關(guān)于聯(lián)邦資助的研究或開發(fā)的聲明

不適用

背景技術(shù)：

許多制造工廠環(huán)境由空間分布的加工工具組成，而非沿著線性地布置的裝配線定位的連續(xù)工具。對于在制品或者“工作實體”在被另一個工具或多個工具加工后重新進(jìn)入工具的制造環(huán)境，尤其如此。重新進(jìn)入同一工具避免了工具重復(fù)，這在工具的資本成本高昂的環(huán)境中尤為重要。

半導(dǎo)體制造環(huán)境是由于工具成本高昂使得工作實體多次進(jìn)入給定工具或給定類型的工具的環(huán)境的示例。半導(dǎo)體制造環(huán)境中的加工工具通常根據(jù)功能空間地分布在工廠中。因此，工作流程類似于工作實體的混沌運(yùn)動。由于同時在多個工具上操作多個工作實體并同時在多個工具之間移動多個工作實體，各個工作流程相交。

在現(xiàn)代工廠中，通過傳送網(wǎng)絡(luò)實現(xiàn)多個工作實體通過大量制造步驟和關(guān)聯(lián)的工具的過程。同時加工若干工作實體對最大化利用工廠工具和最大化產(chǎn)品產(chǎn)量是必要的，這產(chǎn)生了高度復(fù)雜的物流。因此，需要在工作實體運(yùn)動中的高效率和高度協(xié)調(diào)。沒有能夠快速、實時響應(yīng)的高效傳送網(wǎng)絡(luò)，在進(jìn)入或離開某些加工工具的工作流程中會出現(xiàn)瓶頸(流量密度)，同時其它加工工具缺乏工作。因此，這種高效傳送網(wǎng)絡(luò)必須具有高遞送能力、高速度、和異步能力，通過這些能力，工作載體可以彼此獨立地運(yùn)動。傳送基礎(chǔ)設(shè)施是這種高效物流的技術(shù)支撐。

在遞歸的加工流程環(huán)境中，例如在半導(dǎo)體制造環(huán)境中，同時利用多達(dá)數(shù)百個獨立的加工工具需要能夠在正確的時間將正確的工作實體遞送至所述工具中的每個的物流網(wǎng)絡(luò)。每個加工工具的利用率越高，工廠產(chǎn)量越高，同時也轉(zhuǎn)化為企業(yè)資本的效率提升。

輸送系統(tǒng)是當(dāng)代工廠環(huán)境中使用的傳送系統(tǒng)的一種具體類型。輸送網(wǎng)絡(luò)可以由同時分派至各種工具的數(shù)百臺移動式工作載體共享。遞送能力取決于流量密度和輸送速度。然而，流量密度和速度受到對于輸送系統(tǒng)中的工作實體之間的碰撞的零容忍的附加要求和無顆?；h(huán)境的附加要求的限制。因此，上述要求之間產(chǎn)生沖突。

工廠中的輸送網(wǎng)絡(luò)通常具有到多個位置的交叉點、節(jié)點和分支。在工作加工位置處的敞開的輸送機(jī)末端是用于輸送機(jī)傳送范圍的輸入和輸出端口。在這些端口處，工作實體進(jìn)入和離開輸送范圍。在現(xiàn)有技術(shù)中當(dāng)工作實體需要從這些端口中的一個行進(jìn)至另一個時，需要為了轉(zhuǎn)移而暢通路徑以滿足避免碰撞的要求。通常地，外部的或集中的調(diào)度軟件布置成通過同時控制所有其它工作實體的運(yùn)動來實現(xiàn)這種轉(zhuǎn)移，否則所有其它工作實體的運(yùn)動會干擾所涉及的工作實體。由于上述吞吐量的要求，這種調(diào)度軟件是復(fù)雜的。需要彼此同時并以無碰撞的最大速率移動工作實體。

除了在密集制造環(huán)境中高度復(fù)雜控制的挑戰(zhàn)外，在清潔室環(huán)境中輸送系統(tǒng)產(chǎn)生的顆粒物也備受關(guān)注。因此，傳送系統(tǒng)在這種環(huán)境中的效率必須與污染的機(jī)會相權(quán)衡。

傳統(tǒng)的輥式輸送機(jī)已經(jīng)實現(xiàn)了極低的顆粒物產(chǎn)生。然而，這種布置不能夠?qū)崿F(xiàn)在其上傳送的物品或載體(在此一般簡稱為“載體”)從停止?fàn)顟B(tài)的高加速度。這不是由于缺少用于驅(qū)動輥的有效轉(zhuǎn)矩，而是由于當(dāng)施加高起動轉(zhuǎn)矩時滾輪可能滑動和嘯叫。這類似于汽車從停止?fàn)顟B(tài)過快加速時汽車輪胎的嘯叫。

在特定的實施例中，磁滯離合器已經(jīng)根據(jù)實施例與同步或步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動的輥或輪結(jié)合使用，以消除載體和驅(qū)動器之間的這種滑動。磁滯離合器實現(xiàn)異步軟緩沖，異步軟緩沖是用于將載體相對彼此獨立地移動并以平滑的方式起動和停止載體的過程。然而，盡管磁滯離合器成功地防止滑動，但是其難以實現(xiàn)包括在多個g范圍內(nèi)的高加速速率。需要非?？斓募铀俸蜏p速，以便提升吞吐量并因此增加在必須沒有載體碰撞的軟緩沖輸送機(jī)上行進(jìn)的載體的密度。由于載體異步地移動，它們需要快速且與下游載體無碰撞地停止，以在輸送環(huán)境中實現(xiàn)密度增加和快速起動，以便最小化對上游載體的干擾。優(yōu)選地，起動和停止應(yīng)當(dāng)發(fā)生在稍大于載體的線路段中。

物理原理規(guī)定在表面上移動物體所需的摩擦力取決于法向力和材料的摩擦系數(shù)。換言之，在表面上移動物體所需的摩擦力與接觸面積無關(guān)。然而，可以通過使用壓縮材料選擇性地增加表面接觸來實現(xiàn)更大的摩擦力。這種實現(xiàn)的結(jié)果是提升了用于傳送載體的皮帶的利用率，而非提升了具有與載體接觸的橡膠驅(qū)動表面的輪的利用率。這種表面面積接觸的增加實際上增大了驅(qū)動表面和受驅(qū)動表面之間的摩擦力。

