本實(shí)用新型涉及一種基板移送裝置以及包含其的基板處理系統(tǒng)，更為具體地涉及一種基板移送裝置以及包含其的基板處理系統(tǒng)，其可使得基板平坦地懸浮，可均勻地涂敷藥液并抑制污點(diǎn)的產(chǎn)生。

背景技術(shù)：

在對(duì)LCD等平板顯示器進(jìn)行制造的工藝中伴隨將抗蝕劑液體等的藥液涂敷于由玻璃等制作的被處理基板的表面的涂層(coating)工藝。在LCD的尺寸較小的現(xiàn)有技術(shù)中使用了旋轉(zhuǎn)(spin)涂層方法，所述旋轉(zhuǎn)涂層方法在將藥液涂敷于被處理基板的中央部的同時(shí)，使得被處理基板旋轉(zhuǎn)，據(jù)此，將藥液涂敷于被處理基板的表面。

但是，隨著LCD畫面的尺寸大型化，旋轉(zhuǎn)涂層方式幾乎不被使用，并且正使用如下方式的涂層方法：使得具有與被處理基板的寬度相對(duì)應(yīng)的長度的狹縫(slit)形態(tài)的狹縫噴嘴和被處理基板相對(duì)移動(dòng)，同時(shí)從狹縫噴嘴將藥液涂敷于被處理基板的表面。

最近，作為一種在所規(guī)定的時(shí)間內(nèi)將藥液涂層于更多數(shù)量的被處理基板的表面的方法的部分，在日本公開專利公報(bào)第2005-243670號(hào)公開一種如下形式的技術(shù)：設(shè)置有懸浮平臺(tái)，所述懸浮平臺(tái)通過沿著基板被搬入并涂敷且搬出的方向噴出空氣來使得基板懸浮，在其兩側(cè)設(shè)置有形成為吸附板等的基板排出裝置，通過停止?fàn)顟B(tài)的狹縫噴嘴來將藥液供給于連續(xù)被供給的被處理基板的表面并進(jìn)行涂層。

但是，在現(xiàn)有的懸浮式基板涂層器(coater)裝置中，具有如下問題：以與基板的尺寸無關(guān)的形式構(gòu)成為一定的懸浮力整體地作用于基板，由此，在得到懸浮的基板的特定部位部分地產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，并且具有如下問題：因?yàn)橛捎诨宓钠D(zhuǎn)而導(dǎo)致的高度差(噴嘴與基板之間的距離差異)，所以產(chǎn)生藥液無法均勻地得到涂敷的現(xiàn)象，并且通過如上的藥液不均勻涂敷從而產(chǎn)生污點(diǎn)。尤其，具有如下問題：在使得一定以上的較大的尺寸的基板懸浮的情況下，在基板的邊緣或中央部產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)。

此外，在現(xiàn)有的技術(shù)中具有如下問題：以與懸浮力作用于基板的區(qū)域無關(guān)的形式藥液被涂敷于基板的表面，據(jù)此如果在懸浮力作用于基板的區(qū)域中藥液被涂敷，則因?yàn)橛捎谠趹腋×ψ饔糜诨宓膮^(qū)域中產(chǎn)生的振動(dòng)而造成的影響，所以產(chǎn)生藥液無法均勻地得到涂敷的現(xiàn)象，由于如上所述的藥液的不均勻涂敷，從而產(chǎn)生污點(diǎn)。

換句話說，在懸浮力作用于基板的區(qū)域(空氣得以噴出的區(qū)域)中因懸浮力而產(chǎn)生的振動(dòng)產(chǎn)生得最大，但是在現(xiàn)有的技術(shù)中具有如下問題：在懸浮力作用于基板的區(qū)域中實(shí)現(xiàn)藥液的涂敷，由此藥液無法均勻地得到涂敷，從而產(chǎn)生污點(diǎn)。

因此，最近，用于提高基板的懸浮平坦度并提高藥液的涂敷均勻性的多種研究正在進(jìn)行，但是仍存在不足，因此需要對(duì)其的開發(fā)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于，提供一種基板移送裝置以及包含其的基板處理系統(tǒng)，所述基板移送裝置在沒有基板的部分偏轉(zhuǎn)的狀態(tài)下，可使得基板平坦地懸浮。

尤其，本實(shí)用新型的目的在于，可對(duì)于在基板的平坦度產(chǎn)生偏差的部位的懸浮力以與其他的部位不同的形式獨(dú)立地進(jìn)行控制。

此外，本實(shí)用新型的目的在于，提供一種基板處理裝置，其在將藥液涂敷于基板的過程中，可均勻地涂敷藥液，從而抑制污點(diǎn)的產(chǎn)生。

尤其，本實(shí)用新型的目的在于，可在受到因作用于基板的懸浮力而產(chǎn)生的振動(dòng)的影響較小的區(qū)域中均勻地涂敷藥液。

此外，本實(shí)用新型的目的在于，可形成高品質(zhì)的藥液涂覆層，并且可使得收率提高。

根據(jù)用于達(dá)到所述本實(shí)用新型的目的的本實(shí)用新型的優(yōu)選的第一實(shí)施例，對(duì)藥液涂敷工藝得到處理的基板進(jìn)行移送的基板移送裝置包括：基板移送部，其包括獨(dú)立地被分割的多個(gè)懸浮部，并且將基板以懸浮的狀態(tài)進(jìn)行移送；控制部，其個(gè)別地對(duì)通過多個(gè)懸浮板而產(chǎn)生的懸浮力進(jìn)行控制。

這是為了在使得被處理基板懸浮并移送時(shí)，個(gè)別地對(duì)通過多個(gè)懸浮部而產(chǎn)生的懸浮力進(jìn)行控制，從而更穩(wěn)定地使得基板懸浮。

換句話說，選擇性地以相互不同的形式對(duì)通過相互協(xié)助地使得基板懸浮的多個(gè)懸浮部的懸浮力進(jìn)行控制，換句話說，按照各個(gè)部位以相互不同的形式對(duì)作用于基板的懸浮力的強(qiáng)度進(jìn)行調(diào)節(jié)，據(jù)此可得到的有利的效果在于，在沒有基板的部分偏轉(zhuǎn)的狀態(tài)下，使得基板平坦地懸浮。

尤其，在相互協(xié)助地使得基板懸浮的多個(gè)懸浮部件中對(duì)配置于產(chǎn)生基板的偏轉(zhuǎn)的部位(基板的平坦度產(chǎn)生偏差的部位)的至少任意一個(gè)懸浮力以比其余的懸浮部的懸浮力相對(duì)大的形式進(jìn)行控制，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，在沒有基板的部分偏轉(zhuǎn)的狀態(tài)下，使得基板平坦地懸浮。

并且，使得基板平坦地懸浮，從而可得到的有利的效果在于，可均勻地涂敷藥液，并且可抑制污點(diǎn)的產(chǎn)生，并且在藥液被干燥時(shí)，也可整體地對(duì)藥液進(jìn)行均勻地干燥。

基板移送部的懸浮部可根據(jù)所需的條件及設(shè)計(jì)樣式構(gòu)成為通過多種方式使得基板懸浮。例如，基板移送部包括多個(gè)振動(dòng)板和多個(gè)振動(dòng)器，并且利用通過超聲波而產(chǎn)生的振動(dòng)能量來使得所述基板懸浮，所述多個(gè)振動(dòng)板以獨(dú)立的形式被分割，所述多個(gè)振動(dòng)器分別以獨(dú)立的形式使得多個(gè)振動(dòng)板振動(dòng)。根據(jù)不同的情況，作為基板移送部的懸浮部也可使用氣體噴射部，所述氣體噴射部噴射氣體從而使得基板懸浮。不同地，也可構(gòu)成為基板移送部的懸浮部利用磁力來使得基板懸浮。

此外，多個(gè)振動(dòng)板僅僅通過一個(gè)振動(dòng)器來分別個(gè)別地得到振動(dòng)，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，在振動(dòng)信號(hào)不被歪曲或干擾的狀態(tài)下，準(zhǔn)確地控制振動(dòng)板的懸浮力。

尤其，由獨(dú)立地被分割的多個(gè)振動(dòng)板來構(gòu)成各個(gè)移送部(裝載移送部、處理移送部、卸載移動(dòng)部)，并且各個(gè)振動(dòng)板分別個(gè)別地得到振動(dòng)，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，在振動(dòng)信號(hào)不被歪曲或干擾的狀態(tài)下，準(zhǔn)確地控制各個(gè)振動(dòng)板的懸浮力。

換句話說，雖然也可將多個(gè)振動(dòng)器安裝于一個(gè)振動(dòng)板，但是具有如下問題：若多個(gè)振動(dòng)信號(hào)被輸入至一個(gè)振動(dòng)板，則由于相互不同的振動(dòng)信號(hào)間的干涉，從而難以準(zhǔn)確地調(diào)節(jié)通過振動(dòng)板而產(chǎn)生的懸浮力。但是，在本實(shí)用新型中，各個(gè)振動(dòng)板分別僅僅通過一個(gè)振動(dòng)器來得到振動(dòng)，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，在振動(dòng)信號(hào)不被歪曲及干擾的狀態(tài)下，準(zhǔn)確地控制懸浮力。

并且，若各個(gè)移送部僅由一個(gè)振動(dòng)板來構(gòu)成，則振動(dòng)器的振動(dòng)力難以均勻地傳遞至整體振動(dòng)板，并且在距離振動(dòng)器相對(duì)遠(yuǎn)的位置可產(chǎn)生振動(dòng)信號(hào)的歪曲。但是，在本實(shí)用新型中由多個(gè)振動(dòng)板來構(gòu)成各個(gè)移送部，并且各個(gè)振動(dòng)板分別個(gè)別地得到振動(dòng)，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，在沒有因距離而導(dǎo)致的振動(dòng)信號(hào)的歪曲的狀態(tài)下，將均勻的懸浮力形成于振動(dòng)板的整體面積。

更為具體地，基板移送部包括：裝載移送部，其包括獨(dú)立地被分割的多個(gè)第一振動(dòng)板，并且基板裝載于所述裝載移送部；處理移送部，其包括以獨(dú)立地被分割的形式配置的多個(gè)第二振動(dòng)板，并且藥液涂敷于基板的表面；卸載移送部，其包括獨(dú)立地被分割的多個(gè)第三振動(dòng)板，并且涂敷有藥液的基板卸載于所述卸載移送部。

此時(shí)，多個(gè)振動(dòng)板能夠以如下形式配置：沿著基板的移送路徑以一維 (one-dimension)或二維(two dimension)的形式被隔開。具體地，多個(gè)振動(dòng)板能夠以具有1*n₁(在此n₁是自然數(shù))的一維排列的形式配置，或者以具有(n₂+1)*(n₂+1) (在此，n₂是1以上(n₂≥1)的自然數(shù))的二維排列的形式配置。多個(gè)振動(dòng)板的行(基板被移送的方向)與列(與基板被移送的方向呈垂直的方向)的個(gè)數(shù)可根據(jù)振動(dòng)板的尺寸以及設(shè)計(jì)樣式進(jìn)行多種變更，并且本實(shí)用新型并非受到振動(dòng)板的排列的限制或限定。

此外，多個(gè)振動(dòng)板相互可形成為相同的形態(tài)及尺寸，或者，不同地，也可將多個(gè)振動(dòng)板中至少一個(gè)形成為其他的形態(tài)及尺寸。

優(yōu)選地，構(gòu)成處理移送部的多個(gè)第二振動(dòng)板沿著基板被移送的方向間隔地配置，在處理移送部中通過第二振動(dòng)板間的被隔開的間隔區(qū)域藥液被涂敷于基板的表面。

如上所述，受到因作用于基板的懸浮力(振動(dòng)能量)而產(chǎn)生的振動(dòng)的影響最小的區(qū)域(第二振動(dòng)板間的被隔開的間隔區(qū)域)中藥液得到涂敷，從而可得到的效果在于，在保證藥液的涂敷均勻性的同時(shí)，抑制污點(diǎn)。

