本發(fā)明涉及一種運(yùn)輸機(jī)構(gòu)、用于處理物品的機(jī)構(gòu)，包括這種運(yùn)輸機(jī)構(gòu)和運(yùn)輸方法。

背景技術(shù)：

經(jīng)常需要運(yùn)輸設(shè)備運(yùn)輸物品和通過例如加工廠的工廠處理物品。這里已經(jīng)知道不同的運(yùn)輸裝置。us4,089,339示出例如一種清潔工件的設(shè)備，其中所述工件是借助于皮帶傳動(dòng)來運(yùn)輸?shù)摹膗s2003/0194309a1已知一種運(yùn)輸設(shè)備，這種運(yùn)輸設(shè)備包括由運(yùn)輸輥和將板形物品壓緊運(yùn)輸輥的壓緊輥。wo2010/009865a1也公開了這樣的運(yùn)輸裝置，即運(yùn)輸裝置能夠設(shè)置壓緊裝置或者發(fā)生來自頂部的潤(rùn)濕，從而能夠省去機(jī)械壓緊裝置。

在借助于輥、皮帶、條帶或鏈線性運(yùn)輸輕的、薄的、敏感的剛性或柔性基片通過浸漬、噴灑、溢流或者干燥工序部分的過程中，在各個(gè)部分中產(chǎn)生的作用力能夠相反地影響基片的通過位置或者可能損壞基片。例如，所述基片可能扭曲、平移或者褶皺(錯(cuò)向)并且所述基片的表面可能分別受到機(jī)械影響。由于各自的慣性壓力(液體-氣體)、湍流(液體-氣體)和升起和粘附性能，可能發(fā)生這種結(jié)果。因此，將輕的、薄的基片壓緊在運(yùn)輸裝置上是必需的?，F(xiàn)有的壓緊技術(shù)，例如自由支撐的o形環(huán)輥襯套表明o形環(huán)產(chǎn)生的擦痕可能對(duì)基片表面產(chǎn)生不利的性能。進(jìn)一步地，通過打開和破壞襯套，在所述基片上遭到?jīng)_擊力，這可能再次不利地影響基片的位置和性能。

一個(gè)替代選項(xiàng)是借助于海綿輥實(shí)施壓緊。然而，由于快速改變的材料性能，借助于海綿輥進(jìn)行壓緊具有缺陷。進(jìn)一步地，海綿輥具有低的耐磨性，最終分別導(dǎo)致增加的成本和過程不定性。

在化學(xué)過程中使用過程流體壓力的壓緊系統(tǒng)在基片表面上潛在地產(chǎn)生表面圖案的形成，這在進(jìn)一步處理基片過程中可能分別對(duì)后續(xù)過程步驟產(chǎn)生負(fù)面影響或者可能限制它的功能。進(jìn)一步地，由于單邊增加的介質(zhì)壓力(液體-氣體)，所述基片可能被損壞。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是提供一種構(gòu)思，它允許方向穩(wěn)定地機(jī)械壓緊物品，并因此小心地運(yùn)輸以及小心地處理物品。

這個(gè)目的通過根據(jù)權(quán)利要求1所述的運(yùn)輸設(shè)備、根據(jù)權(quán)利要求12所述的處理設(shè)備和根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法解決。

本發(fā)明的實(shí)施例提供一種被配置成沿著運(yùn)輸路徑運(yùn)輸待運(yùn)輸物品的運(yùn)輸設(shè)備，所述運(yùn)輸設(shè)備包括至少一個(gè)彈性輥，用于將待運(yùn)輸物品靠著運(yùn)輸裝置保持。所述運(yùn)輸設(shè)備能夠包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)被配置成驅(qū)動(dòng)所述至少一個(gè)彈性輥，從而所述至少一個(gè)彈性輥與所述待運(yùn)輸物品同步移動(dòng)。由此，待運(yùn)輸物品和彈性輥之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)能夠被阻止，允許甚至更小心地保持(例如壓緊)物品。這在敏感物品的情形中是特別有利的。所述彈性輥能夠主動(dòng)地(被驅(qū)動(dòng))或被動(dòng)地(從動(dòng))安裝。

在本發(fā)明的實(shí)施例中，所述彈性輥包括輪轂和輥環(huán)，所述輥環(huán)通過圍繞輪轂的周邊分布的多個(gè)輻條彈性安裝在所述輪轂上。每個(gè)輻條包括連接到所述輪轂上的第一段、連接到輥環(huán)上的第二段；和在第一段和第二段之間的第三段，相對(duì)于徑向，所述第三段比第一段和第二段傾斜得更多。

