技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置。

背景技術(shù)：

現(xiàn)今，使用將電子部件向各種裝置供給、移除的電子部件搬運(yùn)裝置。該電子部件搬運(yùn)裝置也被稱作IC(Integrated Circuit)處理裝置。在專利文獻(xiàn)1公開有移動(dòng)被收納于托盤的電子部件的IC處理裝置。據(jù)此，IC處理裝置將電子部件從托盤供給至進(jìn)行檢查的測(cè)試頭，并將檢查結(jié)束后的電子部件收納于托盤。在未檢查托盤收納部重疊有多個(gè)呈矩陣狀地載置有未檢查的電子部件的托盤。進(jìn)而，部件取出部將電子部件從托盤移出，并且部件供給部將電子部件供給至測(cè)試頭。

托盤轉(zhuǎn)送部將電子部件被移出后的空的托盤移動(dòng)至空托盤收納部、合格部件托盤收納部、不合格部件托盤收納部。該未檢查托盤收納部、空托盤收納部、合格部件托盤收納部、不合格部件托盤收納部沿直線配置。進(jìn)而，托盤轉(zhuǎn)送部通過沿在一個(gè)方向延伸的導(dǎo)軌部件移動(dòng)而能夠?qū)⑼斜P移動(dòng)至各托盤收納部。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2010－151589號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)1所示的現(xiàn)有的IC處理裝置沒有識(shí)別IC、CIS(Contact Image Sensor)等電子部件的識(shí)別編號(hào)的功能。因此，存在即便錯(cuò)誤的電子部件進(jìn)入IC處理裝置、也直接將其搬運(yùn)至檢查裝置而進(jìn)行檢查的情況，無法得到正常的檢查結(jié)果。因此，本申請(qǐng)發(fā)明提供能夠通過識(shí)別各個(gè)IC的識(shí)別編號(hào)來使錯(cuò)誤的電子部件不流動(dòng)的電子部件搬運(yùn)裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明是為了解決上述的課題而完成的，能夠作為以下的方式或者應(yīng)用例來實(shí)現(xiàn)。

應(yīng)用例1、

本應(yīng)用例涉及的電子部件搬運(yùn)裝置的特征在于，具備：識(shí)別信息檢測(cè)部，該識(shí)別信息檢測(cè)部檢測(cè)呈現(xiàn)于電子部件的識(shí)別信息；個(gè)體識(shí)別部，該個(gè)體識(shí)別部使用上述識(shí)別信息進(jìn)行上述電子部件的個(gè)體識(shí)別；以及搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，該搬運(yùn)機(jī)構(gòu)能夠?qū)⑸鲜鲭娮硬考徇\(yùn)至規(guī)定的場(chǎng)所。

根據(jù)本應(yīng)用例，在電子部件設(shè)置有識(shí)別信息，識(shí)別信息檢測(cè)部檢測(cè)識(shí)別信息。進(jìn)而，個(gè)體識(shí)別部根據(jù)識(shí)別信息識(shí)別電子部件。進(jìn)而，搬運(yùn)機(jī)構(gòu)將電子部件搬運(yùn)至規(guī)定的場(chǎng)所。因此，電子部件搬運(yùn)裝置能夠識(shí)別電子部件的識(shí)別信息。結(jié)果，電子部件搬運(yùn)裝置能夠避免將錯(cuò)誤的電子部件搬運(yùn)至規(guī)定的場(chǎng)所。

應(yīng)用例2

在上述應(yīng)用例涉及的電子部件搬運(yùn)裝置的基礎(chǔ)上，其特征在于，具備：容器，該容器能夠在第一方向以及與上述第一方向交叉的第二方向載置多個(gè)上述電子部件；第一移動(dòng)部，該第一移動(dòng)部使上述容器沿上述第一方向移動(dòng)；以及第二移動(dòng)部，該第二移動(dòng)部使上述識(shí)別信息檢測(cè)部沿上述第二方向移動(dòng)。

根據(jù)本應(yīng)用例，電子部件被載置于容器，該容器設(shè)置于電子部件搬運(yùn)裝置。容器能夠在第一方向以及與第一方向交叉的第二方向載置多個(gè)電子部件。電子部件搬運(yùn)裝置具備第一移動(dòng)部以及第二移動(dòng)部。第一移動(dòng)部使容器沿第一方向移動(dòng)。第二移動(dòng)部使識(shí)別信息檢測(cè)部沿與第一方向交叉的第二方向移動(dòng)。因此，電子部件搬運(yùn)裝置能夠通過驅(qū)動(dòng)第一移動(dòng)部和第二移動(dòng)部使電子部件和識(shí)別信息檢測(cè)部在二維上相對(duì)移動(dòng)。因此，即便在容器上呈多列地載置電子部件時(shí)，電子部件搬運(yùn)裝置也能夠識(shí)別各電子部件的識(shí)別信息。結(jié)果，能夠識(shí)別設(shè)置于容器的電子部件的全部識(shí)別信息。

應(yīng)用例3

在上述應(yīng)用例涉及的電子部件搬運(yùn)裝置的基礎(chǔ)上，其特征在于，基于利用上述個(gè)體識(shí)別部得到的識(shí)別結(jié)果，切換將上述電子部件搬運(yùn)至上述規(guī)定的場(chǎng)所、或者不搬運(yùn)的情況。

根據(jù)本應(yīng)用例，個(gè)體識(shí)別部進(jìn)行電子部件的個(gè)體識(shí)別，進(jìn)而，基于得到的識(shí)別結(jié)果，在對(duì)電子部件實(shí)施規(guī)定的處理時(shí)，搬運(yùn)機(jī)構(gòu)將電子部件搬運(yùn)至上述規(guī)定的場(chǎng)所。在不對(duì)電子部件實(shí)施規(guī)定的處理時(shí)，不搬運(yùn)電子部件。因此，電子部件搬運(yùn)裝置能夠可靠地避免對(duì)錯(cuò)誤的電子部件實(shí)施規(guī)定的處理并使之流動(dòng)。

應(yīng)用例4

在上述應(yīng)用例涉及的電子部件搬運(yùn)裝置的基礎(chǔ)上，其特征在于，上述第二移動(dòng)部能夠在與使上述識(shí)別信息檢測(cè)部移動(dòng)的時(shí)刻不同的時(shí)刻使上述容器沿上述第二方向移動(dòng)。

根據(jù)本應(yīng)用例，電子部件搬運(yùn)裝置具備第二移動(dòng)部。第二移動(dòng)部使容器沿第二方向移動(dòng)。由此，能夠?qū)⑷萜鲝牡谝灰苿?dòng)部除去。進(jìn)而，第二移動(dòng)部在不同時(shí)刻使容器和識(shí)別信息檢測(cè)部移動(dòng)。因此，與設(shè)置用于移動(dòng)容器的部位和用于移動(dòng)識(shí)別信息檢測(cè)部的部位兩個(gè)部位相比，能夠形成簡(jiǎn)易的構(gòu)造。結(jié)果，能夠生產(chǎn)率良好地制造電子部件搬運(yùn)裝置。

應(yīng)用例5

在上述應(yīng)用例涉及的電子部件搬運(yùn)裝置的基礎(chǔ)上，其特征在于，具有輸出上述個(gè)體識(shí)別的結(jié)果的信息輸出部。

根據(jù)本應(yīng)用例，信息輸出部輸出個(gè)體識(shí)別的結(jié)果。因此，能夠活用電子部件的識(shí)別信息。

應(yīng)用例6

在上述應(yīng)用例涉及的電子部件搬運(yùn)裝置的基礎(chǔ)上，其特征在于，上述信息輸出部具有顯示上述個(gè)體識(shí)別的結(jié)果的信息顯示部。

根據(jù)本應(yīng)用例，信息顯示部顯示個(gè)體識(shí)別的結(jié)果。因此，操作者能夠確認(rèn)電子部件的識(shí)別信息而進(jìn)行與識(shí)別信息的顯示相應(yīng)的對(duì)應(yīng)。

應(yīng)用例7

在上述應(yīng)用例涉及的電子部件搬運(yùn)裝置的基礎(chǔ)上，其特征在于，上述信息輸出部具有將上述個(gè)體識(shí)別的結(jié)果作為信號(hào)輸出的輸出接口。

根據(jù)本應(yīng)用例，輸出接口將個(gè)體識(shí)別的結(jié)果作為信號(hào)輸出。因此，輸入信號(hào)的設(shè)備能夠確認(rèn)電子部件的個(gè)體識(shí)別的結(jié)果而進(jìn)行與識(shí)別信息相應(yīng)的對(duì)應(yīng)。

應(yīng)用例8

本應(yīng)用例涉及的電子部件搬運(yùn)裝置的特征在于，具備：圖像拍攝部，該圖像拍攝部拍攝呈現(xiàn)于電子部件的識(shí)別信息來作為圖像；數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換部，該數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換部將利用上述圖像拍攝部拍攝到的上述識(shí)別信息轉(zhuǎn)換為圖像數(shù)據(jù)；以及個(gè)體識(shí)別部，該個(gè)體識(shí)別部使用由上述數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換部轉(zhuǎn)換后的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行上述電子部件的個(gè)體識(shí)別。

根據(jù)本應(yīng)用例，圖像拍攝部拍攝呈現(xiàn)于電子部件的識(shí)別信息來作為圖像。其次，數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換部對(duì)利用圖像拍攝部拍攝到的識(shí)別信息進(jìn)行數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換。接著，個(gè)體識(shí)別部使用利用數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換部轉(zhuǎn)換后的數(shù)據(jù)進(jìn)行電子部件的個(gè)體識(shí)別。因此，電子部件搬運(yùn)裝置能夠識(shí)別電子部件的識(shí)別信息。結(jié)果，電子部件搬運(yùn)裝置能夠避免對(duì)錯(cuò)誤的電子部件進(jìn)行規(guī)定的處理并使之流動(dòng)。

