本發(fā)明涉及玻璃基板技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于玻璃基板的傳送裝置及其傳送方法。

背景技術(shù)：

當(dāng)前，隨著技術(shù)的發(fā)展與市場的需求，平板顯示的玻璃基板幅面不斷擴大，厚度不斷變薄，因此在微觀檢查機對平板顯示玻璃基板進(jìn)行傳送時，要求與玻璃基板接觸的每個吸盤吸力大小一致，在傳送過程中若有吸盤沒有吸附在玻璃上，會導(dǎo)致與吸盤之間產(chǎn)生摩擦，導(dǎo)致玻璃基板上出現(xiàn)劃痕，影響產(chǎn)品品質(zhì)，嚴(yán)重時會導(dǎo)致產(chǎn)品報廢。

專利文獻(xiàn)cn106044225a公開的一種玻璃基板傳送裝置包括：氣浮裝置，用于放置所述玻璃基板；定位裝置，用于將在傳送所述玻璃基板前將所述玻璃基板定位在所述氣浮裝置上；以及移動裝置，用于驅(qū)動所述玻璃基板沿所述氣浮裝置移動。該專利使用氣流支撐玻璃基板，避免玻璃基板在運輸過程中與支撐裝置接觸，從而防止造成劃傷和污染，但該專利無法避免玻璃基板運輸過程中玻璃基板和夾持部件之間的摩擦，導(dǎo)致玻璃基板上出現(xiàn)劃痕，影響產(chǎn)品品質(zhì)，另外，該專利無法避免由于細(xì)微地面振動以及不平度導(dǎo)致的摩擦，從而無法避免玻璃基板上出現(xiàn)劃痕。

專利文獻(xiàn)cn205328207u公開的一種玻璃基板的氣浮運輸裝置包括固定臺和工作臺，所述固定臺兩端設(shè)有若干組滾輪，固定臺的中間設(shè)有第一凹槽，第一凹槽內(nèi)安裝有工作臺，工作臺通過u型薄板安裝在固定臺上，所述u型薄板設(shè)有氣流進(jìn)入的通孔，通孔與工作臺下方的第二凹槽連通，在工作臺上設(shè)有若干個壓力腔，壓力腔通過節(jié)流孔與第二凹槽連通，工作臺上方設(shè)有傳送帶，傳送帶上安裝有若干個非接觸式真空吸盤，非接觸式真空吸盤上設(shè)有開關(guān)閥，在靠近第一凹槽的兩個滾輪上設(shè)有傳感器，傳感器與控制器信號連接，控制器與開關(guān)閥信號連接。該專利通過非接觸式真空吸盤吸住玻璃基板帶動玻璃基板運動，但該專利由于非接觸式真空吸盤的夾持的不穩(wěn)定性導(dǎo)致廢品率上升，不利于大規(guī)模生產(chǎn)。

因而如何高效、安全、可靠地傳送玻璃基板且不會在玻璃基板上產(chǎn)生劃痕是玻璃基板領(lǐng)域所要進(jìn)一步解決的問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

為了解決上述問題，本發(fā)明提供了一種用于玻璃基板的傳送裝置及其傳送方法。該裝置不但可以實現(xiàn)高效、安全、可靠地傳送玻璃基板，同時可以克服由于運輸過程中玻璃基板和夾持部件之間的摩擦導(dǎo)致的劃痕問題。采用本發(fā)明的傳送裝置具有高效、經(jīng)濟(jì)的效果，并且自動化、規(guī)模化和便于維護(hù)。

根據(jù)本發(fā)明的一方面，本發(fā)明的用于玻璃基板的傳送裝置包括包括機架和設(shè)在所述機架上將玻璃基板懸浮在空中的氣浮平臺，所述機架經(jīng)由隔震氣囊支承在地面，所述隔震氣囊包括連接機架的上連接板、支承地面的下連接板和設(shè)在所述上連接板和下連接板之間的用于隔絕振動的氣囊，所述氣浮平臺的一側(cè)設(shè)有用于傳送所述玻璃基板的傳送吸盤和驅(qū)動所述傳送吸盤的驅(qū)動機構(gòu)，所述傳送吸盤包括用于同時吸附在玻璃基板表面邊緣處的多個吸盤，由聚醚醚酮制成的所述吸盤的硬度處于150v到200v之間。