換句話說，在作用于基板的懸浮力(振動(dòng)能量)以最大的形式起作用的區(qū)域(例如，第二振動(dòng)板的上部)中因懸浮力而產(chǎn)生的振動(dòng)產(chǎn)生得最大，但是，存在的問題在于，若在懸浮力以較大的形式作用于基板的區(qū)域中進(jìn)行藥液的涂敷，則因?yàn)橛捎谡駝?dòng)而產(chǎn)生的影響，所以藥液無法均勻地得到涂敷，并產(chǎn)生污點(diǎn)。但是，在本實(shí)用新型中，在受到因振動(dòng)而產(chǎn)生的影響最小的第二振動(dòng)板間的被隔開的間隔區(qū)域(在進(jìn)行平面投影時(shí)不與第二振動(dòng)板重疊的區(qū)域)中藥液得到涂敷，從而可得到的效果在于，可將藥液均勻地涂敷于基板的表面，并且預(yù)先防止因不均勻涂敷而導(dǎo)致的污點(diǎn)。

并且，振動(dòng)板可根據(jù)所需的條件及設(shè)計(jì)樣式以多種條件來進(jìn)行配置。

例如，振動(dòng)板相對(duì)于水平面水平地配置，基板能夠以平行于振動(dòng)板的形式懸浮。如上所述，在基板以水平的形式被移送的狀態(tài)下，藥液被涂敷，據(jù)此，當(dāng)然可使用較高的粘度(高粘度1000cP以上)的藥液，即使使用較低的粘度(中粘度，100cP)的藥液，在藥液不往下流的狀態(tài)下，也可均勻地涂敷藥液。

作為另一個(gè)例子，振動(dòng)板以沿著基板的行進(jìn)方向的一側(cè)邊為中心以相對(duì)于水平面傾斜的形式配置，并且基板以平行于振動(dòng)板的形式懸浮。優(yōu)選地，包括移送部件，所述移送部件在對(duì)相對(duì)于水平面傾斜地傾轉(zhuǎn)(tilting)的基板一個(gè)側(cè)邊進(jìn)行支撐的同時(shí)使得基板移送，基板的荷重作用于移送部件，并且因?yàn)橛捎诨宓暮芍囟a(chǎn)生的摩擦力，所以基板通過移送部件來得到移送。

如上所述，傾斜的基板的荷重作用于移送部件，因?yàn)橛捎诨宓暮芍囟a(chǎn)生的摩擦力，所以基板通過移送部件來得到移送，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，在沒有類似于真空吸附裝置的較復(fù)雜的設(shè)備的狀態(tài)下，利用基板的自重來使得基板移送。

并且，在本實(shí)用新型中，由于利用基板的荷重來將基板約束于移送部件(利用摩擦力來對(duì)相對(duì)移動(dòng)進(jìn)行約束)，換句話說，由于不經(jīng)過復(fù)雜的控制工藝(例如，真空壓力調(diào)節(jié)工藝)，通過將基板的一個(gè)側(cè)邊支撐于移送部件便可以約束移送部件和基板，因此，可得到的有利的效果在于，簡化結(jié)構(gòu)及處理工藝。

此外，可包括將吸入壓施加于間隔區(qū)域的吸入壓形成部，并且可通過形成于間隔區(qū)域的吸入壓來支撐基板。

如上所述，將吸入壓形成于間隔區(qū)域，從而吸入壓施加于基板，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，在基板被移送期間抑制基板的抖動(dòng)以及晃動(dòng)。

根據(jù)本實(shí)用新型的優(yōu)選的其他領(lǐng)域，對(duì)針對(duì)被處理基板的藥液涂敷工藝進(jìn)行處理的基板處理系統(tǒng)包括：基板移送部，其包括多個(gè)振動(dòng)板和多個(gè)振動(dòng)器，并且利用通過超聲波而產(chǎn)生的振動(dòng)能量來將基板以懸浮的狀態(tài)進(jìn)行移送，所述多個(gè)振動(dòng)板以獨(dú)立地被分割的形式被隔開，所述多個(gè)振動(dòng)器分別以獨(dú)立的形式使得多個(gè)振動(dòng)板振動(dòng)；控制部，其個(gè)別地控制通過多個(gè)振動(dòng)板而產(chǎn)生的懸浮力；藥液涂敷單元，其配置于振動(dòng)板間的以一定間距隔開的間隔區(qū)域，并且將藥液涂敷于基板的表面。

如上所述，選擇性地以相互不同的形式對(duì)通過多個(gè)振動(dòng)板而產(chǎn)生的懸浮力進(jìn)行控制，換句話說，按照各個(gè)部位以相互不同的形式對(duì)作用于基板的懸浮力的強(qiáng)度進(jìn)行調(diào)節(jié)，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，在沒有基板的部分的偏轉(zhuǎn)的狀態(tài)下，使得基板平坦地懸浮。

尤其，在相互協(xié)助地使得基板懸浮的多個(gè)振動(dòng)板中對(duì)配置于產(chǎn)生基板的偏轉(zhuǎn)的部位 (基板的平坦度產(chǎn)生偏差的部位)的至少任意一個(gè)懸浮力以比其余的振動(dòng)板的懸浮力相對(duì)大的形式進(jìn)行控制，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，在沒有基板的部分偏轉(zhuǎn)的狀態(tài)下，使得基板平坦地懸浮。

并且，在受到因作用于基板的懸浮力(振動(dòng)能量)而產(chǎn)生的振動(dòng)的影響最小的區(qū)域 (第二振動(dòng)板間的被隔開的間隔區(qū)域)中藥液得到涂敷，從而可得到的效果在于，在保證藥液的涂敷均勻性的同時(shí)，抑制污點(diǎn)。

具體地，基板移送部包括：裝載移送部，其包括獨(dú)立地被分割的多個(gè)第一振動(dòng)板，并且基板裝載于所述裝載移送部；處理移送部，其包括以獨(dú)立地被分割的形式配置的多個(gè)第二振動(dòng)板，并且藥液涂覆于基板的表面；卸載移送部，其包括獨(dú)立地被分割的多個(gè)第三振動(dòng)板，并且涂敷有藥液的基板卸載于所述卸載移送部。

此時(shí)，多個(gè)振動(dòng)板能夠以如下形式配置：沿著基板的移送路徑以一維(one-dimens ion)或二維(two dimension)的形式被隔開。

此外，多個(gè)振動(dòng)板相互可形成為相同的形態(tài)及尺寸，或者，不同地，也可將多個(gè)振動(dòng)板中至少一個(gè)形成為其他的形態(tài)及尺寸。

優(yōu)選地，構(gòu)成處理移送部的多個(gè)第二振動(dòng)板沿著基板被移送的方向間隔地配置，藥液涂敷單元的噴嘴邊緣(lip)配置于第二振動(dòng)板間的被隔開的間隔區(qū)域的正中間位置。如上所述，在受到因作用于基板的懸浮力(振動(dòng)能量)而產(chǎn)生的振動(dòng)的影響最小的區(qū)域 (第二振動(dòng)板間的被隔開的間隔區(qū)域)中藥液得到涂敷，從而可得到的效果在于，在保證藥液的涂敷均勻性的同時(shí)，抑制污點(diǎn)。

此外，可包括將吸入壓施加于第二振動(dòng)板間的被隔開的間隔區(qū)域的吸入壓形成部，并且通過形成于間隔區(qū)域的吸入壓來支撐基板，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，在基板被移送期間抑制基板的抖動(dòng)以及晃動(dòng)。

根據(jù)用于達(dá)成所述本實(shí)用新型的目的的本實(shí)用新型的優(yōu)選的第三實(shí)施例，對(duì)針對(duì)被處理基板的藥液涂敷工藝進(jìn)行處理的基板處理裝置包括：振動(dòng)板，其配置于基板的移送路徑；第一振動(dòng)區(qū)域，其形成于振動(dòng)板上，并通過因超聲波而產(chǎn)生的振動(dòng)能量來使得基板懸??；第二振動(dòng)區(qū)域，其以與第一振動(dòng)區(qū)域鄰接的形式形成于振動(dòng)板上，并且通過因超聲波而產(chǎn)生的振動(dòng)能量來使得基板懸?。凰幰和糠髥卧?，其配置于第一位置和第二位置的中間位置區(qū)域，并且將藥液涂敷于基板的表面，所述第一位置在第一振動(dòng)區(qū)域中被振動(dòng)為最大振幅，所述第二位置在第二振動(dòng)區(qū)域中被振動(dòng)為最大振幅。

這是為了在將藥液涂敷于基板的表面時(shí)，受到因作用于基板的懸浮力而產(chǎn)生的振動(dòng)的影響最小的區(qū)域中藥液得到涂敷，從而在保證藥液的涂敷均勻性的同時(shí)，抑制由于涂敷不均勻而產(chǎn)生的污點(diǎn)。

換句話說，在懸浮力以最大的形式作用于基板的區(qū)域(最大振幅的振動(dòng)能量被施加的區(qū)域)中因懸浮力而產(chǎn)生的振動(dòng)產(chǎn)生得最大，但是存在的問題在于，若在懸浮力以較大的形式作用于基板的區(qū)域中進(jìn)行藥液的涂敷，則因?yàn)橛捎谡駝?dòng)而產(chǎn)生的影響，所以藥液無法均勻地得到涂敷并且產(chǎn)生污點(diǎn)。

由此，本實(shí)用新型可得到的有利的效果在于，在受到因振動(dòng)而產(chǎn)生的影響最小的第一振動(dòng)區(qū)域和第二振動(dòng)區(qū)域的中間位置區(qū)域(在進(jìn)行平面投影時(shí)不與第一振動(dòng)區(qū)域及第二振動(dòng)區(qū)域的最大振幅地點(diǎn)重疊的區(qū)域)中藥液得到涂敷，從而可將藥液均勻地涂敷于基板的表面，并且預(yù)先防止因不均勻涂敷而導(dǎo)致的污點(diǎn)。

尤其，本實(shí)用新型中，藥液涂敷單元的噴嘴邊緣(lip)配置于第一位置和第二位置的中間位置區(qū)域，所述第一位置在第一振動(dòng)區(qū)域中以最大振幅進(jìn)行振動(dòng)，所述第二位置在第二振動(dòng)區(qū)域中以最大振幅進(jìn)行振動(dòng)，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，因?yàn)榭稍谑艿揭驗(yàn)檎駝?dòng)而產(chǎn)生的影響最小的區(qū)域中涂敷藥液，所以提高藥液的涂敷均勻性。

優(yōu)選地，配置有藥液涂敷單元的中間位置區(qū)域以第一位置和第二位置的正中間為中心，并且具有小于第一位置和第二位置的間隔長度L1的80％的長度。更為優(yōu)選地，藥液涂敷單元配置于第一位置和第二位置的正中間位置。如上所述，將藥液涂敷單元配置于在振動(dòng)板上振幅相對(duì)較低的第一位置和第二位置的中間位置區(qū)域(特別是，正中間)，據(jù)此，可得到的效果在于，在實(shí)質(zhì)上藥液被涂敷于基板的地點(diǎn)使得因振動(dòng)而產(chǎn)生的影響最小化，從而在保證藥液的涂敷均勻性的同時(shí)，抑制污點(diǎn)。

換句話說，在作用于基板的懸浮力(振動(dòng)能量)以最大的形式起作用的區(qū)域(例如，第一位置或第二位置)中因懸浮力而產(chǎn)生的振動(dòng)產(chǎn)生得最大，但是，存在的問題在于，若在懸浮力以較大的形式作用于基板的區(qū)域中進(jìn)行藥液的涂敷，則因?yàn)橛捎谡駝?dòng)而產(chǎn)生的影響，所以藥液無法均勻地得到涂敷，并產(chǎn)生污點(diǎn)。但是，在本實(shí)用新型中，在受到因振動(dòng)而產(chǎn)生的影響最小的第一振動(dòng)區(qū)域和第二振動(dòng)區(qū)域的中間位置區(qū)域(在進(jìn)行平面投影時(shí)不與第一位置以及第二位置重疊的區(qū)域)中藥液得到涂敷，從而可得到的效果在于，可將藥液均勻地涂敷于基板的表面，并且預(yù)先防止因不均勻涂敷而導(dǎo)致的污點(diǎn)。

