一種大尺寸靶材的包裝的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種大尺寸靶材的包裝，包括粘貼在靶材工作面上的保護(hù)膜，以及設(shè)置在靶材外部的內(nèi)層包裝袋，設(shè)置在該內(nèi)層包裝袋外部的次外層包裝袋，以及設(shè)置在該次外層包裝袋外部的外層包裝袋；粘貼有保護(hù)膜的靶材、內(nèi)層包裝袋、次外層包裝袋和外層包裝袋中相鄰兩者之間均為真空狀態(tài)。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可以有效保證大尺寸靶材在生產(chǎn)和運(yùn)輸過程中工作面不受損傷。
【專利說明】一種大尺寸靶材的包裝

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及一種大尺寸靶材的包裝，用于平板顯示和太陽能電池用大尺寸或 者超大尺寸平面靶材。

【背景技術(shù)】
[0002] 濺射靶材是半導(dǎo)體行業(yè)的工業(yè)原料和耗材之一。由于大規(guī)模集成電路對(duì)制造環(huán) 境的苛刻要求，因此對(duì)濺射靶材的清潔和包裝有著極高的要求。專利文獻(xiàn)CN201660228U、 CN201545361U、CN202529378U、CN203173156U和CN203173157U分別公開了用于靶材的包裝 裝置。由于半導(dǎo)體用濺射靶材的尺寸相對(duì)較小，即使是當(dāng)前主流的12英寸生產(chǎn)線使用的靶 材，其最大直徑尺寸不超過巾600mm。因此，半導(dǎo)體靶材一直采用了兩層以上的真空包裝，靶 材本身沒有進(jìn)行特殊處理。
[0003] 但是現(xiàn)有的半導(dǎo)體靶材的包裝方法在平板顯示和太陽能電池方面的濺射靶材 包裝存在局限性。以平板顯示為例，其所用的生產(chǎn)設(shè)備及材料尺寸也越來越大。表1為 TFT-IXD平板顯示玻璃基板與配套靶材尺寸變化表。
[0004] 表1TFT-IXD平板顯示玻璃基板與配套靶材尺寸變化表
[0005]

【權(quán)利要求】
1. 一種大尺寸祀材的包裝，其特征在于，包括粘貼在祀材工作面上的保護(hù)膜，w及設(shè)置 在祀材外部的內(nèi)層包裝袋，設(shè)置在該內(nèi)層包裝袋外部的次外層包裝袋，W及設(shè)置在該次外 層包裝袋外部的外層包裝袋；粘貼有保護(hù)膜的祀材、內(nèi)層包裝袋、次外層包裝袋和外層包裝 袋中相鄰兩者之間均為真空狀態(tài)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的大尺寸祀材的包裝，其特征在于，所述保護(hù)膜帶有顏色，區(qū)別 于祀材本來的顏色。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的大尺寸祀材的包裝，其特征在于，所述保護(hù)膜的表面涂有粘 接劑，該粘接劑為不殘留膠。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的大尺寸祀材的包裝，其特征在于，所述不殘留膠為天然橡膠 壓敏膠粘劑、合成橡膠或再生膠壓敏膠粘劑、熱塑性彈體壓敏膠粘劑、或丙締酸醋壓敏膠粘 劑。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的大尺寸祀材的包裝，其特征在于，所述保護(hù)膜的 材質(zhì)為高分子塑料制品。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的大尺寸祀材的包裝，其特征在于，所述保護(hù)膜的材質(zhì)為聚己 締薄膜、聚脂薄膜和聚丙締薄膜。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的大尺寸祀材的包裝，其特征在于，所述保護(hù)膜的厚度為 0.03mm ?0. 1mm。
【文檔編號(hào)】B65D85/48GK204223506SQ201420655815
【公開日】2015年3月25日 申請(qǐng)日期:2014年11月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月5日
【發(fā)明者】王興權(quán), 劉紅賓, 李勇軍, 高巖, 朱曉光, 劉君民, 徐學(xué)禮, 董亭義, 何金江 申請(qǐng)人:有研億金新材料有限公司