在本發(fā)明的一個實施方式中，所述氣囊經(jīng)由閥門連接壓縮空氣源，所述隔震氣囊包括測量機架水平度的感應(yīng)頭和用于控制氣囊進(jìn)氣量的控制器，所述閥門電連接所述控制器，當(dāng)機架下沉觸發(fā)所述感應(yīng)頭，控制器控制閥門開閉以控制氣囊進(jìn)氣量直至所述機架水平。

在本發(fā)明的一個實施方式中，所述隔震氣囊包括調(diào)整機架水平度的調(diào)整螺釘。

在本發(fā)明的一個實施方式中，所述氣囊經(jīng)由閥門連接壓縮空氣源，所述閥門電連接所述控制器。

在本發(fā)明的一個實施方式中，所述機架一側(cè)設(shè)有大理石制成的梁，所述梁的平面度在5微米以內(nèi)，所述梁上設(shè)有所述驅(qū)動機構(gòu)。

在本發(fā)明的一個實施方式中，所述驅(qū)動機構(gòu)包括導(dǎo)軌和驅(qū)動電機，所述驅(qū)動電機驅(qū)動所述傳送吸盤沿著導(dǎo)軌移動。

在本發(fā)明的一個實施方式中，所述驅(qū)動電機為直線電機，所所述傳送吸盤設(shè)在連接板上，所述連接板通過所述直線電機驅(qū)動沿導(dǎo)軌移動。

在本發(fā)明的一個實施方式中，所述傳送吸盤經(jīng)由固定座連接所述連接板，所述固定座設(shè)有用于調(diào)節(jié)吸盤高度的調(diào)節(jié)螺栓，所述傳送吸盤包括16到25個吸盤，每個吸盤高度平面誤差在-5微米到5微米。

在本發(fā)明的一個實施方式中，所述吸盤設(shè)有壓力傳感器，當(dāng)每個吸盤和玻璃基板之間的壓力到達(dá)預(yù)定閾值，所述驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動所述傳送吸盤。

在本發(fā)明的一個實施方式中，所述傳送裝置設(shè)有電連接驅(qū)動機構(gòu)、壓力傳感器和控制器的處理器，所述處理器為通用處理器、數(shù)字信號處理器、專用集成電路asic、現(xiàn)場可編程門陣列fpga、模擬電路或數(shù)字電路，所述處理器包括存儲器，所述存儲器為只讀存儲器rom、隨機存取存儲器ram、快閃存儲器或電子可擦除可編程只讀存儲器eeprom。

根據(jù)本發(fā)明的另一方面，一種使用所述的用于玻璃基板的傳送裝置的傳送方法包括以下步驟：

第一步驟中：調(diào)節(jié)隔震氣囊使得機架水平且隔絕來自地面的振動。

第二步驟中：氣浮平臺將玻璃基板懸浮于空氣中。

第三步驟中：多個吸盤同時吸附在玻璃基板表面邊緣處，經(jīng)由驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動所述吸盤以傳送所述玻璃基板。

采用本發(fā)明的裝置及其方法，可以實現(xiàn)：通過多個吸盤同時吸附玻璃基板能夠?qū)崿F(xiàn)高效、安全、可靠地傳送，通過隔震氣囊隔絕細(xì)微的地面振動的影響以及經(jīng)由如大理石制成的梁、控制器等確保機架水平度，通過硬度處于150v到200v之間由聚醚醚酮制成的吸盤同時吸附且每個吸盤高度保持在同一平面，從而避免了玻璃基板產(chǎn)生劃痕的問題。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的一個實施例的用于玻璃基板的傳送裝置的部分立體示意圖。

圖2為本發(fā)明的一個實施例的用于玻璃基板的傳送裝置的隔震氣囊的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本發(fā)明的一個實施例的用于玻璃基板的傳送裝置的傳送吸盤的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為本發(fā)明的一個實施例的利用所述用于玻璃基板的傳送裝置的傳送方法的步驟示意圖。

