本發(fā)明涉及一種在將電子零件收容于載帶(carrier tape)的用途與將電子零件從載帶中取出的用途之間進(jìn)行切換而使用的載帶移行技術(shù)。

背景技術(shù)：

電子零件在其制造過程中經(jīng)過各種檢查而被分類為合格品或次品，且在捆包之后發(fā)貨。如果檢查的基準(zhǔn)嚴(yán)格，則將為合格品的電子零件分類到次品的收容體中的超負(fù)荷(overkill)率高，生產(chǎn)效率降低。如果檢查的基準(zhǔn)寬松，則會(huì)將為次品的電子零件作為合格品而發(fā)貨，從而品質(zhì)產(chǎn)生差異，檢查的可靠性降低。在單個(gè)零件的單價(jià)高的集成電路(Integrated Circuit，IC)或大規(guī)模集成電路(1arge-scale integration，LSI)等集成電路的電子零件中，超負(fù)荷率高或品質(zhì)產(chǎn)生差異尤其會(huì)成為問題。

因此，檢查及分類的工序中，也會(huì)出現(xiàn)如下的情況：改變檢查項(xiàng)目、檢查方法或檢查精度而再檢查合格品群中是否包含次品、或次品群中是否包含合格品，然后，反映再檢查結(jié)果而將合格品群或次品群進(jìn)行再分類，在再捆包之后發(fā)貨。

對電子零件進(jìn)行檢查、分類、再檢查、然后再分類的電子零件搬送裝置，作為包含多個(gè)捆包(taping)裝置與一臺揭膜機(jī)(detaper)裝置的系統(tǒng)而構(gòu)成。該電子零件搬送裝置將電子零件載置于搬送路徑而進(jìn)行檢查，且將電子零件分類到根據(jù)品質(zhì)的等級(rank)而準(zhǔn)備的多個(gè)捆包裝置中。當(dāng)電子零件的分類結(jié)束時(shí)，將捆包著成為再檢查對象的等級的卷軸(reel)從捆包裝置轉(zhuǎn)移到揭膜機(jī)裝置，再次將電子零件載置于搬送路徑而進(jìn)行再檢查，且將電子零件分類到根據(jù)品質(zhì)的等級而準(zhǔn)備的多個(gè)捆包裝置中。

捆包裝置是使載帶間歇地朝向卷繞載帶的卷軸移行的裝置(例如參照專利文獻(xiàn)1)。載帶中，袋狀物(pocket)沿著長邊方向受到壓花加工。在捆包裝置使載帶停止的期間，操縱器(manipulator)等將電子零件放入到袋狀物中。捆包裝置通過將密封帶重疊壓接到載帶，而將收容于袋狀物的電子零件密封。

揭膜機(jī)裝置是一邊將載帶從卷軸中抽出一邊間歇地移行的裝置(例如參照專利文獻(xiàn)2)。在揭膜機(jī)裝置使載帶停止的期間，利用操縱器等將電子零件從袋狀物中取出。該揭膜機(jī)裝置將爪插入到載帶與密封帶之間，使密封帶從載帶中剝離，而露出電子零件。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利特開2007-137426號公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本專利特開2009-140994號公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明所要解決的問題

能夠檢查、分類、再檢查及再分類的電子零件搬送裝置除搭載捆包裝置外，還搭載著揭膜機(jī)裝置，在非頻繁地實(shí)施再檢查及再分類的情況下，揭膜機(jī)裝置只會(huì)提高裝置的成本，大幅占據(jù)制造設(shè)備而降低制造設(shè)備的每單位面積的生產(chǎn)效率。然而，因再檢查及再分類并非是完全不需要的工序，所以也無法廢除揭膜機(jī)裝置。

本發(fā)明為了解決所述問題而提出，目的在于提供一種能夠兼用作捆包裝置與揭膜機(jī)裝置的載帶移行裝置、及具備該載帶移行裝置的電子零件搬送裝置。

解決問題的技術(shù)手段

為了解決所述課題，本發(fā)明的載帶移行裝置使等間隔地形成著用以收納電子零件的袋狀物的載帶沿長邊方向移行，所述載帶移行裝置的特征在于包括：鏈輪，鉤掛住所述載帶而使其移行；電動(dòng)機(jī)，進(jìn)行正轉(zhuǎn)及逆轉(zhuǎn)，而使所述鏈輪旋轉(zhuǎn)；卷軸，卷繞著粘附在所述載帶的密封帶；一對區(qū)塊，能夠相對于所述載帶的移行線接觸或背離地移動(dòng)，夾入從所述卷軸中抽出的所述密封帶與所述載帶，而將所述密封帶粘附在所述載帶；以及壓緊輥(hold-down roller)，能夠相對于所述載帶的移行線接近或背離，并且，所述載帶移行裝置成為如下的捆包裝置，即，使所述電動(dòng)機(jī)正轉(zhuǎn)，而從所述卷軸中抽出所述密封帶，使所述壓緊輥接近所述載帶的移行線，而使所述一對區(qū)塊接近，由此，利用所述密封帶將所述載帶密封，且成為如下的揭膜機(jī)裝置，即，使所述電動(dòng)機(jī)逆轉(zhuǎn)，而將所述密封帶向所述卷軸拉入，使所述一對區(qū)塊背離，而使所述壓緊輥背離所述載帶的移行線，由此，將所述密封帶從所述載帶剝離。