通過圍繞所述輪轂的周邊分布，優(yōu)選均勻分布多個(gè)這種輻條，所述輥環(huán)能夠彈性安裝在所述輪轂上。這分別允許例如使用相應(yīng)的彈性輥和彈性墊圈,以靠著運(yùn)輸裝置小心地保持待運(yùn)輸?shù)奈锲?。相?yīng)的彈性輥允許輥環(huán)處的與彈性墊圈的彈性變形無關(guān)的恒定圓周速度，以及正弦的且非常恒定的接觸壓力。因而，在沒有作用在基片上的任何相對(duì)力的條件下，能夠保證在運(yùn)輸部分中運(yùn)輸裝置上的盡可能恒定的接觸壓力。

在實(shí)施例中，所述第三段能夠沿所述彈性輥的周向延伸，同時(shí)從所述第一段到所述第二段關(guān)于所述輪轂的距離增加。在實(shí)施例中，所述輻條的第三段能夠具有使至少分別相鄰的輻條的第三段沿徑向重疊的長(zhǎng)度。在實(shí)施例中，所述第三段能夠具有使三個(gè)分別相鄰的輻條的第三段沿徑向重疊。所述第三段能夠具有弧形曲線或者能夠包括一個(gè)或幾個(gè)直部分。如果所述第三段包括直部分，至少一個(gè)弧形段分別能夠布置在所述第三段的直部分、第一和第二部分之間。所述第三段的直部分能夠相對(duì)于徑向傾斜大于45°或60°。所述第三段的直部分能夠相對(duì)于徑向傾斜85°到90°的范圍內(nèi)。

在實(shí)施例中，所述運(yùn)輸裝置能夠包括一個(gè)或幾個(gè)被驅(qū)動(dòng)輥、一個(gè)或幾個(gè)條帶、一個(gè)或幾個(gè)被驅(qū)動(dòng)皮帶或者一個(gè)或幾個(gè)被驅(qū)動(dòng)鏈。在實(shí)施例中，所述運(yùn)輸設(shè)備被配置成水平或豎直取向地運(yùn)輸板形運(yùn)輸物品，例如半導(dǎo)體薄片。傾斜或反向運(yùn)輸也是可能的。反向運(yùn)輸是指彈性墊圈和運(yùn)輸輥的位置調(diào)換的運(yùn)輸。例如，運(yùn)輸物品能夠放置在被布置于運(yùn)輸物品下方的彈性輥上并且靠著被布置在運(yùn)輸物品上方的彈性輥保持。

實(shí)施例提供一種用于處理物品的設(shè)備，所述設(shè)備具有處理站和運(yùn)輸設(shè)備，所述運(yùn)輸設(shè)備被配置成運(yùn)輸所述物品穿過對(duì)所述物品進(jìn)行處理的處理站。所述處理站能夠是干燥站、浸漬站、噴灑站和/或溢流站。

實(shí)施例提供一種用于運(yùn)輸待運(yùn)輸物品的方法，所述方法包括沿著運(yùn)輸路徑運(yùn)輸待運(yùn)輸物品和借助于至少一個(gè)相應(yīng)彈性輥將待運(yùn)輸物品保持在運(yùn)輸裝置上。在這里，所述至少一個(gè)彈性輥能夠被驅(qū)動(dòng)，使得所述彈性輥與所述待運(yùn)輸物品同步移動(dòng)。由此，特別小心地運(yùn)輸待運(yùn)輸物品變得可能。