應(yīng)用例9

在上述應(yīng)用例涉及的電子部件搬運(yùn)裝置的基礎(chǔ)上，其特征在于，上述識(shí)別信息包括文字，上述個(gè)體識(shí)別部具有將上述圖像數(shù)據(jù)作為文字進(jìn)行識(shí)別的文字識(shí)別功能。

根據(jù)本應(yīng)用例，個(gè)體識(shí)別部具有文字識(shí)別功能。因此，個(gè)體識(shí)別部能夠在識(shí)別信息包含文字時(shí)將文字的圖像數(shù)據(jù)作為文字加以識(shí)別。

應(yīng)用例10

在上述應(yīng)用例涉及的電子部件搬運(yùn)裝置的基礎(chǔ)上，其特征在于，上述識(shí)別信息包括條形碼，上述識(shí)別信息檢測(cè)部具有讀取上述條形碼的條形碼讀碼器。

根據(jù)本應(yīng)用例，識(shí)別信息檢測(cè)部具有條形碼讀碼器。另外，條形碼讀碼器所檢測(cè)的條形碼包括一維的條形碼和二維的條形碼。因此，即便在識(shí)別信息包含條形碼時(shí)也能夠容易地從識(shí)別信息讀取作為個(gè)體識(shí)別的信息。

應(yīng)用例11

在上述應(yīng)用例涉及的電子部件搬運(yùn)裝置的基礎(chǔ)上，其特征在于，具有：信息輸入部，該信息輸入部輸入與上述識(shí)別信息進(jìn)行比較的比較信息；以及警報(bào)輸出部，該警報(bào)輸出部在上述比較信息與上述識(shí)別信息不同時(shí)輸出警報(bào)信息。

根據(jù)本應(yīng)用例，在信息輸入部中輸入比較信息。進(jìn)而，個(gè)體識(shí)別部進(jìn)行個(gè)體識(shí)別。信息比較部對(duì)比較信息和識(shí)別信息進(jìn)行比較，且在二者不同時(shí)輸出警報(bào)信息。因此，電子部件搬運(yùn)裝置能夠在預(yù)定要處理的電子部件與所設(shè)置的電子部件不同時(shí)進(jìn)行與該狀況相應(yīng)的對(duì)應(yīng)。

應(yīng)用例12

本應(yīng)用例涉及的電子部件檢查裝置的特征在于，具備：識(shí)別信息檢測(cè)部，該識(shí)別信息檢測(cè)部檢測(cè)呈現(xiàn)于電子部件的識(shí)別信息；個(gè)體識(shí)別部，該個(gè)體識(shí)別部使用上述識(shí)別信息進(jìn)行上述電子部件的個(gè)體識(shí)別；檢查部，該檢查部檢查上述電子部件；以及搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，該搬運(yùn)機(jī)構(gòu)將上述電子部件搬運(yùn)至上述檢查部。

根據(jù)本應(yīng)用例，在電子部件設(shè)置有識(shí)別信息，識(shí)別信息檢測(cè)部檢測(cè)識(shí)別信息。進(jìn)而，個(gè)體識(shí)別部根據(jù)識(shí)別信息識(shí)別電子部件。進(jìn)而，搬運(yùn)機(jī)構(gòu)將電子部件搬運(yùn)至實(shí)施規(guī)定的處理的位置。因此，電子部件搬運(yùn)裝置能夠識(shí)別電子部件的識(shí)別信息。搬運(yùn)機(jī)構(gòu)將電子部件搬運(yùn)至檢查部，檢查部檢查電子部件。結(jié)果，電子部件檢查裝置能夠避免對(duì)錯(cuò)誤的電子部件進(jìn)行檢查。

附圖說明

圖1是示出第一實(shí)施方式涉及的部件檢查裝置的構(gòu)造的示意俯視圖。

圖2的(a)以及(b)是示出部件檢查裝置的構(gòu)造的示意側(cè)視圖。

圖3是示出部件檢查裝置的構(gòu)造的概略立體圖。

圖4是用于對(duì)電子部件進(jìn)行說明的示意俯視圖。

圖5是部件檢查裝置的電氣控制框圖。

圖6是示出電子部件的檢查方法的流程圖。

圖7是用于對(duì)電子部件的檢查方法進(jìn)行說明的示意圖。

圖8是用于對(duì)電子部件的檢查方法進(jìn)行說明的示意圖。

圖9涉及第二實(shí)施方式，(a)是用于對(duì)電子部件進(jìn)行說明的示意俯視圖，(b)是示出部件檢查裝置的構(gòu)造的示意側(cè)視圖。

圖10是用于對(duì)變形例涉及的電子部件進(jìn)行說明的示意俯視圖。

具體實(shí)施方式

在本實(shí)施方式中，對(duì)具備部件搬運(yùn)裝置的部件檢查裝置和該部件搬運(yùn)裝置搬運(yùn)部件的方法的特征例進(jìn)行說明。以下，根據(jù)附圖對(duì)實(shí)施方式進(jìn)行說明。另外，為了使各附圖中的各部件在各附圖上為能夠識(shí)別的程度的大小，使各部件的比例尺不同而進(jìn)行圖示。

第一實(shí)施方式

根據(jù)圖1～圖8對(duì)第一實(shí)施方式涉及的部件檢查裝置進(jìn)行說明。

部件檢查裝置

圖1是示出部件檢查裝置的構(gòu)造的示意俯視圖，是將罩拆下后的圖。圖2的(a)以及圖2的(b)是示出部件檢查裝置的構(gòu)造的示意側(cè)視圖。圖3是示出部件檢查裝置的構(gòu)造的概略立體圖。如圖1～圖3所示，部件檢查裝置1具有長(zhǎng)方形的板狀的基臺(tái)2。將基臺(tái)2的俯視圖中的基臺(tái)2的正交的兩邊延伸的方向設(shè)為X方向和Y方向，將鉛垂方向設(shè)為－Z方向。部件檢查裝置1主要由檢查電子部件的檢查部1a和作為將部件搬運(yùn)至檢查部1a的部件搬運(yùn)裝置的搬運(yùn)部1b構(gòu)成。

在基臺(tái)2上的X方向側(cè)設(shè)置有沿X方向較長(zhǎng)地延伸的6個(gè)傳送帶。傳送帶從－Y方向側(cè)起依次是作為第一移動(dòng)部的第一輸送機(jī)3、第二輸送機(jī)4、第三輸送機(jī)5、第四輸送機(jī)6、第五輸送機(jī)7、第六輸送機(jī)8。第一輸送機(jī)3是供件用的傳送帶，在第一輸送機(jī)3上載置有作為容器的托盤9。托盤9被分隔板劃分為5行5列的矩陣狀，在各區(qū)域載置有電子部件10。因此，托盤9能夠在正交的兩個(gè)方向排列載置電子部件10。

第一輸送機(jī)3在內(nèi)部具有馬達(dá)、減速器、帶輪3a，馬達(dá)使帶輪以被減速器減速后的轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)動(dòng)。進(jìn)而，與帶輪的外周接觸地設(shè)置有帶3b，馬達(dá)使帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)從而使帶移動(dòng)。進(jìn)而，載置于第一輸送機(jī)3上的托盤9與帶一起沿X方向往復(fù)移動(dòng)。將第一輸送機(jī)3使托盤9移動(dòng)的X方向設(shè)為第一方向3c。第二輸送機(jī)4～第六輸送機(jī)8為與第一輸送機(jī)3相同的構(gòu)造，與第一輸送機(jī)3同樣地能夠使托盤9沿X方向往復(fù)移動(dòng)。

第二輸送機(jī)4以及第三輸送機(jī)5為放置空的托盤9的場(chǎng)所，第四輸送機(jī)6為放置收納被判定為不合格品的電子部件10的托盤9的場(chǎng)所。進(jìn)而，第五輸送機(jī)7以及第六輸送機(jī)8為放置收納被判定為合格品的電子部件10的托盤9的場(chǎng)所。

電子部件10的形態(tài)雖然沒有特別限定，但在本實(shí)施方式中，例如，電子部件10能夠適應(yīng)扁平封裝等各種封裝方式的IC(Integrated Circuit，集成電路)、CIS、液晶面板、液晶模塊以及電子模塊等。進(jìn)而，部件檢查裝置1為檢查電子部件10的電特性并區(qū)分合格品和不合格品的裝置。

在與第一輸送機(jī)3～第六輸送機(jī)8對(duì)置的場(chǎng)所設(shè)置有作為第二移動(dòng)部的托盤搬運(yùn)部11。托盤搬運(yùn)部11具備跨越第一輸送機(jī)3～第六輸送機(jī)8設(shè)置的門型的托盤搬運(yùn)支承部12。托盤搬運(yùn)支承部12形成為在Y方向上較長(zhǎng)的形狀，在托盤搬運(yùn)支承部12的－X方向側(cè)設(shè)置有沿Y方向延伸的導(dǎo)軌13。

在導(dǎo)軌13的－X方向側(cè)設(shè)置有作為沿導(dǎo)軌13移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)的托盤移動(dòng)工作臺(tái)14。將托盤移動(dòng)工作臺(tái)14移動(dòng)的Y方向設(shè)為第二方向14a。第二方向14a是與第一方向3c正交的方向，第一方向3c以及第二方向14a為在托盤9排列電子部件10的方向。在托盤搬運(yùn)支承部12的內(nèi)部設(shè)置有使托盤移動(dòng)工作臺(tái)14移動(dòng)的直動(dòng)機(jī)構(gòu)。該直動(dòng)機(jī)構(gòu)的種類并沒有特別限定，能夠使用線性馬達(dá)；馬達(dá)和滾珠絲杠的組合；齒條、小齒輪以及馬達(dá)的組合等各種方式。在本實(shí)施方式中，例如采用伺服馬達(dá)和滾珠絲杠的組合。