所述鏈輪也可在周面形成著針狀突起，將突起鉤掛在形成于所述載帶的鏈輪孔中而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，所述突起的針尖具有內(nèi)旋形狀(involute shape)。

也可包括正時(shí)皮帶作為所述鏈輪與所述電動(dòng)機(jī)之間的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。

也可包括壓緊輥，所述壓緊輥插在所述卷軸與所述載帶的移行線之間，將所述密封帶引導(dǎo)至所述載帶的附近，所述壓緊輥在將所述密封帶粘附在所述載帶時(shí)，接近所述載帶的附近，在將所述密封帶從所述載帶剝離時(shí)，離開所述載帶，使剝離基點(diǎn)處的所述載帶與所述密封帶所成的角度比所述粘附時(shí)有所緩和。

也可包括抽吸部，所述抽吸部穿過形成于所述袋狀物的底面的孔，來抽吸收容于所述袋狀物內(nèi)的電子零件，

所述抽吸部在所述載帶的移行中，將所述電子零件吸引到所述載帶。

為了解決所述課題，本發(fā)明的電子零件搬送裝置包括所述載帶移行裝置，沿搬送路徑搬送電子零件，所述電子零件搬送裝置的特征在于包括：搬送臺，形成所述搬送路徑；收容體保持單元，配置于所述搬送臺的周圍，保持電子零件的收容體；觀察單元，配置于所述搬送臺的周圍，觀察所述搬送路徑內(nèi)的電子零件；以及多個(gè)所述載帶移行裝置，配置于所述搬送臺的周圍，并且，所述電子零件搬送裝置具有分類模式與再分類模式，所述分類模式與再分類模式將所述收容體保持單元與所述載帶移行裝置作為電子零件的供給單元或成為電子零件的分類目的地的分類單元，所述分類模式中，所述收容體保持單元為所述供給單元，全部所述載帶移行裝置成為所述捆包裝置而為所述分類單元，所述再分類模式中，所述載帶移行裝置中的一部分成為所述揭膜機(jī)裝置而為所述供給單元，所述載帶移行裝置中的其他部分成為所述捆包裝置而為所述分類單元。

在所述再分類模式中，除成為所述揭膜機(jī)裝置的所述載帶移行裝置之外，所述收容體保持單元也可為所述分類單元。

所述收容體保持單元也可為晶片環(huán)(wafer ring)保持部或托盤保持部，所述晶片環(huán)保持部對呈陣列狀排列著電子零件的晶片環(huán)加以保持，所述托盤保持部對將平面呈格子狀隔開而呈陣列狀排列著電子零件的托盤加以保持。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明，載帶移行裝置可兼用作捆包裝置與揭膜機(jī)裝置，因而無需另外準(zhǔn)備捆包裝置與揭膜機(jī)裝置，從而能夠降低設(shè)備的成本。

附圖說明

圖1是作為載帶移行裝置的捆包裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖。

圖2是作為載帶移行裝置的揭膜機(jī)裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖。

圖3是載帶移行裝置所具備的抽吸部的結(jié)構(gòu)圖，(a)為俯視圖，(b)為側(cè)視圖。

圖4是具備載帶移行裝置的電子零件搬送裝置的構(gòu)成圖。

圖5是表示電子零件搬送裝置的電子零件搬送路徑的示意圖。

具體實(shí)施方式

一邊參照附圖一邊對本發(fā)明的實(shí)施方式的載帶移行裝置、及具備該載帶移行裝置的電子零件搬送裝置進(jìn)行詳細(xì)說明。

(載帶移行裝置)

(構(gòu)成)

如圖1所示，載帶移行裝置1使用以將電子零件104收容于袋狀物101的載帶100沿長邊方向移行。該載帶移行裝置1使載帶100向卷軸200側(cè)移行而作為捆包裝置發(fā)揮功能，并且以從卷軸200側(cè)抽出載帶100的方式逆移行而作為揭膜機(jī)裝置發(fā)揮功能。

載帶移行裝置1具備卷繞密封帶102的密封帶卷軸3、及密封部2，作為捆包裝置，一邊使載帶100向卷軸200側(cè)移行，一邊從密封帶卷軸3中抽出密封帶102，將密封帶102粘附在載帶100。而且，載帶移行裝置1作為揭膜機(jī)裝置，使密封部2從載帶100的移行線退避，一邊以從卷軸200側(cè)抽出載帶100的方式逆移行，一邊將密封帶102卷繞于密封帶卷軸3，而將密封帶102從載帶100剝離。