附圖說明

下面參照附圖，討論本發(fā)明的實(shí)施例。附圖示出：

圖1和2是彈性輥的第一實(shí)施例的俯視示意圖和立體圖；

圖3和4是彈性輥的第二實(shí)施例的俯視圖和立體圖；

圖5是彈性輥的第三實(shí)施例的立體圖；

圖6是運(yùn)輸設(shè)備的實(shí)施例的立體圖；

圖7是圖6所示運(yùn)輸設(shè)備的側(cè)視示意圖；

圖8是另一運(yùn)輸設(shè)備的立體圖；

圖9是用于干燥基片的設(shè)備的示意圖；

圖10是使用液體處理物品的設(shè)備的示意圖；

圖11是借助于噴灑過程處理基片的單側(cè)和雙側(cè)的示意圖；

圖12是用于顯示通過彈性輥獲得的影響的兩個(gè)彈性輥的示意圖。

具體實(shí)施方式

本發(fā)明的實(shí)施例涉及用于運(yùn)輸和/或處理物品的設(shè)備和方法，尤其是基片，例如硅薄片、玻璃或箔片。本發(fā)明涉及用于運(yùn)輸和/或處理物品的設(shè)備和方法，尤其是薄基片，例如硅薄片、玻璃或箔片。這種硅薄片能夠例如具有小于130至140μm的厚度。然而，本發(fā)明的實(shí)施例還能夠用于運(yùn)輸或處理其它物品或制品，例如板形本體。板形本體在這里能夠指其長(zhǎng)度和寬度顯著大于其厚度，例如大100倍或200倍的本體。由此，所述板形本體的長(zhǎng)度和寬度限定兩個(gè)基本上相互平行的相對(duì)的主表面，所述主表面代表所述板形本體最大區(qū)域，它的面積顯著大于與所述主表面相連接的任意一個(gè)側(cè)表面。在這里，所述側(cè)表面可能是指邊緣，而所述主表面可能是指底側(cè)和頂側(cè)。板形處理物品的實(shí)例能夠是例如在太陽能電池中使用的板形半導(dǎo)體基片。在替代實(shí)施例中，所述處理物品能夠是玻璃板或者聚合物板。板形處理物品能夠具有任意外周形狀，例如方形、矩形、半方形或圓周形。

本發(fā)明的實(shí)施例分別提供一種彈性輥和彈性墊圈，允許在例如在工廠的液相或氣相處理中通過浸漬部分、噴灑部分、溢流部分或干燥部分的線性運(yùn)輸過程中，方向穩(wěn)定地機(jī)械保持，確切地，壓緊薄的、觸摸敏感的基片。為此目的，各彈性輥能夠用作彈性輥壓緊設(shè)備。本發(fā)明實(shí)施例的彈性輥包括輪轂和剛性硬輥環(huán)，所述輥環(huán)能夠沿徑向朝向所述輪轂變形，并具有彈性常數(shù)。該彈性常數(shù)通過圍繞所述輪轂的周邊分布的多個(gè)輻條提供。所述輻條能夠圍繞所述輪轂的周邊均勻地分布，使得當(dāng)彈性輥滾動(dòng)時(shí)，所述彈性常數(shù)盡可能恒定。為了支持所述彈性輥，所述第一段連接到所述輪轂的位置能夠從所述第二段連接到所述輥環(huán)的位置方位偏移，即這兩個(gè)位置不在徑向線上。在這里，徑向是指關(guān)于輪轂中心的徑向。

所述輻條提供的彈性的彈性常數(shù)能夠通過所述輻條的設(shè)計(jì)進(jìn)行調(diào)整。一般地，盡可能單調(diào)的彈性常數(shù)能夠是理想的，以允許盡可能小心地運(yùn)輸物品。下面討論允許彈性常數(shù)盡可能單調(diào)的實(shí)施例，例如參照?qǐng)D1至4。

這種彈性輥能夠用于在運(yùn)輸裝置上壓下線性傳輸?shù)幕?，而運(yùn)輸裝置能夠例如是用于待運(yùn)輸物品的輥傳動(dòng)、條帶傳動(dòng)、皮帶傳動(dòng)或者鏈傳動(dòng)。在實(shí)施例中，所述運(yùn)輸裝置和彈性輥能夠布置成使得所述基片不牢固地夾持在所述運(yùn)輸裝置和彈性輥之間。因而能夠通過桿在關(guān)鍵的處理部分中從頂部壓下線性傳輸?shù)幕?，使壓緊彈性輥與基片的速度同步，而所述壓緊彈性輥布置在對(duì)于所述基片合適的距離處。在這里，線性傳輸系統(tǒng)能夠在相對(duì)的基片側(cè)上設(shè)置用于壓緊彈性輥的固定的逆序系統(tǒng)，而所述逆序系統(tǒng)能夠例如通過從動(dòng)支撐輥實(shí)現(xiàn)。

所述彈性輥能夠由選擇的適當(dāng)材料制成，從而分別相對(duì)于運(yùn)輸物品和處理物品進(jìn)行執(zhí)行的方法對(duì)材料特性不具有或幾乎不具有影響。所述輥環(huán)的材料能夠以適當(dāng)?shù)姆绞竭x擇，以便不在基片上留下任何干擾的磨損。合適材料的選擇對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員而言是顯而易見的。

在這里，這種彈性輥允許小心地壓緊待運(yùn)輸?shù)幕＿M(jìn)一步地，非圓形基片運(yùn)動(dòng)在線性驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)中例如因運(yùn)行錯(cuò)誤引起，以及基片中的不規(guī)則性能夠通過所述輥的彈性效應(yīng)進(jìn)行補(bǔ)償。因而，基片的損壞能夠分別被減小和阻止。