在托盤移動(dòng)工作臺(tái)14的－X方向側(cè)的面，經(jīng)由托盤把持支承部15設(shè)置有托盤把持部16。托盤把持部16具有升降裝置和真空卡盤。真空卡盤具有吸盤，吸盤通過配管與真空泵連接。進(jìn)而，升降裝置具有使真空卡盤升降的功能。升降裝置使真空卡盤下降而使真空卡盤的吸盤與托盤9接觸。進(jìn)而，通過使吸盤與托盤9之間成為真空，真空卡盤把持托盤9。其后，升降裝置使托盤9上升，從而使托盤9從第一輸送機(jī)3離開，使得托盤移動(dòng)工作臺(tái)14能夠使托盤9沿Y方向移動(dòng)。托盤搬運(yùn)部11由托盤搬運(yùn)支承部12、導(dǎo)軌13、托盤移動(dòng)工作臺(tái)14、托盤把持支承部15以及托盤把持部16等構(gòu)成。

在托盤移動(dòng)工作臺(tái)14的－X方向側(cè)的面，除了設(shè)置有托盤把持部16以外還設(shè)置有作為識(shí)別信息檢測(cè)部以及圖像拍攝部的拍攝裝置17。進(jìn)而，托盤移動(dòng)工作臺(tái)14使拍攝裝置17沿第二方向14a往復(fù)移動(dòng)。托盤移動(dòng)工作臺(tái)14所具備的移動(dòng)機(jī)構(gòu)使拍攝裝置17和托盤把持部16移動(dòng)。換言之，拍攝裝置17和托盤把持部16具有共用的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。

拍攝裝置17在內(nèi)部組裝有物鏡、自動(dòng)對(duì)焦裝置、同軸落射照明裝置和CCD(Charge Coupled Device，電荷耦合器件)拍攝元件。拍攝裝置17的物鏡朝向電子部件10設(shè)置。首先，從同軸落射照明裝置射出的光照射電子部件10。電子部件10所反射的光通過物鏡輸入至拍攝裝置17。進(jìn)而，自動(dòng)對(duì)焦裝置在CCD拍攝元件成像。CCD拍攝元件將圖像轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，從而拍攝裝置17能夠拍攝電子部件10。

在第一輸送機(jī)3～第六輸送機(jī)8的－X方向側(cè)設(shè)置有作為搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的部件移除供件部20。部件移除供件部20具有設(shè)置在基臺(tái)2上的門型的部件搬運(yùn)支承部21。部件搬運(yùn)支承部21由立設(shè)于基臺(tái)2的一對(duì)支柱部21a和架設(shè)于支柱部21a之間的架橋部件21b構(gòu)成。在架橋部件21b的基臺(tái)2側(cè)的面設(shè)置有沿Y方向延伸的導(dǎo)軌22。進(jìn)而，在架橋部件21b的導(dǎo)軌22懸吊設(shè)置有長(zhǎng)方體狀的供件Y工作臺(tái)23以及移除Y工作臺(tái)24。架橋部件21b內(nèi)置有直動(dòng)機(jī)構(gòu)，該直動(dòng)機(jī)構(gòu)使供件Y工作臺(tái)23以及移除Y工作臺(tái)24沿Y方向往復(fù)移動(dòng)。另外，架橋部件21b的直動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠使用與驅(qū)動(dòng)托盤移動(dòng)工作臺(tái)14的直動(dòng)機(jī)構(gòu)相同的機(jī)構(gòu)。

在供件Y工作臺(tái)23的基臺(tái)2側(cè)設(shè)置有沿X方向延伸的第一支承梁25，在第一支承梁25設(shè)置有沿X方向延伸的導(dǎo)軌26。進(jìn)而，在第一支承梁25的導(dǎo)軌26懸吊設(shè)置有長(zhǎng)方體狀的供件X工作臺(tái)27。第一支承梁25內(nèi)置有直動(dòng)機(jī)構(gòu)，該直動(dòng)機(jī)構(gòu)使供件把持部28沿X方向往復(fù)移動(dòng)。另外，第一支承梁25的直動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠使用與驅(qū)動(dòng)托盤移動(dòng)工作臺(tái)14的直動(dòng)機(jī)構(gòu)相同的機(jī)構(gòu)。在供件X工作臺(tái)27的基臺(tái)2側(cè)設(shè)置有供件把持部28，供件把持部28具有升降裝置以及真空卡盤。該升降裝置以及真空卡盤與托盤把持部16所具備的升降裝置以及真空卡盤構(gòu)造相同，省略說明。由供件Y工作臺(tái)23、第一支承梁25、供件X工作臺(tái)27以及供件把持部28等構(gòu)成作為搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的供件部29。

在供件把持部28中，升降裝置使真空卡盤下降而使真空卡盤的吸盤與電子部件10接觸。進(jìn)而，通過使吸盤與電子部件10之間成為真空，真空卡盤把持電子部件10。其后，升降裝置使電子部件10上升，從而供件Y工作臺(tái)23以及供件X工作臺(tái)27能夠使電子部件10沿X方向以及Y方向移動(dòng)。

同樣，在移除Y工作臺(tái)24的基臺(tái)2側(cè)設(shè)置有沿X方向延伸的第二支承梁30，在第二支承梁30的基臺(tái)2側(cè)設(shè)置有沿X方向延伸的導(dǎo)軌26。進(jìn)而，在第二支承梁30的導(dǎo)軌26懸吊設(shè)置有長(zhǎng)方體狀的移除X工作臺(tái)31。第二支承梁30內(nèi)置有直動(dòng)機(jī)構(gòu)，該直動(dòng)機(jī)構(gòu)使移除X工作臺(tái)31沿X方向往復(fù)移動(dòng)。另外，第二支承梁30的直動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠使用與驅(qū)動(dòng)托盤移動(dòng)工作臺(tái)14的直動(dòng)機(jī)構(gòu)相同的機(jī)構(gòu)。在移除X工作臺(tái)31的基臺(tái)2側(cè)設(shè)置有移除把持部32，移除把持部32具備升降裝置以及真空卡盤。該升降裝置以及真空卡盤與托盤把持部16所具備的升降裝置以及真空卡盤構(gòu)造相同，省略說明。由移除Y工作臺(tái)24、第二支承梁30、移除X工作臺(tái)31以及移除把持部32等構(gòu)成移除部33。

在移除把持部32中，升降裝置使真空卡盤下降而使真空卡盤的吸盤與電子部件10接觸。進(jìn)而，通過使吸盤與電子部件10之間成為真空，真空卡盤把持電子部件10。其后，升降裝置使電子部件10上升，從而移除Y工作臺(tái)24以及移除X工作臺(tái)31能夠使電子部件10沿X方向以及Y方向移動(dòng)。

在部件搬運(yùn)支承部21的－X方向、且在基臺(tái)2上設(shè)置有檢查用插座34。檢查用插座34是檢查電子部件10的場(chǎng)所。在檢查用插座34形成有形狀與電子部件10的外形形狀幾乎相同的凹部，能夠?qū)㈦娮硬考?0設(shè)置于該凹部。進(jìn)而，在凹部設(shè)置有能夠與電子部件10的端子電接觸的探針。在檢查用插座34設(shè)置有4個(gè)凹部，能同時(shí)檢查4個(gè)電子部件10。

在檢查用插座34的X方向、且在檢查用插座34與部件搬運(yùn)支承部21之間設(shè)置有一對(duì)導(dǎo)軌35。導(dǎo)軌35沿Y方向延伸設(shè)置，在導(dǎo)軌35上設(shè)置有沿導(dǎo)軌35移動(dòng)的第一往復(fù)工作臺(tái)36。在基臺(tái)2上，在一對(duì)導(dǎo)軌35之間內(nèi)置有直動(dòng)機(jī)構(gòu)，該直動(dòng)機(jī)構(gòu)使第一往復(fù)工作臺(tái)36沿Y方向往復(fù)移動(dòng)。另外，導(dǎo)軌35之間的直動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠使用與驅(qū)動(dòng)托盤移動(dòng)工作臺(tái)14的直動(dòng)機(jī)構(gòu)相同的機(jī)構(gòu)。

在第一往復(fù)工作臺(tái)36的面向Z方向的面設(shè)置有8個(gè)用于設(shè)置電子部件10的凹部37。其中4個(gè)凹部37配置于第一往復(fù)工作臺(tái)36的－Y方向側(cè)，將這些凹部37設(shè)為供件用凹部37a。剩余的4個(gè)凹部37配置于第一往復(fù)工作臺(tái)36的Y方向側(cè)，將這些凹部37設(shè)為移除用凹部37b。當(dāng)移除用凹部37b位于檢查用插座34旁邊時(shí)，在基臺(tái)2的俯視圖中，供件用凹部37a位于供件部29的供件把持部28能夠移動(dòng)到的場(chǎng)所。同樣，當(dāng)供件用凹部37a位于檢查用插座34旁邊時(shí)，在基臺(tái)2的俯視圖中，移除用凹部37b位于移除部33的移除把持部32能夠移動(dòng)到的場(chǎng)所。