遺憾的是，就顆粒物產(chǎn)生而言，特別是對于單獨使用從動輪和惰輪所造成的顆粒物產(chǎn)生，簡單地將驅(qū)動皮帶放置在輪的相應(yīng)的組上是不清潔的。皮帶的?；饕怯善c皮帶下方的輪的相互作用引起的，即支撐載體的重量的那些輪。以前對顆粒物產(chǎn)生源的研究確定，在許多情況下由于輪、相應(yīng)的軸和/或支撐輪的軌道中的加工公差，皮帶與其下方的輪的接觸不是連續(xù)、完全的。例如，某些支撐惰輪被發(fā)現(xiàn)持續(xù)地與上覆的皮帶接觸并且因此與皮帶同步轉(zhuǎn)動，而其它惰輪的起動和停止取決于皮帶何時接觸它們。后者的接觸是偶然的，產(chǎn)生摩擦引起的支撐惰輪的起轉(zhuǎn)和停止。這種效應(yīng)有時取決于載體是否高于皮帶式輸送機(jī)的相應(yīng)部分。

為了在包括惰輪的相應(yīng)的輸送部分中的皮帶和全部輪之間施加持續(xù)接觸，提出將皮帶編織在輪之間的蛇形路徑中，例如將皮帶編織在兩個惰輪上面并隨后在下一個惰輪下面向下編織。在成功地保持皮帶和全部輪之間的接觸的同時，這提升了馬達(dá)轉(zhuǎn)矩要求，提升馬達(dá)轉(zhuǎn)矩需要增大電流并因此增加運(yùn)行成本。

仍然需要一種用于清潔室環(huán)境的優(yōu)化的傳送解決方案，可以實現(xiàn)高密度、快速、靈活且異步的工作實體傳送、高遞送能力、避免工作實體碰撞、及低顆?；?。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

為了解決高速工件輸送的需要和避免工件碰撞之間的固有沖突并提高吞吐量，根據(jù)實施例的基礎(chǔ)設(shè)施輸送線路被分成多個段，每段具有與工作實體或工件載體的長度類似的長度。如果輸送段已經(jīng)被工件載體占用，則阻止另外的工件載體進(jìn)入該段。由于嵌入在輸送元件中，這種碰撞避免是自主的，以允許受調(diào)度的工件載體的自然、獨立的流動，這種碰撞避免是不同于現(xiàn)有技術(shù)中實施的集中控制模型的方法。通過將現(xiàn)有技術(shù)的較長的輸送行程分成離散的分段，并且通過實現(xiàn)工件載體在段之間轉(zhuǎn)移的的智能的局部控制，避免了保留運(yùn)行用于所調(diào)度的工件載體的整個輸送線路的容量限制程序。

可以將工件載體以高流量密度端口到端口地自動發(fā)送。通過使用局部化的基于段的感測和輸送控制，如果需要，載體可以占用相鄰段并且可以根據(jù)先到先得或“自然”原則通過節(jié)點。

一般將形容工件載體在連續(xù)的輸送段上的接近程度如何的概念稱為“堆垛”，其部分取決于工件載體的行進(jìn)速度，即輸送速度。在現(xiàn)有技術(shù)中，禁止工件載體進(jìn)入已經(jīng)被另一個工件載體所占用的區(qū)域需要將行進(jìn)的載體的寬間距地隔開，以使得有足夠的停止距離來避免碰撞。速度越高，停止距離越大，使得流量密度越小?，F(xiàn)有技術(shù)中對于停止(或起動)距離的限制是在無顆?；斔蜋C(jī)上使用輥驅(qū)動工件載體的結(jié)果。然而，這種輥以前被認(rèn)為是實現(xiàn)清潔、無顆粒物的運(yùn)動的唯一手段。為尋求清潔傳送，輥式輸送機(jī)采用適中的傳送速度來避免當(dāng)需要突然停止時工件載體在輥上的滑動，以便避免與下游靜止的工件載體碰撞。因此，工件載體和驅(qū)動輸送輥之間有限的接觸表面的物理學(xué)需要這種適中的速度。

通過彈性的表面接觸，摩擦力隨著表面接觸的增大而增大。因此，為增大輸送機(jī)驅(qū)動器和工件載體之間的驅(qū)動表面接觸，各種實施例中的輸送機(jī)的輪或輥中的一些被補(bǔ)充有高摩擦系數(shù)的皮帶。然而，在改進(jìn)工件載體和分段輸送機(jī)之間的摩擦接合時，皮帶的引入可能引入新的顆粒物來源，特別是對于如上所述的惰輪。通過在此描述的發(fā)展克服這些困難，以允許引入在清潔制造環(huán)境中提供工件載體加速和減速的高速率的高速度、皮帶式、局部控制的分段輸送機(jī)。因此，在高速度下實現(xiàn)了高流量密度。

當(dāng)工件載體速度高且停止和起動距離必須短時，必須限制工件載體的加速和減速的速率，以避免皮帶上的滑動，皮帶上的滑動是能夠產(chǎn)生污染顆粒物的狀態(tài)。通過將磁滯離合器與輸送段驅(qū)動輪或驅(qū)動輥結(jié)合使用，可以通過受限的加速和減速速率實現(xiàn)顆粒化的在先控制。該離合器作為驅(qū)動輥轉(zhuǎn)矩的限制裝置，并且其可以設(shè)定成當(dāng)高速馬達(dá)突然開始加速或快速停止時脫離，否則將引起輸送機(jī)和工件載體之間的摩擦力超出限制。這種離合器的應(yīng)用允許工件載體的質(zhì)量和速度在不超出最大慣量值的情況下可變(例如，滿載工件載體與空載工件載體之間的重量差)。

然而，已經(jīng)發(fā)現(xiàn)的是，在輸送機(jī)受驅(qū)動皮帶和工件載體之間使用彈性表面接觸提供了改進(jìn)的摩擦接合，從而消除了對用于限制摩擦力的基于離合器的技術(shù)的需要。可以采用編程至局部的段控制器中的更高的加速和減速速率，從而提升吞吐量并同時避免碰撞。可以通過伺服動作或通過預(yù)先限定和限制開環(huán)步進(jìn)馬達(dá)的加速或減速速率實現(xiàn)這種馬達(dá)控制。因此，在無顆粒物的清潔制造環(huán)境中，具有皮帶的分段輸送機(jī)由具有受控的高加速和減速速率的開環(huán)步進(jìn)馬達(dá)或伺服馬達(dá)驅(qū)動，使得工作載體以高密度和高速無碰撞地流動，從而提升了輸送機(jī)的吞吐量。