此外，可包括吸入壓形成部，其在基板沿著振動(dòng)板被移送期間，將吸入壓施加于基板。

在此，所謂的吸入壓被施加于基板指的是通過用于吸附基板的表面的吸入壓(負(fù)壓)，基板被支撐(以防止移動(dòng)的形式被約束)的狀態(tài)，在吸入壓被施加于基板的狀態(tài)下，可通過因吸入壓而產(chǎn)生的支撐力來最大程度地抑制基板的抖動(dòng)以及晃動(dòng)。

吸入壓形成部可形成為能夠?qū)⑽雺菏┘佑诨宓亩喾N結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地，以與藥液涂敷單元鄰近的形式形成吸入壓形成部，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，抑制在基板上實(shí)現(xiàn)藥液的涂敷的區(qū)域的抖動(dòng)以及晃動(dòng)，從而更加均勻地涂敷藥液。

例如，吸入壓形成部能夠以與藥液涂敷單元的噴嘴邊緣鄰近的形式形成于振動(dòng)板。不同地，也可將吸入壓形成部形成于基板的上部。在此，吸入壓形成部可形成為槽形態(tài)或孔形態(tài)。

優(yōu)選地，分別將吸入壓形成部形成于沿著基板被移送的方向的藥液涂敷單元的前方及后方，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，在基板上與藥液被涂敷的地點(diǎn)(噴嘴邊緣的下部)鄰近的兩端部位分別可通過吸入壓來得到支撐，從而更加有效地抑制振動(dòng)以及晃動(dòng)。不同地，也可以將吸入壓形成部配置于與藥液涂敷單元相同的線上。

并且，垂直于基板被移送的方向的振動(dòng)板的第一寬度(豎直方向?qū)挾?以比垂直于基板被移送的方向的基板的第二寬度(豎直方向?qū)挾?大或相同的形式形成。

如上所述，由于以比基板的第二寬度大或相同的形式形成振動(dòng)板(振動(dòng)板)的第一寬度，因此，可得到的效果在于，更為均勻地調(diào)節(jié)通過振動(dòng)板(振動(dòng)板)來作用于基板的振動(dòng)能量，并更為精致地調(diào)節(jié)基板的懸浮力。

換句話說，若振動(dòng)板以一定以上的較大的尺寸(例如，大于基板的面積)形成，則難以在振動(dòng)板的整個(gè)面上均勻地保持振動(dòng)能量，因此難以精致地調(diào)節(jié)基板的懸浮力。反之，若振動(dòng)板以較小的尺寸形成，則有利于在振動(dòng)板的整個(gè)面上均勻地保持振動(dòng)能量，但存在的問題在于，難以使得各個(gè)振動(dòng)板的振動(dòng)條件相互完美地保持一致，因而在基板通過各個(gè)振動(dòng)板之間的縫隙時(shí)，由于各個(gè)振動(dòng)板的振動(dòng)偏差而導(dǎo)致產(chǎn)生微小的抖動(dòng)(te rminal effect)。

據(jù)此，本實(shí)用新型可得到的效果在于，垂直于基板被移送的方向的振動(dòng)板的第一寬度(豎直方向?qū)挾?以比垂直于基板被移送的方向的基板的第二寬度(豎直方向?qū)挾? 大或相同的形式形成，且沿著基板被移送的方向橫向間隔地配置振動(dòng)板，據(jù)此在基板被移送期間，沿著基板的第二寬度W2方向，只有由一個(gè)振動(dòng)板而產(chǎn)生的振動(dòng)能量作用于基板，由此，可均勻地調(diào)節(jié)作用于基板的振動(dòng)能量，并精致地控制基板的懸浮高度。

振動(dòng)板可根據(jù)所需的條件及設(shè)計(jì)樣式配置為多種條件。

例如，振動(dòng)板相對(duì)于水平面水平地配置，基板能夠以平行于振動(dòng)板的形式懸浮。如上所述，在基板以水平的形式被移送的狀態(tài)下，藥液被涂敷，據(jù)此，當(dāng)然可使用較高的粘度(高粘度1000cP以上)的藥液，即使使用較低的粘度(中粘度，100cP)的藥液，在藥液不往下流的狀態(tài)下，也可均勻地涂敷藥液。

作為另一個(gè)例子，振動(dòng)板以沿著基板的行進(jìn)方向的一個(gè)側(cè)邊為中心以相對(duì)于水平面傾斜的形式配置，并且基板以平行于振動(dòng)板的形式懸浮。優(yōu)選地，包括移送部件，所述移送部件對(duì)相對(duì)于水平面傾斜地傾轉(zhuǎn)的基板的一個(gè)側(cè)邊進(jìn)行支撐并使得基板移送，并且基板的荷重作用于移送部件，因?yàn)橛捎诨宓暮芍囟a(chǎn)生的摩擦力，所以基板通過移送部件來得到移送。

如上所述，傾斜的基板的荷重作用于移送部件，因?yàn)橛捎诨宓暮芍囟a(chǎn)生的摩擦力，所以基板通過移送部件來得到移送，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，在沒有類似于真空吸附裝置的較復(fù)雜的設(shè)備的狀態(tài)下，利用基板的自重來使得基板移送。

并且，在本實(shí)用新型中，由于利用基板的荷重來將基板約束于移送部件(利用摩擦力來對(duì)相對(duì)移動(dòng)進(jìn)行約束)，換句話說，由于不經(jīng)過復(fù)雜的控制工藝(例如，真空壓力調(diào)節(jié)工藝)，通過將基板的一個(gè)側(cè)邊支撐于移送部件便可以約束移送部件和基板，因此，可得到的有利的效果在于，簡化結(jié)構(gòu)及處理工藝。

根據(jù)本實(shí)用新型的優(yōu)選的第四實(shí)施例，對(duì)針對(duì)被處理基板的藥液涂敷工藝進(jìn)行處理的基板處理裝置包括：第一振動(dòng)板，其配置于基板的移送路徑；第一-一振動(dòng)區(qū)域，其形成于第一振動(dòng)板上，并通過因超聲波而產(chǎn)生的振動(dòng)能量來使得基板懸?。坏谝?二振動(dòng)區(qū)域，其以與第一振動(dòng)區(qū)域相鄰接的形式形成于振動(dòng)板上，并且通過因超聲波而產(chǎn)生的振動(dòng)能量來使得基板懸??；第二振動(dòng)板，其配置為沿著與基板被移送的方向呈垂直的方向距離第一振動(dòng)板一定的間距；第二-一振動(dòng)區(qū)域，其以與第一-一振動(dòng)區(qū)域形成于相同的線上的形式形成于第二振動(dòng)板上，并且通過因超聲波而產(chǎn)生的振動(dòng)能量來使得基板懸??；第二-二振動(dòng)區(qū)域，其以與第一-二振動(dòng)區(qū)域形成于相同的線上，并且以與第二- 一振動(dòng)區(qū)域鄰接的形式形成于振動(dòng)板上，并且通過因超聲波而產(chǎn)生的振動(dòng)能量來使得基板懸浮；藥液涂敷單元，其配置于第一位置和第二位置的中間位置區(qū)域，并且將藥液涂敷于基板的表面，所述第一位置在第一-一振動(dòng)區(qū)域以及第二-一振動(dòng)區(qū)域中分別以最大振幅進(jìn)行振動(dòng)，所述第二位置在第一-二振動(dòng)區(qū)域以及第二-二振動(dòng)區(qū)域中分別以最大振幅進(jìn)行振動(dòng)。

如上所述，在因振動(dòng)而產(chǎn)生影響較小的第一-一振動(dòng)區(qū)域及第二-一振動(dòng)區(qū)域與第一- 二振動(dòng)區(qū)域及第二-二振動(dòng)區(qū)域的中間位置區(qū)域(在進(jìn)行平面投影時(shí)不與各個(gè)振動(dòng)區(qū)域的最大振幅地點(diǎn)重疊的區(qū)域)中藥液得到涂敷，據(jù)此，可得到的效果在于，可將藥液均勻地涂敷于基板的表面，并且預(yù)先防止由不均勻涂敷而導(dǎo)致的污點(diǎn)。

并且，由多個(gè)振動(dòng)板(第一振動(dòng)板和第二振動(dòng)板)來構(gòu)成處理區(qū)域，并且各個(gè)振動(dòng)板分別個(gè)別地得到振動(dòng)，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，在沒有因距離而導(dǎo)致的振動(dòng)信號(hào)的歪曲的狀態(tài)下，在各個(gè)振動(dòng)板將各個(gè)振動(dòng)區(qū)域準(zhǔn)確地形成于想要的位置。

換句話說，若將多個(gè)振動(dòng)器安裝于一個(gè)振動(dòng)板，則因?yàn)橄嗷ゲ煌恼駝?dòng)信號(hào)間的干涉，所以難以將第一振動(dòng)區(qū)域和第二振動(dòng)區(qū)域形成于想要的準(zhǔn)確的位置。由此，為了將第一振動(dòng)區(qū)域和第二振動(dòng)區(qū)域形成于想要的位置，而只可使用一個(gè)振動(dòng)器。但是，隨著振動(dòng)板的尺寸變大，例如，若僅由一個(gè)振動(dòng)板構(gòu)成處理區(qū)域，則振動(dòng)器的振動(dòng)力難以均勻地傳遞至振動(dòng)板的整體面積，并且在距離振動(dòng)器相對(duì)遠(yuǎn)的位置上可能會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)信號(hào)的歪曲，由此，難以將各個(gè)振動(dòng)區(qū)域準(zhǔn)確地形成于想要的位置。但是，在本實(shí)用新型中，由多個(gè)振動(dòng)板構(gòu)成處理區(qū)域，并且各個(gè)振動(dòng)板分別個(gè)別地得到振動(dòng)，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，在沒有因距離而導(dǎo)致的振動(dòng)信號(hào)的歪曲的狀態(tài)下，在各個(gè)振動(dòng)板將各個(gè)振動(dòng)區(qū)域準(zhǔn)確地形成于想要的位置。

優(yōu)選地，配置有藥液涂敷單元的中間位置區(qū)域以第一位置和第二位置的正中間為中心，并且具有小于第一位置和第二位置的間隔長度L1的80％的長度。更為優(yōu)選地，藥液涂敷單元配置于第一位置和第二位置的正中間位置。如上所述，將藥液涂敷單元配置于在振動(dòng)板上振幅相對(duì)較低的第一位置和第二位置的中間位置區(qū)域(特別是，正中間)，據(jù)此，可得到的效果在于，在實(shí)質(zhì)上藥液被涂敷于基板的地點(diǎn)使得因振動(dòng)而產(chǎn)生的影響最小化，從而在保證藥液的涂敷均勻性的同時(shí)，抑制污點(diǎn)。

換句話說，在作用于基板的懸浮力(振動(dòng)能量)以最大的形式起作用的區(qū)域(例如，第一位置或第二位置)中因懸浮力而產(chǎn)生的振動(dòng)產(chǎn)生得最大，但是，存在的問題在于，若在懸浮力以較大的形式作用于基板的區(qū)域中進(jìn)行藥液的涂敷，則因?yàn)橛捎谡駝?dòng)而產(chǎn)生的影響，所以藥液無法均勻地得到涂敷，并產(chǎn)生污點(diǎn)。但是，在本實(shí)用新型中，在受到因振動(dòng)而產(chǎn)生的影響最小的第一振動(dòng)區(qū)域和第二振動(dòng)區(qū)域的中間位置區(qū)域(在進(jìn)行平面投影時(shí)不與第一位置以及第二位置重疊的區(qū)域)中藥液得到涂敷，從而可得到的效果在于，可將藥液均勻地涂敷于基板的表面，并且預(yù)先防止因不均勻涂敷而導(dǎo)致的污點(diǎn)。

此外，可包括吸入壓形成部，其在基板沿著第一振動(dòng)板和第二振動(dòng)板被移送期間，將吸入壓施加于基板。

在此，所謂的吸入壓被施加于基板指的是通過用于吸附基板的表面的吸入壓(負(fù)壓)，基板被支撐(以防止移動(dòng)的形式被約束)的狀態(tài)，在吸入壓被施加于基板的狀態(tài)下，可通過因吸入壓而產(chǎn)生的支撐力來最大程度地抑制基板的抖動(dòng)以及晃動(dòng)。

吸入壓形成部可形成為能夠?qū)⑽雺菏┘佑诨宓亩喾N結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地，以與藥液涂敷單元鄰近的形式形成吸入壓形成部，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，抑制在基板上實(shí)現(xiàn)藥液的涂敷的區(qū)域的抖動(dòng)以及晃動(dòng)，從而更加均勻地涂敷藥液。