在檢查用插座34的－X方向、且在檢查用插座34與基臺(tái)2的端部之間設(shè)置有一對(duì)導(dǎo)軌40。導(dǎo)軌40沿Y方向延伸設(shè)置，在導(dǎo)軌40上設(shè)置有沿導(dǎo)軌40移動(dòng)的第二往復(fù)工作臺(tái)41?；_(tái)2在一對(duì)導(dǎo)軌40之間內(nèi)置有直動(dòng)機(jī)構(gòu)，該直動(dòng)機(jī)構(gòu)使第二往復(fù)工作臺(tái)41沿Y方向往復(fù)移動(dòng)。另外，導(dǎo)軌40之間的直動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠使用與驅(qū)動(dòng)托盤移動(dòng)工作臺(tái)14的直動(dòng)機(jī)構(gòu)相同的機(jī)構(gòu)。

在第二往復(fù)工作臺(tái)41的面向Z方向的面設(shè)置有8個(gè)用于設(shè)置電子部件10的凹部42。其中4個(gè)凹部42配置于第二往復(fù)工作臺(tái)41的－Y方向側(cè)，將這些凹部42設(shè)為供件用凹部42a。剩余的4個(gè)凹部42配置于第二往復(fù)工作臺(tái)41的Y方向側(cè)，將這些凹部42設(shè)為移除用凹部42b。當(dāng)移除用凹部42b位于檢查用插座34旁邊時(shí)，在基臺(tái)2的俯視圖中，供件用凹部42a位于供件部29的供件把持部28能夠移動(dòng)到的場(chǎng)所。同樣，當(dāng)供件用凹部42a位于檢查用插座34旁邊時(shí)，在基臺(tái)2的俯視圖中，移除用凹部42b位于移除部33的移除把持部32能夠移動(dòng)到的場(chǎng)所。

在與第一往復(fù)工作臺(tái)36以及第二往復(fù)工作臺(tái)41對(duì)置的場(chǎng)所設(shè)置有作為搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的部件按壓裝置43。部件按壓裝置43具備橫跨第一往復(fù)工作臺(tái)36以及第二往復(fù)工作臺(tái)41設(shè)置的門型的按壓支承部44。按壓支承部44形成為在X方向較長(zhǎng)的形狀，在按壓支承部44的Y方向側(cè)設(shè)置有沿X方向延伸的導(dǎo)軌45。

在導(dǎo)軌45的Y方向側(cè)設(shè)置有沿導(dǎo)軌45移動(dòng)的測(cè)定X工作臺(tái)46。在按壓支承部44的內(nèi)部設(shè)置有使測(cè)定X工作臺(tái)46移動(dòng)的直動(dòng)機(jī)構(gòu)。另外，測(cè)定X工作臺(tái)46的直動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠使用與驅(qū)動(dòng)托盤移動(dòng)工作臺(tái)14的直動(dòng)機(jī)構(gòu)相同的機(jī)構(gòu)。

在測(cè)定X工作臺(tái)46的Y方向側(cè)設(shè)置有檢查部件把持部47，檢查部件把持部47具備升降裝置以及真空卡盤。該升降裝置以及真空卡盤是與托盤把持部16所具備的升降裝置以及真空卡盤相同的構(gòu)造，省略說明。檢查部件把持部47的真空卡盤具備4個(gè)吸盤，能夠一次把持4個(gè)電子部件10。

在檢查部件把持部47中，升降裝置使真空卡盤下降而使真空卡盤的吸盤與電子部件10接觸。進(jìn)而，通過使吸盤與電子部件10之間成為真空，真空卡盤把持電子部件10。其后，升降裝置使電子部件10上升，從而測(cè)定X工作臺(tái)46能夠使電子部件10沿X方向往復(fù)移動(dòng)。

進(jìn)而，部件按壓裝置43把持載置于第一往復(fù)工作臺(tái)36的供件用凹部37a的電子部件10并將其移動(dòng)至檢查用插座34。進(jìn)而，部件按壓裝置43將電子部件10按壓于檢查用插座34。此時(shí)，電子部件10的端子被按壓于探針，因此端子與探針可靠地電連接。維持該狀態(tài)并進(jìn)行電子部件10的電特性檢查。進(jìn)而，電子部件10的電特性檢查結(jié)束之后，部件按壓裝置43將電子部件10移動(dòng)至第一往復(fù)工作臺(tái)36的移除用凹部37b。按照相同的步驟，檢查部件把持部47將載置于第二往復(fù)工作臺(tái)41的電子部件10移動(dòng)至檢查用插座34，并通過將電子部件10按壓于檢查用插座34來輔助電特性檢查。

供件部29、第一往復(fù)工作臺(tái)36、第二往復(fù)工作臺(tái)41以及部件按壓裝置43的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)朝實(shí)施規(guī)定的處理的位置搬運(yùn)。該規(guī)定的處理是如下處理等：為了將電子部件10插入檢查用插座34而改變電子部件10的朝向的處理；將電子部件10插入檢查用插座34的處理；以及使檢查電流流入電子部件10而進(jìn)行檢查的處理。搬運(yùn)部1b主要是用于IC測(cè)試處理裝置的部件，并不是單純地用傳送帶搬運(yùn)IC的裝置。

在基臺(tái)2的－X方向側(cè)設(shè)置有電特性檢查裝置50。電特性檢查裝置50與設(shè)置于檢查用插座34的探針連接。進(jìn)而，電特性檢查裝置50是與電子部件10進(jìn)行電信號(hào)的相互通信、進(jìn)行電子部件10的電特性的優(yōu)劣判定的裝置。在基臺(tái)2的X方向側(cè)設(shè)置有控制部51?？刂撇?1是對(duì)部件檢查裝置1的動(dòng)作進(jìn)行控制的裝置。在控制部51搭載有作為信息輸出部、信息顯示部以及警報(bào)輸出部的信息顯示裝置51a，以及作為信息輸入部的信息輸入裝置51b。此外，在位于第三輸送機(jī)5的Z方向的場(chǎng)所設(shè)置有信息顯示裝置48。信息顯示裝置48以及信息顯示裝置51a是液晶顯示裝置等顯示裝置，是顯示通知操作者的信息的裝置。信息輸入裝置51b是鍵盤、鼠標(biāo)墊等裝置，是用于供操作者輸入指示給控制部51的內(nèi)容的裝置。此外，信息輸入裝置51b具備與外部設(shè)備相互通信而輸入數(shù)據(jù)的功能。

在基臺(tái)2的X方向側(cè)、且是在Y方向側(cè)的角設(shè)置有警告燈52。警告燈52是在混入有不是預(yù)定檢查的電子部件10時(shí)閃爍來促使操作者注意的裝置。在部件檢查裝置1的Z方向側(cè)設(shè)置有罩53，信息顯示裝置48被固定于罩53。罩53由光能夠透射的樹脂形成，能夠通過罩53觀察內(nèi)部。進(jìn)而，罩53能夠防止灰塵、塵埃侵入部件檢查裝置1。

在罩53的Z方向側(cè)設(shè)置有空氣供給部54?？諝夤┙o部54具備防止灰塵、塵埃通過的過濾器和風(fēng)扇。進(jìn)而，空氣供給部54將灰塵、塵埃被除去后的空氣供給至部件檢查裝置1?？諝鈴目諝夤┙o部54流入罩53的內(nèi)部，并從基臺(tái)2以及基臺(tái)2與罩53之間流出。由此，灰塵、塵埃不會(huì)侵入部件檢查裝置1。

檢查用插座34具備加熱器，能夠?qū)﹄娮硬考?0進(jìn)行加熱。由此，能夠以規(guī)定的溫度檢查電子部件10。進(jìn)而，以包圍檢查用插座34以及部件按壓裝置43的方式設(shè)置有分隔板55。分隔板55抑制熱從檢查用插座34的周圍擴(kuò)散。由此，對(duì)電子部件10進(jìn)行加熱的熱滯留在檢查用插座34的周圍。

部件檢查裝置1中的檢查用插座34以及電特性檢查裝置50構(gòu)成檢查部1a。進(jìn)而，部件檢查裝置1中的在托盤9和檢查用插座34之間搬運(yùn)電子部件10的各工作臺(tái)以及輸送機(jī)構(gòu)成搬運(yùn)部1b。

圖4是用于對(duì)電子部件進(jìn)行說明的示意俯視圖。如圖4所示，在電子部件10印刷有表示制造商名10a、品名10b、作為識(shí)別信息的個(gè)體識(shí)別編號(hào)10c的文字列。另外，識(shí)別信息是指在電子部件10標(biāo)記的商標(biāo)(Logo)、標(biāo)記等圖形、制造商名等文字信息、電子部件的型號(hào)、序列號(hào)、批號(hào)等數(shù)字信息之類的，能夠識(shí)別該電子部件和其它電子部件的信息。文字的內(nèi)容、配置等屬性沒有特別限定，針對(duì)每個(gè)電子部件10進(jìn)行設(shè)定。制造商名10a、品名10b、個(gè)體識(shí)別編號(hào)10c的文字列優(yōu)選形成為拍攝裝置17能夠拍攝的色調(diào)。在本實(shí)施方式中，例如，背景為黑色，文字顏色為白色。

圖5是部件檢查裝置的電氣控制框圖。在圖5中，部件檢查裝置1具備控制部件檢查裝置1的動(dòng)作的控制部51。進(jìn)而，控制部51具備作為處理器進(jìn)行各種運(yùn)算處理的CPU(中央運(yùn)算處理裝置)58、和存儲(chǔ)各種信息的存儲(chǔ)器59。此外，工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60、輸送機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置61、把持部驅(qū)動(dòng)裝置62、拍攝裝置17、信息輸入裝置51b、信息顯示裝置48、信息顯示裝置51a、作為信息輸出部以及輸出接口的信息輸出裝置65、電特性檢查裝置50經(jīng)由輸入輸出接口66以及數(shù)據(jù)總線67與CPU 58連接。