在一種具體的非限制性實施例中，為實現(xiàn)改善驅(qū)動皮帶和位于相應(yīng)輸送段內(nèi)的輪(特別是惰輪)之間的接觸，在被布置在皮帶下方的每個輪中形成外周凹槽。隨后將軟且柔韌的材料環(huán)布置在凹槽中。該環(huán)突起并稍微超出惰輪的冠。

柔韌環(huán)的稍微突起提升了驅(qū)動皮帶在不平坦的惰輪上通過時惰輪與驅(qū)動皮帶接觸的可靠性。惰輪始終與驅(qū)動皮帶協(xié)同轉(zhuǎn)動。因此，與之前描述的蛇形皮帶的實施例相比，本實施例顯著地減少了顆?；⑶医档土蓑?qū)動馬達(dá)轉(zhuǎn)矩的要求。

每個柔韌環(huán)構(gòu)造成當(dāng)在載體從該柔韌環(huán)的上覆皮帶卸載時實現(xiàn)與上覆皮帶持續(xù)接觸。當(dāng)被傳送的載體或其它物品鄰近相應(yīng)的輪或在相應(yīng)的輪上時，柔韌環(huán)被壓縮并且皮帶與相對硬的輪冠或輪外周本身接觸，從而增大了皮帶和輪之間接觸的面積。因此，選擇柔韌環(huán)的材料和柔韌環(huán)在輪冠上突起的程度，以在載體卸載時實現(xiàn)柔韌環(huán)和皮帶之間高度的皮帶接觸，并且在載體裝載時實現(xiàn)輪冠和皮帶之間的直接接觸。以相對低度的要求轉(zhuǎn)矩和最小化的顆粒化，實現(xiàn)載體的快速加速和減速。

另一種實施例提供了皮帶和惰輪之間顆粒化的減少。這種非限制性實施例在皮帶和惰輪的界面處不是使用高摩擦系數(shù)且軟的材料(例如，確保它們的相對速度同步的環(huán))，而是使用低摩擦系數(shù)且硬的惰輪材料，例如尼龍，并且忽略速度同步的缺乏。在這種實施例中，除了位于皮帶環(huán)的兩端處的具有定心輪冠的的惰輪外，其它惰輪是圓柱形形狀的。皮帶可以在所有惰輪和驅(qū)動器上被彈性地拉伸(消除了對額外的張緊輪的需要)。

附圖說明

圖1是根據(jù)本發(fā)明的相距支撐軌道框架布置的輪的剖面圖；

圖2是圖1的輪的詳細(xì)視圖；

圖3是進(jìn)一步示出有冠形狀的端部惰輪的剖面圖；

圖4是圖3的輪的詳細(xì)視圖；

圖5是輸送器驅(qū)動段的透視圖，在其中示出了根據(jù)本發(fā)明的驅(qū)動皮帶、至少一個驅(qū)動輪和多個惰輪；

圖6是圖3的輪在負(fù)載狀態(tài)下的詳細(xì)視圖；

圖7是圖5所示的在相對端上具有平面突起的驅(qū)動軸的一端的平面圖；

圖8是根據(jù)本發(fā)明的一種實施例的驅(qū)動輪的側(cè)向透視圖；

圖9是根據(jù)另一種實施例的圓柱形的輪的詳細(xì)視圖；

圖10是圖9的圓柱形的惰輪與彈性皮帶的詳細(xì)視圖；

圖11是根據(jù)進(jìn)一步實施例的輪的詳細(xì)視圖；

圖12是根據(jù)實施例的輸送線路的框圖；

圖13是根據(jù)一種實施例的用于局部控制器的邏輯的流程圖。

具體實施方式

本專利申請是2014年10月22日提交的專利申請?zhí)枮?4/520,977的美國專利申請的部分繼續(xù)申請，其要求2013年10月22日提交的申請?zhí)枮?1/894,079的美國臨時專利申請的優(yōu)先權(quán)的權(quán)益，其公開內(nèi)容通過引用結(jié)合于此。

圖1示出了相對于支撐軌道框架20布置的惰輪輪轂10。該輪轂在此也簡稱為“輪”，其可以由抗顆粒化的硬的彈性材料例如聚氨酯形成。輪10的一種優(yōu)選的實施例采用硬度為75d(邵爾d硬度)澆注的靜電放電(esd)聚氨酯棒，其鑄型后被加工至想要的形狀和尺寸。替代地，可以采用67d的聚酯型熱塑性聚氨酯(tpu)，例如estane(位于cleveland,oh的lubrizoladvancedmaterials,inc.的商標(biāo))58137tpu。在示出的實施例中，盡管輪大體上是圓柱形的，但可以從圖2中更清楚地看出，輪具有相對于對稱軸線24傾斜的外周，對稱軸線24居中地位于相應(yīng)的軸18內(nèi)。具體地，輪在前邊緣11或后邊緣13處的半徑小于更靠近輪的中部測得的半徑。半徑的這種差異可以是線性的或者曲線的，后者被在附圖中示出。

輪10布置在常規(guī)設(shè)計和構(gòu)造的軸承組件16上。軸承組件16繞著從驅(qū)動軌道20伸出的軸18布置。軸在附圖中被示出為有螺紋，并且可以與位于驅(qū)動軌道中的互補(bǔ)的螺紋鉆孔配合。然而，軸可以以任何常規(guī)的方式相對于驅(qū)動軌道機(jī)械地配合。盡管驅(qū)動軌道在圖1中被示出為l形，但是其可以被以各種形狀提供。

