本實(shí)用新型涉及硅片背面損傷設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于硅片背面損傷設(shè)備的片盒架。

背景技術(shù)：

軟損傷吸雜技術(shù)是在原有的機(jī)械損傷技術(shù)的基礎(chǔ)上，為了提高有效吸雜能力，降低機(jī)械損傷產(chǎn)生的不良副作用上發(fā)展起來(lái)的一種新型的機(jī)械損傷吸雜技術(shù)。軟損傷吸雜顧名思義就是一種利用非常輕微的背面機(jī)械損傷作為外吸除中心的吸雜技術(shù)。

硅片背面軟損傷設(shè)備是用于實(shí)現(xiàn)硅片背面損傷的機(jī)器。硅片在經(jīng)過(guò)濕法噴砂后，會(huì)沿著一條水道進(jìn)入出料部片盒中，每進(jìn)一片，片盒下降一次，為下一次進(jìn)片做準(zhǔn)備。然而現(xiàn)有的硅片背面軟損傷設(shè)備使用的片盒架的片臺(tái)只能放置規(guī)定尺寸的片盒，造成硅片背面損傷設(shè)備利用率低。且片盒架在使用時(shí)被放置在水槽中，硅片在通過(guò)導(dǎo)流水道進(jìn)入片盒時(shí)，因?yàn)樗鞯臎_擊，造成片盒的移位，并出現(xiàn)硅片不能順利進(jìn)入片盒、硅片斜插等問(wèn)題，同時(shí)影響產(chǎn)了硅片的產(chǎn)品質(zhì)量。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是提供一種用于硅片背面損傷設(shè)備的片盒架，不僅能放置多種尺寸類型的片盒，且片盒固定牢固，在提高硅片背面損傷設(shè)備的利用率的同時(shí)解決了因水流的沖擊造成片盒移位的問(wèn)題，提高了硅片的產(chǎn)品質(zhì)量。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是：一種用于硅片背面損傷設(shè)備的片盒架，包括設(shè)置在硅片背面損傷設(shè)備出料部的支撐架和若干個(gè)設(shè)置在支撐架上用于放置片盒的片臺(tái)，所述片盒一端設(shè)置有尾部卡槽，另一端開(kāi)設(shè)有進(jìn)料口，且進(jìn)料口的兩個(gè)側(cè)壁外翻形成凸緣，所述片盒通過(guò)兩個(gè)側(cè)角卡具以及一個(gè)尾部卡具固定安裝在片臺(tái)上，兩個(gè)側(cè)角卡具沿片盒長(zhǎng)度方向?qū)ΨQ設(shè)置在片盒進(jìn)料口的兩個(gè)頂角處，所述側(cè)角卡具包括連接塊和片盒固定卡條，該片盒固定卡條設(shè)置在連接塊的上表面且通過(guò)連接塊與片臺(tái)固定連接，所述片盒固定卡條一端具有加強(qiáng)塊，片盒固定卡條的另一端延伸出連接塊的側(cè)邊緣以擋住片盒的凸緣，防止因水流的沖擊造成片盒移位；所述尾部卡具包括固定擋塊，在固定擋塊的兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置有呈臺(tái)階狀分布的多個(gè)卡臺(tái)，且處于同一高度的兩側(cè)卡臺(tái)與不同尺寸的片盒尾部卡槽配合卡接。

優(yōu)選地，所述加強(qiáng)塊一端的側(cè)面與連接塊一端的側(cè)面相平齊。

優(yōu)選地，所述側(cè)角卡具還包括若干個(gè)螺絲a，所述連接塊上沿其長(zhǎng)度方向設(shè)置有若干個(gè)與所述螺絲a相配合的螺絲通孔a，在片臺(tái)上設(shè)置有若干個(gè)與所述螺絲通孔a位置相對(duì)應(yīng)的螺絲孔a，所述螺絲a一端穿過(guò)螺絲通孔a并置于螺絲孔a內(nèi)。

優(yōu)選地，所述尾部卡具還包括若干個(gè)螺絲b，所述固定擋塊上沿其厚度方向設(shè)置有若干個(gè)與所述螺絲b相配合的螺絲通孔b，在片臺(tái)上設(shè)置有若干個(gè)與所述螺絲通孔b位置相對(duì)應(yīng)的螺絲孔b，所述螺絲b一端穿過(guò)螺絲通孔b并置于螺絲孔b內(nèi)。