工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60對(duì)托盤移動(dòng)工作臺(tái)14、設(shè)置于托盤把持部16的托盤升降工作臺(tái)68進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。各工作臺(tái)具備檢測(cè)其位置的裝置。進(jìn)而，工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60通過使工作臺(tái)移動(dòng)到移動(dòng)目的地場(chǎng)所，能夠使托盤把持部16移動(dòng)并停止在希望的場(chǎng)所。

此外，工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60對(duì)供件X工作臺(tái)27、供件Y工作臺(tái)23、設(shè)置于供件把持部28的供件Z工作臺(tái)69進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。此外，工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60對(duì)移除X工作臺(tái)31、移除Y工作臺(tái)24、設(shè)置于移除把持部32的移除Z工作臺(tái)70進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。進(jìn)而，工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60通過使工作臺(tái)移動(dòng)至移動(dòng)目的地場(chǎng)所，能夠使供件把持部28以及移除把持部32移動(dòng)并停止在希望的場(chǎng)所。

此外，工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60對(duì)第一往復(fù)工作臺(tái)36、第二往復(fù)工作臺(tái)41、測(cè)定X工作臺(tái)46、設(shè)置于檢查部件把持部47的測(cè)定Z工作臺(tái)71進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。進(jìn)而，工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60通過驅(qū)動(dòng)各工作臺(tái)能夠使電子部件10在第一往復(fù)工作臺(tái)36、第二往復(fù)工作臺(tái)41、檢查用插座34之間移動(dòng)。

輸送機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置61驅(qū)動(dòng)第一輸送機(jī)3～第六輸送機(jī)8。輸送機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置61通過驅(qū)動(dòng)各輸送機(jī)并使輸送機(jī)移動(dòng)直至托盤9到達(dá)移動(dòng)目的地場(chǎng)所，能夠使托盤9移動(dòng)并停止在希望的場(chǎng)所。

把持部驅(qū)動(dòng)裝置62對(duì)托盤把持部16、供件把持部28、移除把持部32以及檢查部件把持部47進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。把持部驅(qū)動(dòng)裝置62驅(qū)動(dòng)與各把持部連接的真空泵。進(jìn)而，對(duì)設(shè)置于各把持部與真空泵之間的閥進(jìn)行驅(qū)動(dòng)來開閉閥。由此，把持部驅(qū)動(dòng)裝置62能夠使各把持部在把持電子部件10之后釋放。信息輸出裝置65是與外部設(shè)備連接、并具有將信息轉(zhuǎn)換為電信號(hào)而向外部設(shè)備輸出的接口功能的裝置。

存儲(chǔ)器59是包括RAM、ROM等之類的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器、硬盤、DVD－ROM等之類的外部存儲(chǔ)裝置的概念。在功能上，設(shè)定有存儲(chǔ)記載有部件檢查裝置1的動(dòng)作的控制步驟的程序軟件72的存儲(chǔ)區(qū)域、存儲(chǔ)拍攝裝置17拍攝的圖像的數(shù)據(jù)亦即圖像數(shù)據(jù)73的存儲(chǔ)區(qū)域。除此之外，還設(shè)定有存儲(chǔ)用于判定電子部件10是否是預(yù)定檢查的部件所使用的數(shù)據(jù)亦即作為比較信息的比較判定數(shù)據(jù)74的存儲(chǔ)區(qū)域。該比較判定數(shù)據(jù)74包括預(yù)定檢查的電子部件10的個(gè)體識(shí)別編號(hào)10c的一覽表。使用信息輸入裝置51b輸入比較判定數(shù)據(jù)74。除此之外，還設(shè)定有存儲(chǔ)檢測(cè)到的設(shè)置于電子部件10的個(gè)體識(shí)別編號(hào)10c的數(shù)據(jù)亦即作為識(shí)別信息的個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75的存儲(chǔ)區(qū)域。除此之外，還設(shè)定有作為CPU 58所使用的工作區(qū)域、臨時(shí)文件等發(fā)揮功能的存儲(chǔ)區(qū)域、其它各種存儲(chǔ)區(qū)域。

CPU 58根據(jù)存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器59內(nèi)的程序軟件72進(jìn)行檢查電子部件10的控制。作為具體的功能實(shí)現(xiàn)部具有工作臺(tái)控制部76。工作臺(tái)控制部76與工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60進(jìn)行相互通信而取得各工作臺(tái)的位置信息。進(jìn)而，工作臺(tái)控制部76向工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60輸出指令信號(hào)，以使得各工作臺(tái)移動(dòng)并停止在希望的場(chǎng)所。此外，工作臺(tái)控制部76與輸送機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置61進(jìn)行相互通信而取得第一輸送機(jī)3～第六輸送機(jī)8的位置信息。進(jìn)而，工作臺(tái)控制部76向輸送機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置61輸出指令信號(hào)，以使得各輸送機(jī)移動(dòng)并停止在希望的場(chǎng)所。

除此之外，CPU 58具有把持控制部77。把持控制部77使把持部驅(qū)動(dòng)裝置62驅(qū)動(dòng)托盤把持部16、供件把持部28、移除把持部32、檢查部件把持部47。進(jìn)而，進(jìn)行使各把持部吸附電子部件10的動(dòng)作和釋放的動(dòng)作的控制。進(jìn)而，工作臺(tái)控制部76與把持控制部77聯(lián)動(dòng)來搬運(yùn)電子部件10。

除此之外，CPU 58具有數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換部78。數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換部78將拍攝裝置17輸出的電信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)并將圖像數(shù)據(jù)73存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器59。除此之外，CPU 58具有作為個(gè)體識(shí)別部的個(gè)體識(shí)別編號(hào)運(yùn)算部79。個(gè)體識(shí)別編號(hào)運(yùn)算部79進(jìn)行使用拍攝裝置17拍攝到的圖像數(shù)據(jù)73提取個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75的運(yùn)算。設(shè)置于電子部件10的個(gè)體識(shí)別編號(hào)10c由文字和數(shù)字構(gòu)成。進(jìn)而，個(gè)體識(shí)別編號(hào)運(yùn)算部79具有將個(gè)體識(shí)別編號(hào)10c的圖像數(shù)據(jù)73作為文字加以識(shí)別并將其轉(zhuǎn)換為文字?jǐn)?shù)據(jù)的文字識(shí)別功能，并將包括計(jì)算出的文字信息的個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器59。通過個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75對(duì)電子部件10進(jìn)行個(gè)體識(shí)別。

除此之外，CPU 58具有作為信息比較部的個(gè)體識(shí)別編號(hào)判定部80。個(gè)體識(shí)別編號(hào)判定部80對(duì)預(yù)先存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器59的比較判定數(shù)據(jù)74與個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75進(jìn)行比較。進(jìn)而，判定所計(jì)算出的個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75與比較判定數(shù)據(jù)74是否一致。在個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75與比較判定數(shù)據(jù)74不一致時(shí)輸出警報(bào)信息。

除此之外，CPU 58具有信息顯示控制部81。信息顯示控制部81在信息顯示裝置48以及信息顯示裝置51a顯示所計(jì)算出的個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75。此外，信息顯示控制部81在信息顯示裝置48以及信息顯示裝置51a顯示個(gè)體識(shí)別編號(hào)判定部80進(jìn)行判定的結(jié)果。在個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75與比較判定數(shù)據(jù)74不一致時(shí)，信息顯示控制部81使警告燈52閃爍。進(jìn)而，信息顯示控制部81在信息顯示裝置48以及信息顯示裝置51a顯示表示個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75與比較判定數(shù)據(jù)74不一致的警報(bào)信息來通知操作者。

除此之外，CPU 58具有信息輸出控制部82。信息輸出控制部82經(jīng)由信息輸出裝置65向外部設(shè)備輸出個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75以及個(gè)體識(shí)別編號(hào)判定部80進(jìn)行判定的結(jié)果。由此，外部設(shè)備能夠活用個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75，進(jìn)行與個(gè)體識(shí)別編號(hào)判定部80進(jìn)行判定的結(jié)果對(duì)應(yīng)的動(dòng)作。

另外，在本實(shí)施方式中，上述的各功能使用CPU 58并以程序軟件來實(shí)現(xiàn)，但在上述的各功能能夠通過不使用CPU 58的單獨(dú)的電子電路(硬件)來實(shí)現(xiàn)的情況下，也能夠使用這樣的電子電路。

電子部件的檢查方法

接下來，通過圖6～圖8對(duì)使用上述的部件檢查裝置1檢查電子部件10的方法進(jìn)行說明。圖7以及圖8是用于說明電子部件的檢查方法的示意圖。

圖6是使出電子部件的檢查方法的流程圖。在圖6中，步驟S1相當(dāng)于比較信息輸入工序。是操作者使用信息輸入裝置51b輸入比較判定數(shù)據(jù)74的工序。接下來移至步驟S2。步驟S2相當(dāng)于托盤設(shè)置工序。該工序是操作者將托盤9設(shè)置于第一輸送機(jī)3的工序。接下來移至步驟S3。步驟S3相當(dāng)于標(biāo)記拍攝工序。該工序是拍攝裝置17拍攝電子部件10的工序。接下來移至步驟S4。步驟S4相當(dāng)于識(shí)別信息運(yùn)算工序。該工序是個(gè)體識(shí)別編號(hào)運(yùn)算部79使用圖像來運(yùn)算個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75的工序。接下來移至步驟S5。

步驟S5是相當(dāng)于個(gè)體識(shí)別判定工序的工序。在該工序中，個(gè)體識(shí)別編號(hào)判定部80對(duì)比較判定數(shù)據(jù)74和個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75進(jìn)行比較。數(shù)據(jù)不一致時(shí)移至步驟S10。數(shù)據(jù)一致時(shí)移至步驟S6。步驟S6是相當(dāng)于確認(rèn)結(jié)束判定工序的工序。在該工序中，CPU 58判斷設(shè)置于托盤9的電子部件10是否全確認(rèn)過。當(dāng)在托盤9內(nèi)有未確認(rèn)的電子部件10時(shí)移至步驟S3。當(dāng)托盤9內(nèi)的電子部件10全確認(rèn)過時(shí)移至步驟S7。