狹槽12繞著輪的外周表面布置。如圖2所示，狹槽繞著輪的周邊是連續(xù)的以形成將柔韌材料環(huán)14設(shè)置在其中的環(huán)形或圓形狹槽。盡管在第一示出的實施例中，狹槽和柔韌材料環(huán)的橫截面是矩形的，但在其它實施例中，它們可以使用不同的幾何形狀。例如，在另一種實施例中，柔韌環(huán)可以具有圓形或卵形的橫截面，而狹槽具有互補(bǔ)的半圓形或半卵形的橫截面。柔韌環(huán)優(yōu)選地構(gòu)造成具有在輪的徑向方向上測量的最大厚度，其稍大于槽的最大深度。因此，柔韌環(huán)通常以距離x延伸超出車輪本身的近側(cè)表面。盡管在第一實施例中，柔韌環(huán)被提供成由聚氨酯制成，但是柔韌環(huán)還可以使用其它軟的、可壓縮的、不易碎的材料。這種其它材料可以包括硅膠和橡膠。在優(yōu)選的實施例中，柔韌環(huán)被拉伸并且壓在輪的外周上并被壓入狹槽中。在一種實施例中，柔韌環(huán)在原狀時的直徑可以小于狹槽的直徑，使得柔韌環(huán)通過摩擦配合保持在位。在其它實施例中，柔韌環(huán)通過粘合劑粘合或通過機(jī)械裝置保持在位，包括在柔韌環(huán)的側(cè)壁和狹槽的側(cè)壁(未示出)之間的摩擦配合。

在圖3中，驅(qū)動皮帶22以剖面示出，其跨越柔韌環(huán)14的頂部布置。這也在圖4中更詳細(xì)地示出。當(dāng)沒有載體或其它物品在相應(yīng)的輪上傳送或者鄰近相應(yīng)的輪傳送時，皮帶下表面至少與柔韌環(huán)14的上表面或外表面保持接觸，以便使相應(yīng)的輪可以立即并且無滑動地響應(yīng)皮帶的運(yùn)動。如果輪在其外部范圍內(nèi)具有缺陷，或者如果軸18被彎曲或以其它方式不與驅(qū)動軌道正交，則皮帶有時也可能與輪本身的外表面接觸。然而，柔韌環(huán)旨在使得皮帶始終能直接地或間接地與相應(yīng)的輪接觸，以避免由于皮帶和輪之間的間歇接觸而產(chǎn)生的顆?；?。

用于驅(qū)動皮帶22的材料的選擇部分地取決于對于硬度和電導(dǎo)率的期望值。pyrathane83asd和stat-rites-1107是典型的皮帶材料。由pyrathane制成的皮帶稍軟且更具彈性，但同時導(dǎo)電性較差。由stat-rite制成的皮帶較硬且更具剛性，但同時更具導(dǎo)電性。優(yōu)選地，彈性體皮帶被拉伸到輪上并用于通過與所有的惰輪和驅(qū)動輪的相互作用直接地傳送位于其上的工件載體。

一旦載體(未示出)位于在特定的輪10上方或鄰近特定的輪10的皮帶22上時，載體的重量足以壓縮柔韌環(huán)14，使得皮帶22的下表面與輪外表面的相對硬的表面直接接觸，如圖6所示。輪的硬度使得皮帶不會在載體的重量經(jīng)過每個輪時下沉，而是為載體提供一個平坦且平滑的過渡。此外，與皮帶下部范圍和柔韌環(huán)周邊之間的接觸面積相比，皮帶下部范圍和輪外周之間的接觸面積的增大使得有足夠的摩擦力來實現(xiàn)皮帶和輪之間精確的轉(zhuǎn)動跟蹤。

圖5中示出了驅(qū)動段的一種實施例的透視圖。輸送段的長度是由其包括的若干個驅(qū)動段確定的。驅(qū)動段被限定為工件載體的長度加上一定的自由空間余量。因此，取決于實施例，可以將輸送段構(gòu)造成容納一個、兩個或多個驅(qū)動段。通過這種模塊化方法，輸送機(jī)應(yīng)用的設(shè)計者隨后使用標(biāo)準(zhǔn)預(yù)制模塊構(gòu)建輸送布局，每個標(biāo)準(zhǔn)預(yù)制模塊的長度容納整數(shù)個驅(qū)動段。這種方法允許輸送網(wǎng)絡(luò)的簡單設(shè)計和裝配。

在附圖中，輪10的線性陣列相對于驅(qū)動軌道20設(shè)置。在示出的實施例中，陣列中的每個這種輪10設(shè)置有周邊布置的柔韌環(huán)14，以改善輪和上覆的連續(xù)皮帶22之間的轉(zhuǎn)動接觸的程度。在該示出的實施例中，跨越輸送段的線性陣列中的每個輪10均為惰輪。換言之，線性陣列的每個輪均為無動力的，并且通過與上覆皮帶的連續(xù)接觸而轉(zhuǎn)動。注意，在其它更簡化的實施例中，惰輪是有冠的，如圖1和圖2所示，但是并未設(shè)置有狹槽12或柔韌環(huán)14。進(jìn)一步在其它實施例中，惰輪中的某些或全部具有相應(yīng)的皮帶22在其上滾動并且平行于軸18的平坦的外表面。

在線性陣列的相對端，皮帶22繞著相應(yīng)的端部輪10以大體上相反的方向朝著兩個下部返回惰輪26稍小于180度地延伸。皮帶繞著這些返回輪大約90度延伸，并且因此繞著驅(qū)動桿28的上表面。在替代的實施例中，每個返回輪26和驅(qū)動桿28也可以設(shè)置有相應(yīng)的柔韌環(huán)14，而在其它實施例中，每個返回輪26和驅(qū)動桿28中的兩者之一或全部不具有相應(yīng)的柔韌環(huán)。

在該示出的實施例中，驅(qū)動桿28選擇性地由根據(jù)本領(lǐng)域已知技術(shù)的馬達(dá)56(圖8)轉(zhuǎn)動。通過馬達(dá)的運(yùn)行轉(zhuǎn)動驅(qū)動桿的一端，位于輸送段相對側(cè)上的相配合的皮帶一致地轉(zhuǎn)動，從而導(dǎo)致布置在兩條皮帶的上表面上的載體的線性均勻的傳送。在一種實施例中，驅(qū)動軸是軸和萬向聯(lián)軸器的組合，以便允許在輸送軌道的兩側(cè)之間的一定程度的未對準(zhǔn)。例如，對于圖7，驅(qū)動軸28在每個端部上設(shè)置有平坦突起，圖中位于近端上的突起40與位于相對的遠(yuǎn)端上的突起42正交。如圖8所示，位于驅(qū)動軸的一端上的平坦突起裝入位于安裝在一個軌道框架20(未在圖8中示出)上并通過主軸54安裝至馬達(dá)56的相應(yīng)的驅(qū)動輪50的中心處的狹槽52中，而相對的平坦突起裝入位于在另一個平行的軌道框架上的相應(yīng)的從動輪的中心處的相應(yīng)槽中。從動輪能夠通過本領(lǐng)域中已知的軸承裝置繞著相應(yīng)的主軸轉(zhuǎn)動。