該載帶移行裝置1具備兩臺鏈輪41、42。兩臺鏈輪41、42為沿周面突出設(shè)置著突起43的同徑的圓盤。鏈輪41、42經(jīng)由正時(shí)皮帶51a、52a而與分別對應(yīng)的電動(dòng)機(jī)51、52的輸出軸連接，以同一周方向、同一旋轉(zhuǎn)量及同一時(shí)機(jī)而間歇旋轉(zhuǎn)。

載帶100架設(shè)在兩鏈輪41、42上。載帶100中，在帶單側(cè)沿長邊方向等間隔地開設(shè)著鏈輪孔。兩鏈輪41、42的突起43嚙合于該鏈輪孔。鏈輪41、42將突起43鉤掛在鏈輪孔中而旋轉(zhuǎn)，使載帶100沿長邊方向移行。該突起43具有圓形形狀，且加工成內(nèi)旋形狀。突起43的直徑稍小于載帶100的鏈輪孔。

兩鏈輪41、42在同一鉛垂面上排列，旋轉(zhuǎn)軸平行且為同一高度。因此，載帶100在將延伸方向保持為水平的狀態(tài)下，向卷軸200側(cè)或離開卷軸200的方向移行。

電動(dòng)機(jī)51、52的旋轉(zhuǎn)間距與袋狀物101的配置間隔相對應(yīng)。載帶100沿長邊方向等間隔地具有經(jīng)壓花加工的袋狀物101。也就是，電動(dòng)機(jī)51、52使袋狀物100在共同的停止位置處停止。共同的停止位置中的一處設(shè)定為電子零件104的交接位置6。

吸附噴嘴等保持單元311能夠升降地位于交接位置6的正上方。載帶移行裝置1通過使袋狀物101依次對準(zhǔn)交接位置6，作為捆包裝置，使脫離了保持單元311的電子零件104收容于載帶100，或者作為揭膜機(jī)，使袋狀物101內(nèi)的電子零件104由保持單元311取出。

該電動(dòng)機(jī)51、52作為捆包裝置進(jìn)行正轉(zhuǎn)，且作為揭膜機(jī)裝置進(jìn)行逆轉(zhuǎn)。該電動(dòng)機(jī)51、52為例如具有H橋電路的伺服電動(dòng)機(jī)。電動(dòng)機(jī)51、52利用控制旋轉(zhuǎn)方向、旋轉(zhuǎn)量及旋轉(zhuǎn)時(shí)機(jī)的電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器7，相應(yīng)于是捆包還是揭膜(detape)而得到控制。電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器7可設(shè)置于載帶移行裝置1，也可設(shè)置于綜合控制保持單元311等的控制裝置側(cè)。

密封部2如圖1所示，具備加熱區(qū)塊21及基底區(qū)塊22。加熱區(qū)塊21與基底區(qū)塊22隔著載帶100的移行線而相向配置。加熱區(qū)塊21從載帶100的移行線的上方按壓載帶100，基底區(qū)塊22從載帶100的移行線的下方按壓載帶100。如圖1及圖2所示，加熱區(qū)塊21能夠相對于載帶100的移行線接觸或背離地移動(dòng)。

密封帶102與載帶100重疊地供給到該密封部2中。加熱區(qū)塊21與基底區(qū)塊22通過夾入而壓接密封帶102與載帶100，加熱區(qū)塊21進(jìn)而對封帶102與載帶100的壓接面供給熱。

密封帶卷軸3作為捆包裝置，將密封帶102朝向載帶100抽出，作為揭膜機(jī)裝置，將密封帶102向離開載帶100的方向卷繞。該密封帶卷軸3位于比載帶100的移行線靠上方的位置，且具備電動(dòng)機(jī)31與壓緊輥32。

電動(dòng)機(jī)31經(jīng)由正時(shí)皮帶而使密封帶卷軸3旋轉(zhuǎn)。密封帶卷軸3能夠進(jìn)行正轉(zhuǎn)及逆轉(zhuǎn)，為例如具有H橋電路的伺服電動(dòng)機(jī)。壓緊輥32位于載帶100的移行線附近，將密封帶102向載帶100引導(dǎo)。

如圖1及圖2所示，壓緊輥32能夠相對于載帶100的移行線接近或背離地移動(dòng)。載帶移行裝置1在作為捆包裝置發(fā)揮功能時(shí)，如圖1所示，靠近載帶100的移行線，將密封帶102對載帶100擠壓。載帶移行裝置1在作為揭膜機(jī)發(fā)揮功能時(shí)，如圖2所示，離開載帶100的移行線。因壓緊輥32離開載帶100的移行線，而載帶100與密封帶102的剝離基點(diǎn)9處的、載帶100與密封帶102所成的角度θ變得緩和。