步驟S7相當(dāng)于檢查工序。在該工序中，搬運(yùn)部1b將電子部件10搬運(yùn)至檢查用插座34，檢查部1a檢查電子部件10的電特性。進(jìn)而，是搬運(yùn)部1b將檢查后的電子部件10收納于托盤9的工序。接下來移至步驟S8。步驟S8相當(dāng)于空托盤移動(dòng)工序。該工序是托盤搬運(yùn)部11在第一輸送機(jī)3～第六輸送機(jī)8之間移動(dòng)空的托盤9的工序。接下來移至步驟S9。步驟S9相當(dāng)于托盤除去工序。該工序是操作者從第四輸送機(jī)6～第六輸送機(jī)8除去收納有檢查完畢的電子部件10的托盤9的工序。從步驟S5分支出的步驟S10相當(dāng)于異常報(bào)告工序。該工序是通知操作者比較判定數(shù)據(jù)74與個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75不一致的情況的工序。通過以上的工序，檢查電子部件10的工序結(jié)束。

接下來，使用圖7以及圖8，與圖6所示的步驟對(duì)應(yīng)地對(duì)電子部件10的檢查方法詳細(xì)地進(jìn)行說明。首先，在步驟S1的比較信息輸入工序中，操作者使用信息輸入裝置51b輸入預(yù)定檢查的品名10b以及個(gè)體識(shí)別編號(hào)10c。輸入的數(shù)據(jù)作為比較判定數(shù)據(jù)74的一覽表存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器59。

個(gè)體識(shí)別編號(hào)10c由文字和數(shù)字構(gòu)成。在設(shè)置于一個(gè)托盤9的多個(gè)電子部件10的個(gè)體識(shí)別編號(hào)10c包含連續(xù)的數(shù)字時(shí)，操作者也可以輸入連續(xù)的數(shù)字的最初和最后的數(shù)字，CPU 58運(yùn)算中間的數(shù)字而進(jìn)行登記。除此之外，當(dāng)在其他設(shè)備已存儲(chǔ)有個(gè)體識(shí)別編號(hào)10c的數(shù)據(jù)時(shí)，也可以通過經(jīng)由信息輸入裝置51b進(jìn)行相互通信來輸入數(shù)據(jù)并作為比較判定數(shù)據(jù)74存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器59。

圖7的(a)是與步驟S2的托盤設(shè)置工序?qū)?yīng)的圖。如圖7的(a)所示，操作者在托盤9排列設(shè)置電子部件10。該電子部件10是在步驟S1的比較信息輸入工序中登記了比較判定數(shù)據(jù)74的部件，是接下來預(yù)定進(jìn)行電特性檢查的部件。接下來，操作者將設(shè)置有電子部件10的托盤9載置于第一輸送機(jī)3。

圖7的(b)以及圖7的(c)是與步驟S3的標(biāo)記拍攝工序?qū)?yīng)的圖。如圖7的(b)所示，在步驟S3中，工作臺(tái)控制部76使輸送機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置61驅(qū)動(dòng)第一輸送機(jī)3。進(jìn)而，工作臺(tái)控制部76使電子部件10沿第一方向3c移動(dòng)。此外，工作臺(tái)控制部76使工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60驅(qū)動(dòng)托盤移動(dòng)工作臺(tái)14。進(jìn)而，工作臺(tái)控制部76使拍攝裝置17沿第二方向14a移動(dòng)。由此，工作臺(tái)控制部76能夠使拍攝裝置17和檢查對(duì)象的電子部件10移動(dòng)至對(duì)置的場(chǎng)所。接下來，拍攝裝置17使同軸落射照明裝置射出光來照射電子部件10，并驅(qū)動(dòng)自動(dòng)對(duì)焦裝置使焦點(diǎn)落在電子部件10。進(jìn)而，拍攝電子部件10。

結(jié)果，如圖7的(c)所示，拍攝到了拍攝電子部件10而得的圖像84。在圖像84顯像有與制造商名10a對(duì)應(yīng)的制造商名像84a、與品名10b對(duì)應(yīng)的品名像84b、與個(gè)體識(shí)別編號(hào)10c對(duì)應(yīng)的個(gè)體識(shí)別編號(hào)像84c。進(jìn)而，數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換部78將表示圖像的模擬電信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)而形成圖像數(shù)據(jù)73。數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換部78將圖像數(shù)據(jù)73存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器59。

在步驟S4的識(shí)別信息運(yùn)算工序中，首先，個(gè)體識(shí)別編號(hào)運(yùn)算部79從圖像84提取個(gè)體識(shí)別編號(hào)像84c。因?yàn)閭€(gè)體識(shí)別編號(hào)像84c的位置是預(yù)先設(shè)定的，所以能夠通過將規(guī)定的遮蓋圖像與圖像84合并來提取個(gè)體識(shí)別編號(hào)像84c。接下來，個(gè)體識(shí)別編號(hào)運(yùn)算部79以個(gè)體識(shí)別編號(hào)像84c的連續(xù)的線段為線索將個(gè)體識(shí)別編號(hào)像84c分離成單個(gè)文字的圖像。接著，判斷文字的圖像接近數(shù)字的“1”～“9”和字母表的“A”～“Z”中的哪個(gè)文字。此時(shí)，計(jì)算文字的圖像所包含的縱線的數(shù)量、橫線的數(shù)量、斜線的數(shù)量、曲線的數(shù)量、交點(diǎn)的數(shù)量等特征量。在存儲(chǔ)器59預(yù)先存儲(chǔ)有各文字以及數(shù)字的特征量。進(jìn)而，比較文字的像的特征量和已知的文字的特征量來進(jìn)行判定。這樣，個(gè)體識(shí)別編號(hào)運(yùn)算部79根據(jù)個(gè)體識(shí)別編號(hào)像84c計(jì)算個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75并存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器59。另外，根據(jù)個(gè)體識(shí)別編號(hào)像84c計(jì)算個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75的方法并不局限于該方法，能夠使用公知的方法。

在步驟S5的個(gè)體識(shí)別判定工序中，檢索在步驟S4計(jì)算出的個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75是否在比較判定數(shù)據(jù)74的一覽表中。當(dāng)個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75在比較判定數(shù)據(jù)74中時(shí)，判斷為正常狀態(tài)。進(jìn)而，移至步驟S6的確認(rèn)結(jié)束判定工序。在步驟S6中，判斷設(shè)置于托盤9的電子部件10是否已全部確認(rèn)。進(jìn)而，在設(shè)置于托盤9的電子部件10全部確認(rèn)之前，反復(fù)進(jìn)行步驟S3～步驟S5。在步驟S6中，當(dāng)設(shè)置于托盤9的電子部件10已全部確認(rèn)時(shí)，移至步驟S7。

在步驟S5中，當(dāng)個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75不在比較判定數(shù)據(jù)74中時(shí)，判斷為混入了并未預(yù)定檢查的電子部件10的異常狀態(tài)，并移至步驟S10。在步驟S10的異常報(bào)告工序中，在信息顯示裝置48以及信息顯示裝置51a顯示混入了預(yù)定外的電子部件10的情況。此外，警告燈52閃爍從而通知操作者為異常狀態(tài)。此外，也可以從信息輸出控制部82與外部設(shè)備相互通信來通知為異常狀態(tài)。無論在哪種情況下，操作者能夠進(jìn)行更換電子部件10的作業(yè)而修正為在托盤9設(shè)置有預(yù)定的電子部件10的正常狀態(tài)。

圖7的(d)～圖8的(b)是與步驟S7的檢查工序?qū)?yīng)的圖。如圖7的(d)所示，在步驟S7中，工作臺(tái)控制部76使輸送機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置61驅(qū)動(dòng)第一輸送機(jī)3，從而使托盤9接近部件移除供件部20。接下來，工作臺(tái)控制部76通過工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60使第一往復(fù)工作臺(tái)36移動(dòng)。進(jìn)而，使供件用凹部37a移動(dòng)至供件把持部28的移動(dòng)范圍內(nèi)。

接著，工作臺(tái)控制部76以及把持控制部77使工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60以及把持部驅(qū)動(dòng)裝置62驅(qū)動(dòng)供件部29，將托盤9上的4個(gè)電子部件10移動(dòng)至供件用凹部37a。接下來，如圖8的(a)所示，工作臺(tái)控制部76通過工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60使第一往復(fù)工作臺(tái)36移動(dòng)，使供件用凹部37a移動(dòng)至檢查用插座34的橫向。

接著，工作臺(tái)控制部76以及把持控制部77使工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60以及把持部驅(qū)動(dòng)裝置62驅(qū)動(dòng)部件按壓裝置43。進(jìn)而，把持控制部77使檢查部件把持部47把持電子部件10。接下來，工作臺(tái)控制部76使測(cè)定X工作臺(tái)46以及測(cè)定Z工作臺(tái)71移動(dòng)，將電子部件10從供件用凹部37a移動(dòng)至檢查用插座34。

接著，工作臺(tái)控制部76通過部件按壓裝置43將電子部件10按壓于檢查用插座34。由此，檢查用插座34的探針與電子部件10的端子導(dǎo)通。接下來，電特性檢查裝置50與電子部件10相互通信來檢查電子部件10的電特性。