通過使用共同的驅(qū)動軸，輸送段兩側(cè)上的輸送帶以相同的速度同步運(yùn)行，從而避免了工件載體跨越輸送段行進(jìn)時在皮帶的頂部上的扭轉(zhuǎn)。如圖8所示，驅(qū)動輪50和位于驅(qū)動軸的相對端上的從動的驅(qū)動輪具有相同的圓柱形形狀。重要的是，每個驅(qū)動輪的半徑r是相同的。這使得左右皮帶能以相同的速度被驅(qū)動，而不管皮帶到每個驅(qū)動輪的正常趨向是通過將它們自身定位在惰輪的冠的最高點來尋找它自身的最大張力。

由于材料的變化、輸送機(jī)負(fù)載的增加、摩擦系數(shù)不同、皮帶尺寸，并且主要是輪軸對準(zhǔn)中的缺陷，使得并非所有的轉(zhuǎn)動輪軸是彼此完全平行的，所以左右皮帶通常將以略微不同的速度運(yùn)行。這種會引起摩擦和顆?；乃俣炔钤谇鍧嵀h(huán)境中會有問題。圓柱形形狀的驅(qū)動輪抵消了這種趨向，并使兩側(cè)上的皮帶速度相等。

在替代的方法中，輸送帶是同步皮帶，其具有朝著在其上行進(jìn)的工件載體向上呈現(xiàn)的平坦表面。驅(qū)動皮帶的內(nèi)表面設(shè)置有機(jī)械特征，該機(jī)械特征與位于惰輪的外周上的互補(bǔ)的機(jī)械特征配合。具體地，在這種同步皮帶的第一實施例中，皮帶的內(nèi)表面設(shè)置有凸起(例如錐形或截頭錐形突起)的線性且連續(xù)的陣列，并且惰輪設(shè)置有形狀互補(bǔ)的孔眼的線性陣列，每個孔眼構(gòu)造成當(dāng)相應(yīng)的皮帶凸起在惰輪上通過時接納相應(yīng)的皮帶凸起。在第二實施例中，突起(例如錐形或截頭錐形突起)形成在繞著惰輪的外周的線性帶中，而皮帶設(shè)置有當(dāng)皮帶在惰輪上行進(jìn)時適于接納惰輪突起的互補(bǔ)地成形和隔開的孔眼。在該第二實施例中，皮帶孔眼可以穿過皮帶延伸至工件載體接觸表面，或者如果皮帶足夠厚，則皮帶孔眼可以僅延伸穿過部分皮帶。然而在任何這種實施例中，同步皮帶使得惰輪與上覆皮帶能同步連續(xù)轉(zhuǎn)動，并且通過避免間歇的皮帶/輪接觸來避免顆?；?。

在示出的實施例中，設(shè)置定心輪30以使載體在皮帶上居中。還可以在由于驅(qū)動桿28的放置而在線性陣列中相鄰的惰輪10之間產(chǎn)生的間隙處采用一個或多個中間惰輪32。如所公開的，這種中間惰輪可以設(shè)置成有或者沒有柔韌環(huán)。

在其它實施例中，位于線性陣列的任一端處的輪10中的一個可以是有動力的，或者返回輪26中的一個可以是有動力的，而非示出的驅(qū)動桿。然而，這將在輸送段的相對側(cè)上需要驅(qū)動元件(例如馬達(dá))。保持兩個這種馬達(dá)在起動或停止時間以及轉(zhuǎn)速方面上的完全同步是技術(shù)挑戰(zhàn)。

替代地，驅(qū)動桿28可以替換位于輸送段的相對側(cè)上的成對的輪10，例如位于輪的線性陣列的一端處的成對的輪10，或者一對返回輪26。如圖5所示的驅(qū)動桿隨后將被位于輸送機(jī)的相對側(cè)上的惰輪替代。此外，還可以使用多個驅(qū)動桿，盡管又將需要與每個這種驅(qū)動桿相關(guān)聯(lián)的驅(qū)動元件的精確同步。

在示出的實施例中，磁滯離合器不與馬達(dá)56結(jié)合使用，以避免工件載體和皮帶之間的滑動。此外，每個驅(qū)動段設(shè)置有用于檢測輸送段中一個或多個工件載體的存在的至少一個傳感器60，并且優(yōu)選地設(shè)置有至少兩個傳感器。使用至少兩個傳感器，一個傳感器可以設(shè)置成鄰近相應(yīng)的驅(qū)動段的每個端部，使得相應(yīng)的控制器能夠識別工件載體是否占用該驅(qū)動段。這種傳感器是常規(guī)設(shè)計的傳感器，并且可以包括使用光學(xué)、磁性、無源諧振電路、重量、機(jī)械干擾、和感應(yīng)傳感器。

與一個輸送機(jī)驅(qū)動段相關(guān)聯(lián)的一個或多個傳感器優(yōu)選地和與相應(yīng)的輸送段驅(qū)動馬達(dá)56相關(guān)聯(lián)的局部控制器58通信?？刂破鲀?yōu)選地設(shè)置有通信接口，并且與位于至少一個輸送段的任一側(cè)上的該至少一個輸送段的相應(yīng)的控制器通信，例如通過常規(guī)設(shè)計和構(gòu)造的通信總線。在一種實施例中，該總線是工業(yè)控制器局域網(wǎng)(can)總線。顯然，如果輸送段是端口(例如到加工工具的界面)，則相應(yīng)的控制器將僅與一個相鄰的輸送段控制器通信。

多個特定段控制器與相應(yīng)的更高級別的控制器通信。該更高級別的控制器具有其負(fù)責(zé)的輸送段的地圖，并且被編程成能夠指導(dǎo)該輸送機(jī)域內(nèi)的每個載體如何被路由。這種信息用于控制單獨的特定段控制器的響應(yīng)。取決于整個輸送機(jī)系統(tǒng)的復(fù)雜程度和尺寸，可以采用多級上位控制器。

因此，用于每個驅(qū)動段的控制器能夠檢測相鄰驅(qū)動段中工件載體的存在，并且可以相應(yīng)地響應(yīng)以便接納新的工件載體，例如通過使該工件載體減速并使其停止以避免與下游載體的碰撞?？刂破鬟€能夠檢測相鄰驅(qū)動段中之前靜止的工件載體的運(yùn)動，并且可以通過使包括在相應(yīng)段中的工件載體從停止的狀態(tài)加速來響應(yīng)，或者可以繼續(xù)將該工件載體傳送通過該驅(qū)動段并傳送至下一個驅(qū)動段。