具體實施方式

下面將參照附圖更詳細(xì)地描述本發(fā)明的具體實施例。雖然附圖中顯示了本發(fā)明的具體實施例，然而應(yīng)當(dāng)理解，可以以各種形式實現(xiàn)本發(fā)明而不應(yīng)被這里闡述的實施例所限制。相反，提供這些實施例是為了能夠更透徹地理解本發(fā)明，并且能夠?qū)⒈景l(fā)明的范圍完整的傳達(dá)給本領(lǐng)域的技術(shù)人員。

需要說明的是，在說明書及權(quán)利要求當(dāng)中使用了某些詞匯來指稱特定組件。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可以理解，技術(shù)人員可能會用不同名詞來稱呼同一個組件。本說明書及權(quán)利要求并不以名詞的差異來作為區(qū)分組件的方式，而是以組件在功能上的差異來作為區(qū)分的準(zhǔn)則。如在通篇說明書及權(quán)利要求當(dāng)中所提及的“包含”或“包括”為一開放式用語，故應(yīng)解釋成“包含但不限定于”。說明書后續(xù)描述為實施本發(fā)明的較佳實施方式，然所述描述乃以說明書的一般原則為目的，并非用以限定本發(fā)明的范圍。本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視所附權(quán)利要求所界定者為準(zhǔn)。

下面結(jié)合實施例及附圖，對本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說明，但本發(fā)明的實施方式不僅限于此。

圖1為本發(fā)明的一個實施例的用于玻璃基板的傳送裝置的立體示意圖，如圖1所示，本實施例中的用于玻璃基板的傳送裝置包括機架7和設(shè)在所述機架7上將玻璃基板6懸浮在空中的氣浮平臺9，所述機架7經(jīng)由隔震氣囊8支承在地面，所述隔震氣囊8包括連接機架7的上連接板15、支承地面的下連接板11和設(shè)在所述上連接板15和下連接板11之間的用于隔絕振動的氣囊19，所述氣浮平臺9的一側(cè)設(shè)有用于傳送所述玻璃基板6的傳送吸盤5和驅(qū)動所述傳送吸盤5的驅(qū)動機構(gòu)，所述傳送吸盤5包括用于同時吸附在玻璃基板6表面邊緣處的多個吸盤10，由聚醚醚酮制成的所述吸盤10的硬度處于150v到200v之間。

本發(fā)明的傳送裝置通過隔震氣囊減震，避免了細(xì)微的地面振動影響，隔震氣囊防止地面上的振動傳遞到氣浮平臺上，導(dǎo)致平板顯示玻璃基板與氣浮平臺發(fā)生干涉，在平板顯示玻璃基板移動時產(chǎn)生劃痕。通過多個吸盤同時吸附在玻璃基板表面的邊緣處即實現(xiàn)了平穩(wěn)可靠地傳送，由于吸盤同時吸附不會滑動且硬度處于150v到200v之間的聚醚醚酮制成的所述吸盤10確保與玻璃接觸后不會留下痕跡。本發(fā)明實現(xiàn)了高效、安全、可靠地傳送玻璃基板且不會在玻璃基板上產(chǎn)生劃痕。

圖2為本發(fā)明的一個實施例的用于玻璃基板的傳送裝置的隔震氣囊的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，所述隔震氣囊8包括測量機架7水平度的感應(yīng)頭16和用于控制氣囊進(jìn)氣量的控制器18。通過感應(yīng)頭可以檢測機架7的水平度，如果需要調(diào)整，控制器18根據(jù)感應(yīng)頭16的信號控制氣囊的進(jìn)氣量。當(dāng)機架7下沉觸發(fā)所述感應(yīng)頭16，控制器18控制閥門開閉以控制氣囊進(jìn)氣量直至所述機架7水平。

進(jìn)一步地，所述氣囊19經(jīng)由閥門連接壓縮空氣源，所述閥門電連接所述控制器18。如果需要調(diào)整，控制器18根據(jù)感應(yīng)頭16的信號控制閥門的開啟和開啟時間以氣囊的進(jìn)氣量。

另外，所述隔震氣囊8也可以在工作前即調(diào)整到位，沖入預(yù)定量的空氣使得機架7水平，然后再進(jìn)行傳送。

在一個實施例中，所述隔震氣囊8包括調(diào)整機架水平度的調(diào)整螺釘17。機架7設(shè)置的四個隔震氣囊中，當(dāng)?shù)孛娉霈F(xiàn)細(xì)微下沉或地面與隔震氣囊之間的支乘件在垂直方向發(fā)生位移導(dǎo)致一個隔震氣囊發(fā)生傾斜，通過調(diào)整螺釘調(diào)整機架水平度。