例如，吸入壓形成部能夠以與藥液涂敷單元的噴嘴邊緣鄰近的形式形成于第一振動(dòng)板和第二振動(dòng)板。不同地，也可將吸入壓形成部形成于基板的上部。在此，吸入壓形成部可形成為槽形態(tài)或孔形態(tài)。

優(yōu)選地，分別將吸入壓形成部形成于沿著基板被移送的方向的藥液涂敷單元的前方及后方，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，在基板上與藥液被涂敷的地點(diǎn)(噴嘴邊緣的下部)鄰近的兩端部位分別可通過吸入壓來得到支撐，從而更加有效地抑制振動(dòng)以及晃動(dòng)。不同地，將吸入壓形成部也可以配置于與藥液涂敷單元相同的線上。

如上所述，根據(jù)本實(shí)用新型，在將藥液涂敷于基板的表面時(shí)，受到因作用于基板的懸浮力而產(chǎn)生的振動(dòng)的影響最小的區(qū)域中藥液得到涂敷，從而可得到的效果在于，在保證藥液的涂敷均勻性的同時(shí)，抑制由于涂敷不均勻而產(chǎn)生的污點(diǎn)。

換句話說，在懸浮力以最大的形式作用于基板的區(qū)域(最大振幅的振動(dòng)能量起作用的區(qū)域)中因懸浮力而產(chǎn)生的振動(dòng)產(chǎn)生得最大，但是存在的問題在于，若在懸浮力以較大的形式作用于基板的區(qū)域中實(shí)現(xiàn)藥液的涂敷，則因?yàn)橛捎谡駝?dòng)而產(chǎn)生的影響，所以藥液無法均勻地得到涂敷并且產(chǎn)生污點(diǎn)。

但是，根據(jù)本實(shí)用新型，在受到因振動(dòng)而產(chǎn)生的影響最小的第一振動(dòng)區(qū)域和第二振動(dòng)區(qū)域的中間位置區(qū)域(在進(jìn)行平面投影時(shí)不與第一振動(dòng)區(qū)域及第二振動(dòng)區(qū)域重疊的區(qū)域)中藥液得到涂敷，從而可得到的效果在于，可將藥液均勻地涂敷于基板的表面，并且預(yù)先防止因不均勻涂敷而導(dǎo)致的污點(diǎn)。

此外，根據(jù)本實(shí)用新型，通過振動(dòng)能量，基板被懸浮，據(jù)此，可得到的效果在于，精致地控制基板的懸浮力，并且沿著基板被移送的方向橫向間隔地配置用于構(gòu)成懸浮單元的振動(dòng)板，從而可均勻地調(diào)節(jié)作用于基板的振動(dòng)能量，并且精致地控制基板的懸浮高度。

此外，根據(jù)本實(shí)用新型，通過吸入壓形成部，吸入壓被施加于基板，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，抑制在基板實(shí)現(xiàn)藥液的涂敷的區(qū)域的抖動(dòng)以及晃動(dòng)，從而更加均勻地涂敷藥液。

此外，根據(jù)本實(shí)用新型，在基板以水平的形式被懸浮的狀態(tài)下，藥液被涂敷，據(jù)此，當(dāng)然可使用較高的粘度(高粘度1000cP以上)的藥液，即使使用較低的粘度(中粘度， 100cP)的藥液，在藥液不往下流的狀態(tài)下，也可均勻地涂敷藥液。

此外，根據(jù)本實(shí)用新型，傾斜的基板的荷重作用于移送部件，因?yàn)橛捎诨宓暮芍囟a(chǎn)生的摩擦力，所以基板通過移送部件來得到移送，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，在沒有類似于真空吸附裝置的較復(fù)雜的設(shè)備的狀態(tài)下，利用基板的自重來使得基板移送。

此外，根據(jù)本實(shí)用新型可得到的有利的效果在于，可形成高品質(zhì)的藥液涂敷層，并使得收率提高。

附圖說明

圖1及圖2是用于說明根據(jù)本實(shí)用新型的第一實(shí)施例的基板處理系統(tǒng)的圖。

圖3及圖4是用于說明圖1的裝載移送部的圖。

圖5及圖6是用于說明圖1的處理移送部的圖。

圖7及圖8是用于說明圖1的卸載移送部的圖。

圖9是用于說明圖1的振動(dòng)板的變形例的圖。

圖10及圖11是用于說明通過圖1的振動(dòng)板使得基板懸浮的過程的圖。

圖12是用于說明根據(jù)本實(shí)用新型的第二實(shí)施例的基板移送裝置的圖。

圖13是用于說明根據(jù)本實(shí)用新型的第三實(shí)施例的基板處理裝置的圖。

圖14至圖16是用于說明圖13的基板處理裝置的第一振動(dòng)區(qū)域與第二振動(dòng)區(qū)域和中間位置區(qū)域的圖。

圖17及圖18是用于說明通過圖13的振動(dòng)板使得基板懸浮的過程的圖。

圖19及圖20是用于說明根據(jù)本實(shí)用新型的第四實(shí)施例的基板處理裝置的圖。

圖21是用于說明根據(jù)本實(shí)用新型的第五實(shí)施例的基板處理裝置的圖。

具體實(shí)施方式

以下，雖然參照附圖對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明，但是本實(shí)用新型并非受到實(shí)施例的限制或限定。作為參考，本說明中相同的標(biāo)號(hào)實(shí)質(zhì)上指代相同的要素，并且在所述規(guī)則下，可引用其他附圖中所記載的內(nèi)容來說明，并且可省略對(duì)于從業(yè)者判斷為顯而易見的或反復(fù)出現(xiàn)的內(nèi)容。

圖1及圖2是用于說明根據(jù)本實(shí)用新型的第一實(shí)施例的基板處理系統(tǒng)的圖。此外，圖3及圖4是用于說明圖1的裝載移送部的圖，圖5及圖6是用于說明圖1的處理移送部的圖，圖7及圖8是用于說明圖1的卸載移送部的圖。此外，圖9是用于說明圖1的振動(dòng)板的變形例的圖，圖10及圖11是用于說明通過圖1的振動(dòng)板使得基板懸浮的過程的圖。

參照?qǐng)D1至圖11，根據(jù)本實(shí)用新型的第一實(shí)施例的對(duì)針對(duì)被處理基板10的藥液涂敷工藝進(jìn)行處理的基板處理系統(tǒng)1包括：基板移送部100，其包括多個(gè)振動(dòng)板112、122、 132與多個(gè)振動(dòng)器114、124、134，并且利用通過超聲波而產(chǎn)生的振動(dòng)能量來將基板10 以懸浮的狀態(tài)進(jìn)行移送，所述多個(gè)振動(dòng)板112、122、132以獨(dú)立地被分割的形式被隔開，所述多個(gè)振動(dòng)器114、124、134分別以獨(dú)立的形式使得多個(gè)振動(dòng)板112、122、132振動(dòng)；控制部200，其個(gè)別地對(duì)通過多個(gè)振動(dòng)板112、122、132而產(chǎn)生的懸浮力進(jìn)行控制；藥液涂敷單元300，其配置于振動(dòng)板122間的以一定間距隔開的間隔區(qū)域122a，并且將藥液涂敷于基板10的表面。

基板移送部100的設(shè)置是為了利用通過超聲波而產(chǎn)生的振動(dòng)能量來將基板10以懸浮的狀態(tài)進(jìn)行移送。

基板移送部100包括：多個(gè)振動(dòng)板，其以獨(dú)立的形式被分割；多個(gè)振動(dòng)器，其分別以獨(dú)立的形式使得多個(gè)振動(dòng)板振動(dòng)。

在此，所謂的多個(gè)振動(dòng)板112、122、132以獨(dú)立的形式被分割指的是，多個(gè)振動(dòng)板 112、122、132以相互隔開的形式配置，并且通過多個(gè)振動(dòng)板112、122、132而產(chǎn)生的懸浮力分別個(gè)別地作用于基板10。此外，所謂的多個(gè)振動(dòng)器114、124、134分別以獨(dú)立的形式使得多個(gè)振動(dòng)板112、122、132振動(dòng)指的是分別在每個(gè)多個(gè)振動(dòng)板112、122、132 中安裝一個(gè)振動(dòng)器114、124、134。

以下，舉例說明如下構(gòu)成：基板移送部100包括：裝載移送部110，其裝載基板10；處理移送部120，其在基板10的表面涂敷藥液；卸載移送部130，涂敷有藥液的基板1 0卸載于所示卸載移送部130。

作為參考，在清洗處理單元中完成清洗工藝的基板10隨著裝載移送部110被移送至處理移送部120，并且在移送至處理移送部120的基板10的表面涂敷藥液。之后，涂敷有藥液的基板10在隨著卸載移送部130被移送期間，通過加熱干燥單元來得到加熱，由此藥液得到干燥。

作為參考，在本實(shí)用新型的實(shí)施例中，舉例說明如下構(gòu)成：基板移送部包括多個(gè)振動(dòng)板和多個(gè)振動(dòng)器，并利用通過超聲波而產(chǎn)生的振動(dòng)能量來使得基板懸浮，但是根據(jù)不同的情況，作為獨(dú)立地被分割并個(gè)別地使得基板懸浮的基板移送部的懸浮部也可使用氣體噴射部，所述氣體噴射部噴射氣體從而使得基板懸浮。不同地，也可構(gòu)成為多個(gè)懸浮部利用磁力來使得基板懸浮。

更為具體地，參照?qǐng)D3及圖4，裝載移送部110包括多個(gè)第一振動(dòng)板112，所述多個(gè)第一振動(dòng)板112以獨(dú)立的形式被分割。

多個(gè)第一振動(dòng)板112沿著基板10的移動(dòng)路徑以間隔規(guī)定間距并相互隔開的形式配置，并且利用通過超聲波而產(chǎn)生的振動(dòng)能量來相互協(xié)助地使得基板10懸浮。

在此，所謂的基板10被懸浮指的是基板10以間隔規(guī)定間距的形式浮于空中的狀態(tài)，并且懸浮于第一振動(dòng)板112的上部的基板10通過沿著移送軌道102a進(jìn)行直線移動(dòng)的移送部件102來得到移送。

并且，所謂的多個(gè)第一振動(dòng)板112相互協(xié)助地使得基板10懸浮指的是通過至少兩個(gè)以上的第一振動(dòng)板112而產(chǎn)生的懸浮力同時(shí)作用于基板10。

第一振動(dòng)板112根據(jù)所需的條件及設(shè)計(jì)樣式可形成為具有多種形態(tài)及尺寸，并且本實(shí)用新型并非受到第一振動(dòng)板112的形態(tài)及尺寸的限制或限定。

例如，多個(gè)第一振動(dòng)板112相互形成為相同的四角板形狀及尺寸，并且以間隔規(guī)定間距的形式被隔開配置，在每個(gè)第一振動(dòng)板112的底面安裝有一個(gè)第一振動(dòng)器114，所述第一振動(dòng)器114通過產(chǎn)生超聲波來使得第一振動(dòng)板112振動(dòng)。

如上所述，各個(gè)第一振動(dòng)板112僅通過一個(gè)第一振動(dòng)器114來分別個(gè)別地得到振動(dòng)，據(jù)此，可得到的效果在于，準(zhǔn)確地控制各個(gè)第一振動(dòng)板112的懸浮力。當(dāng)然，雖也可以將多個(gè)振動(dòng)器安裝于一個(gè)第一振動(dòng)板，但是具有如下問題：若多個(gè)振動(dòng)信號(hào)被輸入至一個(gè)第一振動(dòng)板，則因?yàn)橄嗷ゲ煌恼駝?dòng)信號(hào)間的干涉，所以難以準(zhǔn)確地調(diào)節(jié)通過第一振動(dòng)板而產(chǎn)生的懸浮力。但是，在本實(shí)用新型中，各個(gè)第一振動(dòng)板112僅通過一個(gè)第一振動(dòng)器114來得到振動(dòng)，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，在振動(dòng)信號(hào)不被歪曲及干擾的狀態(tài)下，準(zhǔn)確地控制懸浮力。