而且，如圖1所示，使該載帶100向兩方向移行的載帶移行裝置1在載帶100的移行線下方具備抽吸部8。載帶100在各袋狀物101的底面具有孔部。抽吸部8通過該孔部來抽吸袋狀物101內(nèi)部的電子零件104，并貼附于袋狀物101的底面。

如圖3所示，該抽吸部8在載帶100的移行線側(cè)具有開設(shè)著抽吸槽82的容器81，在容器81的底部穿設(shè)多個(gè)抽吸孔83。抽吸槽82沿著移行線開設(shè)于載帶100的移行線正下方。抽吸槽82的槽寬為開設(shè)于載帶100的袋狀物101的孔部的直徑以上，且小于載帶100的帶寬。抽吸孔83與真空泵等負(fù)壓產(chǎn)生裝置的空氣壓回路連通。

該抽吸部8通過抽吸孔83而使容器81內(nèi)減壓，通過抽吸槽82與形成于載帶100的袋狀物101的孔部而將袋狀物101內(nèi)的電子零件104貼附于袋狀物101的底面。

(動(dòng)作)

該載帶移行裝置1的捆包動(dòng)作為如下所述。載帶移行裝置1利用電動(dòng)機(jī)51、52的正轉(zhuǎn)使正時(shí)皮帶51a、52a移行，而使鏈輪41、42正轉(zhuǎn)。鏈輪41、42將突起43鉤掛在鏈輪孔上，使載帶100向卷軸200側(cè)移行。

載帶移行裝置1通過使電動(dòng)機(jī)51、52間歇地旋轉(zhuǎn)，而將載帶100間歇地向卷軸200側(cè)移送，使空的袋狀物101依次地位于交接位置6。各保持單元311逐個(gè)地保持電子零件104并依次在交接位置6處停止，從而將電子零件104收容于位于交接位置6的空的袋狀物101中。

密封帶卷軸3利用電動(dòng)機(jī)31的正轉(zhuǎn)而將密封帶102向載帶100側(cè)抽出。壓緊輥32將從密封帶卷軸3抽出的密封帶102向載帶100的表面引導(dǎo)，使密封帶102重合于載帶100的袋狀物101所開口的面。

密封部2預(yù)先使加熱區(qū)塊21與載帶100的移行線接觸。密封部2中重合而

共有密封帶102與載帶100。密封部2利用加熱區(qū)塊21與基底區(qū)塊22來夾入載帶100與密封帶102，利用加壓與加熱將密封帶102粘附在載帶100。由此，袋狀物101內(nèi)的電子零件104由密封帶102與袋狀物104的內(nèi)壁而密封。

載帶100在由密封帶102密封后，利用進(jìn)一步的間歇的移行而引導(dǎo)至卷軸200，并卷繞在卷軸200上。

載帶移行裝置1的揭膜動(dòng)作為如下所述。載帶移行裝置1利用電動(dòng)機(jī)51、52的間歇的逆轉(zhuǎn)而使正時(shí)皮帶51a、52a移行，從而使鏈輪41、42逆轉(zhuǎn)。鏈輪41、42將突起43鉤掛在鏈輪孔中，將載帶100從卷軸200中間歇地抽出。

此處，突起43為圓形且內(nèi)旋形狀。一般來說，內(nèi)旋形狀是通過使齒輪的齒彼此以固定角度及固定面積接觸，且形成適當(dāng)?shù)挠蜗?，而使齒輪的旋轉(zhuǎn)變得容易的形狀。如果將該內(nèi)旋形狀應(yīng)用于突起43，則伴隨載帶100的移行的振動(dòng)得到抑制，移行的穩(wěn)定性增加。

而且，將電動(dòng)機(jī)51、52與鏈輪41、42之間的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)從揭膜機(jī)裝置中普通的棘輪(ratchet wheel)設(shè)為正時(shí)皮帶51a、52a，由此伴隨載帶100的移行的振動(dòng)得到抑制，移行的穩(wěn)定性增加。

另一方面，密封帶卷軸3以與載帶100的逆移行相同的速度、相同的量、相同的時(shí)機(jī)卷繞密封帶102。載帶100水平地逆移行，密封帶102被上拉到載帶100的移行線的上方。因此，載帶100與密封帶102在不同的方向上分為兩股，密封帶102從載帶100剝離。

此時(shí)，密封部2在揭膜動(dòng)作中，使加熱區(qū)塊21退避到上方，從靠近卷軸200的部位開始留出供載帶100與密封帶102分為兩股的余地。而且，密封帶卷軸3在揭膜動(dòng)作中，使壓緊輥32移動(dòng)到上方。由此，載帶100與密封帶102以緩和的角度θ剝離。