在本發(fā)明的一個實施方式中，所述機架7一側(cè)設(shè)有大理石制成的梁2，所述梁2的平面度在5微米以內(nèi)，所述梁2上設(shè)有所述驅(qū)動機構(gòu)。梁2采用大理石材質(zhì)，平面度5微米以內(nèi)，尺寸受環(huán)境影響很小，保證了本傳送裝置的各部件的水平度。玻璃基板6通過氣浮平臺9懸浮在空氣中，傳送時，吸盤通過驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動。

在本發(fā)明的一個實施方式中，所述驅(qū)動機構(gòu)包括導(dǎo)軌1和驅(qū)動電機3，所述驅(qū)動電機3驅(qū)動所述傳送吸盤5沿著導(dǎo)軌1移動。整體沿導(dǎo)軌方向移動，導(dǎo)軌1固定與梁2上，保證傳送的穩(wěn)定性。

在本發(fā)明的一個實施方式中，所述驅(qū)動電機3為直線電機，所述傳送吸盤5設(shè)在連接板4上，所述連接板4通過所述直線電機驅(qū)動沿導(dǎo)軌1移動。平板顯示玻璃基板放置在氣浮平臺9上，氣浮平臺上將平板顯示玻璃基板懸浮于空氣中，高度2微米，然后傳送吸盤5吸附平板顯示玻璃基板的側(cè)面，直線電機驅(qū)動連接板使傳送吸盤整體沿玻璃傳送方向移動，所有傳送吸盤安裝與連接板4上。

圖3為本發(fā)明的一個實施例的用于玻璃基板的傳送裝置的傳送吸盤的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖3所示，所述傳送吸盤5經(jīng)由固定座13連接所述連接板4，所述固定座13設(shè)有用于調(diào)節(jié)吸盤高度的調(diào)節(jié)螺栓12，所述傳送吸盤5包括16到25個吸盤10，吸盤數(shù)量可根據(jù)平板顯示玻璃基板大小布置不同數(shù)量。每個吸盤10高度平面誤差在-5微米到5微米，保證每個吸盤都能吸附住玻璃，不會產(chǎn)生相對滑動。

在本發(fā)明的一個實施方式中，所述吸盤10設(shè)有壓力傳感器14，當(dāng)每個吸盤10和玻璃基板6之間的壓力到達(dá)預(yù)定閾值，所述驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動所述傳送吸盤5。

在本發(fā)明的一個實施方式中，所述傳送裝置設(shè)有電連接驅(qū)動機構(gòu)、壓力傳感器14和控制器18的處理器，所述處理器為通用處理器、數(shù)字信號處理器、專用集成電路asic、現(xiàn)場可編程門陣列fpga、模擬電路或數(shù)字電路，所述處理器包括存儲器，所述存儲器為只讀存儲器rom、隨機存取存儲器ram、快閃存儲器或電子可擦除可編程只讀存儲器eeprom。通過處理器的自動化控制，本傳送裝置可實現(xiàn)高效可靠地傳送，且更加精確地吸附使得劃痕進(jìn)一步得到避免。

圖4為本發(fā)明的一個實施例的利用所述用于玻璃基板的傳送裝置的傳送方法的步驟示意圖，一種使用所述的用于玻璃基板的傳送裝置的傳送方法包括以下步驟。

第一步驟s1中：調(diào)節(jié)隔震氣囊8使得機架7水平且隔絕來自地面的振動。

第二步驟s2中：氣浮平臺9將玻璃基板6懸浮于空氣中。

第三步驟s3中：多個吸盤10同時吸附在玻璃基板6表面邊緣處，經(jīng)由驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動所述吸盤10以傳送所述玻璃基板6。

在本發(fā)明的方法中，進(jìn)一步地，在第一步驟中，當(dāng)機架7下沉觸發(fā)感應(yīng)頭16，控制器18控制閥門開閉以控制氣囊進(jìn)氣量直至所述機架7水平。當(dāng)然，也可以通過調(diào)整螺釘調(diào)整機架水平度。

