本實(shí)用新型涉及起重技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及CVD/PVD設(shè)備專(zhuān)用吊具。

背景技術(shù)：

CVD(chemical vapor deposition，化學(xué)氣相沉積)，是指把含有構(gòu)成薄膜元素的氣態(tài)反應(yīng)劑或液態(tài)反應(yīng)劑的蒸氣及反應(yīng)所需其它氣體引入反應(yīng)室，在襯底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成薄膜的過(guò)程。在超大規(guī)模集成電路中很多薄膜都是采用CVD方法制備。經(jīng)過(guò)CVD處理后，表面處理膜密著性約提高30％，防止高強(qiáng)力鋼的彎曲，拉伸等成形時(shí)產(chǎn)生的刮痕。

PVD(physical vapor deposition，物理氣相沉積)，是指在真空條件下，采用低電壓、大電流的電弧放電技術(shù)，利用氣體放電使靶材蒸發(fā)并使被蒸發(fā)物質(zhì)與氣體都發(fā)生電離，利用電場(chǎng)的加速作用，使被蒸發(fā)物質(zhì)及其反應(yīng)產(chǎn)物沉積在工件上。

當(dāng)前CVD/PVD設(shè)備在利用普通吊耳進(jìn)行吊裝時(shí)，由于普通吊具的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)不合理，在吊裝過(guò)程中容易損壞CVD/PVD設(shè)備，且普通吊具受限于廠(chǎng)房高度，使得CVD/PVD設(shè)備無(wú)法進(jìn)行正常吊裝。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，本實(shí)用新型的目的是提供一種CVD/PVD設(shè)備專(zhuān)用吊具。

根據(jù)本實(shí)用新型提供的CVD/PVD設(shè)備專(zhuān)用吊具，包括：固定卡頭、連接裝置、起吊機(jī)構(gòu)，所述連接裝置與起吊機(jī)構(gòu)的上端部以可拆卸方式安裝成一個(gè)整體結(jié)構(gòu)，該整體結(jié)構(gòu)的上端部與固定卡頭緊固連接。

優(yōu)選地，所述固定卡頭包括：頂部、側(cè)壁、底部以及由頂部、側(cè)壁、底部所圍成的內(nèi)腔，所述頂部上設(shè)置有連接機(jī)構(gòu)，所述連接機(jī)構(gòu)能夠與起重設(shè)備相連。

優(yōu)選地，所述側(cè)壁與底部相對(duì)應(yīng)位置處設(shè)置有安裝缺口；連接裝置與起吊機(jī)構(gòu)裝配成的整體結(jié)構(gòu)的上端部通過(guò)該安裝缺口安裝在固定卡頭的內(nèi)腔中。

優(yōu)選地，所述整體結(jié)構(gòu)的上端部通過(guò)螺栓柱與固定卡頭緊固連接。

優(yōu)選地，所述起吊機(jī)構(gòu)包括：吊鉤和/或T型頭。

優(yōu)選地，所述連接裝置包括：連接頭、圓銷(xiāo)、圓銷(xiāo)套以及壓片；所述連接頭的上端部設(shè)置有凹環(huán)，所述圓銷(xiāo)套設(shè)在該凹環(huán)位置，圓銷(xiāo)套套裝在圓銷(xiāo)外，所述壓片套設(shè)在連接頭的上端部并位于圓銷(xiāo)與圓銷(xiāo)套之間。

優(yōu)選地，還包括鎖緊裝置，所述鎖緊裝置為插銷(xiāo)，所述插銷(xiāo)通過(guò)固定卡頭底部貫穿安裝缺口的預(yù)留臺(tái)階孔將由連接裝置與吊鉤裝配成的整體結(jié)構(gòu)的上端部鎖死在固定卡頭的內(nèi)腔中。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下的有益效果：

本實(shí)用新型提供的專(zhuān)用吊具解決了當(dāng)前市場(chǎng)對(duì)于CVD及PVD設(shè)備的吊裝問(wèn)題，整體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，能夠在不同的廠(chǎng)房高度環(huán)境中使用，解決了因廠(chǎng)房高度不夠造成的對(duì)設(shè)備無(wú)法吊裝的問(wèn)題；并通過(guò)設(shè)置連接裝置，使得起吊機(jī)構(gòu)可以在吊鉤和T型頭之間自由切換。