所述輻條具有長(zhǎng)形延伸部，并且所述輻條的各段也具有長(zhǎng)形形狀。長(zhǎng)形形狀是指其長(zhǎng)度分別比高度、寬度和直徑大許多倍的形狀。每個(gè)段能夠是直的或彎曲的。沿著這個(gè)長(zhǎng)形延伸部，所述第三段位于所述第一段和第二段之間。所述第一段的第一端能夠連接到所述輪轂，所述第一段的第二端能夠直接連接到所述第三段的第一端或者經(jīng)由另外的連接段連接到所述第三段的第一端。所述第二段的第一端能夠連接到所述輥環(huán)，所述第一段的第二端能夠直接連接到所述第三段的第二端或者經(jīng)由另外的連接段連接到所述第三段的第二端。

參照?qǐng)D1和2描述彈性輥的第一實(shí)施例。所述彈性輥包括輪轂10和輥環(huán)12。多個(gè)輻條14，在圖示實(shí)施例中4個(gè)輻條14，將輪轂10連接到輥環(huán)12。輻條14具有將輥環(huán)12彈性安裝在輪轂10上的曲線。輻條14包括第一段14a、第二段14b和第三段14c。輻條14的第一端，即第一段14a，連接到輪轂10處的連接點(diǎn)16。連接點(diǎn)16優(yōu)選圍繞輪轂10的周邊均勻分布。第一段14a能夠才能夠連接點(diǎn)16沿徑向或者關(guān)于徑向特定傾斜地延伸。進(jìn)一步地，每個(gè)輻條14包括在連接點(diǎn)18連接到輥環(huán)12的第二段14b。所述輻條的連接點(diǎn)18優(yōu)選圍繞所述輥環(huán)的周邊均勻分布。進(jìn)一步地，在輻條14連接到輪轂10的連接點(diǎn)16和輻條14連接到輥環(huán)12的連接點(diǎn)18之間提供方位偏移。所述輻條的第三段14c在第一段14a和第二段14b之間延伸，第三段14c比第一段14a和第二段14b關(guān)于徑向傾斜更多。

在所示實(shí)施例中，第三段14c以弧形在第一段14a和第二段14b之間延伸，使得第三段14c到輪轂的距離在彈性輥的周向上增大。也就是說，第三段14c以半徑增大的螺旋形在第一段14a和第二段14b之間的延伸。

如圖1所示，弧形的第三段14c具有使相應(yīng)地相鄰的輻條的弧形段重疊的長(zhǎng)度。進(jìn)一步地，在圖1所示的實(shí)施例中，弧形的第三段14c的長(zhǎng)度使相應(yīng)地相鄰的輻條發(fā)生重疊。在替代實(shí)施例中，弧形的第三段14c的長(zhǎng)度能夠更小，使得發(fā)生與只有一個(gè)相鄰的輻條的弧形段的重疊，或者使得不發(fā)生重疊，例如如圖5所示。

如圖1所示，第一段14a能夠是彎曲的，其中第一段14a的彎曲方向?qū)?yīng)第三段14c的彎曲方向。另一弧形段14d能夠布置在第二段14b和第三段14c之間，弧形段14d的彎曲方向不同于第三段的彎曲方向，并且弧形段14d的曲率半徑小于第三段14c的半徑。在替代途徑中，段14d能夠被認(rèn)為是第二段14b的組成部分。

在卸載狀態(tài)中，輪轂10和輥環(huán)12同心地布置。在裝載狀態(tài)中，中心由于所述輻條提供的彈性效應(yīng)而平移。

代替弧形的曲線，圖1和2所示實(shí)施例中的第二段能夠還包括多個(gè)直部分，每個(gè)直部分具有關(guān)于徑向的不同傾角，以便獲得第三段從第一段沿彈性輥的周向增大對(duì)于輪轂的距離地延伸到第二段。如果這些直部分變得無限小，則會(huì)再次得到弧形曲線。

垂直于長(zhǎng)形延伸部的圓柱形部分能夠在圖1和2中看到，例如部分20，可能是由于制造而出現(xiàn)的，但與功能沒有相關(guān)性。在這里進(jìn)一步應(yīng)當(dāng)注意的是，所述輪轂和所述輥環(huán)每個(gè)在內(nèi)表面和外表面上都具有如圖所示的涂層，以得到理想的性能。例如，輪轂和/或輥環(huán)能夠在內(nèi)側(cè)上設(shè)有涂層。

在本發(fā)明的實(shí)施例中，所述輪轂、輥環(huán)和輻條能夠用合適的材料制成，例如塑料材料，使得所述輥環(huán)提供剛性外表面，并且關(guān)于所述輪轂彈性地安裝。例如，創(chuàng)新的彈性輥的實(shí)施例能夠經(jīng)由彈性輥的注射模制方法制造。