在電特性檢查裝置50檢查電子部件10的電特性的期間，工作臺(tái)控制部76使第一往復(fù)工作臺(tái)36移動(dòng)而使移除用凹部37b移動(dòng)至檢查用插座34的橫向。接著，工作臺(tái)控制部76使第二往復(fù)工作臺(tái)41移動(dòng)。進(jìn)而，使供件用凹部42a移動(dòng)至供件把持部28的移動(dòng)范圍內(nèi)。接下來，工作臺(tái)控制部76以及把持控制部77使工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60以及把持部驅(qū)動(dòng)裝置62驅(qū)動(dòng)供件部29，將托盤9上的4個(gè)電子部件10移動(dòng)至第二往復(fù)工作臺(tái)41的供件用凹部42a。接下來，工作臺(tái)控制部76通過工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60使第二往復(fù)工作臺(tái)41移動(dòng)，使供件用凹部42a移動(dòng)至檢查用插座34的橫向。進(jìn)而，搬運(yùn)部1b待機(jī)，直至電子部件10的檢查結(jié)束。

電子部件10的檢查結(jié)束之后，工作臺(tái)控制部76通過工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60使測(cè)定X工作臺(tái)46以及測(cè)定Z工作臺(tái)71移動(dòng)，將電子部件10從檢查用插座34移動(dòng)至第一往復(fù)工作臺(tái)36的移除用凹部37b。

接著，工作臺(tái)控制部76以及把持控制部77使工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60以及把持部驅(qū)動(dòng)裝置62驅(qū)動(dòng)部件按壓裝置43。進(jìn)而，把持控制部77使檢查部件把持部47把持位于供件用凹部42a的電子部件10。接下來，工作臺(tái)控制部76通過工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60使測(cè)定X工作臺(tái)46以及測(cè)定Z工作臺(tái)71移動(dòng)，將電子部件10從供件用凹部42a移動(dòng)至檢查用插座34。

接著，工作臺(tái)控制部76使檢查部件把持部47將電子部件10按壓于檢查用插座34。此時(shí)，檢查用插座34的探針與電子部件10的端子導(dǎo)通。接下來，電特性檢查裝置50與電子部件10相互通信來檢查電子部件10的電特性。

在電特性檢查裝置50檢查電子部件10的電特性的期間，工作臺(tái)控制部76通過工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60使第二往復(fù)工作臺(tái)41移動(dòng)。進(jìn)而，工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60使移除用凹部42b移動(dòng)至檢查用插座34的橫向。接下來，工作臺(tái)控制部76通過工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60使第一往復(fù)工作臺(tái)36移動(dòng)。進(jìn)而，工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60使移除用凹部37b移動(dòng)至移除把持部32的移動(dòng)范圍內(nèi)。接著，工作臺(tái)控制部76以及把持控制部77使移除把持部32把持電子部件10。

當(dāng)電特性檢查的結(jié)果是所檢查的電子部件10合格時(shí)，工作臺(tái)控制部76通過移除部33將電子部件10載置于第五輸送機(jī)7或者第六輸送機(jī)8上的托盤9。當(dāng)電特性檢查的結(jié)果是電子部件10不合格時(shí)，工作臺(tái)控制部76通過移除部33將電子部件10載置于第四輸送機(jī)6上的托盤9。

接下來，工作臺(tái)控制部76使工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60驅(qū)動(dòng)第一往復(fù)工作臺(tái)36，從而使供件用凹部37a移動(dòng)至供件把持部28的移動(dòng)范圍內(nèi)。這樣，供件部29、第一往復(fù)工作臺(tái)36、第二往復(fù)工作臺(tái)41、部件按壓裝置43將電子部件10從第一輸送機(jī)3上的托盤9移動(dòng)至檢查用插座34。進(jìn)而，檢查用插座34以及電特性檢查裝置50檢查電子部件10的電特性。接下來，部件按壓裝置43將電子部件10從檢查用插座34移動(dòng)至第一往復(fù)工作臺(tái)36或者第二往復(fù)工作臺(tái)41。

如圖8的(b)所示，接下來，移除部33將電子部件10從第一往復(fù)工作臺(tái)36或者第二往復(fù)工作臺(tái)41移動(dòng)至第四輸送機(jī)6～第六輸送機(jī)8上的托盤9。依次反復(fù)進(jìn)行該動(dòng)作，從而進(jìn)行電子部件10的電特性檢查。另外，各電子部件10的電特性檢查的判定結(jié)果存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器59，并在信息顯示裝置48以及信息顯示裝置51a顯示。另外，電特性檢查的判定結(jié)果能夠通過信息輸出裝置65從存儲(chǔ)器59向外部設(shè)備輸出。

圖8的(c)是與步驟S8的空托盤移動(dòng)工序?qū)?yīng)的圖。如圖8的(c)所示，步驟S8中，工作臺(tái)控制部76通過工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60使托盤移動(dòng)工作臺(tái)14移動(dòng)，使輸送機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置61驅(qū)動(dòng)第一輸送機(jī)3。進(jìn)而，工作臺(tái)控制部76使托盤9和托盤把持部16移動(dòng)，以使電子部件10移動(dòng)而變空的托盤9與托盤把持部16對(duì)置。

接下來，工作臺(tái)控制部76使工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60驅(qū)動(dòng)設(shè)置于托盤把持部16的托盤升降工作臺(tái)68來使托盤把持部16下降。接著，工作臺(tái)控制部76向把持部驅(qū)動(dòng)裝置62輸出指令信號(hào)而使托盤把持部16把持托盤9。接下來，工作臺(tái)控制部76向工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60以及把持部驅(qū)動(dòng)裝置62輸出指令信號(hào)而使托盤9向第二輸送機(jī)4上或者第三輸送機(jī)5上移動(dòng)。

當(dāng)在第四輸送機(jī)6～第六輸送機(jī)8上的托盤9沒有載置電子部件10的場(chǎng)所、但有設(shè)置托盤9的場(chǎng)所時(shí)，工作臺(tái)控制部76向工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置60、輸送機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置61、把持部驅(qū)動(dòng)裝置62輸出指令信號(hào)。進(jìn)而，工作臺(tái)控制部76使托盤9從第二輸送機(jī)4以及第三輸送機(jī)5移動(dòng)至第四輸送機(jī)6～第六輸送機(jī)8上。

圖8的(d)是與步驟S9的托盤除去工序?qū)?yīng)的圖。如圖8的(d)所示，在步驟S9中，工作臺(tái)控制部76向輸送機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置61輸出指令信號(hào)。進(jìn)而，工作臺(tái)控制部76使輸送機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置61驅(qū)動(dòng)第四輸送機(jī)6～第六輸送機(jī)8，使載置有電子部件10的托盤9移動(dòng)至罩53的外側(cè)。接著，操作者將載置有電子部件10的托盤9從部件檢查裝置1除去并向接下來的工序的作業(yè)場(chǎng)所搬運(yùn)。通過以上的工序，結(jié)束檢查電子部件10的工序。

如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，具有以下的效果。

(1)根據(jù)本實(shí)施方式，在托盤9載置有電子部件10，該托盤9設(shè)置于部件檢查裝置1。在電子部件10設(shè)置有個(gè)體識(shí)別編號(hào)10c，拍攝裝置17拍攝個(gè)體識(shí)別編號(hào)10c。進(jìn)而，個(gè)體識(shí)別編號(hào)運(yùn)算部79根據(jù)拍攝到的個(gè)體識(shí)別編號(hào)10c運(yùn)算電子部件10的個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75。因此，部件檢查裝置1能夠識(shí)別電子部件10的個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75。

(2)根據(jù)本實(shí)施方式，部件檢查裝置1具備第一輸送機(jī)3以及托盤搬運(yùn)部11。第一輸送機(jī)3使托盤9沿第一方向3c移動(dòng)。托盤搬運(yùn)部11使拍攝裝置17沿與第一方向3c交叉的第二方向14a移動(dòng)。因此，通過驅(qū)動(dòng)第一輸送機(jī)3和托盤搬運(yùn)部11，部件檢查裝置1能夠使托盤9與拍攝裝置17在二維方向相對(duì)移動(dòng)。因此，即便在托盤9呈矩陣狀地載置有多列電子部件10時(shí)，部件檢查裝置1也能夠識(shí)別各電子部件10的個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75。

在專利文獻(xiàn)1那樣的IC處理裝置中，因?yàn)橥斜P轉(zhuǎn)送部?jī)H在一個(gè)方向移動(dòng)，所以即便是能夠在托盤轉(zhuǎn)送部設(shè)置檢測(cè)單元的情況下，也無法識(shí)別全部IC。由于部件檢查裝置1能夠使托盤9與拍攝裝置17在二維方向相對(duì)移動(dòng)，所以能夠識(shí)別設(shè)置于托盤的全部IC。

(3)根據(jù)本實(shí)施方式，部件檢查裝置1具備供件部29以及托盤搬運(yùn)部11。供件部29使電子部件10從托盤9依次移動(dòng)。由此，托盤9成為未載置電子部件10的狀態(tài)。托盤搬運(yùn)部11使托盤9沿第二方向14a移動(dòng)。由此，能夠從第一輸送機(jī)3除去托盤9。進(jìn)而，移動(dòng)空的托盤9的部位與移動(dòng)拍攝裝置17的部位為具有共用的移動(dòng)機(jī)構(gòu)的托盤移動(dòng)工作臺(tái)14。因此，與設(shè)置用于移動(dòng)空的托盤9的移動(dòng)機(jī)構(gòu)和用于移動(dòng)拍攝裝置17的移動(dòng)機(jī)構(gòu)2個(gè)移動(dòng)機(jī)構(gòu)時(shí)相比，能夠形成簡(jiǎn)單的構(gòu)造。

(4)根據(jù)本實(shí)施方式，信息顯示裝置48、信息顯示裝置51a以及信息輸出裝置65輸出個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75。因此，能夠活用電子部件10的個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75。