在袋狀物101開口的區(qū)域，因載帶100與密封帶102的密接面積小，所以在該區(qū)域剝離所需的力小，如果剝離中施加一定的力，則在該區(qū)域剝離會(huì)一下子完成。而且，如果超過袋狀物101開口的區(qū)域則剝離中需要相對大的力，反而使剝離的進(jìn)展變慢。因此，有揭膜動(dòng)作中在載帶100產(chǎn)生大的振動(dòng)的可能。

然而，該載帶移行裝置1中，因載帶100與密封帶102以緩和的角度θ剝離，所以袋狀物101開口的區(qū)域中的剝離的進(jìn)展緩慢，揭膜動(dòng)作時(shí)的載帶100的振動(dòng)減弱，載帶100的逆移行穩(wěn)定化。

而且，載帶移行裝置1在揭膜動(dòng)作中，使抽吸部8驅(qū)動(dòng)。抽吸部8通過抽吸孔83而使容器81減壓，通過抽吸槽82與袋狀物101的孔來抽吸袋狀物101內(nèi)的電子零件104。因此，載帶100的間歇的逆移行中，將電子零件104吸引到載帶100而成為一體，電子零件104在袋狀物101內(nèi)的晃動(dòng)得到抑制，載帶100的移行穩(wěn)定化。而且，抽吸部8產(chǎn)生吸引載帶100的作用，剝離密封帶102時(shí)產(chǎn)生于載帶100的振動(dòng)也得到緩和。

而且，因密封帶102從載帶100的剝離而露出的袋狀物101利用電動(dòng)機(jī)51、52的間歇的逆轉(zhuǎn)，依次地位于交接位置6。空的各保持單元311依次在交接位置6處停止，取出位于交接位置6的電子零件104。

(電子零件搬送裝置)

(構(gòu)成)

一邊參照附圖一邊對具備該載帶移行裝置1的電子零件搬送裝置進(jìn)行詳細(xì)說明。如圖4所示，電子零件搬送裝置300中，配設(shè)電子零件104的搬送路徑301，且沿著搬送路徑301同時(shí)整列搬送多個(gè)電子零件104。而且，電子零件搬送裝置300沿著搬送路徑301，并列設(shè)置著晶片環(huán)支架320、多個(gè)觀測裝置340及多個(gè)捆包移行裝置1。拾取裝置330插在晶片環(huán)支架320與搬送路徑301之間。

搬送路徑301由搬送臺310形成。搬送臺310具有以一點(diǎn)為中心而呈放射狀擴(kuò)散的圓盤或星形等形狀，在周方向上間歇地每次以規(guī)定角度旋轉(zhuǎn)。在搬送臺310的外周安裝著保持單元311。保持單元311能夠沿著其軸線方向升降。該保持單元311沿著搬送臺310的外周在圓周平均分配位置處，且離搬送臺310的中心為相同的距離地安裝著多個(gè)。

保持單元311例如為吸附噴嘴。吸附噴嘴內(nèi)部中空且一端開口，從搬送臺310向下方延伸，使開口端朝向下方。吸附噴嘴的內(nèi)部與真空泵或噴射器(ejector)等負(fù)壓產(chǎn)生裝置的空氣壓回路連通。通過空氣壓回路使吸附噴嘴的內(nèi)部產(chǎn)生負(fù)壓，由此利用開口端來抽吸保持電子零件104，利用真空破壞或大氣釋放而解除抽吸，釋放電子零件104。

搬送臺310的動(dòng)力源為直接驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)312。直接驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)312以一間距為單位間歇旋轉(zhuǎn)。相對于直接驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)312的旋轉(zhuǎn)間距的搬送臺310的旋轉(zhuǎn)距離與保持單元311的配置間隔相等。也就是，保持單元311伴隨搬送臺310的間歇旋轉(zhuǎn)而沿著共同的移動(dòng)軌跡，在共同的停止位置處停止。在該停止位置，設(shè)置著晶片環(huán)支架320、觀測裝置340及捆包移行裝置1。

晶片環(huán)支架320保持晶片環(huán)103，使該晶片環(huán)103與面平行地移動(dòng)。晶片環(huán)103為貼附著晶片片材的環(huán)，晶片片材為貼附著將電子零件104切割為單片所得的晶片的片材。環(huán)支架320將電子零件104的粘附面朝向搬送臺310的外緣而將晶片環(huán)103豎立放置。該晶片環(huán)支架320包括使晶片環(huán)103從背側(cè)朝向拾取裝置330突出的推頂銷321。