參照?qǐng)D3和4，將討論彈性輥的第二實(shí)施例，其中布置在輪轂10和輥環(huán)12之間的輻條具有不同的曲線。所述彈性輥包括在輪轂10和輥環(huán)12之間延伸的6個(gè)輻條24。每個(gè)輻條24包括被連接到輪轂10的第一端24a和被連接到輥環(huán)12的第二段24b。每個(gè)輻條24安裝在輪轂10上的位置和每個(gè)輻條24安裝在輥環(huán)12上的位置在所示的實(shí)例中近似位于徑向線上。在替代實(shí)例中，能夠提供這些位置的方位偏移。

進(jìn)一步地，每個(gè)輻條24包括被布置在第一段24a和第二段24b之間的第三段24c。在這個(gè)實(shí)例中，第三段24c包括直部分。直部分24c以對(duì)于徑向基本上成90°的角度進(jìn)行布置。在替代實(shí)施例中，所述直部分能夠以不同的角度布置，例如大于45°的角度或者大于60°的角度或者例如以85°到90°的角度。

其它段設(shè)置在第三段24c和第一段24a之間，以及在第三段24c和第二段24b之間。第一段24a是弧形的，并且弧形的第四段24d設(shè)置在第一段24a和第三段24c之間，第四段24d的彎曲方向與第一段24a的彎曲方向相反。同樣地，弧形的第五段24e設(shè)置在第三段24c和第二段24b之間，第五段24e的彎曲方向與第二段24b的彎曲方向不同。在所示實(shí)施例中，第四段24d的曲率半徑小于第一段24a的曲率半徑。在所示實(shí)施例中，第五段24e的曲率半徑小于第二段24b的曲率半徑。在所示實(shí)施例中，第四和第五段的曲率半徑基本上相同。在實(shí)施例中，第一段24a的曲率半徑和第二段24b的曲率半徑基本上相同。

圖3和4中示出的輻條的曲線還包含輥環(huán)12關(guān)于輪轂10的彈性安裝。

圖5示出輻條的可能曲線的另一實(shí)施例。根據(jù)圖5，輥環(huán)12經(jīng)由四個(gè)輻條34連接到輪轂10。輻條34的曲線類似于圖1所示的輻條的曲線，其中每個(gè)輻條34包括第一段34a、第二段34b和第三段34c。然而，根據(jù)圖5，所述輻條的第三段34c的長(zhǎng)度小于圖1和2中所示的實(shí)例，使得各相鄰的輻條的第三段34c不重疊。由于第三段34c的更小長(zhǎng)度，能夠獲得更大的彈性常數(shù)和因而更高的彈性剛度。

由于第三段的長(zhǎng)度，所述輻條形成的彈簧的彈性剛度能夠被調(diào)整。通過增大第三段的長(zhǎng)度，所述彈簧能夠被制造得更軟，而通過減小第三段的長(zhǎng)度，所述彈簧能夠獲得更高的彈性剛度。

如上所述，彈性輥能夠例如有利地分別使用在運(yùn)輸設(shè)備和傳輸設(shè)備中。這些彈性輥能夠在運(yùn)輸設(shè)備中例如有利地用作壓緊輥。這些彈性輥能夠使用在例如輥運(yùn)輸系統(tǒng)中，其中柔性基片，例如硅薄片、箔薄片或者玻璃薄片，具有小于150μm的厚度，通過各彈性輥以限定的方式按壓到輥環(huán)上，使得能夠保證在處理過程中使所述基片前進(jìn)的牽引力。這種處理的實(shí)例是浸漬處理、噴灑處理、溢流處理和干燥處理。

圖6示出運(yùn)輸設(shè)備30的立體示意圖，運(yùn)輸設(shè)備30包括被安裝在各相應(yīng)桿34上的多個(gè)傳輸輥32。至少一些桿34能夠被運(yùn)動(dòng)，以便影響板形物品36沿著傳輸方向38的運(yùn)輸。相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在圖6中示意性地顯示為塊35。設(shè)置多個(gè)壓緊輥40，在運(yùn)輸過程中將板形物品36壓靠運(yùn)輸輥32。在所示實(shí)施例中，壓緊輥40對(duì)應(yīng)上面參照?qǐng)D1和2所描述的彈性輥。為此目的，在所示實(shí)施例中，幾個(gè)彈性輥40安裝在相應(yīng)的桿42上。替換地，每個(gè)軸線也能夠設(shè)置僅僅一個(gè)彈性輥。

