本實(shí)用新型涉及一種包裝瓶，更具體的說(shuō)，是涉及一種光刻膠防止更換出錯(cuò)并安全運(yùn)輸保護(hù)瓶。

背景技術(shù)：

在大規(guī)模集成電路晶圓制造工藝流程中，光刻工藝居于整個(gè)制造的中心地位。尤其目前進(jìn)入亞微米，納米工藝范疇內(nèi)，光刻工藝更是推動(dòng)者整個(gè)行業(yè)沿著摩爾定律向前發(fā)展。在光刻工藝內(nèi)，光刻膠的使用是非常重要的一環(huán)。在大型晶圓廠內(nèi)，有幾十種不同應(yīng)用的光刻膠在生產(chǎn)線上同時(shí)使用，每瓶光刻膠的容量只有1加侖(3.75升)，所以用完后需要經(jīng)常更換。而不同應(yīng)用的光刻膠嚴(yán)禁相互污染，混用，否則會(huì)造成重大質(zhì)量安全生產(chǎn)事故影響晶圓的良率。由于光刻膠包裝容器通常為容量為1加侖的棕色玻璃瓶，外觀極為相似，稍有疏忽不慎便出現(xiàn)換錯(cuò)，造成不可挽回的重大損失。

現(xiàn)有的光刻膠包裝通常為:1加侖(3.75升)裝的棕色透明玻璃瓶和4升裝的Nowpack塑膠瓶(美商英特格公司產(chǎn)品)。主流包裝為1加侖(3.75升)裝的棕色透明玻璃瓶，玻璃瓶運(yùn)輸時(shí)已碎的弱點(diǎn)以及沒(méi)有有效的防止換錯(cuò)裝置一直是該包裝被詬病之處。少量廠家使用Nowpack塑膠瓶，由于Nowpack塑膠瓶的內(nèi)膽含有歐盟環(huán)境指令PFOS/PFOA明令禁止的成分，雖然經(jīng)歐盟環(huán)境指令PFOS/PFOA要求升級(jí)，之后發(fā)生潛在質(zhì)量風(fēng)險(xiǎn)，會(huì)造成客戶端的損失，尤其是對(duì)于高端光阻風(fēng)險(xiǎn)更甚。已經(jīng)被主流廠商棄用。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種光刻膠防止更換出錯(cuò)并安全運(yùn)輸保護(hù)瓶，在保留傳統(tǒng)光刻膠棕色玻璃瓶?jī)?yōu)點(diǎn)及同時(shí)，可以滿足安全運(yùn)輸?shù)囊螅词惯\(yùn)輸過(guò)程中發(fā)生玻璃瓶破損事故，也不會(huì)造成大范圍的環(huán)境污染，還可以很好地防止操作人員由于操作不慎造成重大質(zhì)量事故。

本實(shí)用新型的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的。

本實(shí)用新型的一種光刻膠防止更換出錯(cuò)并安全運(yùn)輸保護(hù)瓶，包括玻璃瓶，所述玻璃瓶外設(shè)置有防護(hù)瓶，所述防護(hù)瓶包括由上至下依次連接的頂蓋、上蓋和底瓶，所述上蓋的頂部端口固定設(shè)置有防換錯(cuò)安全環(huán)，所述防換錯(cuò)安全環(huán)內(nèi)圓設(shè)置有止脫齒，所述防換錯(cuò)安全環(huán)外圓設(shè)置有定位半環(huán)，所述防換錯(cuò)安全環(huán)上表面沿圓周均勻設(shè)置有密匙碼。

所述上蓋設(shè)置有提手。

所述上蓋和底瓶通過(guò)鎖緊箍進(jìn)行連接。

所述頂蓋沿圓周設(shè)置有易拉帶。

所述密匙碼由數(shù)字或字母構(gòu)成，每一種光刻膠對(duì)應(yīng)一組密匙，每組密匙由三位或三位以上的密匙碼構(gòu)成，在每組密匙對(duì)應(yīng)的密匙碼處分別開(kāi)設(shè)通孔。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的技術(shù)方案所帶來(lái)的有益效果是：

(1)本實(shí)用新型中，玻璃瓶外設(shè)置了防護(hù)瓶，把玻璃瓶完全包覆于內(nèi)，整體密閉防止漏液，可以滿足安全運(yùn)輸?shù)囊?，即使運(yùn)輸過(guò)程中發(fā)生玻璃瓶破損事故，不會(huì)造成大范圍的環(huán)境污染，防止光刻膠在晶圓廠內(nèi)運(yùn)輸使用過(guò)程中玻璃瓶破損造成Fab潔凈環(huán)境污染破壞；

(2)本實(shí)用新型中，上蓋頂部端口設(shè)置了防換錯(cuò)安全環(huán)，每一種光刻膠分配不同且唯一的密匙，可以防止保證光刻膠不混用，不同種類的光刻膠由于密匙不匹配，不能安裝成功，只有同一種光刻膠才能符合密匙成功連接，防止晶圓廠內(nèi)更換光刻膠時(shí)操作員誤操作致光刻膠混用，避免工廠端的重大損失；

(3)本實(shí)用新型中上蓋設(shè)置有提手，頂蓋沿圓周設(shè)置有易拉帶，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于安裝使用。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型摘掉頂蓋后的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本實(shí)用新型中防換錯(cuò)安全環(huán)的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記:1玻璃瓶；2頂蓋；3易拉帶；4上蓋；5底瓶；6提手；7鎖緊箍；8防換錯(cuò)安全環(huán)；9止脫齒；10定位半環(huán)；11密匙碼