(5)根據(jù)本實(shí)施方式，信息顯示裝置48以及信息顯示裝置51a顯示個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75。因此，操作者能夠確認(rèn)電子部件10的個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75而進(jìn)行與個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75相應(yīng)的對(duì)應(yīng)。

(6)根據(jù)本實(shí)施方式，信息輸出裝置65將個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75向外部設(shè)備輸出。因此，外部設(shè)備能夠確認(rèn)電子部件10的個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75而進(jìn)行與個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75相應(yīng)的對(duì)應(yīng)。

(7)根據(jù)本實(shí)施方式，在托盤搬運(yùn)部11設(shè)置有拍攝裝置17。拍攝裝置17除了設(shè)置于托盤搬運(yùn)部11之外還能夠設(shè)置于供件部29。供件部29是移動(dòng)電子部件10的部位。因?yàn)殡娮硬考?0的個(gè)數(shù)比托盤9的個(gè)數(shù)多，所以通過快速移動(dòng)托盤9來快速移動(dòng)電子部件10有助于生產(chǎn)率的提高。

進(jìn)而，在拍攝裝置17設(shè)置于供件部29的供件X工作臺(tái)27時(shí)，因?yàn)楣┘工作臺(tái)27變重所以移動(dòng)速度降低。因此在該構(gòu)造中，供件部29移動(dòng)電子部件10需要的時(shí)間長(zhǎng)。與該構(gòu)造相比，在本實(shí)施方式中，拍攝裝置17設(shè)置于托盤搬運(yùn)部11，所以能夠生產(chǎn)率良好地使電子部件10移動(dòng)。

第二實(shí)施方式

接下來，使用圖9對(duì)呈現(xiàn)有個(gè)體識(shí)別編號(hào)的電子部件以及部件檢查裝置的一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖9的(a)是用于對(duì)電子部件進(jìn)行說明的示意俯視圖，圖9的(b)是使出部件檢查裝置的構(gòu)造的示意側(cè)視圖。本實(shí)施方式與第一實(shí)施方式的不同處為，品名10b、個(gè)體識(shí)別編號(hào)10c的顯示使用條形碼。另外，省略與第一實(shí)施方式相同的點(diǎn)的說明。

即，在本實(shí)施方式中，如圖9的(a)所示，在電子部件85印刷有表示制造商名85a、品名85b、個(gè)體識(shí)別編號(hào)85c的文字列。此外，在電子部件85印刷有用條形碼表示品名85b的品種條形碼85d和用條形碼顯示個(gè)體識(shí)別編號(hào)85c的作為識(shí)別信息的個(gè)體識(shí)別條形碼85e。另外，文字、條形碼的內(nèi)容、配置等屬性沒有特別限定，針對(duì)每個(gè)電子部件85進(jìn)行設(shè)定。

如圖9的(b)所示，在部件檢查裝置86中、且在托盤移動(dòng)工作臺(tái)14設(shè)置有條形碼讀碼器87。條形碼讀碼器87向品種條形碼85d以及個(gè)體識(shí)別條形碼85e射出光線87a并進(jìn)行掃描。進(jìn)而，條形碼讀碼器87接受反射光，將反射光的光強(qiáng)度信號(hào)轉(zhuǎn)換為條形碼所表示的文字信息。該文字信息是個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75。CPU 58從條形碼讀碼器87輸入文字信息并將其存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器59。

如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，具有以下的效果。

(1)根據(jù)本實(shí)施方式，部件檢查裝置86具有條形碼讀碼器87。因此，即便在電子部件85的識(shí)別信息包含條形碼時(shí)也能夠容易地根據(jù)識(shí)別信息識(shí)別個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75。

(2)根據(jù)本實(shí)施方式，部件檢查裝置86具備條形碼讀碼器87。與用拍攝裝置17和個(gè)體識(shí)別編號(hào)運(yùn)算部79識(shí)別文字信息相比，條形碼讀碼器87為簡(jiǎn)便的裝置。因此，能夠生產(chǎn)率良好地制造部件檢查裝置86。

另外，本實(shí)施方式并不限定于上述的實(shí)施方式，在本發(fā)明的技術(shù)的思想范圍內(nèi)，具有本領(lǐng)域中一般知識(shí)的人能夠施加各種變更和改進(jìn)。以下敘述變形例。

變形例1

在上述第二實(shí)施方式中，在電子部件85印刷有一維的個(gè)體識(shí)別條形碼85e。條形碼并不局限于一維，也可以是二維的條形碼。圖10是用于對(duì)電子部件進(jìn)行說明的示意俯視圖。如圖10所示，在電子部件88印刷有表示制造商名88a、品名88b、個(gè)體識(shí)別編號(hào)88c的文字列。此外，在電子部件88印刷有用二維條形碼表示品名88b的品種條形碼88d和用二維條形碼表示個(gè)體識(shí)別編號(hào)88c的作為識(shí)別信息的個(gè)體識(shí)別條形碼88e。

進(jìn)而，條形碼讀碼器87是將二維的條形碼轉(zhuǎn)換為文字?jǐn)?shù)據(jù)的裝置。通過將條形碼從一維變?yōu)槎S，能夠增加能夠顯示的文字?jǐn)?shù)。因此，能夠使在電子部件88呈現(xiàn)的信息量變多。

變形例2

在上述第一實(shí)施方式中，第一輸送機(jī)3～第六輸送機(jī)8移動(dòng)托盤9。并不局限于輸送機(jī)，也可以是具備直動(dòng)機(jī)構(gòu)的工作臺(tái)來移動(dòng)托盤9。工作臺(tái)能夠位置精度良好地移動(dòng)托盤9。除此之外，也可以是搬運(yùn)車來移動(dòng)托盤9。能夠設(shè)定自由度高的搬運(yùn)路徑。

變形例3

在上述第一實(shí)施方式中，拍攝裝置17在內(nèi)部組裝有CCD拍攝元件。將圖像轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的裝置并不限定于CCD拍攝元件。能夠使用攝像管、CMOS(互補(bǔ)型金屬氧化膜半導(dǎo)體)影像傳感器。除此之外也能夠使用紅外線影像傳感器。也可以與拍攝的環(huán)境、電子部件10的印刷狀況對(duì)照地進(jìn)行選擇。

變形例4

在上述第一實(shí)施方式中，托盤搬運(yùn)部11使拍攝裝置17移動(dòng)。但并不局限于此，也可以將拍攝裝置17設(shè)置于沿第二方向14a移動(dòng)的拍攝裝置移動(dòng)部。進(jìn)而，拍攝裝置移動(dòng)部移動(dòng)拍攝裝置17，托盤搬運(yùn)部11移動(dòng)托盤把持部16。由此，能夠同時(shí)進(jìn)行拍攝裝置17拍攝電子部件10的工序和托盤搬運(yùn)部11移動(dòng)空的托盤9的工序。因此，能夠生產(chǎn)率良好地進(jìn)行工序。

變形例5

在上述第一實(shí)施方式中，第二方向14a是與第一方向3c正交的方向。第一方向3c并非必須與第二方向14a正交。第一方向3c也可以是與第二方向14a交叉的方向。即便在這種情況下，拍攝裝置17也能夠?qū)Χ嗔须娮硬考?0進(jìn)行拍攝。進(jìn)而，能提高設(shè)計(jì)的自由度。

變形例6

在上述第一實(shí)施方式中，在進(jìn)行步驟S3的標(biāo)記拍攝工序～步驟S6的確認(rèn)結(jié)束判定工序之后，移至步驟S7的檢查工序。并不局限于此，也可以使步驟S3的標(biāo)記拍攝工序～步驟S6的確認(rèn)結(jié)束判定工序和步驟S7的檢查工序并行進(jìn)行。換句話說，也可以形成為：在步驟S5的個(gè)體識(shí)別判定工序中，當(dāng)個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75存在于比較判定數(shù)據(jù)74的一覽表時(shí)，使檢查了個(gè)體識(shí)別編號(hào)10c后的電子部件10依次進(jìn)行步驟S7的檢查工序。因?yàn)閭€(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)75的確認(rèn)與電特性檢查并行進(jìn)行，所以能夠生產(chǎn)率良好地進(jìn)行檢查。

標(biāo)號(hào)說明

1b：作為部件搬運(yùn)裝置的搬運(yùn)部；1、86：部件檢查裝置；3：作為第一移動(dòng)部的第一輸送機(jī)；3c：第一方向；9：作為容器的托盤；10：電子部件；10c：作為識(shí)別信息的個(gè)體識(shí)別編號(hào)；11：作為第二移動(dòng)部的托盤搬運(yùn)部；14：作為移動(dòng)機(jī)構(gòu)的托盤移動(dòng)工作臺(tái)；14a：第二方向；17：作為識(shí)別信息檢測(cè)部以及圖像拍攝部的拍攝裝置；20：作為搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的部件移除供件部；29：作為搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的供件部；36：作為搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的第一往復(fù)工作臺(tái)；41：作為搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的第二往復(fù)工作臺(tái)；43：作為搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的部件按壓裝置；51a：作為信息輸出部、信息顯示部以及警報(bào)輸出部的信息顯示裝置；51b：作為信息輸入部的信息輸入裝置；65：作為信息輸出部以及輸出接口的信息輸出裝置；74：作為比較信息的比較判定數(shù)據(jù)；75：作為識(shí)別信息的個(gè)體識(shí)別數(shù)據(jù)；78：數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換部；79：作為個(gè)體識(shí)別部的個(gè)體識(shí)別編號(hào)運(yùn)算部；80：作為信息比較部的個(gè)體識(shí)別編號(hào)判定部；85e、88e：作為識(shí)別信息的個(gè)體識(shí)別條形碼；87：條形碼讀碼器。