在實(shí)施例中能夠設(shè)置用于桿42的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)43，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)43驅(qū)動(dòng)桿42，使得所述彈性輥與物品36同步移動(dòng)，以便阻止所述物品和彈性輥之間的相對(duì)移動(dòng)。例如，為此目的，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)35和43能夠通過經(jīng)由各齒輪驅(qū)動(dòng)桿34和42的共同的馬達(dá)形成。旋轉(zhuǎn)的相應(yīng)方向在圖6中用箭頭表示。

在操作過程中，能夠例如是半導(dǎo)體薄片的板形物品36，被運(yùn)輸輥32沿運(yùn)輸方向38傳輸。彈性輥40以距離運(yùn)輸輥32的特定距離進(jìn)行布置，以便允許板形物品36經(jīng)過彈性輥40和運(yùn)輸輥32之間，其中所述距離能夠被調(diào)整，使得板形運(yùn)輸物品不牢固地夾持在所述輥之間。

在圖7中示出圖6所示運(yùn)輸設(shè)備的側(cè)視示意圖，其中在圖7中，相應(yīng)輥被布置于其上的桿34和42的相應(yīng)支承用參考數(shù)字44示意性地顯示。

圖8示出這種運(yùn)輸設(shè)備的另一立體示意圖。如圖8所示，所述運(yùn)輸設(shè)備還能夠用于允許具有其他尺寸的運(yùn)輸物品，例如更寬的基片，從而更大數(shù)量的彈性輥接合所述運(yùn)輸物品。進(jìn)一步地，運(yùn)輸輥和彈性輥之間的距離能夠被調(diào)整以便允許具有改變厚度的運(yùn)輸物品。

圖6至8示出運(yùn)輸設(shè)備，其中運(yùn)輸裝置是運(yùn)輸輥，待運(yùn)輸物品借助于彈性輥壓靠運(yùn)輸輥。在替代實(shí)施例中，所述運(yùn)輸裝置能夠通過不同的裝置實(shí)施，例如待運(yùn)輸物品放置于其上的從動(dòng)條帶、從動(dòng)帶或者從動(dòng)鏈，或者移動(dòng)用于待運(yùn)輸物品的支撐。相應(yīng)的運(yùn)輸裝置對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員而言是已知的，并且能夠特別地被配置成，如參照?qǐng)D6至8描述的，運(yùn)輸水平對(duì)準(zhǔn)的板形運(yùn)輸物品。

相應(yīng)的運(yùn)輸設(shè)備能夠例如是用于處理物品的設(shè)備的一部分，所述用于處理物品的設(shè)備被配置成運(yùn)輸所述物品通過一個(gè)或幾個(gè)對(duì)物品進(jìn)行處理的處理站。下面參照?qǐng)D9至11討論這種處理設(shè)備的實(shí)例。應(yīng)當(dāng)注意的是，圖9至11中所示的處理設(shè)備僅僅是示例性的，本發(fā)明不限于這些處理設(shè)備。根據(jù)其他實(shí)施例，例如，處理設(shè)備能夠被配置成用于氣相處理。進(jìn)一步地，在實(shí)施例中，所示運(yùn)輸設(shè)備和/或處理設(shè)備能夠被配置成運(yùn)輸所述物品到豎向或傾斜位置中，其中所述物品通過抵靠運(yùn)輸裝置的彈性輥，例如相應(yīng)的運(yùn)輸輥，被水平、豎向或傾斜地保持在相應(yīng)位置中。

圖9示出處理設(shè)備50，其中處理設(shè)備50包括運(yùn)輸設(shè)備30并被配置成用于在兩側(cè)干燥處理物品36，處理物品36例如能夠是半導(dǎo)體基片。基片36借助于運(yùn)輸輥32沿著運(yùn)輸方向38運(yùn)輸，運(yùn)輸輥32也能夠稱為支撐輥，其中運(yùn)輸輥32中的全部或一些被沿著箭頭52所示的方向驅(qū)動(dòng)。彈性輥40能夠被用箭頭53所示地同步驅(qū)動(dòng)。

用于壓縮氣體的分布管54設(shè)置在基片36在其中運(yùn)輸?shù)倪\(yùn)輸平面上方和下方。氣體噴嘴56設(shè)置在分布管54的相應(yīng)出口處，氣體噴嘴56被配置成產(chǎn)生指向基片36的頂部和底部的氣流。在操作過程中，基片36沿傳輸方向38傳輸，其中液體能夠布置在圖9中用箭頭58表示的基片上。氣體噴嘴56影響基片36的頂部和底部上氣流，從而發(fā)生基片的干燥。在圖9所示的設(shè)備中，基片在兩側(cè)被干燥。在替代實(shí)施例中，基片能夠只在一側(cè)上被干燥，例如只干燥基片的頂部。