拾取裝置330從晶片環(huán)103中拾取電子零件104并供給到搬送路徑301。該拾取裝置330具有從一點(diǎn)開始在同一平面上呈放射狀延伸的臂331。臂331的放射面與保持單元311的移動(dòng)面及晶片環(huán)擴(kuò)展的鉛垂面正交。在臂331前端附設(shè)吸附噴嘴。吸附噴嘴使軸沿臂331延伸設(shè)置，使吸附電子零件104的開口端朝向放射方向外方。該拾取裝置330鉆入搬送臺310的下方，設(shè)置于拾取裝置330的頂點(diǎn)與搬送路徑301重合的位置，在正側(cè)面與晶片環(huán)103相向。

拾取裝置330使臂331在放射中心間歇旋轉(zhuǎn)。晶片環(huán)支架320利用上推銷321將電子零件104從背側(cè)上推，將電子零件104交付到與晶片環(huán)103相向的臂331。接收到電子零件104的拾取裝置330的臂331在拾取裝置330的頂點(diǎn)與搬送臺310的保持單元311相向，將電子零件104交付到該搬送臺310。

觀測裝置340觀察電子零件104的外觀或電氣特性，或?yàn)榱嗽撚^察而輔助電子零件104的位置修正等。也就是，觀測裝置340為具有電荷耦合器件(charge-coupled device，CCD)或互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(Complementary Metal Oxide Semiconductor，CMOS)等攝像元件與透鏡的相機(jī)，具有與電子零件104的端子接觸而注入電流或施加電壓的接觸件的電氣特性測定裝置，或載置電子零件104而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)及平面移動(dòng)，由此變更電子零件104的朝向與位置的位置修正裝置。

(動(dòng)作)

圖5是搬送該電子零件搬送裝置300的電子零件104的第一形態(tài)。如圖5所示，該電子零件搬送裝置300沿著搬送路徑301具備一臺晶片環(huán)支架320與兩臺載帶移行裝置1。載帶移行裝置1為合格品等級用及其以外用。晶片環(huán)支架320上保持著檢查對象的晶片環(huán)103。

晶片環(huán)支架320使晶片環(huán)103平行移動(dòng)，使各電子零件104依次向拾取位置移動(dòng)，利用上推銷321朝向拾取裝置330上推。拾取裝置330利用臂331將拾取位置的電子零件104拾取，并交付給搬送臺310的保持單元311。晶片環(huán)支架320與拾取裝置330重復(fù)進(jìn)行電子零件104朝向拾取位置的移動(dòng)、拾取位置的電子零件104的拾取及向保持單元311的交付。

搬送臺310利用直接驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)312而間歇旋轉(zhuǎn)，保持單元311保持電子零件104且在搬送路徑301上移動(dòng)。在保持單元311通過各觀測裝置340時(shí)，各觀測裝置340進(jìn)行電子零件104的觀測處理。例如，在設(shè)置位置修正裝置、相機(jī)及電氣特性測定裝置作為觀測裝置340的情況下，電子零件由位置修正裝置修正位置以供檢查，且利用相機(jī)及電氣特性測定裝置進(jìn)行外觀檢查及電氣特性測定檢查。電子零件104根據(jù)外觀檢查與電氣特性測定檢查的結(jié)果，而等級劃分為合格品及合格品以外。

搬送臺310利用直接驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)312進(jìn)一步間歇旋轉(zhuǎn)，當(dāng)?shù)燃墑澐譃楹细衿返碾娮恿慵?04到達(dá)合格品用的載帶移行裝置1時(shí)，保持該電子零件104的保持單元311使電子零件104脫離。

在合格品用的載帶移行裝置1上安裝密封部2而作為捆包裝置發(fā)揮功能。該合格品用的載帶移行裝置1一邊使載帶100向卷軸200的方向移行，一邊將電子零件104收納在載帶100的袋狀物101中，且由密封帶102進(jìn)行密封。卷軸200卷繞由密封帶102密封的載帶100。

當(dāng)分類為合格品以外的等級的電子零件104到達(dá)合格品以外用的載帶移行裝置1時(shí)，保持該電子零件104的保持單元311使電子零件104脫離。

在合格品以外用的載帶移行裝置1上安裝著密封部2而作為捆包裝置發(fā)揮功能。該合格品用的載帶移行裝置1一邊使載帶100向卷軸200的方向移行，一邊在交接位置6將電子零件104收納在載帶100的袋狀物101中，且由密封帶102密封。卷軸200卷繞由密封帶102密封的載帶100。

晶片環(huán)103的各電子零件104被分類為合格品或合格品以外，當(dāng)載帶100的捆包完成時(shí)，分類為合格品以外的電子零件104被再檢查。再檢查中，作業(yè)人員檢查由觀測裝置340所獲得的數(shù)據(jù)，將被分類為合格品以外的電子零件104再判定為合格品與合格品以外。