進(jìn)一步地，氣浮平臺9用于放置玻璃基板6，氣浮平臺9包括沿高度方向由下至上貼合疊放的進(jìn)氣層和出氣層，所述進(jìn)氣層的頂部形成有周向封閉的凹槽，該凹槽的底部形成有沿高度方向貫穿進(jìn)氣層的進(jìn)氣孔，以連接進(jìn)氣管接頭，出氣層上均勻地布設(shè)有沿高度方向貫穿出氣層的出氣孔，出氣孔通過所述凹槽與進(jìn)氣孔連通。

更進(jìn)一步，玻璃基板6通過氣浮平臺9懸浮在空氣中，約高2微米。

進(jìn)一步地，傳送吸盤5經(jīng)由固定座13連接連接板4，所述固定座13設(shè)有用于調(diào)節(jié)吸盤高度的調(diào)節(jié)螺栓12，所述傳送吸盤5包括16到25個吸盤10，每個吸盤10高度平面誤差在-5微米到5微米，多個吸盤10同時吸附在玻璃基板6表面邊緣處。

更進(jìn)一步地，所述吸盤設(shè)有壓力傳感器，當(dāng)每個吸盤和玻璃基板之間的壓力到達(dá)預(yù)定閾值，所述驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動所述傳送吸盤，使得多個吸盤同時吸附在玻璃基板6表面邊緣處。

更進(jìn)一步地，所述機架7一側(cè)設(shè)有大理石制成的梁2，所述梁2的平面度在5微米以內(nèi)，所述梁2上設(shè)有所述驅(qū)動機構(gòu)。所述驅(qū)動機構(gòu)包括導(dǎo)軌1和驅(qū)動電機3，所述驅(qū)動電機3驅(qū)動所述傳送吸盤5沿著導(dǎo)軌1移動。

在一個實施例中，所述驅(qū)動電機3為直線電機，所所述傳送吸盤5設(shè)在連接板4上，所述連接板4通過所述直線電機驅(qū)動沿導(dǎo)軌1移動。

更進(jìn)一步，所述驅(qū)動機構(gòu)不限于驅(qū)動所述傳送吸盤直線運動，也可以是曲線運動或多維度運動。

例如，有的驅(qū)動機構(gòu)可以使傳送吸盤吸附玻璃基板6進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運動，使得玻璃基板6傳送到其他方向上。

再例如，有的驅(qū)動機構(gòu)可以根據(jù)需要使得傳送吸盤吸附玻璃基板6在三維方向上運動。

在一個實施例中，所述傳送裝置設(shè)有電連接驅(qū)動機構(gòu)、壓力傳感器14和控制器18的處理器，所述處理器為通用處理器、數(shù)字信號處理器、專用集成電路asic、現(xiàn)場可編程門陣列fpga、模擬電路或數(shù)字電路，所述處理器包括存儲器，所述存儲器為只讀存儲器rom、隨機存取存儲器ram、快閃存儲器或電子可擦除可編程只讀存儲器eeprom。在第一步驟中，處理器經(jīng)由控制器18調(diào)節(jié)機架7的水平度，在第三步驟中，處理器經(jīng)由壓力傳感器14控制多個吸盤10同時吸附在玻璃基板6上，處理器控制驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動所述吸盤10以傳送所述玻璃基板6。

通過處理器實現(xiàn)本發(fā)明的傳送裝置的自動調(diào)節(jié)，顯著地提高了本發(fā)明的傳送方法的效能。

本發(fā)明的玻璃基板的傳送裝置及其傳送方法可以有效的解決璃基板造運送過程中造成的劃傷、污染現(xiàn)象，提高產(chǎn)品的質(zhì)量成品率及生產(chǎn)效率；對于提高液晶面板行業(yè)向著更大尺寸發(fā)展擴充起到一個積極向上的作用。

本申請接受各種修改和可替換的形式，具體的實施方式已經(jīng)在附圖中借助于實施例來顯示并且已經(jīng)在本申請詳細(xì)描述。但是，本申請不意在受限于公開的特定形式。相反，本申請意在包括本申請范圍內(nèi)的所有修改形式、等價物、和可替換物，本申請的范圍由所附權(quán)利要求及其法律等效物限定。