圖10示出被設(shè)置用于浸漬處理的處理設(shè)備60。再次，設(shè)備60包括具有運(yùn)輸輥32和彈性輥40的運(yùn)輸設(shè)備30。設(shè)置具有排放頭64的分布系統(tǒng)62，其中分布系統(tǒng)62被配置成提供處理液體以產(chǎn)生圖10中用箭頭66表示的液面。分布系統(tǒng)62能夠被配置成例如在浸漬盆中產(chǎn)生相應(yīng)的液面66。無論如何，在所示實(shí)施例中，基片36通過運(yùn)輸設(shè)備30沉浸到液體中，使得基片36使用液體在兩側(cè)處理。這里，基片36通過彈性輥40被抵靠運(yùn)輸輥42保持，使得保證基片沉浸到液體中，并防止基片上升。在替代實(shí)施例中，處理設(shè)備60能夠被配置成調(diào)整液面66，使得基片36使用處理液只處理基片36的一側(cè)。

圖11示出被配置成分別用于基片的噴灑處理和清潔的處理設(shè)備。再次，提供相應(yīng)的運(yùn)輸設(shè)備30。在處理設(shè)備70的處理區(qū)域中設(shè)置分布管72和噴嘴74。所述分布管用于分布噴灑液體，并且噴嘴74被配置成將噴灑也噴灑在基片36的頂部和底部上。通過運(yùn)輸設(shè)備30，基片36移動(dòng)穿過所述處理區(qū)域，使得基片36的頂部和底部被用噴灑液噴灑。在替代實(shí)施例中，相應(yīng)的噴灑裝置能夠只分別設(shè)置在基片36的運(yùn)輸平面的上方和下方，使得只處理基片36的一側(cè)。

在替代實(shí)施例中，噴嘴74能夠被這樣的裝置替換，即被配置成例如通過將處理液的射流引導(dǎo)到基片上，使所述基片溢流。

圖12示意性地示出兩個(gè)彈性輥的側(cè)視圖，其中一個(gè)彈性輥包括第一輪轂(輪轂1)和第二輪轂(輪轂2)。輪轂1和輪轂2這兩個(gè)輪轂被布置在輪轂平面上。所述輪轂的位置能夠通過運(yùn)輸設(shè)備的機(jī)械結(jié)構(gòu)固定。進(jìn)一步地，圖12示意性地示出物品在其中運(yùn)輸?shù)倪\(yùn)輸平面。在相應(yīng)輥環(huán)12的底部上，所述彈性輥能夠與待運(yùn)輸物品接觸。如圖12所示，以夸張的方式示出例如由于待運(yùn)輸物品36的改變厚度，能夠得到圖12顯示的兩個(gè)彈性輥的不同位置。所述彈性輥分別施加fk1和fk2于待運(yùn)輸物品上。相應(yīng)輥環(huán)12的外側(cè)分別以速度vu1和vu2移動(dòng)。

通過所述彈性輥的創(chuàng)新結(jié)構(gòu)，獲得所述彈性輥的單調(diào)的彈性常數(shù)，從而能夠獲得所述輪轂相對(duì)于物品36的表面的位置與彈性常數(shù)無關(guān)，即與輪轂距離物品表面的距離無關(guān)，并因而能夠獲得相同的力(fk1＝fk2)和相同的圓周速度(vu1＝vu2)。也就是說，所述彈性輥的創(chuàng)新結(jié)構(gòu)具有的效果是所述輪轂相對(duì)于所述輥環(huán)的位置能夠在特定區(qū)域中改變，例如在與輥環(huán)同心的、具有輥環(huán)的直徑20％的圓中，而所述彈性常數(shù)和圓周速度不依賴于所述輪轂的相對(duì)位置，在這個(gè)區(qū)域中保持相同。

因而，本發(fā)明的實(shí)施例允許滾動(dòng)速度，在運(yùn)輸平面上方的高度沒有改變的情形下不依賴于輥環(huán)的水平面地保持恒定。

在本發(fā)明的實(shí)施例中，運(yùn)輸裝置被主動(dòng)驅(qū)動(dòng)以便沿著運(yùn)輸路徑運(yùn)輸物品。在替代實(shí)施例中，如果所述彈性輥被驅(qū)動(dòng)，所述運(yùn)輸裝置也能夠不被驅(qū)動(dòng)，并且能夠被配置成沿著運(yùn)輸路徑被動(dòng)地支撐物品的運(yùn)輸。在這些實(shí)施例中，所述運(yùn)輸裝置能夠包括非從動(dòng)輥、非從動(dòng)條帶、非從動(dòng)帶或者非從動(dòng)鏈。