作為參考，在本實(shí)用新型的實(shí)施例中以多個(gè)第一振動(dòng)板112相互形成為相同的形態(tài)及尺寸為例進(jìn)行說明，但是，根據(jù)不同的情況，也可將多個(gè)第一振動(dòng)板形成為相互不同的形態(tài)及尺寸。

優(yōu)選地，參照?qǐng)D9，多個(gè)第一振動(dòng)板112(或第三振動(dòng)板)中配置于基板10的邊緣的至少任意一個(gè)形成為比其余的振動(dòng)板小的尺寸。如上所述，將配置于最常產(chǎn)生基板1 0的偏轉(zhuǎn)的最外圍邊緣的第一振動(dòng)板112(或第三振動(dòng)板)的尺寸(寬度)比其他的第一振動(dòng)板(或第三振動(dòng)板)形成得小，據(jù)此，不對(duì)基板10的正常懸浮部位(平坦地得到懸浮的部位)造成影響，并且準(zhǔn)確地將可補(bǔ)償偏轉(zhuǎn)的校正的懸浮力只施加于偏轉(zhuǎn)產(chǎn)生部位(基板的邊緣)。

并且，多個(gè)第一振動(dòng)板112能夠以如下形式配置：沿著基板10的移送路徑以一維 (one-dimension)或二維(two dimension)的形式被隔開。

具體地，多個(gè)第一振動(dòng)板112能夠以具有1*n₁(在此n₁是自然數(shù))的一維排列的形式配置，或者以具有(n₂+1)*(n₂+1)(在此，n₂是1以上(n₂≥1)的自然數(shù))的二維排列的形式配置。此時(shí)，多個(gè)第一振動(dòng)板112的行(基板10被移送的方向)與列(與基板10被移送的方向呈垂直的方向)的個(gè)數(shù)可根據(jù)第一振動(dòng)板112的尺寸以及設(shè)計(jì)樣式進(jìn)行多種變更。根據(jù)不同的情況，多個(gè)第一振動(dòng)板可配置為其他不同的排列，并且本實(shí)用新型并非受到第一振動(dòng)板的排列的限制或限定。

移送部件102可構(gòu)成為沿著移送軌道102a進(jìn)行直線移動(dòng)。假設(shè)，移送軌道以交替的形式排列有N極與S極的永久磁鐵，并且可用通過施加于移送部件120'的線圈的電流控制而可進(jìn)行精確的位置控制的線性馬達(dá)的原理來得到驅(qū)動(dòng)。

參照?qǐng)D5及圖6，處理移送部120包括多個(gè)第二振動(dòng)板122，所述多個(gè)第二振動(dòng)板 122以獨(dú)立的形式被分割。

多個(gè)第二振動(dòng)板122沿著基板10的移動(dòng)路徑以間隔規(guī)定間距并相互隔開的形式配置，并且利用通過超聲波而產(chǎn)生的振動(dòng)能量來相互協(xié)助地使得基板10懸浮。

在此，所謂的多個(gè)第二振動(dòng)板122相互協(xié)助地使得基板10懸浮指的是通過至少兩個(gè)以上的第二振動(dòng)板122而產(chǎn)生的懸浮力同時(shí)作用于基板10。并且，懸浮于第二振動(dòng)板1 22的上部的基板10通過沿著移送軌道102a進(jìn)行直線移動(dòng)的移送部件102來得到移送。

第二振動(dòng)板122根據(jù)所需的條件及設(shè)計(jì)樣式可形成為具有多種形態(tài)及尺寸，并且本實(shí)用新型并非受到第二振動(dòng)板122的形態(tài)及尺寸的限制或限定。

例如，多個(gè)第二振動(dòng)板122相互形成為相同的四角板形狀及尺寸，并且以間隔規(guī)定間距并被隔開的形式配置，在每個(gè)第二振動(dòng)板122的底面安裝有一個(gè)第二振動(dòng)器124，所述第二振動(dòng)器124通過產(chǎn)生超聲波來使得第二振動(dòng)板122振動(dòng)。

作為參考，在本實(shí)用新型的實(shí)施例中以多個(gè)第二振動(dòng)板122相互形成為相同的形態(tài)及尺寸為例進(jìn)行說明，但是，根據(jù)不同的情況，也可將多個(gè)第二振動(dòng)板形成為相互不同的形態(tài)及尺寸。

優(yōu)選地，處理移送部120包括至少兩個(gè)第二振動(dòng)板122，所述至少兩個(gè)第二振動(dòng)板1 22沿著基板10被移送的方向間隔地配置，在處理移送部120中通過第二振動(dòng)板122間的被隔開的間隔區(qū)域122a(Z1)藥液被涂敷于所述基板10的表面。根據(jù)不同的情況，多個(gè)第二振動(dòng)板也能夠以二維(例如，四個(gè)第二振動(dòng)板122以2*2的形式得到排列)的形式被隔開地配置。

參照?qǐng)D7及圖8，卸載移送部130包括第三振動(dòng)板132，所述第三振動(dòng)板132以獨(dú)立的形式被分割。

多個(gè)第三振動(dòng)板132沿著基板10的移動(dòng)路徑以間隔規(guī)定間距的形式相互間隔地配置，并且利用通過超聲波而產(chǎn)生的振動(dòng)能量來相互協(xié)助地使得基板10懸浮。

在此，所謂的基板10被懸浮指的是基板10以間隔規(guī)定間距的形式浮于空中的狀態(tài)，并且懸浮于第三振動(dòng)板132的上部的基板10通過沿著移送軌道102a進(jìn)行直線移動(dòng)的移送部件102來得到移送。

并且，所謂的多個(gè)第三振動(dòng)板132相互協(xié)助地使得基板10懸浮指的是通過至少兩個(gè)以上的第三振動(dòng)板132而產(chǎn)生的懸浮力同時(shí)作用于基板10。

第三振動(dòng)板132根據(jù)所需的條件及設(shè)計(jì)樣式可形成為具有多種形態(tài)及尺寸，并且本實(shí)用新型并非受到第三振動(dòng)板132的形態(tài)及尺寸的限制或限定。

例如，多個(gè)第三振動(dòng)板132相互形成為相同的四角板形狀及尺寸，并且以間隔規(guī)定間距的形式被隔開地配置，在每個(gè)第三振動(dòng)板132的底面安裝有一個(gè)第三振動(dòng)器134，所述第三振動(dòng)器134通過產(chǎn)生超聲波來使得第一振動(dòng)板112振動(dòng)。

作為參考，在本實(shí)用新型的實(shí)施例中以多個(gè)第三振動(dòng)板132相互形成為相同的形態(tài)及尺寸為例進(jìn)行說明，但是，根據(jù)不同的情況，也可將多個(gè)第三振動(dòng)板形成為相互不同的形態(tài)及尺寸。

并且，多個(gè)第三振動(dòng)板132能夠以如下形式配置：沿著基板10的移送路徑以一維(o ne-dimension)或二維(two dimension)的形式被隔開。

具體地，多個(gè)第三振動(dòng)板132能夠以具有1*n₁(在此n₁是自然數(shù))的一維排列的形式配置，或者以具有(n₂+1)*(n₂+1)(在此，n₂是1以上(n₂≥1)的自然數(shù))的二維排列的形式配置。此時(shí)，多個(gè)第三振動(dòng)板132的行(基板10被移送的方向)與列(與基板10被移送的方向呈垂直的方向)的個(gè)數(shù)可根據(jù)第一振動(dòng)板112的尺寸以及設(shè)計(jì)樣式進(jìn)行多種變更。根據(jù)不同的情況，多個(gè)第三振動(dòng)板可配置為其他不同的排列，并且本實(shí)用新型并非受到第三振動(dòng)板的排列的限制或限定。

另外，第一振動(dòng)板112至第三振動(dòng)板132可根據(jù)所需的條件及設(shè)計(jì)樣式以多種條件來得到配置。

例如，參照?qǐng)D10，第一振動(dòng)板112至第三振動(dòng)板132相對(duì)于水平面水平地配置，并且基板10能夠以平行于第一振動(dòng)板112至第三振動(dòng)板132的形式懸浮。

在此，所謂的水平面(horizontal plane)指的是相對(duì)于重力方向垂直的平面(或地平面)。

尤其，第二振動(dòng)板122使得基板10以水平的形式懸浮，以便防止在藥液涂敷工藝中藥液往下流，并且藥液可均勻地得到涂敷。如此，由于基板10以水平的形式得到懸浮，因此可在基板10的表面涂敷中粘度或低粘度藥液。例如，在基板10可涂敷具有100cP (centi-poise)的中粘度特性的藥液。

換句話說，如果在基板10以相對(duì)于水平面傾斜地得到懸浮的狀態(tài)下在基板10的表面涂敷中粘度(100cP)藥液，則存在藥液往下流從而藥液難以均勻地涂敷于基板10的表面的問題。但是，由于本實(shí)用新型中基板10以水平的形式得到懸浮，因此即使使用中粘度藥液，藥液也不會(huì)往下流從而可均勻地被涂敷。

作為參考，在本實(shí)用新型的實(shí)施例中，雖然以使用中粘度(100cP)藥液為例進(jìn)行說明，但根據(jù)不同的情況，可使用低于100cP的粘度的低粘度藥液或使用具有1000cP以上的高粘度特性的藥液，并且在使用高粘度藥液的條件下，在使得基板10相對(duì)于水平面傾斜地懸浮的狀態(tài)下可均勻地涂敷藥液。

作為另一個(gè)例子，參照?qǐng)D11，第一振動(dòng)板112至第三振動(dòng)板132以沿著基板10的行進(jìn)方向的一個(gè)側(cè)邊(沿著行進(jìn)方向的左側(cè)邊或右側(cè)邊)為中心以相對(duì)于水平面傾斜的形式配置，并且基板10以平行于第一振動(dòng)板112至第三振動(dòng)板132的形式懸浮。

相對(duì)于水平面的第一振動(dòng)板112至第三振動(dòng)板132的傾斜(tilting)角度(傾斜地得到懸浮的基板的傾斜角度)可根據(jù)所需的條件及設(shè)計(jì)樣式適當(dāng)?shù)刈兏?，且本?shí)用新型并非受到第一振動(dòng)板112至第三振動(dòng)板132的傾斜角度的限制或限定。

并且，基板10的傾斜角度可自由地設(shè)定在能夠防止藥液(例如，1000cP以上的高粘度藥液)往下流的范圍內(nèi)。例如，通過第一振動(dòng)板112至第三振動(dòng)板132的基板10 傾斜角度θ可設(shè)定為2°。

此外，基板10處理裝置1可包括移送部件102'，所述移送部件102'對(duì)相對(duì)于水平面傾斜的基板10的一個(gè)側(cè)邊進(jìn)行支撐并使得基板10移送，并且從第一振動(dòng)板112至第三振動(dòng)板132得到懸浮的基板10以一個(gè)側(cè)邊被移送部件102'支撐(接觸)的狀態(tài)隨著移送部件102'的移動(dòng)而被移送。

在此，所謂傾斜狀態(tài)的基板10的一個(gè)側(cè)邊支撐(接觸)于移送部件102'指的是基板10的荷重W通過基板10的一個(gè)側(cè)邊而作用于移送部件102'。

移送部件102'可形成為能夠?qū)A斜的基板10的一個(gè)側(cè)邊進(jìn)行支撐的多種結(jié)構(gòu)。作為參考，在本實(shí)用新型的實(shí)施例中，雖然以移送部件102'面接觸于傾斜的基板10的一個(gè)側(cè)邊為例進(jìn)行說明，但是根據(jù)不同的情況，也可構(gòu)成為移送部件線接觸于基板10的一個(gè)側(cè)邊或局部地接觸于基板10的一個(gè)側(cè)邊。

例如，移送部件102'可構(gòu)成為沿著移送軌道102a進(jìn)行直線移動(dòng)。假設(shè)，移送軌道1 12以交替的形式排列有N極與S極的永久磁鐵，并且可用通過施加于移送部件102'的線圈的電流控制而可進(jìn)行精確的位置控制的線性馬達(dá)的原理來得到驅(qū)動(dòng)。