再判定后，合格品以外用的載帶移行裝置1將密封部2卸下，并設(shè)定剝離部3，由此成為揭膜機(jī)。而且，電子零件搬送裝置300為再分類模式，合格品以外用的載帶移行裝置1作為揭膜機(jī)，從卷軸200展開載帶100，使密封帶102從載帶100剝離，且使電子零件104露出于交接位置6。

保持單元311保持交接位置6的電子零件104，伴隨搬送臺310的間歇旋轉(zhuǎn)，在搬送路徑301上移動(dòng)。再分類模式中，晶片環(huán)支架320將合格品以外的電子零件捆包，與成為揭膜機(jī)的載帶移行裝置1不同的另一個(gè)載帶移行裝置1然后作為捆包裝置將合格品捆包。

當(dāng)保持再判定為合格品以外的電子零件104的保持單元311到達(dá)晶片環(huán)支架320時(shí)，晶片環(huán)支架320的上推銷321將晶片環(huán)103的片材上推而迎向電子零件104，將再判定為合格品以外的電子零件104粘附在片材上。保持單元311利用大氣破壞或真空破壞而解除電子零件104的吸附，將電子零件104交付到晶片環(huán)103。

保持著再判定為合格品的電子零件104的保持單元311利用搬送臺310的間歇旋轉(zhuǎn)而到達(dá)安裝著密封部2的合格品用的載帶移行裝置1，利用大氣破壞或真空破壞解除電子零件104的吸附，而使電子零件104脫離到交接位置6的袋狀物101內(nèi)。

合格品用的載帶移行裝置1在交接位置6將電子零件104收納于載帶100的袋狀物101，由密封帶102進(jìn)行密封。卷軸200卷繞由密封帶102密封的載帶100。

由此，電子零件104從晶片環(huán)103分類到合格品用的載帶移行裝置1與合格品以外的載帶移行裝置1。然后，對于分類到合格品以外的載帶100的電子零件104而言，由在再判定后分類時(shí)成為捆包裝置而收容著合格品以外的電子零件104的載帶移行裝置1作為揭膜機(jī)裝置實(shí)施再供給，然后再分類到成為捆包裝置的合格品用的載帶移行裝置1與合格品以外用的晶片環(huán)支架320。

(效果)

如此，本實(shí)施方式的載帶移行裝置1利用鏈輪41、42鉤掛載帶100而使其移行。鏈輪41、42利用正轉(zhuǎn)及逆轉(zhuǎn)的電動(dòng)機(jī)51、52而旋轉(zhuǎn)。而且，具備：卷繞著粘附在載帶100的密封帶102的密封帶卷軸3；以及加熱區(qū)塊21與基底區(qū)塊22，所述加熱區(qū)塊21與基底區(qū)塊22將從密封帶卷軸3抽出的密封帶102及載帶100夾入，而將密封帶102粘附在載帶100。

該載帶移行裝置1成為如下的捆包裝置，即，使電動(dòng)機(jī)51、52正轉(zhuǎn)，而從密封帶卷軸3抽出密封帶102，使一對區(qū)塊21、22接近，由此利用密封帶102將載帶100密封。而且，成為如下的揭膜機(jī)裝置，即，使電動(dòng)機(jī)51、52逆轉(zhuǎn)，而將密封帶102向密封帶卷軸3拉入，使一對區(qū)塊21、22背離，由此將密封帶102從載帶100剝離。

由此，載帶移行裝置1可兼用作捆包裝置與揭膜機(jī)裝置。因此，無需另外準(zhǔn)備捆包裝置與揭膜機(jī)裝置，從而可降低設(shè)備的成本。例如，電子零件搬送裝置300中無需設(shè)置專用的揭膜機(jī)裝置。而且，與不設(shè)置揭膜機(jī)裝置相應(yīng)地，電子零件搬送裝置300的占有面積減少，設(shè)備的單位面積的電子零件生產(chǎn)效率提高。

作為電子零件搬送裝置300，在形成搬送路徑301的搬送臺310的周圍，設(shè)置保持電子零件104的收容體的收容體保持單元、觀察搬送路徑301內(nèi)的電子零件104的觀察裝置340、以及多個(gè)載帶移行裝置1。收容體保持單元例如為晶片環(huán)支架320，其收容體為晶片環(huán)103。此外，作為收容體，為平面呈格子狀隔開，且在該格子內(nèi)收容電子零件104的托盤。作為保持托盤的收容體保持單元，為使托盤平面移動(dòng)的平臺。

該電子零件搬送裝置300具有分類模式與再分類模式，該分類模式與再分類模式是將收容體保持單元與載帶移行裝置1作為電子零件104的供給單元或成為電子零件的分類目的地的分類單元。而且，分類模式中，收容體保持單元為供給單元，全部載帶移行裝置1成為捆包裝置而作為分類單元。再分類模式中，載帶移行裝置1中的一部分成為揭膜機(jī)裝置而作為供給單元，載帶移行裝置1中的其他部分成為捆包裝置而作為分類單元即可。而且，再分類模式中，除成為揭膜機(jī)裝置的載帶移行裝置1外，收容體保持單元也可作為分類單元。