附圖說(shuō)明

通過(guò)閱讀參照以下附圖對(duì)非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述，本實(shí)用新型的其它特征、目的和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更明顯：

圖1為本實(shí)用新型提供的吊具的側(cè)視圖；

圖2為本實(shí)用新型提供的吊具的固定卡頭內(nèi)腔的局部示意圖；

圖3為本實(shí)用新型提供的吊具的固定卡頭與T型頭的緊固安裝示意圖；

圖中：

1-固定卡頭；

2-T型頭；

3-壓片；

4-圓銷(xiāo)；

5-螺栓柱；

6-插銷(xiāo)；

7-圓銷(xiāo)套。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。以下實(shí)施例將有助于本領(lǐng)域的技術(shù)人員進(jìn)一步理解本實(shí)用新型，但不以任何形式限制本實(shí)用新型。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變化和改進(jìn)。這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。

根據(jù)本實(shí)用新型提供的CVD/PVD專(zhuān)用吊具，包括：固定卡頭1、連接裝置、起吊機(jī)構(gòu)，所述連接裝置與起吊機(jī)構(gòu)的上端部以可拆卸方式安裝成一個(gè)整體結(jié)構(gòu)，該整體結(jié)構(gòu)的上端部與固定卡頭1緊固連接。

所述固定卡頭1包括：頂部、側(cè)壁、底部以及由頂部、側(cè)壁、底部所圍成的內(nèi)腔，所述頂部上設(shè)置有連接機(jī)構(gòu)，所述連接機(jī)構(gòu)能夠與起重設(shè)備相連；所述側(cè)壁與底部相對(duì)應(yīng)位置處設(shè)置有安裝缺口；連接裝置與起吊機(jī)構(gòu)裝配成的整體結(jié)構(gòu)的上端部通過(guò)該安裝缺口安裝在固定卡頭1的內(nèi)腔中。

所述整體結(jié)構(gòu)的上端部通過(guò)螺栓柱5與固定卡頭1緊固連接。

所述起吊機(jī)構(gòu)包括：吊鉤和/或T型頭2。

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型中的技術(shù)方案做更加詳細(xì)的說(shuō)明。

如圖1、圖2所示，所述連接裝置包括：連接頭、圓銷(xiāo)4、圓銷(xiāo)套7以及壓片3；所述連接頭的上端部(柄部)設(shè)置有凹環(huán)，所述圓銷(xiāo)4設(shè)在該凹環(huán)位置，圓銷(xiāo)套7套裝在圓銷(xiāo)4外，所述壓片3套設(shè)在連接頭的上端部并位于圓銷(xiāo)4與圓銷(xiāo)套7之間。

如圖3所示，本實(shí)用新型中的CVD/PVD專(zhuān)用吊具還包括鎖緊裝置，所述鎖緊裝置為插銷(xiāo)6，所述插銷(xiāo)6通過(guò)固定卡頭1底部貫穿安裝缺口的預(yù)留臺(tái)階孔將由連接裝置與吊鉤裝配成的整體結(jié)構(gòu)的上端部鎖死在固定卡頭1的內(nèi)腔中。

本實(shí)用新型提供的專(zhuān)用吊具解決了當(dāng)前市場(chǎng)對(duì)于CVD及PVD設(shè)備的吊裝問(wèn)題，整體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，能夠在不同的廠(chǎng)房高度環(huán)境中使用，解決了因廠(chǎng)房高度不夠造成的對(duì)設(shè)備無(wú)法吊裝的問(wèn)題；并通過(guò)設(shè)置連接裝置，使得起吊機(jī)構(gòu)可以在吊鉤和T型頭之間自由切換。

以上對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例進(jìn)行了描述。需要理解的是，本實(shí)用新型并不局限于上述特定實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在權(quán)利要求的范圍內(nèi)做出各種變化或修改，這并不影響本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)內(nèi)容。在不沖突的情況下，本申請(qǐng)的實(shí)施例和實(shí)施例中的特征可以任意相互組合。