直接充裝mo源的裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種直接充裝MO源的裝置，包括MO源儲罐和MO源鋼瓶，所述MO源鋼瓶上設(shè)置有進(jìn)氣管和出氣管，所述MO源儲罐設(shè)置有出料口，所述MO源儲罐的出料口通過三通接頭連接在進(jìn)氣管上，所述MO源鋼瓶內(nèi)部設(shè)置有液位探頭，所述液位探頭通過PLC控制器連接在MOCVD信號接收器上，所述PLC控制器與三通接頭電連接，通過液位探頭和MOCVD信號接收器探測到的信號對三通接頭進(jìn)行控制。無需將MO源鋼瓶拆卸更換，通過三通接頭將MO源鋼瓶和MO源儲罐連接在一起，并通過惰性氣體將MO源儲罐中的MO源帶入MO源鋼管中，解決了MO源充裝困難的問題。
【專利說明】直接充裝MO源的裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及一種充裝裝置，尤其一種可直接對M0源進(jìn)行充裝工作的裝置。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002] M0源在M0CVD設(shè)備中使用非常特殊，物料在使用時(shí)需要保持恒溫（±0. 1 °C )，恒壓 (± ltorr)，穩(wěn)定氣體流量（± lsccm)。M0源存儲在鋼瓶(一般稱為M0源鋼瓶沖，惰性氣體 (一般用氫氣或者氮?dú)猓┩ㄟ^深入鋼瓶內(nèi)部的管道進(jìn)入M0源鋼瓶中，經(jīng)過M0源時(shí)產(chǎn)生鼓泡 效應(yīng)，M0源在鼓泡過程中大量蒸發(fā)，形成M0源的飽和蒸汽與惰性氣體混合輸送出來。而目 前在對于M0源進(jìn)行充裝的領(lǐng)域內(nèi)，并沒有一種較為有效的手段在不拆卸M0源鋼瓶的情況 下對其進(jìn)行充裝，而拆卸M0源鋼瓶進(jìn)行更換耗費(fèi)時(shí)間，工作效率低下。因此，解決M0源充 裝困難的問題就顯得尤為重要了。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0003] 本實(shí)用新型的目的是提供了一種可直接對M0源進(jìn)行充裝工作的裝置，無需將M0 源鋼瓶拆卸更換，通過三通接頭將M0源鋼瓶和M0源儲罐連接在一起，并通過惰性氣體將M0 源儲罐中的M0源帶入M0源鋼管中，解決了 M0源充裝困難的問題。
[0004] 為了解決上述問題，本實(shí)用新型提供一種直接充裝M0源的裝置，包括M0源儲罐和 M0源鋼瓶，所述M0源鋼瓶上設(shè)置有進(jìn)氣管和出氣管，所述M0源儲罐設(shè)置有出料口，所述M0 源儲罐的出料口通過三通接頭連接在進(jìn)氣管上，所述M0源鋼瓶內(nèi)部設(shè)置有液位探頭，所述 液位探頭通過PLC控制器連接在M0CVD信號接收器上，所述PLC控制器與三通接頭電連接， 通過液位探頭和M0CVD信號接收器探測到的信號對三通接頭進(jìn)行控制。
[0005] 進(jìn)一步改進(jìn)在于：所述M0源儲罐的數(shù)量為兩個(gè)，一個(gè)使用，另一個(gè)備用，所述兩個(gè) M0源儲罐的出料口同時(shí)連接在三通接頭上，所述M0源儲罐使用惰性氣體進(jìn)行充裝載體。
[0006] 進(jìn)一步改進(jìn)在于：所述兩個(gè)M0源儲罐為一組，每組M0源儲罐可充裝三個(gè)M0源鋼 瓶，所述每個(gè)M0源鋼瓶放置在恒溫水浴槽中。
[0007] 進(jìn)一步改進(jìn)在于：所述M0源儲罐內(nèi)部同樣設(shè)置有液位探頭，所述M0源儲罐上設(shè)置 有警報(bào)燈，所述液位探頭電連接在警報(bào)燈上。
[0008] 在M0源鋼瓶上安裝1個(gè)液位探頭。設(shè)置1個(gè)高位報(bào)警點(diǎn)和1個(gè)低位報(bào)警點(diǎn)。高 位報(bào)警點(diǎn)用于控制充裝。低于低位報(bào)警點(diǎn)時(shí)提醒用戶進(jìn)行設(shè)備檢查。
[0009] 液位探頭需要滿足：探頭與M0源接觸部分均是316L材質(zhì)不銹鋼，探頭接口是1/2" VCR接口，信號響應(yīng)及時(shí)（< ls)，液位測量精度高(< 2mm)。
[0010] 在不改變現(xiàn)有M0源鋼瓶結(jié)構(gòu)時(shí)，在M0源鋼瓶的進(jìn)出口處增加三通管道接頭和閥 門，通過1/4" VCR接頭與M0源鋼瓶相連。
[0011] M0源儲槽與M0CVD設(shè)備上M0源鋼瓶通過管道連接，管道上采用氣動隔膜閥，并通 過PLC控制器進(jìn)行控制，根據(jù)設(shè)備使用狀態(tài)，實(shí)時(shí)自動補(bǔ)充M0源。