因而，本發(fā)明的實(shí)施例能夠是運(yùn)輸設(shè)備和用于處理物品的設(shè)備，其中所述物品能夠使用這里所述的彈性輥被壓緊。在本發(fā)明的實(shí)施例中，各壓緊輥能夠分別使用在水平浸漬處理的入口區(qū)域和出口區(qū)域中，以固定薄的基片，例如參照?qǐng)D10所述的那樣。

根據(jù)第一方面，這里公開了彈性輥，所述彈性輥包括：輪轂和輥環(huán)，所述輥環(huán)通過沿輪轂的周邊分布的多個(gè)輻條彈性安裝在所述輪轂上，每個(gè)輻條包括：被連接到所述輪轂的第一段，被連接到所述輥環(huán)的第二段，和位于所述第一段和第二段之間的第三段，所述第三段比所述第一段和第二段關(guān)于徑向傾斜得更多。根據(jù)第二方面，在根據(jù)第一方面的彈性輥中，所述第三段從所述第一段沿著所述彈性輥的圓周方向延伸到所述第二段，同時(shí)距離所述輪轂的距離增大。根據(jù)第三方面，在根據(jù)第二方面的彈性輥中，所述輻條的第三段具有使所述第三段，至少分別相鄰的輻條的第三段，沿徑向重疊的長(zhǎng)度。根據(jù)第四方面，在根據(jù)第三方面的彈性輥中，所述第三段具有使三個(gè)分別相鄰的輻條的第三段沿徑向重疊的長(zhǎng)度。根據(jù)第五方面，在根據(jù)第一至第四方面中任一方面的彈性輥中，所述第三段具有弧形曲線。根據(jù)第六方面，在根據(jù)第一至第四方面中任一方面的彈性輥中，所述第三段包括至少一個(gè)直部分。根據(jù)第七方面，在根據(jù)第六方面的彈性輥中，至少一個(gè)弧形段分別布置在第三段的直部分與第一和第二部分之間。根據(jù)第八方面，在根據(jù)第六或第七方面的彈性輥中，所述第三段的直部分關(guān)于徑向傾斜大于45°或者大于60°。根據(jù)第九方面，在根據(jù)第八方面的彈性輥中，所述第三段24c的直部分的傾斜角在85°到90°的范圍內(nèi)。根據(jù)第十方面，在根據(jù)第一至第九方面種任一方面的彈性輥中，所述輪轂的位置能夠關(guān)于所述輥環(huán)在特定區(qū)域中改變，而所述彈性常數(shù)和圓周速度與所述輪轂在這個(gè)區(qū)域內(nèi)的位置無關(guān)地保持恒定。根據(jù)第十一方面，運(yùn)輸設(shè)備包括被配置成對(duì)沿著運(yùn)輸路徑運(yùn)輸待運(yùn)輸物品進(jìn)行支撐的運(yùn)輸裝置和根據(jù)第一至第十方面種任一方面的至少一個(gè)彈性輥，以便抵靠所述運(yùn)輸裝置保持待運(yùn)輸物品。根據(jù)第十二方面，根據(jù)第十一方面的運(yùn)輸設(shè)備包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)被配置成驅(qū)動(dòng)所述至少一個(gè)彈性輥，從而使所述彈性輥與待運(yùn)輸物品的移動(dòng)同步地移動(dòng)。根據(jù)第十三方面，在根據(jù)第十二方面的運(yùn)輸設(shè)備中，所述運(yùn)輸裝置包括從動(dòng)輥、從動(dòng)條帶、從動(dòng)帶或者從動(dòng)鏈。根據(jù)第十四方面，根據(jù)第十一至十三方面中任一方面的運(yùn)輸設(shè)備被配置成，運(yùn)輸水平定向的板形運(yùn)輸物品。根據(jù)第十五方面，一種用于處理物品的設(shè)備包括處理站和根據(jù)第十一至十四方面中任一方面的運(yùn)輸設(shè)備，所述運(yùn)輸設(shè)備被配置成運(yùn)輸所述物品通過所述物品被處理的處理站。根據(jù)第十六方面，在根據(jù)第十五方面的設(shè)備中，所述處理站包括干燥站、浸漬站、噴灑站和/或溢流站。根據(jù)第十七方面，一種用于運(yùn)輸待運(yùn)輸物品的方法，包括沿著運(yùn)輸路徑運(yùn)輸待運(yùn)輸物品，和借助于根據(jù)第一至第十方面中任一方面的至少一個(gè)彈性輥，抵靠運(yùn)輸裝置保持待運(yùn)輸物品。根據(jù)第十八方面，根據(jù)第十七方面的方法包括驅(qū)動(dòng)所述至少一個(gè)彈性輥，從而所述彈性輥與待運(yùn)輸物品的移動(dòng)同步地移動(dòng)。