23與塞子24很緊密的接觸。
[0028]綜上，在本實(shí)用新型所提供的納米探針存放裝置中，探針容器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提高了探針的存放的穩(wěn)固性及取放的便捷性；通過(guò)將探針容器放置于真空袋中，保證了探針容器的潔凈度，避免外界空氣與探針接觸對(duì)其造成的污染。從而改善了現(xiàn)有技術(shù)在使用完探針進(jìn)行存放時(shí)，由于受外界環(huán)境及固定效果不佳等因素的影響，致使探針被污染或變形而無(wú)法進(jìn)行重復(fù)使用的情況，節(jié)約了資源，減少了產(chǎn)業(yè)額外的開銷。
[0029]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包括這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種納米探針存放裝置，其特征在于，包括:真空袋及設(shè)置于所述真空袋中的探針容器；其中， 所述探針容器包括:腔體、與所述腔體的一端連接的底座、與所述腔體的另一端連接的塞子、以及設(shè)置于所述腔體中的探針存放部件；其中，所述探針存放部件能夠在所述底座的推動(dòng)下，在所述腔體中作升降運(yùn)動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的納米探針存放裝置，其特征在于，還包括設(shè)置于所述底座與所述探針存放部件之間的支撐部件。
3.如權(quán)利要求2所述的納米探針存放裝置，其特征在于，所述支撐部件包括:支撐桿及銜接于所述支撐桿上的伸縮部件；其中，所述支撐桿固定于所述底座上；所述伸縮部件固定于所述塞子上。
4.如權(quán)利要求1所述的納米探針存放裝置，其特征在于，所述探針存放部件的材質(zhì)為海綿。
5.如權(quán)利要求1所述的納米探針存放裝置，其特征在于，所述底座的側(cè)面設(shè)置有螺紋或者條紋。
6.如權(quán)利要求1所述的納米探針存放裝置，其特征在于，所述塞子上設(shè)置有通孔。
7.如權(quán)利要求6中任一項(xiàng)所述的納米探針存放裝置，其特征在于，所述真空袋上設(shè)置有抽氣孔。
8.如權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所述的納米探針存放裝置，其特征在于，所述底座的材質(zhì)為金屬或者塑料。
9.如權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所述的納米探針存放裝置，其特征在于，所述塞子的材質(zhì)為塑料或者橡膠。
【文檔編號(hào)】B65D81/20GK203767320SQ201420103454
【公開日】2014年8月13日 申請(qǐng)日期:2014年3月7日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月7日
【發(fā)明者】張琦, 賴?yán)铨? 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司