[0012] 本實(shí)用新型的有益效果是：通過液位探頭對M0源鋼瓶中的M0源量進(jìn)行測量，并在 MO源不足時(shí)通過PLC控制器對三通接頭進(jìn)行控制，使MO源儲罐中的MO源通過惰性氣體帶 入M0源鋼瓶中，解決了 M0源鋼瓶無法充裝，必須拆卸更換的問題，提高了工作效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013] 圖1是本實(shí)用新型的示意圖。
[0014] 其中：1-M0源儲罐，2-M0源鋼瓶，3-進(jìn)氣管，4-出氣管，5-三通接頭，6-液位探頭， 7-PLC控制器，8-M0CVD信號接收器，9-出料口，10-恒溫水浴槽，11-警報(bào)燈。

【具體實(shí)施方式】
[0015] 為了加深對本實(shí)用新型的理解，下面將結(jié)合實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳述， 該實(shí)施例僅用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限定。
[0016] 如圖1所示，本實(shí)施例提供了一種直接充裝M0源的裝置，包括M0源儲罐1和M0 源鋼瓶2,所述M0源鋼瓶2上設(shè)置有進(jìn)氣管3和出氣管4,所述M0源儲罐1設(shè)置有出料口 9,所述M0源儲罐1的出料口 9通過三通接頭5連接在進(jìn)氣管3上，所述M0源鋼瓶2內(nèi)部 設(shè)置有液位探頭6,所述液位探頭6通過PLC控制器7連接在M0CVD信號接收器8上，所述 PLC控制器7與三通接頭5電連接，通過液位探頭6和M0CVD信號接收器8探測到的信號對 三通接頭5進(jìn)行控制。所述M0源儲罐1的數(shù)量為兩個(gè)，一個(gè)使用，另一個(gè)備用，所述兩個(gè)M0 源儲罐1的出料口 9同時(shí)連接在三通接頭5上，所述M0源儲罐1使用惰性氣體進(jìn)行充裝載 體。所述兩個(gè)M0源儲罐為1 一組，每組M0源儲罐1可充裝三個(gè)M0源鋼瓶2,所述每個(gè)M0 源鋼瓶2放置在恒溫水浴槽10中。所述M0源儲罐1內(nèi)部同樣設(shè)置有液位探頭6,所述M0 源儲罐1上設(shè)置有警報(bào)燈11，所述液位探頭6電連接在警報(bào)燈11上。通過液位探頭6對 M0源鋼瓶2中的M0源量進(jìn)行測量，并在M0源不足時(shí)通過PLC控制器7對三通接頭5進(jìn)行 控制，使M0源儲罐1中的M0源通過惰性氣體帶入M0源鋼瓶2中，解決了 M0源鋼瓶無法充 裝，必須拆卸更換的問題，提高了工作效率。
【權(quán)利要求】
1. 一種直接充裝MO源的裝置，其特征在于：包括MO源儲罐（1)和MO源鋼瓶（2)，所述 M0源鋼瓶（2)上設(shè)置有進(jìn)氣管（3)和出氣管（4)，所述M0源儲罐（1)設(shè)置有出料口（9)，所 述M0源儲罐（1)的出料口（9)通過三通接頭（5)連接在進(jìn)氣管（3)上，所述M0源鋼瓶（2) 內(nèi)部設(shè)置有液位探頭（6 )，所述液位探頭（6 )通過PLC控制器（7 )連接在M0CVD信號接收器 (8)上，所述PLC控制器（7)與三通接頭（5)電連接，通過液位探頭（6)和M0CVD信號接收 器（8)探測到的信號對三通接頭（5)進(jìn)行控制。
2. 如權(quán)利要求1所述的直接充裝M0源的裝置，其特征在于：所述M0源儲罐（1)的數(shù)量 為兩個(gè)，一個(gè)使用，另一個(gè)備用，所述兩個(gè)M0源儲罐（1)的出料口（ 9 )同時(shí)連接在三通接頭 (5)上，所述M0源儲罐（1)使用惰性氣體進(jìn)行充裝載體。
3. 如權(quán)利要求2所述的直接充裝M0源的裝置，其特征在于：所述兩個(gè)M0源儲罐（1)為 一組，每組M0源儲罐（1)可充裝三個(gè)M0源鋼瓶（2 )，所述每個(gè)M0源鋼瓶（2 )放置在恒溫水 浴槽（10)中。
4. 如權(quán)利要求1-3任意一項(xiàng)所述的直接充裝M0源的裝置，其特征在于：所述M0源儲 罐（1)內(nèi)部同樣設(shè)置有液位探頭（6 )，所述M0源儲罐（1)上設(shè)置有警報(bào)燈（11)，所述液位探 頭（6)電連接在警報(bào)燈（11)上。
【文檔編號】B67C3/10GK203890029SQ201420204367
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2014年4月25日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月25日
【發(fā)明者】俞冬雷, 武利曙, 徐昕 申請人:安徽亞格盛電子新材料有限公司