如此，本實(shí)用新型可得到的有利的效果在于，傾斜的基板10的荷重W作用于移送部件102'，因?yàn)橛捎诨?0的荷重W而產(chǎn)生的摩擦力，所以基板10通過移送部件102' 來得到移送，據(jù)此，在沒有類似于真空吸附裝置的較復(fù)雜的設(shè)備的狀態(tài)下，利用基板1 0的自重W來使得基板10移送。

并且，在本實(shí)用新型中，由于利用基板10的荷重W來將基板10約束于移送部件10 2'(利用摩擦力來對(duì)相對(duì)移動(dòng)進(jìn)行約束)，換句話說，由于不經(jīng)過復(fù)雜的控制工藝(例如，真空壓力調(diào)節(jié)工藝)，通過使得基板10的一個(gè)側(cè)邊支撐于移送部件102'便可以約束移送部件102'和基板10，因此，可得到的有利的效果在于，簡化結(jié)構(gòu)及處理工藝。

控制部200個(gè)別地對(duì)通過多個(gè)振動(dòng)板(第一振動(dòng)板至第三振動(dòng)板)112、122、132 而產(chǎn)生的懸浮力進(jìn)行控制。

在此，所謂的控制部200個(gè)別地對(duì)通過多個(gè)振動(dòng)板112、122、132而產(chǎn)生的懸浮力進(jìn)行控制指的是，多個(gè)振動(dòng)板112、122、132的懸浮力通過控制部200被開/關(guān)或調(diào)節(jié)。

如上所述，個(gè)別地對(duì)由于相互協(xié)助地使得基板10懸浮的多個(gè)振動(dòng)板112、122、132 而產(chǎn)生的懸浮力進(jìn)行控制，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，根據(jù)工藝條件(例如，基板10的尺寸變化)等，按照各個(gè)部位來調(diào)節(jié)作用于基板10的懸浮力，從而使得基板1 0穩(wěn)定地懸浮。

優(yōu)選地，參照?qǐng)D4及圖8，控制部200選擇性地以相互不同的形式對(duì)通過多個(gè)振動(dòng)板(第一振動(dòng)板至第三振動(dòng)板)112、122、132而產(chǎn)生的懸浮力進(jìn)行控制。如上所述，選擇性地以相互不同的形式對(duì)通過多個(gè)振動(dòng)板(第一振動(dòng)板至第三振動(dòng)板)112、122、 132而產(chǎn)生的懸浮力進(jìn)行控制(以相互不同的形式對(duì)懸浮力的強(qiáng)度進(jìn)行控制)，據(jù)此，可得到的效果在于，按照各個(gè)部位以相互不同的形式對(duì)作用于基板10的懸浮力進(jìn)行調(diào)節(jié)。

尤其，控制部200在相互協(xié)助地使得基板10懸浮的多個(gè)振動(dòng)板112、122、132中對(duì)配置于產(chǎn)生基板10的偏轉(zhuǎn)的部位的至少任意一個(gè)懸浮力以比其余的振動(dòng)板的懸浮力相對(duì)大的形式進(jìn)行控制，據(jù)此，可得到的效果在于，在沒有基板10的部分的偏轉(zhuǎn)的狀態(tài)下，使得基板10平坦地懸浮。

假設(shè)，若使得一定以上較大的尺寸的基板懸浮，則存在在基板的邊緣或中央部部位部分地產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)的問題，并且存在如下問題：因?yàn)橛捎诨宓钠D(zhuǎn)而導(dǎo)致的高度差(藥液涂敷單元與基板之間的距離差異)，所以產(chǎn)生藥液無法均勻地得到涂敷的現(xiàn)象，由于如上所述的藥液的不均勻涂敷從而產(chǎn)生污點(diǎn)。此外，存在的問題在于，若產(chǎn)生基板的偏轉(zhuǎn)，則在藥液被干燥時(shí)，藥液也無法得到均勻地干燥。但是，在本實(shí)用新型中，在多個(gè)振動(dòng)板112、122、132中對(duì)配置于產(chǎn)生基板10的偏轉(zhuǎn)的部位(基板的平坦度產(chǎn)生偏差的部位)的至少任意一個(gè)懸浮力以比其余的振動(dòng)板的懸浮力相對(duì)大的形式進(jìn)行控制，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，使得基板10平坦地懸浮。

例如，參照?qǐng)D4及圖8，控制部200以最大的形式對(duì)配置于最常產(chǎn)生基板10的偏轉(zhuǎn)的部位(基板的邊緣)的第一振動(dòng)板112(或第三振動(dòng)板)的懸浮力進(jìn)行控制，并且以較低的形式對(duì)配置于較少產(chǎn)生基板10的偏轉(zhuǎn)的部位的第一振動(dòng)板112(或第三振動(dòng)板) 的懸浮力進(jìn)行控制，從而可使得基板10平坦地懸浮。并且，通過多個(gè)第一振動(dòng)板112 (或第三振動(dòng)板)而產(chǎn)生的懸浮力能夠以距離偏轉(zhuǎn)產(chǎn)生部分越遠(yuǎn)逐漸越變小的形式得到控制。根據(jù)不同的情況，如圖9所示，也可以只對(duì)配置于最常產(chǎn)生基板10的偏轉(zhuǎn)的最外圍邊緣的第一振動(dòng)板112(或第三振動(dòng)板)的懸浮力以比其他的第一振動(dòng)板大的形式進(jìn)行控制。

藥液涂敷單元300形成為，在基板10以懸浮于第二振動(dòng)板122的上部的狀態(tài)進(jìn)行移動(dòng)期間，將藥液PR涂敷于基板10的表面。

在此，通過藥液涂敷單元300來涂敷藥液的區(qū)域也可以是被處理基板10的整體表面，也可以是被分割為多個(gè)單元區(qū)域的部分。

優(yōu)選地，藥液涂敷單元300配置于第二振動(dòng)板122間的被隔開的間隔區(qū)域122a(Z1)，并且將藥液涂敷于基板10的表面。

更為具體地，在藥液涂敷單元300的底端部形成有與基板10的寬度相對(duì)應(yīng)的長度的狹縫噴嘴，并且狹縫噴嘴的噴嘴邊緣(lip)310配置于第二振動(dòng)板122間的被隔開的間隔區(qū)域122a(Z1)，在間隔區(qū)域122a上將藥液涂敷于基板10的表面。

并且，在藥液涂敷單元300設(shè)置有預(yù)備排出裝置(未示出)，就預(yù)備排出裝置而言，在通過狹縫噴嘴將藥液涂敷于基板10上之前，為了使得殘留于狹縫噴嘴排出口側(cè)的涂敷液脫落，同時(shí)為了以后良好的涂敷，而可沿著排出口預(yù)先形成藥液珠層。

作為參考，在本實(shí)用新型中，所謂的藥液涂敷單元300配置于第二振動(dòng)板122間的被隔開的間隔區(qū)域122a指的是，通過藥液涂敷單元300的藥液涂敷地點(diǎn)沒有與第二振動(dòng)板122重疊(在進(jìn)行平面投影時(shí)相互不重疊)，并且配置于通過第二振動(dòng)板122而產(chǎn)生的懸浮力不起作用或起到最低作用的第二振動(dòng)板122間的被隔開的間隔空間。

優(yōu)選地，將藥液涂敷單元300的噴嘴邊緣(lip)310配置于第二振動(dòng)板122間的被隔開的間隔區(qū)域122a的正中間位置，從而可得的效果在于，在實(shí)質(zhì)上藥液被涂敷于基板10的地點(diǎn)使得因懸浮力而產(chǎn)生的影響(振動(dòng))最小化。

如上所述，本實(shí)用新型中，在受到因作用于基板10的懸浮力(振動(dòng)能量)而產(chǎn)生的振動(dòng)的影響最小的區(qū)域(第二振動(dòng)板122間的被隔開的間隔區(qū)域122a)中藥液得到涂敷，從而可得到的效果在于，在保證藥液的涂敷均勻性的同時(shí)，抑制污點(diǎn)。

換句話說，在作用于基板10的懸浮力(振動(dòng)能量)以最大的形式起作用的區(qū)域(例如，第二振動(dòng)板的上部)中因懸浮力而產(chǎn)生的振動(dòng)產(chǎn)生得最大，但是，存在的問題在于，若在懸浮力以較大的形式作用于基板10的區(qū)域中實(shí)現(xiàn)藥液的涂敷，則因?yàn)橛捎谡駝?dòng)而產(chǎn)生的影響，所以藥液無法均勻地得到涂敷，并產(chǎn)生污點(diǎn)。但是，在本實(shí)用新型中，在受到因振動(dòng)而產(chǎn)生的影響最小的第二振動(dòng)板122間的被隔開的間隔區(qū)域122a(在進(jìn)行平面投影時(shí)不與第二振動(dòng)板重疊的區(qū)域)中藥液得到涂敷，從而可得到的效果在于，可將藥液均勻地涂敷于基板10的表面，并且預(yù)先防止由不均勻涂敷而導(dǎo)致的污點(diǎn)。

另外，圖12是用于說明根據(jù)本實(shí)用新型的第二實(shí)施例的基板移送裝置的圖。并且，對(duì)于與所述構(gòu)成相同及相當(dāng)于相同的部分賦予相同或相當(dāng)于相同的參照標(biāo)號(hào)，并且省略對(duì)其的詳細(xì)說明。

參照?qǐng)D12，根據(jù)本實(shí)用新型的第二實(shí)施例，基板移送裝置可包括吸入壓形成部，所述吸入壓形成部將吸入壓施加于第二振動(dòng)板122間的被隔開的間隔區(qū)域122a。

吸入壓形成部115在基板10沿著第二振動(dòng)板122被移送期間，將吸入壓形成于第二振動(dòng)板122間的間隔區(qū)域122a，從而將吸入壓施加于基板10并能夠抑制基板10的抖動(dòng)以及晃動(dòng)。

在此，所謂的吸入壓被施加于基板10指的是，基板10通過用于吸附基板10的表面的吸入壓(負(fù)壓)被支撐(抑制流動(dòng))的狀態(tài)，在吸入壓被施加于基板10的狀態(tài)下，可通過因吸入壓而產(chǎn)生的支撐力來最大程度地抑制基板10的抖動(dòng)以及晃動(dòng)。

如上所述，在與通過藥液涂敷單元300來涂敷藥液的地點(diǎn)最鄰近的，換句話說，在因振動(dòng)而產(chǎn)生的影響最敏感的第二振動(dòng)板122間的被隔開的間隔區(qū)域122a中形成吸入壓，從而可得到的有利的效果在于，抑制在基板10上實(shí)現(xiàn)藥液的涂敷的區(qū)域的抖動(dòng)以及晃動(dòng)，由此，更加均勻地涂敷藥液。根據(jù)不同的情況，也可在不是第二振動(dòng)板122間的間隔區(qū)域122a，而是其他的被隔開的位置上形成另外的吸入壓形成部。

另外，圖13是用于說明根據(jù)本實(shí)用新型的第三實(shí)施例的基板處理裝置的圖，圖14 至圖16是用于說明圖13的基板處理裝置的第一振動(dòng)區(qū)域與第二振動(dòng)區(qū)域和中間位置區(qū)域的圖，圖17及圖18是用于說明通過圖13的振動(dòng)板使得基板懸浮的過程的圖。

參照?qǐng)D13至圖18，對(duì)針對(duì)根據(jù)本實(shí)用新型第三實(shí)施例的被處理基板1010的藥液涂敷工藝進(jìn)行處理的基板處理裝置1001包括：第一振動(dòng)區(qū)域Z1，其形成于振動(dòng)板1100 上，并通過因超聲波而產(chǎn)生的振動(dòng)能量來使得基板1010懸?。坏诙駝?dòng)區(qū)域Z2，其以與第一振動(dòng)區(qū)域Z1鄰接的形式形成于振動(dòng)板1100上，并且通過因超聲波而產(chǎn)生的振動(dòng)能量來使得基板1010懸??；藥液涂敷單元1300，其配置于第一位置P1和第二位置P2 的中間位置區(qū)域1106(Z3)，并且將藥液涂敷于基板1010的表面，所述第一位置P1 在第一振動(dòng)區(qū)域Z1中以最大振幅進(jìn)行振動(dòng)，所述第二位置P2在第二振動(dòng)區(qū)域Z2中以最大振幅進(jìn)行振動(dòng)。