加速和減速曲線優(yōu)選地存儲在與局部輸送段控制器相關(guān)聯(lián)的存儲器62中。這些曲線可以是用于改變工件載體速度的標(biāo)準(zhǔn)曲線，或者可以是最大值，由此控制器被編程成具有根據(jù)相應(yīng)的輸送機(jī)驅(qū)動段內(nèi)和/或相鄰的輸送機(jī)驅(qū)動段內(nèi)載體的存在或不存在來調(diào)節(jié)工件載體速度的靈活性。

如上所限定的，驅(qū)動段的長度大約是工件載體的長度加上少量的自由空間。因此，對于半導(dǎo)體制造環(huán)境中的300mm晶片載體，驅(qū)動段的長度為0.5米。半導(dǎo)體制造環(huán)境中的典型載體的質(zhì)量約8.5kg，并且能夠以大約1米每秒的速度行進(jìn)。必須選擇減速曲線，以便在該質(zhì)量進(jìn)入下游被占用的驅(qū)動段之前使得該質(zhì)量能減速至停止。在第一實施例中，減速曲線通常是線性的。

然而，也可以在進(jìn)一步的實施例中預(yù)見到使用指數(shù)減速曲線，速度變化的速率在開始時較小，而在結(jié)束、接近停止點時較大。這充分利用了步進(jìn)馬達(dá)的速度-轉(zhuǎn)矩特性：一般來說，步進(jìn)馬達(dá)中的馬達(dá)轉(zhuǎn)矩在低速下較高。

盡管在前文中已經(jīng)討論了減速曲線，但是可以采用類似的曲線用于加速，以實現(xiàn)無滑動的最大加速。這種控制器的加速和減速曲線使得工件載體能在非常密集的流動環(huán)境中以高速行進(jìn)，并且不會發(fā)生碰撞。

盡管在前文中僅將相鄰的驅(qū)動段和/或輸送段描述為相互通信，但是更大范圍的鄰近的驅(qū)動器或輸送段的控制器可以相互通信，以實現(xiàn)更快地響應(yīng)于段占用變化，并且實現(xiàn)預(yù)測響應(yīng)。

在進(jìn)一步的實施例中，可以使用低摩擦系數(shù)和硬的惰輪材料，例如尼龍，同時仍然提供皮帶和惰輪之間顆粒化的減少。與在它們的界面處使用高摩擦系數(shù)和軟的材料(例如使它們的相對速度能同步的環(huán))的某些前述實施例相反，這種非限制性實施例忽略了速度同步的缺乏，并允許皮帶和硬的惰輪之間的一定滑動。在這種實施例中，惰輪中的許多是圓柱形形狀的。皮帶環(huán)的兩個端部惰輪可以具有定心冠。皮帶可以在全部惰輪和驅(qū)動輪上彈性地拉伸，從而可以省略額外的張緊輪。

圖9是根據(jù)另一種實施例的惰輪910的詳細(xì)視圖。惰輪910類似于圖4所示的惰輪10，并且包括前邊緣911和后邊緣913。在圖9中，以剖面示出了跨越圓柱形惰輪910的頂部布置的驅(qū)動皮帶22。在該實施例中，沒有載體或其它物品在惰輪910上或鄰近惰輪910傳送。相應(yīng)地，皮帶22的下表面可以提離惰輪的上表面以極小的距離x，以便防止與惰輪接觸。一旦載體(未示出)在位于惰輪910上方的或鄰近惰輪910的皮帶22上，載體的重量足以迫使皮帶22的下表面直接接觸惰輪910的相對硬的表面。皮帶22和輪910之間的低摩擦系數(shù)允許皮帶22在輪910上清潔地滑動，并且不產(chǎn)生不希望的顆粒。因此，皮帶22和惰輪910不需要同步。

圖10是圖9的惰輪910的詳細(xì)視圖，皮帶922是被拉伸到輪上的彈性體皮帶。皮帶922用于通過與全部的惰輪和驅(qū)動輪的相互作用直接地傳送上覆的工件載體。彈性體皮帶922除了確保與惰輪910的接觸之外，還允許輸送段省略張緊輪。這降低了驅(qū)動段的成本，并且避免了潛在的故障點。此外，安裝彈性體皮帶922的過程被極大地簡化。

如上面關(guān)于圖6所討論的，輪910的硬度使得當(dāng)載體的質(zhì)量跨越輪910時皮帶922不下沉，而是為載體提供了平坦且平滑的過渡。再次，由于低摩擦系數(shù)，皮帶922能夠以無顆粒物的方式在輪910的表面上滑過。此外，可以選擇輪910和皮帶922的材料，以便進(jìn)一步降低產(chǎn)生顆粒物的可能性。

圖11是根據(jù)進(jìn)一步的實施例的惰輪1010的詳細(xì)視圖。在該非限制性實施例中，惰輪1010包括兩個定心凸緣1012和1014，即靠近前邊緣1011的前凸緣1012和靠近后邊緣1013的后凸緣1014。這些定心凸緣1012和1014限定允許皮帶22的有限區(qū)域。這防止了皮帶22漂移至側(cè)面并使皮帶22保持居中。凸緣1012和1014的尺寸設(shè)計成使得它們不接觸位于皮帶22上的載體的底部表面。這也可能引起皮帶22由于載體的質(zhì)量的任何壓縮。

在另一種非限制性實施例中，惰輪1010可以包括單個定心凸緣1012或1014，例如，僅包括前凸緣1012，以防止皮帶22朝著前邊緣1011移動。

盡管圖11所示的定心凸緣1012和1014的形狀為方形，定心凸緣1012和1014可以具有適合它們的目的的任何形狀(例如，具有傾斜的側(cè)面、半圓形等)。此外，各個定心凸緣1012和1014可以具有相同的形狀(如示出的)或具有不同的形狀。

圖12是根據(jù)實施例的輸送段1200的框圖。輸送段1200包括一系列驅(qū)動段1210、1220、1230、1240。為了說明的目的，僅示出了驅(qū)動段1210、1220、1230、1240；然而，輸送段1200可以包括用于加工載體1202和1204的附加部件和/或以重定向載體1202和1204的流動的部件(例如，沿著輸送段1200形成環(huán)路和/或分流)。類似地，驅(qū)動段1210、1220、1230、1240可以具有變化的長度和形狀。