此種電子零件搬送裝置300中，也無需為了再分類而將卷軸200從捆包裝置轉(zhuǎn)移到揭膜機(jī)裝置，因而設(shè)備成本降低，生產(chǎn)效率提高，此外減輕作業(yè)人員的勞力。

進(jìn)而，鏈輪41、42在周面形成突起43，將突起鉤掛在形成于載帶100的鏈輪孔而旋轉(zhuǎn)。該突起43具有內(nèi)旋形狀。由此，在載帶100的移行時(shí)振動(dòng)減輕，可防止電子零件104從袋狀物101飛出，從而生產(chǎn)效率提高。

而且，設(shè)置正時(shí)皮帶51a、52a作為鏈輪41、42與電動(dòng)機(jī)51、52之間的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。由此，與將傳動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)為棘輪的情況相比，載帶100的逆移行時(shí)不易從傳動(dòng)機(jī)構(gòu)產(chǎn)生振動(dòng)，可防止電子零件104從袋狀物101飛出，從而生產(chǎn)效率提高。

而且，使壓緊輥32插在密封帶卷軸3與載帶100的移行線之間，將密封帶102引導(dǎo)至載帶100的附近。該壓緊輥32在將密封帶102粘附在載帶100時(shí)，接近載帶100的附近。

另一方面，壓緊輥32在將密封帶102從載帶100剝離時(shí)，離開載帶100，而使剝離基點(diǎn)9處的載帶100與密封帶102所成的角度比粘附時(shí)有所緩和。由此，能夠抑制由將密封帶102從載帶100剝離引起的振動(dòng)，能夠防止電子零件104從袋狀物101飛出，從而生產(chǎn)效率提高。

而且，也可具備抽吸部8，該抽吸部8通過形成于袋狀物101的底面的孔，來抽吸收容于袋狀物101內(nèi)的電子零件104。該抽吸部8在載帶100的移行中，將電子零件104吸引到載帶100。由此，載帶100與電子零件104成為一體，即便載帶100的移行中產(chǎn)生振動(dòng)，袋狀物101內(nèi)電子零件104也不易晃動(dòng)，且載帶100的振動(dòng)得到緩和，可防止電子零件104從袋狀物101飛出，從而生產(chǎn)效率提高。

如上所述般對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但在不脫離發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種省略、置換、變更。而且，所述實(shí)施方式或其變形包含在發(fā)明的范圍或主旨內(nèi)，并且包含在權(quán)利要求書記載的發(fā)明及其均等的范圍內(nèi)。

例如，關(guān)于保持單元311，以吸附噴嘴為例進(jìn)行了說明，但也可配置靜電吸附方式、伯努利吸盤(Bernoulli chuck)方式、或機(jī)械夾持電子零件104的夾盤機(jī)構(gòu)。而且，關(guān)于電子零件104，只要能夠捆包于載帶100，則可為任一者。例如，關(guān)于電子零件104，可列舉半導(dǎo)體元件、及半導(dǎo)體元件以外的電阻或電容器等。關(guān)于半導(dǎo)體元件，可列舉晶體管、二極管、發(fā)光二極管(Light Emitting Diode，LED)、及閘流晶體管(thyristor)等分離式半導(dǎo)體(discrete semiconductor)、IC或LSI等集成電路等。

而且，本實(shí)施方式中，是利用兩臺電動(dòng)機(jī)51、52使載帶100移行，但也可設(shè)置電動(dòng)機(jī)51、52中的任一臺，并利用該電動(dòng)機(jī)使載帶100移行。此外，關(guān)于鏈輪41、42，也可設(shè)置任一個(gè)，而另一方設(shè)為引導(dǎo)載帶100的無銷輥。

[符號的說明]

1：載帶移行裝置

2：密封部

21：加熱區(qū)塊

22：基底區(qū)塊

3：密封帶卷軸

31：電動(dòng)機(jī)

32：壓緊輥

41：鏈輪

42：鏈輪

43：突起

51：電動(dòng)機(jī)

51a：正時(shí)皮帶

52：電動(dòng)機(jī)

52a：正時(shí)皮帶

6：交接位置

7：電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器

71：控制臺

72：捆包參數(shù)

73：揭膜參數(shù)

8：抽吸部

81：容器

82：抽吸槽

83：抽吸孔

9：剝離基點(diǎn)

100：載帶

101：袋狀物

102：密封帶

103：晶片環(huán)

104：電子零件

200：卷軸

300：電子零件搬送裝置

301：搬送路徑

310：搬送臺

311：保持單元

312：直接驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)

320：晶片環(huán)支架

321：上推銷

330：拾取裝置

331：臂

340：觀測裝置