優(yōu)選地，所述螺絲a、螺絲通孔a和螺絲孔a均為兩個(gè)。

優(yōu)選地，所述螺絲b、螺絲通孔b和螺絲孔b均為兩個(gè)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果：本實(shí)用新型所述的一種用于硅片背面損傷設(shè)備的片盒架，能放置多種尺寸類型的片盒，提高了硅片背面損傷設(shè)備的兼容性和利用率。通過(guò)兩個(gè)側(cè)角卡具和尾部卡具將片盒固定在片臺(tái)上，防止因水流的沖擊造成片盒的移位，因而不會(huì)出現(xiàn)硅片不能順利進(jìn)入片盒、硅片斜插等問(wèn)題，提高了硅片的產(chǎn)品質(zhì)量。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型用于硅片背面損傷設(shè)備的片盒架的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型尾部卡具的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中標(biāo)記：1、片臺(tái)，2、片盒，3、側(cè)角卡具，301、連接塊，302、片盒固定卡條，303、加強(qiáng)塊，4、尾部卡具，401、固定擋塊，402、6英寸位卡臺(tái)，403、5英寸位卡臺(tái)，404、4英寸位卡臺(tái)。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)說(shuō)明，本實(shí)施例以本實(shí)用新型技術(shù)方案為前提，給出了詳細(xì)的實(shí)施方式和具體的操作過(guò)程，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不限于下述的實(shí)施例。

如圖所示，一種用于硅片背面損傷設(shè)備的片盒架，包括設(shè)置在硅片背面損傷設(shè)備出料部的支撐架和若干個(gè)設(shè)置在支撐架上用于放置片盒2的片臺(tái)1，所述片盒2一端設(shè)置有尾部卡槽，另一端開(kāi)設(shè)有進(jìn)料口，且進(jìn)料口的兩個(gè)側(cè)壁外翻形成凸緣，所述片盒2通過(guò)兩個(gè)側(cè)角卡具3以及一個(gè)尾部卡具4固定安裝在片臺(tái)1上。

所述兩個(gè)側(cè)角卡具3沿片盒2長(zhǎng)度方向?qū)ΨQ設(shè)置在片盒2進(jìn)料口的兩個(gè)頂角處，所述側(cè)角卡具3包括連接塊301、片盒固定卡條302和兩個(gè)螺絲a，該片盒固定卡條302設(shè)置在連接塊301的上表面且通過(guò)連接塊301與片臺(tái)1固定連接，所述連接塊301上沿其長(zhǎng)度方向設(shè)置有兩個(gè)分別與所述兩個(gè)螺絲a相配合的螺絲通孔a，在片臺(tái)1上設(shè)置有兩個(gè)分別與所述兩個(gè)螺絲通孔a位置相對(duì)應(yīng)的螺絲孔a，所述螺絲a一端穿過(guò)螺絲通孔a并置于螺絲孔a內(nèi)。所述片盒固定卡條302一端具有加強(qiáng)塊303，所述加強(qiáng)塊303一端的側(cè)面與連接塊301一端的側(cè)面相平齊，片盒固定卡條302的另一端延伸出連接塊301的側(cè)邊緣以擋住片盒2的凸緣，防止因水流的沖擊造成片盒2移位。

所述尾部卡具4包括固定擋塊401和兩個(gè)螺絲b，所述固定擋塊401上沿其厚度方向設(shè)置有兩個(gè)分別與所述兩個(gè)螺絲b相配合的螺絲通孔b，在片臺(tái)1上設(shè)置有兩個(gè)與所述兩個(gè)螺絲通孔b位置相對(duì)應(yīng)的螺絲孔b，所述螺絲b一端穿過(guò)螺絲通孔b并置于螺絲孔b內(nèi)。所述尾部卡具4包括固定擋塊401，在固定擋塊401的兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置有呈臺(tái)階狀分布的多個(gè)卡臺(tái)，所述多個(gè)卡臺(tái)分別為6英寸位卡臺(tái)402、5英寸位卡臺(tái)403和4英寸位卡臺(tái)404，且處于同一高度的兩側(cè)卡臺(tái)與不同尺寸的片盒2尾部卡槽配合卡接。

所述6英寸位卡臺(tái)402與用于放置6英寸硅片的片盒2相配合卡接時(shí)，將6英寸位卡臺(tái)402伸入該片盒2的卡槽內(nèi)，且使卡槽的兩側(cè)壁端面抵接在固定擋塊401上。

所述5英寸位卡臺(tái)403與用于放置5英寸硅片的片盒2相配合卡接時(shí)，將5英寸位卡臺(tái)403伸入該片盒2的卡槽內(nèi)，且使卡槽的兩側(cè)壁端面抵接在6英寸位卡臺(tái)402上。

所述4英寸位卡臺(tái)404與用于放置4英寸硅片的片盒2相配合卡接時(shí)，將4英寸位卡臺(tái)404伸入該片盒2的卡槽內(nèi)，且使卡槽的兩側(cè)壁端面抵接在5英寸位卡臺(tái)403上。