每個驅(qū)動段1210、1220、1230、1240由相應(yīng)的段控制器1215、1225、1235、1245管理。這些段控制器1215、1225、1235、1245進(jìn)而可以由中央控制器1250操作。在一種非限制性實施例中，段控制器1215、1225、1235、1245實際上獨立于接收有限控制和有限反饋的中央控制器1250運(yùn)行。替代地，中央控制器1250可以操作成更嚴(yán)格地協(xié)調(diào)各種驅(qū)動段1210、1220、1230、1240的運(yùn)行。

圖13是根據(jù)獨立運(yùn)行的實施例的用于局部控制器1215、1225、1235、1245的邏輯的流程圖。該邏輯允許對提供無碰撞載體流動的各個驅(qū)動段1210、1220、1230、1240的分段控制。使用局部邏輯，段控制器1215、1225、1235、1245可以以避免碰撞同時保持高流量密度的方式獨立于全局邏輯運(yùn)行。

從步驟1310開始，該邏輯進(jìn)行至步驟1320，并檢查下一個驅(qū)動段(段n+1)是否暢通。這可以通過直接感測該段是否暢通、通過以下一個驅(qū)動段的段控制器進(jìn)行檢查和/或通過以中央控制器進(jìn)行檢查來完成。如果下一個驅(qū)動段暢通(是)，根據(jù)步驟1330，段控制器打開驅(qū)動段的馬達(dá)(mn)(或保持其運(yùn)行)并將載體移動至下一個驅(qū)動段上。另一方面，如果下一個驅(qū)動段不暢通(否)，段控制器進(jìn)入步驟1340并關(guān)閉馬達(dá)(或保持其關(guān)閉)。隨后，段控制器返回至步驟1320，并且繼續(xù)檢查下一個驅(qū)動段是否暢通。

一旦驅(qū)動段準(zhǔn)備好將載體移動至下一個驅(qū)動器段上，或者驅(qū)動段可以連續(xù)運(yùn)行以便盡快推進(jìn)載體，則該過程開始。此外，該邏輯可以包括額外的步驟，例如，一旦載體通過則自動關(guān)閉馬達(dá)(不檢查載體在下一個驅(qū)動段上)、在步驟1340之后且在步驟1320中的重新檢查之前的延遲等。

在替代的實施例中，中央控制器1250可以執(zhí)行在圖13的1320中描述的邏輯，并且相應(yīng)地指示本地控制器1215、1225、1235、1245。

回到圖12，使用圖13的邏輯，段控制器1215將關(guān)閉用于驅(qū)動段1210的馬達(dá)直到載體1204從驅(qū)動段1220離開為止。同時，段控制器1225將感測到驅(qū)動段1230是暢通的并且打開驅(qū)動段1220的馬達(dá)，使得載體1204前進(jìn)。一旦載體1204離開驅(qū)動段1220，段控制器1215將檢測到驅(qū)動段1220是暢通的，并且開始將載體1202移動至驅(qū)動段1220上。

因此，各個驅(qū)動段1210、1220、1230、1240能夠保持載體流的運(yùn)動同時防止碰撞。通過選擇性地驅(qū)動驅(qū)動段1210、1220、1230、1240，輸送段1200能夠使得載體能被快速且高效地向前移動，以便保持載體的高密度。隨著將滯后載體沿輸送段1200向前移動直到載體位于相鄰的驅(qū)動段上，可以迅速地消除載體之間的任何間隙。

相應(yīng)地，輸送段1200將保持最大可能的載體。由于載體加工元件不需要將載體保持直到輸送段1200準(zhǔn)備再次移動，這進(jìn)而允許載體加工元件更高效地操作。

在節(jié)能的實施例中，一旦載體已經(jīng)從相應(yīng)的段離開，局部控制器1215、1225、1235、1245關(guān)閉馬達(dá)。響應(yīng)載體移動至相應(yīng)的段上、移動至緊鄰在前的驅(qū)動段上或移動至進(jìn)一步上游的段上，控制器1215、1225、1235、1245能夠隨后打開馬達(dá)。

所描述的各種操作僅是示例性的，并且意味著沒有特定的順序。此外，操作可以適當(dāng)?shù)匾匀魏雾樞蚴褂貌⑶铱梢员徊糠质褂谩？紤]到上述實施例，應(yīng)當(dāng)理解的是，額外的實施例可以采用涉及在計算機(jī)系統(tǒng)中傳輸或存儲數(shù)據(jù)的各種計算機(jī)實現(xiàn)的操作。這些操作是需要物理操縱物理量的操作。通常，盡管不是必須的，這些量采取能夠以電信號、磁信號、或光學(xué)信號的形式被存儲、傳輸、組合、比較、和以其它方式操縱。

構(gòu)成當(dāng)前所公開的實施例的一部分的所描述的任何操作可以是有用的機(jī)器操作。各種實施例還涉及用于執(zhí)行這些操作的設(shè)備或裝置。所述裝置可以是為所需目的而特別地構(gòu)造的，或者所述裝置可以是由存儲在計算機(jī)中的計算機(jī)程序選擇性地啟動或配置的通用計算機(jī)。具體地，使用耦接至一個或多個計算機(jī)可讀介質(zhì)的一個或多個處理器的各種通用機(jī)器可以與根據(jù)本文的教導(dǎo)編寫的計算機(jī)程序一起使用，或者可以更便捷地構(gòu)建更專門的裝置以執(zhí)行所需操作。

本文描述的步驟、過程和/或模塊可以在硬件、軟件、體現(xiàn)為具有程序指令的計算機(jī)可讀介質(zhì)、固件、或者它們的組合中實現(xiàn)。例如，本文描述的功能可以由執(zhí)行來自存儲器或其它存儲設(shè)備的程序指令的處理器執(zhí)行。