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述。

如圖1至圖2所示，本實(shí)用新型的一種光刻膠防止更換出錯(cuò)并安全運(yùn)輸保護(hù)瓶，包括玻璃瓶1，所述玻璃瓶1外設(shè)置有防護(hù)瓶，把玻璃瓶1完全包覆于內(nèi)，可以滿足安全運(yùn)輸?shù)囊螅词惯\(yùn)輸過(guò)程中發(fā)生玻璃瓶1破損事故，不會(huì)造成大范圍的環(huán)境污染。所述防護(hù)瓶包括由上至下依次連接的頂蓋2、上蓋4和底瓶5，所述頂蓋2設(shè)置為上下兩部分結(jié)構(gòu)，由沿圓周設(shè)置的易拉帶3連接，所述上蓋4還設(shè)置有提手6，便于本實(shí)用新型的上提和下放。所述上蓋4和底瓶5通過(guò)鎖緊箍7進(jìn)行連接，也就是在所述上蓋4的下端和底瓶5的上端分別沿圓周設(shè)置有凸起，所述鎖緊箍7沿圓周設(shè)置有凹槽，通過(guò)凸起和凹槽的配合實(shí)現(xiàn)上蓋4和底瓶5的固定連接。所述上蓋4的頂部端口位于所述頂蓋2內(nèi)部，且所述玻璃瓶1的瓶口高出上蓋4的頂部端口設(shè)置。所述防護(hù)瓶采用塑膠瓶，通常所述底瓶5和上蓋4采用全透明耐沖擊聚碳酸酯(PC)或非結(jié)晶型共聚聚酯(PETG)等塑料，所述頂蓋2采用聚乙烯塑膠。

所述上蓋4的頂部端口外側(cè)套設(shè)固定有防換錯(cuò)安全環(huán)8，所述防換錯(cuò)安全環(huán)8采用聚丙烯(PP)制作。如圖3所示，所述防換錯(cuò)安全環(huán)8內(nèi)圓設(shè)置有止脫齒9，使防換錯(cuò)安全環(huán)8固定安裝到上蓋4頂部，在止脫齒9作用下無(wú)法取下。所述防換錯(cuò)安全環(huán)8外圓設(shè)置有定位半環(huán)10，所述防換錯(cuò)安全環(huán)8上表面沿圓周均勻設(shè)置有密匙碼11。所述密匙碼11由數(shù)字或字母構(gòu)成，個(gè)數(shù)不限，根據(jù)需要進(jìn)行設(shè)置，每一種光刻膠對(duì)應(yīng)唯一一組密匙，每組密匙由三位或三位以上的密匙碼11構(gòu)成，在每組密匙對(duì)應(yīng)的密匙碼11處分別開(kāi)設(shè)通孔。

本實(shí)施例中密匙碼11由十個(gè)數(shù)字和十三個(gè)字母構(gòu)成，以三位編碼為例，任取三位排列組合作為一種光刻膠的密匙。對(duì)于某一特定光刻膠的玻璃瓶，機(jī)臺(tái)端接口cap(TEL生產(chǎn)，需改造)上制作有一個(gè)定位柱和三個(gè)密匙柱，一個(gè)定位柱正好對(duì)準(zhǔn)防換錯(cuò)安全環(huán)8的定位半環(huán)10，其他三個(gè)密匙柱正好和準(zhǔn)防換錯(cuò)安全環(huán)8上的三個(gè)特定位置密匙通孔匹配。比如密匙2-A-X，在防換錯(cuò)安全環(huán)8上“2”、“A”、“X”三個(gè)特定密匙碼11位置處開(kāi)設(shè)通孔，正好和機(jī)臺(tái)端接口cap相應(yīng)位置突出的三個(gè)密匙柱相配合，能契合的話就能將玻璃瓶1擰上鎖緊，否則操作人員無(wú)法正確安裝好該光刻膠玻璃瓶1。這樣給每一種光刻膠分配不同且唯一的密匙，可以防止保證光刻膠不混用，不同種類的光刻膠由于密匙不匹配，不能安裝成功，只有同一種光刻膠才能符合密匙成功連接，再比如7-C-K，有8000種組合排列，足夠滿足光刻膠密匙的要求。

在光阻廠商處待光刻膠生產(chǎn)好后，裝入玻璃瓶1內(nèi)，再將玻璃瓶1從底瓶5和上蓋4的連接處裝入防護(hù)瓶?jī)?nèi)部，通過(guò)鎖緊箍7鎖緊即可，整體密閉防止漏液。使用時(shí)拉開(kāi)易拉帶3，露出玻璃瓶1瓶口和防換錯(cuò)安全環(huán)8，所述防換錯(cuò)安全環(huán)8上有該光刻膠的唯一密匙用來(lái)和玻璃瓶1接口cap結(jié)構(gòu)匹配來(lái)防止換錯(cuò)光刻膠。

盡管上面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的功能及工作過(guò)程進(jìn)行了描述，但本實(shí)用新型并不局限于上述的具體功能和工作過(guò)程，上述的具體實(shí)施方式僅僅是示意性的，而不是限制性的，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本實(shí)用新型的啟示下，在不脫離本實(shí)用新型宗旨和權(quán)利要求所保護(hù)的范圍情況下，還可以做出很多形式，這些均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)之內(nèi)。