振動(dòng)板1100沿著基板1010的移送路徑得到配置，并且其設(shè)置是為了利用通過超聲波而產(chǎn)生的振動(dòng)能量來使得基板1010懸浮。

在此，所謂的基板1010被懸浮指的是基板1010以間隔規(guī)定間距的形式浮于空中的狀態(tài)，并且懸浮于振動(dòng)板1100的上部的基板1010通過沿著移送軌道1112進(jìn)行直線移動(dòng)的移送部件1110來得到移送。

振動(dòng)板1100形成為四角板形狀，并且在振動(dòng)板1100的底面安裝有振動(dòng)器，所述振動(dòng)器通過產(chǎn)生超聲波來使得振動(dòng)板1100振動(dòng)。

第一振動(dòng)區(qū)域Z1形成于振動(dòng)板1100上，并且通過因超聲波而產(chǎn)生的振動(dòng)能量來使得基板1010懸浮。

在此，所謂的第一振動(dòng)區(qū)域Z1指的是產(chǎn)生用于使得基板1010懸浮的振動(dòng)能量的振動(dòng)區(qū)域。第一振動(dòng)區(qū)域Z1的振幅1102形成為沿著基板1010被移送的方向具有大致單相半波(half-wave)形狀，并且在第一振動(dòng)區(qū)域Z1的正中央(第一位置)振幅的振動(dòng)能量產(chǎn)生得最大。

并且，第一振動(dòng)區(qū)域Z1沿著與基板1010被移送的方向呈垂直的方向連續(xù)地形成，第一振動(dòng)區(qū)域Z1的振幅以及條件根據(jù)從振動(dòng)器施加的振動(dòng)頻率可適當(dāng)?shù)氐玫秸{(diào)節(jié)。

第二振動(dòng)區(qū)域Z2以與第一振動(dòng)區(qū)域Z1鄰接的形式形成于振動(dòng)板1100上，并且通過因超聲波而產(chǎn)生的振動(dòng)能量來使得基板1010懸浮。

在此，所謂的第二振動(dòng)區(qū)域Z2指的是，與第一振動(dòng)區(qū)域Z1一樣，產(chǎn)生用于使得基板1010懸浮的振動(dòng)能量的振動(dòng)區(qū)域。第二振動(dòng)區(qū)域Z2的振幅1104形成為沿著基板10 10被移送的方向具有大致單相半波(half-wave)形狀，并且在第二振動(dòng)區(qū)域Z2的正中央(第二位置)振幅的振動(dòng)能量產(chǎn)生得最大。

并且，所謂的第二振動(dòng)區(qū)域Z2以與第一振動(dòng)區(qū)域Z1鄰接的形式形成指的是第二振動(dòng)區(qū)域Z2的一部分區(qū)間與第一振動(dòng)區(qū)域Z1的一部分區(qū)間以相互重疊的形式配置。

并且，第二振動(dòng)區(qū)域Z2沿著與基板1010被移送的方向呈垂直的方向連續(xù)地形成，第二振動(dòng)區(qū)域Z2的振幅以及條件根據(jù)從振動(dòng)器施加的振動(dòng)頻率可適當(dāng)?shù)氐玫秸{(diào)節(jié)。

藥液涂敷單元1300形成為，在基板1010以懸浮于振動(dòng)板1100的上部的狀態(tài)進(jìn)行移動(dòng)期間，將藥液PR涂敷于基板1010的表面，并且配置于第一位置P1和第二位置P2的中間位置區(qū)域1106(Z3)，所述第一位置P1在第一振動(dòng)區(qū)域Z1中以最大振幅進(jìn)行振動(dòng)，所述第二位置P2在第二振動(dòng)區(qū)域Z2中以最大振幅進(jìn)行振動(dòng)。

在此，通過藥液涂敷單元1300來涂敷藥液的區(qū)域也可以是被處理基板1010的整體表面，也可以是被分割為多個(gè)單元區(qū)域的部分。

具體地，藥液涂敷單元1300設(shè)置為與設(shè)置于基板1010的移送路徑兩側(cè)的起重機(jī)架 (gantry)結(jié)合，將藥液涂敷于基板1010的表面，并配置于中間位置區(qū)域Z3，從而在中間位置區(qū)域Z3上將藥液涂敷于基板1010的表面。

在藥液涂敷單元1300的底端部形成有與基板1010的寬度相對(duì)應(yīng)的長度的狹縫噴嘴，并且狹縫噴嘴的噴嘴邊緣(lip)1310配置于第一振動(dòng)區(qū)域Z1的第一位置P1和第二振動(dòng)區(qū)域Z2的第二位置P2的中間位置區(qū)域Z3，并且在中間位置區(qū)域Z3中將藥液涂敷于基板1010的表面。

并且，在藥液涂敷單元1300設(shè)置有預(yù)備排出裝置(未示出)，就預(yù)備排出裝置而言，在通過狹縫噴嘴將藥液涂敷于基板1010上之前，為了使得殘留于狹縫噴嘴排出口側(cè)的涂敷液脫落，同時(shí)為了以后良好的涂敷，而可沿著排出口預(yù)先形成藥液珠層。

作為參考，在本實(shí)用新型中，所謂的藥液涂敷單元1300配置于第一位置P1和第二位置P2的中間位置區(qū)域Z3，所述第一位置P1在第一振動(dòng)區(qū)域Z1中以最大振幅進(jìn)行振動(dòng)，所述第二位置P2在第二振動(dòng)區(qū)域Z2中以最大振幅進(jìn)行振動(dòng)指的是，通過藥液涂敷單元1300的藥液涂敷地點(diǎn)沒有與作為最大振幅地點(diǎn)的第一位置P1或第二位置P2最大程度地重疊，而是配置于振幅相對(duì)較低的第一位置P1和第二位置P2的間隔部位。

優(yōu)選地，配置有藥液涂敷單元1300的中間位置區(qū)域Z3以第一位置P1和第二位置 P2的正中間P3為中心，并且具有小于第一位置P1和第二位置P2的間隔長度L1的80％的長度。換句話說，中間位置區(qū)域Z3的一側(cè)與第一位置P1隔開的距離為大于間隔長度 L1的20％，中間位置區(qū)域Z3的其他側(cè)與第二位置P2隔開的距離為大于間隔長度L1的 20％。

更為優(yōu)選地，藥液涂敷單元1300配置于第一位置P1和第二位置P2的正中間P3。如此，將藥液涂敷單元1300配置于在振動(dòng)板1100中具有相對(duì)最低振幅的第一位置P1 和第二位置P2的正中間P3，據(jù)此，可得到的效果在于，在實(shí)質(zhì)上藥液被涂敷于基板1010 的地點(diǎn)使得因振動(dòng)而產(chǎn)生的影響最小化。

如上所述，本實(shí)用新型中，在受到因作用于基板1010的懸浮力(振動(dòng)能量)而產(chǎn)生的振動(dòng)的影響最小的區(qū)域(第一振動(dòng)區(qū)域Z1和第二振動(dòng)區(qū)域Z2的中間位置區(qū)域Z3)中藥液得到涂敷，從而可得到的效果在于，在保證藥液的涂敷均勻性的同時(shí)，抑制污點(diǎn)。

換句話說，在作用于基板1010的懸浮力(振動(dòng)能量)的作用最大的區(qū)域(例如，第一位置或第二位置)中因懸浮力而產(chǎn)生的振動(dòng)產(chǎn)生得最大，但是，存在的問題在于，若在懸浮力以較大的形式作用于基板1010的區(qū)域中實(shí)現(xiàn)藥液的涂敷，則因?yàn)橛捎谡駝?dòng)而產(chǎn)生的影響，所以藥液無法均勻地得到涂敷，并產(chǎn)生污點(diǎn)。但是，在本實(shí)用新型中，在受到因振動(dòng)而產(chǎn)生的影響最小的第一振動(dòng)區(qū)域Z1和第二振動(dòng)區(qū)域Z2的中間位置區(qū)域 (在進(jìn)行平面投影時(shí)不與第一位置以及第二位置重疊的區(qū)域)Z3中藥液得到涂敷，從而可得到的效果在于，可將藥液均勻地涂敷于基板1010的表面，并且預(yù)先防止因不均勻涂敷而導(dǎo)致的污點(diǎn)。

另外，垂直于基板1010被移送的方向的振動(dòng)板1100的第一寬度(豎直方向?qū)挾? W1以比垂直于基板1010被移送的方向的基板1010的第二寬度(豎直方向?qū)挾?W2大或相同的形式形成，基板1010的第二寬度W2位于振動(dòng)板1100的第一寬度W1的區(qū)域內(nèi)。

如上所述，由于以比基板1010的第二寬度W2大或相同的形式形成振動(dòng)板1100的第一寬度W1，因此可得到的效果在于，更為均勻地調(diào)節(jié)通過振動(dòng)板1100來作用于基板10 10的振動(dòng)能量，并更為精致地調(diào)節(jié)基板1010的懸浮力。

換句話說，若振動(dòng)板1100以一定以上的較大的尺寸(例如，大于基板1010的面積) 形成，則難以在振動(dòng)板1100的整個(gè)面上均勻地保持振動(dòng)能量，因此難以精致地調(diào)節(jié)基板1010的懸浮力。反之，若振動(dòng)板1100以較小的尺寸形成，則有利于在振動(dòng)板1100 整個(gè)面上均勻地保持振動(dòng)能量，但存在的問題在于，難以使得各個(gè)振動(dòng)板1100的振動(dòng)條件相互完美地保持一致，因而在基板1010通過各個(gè)振動(dòng)板1100之間的縫隙時(shí)，由于各個(gè)振動(dòng)板1100的振動(dòng)偏差而導(dǎo)致產(chǎn)生微小的抖動(dòng)(terminal effect)。

據(jù)此，在本實(shí)用新型中可得到的效果在于，垂直于基板1010被移送的方向的振動(dòng)板 1100的第一寬度(豎直方向?qū)挾?W1以比垂直于基板1010被移送的方向的基板1010 的第二寬度(豎直方向?qū)挾?W2大或相同的形式形成，且沿著基板1010被移送的方向橫向間隔地配置振動(dòng)板1100，據(jù)此在基板1010被移送期間，沿著基板1010的第二寬度 W2方向，只有由一個(gè)振動(dòng)板1100而產(chǎn)生的振動(dòng)能量作用于基板1010，由此，可均勻地調(diào)節(jié)作用于基板1010的振動(dòng)能量，并精致地控制基板1010的懸浮高度。

當(dāng)然，雖然也可以以比基板1010的第二寬度(豎直方向?qū)挾?小的形式形成振動(dòng)板 1100的第一寬度(豎直方向?qū)挾?，并且沿著垂直于基板1010被移送的方向的豎向間隔地配置多個(gè)振動(dòng)板1100，但在所述情況下，由沿著基板1010的第二寬度(豎直方向?qū)挾?W2方向的振動(dòng)偏差所引起的抖動(dòng)(terminal effect)和由沿著基板1010的第一寬度(水平方向?qū)挾?W2'方向的振動(dòng)偏差所引起的抖動(dòng)全都作用于基板1010，因而，可能難以均勻地調(diào)節(jié)施加于基板1010的振動(dòng)能量。但是，在本實(shí)用新型中可得到的有利的效果在于，沿著基板1010的第二寬度W2方向，僅由一個(gè)振動(dòng)板1100而產(chǎn)生的振動(dòng)能量作用于基板1010，由此防止由沿著基板1010的第二寬度(豎直方向?qū)挾?方向的振動(dòng)偏差所引起的抖動(dòng)，并均勻地調(diào)節(jié)施加于基板1010的振動(dòng)能量。

另外，雖然沿著基板1010的第一寬度W2'方向，由于各個(gè)振動(dòng)板1100之間的縫隙可能會(huì)產(chǎn)生末端效應(yīng)(terminal effect)，但是沿著基板1010的第一寬度W2'方向(移送方向)的末端效應(yīng)沿著基板1010的第一寬度W2'方向規(guī)則地被產(chǎn)生，因此平均化的末端效應(yīng)可作用于基板1010的整個(gè)表面。