實施例提供了一種用于在清潔制造環(huán)境中沿著輸送路徑的高密度在制品(wip)單元流的輸送傳送裝置。輸送傳送裝置包括用于限定傳送wip單元的輸送路徑的裝置(舉例來說，例如驅(qū)動段)。限定裝置包括沿著輸送路徑的兩個或多個段。兩個或多個段被分別驅(qū)動。輸送傳送裝置進(jìn)一步包括用于選擇性地驅(qū)動兩個或多個段中的受驅(qū)動段以沿著受驅(qū)動段和在兩個或多個段之間選擇性地傳送wip單元的裝置(舉例來說，例如馬達(dá))。輸送傳送裝置包括用于感測wip單元何時位于兩個或多個段中的特定段上的裝置(舉例來說，例如傳感器)。輸送傳送裝置還包括用于控制選擇性驅(qū)動裝置的裝置(舉例來說，例如數(shù)據(jù)處理器)?？刂蒲b置被布置成響應(yīng)感測裝置的輸出來操作，使得wip單元的位置被相對彼此控制且彼此沒有碰撞。受驅(qū)動段以受控的方式選擇性地起動和停止以平穩(wěn)運(yùn)行。在受驅(qū)動段的起動和停止期間，受驅(qū)動段的加速和減速被控制，使得加速或減速wip單元的力小于選擇性驅(qū)動裝置和wip單元之間的摩擦力，以便防止wip單元在選擇性驅(qū)動裝置上滑動。

在上述輸送傳送裝置的進(jìn)一步實施例中，wip單元在受驅(qū)動段內(nèi)被加速至全速輸送速度或者從全速輸送速度被減速。

在上述輸送傳送裝置中的任何一個的另一種實施例中，兩個或多個段中的每個包括橫向隔開的平行的受驅(qū)動的輸送帶和圓柱形驅(qū)動輪。每個輸送帶可以在由輸送帶形成的環(huán)的兩個最末端處繞著有冠惰輪纏繞。

輸送傳送裝置還可以包括位于每個輸送帶下的定心惰輪。定心惰輪可以位于有冠惰輪之間，并且定心惰輪是圓柱形形狀的。定心惰輪可以包括構(gòu)造成提供wip單元的橫向引導(dǎo)的傾斜的側(cè)凸緣。

定心惰輪可以布置成一列，使得輸送帶的返回腿位于該列下。返回腿可以由構(gòu)造成使得兩個輸送帶中的每個的速度相同的圓柱形共用驅(qū)動軸驅(qū)動。驅(qū)動軸可以包括構(gòu)造成適應(yīng)輸送軌道的側(cè)向錯位的內(nèi)部萬向聯(lián)軸器。

輸送帶可以包括彈性材料，并且輸送帶中的每個可以在相應(yīng)的圓柱形驅(qū)動輪上拉伸。

在上述輸送傳送裝置中的任何一個的進(jìn)一步實施例中，所有的構(gòu)造材料都是靜電消散的。

在上述輸送傳送裝置中的任何一個的另一種實施例中，限定裝置進(jìn)一步用于限定用于：一序列wip單元和/或可同時傳送的wip單元的輸送路徑。

進(jìn)一步的實施例提供了一種用于在清潔制造環(huán)境中沿著輸送路徑的高密度在制品(wip)單元流的輸送傳送裝置。輸送傳送裝置包括構(gòu)造成傳送wip單元的一個或多個輸送路徑。一個或多個輸送路徑包括兩個或多個段。兩個或多個段被分別驅(qū)動。輸送傳送裝置進(jìn)一步包括一個或多個馬達(dá)，一個或多個馬達(dá)構(gòu)造成選擇性地驅(qū)動兩個或多個段中的受驅(qū)動段的一個或多個皮帶，以便沿著受驅(qū)動段和在兩個或多個段之間選擇性地傳送wip單元。兩個或多個段中的每個可以是具有它們本身馬達(dá)的受驅(qū)動段。輸送傳送裝置包括一個或多個傳感器，一個或多個傳感器構(gòu)造成感測wip單元何時位于兩個或多個段中的特定段上。輸送傳送裝置還包括構(gòu)造成控制馬達(dá)的控制器?？刂破鞅粯?gòu)造成響應(yīng)傳感器的輸出來操作，使得wip單元的位置被相對彼此控制且彼此沒有碰撞。受驅(qū)動段以受控的方式選擇性地起動和停止以平穩(wěn)運(yùn)行。在受驅(qū)動段的起動和停止期間，受驅(qū)動段的加速和減速被控制，使得加速或減速wip單元的力小于一個或多個皮帶和wip單元之間的摩擦力，以便防止wip單元在一個或多個皮帶上滑動。

在上述輸送傳送裝置的另一種實施例中，wip單元在受驅(qū)動段內(nèi)被加速至全速輸送速度或者從全速輸送速度被減速。

在上述輸送傳送裝置中的任何一個的進(jìn)一步實施例中，至少一個皮帶包括橫向隔開的平行的受驅(qū)動的輸送帶，受驅(qū)動段包括輸送帶和圓柱形驅(qū)動輪。每個輸送帶可以在由輸送帶形成的環(huán)的兩個最末端處繞著有冠惰輪纏繞。輸送傳送裝置還可以包括位于每個輸送帶下的定心惰輪，定心惰輪位于有冠惰輪之間。定心惰輪是圓柱形形狀的。定心惰輪可以包括構(gòu)造成提供wip單元的橫向引導(dǎo)的傾斜的側(cè)凸緣。

定心惰輪可以布置成一列。輸送帶的返回腿可以位于該列下，并且返回腿可以由構(gòu)造成使得兩個輸送帶中的每個的速度相同的圓柱形共用驅(qū)動軸驅(qū)動。驅(qū)動軸可以包括構(gòu)造成適應(yīng)輸送軌道的側(cè)向錯位的內(nèi)部萬向聯(lián)軸器。

在上述輸送傳送裝置中的任何一個的另一種實施例中，輸送帶可以包括彈性材料，并且輸送帶中的每個可以在相應(yīng)的圓柱形驅(qū)動輪上拉伸。

在上述輸送傳送裝置中的任何一個的進(jìn)一步實施例中，所有的構(gòu)造材料都是靜電消散的。

在上述輸送傳送裝置中的任何一個的另一種實施例中，一個或多個輸送路徑構(gòu)造成傳送：一序列wip單元和/或可同時傳送的wip單元。

本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)上文所述的教導(dǎo)，對本文描述和示出的部件和步驟的細(xì)節(jié)、材料和布置作出許多改變。相應(yīng)地，應(yīng)當(dāng)理解的是，任何所附權(quán)利要求不限于本文所公開的實施例，并且可以包括除了那些被具體描述的實施例之外的實踐，并被解釋為在法律允許下的最寬泛范圍。