另外，振動(dòng)板1100可根據(jù)所需的條件及設(shè)計(jì)樣式以多種條件來得到配置。

例如，參照?qǐng)D17，振動(dòng)板1100相對(duì)于水平面水平地配置，基板1010能夠以平行于振動(dòng)板1100的形式懸浮。

在此，所謂的水平面(horizontal plane)指的是相對(duì)于重力方向垂直的平面(或地平面)。

振動(dòng)板1100使得基板1010以水平的形式懸浮，以便防止在藥液涂敷工藝中藥液往下流，并且藥液可均勻地得到涂敷。如此，由于基板1010以水平的形式得到懸浮，因此可在基板1010的表面涂敷中粘度或低粘度藥液。例如，在基板1010可涂敷具有100cP (centi-poise)的中粘度特性的藥液。

換句話說，如果在基板1010以相對(duì)于水平面傾斜地得到懸浮的狀態(tài)下在基板1010 的表面涂敷中粘度(1100cP)藥液，則存在藥液往下流從而藥液難以均勻地涂敷于基板 1010的表面的問題。但是，由于本實(shí)用新型中基板1010以水平的形式得到懸浮，因此即使使用中粘度藥液，藥液也不會(huì)往下流從而可均勻地被涂敷。

作為參考，在本實(shí)用新型的實(shí)施例中，雖然以使用中粘度(1100cP)藥液為例進(jìn)行說明，但根據(jù)不同的情況，可使用低于100cP的粘度的低粘度藥液或使用具有1000cP 以上的高粘度特性的藥液，并且在使用高粘度藥液的條件下，在使得基板相對(duì)于水平面傾斜地懸浮的狀態(tài)下可均勻地涂敷藥液。

作為另一個(gè)例子，參照?qǐng)D18，振動(dòng)板1100以沿著基板1010的行進(jìn)方向的一個(gè)側(cè)邊 (沿著行進(jìn)方向的左側(cè)邊或右側(cè)邊)為中心以相對(duì)于水平面傾斜的形式配置，并且基板 1010以平行于振動(dòng)板1100的形式懸浮。

相對(duì)于水平面的振動(dòng)板1100的傾斜(tilting)角度(傾斜地得到懸浮的基板1010 的傾斜角度)可根據(jù)所需的條件及設(shè)計(jì)樣式適當(dāng)?shù)刈兏?，且本?shí)用新型并非受到振動(dòng)板 1100的傾斜角度的限制或限定。

并且，基板1010的傾斜角度可自由地設(shè)定在能夠防止藥液(例如，1000cP以上的高粘度藥液)往下流的范圍內(nèi)。例如，通過振動(dòng)板1100的基板1010的傾斜角度θ可設(shè)定為2°。

此外，基板處理裝置1001可包括移送部件1110'，所述移送部件1110'對(duì)相對(duì)于水平面傾斜地傾轉(zhuǎn)的基板1010的一個(gè)側(cè)邊進(jìn)行支撐并使得基板1010移送，從振動(dòng)板1100 得到懸浮的基板1010能夠以一個(gè)側(cè)邊被移送部件1110'支撐(接觸)的狀態(tài)隨著移送部件1110'的移動(dòng)而被移送。

在此，所謂傾斜狀態(tài)的基板1010的一個(gè)側(cè)邊支撐(接觸)于移送部件1110'指的是基板1010的荷重W通過基板1010的一個(gè)側(cè)邊而作用于移送部件1110'。

移送部件1110'可形成為能夠?qū)A斜的基板1010的一個(gè)側(cè)邊進(jìn)行支撐的多種結(jié)構(gòu)。作為參考，在本實(shí)用新型的實(shí)施例中，雖然以移送部件1110'面接觸于傾斜的基板1010 的一個(gè)側(cè)邊為例進(jìn)行說明，但是根據(jù)不同的情況，移送部件也可構(gòu)成為線接觸于基板的一個(gè)側(cè)邊或局部地接觸于基板的一個(gè)側(cè)邊。

例如，移送部件1110'可構(gòu)成為沿著移送軌道1112進(jìn)行直線移動(dòng)。假設(shè)，移送軌道 1112以交替的形式排列有N極與S極的永久磁鐵，并且可用通過施加于移送部件1110' 的線圈的電流控制而可進(jìn)行精確的位置控制的線性馬達(dá)的原理來得到驅(qū)動(dòng)。

如此，本實(shí)用新型中，傾斜的基板1010的荷重W作用于移送部件1110'，因?yàn)橛捎诨?010的荷重W而產(chǎn)生的摩擦力，所以基板1010通過移送部件1110'來得到移送，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，在沒有類似于真空吸附裝置的較復(fù)雜的設(shè)備的狀態(tài)下，利用基板1010的自重W來使得基板1010移送。

并且，在本實(shí)用新型中，利用基板1010的荷重W來將基板1010約束于移送部件1110' (利用摩擦力來對(duì)相對(duì)移動(dòng)進(jìn)行約束)，換句話說，不經(jīng)過復(fù)雜的控制工藝(例如，真空壓力調(diào)節(jié)工藝)的情況下，將基板1010的一個(gè)側(cè)邊支撐于移送部件1110'便可以約束移送部件1110'和基板1010，因此，可得到的有利的效果在于，簡化結(jié)構(gòu)及處理工藝。

另外，圖19及圖20是用于說明根據(jù)本實(shí)用新型的第四實(shí)施例的基板處理裝置的圖。并且，對(duì)于與所述構(gòu)成相同及相當(dāng)于相同的部分賦予相同或相當(dāng)于相同的參照標(biāo)號(hào)，并且省略對(duì)其的詳細(xì)說明。

參照?qǐng)D19及圖20，根據(jù)本實(shí)用新型的第四實(shí)施例的基板處理裝置包括：第一振動(dòng)區(qū)域Z1，其形成于振動(dòng)板1100上，并通過因超聲波而產(chǎn)生的振動(dòng)能量來使得基板1010 懸??；第二振動(dòng)區(qū)域Z2，其以與第一振動(dòng)區(qū)域Z1鄰接的形式形成于振動(dòng)板1100上，并且通過因超聲波而產(chǎn)生的振動(dòng)能量來使得基板1010懸??；藥液涂敷單元1300，其配置于第一位置P1和第二位置P2的中間位置區(qū)域Z3，并且將藥液涂敷于基板1010的表面，所述第一位置P1在第一振動(dòng)區(qū)域Z1中以最大振幅進(jìn)行振動(dòng)，所述第二位置P2在第二振動(dòng)區(qū)域Z2中以最大振幅進(jìn)行振動(dòng)；吸入壓形成部1115，其在基板1010沿著振動(dòng)板 1100被移送期間，將吸入壓施加于基板1010。

吸入壓形成部1115在基板1010沿著振動(dòng)板1100被移送期間，將吸入壓施加于基板 1010，從而能夠抑制基板1010的抖動(dòng)以及晃動(dòng)。

在此，所謂的吸入壓被施加于基板1010指的是，基板1010通過用于吸附基板1010 的表面的吸入壓(負(fù)壓)來被支撐(以防止移動(dòng)的形式被約束)的狀態(tài)，在吸入壓被施加于基板1010的狀態(tài)下，可通過因吸入壓而產(chǎn)生的支撐力來最大程度地抑制基板1010 的抖動(dòng)以及晃動(dòng)。

吸入壓形成部1115可形成為能夠?qū)⑽雺菏┘佑诨?010的多種結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地，以與藥液涂敷單元1300鄰近的形式形成吸入壓形成部1115，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，抑制在基板1010上實(shí)現(xiàn)藥液的涂敷的區(qū)域的抖動(dòng)以及晃動(dòng)，從而更加均勻地涂敷藥液。

例如，吸入壓形成部1115能夠以與藥液涂敷單元1300的噴嘴邊緣1310鄰近的形式形成于振動(dòng)板1100(例如，振動(dòng)板)。不同地，也可將吸入壓形成部形成于基板的上部。

吸入壓形成部1115可形成為槽形態(tài)(參照?qǐng)D20)或孔形態(tài)(參照?qǐng)D19)，并且本實(shí)用新型并非受到吸入壓形成部1115的結(jié)構(gòu)以及形狀的限制或限定。

優(yōu)選地，如圖19所示，第一吸入壓形成部1115a形成于沿著基板1010被移送的方向的藥液涂敷單元1300的前方，并且將第二吸入壓形成部1115b形成于沿著基板1010 被移送的方向的藥液涂敷單元1300的后方，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，在基板1 010上與藥液被涂敷的地點(diǎn)(噴嘴邊緣的下部)鄰近的兩端部位分別可通過吸入壓來得到支撐，從而更加有效地抑制振動(dòng)以及晃動(dòng)。

不同地，如圖20所示，也可將吸入壓形成部1115配置于與藥液涂敷單元1300相同的線上。在此，所謂的吸入壓形成部1115與藥液涂敷單元1300形成于相同的線上指的是藥液涂敷地點(diǎn)與吸入壓產(chǎn)生部位相互配置于相同的線上。

如上所述，將吸入壓形成部1115和藥液涂敷單元1300配置于相同的線上，從而可得到的效果在于，可有效地抑制在基板1010上實(shí)質(zhì)上藥液被涂敷的地點(diǎn)的抖動(dòng)以及晃動(dòng)，并且提高藥液的涂敷均勻性。

此外，圖21是用于說明根據(jù)本實(shí)用新型的第五實(shí)施例的基板處理裝置的圖。并且，對(duì)于與所述構(gòu)成相同及相當(dāng)于相同的部分賦予相同或相當(dāng)于相同的參照標(biāo)號(hào)，并且省略對(duì)其的詳細(xì)說明。

參照?qǐng)D21，根據(jù)本實(shí)用新型的第五實(shí)施例的基板處理裝置包括第一振動(dòng)板1100a和第二振動(dòng)板1100b，所述第一振動(dòng)板1100a和第二振動(dòng)板1100b相互協(xié)助地形成藥液被涂敷的處理區(qū)域(processing zone)，所述處理區(qū)域配置于藥液涂敷單元1300的下部。

例如，第一振動(dòng)板1100a和第二振動(dòng)板1100b沿著與基板1010被移送的方向呈垂直的方向間隔地被分割，并可相互協(xié)助地形成處理區(qū)域。并且，在第一振動(dòng)板1100a形成有第一-一振動(dòng)區(qū)域1102和第一-二振動(dòng)區(qū)域1104，在第二振動(dòng)板1100b形成有第二- 一振動(dòng)區(qū)域1102'和第二-二振動(dòng)區(qū)域1104'，并且藥液涂敷單元1300的噴嘴邊緣1310 配置于中間位置區(qū)域1106，所述中間位置區(qū)域1106位于第一-一振動(dòng)區(qū)域1102及第二- 一振動(dòng)區(qū)域1102'、第一-二振動(dòng)區(qū)域1104及第二-二振動(dòng)區(qū)域1104'之間。

根據(jù)不同的情況，三個(gè)以上的振動(dòng)板也可形成處理區(qū)域，并且形成處理區(qū)域的振動(dòng)板的個(gè)數(shù)以及結(jié)構(gòu)可根據(jù)所需的條件(例如，振動(dòng)器輸出)而進(jìn)行多種變更。不同地，形成處理區(qū)域的多個(gè)振動(dòng)板也可沿著基板被移送的方向間隔地被分割。

如上所述，由多個(gè)振動(dòng)板來構(gòu)成處理區(qū)域，并且各個(gè)振動(dòng)板分別個(gè)別地得到振動(dòng)，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，在沒有因距離而導(dǎo)致的振動(dòng)信號(hào)的歪曲的狀態(tài)下，在各個(gè)振動(dòng)板將各個(gè)振動(dòng)區(qū)域準(zhǔn)確地形成于想要的位置。

如上所述，雖然參照本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行說明，但是可理解為，如果是相應(yīng)技術(shù)領(lǐng)域的熟練的從業(yè)者，在不超過記載于下述的專利權(quán)利要求書的本實(shí)用新型的思想及領(lǐng)域的范圍內(nèi)可對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行多種修改及變更。

標(biāo)號(hào)說明

1：基板處理系統(tǒng)10：基板

100：基板移送部110：裝載移送部

112：第一振動(dòng)板114：第一振動(dòng)器

120：處理移送部122：第二振動(dòng)板

124：第二振動(dòng)器130：卸載移送部

132：第三振動(dòng)板134：第三振動(dòng)器

200：控制部300：藥液涂敷單元

310：噴嘴邊緣。